KR101485966B1

KR101485966B1 - 흡착 테이블

Info

Publication number: KR101485966B1
Application number: KR20130087141A
Authority: KR
Inventors: 쥰 시라토; 타카요시 쿠도
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2012-09-04
Filing date: 2013-07-24
Publication date: 2015-01-23
Also published as: CN103681436B; TWI505401B; CN103681436A; JP2014049703A; TW201411771A; JP5956877B2; KR20140031101A

Abstract

본 발명은 구성의 복잡화를 초래하지 않고 표시 패널에 국부적으로 강한 응력을 작용시키는 일이 없이 그 표시 패널을 그 주고 받을 때에 흡착 면 상에서 승강시킬 수 있는 흡착 테이블을 제공한다.
흡착 테이블은 표시 패널을 유지하는 흡착 테이블로서, 부압 개구가 개방되는 흡착면을 유지하는 지지대와, 흡착면을 가로질러 배치되는 복수의 승강 바와, 승강 바를 흡착면에서 돌출하는 일 없이 지지대 내에 수용하도록 흡착면에 서로 병행해서 마련되는 복수의 오목부와, 복수의 오목부가 개방되는 지지대의 측부에서 승강 바를 승강 가능하게 지지하는 지지기구와, 승강 바를 오목부에서 돌출하는 상승위치와, 오목부에 수용되는 하강 위치와의 사이에서 승강하도록 지지기구와 관련해서 설치되는 승강장치를 포함한다. 지지기구는 승강 바를 양단에서 지지하기 위한 지주와, 그 지주에 지지된 가이드 핀과, 그 가이드 핀의 관통을 허가하도록 승강 바에 마련된 슬롯을 구비한다.

Description

흡착 테이블 {suction table}

본 발명은 액정 표시 패널이나 유기 발광 패널과 같은 표시판의 유지에 적합한 흡착 테이블에 관한 것이다.

유리 기판상에 전기 회로가 형성된 액정 표시 패널과 같은 표시판은, 예를 들면 제조 공정 중에 프로버(prober)를 이용해서 전기적 검사를 받는다. 이 시험에서는 일반적으로 프로버에 끼워진 흡착 테이블 상에 부압(negative pressure)을 이용하여 피검사체인 액정 표시 패널이 유지된다.

검사를 받은 피검사체를 흡착 테이블로부터 안전하고 신속하게 떼어내기 위해 흡착 테이블에는 그 흡착 면으로부터 피검사체를 부상시키는 복수의 승강 핀이 흡착 면에서 돌출 가능하게 마련되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

돌출 위치에 있는 승강 핀은 흡착 면의 위쪽에서 반송 로봇으로부터 피검사체를 받으면, 흡착 면 아래로 하강한다. 이 승강 핀의 하강에 따라 상기 흡착 면 위로 피검사체가 이동하면, 흡착 테이블에 끼워진 부압 기구에 의해 상기 흡착 면에 부압이 작용한다. 상기 피검사체가 검사를 받는 동안, 그 피검사체가 상기 부압에 의해 확실하게 상기 흡착면에 유지된다. 검사 후, 승강 핀의 상승에 수반하여 피검사체가 흡착 면으로부터 들어 올려진다. 상기 승강 핀에 의해 흡착 면으로부터 들어 올려진 상기 피검사체는, 흡착면과 피검사체 사이에 작용하는 정전기(靜電氣)의 강한 영향을 받는 일이 없이 반송 로봇에 의해 흡착 테이블로부터 제거된다.

그러나, 상술한 승강 핀과 피검사체와의 접촉 면적이 작기 때문에 피검사체의 대형화에 따른 중량 증가에 수반하여 피검사체가 승강 핀과의 접촉부에서 받는 국소적인 응력은 커진다. 이 유리 기판을 포함하는 피검사체의 국소적인 응력 집중은 피검사체에 큰 왜력을 주기 때문에 바람직한 것은 아니다.

따라서, 다수의 서로 간격을 두고 평행하게 배치되는 고정 유지 부재와, 각 고정 부재 사이에서 그 고정 부재에 관하여 승강 가능하게 배치되는 다수의 띠 모양의 승강 부재로 흡착 면을 구성하고, 그 흡착면으로 피검사체를 주고 받을 때에에 상기 승강 부재를 상기 고정 유지 부재에 관해서 하강시키는 것이 제안되었다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).

특허문헌 2에 기재된 장치에 따르면, 상기 승강 부재는, 그 상승 위치에서 상기 고정 유지 부재와 공동으로 평탄한 흡착 면을 구성한다. 흡착 면과 로봇 아암이 피검사체를 주고 받을 때에는 다수의 띠 모양의 상기 승강 부재가 하강함으로써 형성되는 공간에 로봇 아암이 삽입 가능하기 때문에 로봇 아암과 흡착 면이 간섭하지 않고 게다가 서로 평행하게 배치된 복수의 고정 유지 부재가 넓은 띠 모양 면적에서 피검사체를 지지하므로 피검사체에 강한 국부적인 응력을 작용시키는 일 없이 적합하게 피검사체를 취급할 수 있다.

그러나, 특허문헌 2에 기재된 장치에서는 피검사체를 흡착 유지하기 위한 부압을 작용시키는 흡착면은 다수의 고정 유지 부재와, 그 고정 유지 부재 사이에서 각각 승강 가능한 승강 부재로 구성된다. 그 때문에 흡착 면을 형성하는 지지대의 구성이 복잡해지면서, 다수의 승강 부재를 동시적으로 승강시키는 기구를 지지대의 내부에 설치할 필요가 생겨 지지대의 구성이 복잡해지기 때문에 흡착 장치의 구성이 복잡해져 고가가 되는 결점이 있었다.

일본특허공개공보 제2002-246450호 일본특허공개공보 제2011-29565호

따라서, 본 발명의 목적은 구성의 복잡화를 초래하는 일이 없이 피검사체인 표시 패널에 국부적으로 강한 응력을 작용시키지 않고 그 표시 패널을 그 주고 받을 때에 흡착면 상에서 승강시킬 수 있는 흡착 테이블을 제공하는 것이다.

본 발명은 표시 패널을 유지하는 흡착 테이블로서, 부압 개구(negative pressure opening)가 개방되는 흡착면을 가지는 지지대(support)와, 상기 흡착면을 가로질러 배치되는 복수의 승강 바(lifting bar)와, 상기 승강 바를 상기 흡착면에서 돌출하는 일이 없이 상기 지지대 내에 수용할 수 있도록 상기 흡착면에 서로 병행해서 설치되는 복수의 오목부(recess)와, 상기 복수의 오목부가 개방되는 상기 지지대의 측부에서 상기 승강 바를 승강 가능하게 지지하는 지지기구와, 상기 승강 바를 상기 오목부에서 돌출하는 상승 위치와, 상기 오목부에 수용되는 하강 위치 사이에서 승강할 수 있도록 상기 지지 기구와 관련해서 설치되는 승강 장치를 포함하며, 상기 지지기구는 상기 승강 바를 그 승강 바의 양단부에서 지지하기 위한 한 쌍의 지주와, 그 지주 및 상기 승강 바 중 어느 하나에 지지된 가이드 핀과, 그 가이드 핀의 관통을 허용할 수 있도록 상기 지주 및 상기 승강 바의 다른 쪽에 마련된 슬롯을 구비한다.

본 발명에 관한 상기 흡착 테이블에는 상기 지지대에 상기 승강 바를 수용하기 위한 상기 오목부가 상기 지지대의 상기 흡착면을 가로질러 형성되어 있다. 상기 오목부에 수용 가능한 상기 승강 바는 상기 지지대의 측부에 설치된 상기 지지기구에 의해서 상기 오목부에 수용되는 후퇴위치와 상기 흡착면에서 돌출하는 돌출위치 사이에서 승강한다. 따라서, 상기 지지대를 종래와 같이 다수의 고정부재 및 가동부재의 집합체로서 형성할 필요는 없으며, 또한 상기 흡착 테이블로의 상기 표시 패널의 주고 받기를 위해서 그 표시 패널을 복수의 상기 승강 바로 상기 흡착면 위를 승강시킬 수 있기 때문에 상기 흡착 테이블의 구성의 복잡화를 초래하지 않고 대형의 표시 패널이라 해도 그 표시 패널에 국부적으로 강한 응력이 작용하는 것을 방지할 수 있다.

상기 한 쌍의 지주 또는 상기 승강 바의 양단부에 각각 마련된 한 쌍의 슬롯중 적어도 한쪽을 상기 승강 바의 길이 방향을 따라 신장하는 가늘고 긴 슬롯으로 할 수 있다. 이 가늘고 긴 슬롯에 의해 상기 승강 바의 길이방향으로의 경사가 허용되기 때문에 그 승강 바의 양단부에서의 승강 동작의 어긋남을 보상할 수 있다.

상기 슬롯을 상기 승강 바에 마련할 수 있고, 상기 슬롯은 상기 승강 바를 그 두께방향으로 관통시키면서 그 승강 바의 길이방향을 따라서 신장시킬 수 있다.

상기 지지기구에 상기 가이드 핀에 관련해서 대응하는 상기 승강 바에 그 승강 바의 길이방향 바깥을 향한 장력을 부여하는 스프링 부재를 설치할 수 있다. 이 스프링 부재의 장력에 의해 상기 승강 바의 휘어짐을 억제할 수 있다.

상기 승강 바에 그 승강 바의 상기 슬롯이 마련된 위치보다 안쪽에 위치하는 단부 근방에 상기 가이드 핀과 평행한 대응하는 걸림 핀(engaging pin)을 설치하고, 상기 스프링 부재로서 상기 가이드 핀과 이에 대응하는 상기 걸림 핀에 양단이 걸린 인장 코일 스프링(herical tension spring)을 사용할 수 있다.

상기 승강 바에 작용하는 충격을 완화하는 충격 완화 기구를 상기 지지기구에 설치할 수 있다. 이 충격 완화 기구에 의해, 예를 들면 로봇 아암과의 사이에서 상기 표시 패널을 주고 받을 때, 그 표시 패널에 충격이 작용하는 것을 피하기 위해 로봇 아암의 작동을 종전처럼 현저하게 감속시킬 필요는 없다. 그래서, 로봇 아암의 완만한 움직임을 필요로 하지 않을 수 있기 때문에 택트 타임(takt time)의 저감을 도모할 수 있다.

상기 충격 완화 기구는, 상기 지지대에 지지되어 상기 승강 바를 상하방향으로 안내 가능하게 받아들이는 안내 홈이 꼭대기부에 형성된 지주와, 상기 안내 홈의 바닥부와 상기 승강 바 사이에 배치된 압축 코일 스프링으로 구성할 수 있다.

상기 승강 바에는 상기 압축 코일 스프링의 단부에 맞닿아서 그 코일 스프링의 압축 양을 조정하기 위한 조정 나사를 마련할 수 있다. 이 조정 나사에 의한 압축량의 조정에 의해, 취급되는 상기 표시 패널의 크기 즉 중량 변화에 따라서 상기 압축 코일 스프링의 변위량이 거의 일정해지도록 그 압축 코일 스프링의 탄성력을 적정하게 조정할 수 있다.

각 지주에는 그 지주의 길이 방향 치수의 조정을 가능하게 하는 높이 조정 기구를 설치할 수 있다. 각 지주에 마련된 각 높이 조정 기구는 상기 승강 바마다 그 승강 바의 경사 및 높이 위치의 조정을 가능하게 한다.

상기 지지기구에는 상기 지지대의 양측에서 그 지지대를 따라서 배치되는 한 쌍의 빔(梁) 부재를 설치할 수 있다. 그 한 쌍의 빔 부재는 상하방향으로 이동 가능하게 상기 지지대에 지지되고, 상기 승강장치의 작동에 의해 상하방향으로 이동 가능하게 할 수 있다. 이 경우 각 빔 부재에 상기 지주를 통해서 대응하는 상기 승강 바의 단부를 지지할 수 있다.

또한, 상기 빔 부재와 각 지주 사이에 그 지주 높이 위치를 조정하기 위한 상기 높이 조정 기구가 마련된다.

각 승강 바에, 그 승강 바 상의 상기 표시 패널의 테두리에 맞닿아서 그 표시 패널의 탈락을 방지하는 어깨부를 형성할 수 있다. 이 어깨부의 스토퍼 기능에 의해 상기 표시 패널의 상기 승강 바에서의 불의의 탈락을 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 상기 어깨부와 관련해서 상기 승강 바의 상면에 상기 어깨부와 근접해서 상기 승강 바 상의 상기 피검사체의 기울기에 의한 그 피검사체의 테두리와 상기 상면과의 간섭을 방지하기 위한 클리어런스 그루부(逃溝)을 마련할 수 있다. 이에 의해 상기 피검사체를 상기 승강 바 상에 배치하거나 혹은 그 승강 바 상에서 제거할 때에 상기 피검사체가 상기 승강 바에 관해서 경사져도 그 피검사체의 테두리와 상기 승강 바의 상면과의 접촉을 방지할 수 있기 때문에 이 접촉에 의한 피검사체의 손상을 방지할 수 있다.

본 발명에 따르면, 종래와 같이 다수의 고정 부재 및 가동 부재의 집합체로서 지지대를 형성할 필요는 없고, 상기 지지대를 상기 승강 바를 수용하기 위한 상기 오목부를 가지는 일체 구성으로 할 수 있으며, 또한 상기 승강 바를 상기 지지대의 측방에 설치된 상기 승강 장치로 승강시킬 수 있다. 따라서, 상기 흡착 테이블의 구성의 복잡화를 초래하지 않고 대형의 표시 패널이라도 그 표시 패널에 국부적으로 강한 응력을 작용시키는 일이 없이 그 표시 패널을 취급할 수 있는 흡착 테이블을 비교적 저렴하게 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명에 관련한 흡착 테이블을 반송 로봇과 함께 나타내는 사시도이고,
도 2는 도 1에 나타낸 흡착 테이블의 평면도이고,
도 3은 도 1에 나타낸 흡착 테이블의 측면도이고,
도 4는 도 3에 나타낸 선Ⅳ-Ⅳ을 따라서 얻어진 단면도이고,
도 5는 도 3에 나타낸 선Ⅴ-Ⅴ을 따라서 얻어진 단면도이고,
도 6은 도 3에 나타낸 선Ⅵ-Ⅵ을 따라서 얻어진 단면도이고,
도 7은 도 3에 부호A로 나타내어진 동그라미로 둘러싼 부분을 확대해서 나타낸 도면이고,
도 8은 도 6의 부호B로 나타낸 화살표 방향으로 본 지주의 높이 조정 기구의 정면도이고,
도 9는 도 1에 나타낸 흡착 테이블의 정면도로서, (a)는 승강 바가 상승 위치에 있는 상태를 나타내며, (b)는 승강 바가 하강 위치에 있는 상태를 나타내고,
도 10은 본 발명에 관련한 다른 실시 형태를 그 일부를 파단해서 나타낸 사시도이고,
도 11은 본 발명에 관련한 또 다른 실시 형태를 나타내는 사시도이다.

본 발명과 관련된 흡착 테이블(10)은, 도 1에서 나타내는 바와 같이 액정 패널이나 유기 발광 패널과 같은 표시판(12)을 검사하기 위한 프로버(미도시)에 끼워져 사용된다. 도 1에는 반송 로봇(14)과의 사이에서 피검사체(12)를 주고 받는 예가 나타내어져 있다.

반송 로봇(14)은 종래 잘 알려진 바와 같이 베이스(16) 위를 흡착 테이블 (10)을 향해서 및 이로부터 멀어지는 방향으로 이동 가능한 가동대(18)와, 그 가동 대 위에 설치된 지주(post)(20)에 동축으로 지지되고, 축선의 둘레로 회전 동작하며, 또한 상기 축선을 따라서 지주(20)에 관해서 신축 동작하는 축 부재(22)를 구비한다. 이 회전 및 신축 동작이 가능한 축 부재(22)에는 종래 잘 알려져 있는 바와 같이 피검사체(12)를 올리기 위한 포크 모양의 로봇 아암(24)이 고착되어 있다.

반송 로봇(14)은, 예를 들면 도시되지 않는 카세트(cassette)로부터 그 카세트에 수용된 표시판(表示板) 즉 피검사체(12)를 로봇 아암(24) 위에 수취하면, 축 부재(22)를 신장시킨 상태에서 로봇 아암(24)을 흡착 테이블(10) 위를 향해서 이동하도록 가동대(18)를 작동시킨다. 그 후 축 부재(22)가 수축 동작되어, 피검사체(12)가 흡착 테이블(10)로 옮겨지면, 이 수축 상태에서 로봇 아암(24)이 흡착 테이블(10)에서 멀어지도록 가동대(18)가 작동된다.

또한, 흡착 테이블(10) 상의 피검사체(12)의 전기적 혹은 시각적인 검사가 종료되면, 반송 로봇(14)은 축 부재(22)를 수축시킨 상태에서 로봇 아암(24)이 흡착 테이프(10) 상의 피검사체(12) 아래에 삽입되도록 가동대(18)를 흡착 테이블(10)을 향해 작동시킨다. 그 뒤 축 부재(22)가 신장 동작됨으로써 흡착 테이블(10) 상의 피검사체(12)가 로봇 아암(24) 상으로 옮겨지면, 반송 로봇(14)은 이 신장 상태에서 로봇 아암(24)이 흡착 테이블(10)에서 멀어지도록 가동대(18)를 작동시킨다. 이 반송 로봇(14)의 동작에 의해 피검사체(12)가 흡착 테이블(10)에서 반송 로봇(14)을 거쳐 상기 카세트로 옮겨진다.

반송 로봇(14)과의 사이에서 피검사체(12)를 주고 받는 흡착 테이블(10)은, 흡착면(26a)을 가지는 지지대(26)를 구비한다. 흡착 테이블(10)의 지지대(26)는 도 1에서 나타내는 예에서는 종래 잘 알려진 XYZθ 스테이지(28) 상에 올려진다. 따라서, 지지대(26)는 종래에서와 마찬가지로 수직축인 Z축의 주위로 회전 가능하며, 또한 Z축에 직각인 XY면 위에서 각각 X축 및 Y축을 따라 이동가능하다.

흡착 테이블(10)은, 그 지지대(26)의 흡착면(26a)에서, 반송 로봇(14)에서의 피검사체(12)를 유지한다. 이 흡착면(26a)은 도 1 및 도 2에서 나타내는 예에서는 XY면 상에서 긴 변 및 짧은 변을 가지는 직사각형 형상을 가진다. 또한, 도 2에 명확하게 나타내어져 있는 바와 같이 흡착면(26a)에는 그 긴 변을 따라 신장되고, 지지대(26)의 양측에 양단이 개방하는 종래 잘 알려진 복수의 좁은 홈(30a)이 형성되어 있으며, 또한 흡착면(26a) 상에서 직사각형을 띠는 부압(負壓) 홈(30b)이 형성되어 있다.

부압 홈(30b)에는, 종래 잘 알려진 바와 같이 흡착면(26a)에 피검사체(12)를 유지할 때, 그 피검사체를 흡착하기 위한 부압이 부압원(미도시)으로부터 도입된다. 좁은 홈(30a)은 대전 방지용 홈이다. 좁은 홈(30a)은 피검사체(12)를 흡착 면 (26a)으로부터 떨어뜨릴 때, 종래 잘 알려져 있는 바와 같이 피검사체(12)와 흡착 면(26a) 사이에 공기를 안내함으로써 양자(12,26a) 간에 생기는 공기 흐름을 약하게 하고, 이를 통해 이 공기 흐름에 따라 피검사체(12)에 도입되는 정전기의 발생을 억제한다.

그리고 또한, 흡착면(26a)에는 도 2에서와 같이 그 긴 변을 따라서 직선 형태로 신장하는 복수의 오목부(32)가 형성되어 있다. 각 오목부(32)는 도 3에 명확하게 나타내어진 바와 같이 지지대(26)의 양측에 이르고, 그 양측에서 개방한다. 또한, 각 오목부(32)에 대응해서, 흡착면(26a)을 그 긴 변 방향으로 가로지르는 승강 바(34)가 마련되어 있다. 오목부(32)는 대응하는 승강 바(34)를 수용하기에 충분한 폭 치수를 가지고, 또한 수용된 승강 바(34)의 상면이 흡착면(26a)에 일치하는 깊이 치수를 가진다.

도 2 및 도 3에서 나타내는 바와 같이 지지대(26)의 양측에는 승강 바(34)의 지지기구(36) 및 승강장치(38)가 각각 배치되어 있다. 지지기구(36)는 도 2 및 도 3에서 나타내는 바와 같이 지지대(26)의 측방에서 그 지지대를 따라서 거의 수평으로 배치된 빔 부재(40)와, 그 빔 부재를 Z축을 따라서 수직방향으로 안내하는 복수의 가이드 장치(42)(도 3 참조)를 구비한다.

각 가이드장치(42)는 도 4에 명확하게 나타내어져 있는 바와 같이 지지대(26)에서 아래로 신장하도록 그 지지대에 고정된 장착판(44)과, 그 장착판에 설치되어 있으며 수직방향으로 신장되는 가이드레일(46)과, 빔 부재(40)에 고정되어 가이드레일(46)에 의해 수직방향으로 안내되는 슬라이드 부재(48)를 구비한다. 가이드 레일(46)의 양단에는 슬라이드 부재(48)에 맞닿아서 그 이동범위를 구속하는 스토퍼(46a,46a)가 마련되어 있다.

따라서, 지지대(26)의 양쪽에 배치된 한 쌍의 빔 부재(40)는, 각 가이드 장치(42)에 의해 지지대(26)의 양측에서 두 스토퍼(46a,46a) 사이에서 수직 방향으로 이동 가능하게 지지대(26)에 유지되어 있다.

승강 장치(38)는 한 쌍의 빔 부재(40)를 양 스토퍼(46a,46a) 사이에서 승강시키도록 지지대(26)의 양측에 마련되어 있다. 승강장치(38)는, 도 3 및 도 5에서 나타내는 예에서는 지지대(26)에 장착판(50)을 통해서 고정된 실린더 본체(38a)와, 그 실린더 본체에서 돌출하는 피스톤 로드(38b)를 구비하는 유체 실린더 장치(38)로 이루어진다. 실린더 장치(38)는 공기압 혹은 유압으로 작동한다. 실린더 장치(38)는 그 축선을 수직방향을 따라서 배치되어 있으며, 피스톤 로드(38b)의 선단이 빔 부재(40)에 고정된 결합 부재(52)에 고정되어 있다.

따라서, 지지대(26)의 양쪽에 배치된 한 쌍의 유체 실린더 장치(38)를 동기적으로 작동시킴으로써 지지대(26)의 양측에서 그 지지대를 따라서 배치된 한 쌍의 빔 부재(40)를 동기적으로 승강할 수 있다.

상기 지지기구(36)는, 도 3에서와 같이 각 승강 바(34)에 대응하는 빔 부재(40)에 결합하는 지주(54)를 더 구비한다. 각 지주(54)의 상단부에는 도 6 및 도 7에서 나타내는 바와 같이 충격 완화 기구(56)가 마련되어 있으며, 각 승강 바(34)의 단부는 각 충격 완화 기구(56)를 통해서 대응하는 지주(54)의 상단부에 탄성적으로 결합되어 있다.

각 충격 완화 기구(56)는, 지주(54)의 상단에 개방해서 대응하는 승강 바(34)의 단부를 헐겁게 받아들이는 오목부(58)와, 승강 바(34)를 가로질러 형성되어 그 승강 바(34)의 단부를 거의 수평방향으로 관통하는 슬롯(60)과, 그 슬롯 내를 관통하여 양단이 오목부(58)의 수직벽(58a)에 지지되는 가이드 핀(62)과, 승강 바(34)의 단부와 오목부(58)의 바닥벽(58b) 사이에 배치된 압축 코일 스프링(64)을 구비한다.

압축 코일 스프링(64)의 하단은 오목부(58)의 바닥벽(58b)에 마련된 구멍(66)에 받아들여져, 압축 코일 스프링(64)의 상단은 홈붙이 머리의 고정 나사부재(68)에 맞닿는다. 고정 나사 부재(68)는 승강 바(34)의 단부에서 그 승강 바의 상방에서 승강 바(34)에 나사 결합하고, 하단을 승강 바(34)의 하면에서 돌출시킨다. 압축 코일 스프링(64)은, 이 홈붙이 머리의 고정 나사 부재(68)의 하단에 맞닿음으로써 승강 바(34) 및 바닥벽(58b) 사이에 위치 결정된다. 또한, 슬롯(60)은 압축 코일 스프링(64)의 압축 변형을 수반하는 승강 바(34)의 상하방향으로의 이동을 허가하도록 상하(Z축) 방향으로 신장한다. 따라서, 압축 코일 스프링(64)의 스프링 힘에 의해 승강 바(34)의 각 단부는 중력 방향으로 작용하는 외력에 대해서 지주(54)에 탄성 지지되어 있다.

슬롯(60)과 그 슬롯에 받아들여진 가이드 핀(62)과의 간섭에 의해 승강 바(34) 및 오목부(58)의 바닥벽(58b) 사이의 거리가 규제되어 있어서 고정 나사부재(68)의 상단에서의 회전 조작에 의해 압축 코일 스프링(64)을 압축할 수 있으며, 이에 의해 압축 코일 스프링(64)의 스프링 힘을 조정할 수 있다. 그 결과, 고정 나사부재(68)는 압축 코일 스프링(64)의 압축량을 조정하는 조정 나사로서 기능한다.

또한, 각 승강 바(34)의 단부에는 도 6에서 나타내는 바와 같이 승강 바(34a)의 상면에 피검사체(12)가 올려졌을 때, 그 피검사체의 테두리에 맞닿아서 피검사체(12)가 승강 바(34)의 단부로부터 튀어나오는 것을 방지하는 어깨부(34b)가 형성되어 있다. 그리고, 승강 바(34)의 상면(34a)의 어깨부(34b)에 근접하는 영역에는 피검사체(12)의 승강 바(34) 상에서의 기울기에 의해 피검사체(12)의 테두리부가 승강 바(34)의 상면(34a)에 맞닿는 것을 방지하기 위한 오목 형상의 클리어런스 그루브(70)가 형성되어 있다.

각 지주(54)는 그 하부에 마련된 높이 조정 기구(72)를 통해서 대응하는 빔 부재(40)에 지지되어 있다. 각 높이 조정 기구(72)는 도 6 및 도 8에서 나타내는 바와 같이 각 지주(54)의 하부에 고정 나사(74)로 고정된 앵커부재(anchor member)(76)와, 그 지지대를 대응하는 빔 부재(40)에 해제가능하게 결합하는 체결구(78)와, 체결구(78)를 느슨하게 한 상태에서 빔 부재(40)에 대한 앵커부재(76)의 높이부재를 조정하기 위한 홈붙이 머리의 고정나사(80)를 구비한다.

앵커부재(76)에는 체결구(78)의 삽입 통과를 허가하기 위하여 앵커부재(76)를 빔 부재(40)를 향해서 관통하는 한 쌍의 슬롯(82)이 형성되어 있다. 슬롯(82)은 도 6에 명확하게 나타내져 있는 바와 같이 대응하는 체결구(78)를 상하방향으로 헐겁게 받아들이도록 앵커부재(76)를 상하방향으로 신장한다. 각 슬롯(82)을 관통하는 체결구(78)는 선단이 빔 부재(40)에 형성된 나사 홀(84)에 나사 결합하는 볼트부재로 이루어진다. 따라서, 볼트부재(78)를 느슨하게 한 상태에서는 앵커부재(76) 및 그 지지대에 하단이 고정된 지주(54)의 높이 위치를 슬롯(82)의 상하방향의 길이 치수의 범위에서 조정할 수 있다.

이 앵커부재(76)의 높이 위치 즉 지주(54)의 높이 위치의 조정을 용이하게 하도록 고정나사(80)는 빔 부재(40)에 고정된 나사대(86)의 나사 홀(86a)에서 상단을 돌출 가능하게 나사 결합한다. 나사 홀(86a)은 나사대(86)를 상하방향으로 관통하여 그 나사 홀에서 돌출하는 고정나사(80)의 상단은 앵커부재(76)의 바닥면에 맞닿는다.

따라서, 상기한 바와 같이 볼트(78)를 느슨하게 한 상태에서 고정 나사(80)를 회전 조작함에 따라, 그 고정 나사의 상단에서 앵커부재(76)를 예를 들면 밀어 올릴 수 있으며 이에 의해 지주(54)의 높이 위치를 슬롯(82)의 상기 길이 치수의 범위에서 조정할 수 있다. 이 고정 나사(80)에 의한 높이 위치의 조정 후, 볼트(78)로 앵커부재(76)를 빔 부재(40)에 단단히 조임에 따라 각 지주(54)의 높이 조정작업이 종료한다.

이 지주(54)의 높이 위치의 조정에 의해 각 지주(54)에 단부가 지지된 승강 바(34)의 경사나 높이 위치의 불균일을 수정할 수 있으며, 승강 바(34)의 상면(34a)을 지지대(26)의 흡착면(26a)에 평행한 가상 평면에 일치시킬 수 있다.

상기한 앵커부재(76)를 지주(54)와 일체로 형성할 수 있다. 또한, 높이 조정 기구(72)를 필요로 하지 않을 수 있다.

한 쌍의 유체 실린더 장치(38)(도 5 참조)는, 도 9(a)에서와 같이, 모든 승강 바(34)가 지지대(26)의 흡착면(26a)의 오목부(32)에서 돌출해서 흡착면(26a)의 상방에 위치하는 상승 위치와, 도 9(b)에서와 같이 승강 바(34)가 오목부(32)에 수용되어서 그 상면(34a)이 흡착면(26a) 이하에 있는 하강 위치와의 사이에서 모든 승강 바(34)를 동기적으로 작동시키도록 동기(同期)하여 작동된다.

도 9(a)에서 나타내는 상승 위치에서, 상기한 바와 같이 반송 로봇(14)의 로봇 아암(24) 상의 피검사체(12)가 승강 바(34) 상으로 옮겨진다. 이때, 반송 로봇(14)의 축 부재(22)의 수축 동작에 의한 로봇 아암(24)의 하강 동작에 수반되어서 피검사체(12)의 중량에 따른 충격이 승강 바(34)에 작용한다. 그러나, 피검사체(12)가 승강 바(34)에 이동될 때, 각 승강 바(34)와 지주(54) 사이에 마련된 충격 완화 기구(56)의 탄성 지지 작용에 의해 피검사체(12)가 충격을 받는 일은 없다.

또한, 충격 완화 기구(56)가 마련되어 있기 때문에 상기한 로봇 아암(24)의 하강 동작을 종래와 같이 감속하는 일 없이 피검사체(12)에 작용하는 충격을 방지할 수 있기 때문에 로봇 아암(24)의 완만한 움직임을 필요로 하지 않고, 택트 타임의 단축화를 도모할 수 있다.

충격 완화 기구(56)는 상기한 바와 같이 취급할 피검사체(12)의 중량의 증감에 따른 고정 나사 부재(68)의 회전 조작에 따라 피검사체(12)의 중량의 증감에 구애되지 않고 피검사체(12)의 중량에 의한 압축 코일 스프링(64)의 변형량을 거의 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 피검사체(12)의 중량에 따른 고정 나사 부재(68)의 회전 조작에 의해 충격 완화 기구(56)에 의해 충격을 효과적으로 흡수할 수 있다.

로봇 아암(24)에서 각 승강 바(34)로 피검사체(12)가 이동할 때, 그 피검사체가 아무리 승강 바(34)의 길이방향에 관해 경사가 발생되어도 각 승강 바(34)의 양단부에는 어깨부(34b)에 근접해서 클리어런스 그루부(70)가 형성되어 있기 때문에 피검사체(12)의 하방으로 경사지는 테두리가 승강 바(34)의 상면(34a)에 맞닿는 경우는 없다. 이에 의해 피검사체(12)는 승강 바(34)와의 접촉에 의한 손상을 받지 않고 그 승강 바로 옮겨지고, 승강 바(34) 상으로 옮겨진 피검사체(12)는 승강 바(34)의 어깨부(34b)에 의해 승강 바(34)로부터의 탈락이 확실하게 방지된다.

피검사체가(12)가 승강 바(34) 상에 옮겨지고, 로봇 아암(24)이 지지대(26) 상에서 후퇴하면, 한 쌍의 유체 실린더 장치(38)는 동기적으로 수축 동작하고, 이에 의해 승강 바(34)는 도 9(b)에 나타낸 하강 위치에 유지된다.

승강 바(34)가 하강 위치로 이동하면, 상기한 바와 같이 부압 홈(30b)에 작용하는 부압에 의해 피검사체(12)가 확실히 지지대(26)에 유지되고, 피검사체(12)가 소정의 검사를 받는다.

피검사체(12)의 상기 검사가 종료되면, 한 쌍의 유체 실린더 장치(38)의 작동에 의해 승강 바(34)가 도 9(a)에 나타낸 상승 위치를 향해서 이동한다. 이 유체 실린더 장치(38)에 수반하여 지지대(26) 상의 피검사체(12)가 승강 바(34)에 의해 지지대(26)의 흡착면(26a)으로부터 부상하려고 할 때, 상기한 바와 같이 가는 홈(30a)의 공기 안내 작용에 의해 피검사체(12)에서의 정전기의 발생이 억제된다.

상승 위치에 있는 승강 바(34) 상의 검사 완료된 피검사체(12)는, 반송 로봇(14)의 로봇 아암(24)이 승강 바(34) 사이에 삽입된 상태에서 축부재(22)가 신장 동작됨에 따라서 로봇 아암(24)으로 이동되고, 그 후 반송 로봇(14)에 의해 상기 카세트로 되돌려진다.

본 발명과 관련된 흡착 테이블(10)에 따르면, 승강 바(34)를 수용하기 위한 오목부(32)를 지지대(26)에 형성하고, 승강바(34)를 지지대(26)의 측방에 마련된 승강 장치(38)로 승강시킬 수 있다. 따라서, 흡착 테이블(10)의 구성을 복잡하게 하지 않고, 대형의 표시 패널(12)이라 해도 그 표시 패널에 국부적으로 강한 응력을 작용시키지 않고 그 표시 패널을 취급할 수 있는 흡착 테이블(10)을 비교적 저렴하게 제공할 수 있다.

상기한 바에서는 오목부(32)를 흡착면(26a)의 긴 변에 평행하게 형성한 예를 나타내었지만, 이를 대신하여 오목부(32)가 흡착면(26a)의 긴 변과 각을 이루며 신장하도록 복수의 오목부(32)를 병행해서 형성할 수 있다.

또한, 이 오목부(32)의 깊이 치수를 승강 바(34)의 높이 치수보다도 크게 하여서 승강 바(34)의 하강 위치에서 그 승강 바의 상면을 흡착면(26a) 아래에 설정할 수 있다.

승강장치(38)에는 상기한 유체 실린더 장치를 대신해서 전동 모터 및 랙 피니언 혹은 리니어 모터 등 여러 가지의 승강장치를 적절하게 이용할 수 있다.

도 10에서와 같이 지주(54)에 지지되는 원형 횡단면을 가지는 가이드 핀(62)을 받아들이도록 피검사체(12)를 받는 승강 바(34)의 양단부에 마련되는 슬롯(60)을 승강 바의 길이(X축) 방향으로 신장하는 가로 방향으로 가늘고 긴 슬롯으로 할 수 있다. 이 경우, 충격 완화 기구(56)의 압축 코일 스프링(64)은 기능하지 않아서 마련되지 않는다. 가로 방향으로 신장하는 가늘고 긴 슬롯(60)은 승강 바(34)의 경사를 허가함으로써 승강 바(34)의 양단 측에 마련되는 한 쌍의 승강 장치(38) 사이의 동기(同期)의 어긋남을 보상한다.

승강 바(34)의 양단부에 마련되는 한 쌍의 슬롯(60)을 가로방향으로 신장하는 상기한 가로 방향으로 가늘고 긴 슬롯으로 하는 것을 대신하여 한 쌍의 슬롯(50) 중 한쪽을 상기한 가로 방향으로 가늘고 긴 슬롯으로 하고, 다른 쪽을 가이드 핀(62)을 받아들이는 원형 횡단면을 가지는 슬롯으로 할 수 있다. 이에 의해서도 승강 바(34)의 경사가 가능해지기 때문에 한 쌍의 승강장치(38) 사이의 동기의 어긋남을 보상할 수 있다.

도 11에서와 같이 가이드 핀(62)의 양단을 지주(54)의 외방으로 돌출시킬 수 있다. 또한, 각 승강 바(34)의 상기한 길이방향으로 신장하는 슬롯(60)의 위치보다도 승강 바(34)의 안쪽 위치에서 근방의 가이드 핀(62)과 평행한 걸림핀(88)을 승강 바(34)의 양측에 마련하고, 대응하는 가이드 핀(62) 및 걸림 핀(88) 사이에 인장력을 미치는 한 쌍의 스프링 부재(90)를 승강 바(34)의 양측에 배치할 수 있다. 도 11에서 나타내는 예에서는 각 스프링 부재(90)는 인장 코일 스프링으로 이루어진다.

대응하는 가이드 핀(62) 및 걸림 핀(88)에 양단이 걸린 한 쌍의 인장 코일 스프링(90)은, 승강 바(34)에 그 길이방향 바깥을 향한 장력을 부여한다. 이 장력에 의해 승강 바(34)의 휘어짐 변형이 억제된다. 따라서, 경량화를 위하여 승강바(34)를 비교적 강성이 낮은 알루미늄의 평각 봉으로 형성한 경우, 인장 코일 스프링(90)의 장력에 의해 승강 바(34)의 휘어짐을 억제하고, 그 승강 바 상의 피검사체의 휘어짐을 효과적으로 방지할 수 있다. 승강 바(3)가 강성이 높은 고강성의 CFRP재로 형성되는 경우, 인장 코일 스프링(90)을 필요로 하지 않을 수 있다.

그리고 또한, 도 10 및 도 11에는 가이드 핀(62)을 지주(54)에 설치하고, 가이드 핀(62)을 받아들이는 가로 방향으로 가늘고 긴 슬롯(60)을 승강 바(34)에 설치한 예를 나타냈지만, 이를 대신하여 가이드 핀(62)을 승강 바(34)에 설치하고 또 가로 방향으로 가늘고 긴 슬롯(60)을 지주(54)에 마련할 수 있다.

본 발명은 상기 실시 예에 한정되지 않고 그 취지를 일탈하지 않는 한 여러 가지로 변경할 수 있다.

10; 흡착 테이블
12; 피검사체(표시 패널)
26; 지지대
26a; 흡착면
32; 오목부
34; 승강 바
36; 지지기구
38; 승강 장치
40; 빔 부재
54; 지주
56; 충격 완화 기구
58; 지주의 오목부
58b; 오목부의 바닥벽(底壁)
60; 슬롯
62; 가이드 핀
64; 압축 코일 스프링
68; 고정 나사 부재(조정 나사)
70; 클리어런스 그루브(逃溝)
72; 높이 조정 기구
88; 걸림 핀
90; 스프링 부재(인장 코일 스프링)

Claims

표시 패널을 유지하는 흡착 테이블로서,
부압 개구가 개방되는 흡착면을 가지는 지지대와,
상기 흡착면을 가로 질러서 배치되는 복수의 승강 바와,
상기 승강 바를 상기 흡착면에서 돌출하는 일 없이 상기 지지대 내에 수용하도록 상기 흡착면에 서로 병행해서 마련되는 복수의 오목부와,
상기 복수의 오목부가 개방되는 상기 지지대의 측부에서 상기 승강 바를 승강 가능하게 지지하는 지지기구와,
상기 승강 바를 상기 오목부에서 돌출하는 상승 위치와, 상기 오목부에 수용되는 하강 위치와의 사이에서 승강하도록 상기 지지기구와 관련해서 마련되는 승강장치를 포함하며,
상기 지지기구는 상기 승강 바를 그 승강 바의 양단에서 지지하기 위한 한 쌍의 지주와, 그 지주 및 상기 승강 바 중 어느 한쪽에 지지된 가이드 핀과, 그 가이드 핀의 관통을 허가하도록 상기 지주 및 상기 승강 바의 다른 쪽에 마련된 슬롯과, 상기 가이드 핀에 관련해서 대응하는 상기 승강 바에 그 승강 바의 길이방향 바깥을 향한 장력을 부여하는 스프링 부재를 구비하고,
상기 승강 바에는, 그 승강 바의 상기 슬롯이 마련된 위치보다도 안쪽에 위치하는 단부 근방에 상기 가이드 핀과 평행한 대응하는 걸림 핀이 마련되고, 상기 스프링 부재는 상기 가이드 핀과 이것에 대응하는 상기 걸림 핀에 양단이 걸린 인장 코일 스프링으로 이루어지는 흡착 테이블.
제 1항에 있어서,
상기 한 쌍의 지주 또는 상기 승강 바의 양단부에 각각 마련된 한 쌍의 슬롯 중 적어도 한쪽은 상기 승강 바의 길이방향을 따라서 신장하는 슬롯인 흡착 테이블.
제 2항에 있어서,
상기 슬롯은 상기 승강 바에 마련되고 그 승강 바를 그 두께 방향으로 관통하며 그 승강 바의 길이방향을 따라서 신장되는, 흡착 테이블.
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