JP2014049703A - 吸着テーブル - Google Patents

Abstract

【課題】 構成の複雑化を招くことなく、表示パネルに局部的に強い応力を作用させることなく該表示パネルをその受け渡し時に吸着面上で昇降させることができる吸着テーブルを提供する。
【解決手段】 吸着テーブルは、表示パネルを保持する吸着テーブルであって、負圧開口が開放する吸着面を有する支持台と、吸着面を横切って配置される複数の昇降バーと、昇降バーを吸着面から突出することなく支持台内に収容すべく吸着面に互いに並行して設けられる複数の凹所と、複数の凹所が開放する支持台の側部で昇降バーを昇降可能に支持する支持機構と、昇降バーを凹所から突出する上昇位置と、凹所に収容される下降位置との間で昇降すべく支持機構に関連して設けられる昇降装置とを含む。支持機構は、昇降バーを両端で支持するための支柱と、該支柱に支持されたガイドピンと、該ガイドピンの貫通を許すべく昇降バーに設けられたスロットとを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶表示パネルや有機発光パネルのような表示板の保持に適した吸着テーブルに関する。

ガラス基板上に電気回路が形成された液晶表示パネルのような表示板は、例えば製造工程中に、プローバを用いて電気的検査を受ける。この試験では、一般的に、プローバに組み込まれた吸着テーブル上に負圧を利用して被検査体である液晶表示パネルが保持される。

検査を受けた被検査体を吸着テーブルから安全かつ迅速に取り外すために、吸着テーブルには、その吸着面から被検査体を浮き上がらせる複数の昇降ピンが吸着面から突出可能に設けられている（例えば、特許文献１参照）。

突出位置にある昇降ピンは、吸着面の上方で搬送ロボットから被検査体を受け取ると、吸着面下に下降する。この昇降ピンの下降によって前記吸着面上に被検査体が移動すると、吸着テーブルに組み込まれた負圧機構によって前記吸着面に負圧が作用する。前記被検査体が検査を受ける間、該被検査体が前記負圧によって確実に前記吸着面に保持される。検査後、昇降ピンの上昇に伴い、被検査体が吸着面から持ち上げられる。前記昇降ピンによって吸着面から持ち上げられた前記被検査体は、吸着面と被検査体との間に作用する静電気の強い影響を受けることなく、搬送ロボットによって吸着テーブルから除去される。

しかし、前記した昇降ピンと被検査体との接触面積が小さいことから、被検被検査体の大型化による重量増加に伴い、被検査体が昇降ピンとの接触部で受ける局所的な応力は大きくなる。このガラス基板を含む被検査体の局所的な応力の集中は、被検査体に大きな歪力を与えることから望ましいものではない。

そこで、多数の互いに間隔をおいて平行に配置される固定保持部材と、各固定部材間で該固定部材に関して昇降可能に配置される多数の帯状の昇降部材とで吸着面を構成し、該吸着面への被検査体の受け渡し時に前記昇降部材を前記固定保持部材に関して降下させることが提案された（例えば、特許文献２参照）。

特許文献２に記載の装置によれば、前記昇降部材は、その上昇位置で前記固定保持部材と共同して平坦な吸着面を構成する。吸着面とロボットアームとの被検査体の受け渡し時には、多数の帯状の前記昇降部材が降下することにより形成される空間にロボットアームが挿入可能であることから、ロボットアームと吸着面とが干渉することなく、しかも互いに平行に配置された複数の固定保持部材が広い帯状面積で被検査体を支持することから、被検査体に強い局部的な応力を作用させることなく好適に被検査体を取り扱うことができる。

しかしながら、特許文献２に記載の装置では、被検査体を吸着保持するための負圧を作用させる吸着面は、多数の固定保持部材と、該固定保持部材間でそれぞれ昇降可能な昇降部材とで構成される。そのため、吸着面を形成する支持台の構成が複雑化すると共に、多数の昇降部材を同時的に昇降させる機構を支持台の内部に設置する必要が生じ、支持台の構成が複雑化することから、吸着装置の構成が複雑化して高価になるという欠点があった。

特開２００２−２４６４５０号公報 特開２０１１−２９５６５号公報

よって、本発明の目的は、構成の複雑化を招くことなく、被検査体である表示パネルに局部的に強い応力を作用させることなく該表示パネルをその受け渡し時に吸着面上で昇降させることができる吸着テーブルを提供することにある。

本発明は、表示パネルを保持する吸着テーブルであって、負圧開口が開放する吸着面を有する支持台と、前記吸着面を横切って配置される複数の昇降バーと、前記昇降バーを前記吸着面から突出することなく前記支持台内に収容すべく前記吸着面に互いに並行して設けられる複数の凹所と、前記複数の凹所が開放する前記支持台の側部で前記昇降バーを昇降可能に支持する支持機構と、前記昇降バーを前記凹所から突出する上昇位置と、前記凹所に収容される下降位置との間で昇降すべく前記支持機構に関連して設けられる昇降装置とを含み、前記支持機構は、前記昇降バーを該昇降バーの両端部で支持するための一対の支柱と、該支柱及び前記昇降バーのいずれか一方に支持されたガイドピンと、該ガイドピンの貫通を許すべく前記支柱及び前記昇降バーの他方に設けられたスロットとを備える。

本発明に係る前記吸着テーブルでは、前記支持台に前記昇降バーを収容するための前記凹所が前記支持台の前記吸着面を横切って形成されている。前記凹所に収容可能な前記昇降バーは、前記支持台の側部に設けられた前記支持機構によって、前記凹所に収容される後退位置と前記吸着面から突出する突出位置との間で昇降する。したがって、前記支持台を従来のように多数の固定部材及び可動部材の集合体として形成する必要はなく、また前記吸着テーブルへの前記表示パネルの受け渡しのために該表示パネルを複数の前記昇降バーで前記吸着面上を昇降させることができるので、前記吸着テーブルの構成の複雑化を招くことなく、大型の表示パネルであっても該表示パネルに局部的に強い応力が作用することを防止することができる。

前記一対の支柱又は前記昇降バーの両端部にそれぞれ設けられた一対のスロットの少なくとも一方を前記昇降バーの長手方向に沿って伸長する細長いスロットとすることができる。この細長いスロットにより、前記昇降バーの長手方向への傾斜が許されることから、該昇降バーの両端部での昇降動作のずれを補償することができる。

前記スロットを前記昇降バーに設けることができ、前記スロットは、前記昇降バーをその厚さ方向に貫通させかつ該昇降バーの長手方向に沿って伸長させることができる。

前記支持機構に、前記ガイドピンに関連して対応する前記昇降バーに該昇降バーの長手方向外方へ向けての張力を付与するばね部材を設けることができる。このばね部材の張力により、前記昇降バーの撓みを抑制することができる。

前記昇降バーに、該昇降バーの前記スロットが設けられた位置よりも内方に位置する端部近傍に前記ガイドピンと平行な対応する係止ピンを設け、前記ばね部材として、前記ガイドピンとこれに対応する前記係止ピンとに両端を係止された引張りコイルばねを用いることができる。

前記昇降バーに作用する衝撃を緩和する衝撃緩和機構を前記支持機構に設けることができる。この衝撃緩和機構により、例えばロボットアームとの間で前記表示パネルを受け渡しするとき、該表示パネルに衝撃が作用することを避けるためにロボットアームの作動を従来のように著しく減速させる必要はない。そのため、ロボットアームの緩慢な動きを不要とすることができるので、タクトタイムの低減を図ることができる。

前記衝撃緩和機構は、前記支持台に支持され、前記昇降バーを上下方向に案内可能に受け入れる案内溝が頂部に形成された支柱と、前記案内溝の底部と前記昇降バーとの間に配置された圧縮コイルスプリングとで構成することができる。

前記昇降バーには、前記圧縮コイルスプリングの端部に当接して該コイルスプリングの圧縮量を調整するための調整ねじを設けることができる。この調整ねじによる圧縮量の調整によって、取り扱われる前記表示パネルの大きさすなわち重量の変化に応じて前記圧縮コイルスプリングの変位量がほぼ一定となるように該圧縮コイルスプリングのばね力を適正に調整することができる。

各支柱には、該支柱の長さ方向寸法の調整を可能とする高さ調整機構を設けることができる。各支柱に設けられた各高さ調整機構は、前記昇降バー毎で該昇降バーの傾斜及び高さ位置の調整を可能とする。

前記支持機構には、前記支持台の両側で該支持台に沿って配置される一対の梁部材を設けることができる。該一対の梁部材は、上下方向に移動可能に前記支持台に支持され、前記昇降装置の作動によって上下方向に移動可能とすることができる。この場合、各梁部材に、前記支柱を介して対応する前記昇降バーの端部が支持することができる。

また、前記梁部材と各支柱との間に、該支柱の高さ位置を調整するための前記高さ調整機構が設けられる。

各昇降バーに、該昇降バー上の前記表示パネルの縁に当接して該表示パネルの脱落を防止する肩部を形成することができる。この肩部のストッパ機能により、前記表示パネルの前記昇降バーからの不意の脱落を確実に防止することができる。

また、前記肩部に関連して、前記昇降バーの上面に、前記肩部に近接して、前記昇降バー上の前記被検体の傾きによる該被検査体の縁と前記上面との干渉を防止するための逃げ溝を設けることができる。これにより、前記被検査体を前記昇降バー上に配置しあるいは該昇降バー上から除去する際に前記被検査体が前記昇降バーに関して傾斜しても、該被検査体の縁と前記昇降バーの上面との当接を防止することができるので、この当接による被検査体の損傷を防止することができる。

本発明によれば、従来のように多数の固定部材及び可動部材の集合体として支持台を形成する必要はなく、前記支持台を前記昇降バーを収容するための前記凹所を有する一体構成とすることができ、また前記昇降バーを前記支持台の側方に設けられた前記昇降装置で昇降させることができる。したがって、前記吸着テーブルの構成の複雑化を招くことなく、大型の表示パネルであっても該表示パネルに局部的に強い応力を作用させることなく該表示パネルを取り扱うことができる吸着テーブルを比較的安価に提供することができる。

本発明に係る吸着テーブルを搬送ロボットと共に示す斜視図である。 図１に示した吸着テーブルの平面図である。 図１に示した吸着テーブルの側面図である。 図３に示された線IV-IVに沿って得られた断面図である。 図３に示された線V-Vに沿って得られた断面図である。 図３に示された線VI-VIに沿って得られた断面図である。 図３に符号Ａで示しされた丸印で囲む部分を拡大して示す図面である。 図６に示された符号Bで示された矢印方向へ見た支柱の高さ調整機構の正面図である。 図１に示した吸着テーブルの正面図であり、（ａ）は昇降バーが上昇位置にある状態を示し、（ｂ）は昇降バーが下降位置にある状態を示す。 本発明に係る他の実施形態をその一部を破断して示す斜視図である。 本発明に係るさらに他の実施形態を示す斜視図である。

本発明に係る吸着テーブル１０は、図１に示されているように、液晶パネルや有機発光パネルのような表示板１２を検査するためのプローバ（図示せず）に組み込まれて使用される。図１には、搬送ロボット１４との間で被検査体１２を受け渡しする例が示されている。

搬送ロボット１４は、従来よく知られているように、ベース１６上を吸着テーブル１０へ向けて及びこれから離れる方向へ移動可能の可動台１８と、該可動台上に設置された支柱２０に同軸的に支持され、軸線の周りに回転動作し、また前記軸線に沿って支柱２０に関して伸縮動作する軸部材２２とを備える。この回転及び伸縮動作が可能な軸部材２２には、従来よく知られているように、被検査体１２を載せるためのフォーク状のロボットアーム２４が固着されている。

搬送ロボット１４は、例えば図示しないカセットから該カセットに収容された表示板すなわち被検査体１２をロボットアーム２４上に受け取ると、軸部材２２を伸長させた状態でロボットアーム２４を吸着テーブル１０上に向けて移動すべく、可動台１８を作動させる。その後、軸部材２２が収縮動作され、被検査体１２が吸着テーブル１０に移されると、この収縮状態でロボットアーム２４が吸着テーブル１０から離れるように可動台１８が作動される。

また、吸着テーブル１０上の被検査体１２の電気的あるいは視覚的な検査が終了すると、搬送ロボット１４は、軸部材２２を収縮させた状態でロボットアーム２４が吸着テーブル１０上の被検査体１２の下に挿入されるように、可動台１８を吸着テーブル１０へ向けて作動させる。その後、軸部材２２が伸長動作されることにより、吸着テーブル１０上の被検査体１２がロボットアーム２４上に移されると、搬送ロボット１４は、この伸長状態でロボットアーム２４が吸着テーブル１０から離れるように、可動台１８を作動させる。この搬送ロボット１４の動作によって、被検査体１２が吸着テーブル１０から搬送ロボット１４を経て前記カセットに移される。

搬送ロボット１４との間で搬送ロボット１４を受け渡しする吸着テーブル１０は、吸着面２６ａを有する支持台２６を備える。吸着テーブル１０の支持台２６は、図１に示される例では、従来よく知られたＸＹＺθステージ２８上に載置されている。したがって、支持台２６は、従来におけると同様に垂直軸であるZ軸の周りに回転可能であり、またZ軸に直角なＸＹ面上でそれぞれＸ軸及びＹ軸に沿って移動可能である。

吸着テーブル１０は、その支持台２６の吸着面２６ａで、搬送ロボット１４からの被検査体１２を保持する。この吸着面２６ａは、図１及び図２に示す例では、ＸＹ面上で長辺及び短辺を有する矩形形状を有する。また、図２に明確に示されているように、吸着面２６ａには、その長辺に沿って伸長し、支持台２６の両側に両端が開放する従来よく知られた複数の細溝３０ａが形成されており、また吸着面２６ａ上で矩形を描く負圧溝３０ｂが形成されている。

負圧溝３０ｂには、従来よく知られているように、吸着面２６ａに被検査体１２を保持するとき、該被検査体を吸着するための負圧が負圧源（図示せず）から導入される。細溝３０ａは、帯電防止用の溝である。細溝３０ａは、被検査体１２を吸着面２６ａから離反させるとき、従来よく知られているように、被検査体１２と吸着面２６ａとの間に空気を案内することにより、両者１２、２６ａ間に生じる空気流を弱め、これにより、この空気流によって被検査体１２に導入される静電気の発生を抑制する。

さらに、吸着面２６ａには、図２に示すように、その長辺に沿って直線状に伸長する複数の凹所３２が形成されている。各凹所３２は、図３に明確に示されているように、支持台２６の両側に達し、該両側で開放する。また、各凹所３２に対応して、吸着面２６ａをその長辺方向に横切る昇降バー３４が設けられている。凹所３２は、対応する昇降バー３４を収容するに十分な幅寸法を有し、また収容した昇降バー３４の上面が吸着面２６ａに一致する深さ寸法を有する。

図２及び図３に示すように、支持台２６の両側には、昇降バー３４の支持機構３６及び昇降装置３８がそれぞれ配置されている。支持機構３６は、図２及び図３に示されているように、支持台２６の側方で該支持台に沿ってほぼ水平に配置された梁部材４０と、該梁部材をＺ軸に沿って垂直方向に案内する複数のガイド装置４２（図３参照）とを備える。

各ガイド装置４２は、図４に明確に示されているように、支持台２６から下方に伸長するように該支持台に固定された取付板４４と、該取付板に取り付けられており、垂直方向に伸びるガイドレール４６と、梁部材４０に固定され、ガイドレール４６によって垂直方向に案内されるスライド部材４８とを備える。ガイドレール４６の両端には、スライド部材４８に当接してその移動範囲を拘束するストッパ４６ａ、４６ａが設けられている。

したがって、支持台２６の両側に配置された一対の梁部材４０は、各ガイド装置４２により、支持台２６の両側で、両ストッパ４６ａ、４６ａ間で垂直方向へ移動可能に支持台２６に保持されている。

昇降装置３８は、一対の梁部材４０を両ストッパ４６ａ、４６ａ間で昇降させるべく、支持台２６の両側に設けられている。昇降装置３８は、図３及び図５に示す例では、支持台２６に取付板５０を介して固定されたシリンダ本体３８ａと、該シリンダ本体から突出するピストンロッド３８ｂとを備える流体シリンダ装置３８から成る。シリンダ装置３８は、空気圧あるいは油圧で作動する。シリンダ装置３８は、その軸線を垂直方向に沿って配置されており、ピストンロッド３８ｂの先端が梁部材４０に固定された結合部材５２に固定されている。

したがって、支持台２６の両側に配置された一対の流体シリンダ装置３８を同期的に作動させることにより、支持台２６の両側で該支持台に沿って配置された一対の梁部材４０を同期的に昇降することができる。

前記支持機構３６は、さらに、図３に示すように、各昇降バー３４を対応する梁部材４０に結合する支柱５４を備える。各支柱５４の上端部には、図６及び図７に示すように、衝撃緩和機構５６が設けられており、各昇降バー３４の端部は、各衝撃緩和機構５６を介して対応する支柱５４の上端部に弾性的に結合されている。

各衝撃緩和機構５６は、支柱５４の上端に開放して対応する梁部材４０の端部を遊びを以て受け入れる凹部５８と、梁部材４０を横切って形成され、該梁部材の端部をほぼ水平方向に貫通するスロット６０と、該スロット内を貫通し両端が凹部５８の垂直壁５８ａに支持されるガイドピン６２と、梁部材４０の端部と凹部５８の底壁５８ｂとの間に配置された圧縮コイルスプリング６４とを備える。

圧縮コイルスプリング６４の下端は、凹部５８の底壁５８ｂに設けられた穴６６に受け入れられ、圧縮コイルスプリング６４の上端はすりわり付きの止めねじ部材６８に当接する。止めねじ部材６８は、梁部材４０の端部で該梁部材の上方から梁部材４０に螺合し、下端を梁部材４０の下面から突出させる。圧縮コイルスプリング６４は、このすりわり付きの止めねじ部材６８の下端に当接することにより、梁部材４０及び底壁５８ｂ間に位置決められている。またスロット６０は、圧縮コイルスプリング６４の圧縮変形を伴う梁部材４０の上下方向への移動を許すべく、上下（Ｚ軸）方向に伸長する。したがって、圧縮コイルスプリング６４のばね力によって、梁部材４０の各端部は重力方向へ作用する外力に対して支柱５４に弾性支持されている。

スロット６０と該スロットに受け入れられたガイドピン６２との干渉によって昇降バー３４及び凹部５８の底壁５８ｂ間の距離が規制されていることから、止めねじ部材６８の上端からの回転操作によって圧縮コイルスプリング６４を圧縮するこことができ、これにより、圧縮コイルスプリング６４のばね力を調整することができる。その結果、止めねじ部材６８は、圧縮コイルスプリング６４の圧縮量を調整する調整ねじとして機能する。

また、各昇降バー３４の端部には、図６に示すように、昇降バー３４の上面３４ａに被検査体１２が載ったとき、該被検査体の縁に当接して被検査体１２が昇降バー３４の端部からはみ出すことを防止する肩部３４ｂが形成されている。さらに、昇降バー３４の上面３４ａの肩部３４ｂに近接する領域には、被検査体１２の昇降バー３４上での傾きによって被検査体１２の縁部が昇降バー３４の上面３４ａに当接することを防止するための凹状の逃げ溝７０が形成されている。

各支柱５４は、その下部に設けられた高さ調整機構７２を介して対応する梁部材４０に支持されている。各高さ調整機構７２は、図６及び図８に示されているように、各支柱５４の下部に固定ねじ７４で固定されたアンカ部材７６と、該支持台を対応する梁部材４０に解除可能に結合する締結具７８と、締結具７８を緩めた状態で梁部材４０に対するアンカ部材７６の高さ位置を調整するためのすりわり付きの止めねじ８０とを備える。

アンカ部材７６には、締結具７８の挿通を許すべくアンカ部材７６を梁部材４０へ向けて貫通する一対のスロット８２が形成されている。スロット８２は、図６に明確に示されているように、対応する締結具７８を上下方向に遊びを以て受け入れるべく、アンカ部材７６を上下方向に伸長する。各スロット８２を貫通する締結具７８は、先端が梁部材４０に形成されたねじ穴８４に螺合するボルト部材からなる。したがって、ボルト部材７８を緩めた状態では、アンカ部材７６及び該支持台に下端が固定された支柱５４の高さ位置をスロット８２の上下方向の長さ寸法の範囲で調整することができる。

このアンカ部材７６の高さ位置すなわち支柱５４の高さ位置の調整を容易とすべく、止めねじ８０は、梁部材４０に固定されたねじ台８６のねじ穴８６ａから上端を突出可能に螺合する。ねじ穴８６ａはねじ台８６を上下方向に貫通し、該ねじ穴から突出する止めねじ８０の上端は、アンカ部材７６の底面に当接する。

したがって、前記したようにボルト７８を緩めた状態で、止めねじ８０を回転操作することによって、該止めねじの上端でアンカ部材７６を例えば押し上げることができ、これにより支柱５４の高さ位置をスロット８２の前記長さ寸法の範囲で調整することができる。この止めねじ８０による高さ位置の調整後、ボルト７８でアンカ部材７６を梁部材４０に締め付けることにより、各支柱５４の高さ調整作業が終了する。

この支柱５４の高さ位置の調整により、各支柱５４に端部を支持された梁部材４０の傾斜や高さ位置のばらつきを修正することができ、梁部材４０の上面３４ａを支持台２６の吸着面２６ａに平行な仮想平面に一致させることができる。

前記したアンカ部材７６を支柱５４と一体に形成することができる。また高さ調整機構７２を不要とすることができる。

一対の流体シリンダ装置３８は、図９（ａ）に示すように、すべての昇降バー３４が支持台２６の吸着面２６ａの凹所３２から突出して吸着面２６ａの上方に位置する上昇位置と、図９（ｂ）に示すように、昇降バー３４が凹所３２に収容されてその上面３４ａが吸着面２６ａ以下にある下降位置との間ですべての昇降バー３４を同期的作動させるべく、同期して作動される。

図９（ａ）に示す上昇位置で、前記したように、搬送ロボット１４のロボットアーム２４上の被検査体１２が昇降バー３４上に移される。このとき、搬送ロボット１４の軸部材２２の収縮動作によるロボットアーム２４の下降動作に伴って被検査体１２の重量に応じた衝撃が昇降バー３４に作用する。しかしながら、被検査体１２が昇降バー３４に移されるとき、各昇降バー３４と支柱５４との間に設けられた衝撃緩和機構５６の弾性支持作用により、被検査体１２が衝撃を受けることはない。

また、衝撃緩和機構５６が設けられていることから、前記したロボットアーム２４の下降動作を従来のように減速することなく、被検査体１２に作用する衝撃を防止することができるので、ロボットアーム２４の緩慢な動きを不要とし、タクトタイムの短縮化を図ることができる。

衝撃緩和機構５６は、前記したように、取り扱う被検査体１２の重量の増減に応じた止めねじ部材６８の回転操作によって、被検査体１２の重量の増減に拘わらず、被検査体１２の重量による圧縮コイルスプリング６４の変形量をほぼ一定に保持することができる。したがって、被検査体１２の重量に応じた止めねじ部材６８の回転操作により、衝撃緩和機構５６によって衝撃を効果的に吸収することができる。

ロボットアーム２４から各昇降バー３４に被検査体１２が移るとき、該被検査体がたとえ昇降バー３４の長手方向に関して傾斜を生じても、各昇降バー３４の両端部には、肩部３４ｂに近接して逃げ溝７０が形成されているので、被検査体１２の下方に傾く縁が昇降バー３４の上面３４ａに当接することはない。これにより、被検査体１２は昇降バー３４との当接による損傷を受けることなく該昇降バーに移され、昇降バー３４上に移された被検査体１２は昇降バー３４の肩部３４ｂにより、昇降バー３４からの脱落を確実に防止される。

被検査体１２が昇降バー３４上に移され、ロボットアーム２４が支持台２６上から後退すると、一対の流体シリンダ装置３８は、同期的に収縮動作し、これにより昇降バー３４は、図９（ｂ）に示した下降位置に保持される。

昇降バー３４が下降位置に移動すると、前記したように、負圧溝３０ｂに作用する負圧によって被検査体１２が確実に支持台２６に保持され、被検査体１２が所定の検査を受ける。

被検査体１２の前記検査が終了すると、一対の流体シリンダ装置３８の作動により、昇降バー３４が図９（ａ）に示した上昇位置へ向けて移動する。この流体シリンダ装置３８に伴い、支持台２６上の被検査体１２が昇降バー３４によって支持台２６の吸着面２６ａから浮上しようとするとき、前記したように細溝３０ａの空気案内作用により、被検査体１２での静電気の発生が抑制される。

上昇位置にある昇降バー３４上の検査済の被検査体１２は、搬送ロボット１４のロボットアーム２４が昇降バー３４間に挿入された状態で軸部材２２が伸長動作されることにより、ロボットアーム２４に移され、その後搬送ロボット１４によって前記カセットに戻される。

本発明に係る吸着テーブル１０によれば、昇降バー３４を収容するための凹所３２を支持台２６に形成し、昇降バー３４を支持台２６の側方に設けられた昇降装置３８で昇降させることができる。したがって、吸着テーブル１０の構成の複雑化を招くことなく、大型の表示パネル１２であっても該表示パネルに局部的に強い応力を作用させることなく該表示パネルを取り扱うことができる吸着テーブル１０を比較的安価に提供することができる。

前記したところでは、凹所３２を吸着面２６ａの長辺に平行に形成した例を示したが、これに代えて、凹所３２が吸着面２６ａの長辺と角度的に伸長するように、複数の凹所３２を並行に形成することができる。

また、この凹所３２の深さ寸法を昇降バー３４の高さ寸法よりも大きくして昇降バー３４の下降位置で該昇降バーの上面を吸着面２６ａ下に設定することができる。

昇降装置３８には、前記した流体シリンダ装置に代えて、電動モータ及びラックピニオンあるいはリニアモータ等の種々の昇降装置を適宜用いることができる。

図１０に示すように、支柱５４に支持される円形横断面を有するガイドピン６２を受け入れるべく、被検査体１２を受ける昇降バー３４の両端部に設けられるスロット６０を昇降バーの長手（Ｘ軸）方向に伸長する横方向に細長いスロットとすることができる。この場合、衝撃緩和機構５６の圧縮コイルスプリング６４は、機能しないことから設けられない。横方向に伸長する細長いスロット６０は、昇降バー３４の傾斜を許すことにより、昇降バー３４の両端側に設けられる一対の昇降装置３８間の同期のずれを補償する。

昇降バー３４の両端部に設けられる一対のスロット６０を横方向に伸長する前記した横方向に細長いスロットとすることに代えて、一対のスロット６０の一方を前記した横方向に細長いスロットとし、他方をガイドピン６２を受け入れる円形横断面を有するスロットとすることができる。これによっても、昇降バー３４の傾斜が可能となることから、一対の昇降装置３８間の同期のずれを補償することができる。

図１１に示すように、ガイドピン６２の両端を支柱５４の外方に突出させることができる。また、各昇降バー３４の前記した長手方向に伸長するスロット６０の位置よりも昇降バー３４の内方位置で近傍のガイドピン６２と平行な係止ピン８８を昇降バー３４の両側に設け、対応するガイドピン６２及び係止ピン８８間に引張り力を及ぼす一対のばね部材９０を昇降バー３４の両側に配置することができる。図１１に示す例では、各ばね部材９０は、引張りコイルばねからなる。

対応するガイドピン６２及び係止ピン８８に両端を係止された一対の引張りコイルばね９０は、昇降バー３４にその長手方向外方へ向けての張力を付与する。この張力によって昇降バー３４の撓み変形が抑制される。したがって、軽量化のために昇降バー３４を比較的剛性の低いアルミニゥムの平角棒で形成した場合、引張りコイルばね９０の張力によって昇降バー３４の撓みを抑制し、該昇降バー上の被検査体の撓みを効果的に防止することができる。昇降バー３が剛性の高剛性のＣＦＲＰ材で形成される場合、引張りコイルばね９０を不要とすることができる。

さらに、図１０及び１１には、ガイドピン６２を支柱５４に設け、ガイドピン６２を受け入れる横方向に細長いスロット６０を昇降バー３４に設けた例を示したが、これに代えてガイドピン６２を昇降バー３４に設けまた横方向に細長いスロット６０を支柱５４に設けることができる。

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。

１０ 吸着テーブル
１２ 被検査体（表示パネル）
２６ 支持台
２６ａ 吸着面
３２ 凹所
３４ 昇降バー
３６ 支持機構
３８ 昇降装置
４０ 梁部材
５４ 支柱
５６ 衝撃緩和機構
５８ 支柱の凹部
５８ｂ 凹部の底壁
６０ スロット
６２ ガイドピン
６４ 圧縮コイルスプリング
６８ 止めねじ部材（調整ねじ）
７０ 逃げ溝
７２ 高さ調整機構
８８ 係止ピン
９０ ばね部材（引張りコイルばね）

Claims (5)

1. 表示パネルを保持する吸着テーブルであって、
   負圧開口が開放する吸着面を有する支持台と、
   前記吸着面を横切って配置される複数の昇降バーと、
   前記昇降バーを前記吸着面から突出することなく前記支持台内に収容すべく前記吸着面に互いに並行して設けられる複数の凹所と、
   前記複数の凹所が開放する前記支持台の側部で前記昇降バーを昇降可能に支持する支持機構と、
   前記昇降バーを前記凹所から突出する上昇位置と、前記凹所に収容される下降位置との間で昇降すべく前記支持機構に関連して設けられる昇降装置とを含み、
   前記支持機構は、前記昇降バーを該昇降バーの両端部で支持するための一対の支柱と、該支柱及び前記昇降バーのいずれか一方に支持されたガイドピンと、該ガイドピンの貫通を許すべく前記支柱及び前記昇降バーの他方に設けられたスロットとを備える、吸着テーブル。
2. 前記一対の支柱又は前記昇降バーの両端部にそれぞれ設けられた一対のスロットの少なくとも一方は前記昇降バーの長手方向に沿って伸長する細長いスロットである、請求項１に記載の吸着テーブル。
3. 前記スロットは、前記昇降バーに設けられ、該昇降バーをその厚さ方向に貫通しかつ該昇降バーの長手方向に沿って伸長する、請求項２に記載の吸着テーブル。
4. 前記支持機構には、前記ガイドピンに関連して対応する前記昇降バーに該昇降バーの長手方向外方へ向けての張力を付与するばね部材が設けられている、請求項３に記載の吸着テーブル。
5. 前記昇降バーには、該昇降バーの前記スロットが設けられた位置よりも内方に位置する端部近傍に前記ガイドピンと平行な対応する係止ピンが設けられ、前記ばね部材は前記ガイドピンとこれに対応する前記係止ピンとに両端を係止された引張りコイルばねから成る、請求項４に記載の吸着テーブル。

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