KR20030072173A - 액정표시소자용 합착 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시소자의 진공 합착을 위한 공정에서 진공 챔버 내부를 진공 상태로 이루기 위한 작업시 기판을 임시로 받쳐주는 과정 중 기판의 특정 부위 처짐을 방지할 수 있도록 하고, 전체적인 기판의 받침 형상이 안정적으로 이루어지도록 하며, 여타의 장비 동작에 대한 간섭이 없도록 형성한 액정표시소자용 진공 합착 장치의 기판 받침수단에 관한 것이다.

이를 위해 본 발명은 기판간 합착 공정이 수행되는 진공 챔버와; 제2기판을 고정하는 상부 스테이지 및 제1기판을 고정하는 하부 스테이지와; 상기 진공 챔버의 내부에 설치되고, 각 기판의 반입/반출 방향을 따라 이동하며, 상기 제2기판의 저면을 받쳐주는 기판 받침 수단:을 포함하여 구성된 액정표시소자용 진공 합착 장치를 제공한다.

Description

액정표시소자용 합착 장치{bonding device for liquid crystal display}

본 발명은 제조 장비에 관한 것으로, 특히, 대면적의 액정표시소자에 유리한 액정 적하 방식을 적용한 액정표시소자의 제조 장비에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.

상기와 같은 액정표시소자의 제조 방법으로는 한쪽의 기판상에 주입구가 형성되도록 밀봉제를 패턴 묘화하여 진공 중에서 기판을 접합한 후에 밀봉제의 주입구를 통해 액정을 주입하는 통상적인 액정 주입 방식과, 일본국 특개평11-089612 및 특개평 11-172903호 공보에서 제안된 액정을 적하한 기판과 다른 하나의 기판을 준비하고, 진공 중에서 상하의 기판을 근접시켜 접합하는 액정 적하 방식 등으로 크게 구분할 수 있다.

이 때, 상기한 각각의 방식 중 액정 적하 방식은 액정 주입 방식에 비해 많은 공정(예컨대, 액정 주입구의 형성, 액정의 주입, 액정 주입구의 밀봉 등을 위한 각각의 공정)을 단축하여 수행함에 따라 상기 추가되는 공정을 따른 각각의 장비를 더 필요로 하지 않는다는 장점을 가진다.

이에 최근에는 상기한 액정 적하 방식을 이용하기 위한 각종 장비의 연구가 이루어지고 있다.

도시한 도 1 내지 도 3은 상기한 바와 같은 종래의 액정 적하 방식을 적용한 기판의 조립장치를 나타내고 있다.

즉, 종래의 기판 조립장치는 외관을 이루는 프레임(10)과, 스테이지부(21,22)와, 밀봉제 토출부(도시는 생략함) 및 액정 적하부(30)와, 챔버부(31,32)와, 챔버 이동수단과, 받아멈춤 수단 그리고, 스테이지 이동수단으로 크게 구성된다.

이 때, 상기 스테이지부는 상부 스테이지(21)와 하부 스테이지(22)로 각각구분되고, 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)는 상기 프레임의 합착 공정이 이루어지는 위치의 측부에 장착되며, 상기 챔버부는 상부 챔버 유닛(31)과 하부 챔버 유닛(32)으로 각각 합체 가능하게 구분된다.

이와 함께, 상기 챔버 이동수단은 하부 챔버 유닛(32)를 상기 합착 공정이 이루어지는 위치 혹은, 밀봉제의 토출 및 액정의 적하가 이루어지는 위치에 선택적으로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터(40)로 구성되며, 상기 스테이지 이동수단은 상기 상부 스테이지(21)를 선택적으로 상부 혹은, 하부로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터(50)로 구성된다.

그리고, 상기 받아멈춤 수단은 상부 스테이지(21)에 부착 고정되는 기판(52)의 양 대각위치에서 상기 챔버부 내부의 진공시 상기 기판을 임시로 받쳐주는 역할을 수행하게 된다.

이 때, 상기 받아멈춤 수단은 상부 챔버 유닛(31)의 외측으로부터 상기 상부 챔버 유닛(31)의 내측으로 관통한 상태로써 회전 가능하게 장착된 회전축(61)과, 상기 회전축의 일단인 상기 상부 챔버 유닛(31)의 외측에 고정 설치되어 상기 회전축(61)을 선택적으로 회전시키도록 구동하는 회전 액츄에이터(63) 및 상기 회전축을 선택적으로 승강시키는 승강 액츄에이터(64)와, 상기 회전축의 타단에 일체화되어 선택적으로 기판의 모서리를 받치는 받침판(62)으로 구성된다.

이하, 상기한 종래의 기판 조립장치를 이용한 액정표시소자의 제조 과정을 그 공정 순서에 의거하여 보다 구체적으로 설명하면 하기와 같다.

우선, 상부 스테이지(21)에는 어느 하나의 기판(이하, “제2기판”이라함)(52)이 로딩된 상태로 부착 고정되고, 하부 스테이지(22)에는 다른 하나의 기판(이하, “제1기판”이라 함)(51)이 로딩된 상태로 부착 고정된다.

이 상태에서 상기 하부 스테이지(22)를 가지는 하부 챔버 유닛(32)는 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 1과 같이 밀봉제 도포 및 액정 적하를 위한 공정 위치 상으로 이동된다.

그리고, 상기 상태에서 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)에 의한 제1기판에의 밀봉제 도포 및 액정 적하가 완료되면 다시 상기 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 2와 같이 기판간 합착을 위한 공정 위치 상으로 이동하게 된다.

이후, 챔버 이동수단(40)에 의한 각 챔버 유닛(31,32)간 합착이 이루어져 각 스테이지(21,22)가 위치된 공간이 밀폐되고, 받아멈춤 수단을 구성하는 승강 액츄에이터(64)가 구동하면서 회전축을 하향(상부 스테이지의 하측을 향하여) 이동시킴과 더불어 회전 액츄에이터(63)가 구동하면서 상기 회전축(61)을 회전시켜 받침판(62)을 상부 스테이지(21)에 부착 고정된 제2기판(52)의 두 모서리에 위치시키게 된다.

이 상태에서 스테이지 이동수단은 상부 스테이지를 하향 이동시킴과 더불어 상기 받아멈춤 수단을 구성하는 받침판(62)이 위치된 높이까지 근접시킨 후 제2기판(52)을 고정하던 흡착력을 해제하여 도시한 도 3과 같이 상기 제2기판을 상기 받아멈춤 수단의 각 받침판(62)에 얹게 된다.

이는, 챔버부 내부가 진공 상태를 이룰 경우 제2기판(52)을 고정시키기 위해 부여하고 있는 상부 스테이지(21)의 진공 흡착력에 비해 상기 챔버부 내부의 진공도가 커짐으로써 상기 제2기판(52)의 낙하에 따른 파손이 발생될 수 있기 때문에 챔버부 내부가 완전히 진공 상태를 이루기전에 임시적으로 상기 제2기판(52)을 보관할 수 있도록 하기 위한 과정이다.

이와 함께, 도시하지 않은 별도의 진공 수단을 이용하여 챔버부 내부를 완전히 진공 상태를 이루도록 하고, 상기 챔버부 내부가 완전한 진공 상태를 이루게 되면 상부 스테이지(21)에 정전력을 인가하여 상기 제2기판(52)을 부착 고정함과 더불어 받아멈춤 수단의 회전 액츄에이터(63) 및 승강 액츄에이터(64)를 구동하여 받침판(62) 및 회전축(61)을 원위치(합착 공정에 간섭을 주지 않는 위치)로 복귀시킨다.

그리고, 상기한 진공 상태에서 스테이지 이동수단(50)에 의해 상부 스테이지(21)가 하향 이동하면서 상기 상부 스테이지(21)에 부착 고정된 제2기판(52)을 하부 스테이지(22)에 부착 고정된 제1기판(51)에 밀착됨과 더불어 계속적인 가압을 통한 각 기판간 합착을 수행함으로써 액정표시소자의 제조가 완료된다.

그러나 전술한 바와 같은 종래 기판의 조립장치는 다음과 같은 각각의 문제점을 발생시키게 된다.

첫째, 진공 챔버 내부를 진공 시키는 과정에서 상기 진공력에 의해 제2기판이 상부 스테이지로부터 떨어져 파손됨을 방지하기 위한 받아멈춤 수단이 있기는 하지만 이 받아멈춤 수단을 구성하는 받침판의 형상이 상기 제2기판의 두 모서리끝부분만 받쳐줄 수 있도록 형성됨에 따라 상기 제2기판의 중간부위가 하부로 처질 수 있는 문제점을 발생시켰다.

특히, 최근에는 액정표시소자가 점차 대형화되고 있음을 고려할 때 전술한 종래의 받아멈춤 수단의 구성을 상기 대형화된 액정표시소자의 제조 장비에 적용할 경우 대형화된 상태에 반해 그 두께가 상당히 얇기 때문에 상기한 기판의 처짐 정도는 더욱 커지게 됨으로써 기판의 변형에 따른 문제점을 발생시키게 되어 그 적용이 사실상 불가능하여 시급한 보완을 필요로 하고 있다.

둘째, 종래 받아멈춤 수단을 구성하는 받침판의 크기가 제2기판의 전체적인 크기에 비해 상당히 작아 상기 제2기판과 접촉되는 면적이 상당히 좁을 수밖에 없다.

이에 받아멈춤 수단을 구성하는 회전 액츄에이터의 동작 불량에 의해 회전축의 정확한 회전이 이루어지지 않을 경우 받침판과 제2기판간 접촉 면적이 상기 제2기판을 지지할 정도로 충분하지 못하여 상기 제2기판이 떨어질 수 있는 문제점을 가지게 된다.

특히, 대형 액정표시소자의 제조를 위한 기판 합착 장치에 상기한 구성이 적용될 경우 제2기판의 전체 면적에 비해 받침판의 접촉 면적이 비율적으로 더욱 낮음에 따라 그 문제점은 더욱 심화될 수밖에 없다.

셋째, 종래의 기판 조립 장치는 받아 멈춤 수단의 숫자가 제2기판의 전체적인 크기에 비해 적게 구비됨으로써 대형의 기판을 이용한 액정표시소자의 제조 공정에 효과적으로 대응하기 어려운 문제점이 있다.

넷째, 기판의 모델이 변경됨에 따라 기판의 셀(cell)이 형성된 부위가 아닌 다른 부위 즉, 브레이킹되어 제거되는 더미(dummy) 영역이 변하게 되는데, 이에 효과적으로 대응하기 어려운 문제점이 있다.

다섯째, 하부 챔버 유닛과 상부 챔버 유닛간의 합체시 상호간 밀폐가 정확히 이루어지지 않을 경우 그 누설 부위를 통한 공기의 유입으로 인해 합착 공정 도중 각 기판의 손상 및 합착 불량을 유발할 수 있는 문제점이 항상 가지게 된다.

이에 따라 상기한 진공 상태에서의 공기 누설 방지를 위한 부속이 추가로 필요하였음과 더불어 정밀하게 이루어져야만 함에 따른 곤란함이 있다.

본 발명은 상기와 같은 각종 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 액정표시소자의 진공 합착을 위한 공정시 진공 챔버 내부의 진공 상태를 위한 작업 도중 상부 스테이지에 고정된 기판이 하부로 떨어짐을 방지할 수 있도록 임시로 받쳐주는 구성을 받침 대상 기판의 특정 부위 처짐을 방지할 수 있도록 하고, 전체적인 기판의 받침 형상이 안정적으로 이루어지도록 하며, 여타의 장비 동작에 대한 간섭이 없도록 형성한 액정표시소자용 진공 합착 장치의 기판 받침 수단을 제공하는데 그 목적이 있다.

특히, 본 발명은 액정표시소자에 대한 요구가 점차 대형화되어지고 있음을 고려하여 대형 액정표시소자의 제조 공정에도 적합한 구조의 기판 받침 수단을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1 및 도 2 는 종래 액정표시소자의 제조 장비 중 기판 조립장치를 개략적으로 나타낸 구성도

도 3 은 종래 기판 조립장치의 받아멈춤 수단의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 요부 사시도

도 4 는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 받침 수단이 적용된 진공 합착 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 구성도

도 5 는 도 4의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도

도 6 은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 받침 수단이 기판을 받쳐주는 상태를 개략적으로 나타낸 사시도

도 7a 내지 도 7c 는 기판과 리프트 바와의 접촉 상태를 개략적으로 나타낸 요부 단면도

도 8 은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 받침 수단이 적용된 진공 합착 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 구성도

도 9 는 도 8의 다른 형태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 10 은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 받침 수단이 적용된 진공 합착 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 구성도

도 11 은 도 10의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도

도 12 는 본 발명 제3실시예의 다른 형태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 13 은 도 12의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도

도 14 내지 도 17 은 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 받침 수단이 적용된 진공 합착 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 평면도

도 18 은 본 발명의 제5실시예에 따른 기판 받침 수단이 적용된 진공 합착 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 구성도

도 19 는 도 18의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도

도 20 은 본 발명의 제6실시예에 따른 기판 받침 수단이 적용된 진공 합착 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 구성도

도 21 은 도 20의 Ⅴ-Ⅴ선 단면도

도 22 는 본 발명의 제7실시예에 따른 기판 받침 수단이 적용된 진공 합착 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 구성도

도 23 은 본 발명의 제8실시예에 따른 기판 받침 수단이 적용된 진공 합착 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 구성도

도면의 주요 부분에 대한 부호 설명

110. 진공 챔버121. 상부 스테이지

122. 하부 스테이지300. 로더부

411,442,471. 리프트 바412,472. 지지대

413. 나선축414. 구동 모터

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면 기판간 합착 공정이수행되는 진공 챔버와; 제2기판을 고정하는 상부 스테이지 및 제1기판을 고정하는 하부 스테이지와; 상기 진공 챔버의 내부에 설치되고, 각 기판의 반입/반출 방향을 따라 이동하며, 상기 제2기판의 저면을 받쳐주는 기판 받침 수단:을 포함하여 구성된 액정표시소자용 진공 합착 장치가 제공된다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 형태는 기판간 합착 공정이 수행되는 진공 챔버와; 제2기판을 고정하는 상부 스테이지 및 제1기판을 고정하는 하부 스테이지와; 어느 한 스테이지의 측면 인접 부위에 설치되고, 각 기판의 반입/반출 방향과는 수직된 방향을 따라 이동하고, 상기 제2기판의 저면을 받쳐주는 기판 받침 수단:을 포함하여 구성된 액정표시소자용 진공 합착 장치가 제공된다.

이하, 본 발명의 바람직한 각 실시예를 첨부한 도 4 내지 도 23을 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.

우선, 도시한 도 4 내지 도 6은 본 발명 제1실시예에 따른 액정표시소자의 진공 합착 장치에 대한 구성을 개략적으로 나타내고 있다.

즉, 본 발명의 진공 합착 장치는 크게 진공 챔버(110)와, 상부 스테이지(121) 및 하부 스테이지(122)와, 스테이지 이동장치, 진공 장치(200) 그리고, 로더부(300)와, 기판 받침 수단이 포함되어 구성된다.

상기 진공 챔버(110)는 그 내부가 선택적으로 진공 상태 혹은, 대기압 상태를 이루면서 각 기판간 합착 작업이 수행된다. 이 때, 상기 진공 챔버(110)의 일단에는 공기 흡입력이 전달되는 공기 배출관(112)이 연결된다.

상기 상부 스테이지(121) 및 하부 스테이지(122)는 상기 진공 챔버(110) 내의 상측 공간과 하측 공간에 각각 대향 설치된다.

그리고, 상기 각 스테이지는 상기 진공 챔버(110) 내부로 반입된 각 기판(510,520)을 진공 혹은, 정전 흡착하여 고정함과 더불어 이 고정된 각 기판간 합착을 수행하기 위해 선택적으로 이동된다.

이 때, 상기 상부 스테이지(121)는 그 저면에 다수의 정전력을 제공하여 기판의 고정이 가능하도록 최소 하나 이상의 정전척(ESC;Electro Static Chuck)(121a)이 장착된다.

이와 함께 상기 상부 스테이지(121)의 저면에는 진공력을 전달받아 기판을 흡착 고정하는 최소 하나 이상의 진공홀(121b)이 더 포함되어 형성된다.

상기 진공홀(121b)은 상기 상부 스테이지(121)의 저면에 장착된 각 정전척(121a)의 둘레부위를 따라 다수 형성되며, 이 각각의 진공홀(121b)은 상부 스테이지(121)에 연결된 진공 펌프(123)에 의해 발생된 진공력을 전달받을 수 있도록 단일 혹은, 다수의 관로(121c)를 통해 서로 연통되도록 형성한다.

또한, 상기 하부 스테이지(122)의 상면에도 상기한 상부 스테이지(121)와 같이 최소 하나 이상의 정전척(122a)을 장착함과 더불어 이 정전척(122a)의 둘레 부위를 따라 최소 하나 이상의 진공홀(도시는 생략함)을 형성한다.

하지만, 상기 하부 스테이지(122)에 제공되는 정전척(122a) 및 진공홀은 반드시 상기 상부 스테이지(121)와 동일하게 형성하는 것은 아니다. 즉, 상기 정전척 및 진공홀은 작업 대상 기판의 전반적인 형상 또는, 각 액정 도포 영역 등을 고려하여 배치함이 보다 바람직하다.

그리고, 상기 스테이지 이동장치는 상부 스테이지(121)에 연결되어 상하 이동하는 이동축(131)과, 하부 스테이지(122)에 연결되어 좌우 회전하는 회전축(132) 그리고, 진공 챔버(110)의 내측 또는 외측에서 상기 각 스테이지(121,122)와 축결합되어 상기한 각각의 축을 구동하는 구동 모터(133,134)를 가진다.

이 때, 상기 스테이지 이동장치는 단순히 상기 상부 스테이지(121)를 상하로만 이동시키거나, 하부 스테이지(122)를 좌우로만 회전시키도록 구성한 것으로 한정되지는 않는다. 상기 상부 스테이지(121)가 좌우로 회전되거나, 상기 하부 스테이지(122)가 상하로 이동하도록 구성할 수도 있다.

이의 경우 상기 상부 스테이지(121)에는 별도의 회전축(도시는 생략함)을 추가로 설치하여 그 회전이 가능하도록 하고, 상기 하부 스테이지(122)에는 별도의 이동축(도시는 생략함)을 추가로 설치하여 그 상하 이동이 가능하도록 한다.

그리고, 상기 진공 장치(200)는 상기 진공 챔버(110)의 내부가 선택적으로 진공 상태를 이룰 수 있도록 흡입력을 전달하는 역할을 수행하며, 통상의 공기 흡입력을 발생시키기 위해 구동하는 흡입 펌프로 구성하고, 이 진공 장치(200)가 구비된 공간은 진공 챔버(110)의 공기 배출관(112)과 연통하도록 형성한다.

그리고, 상기 로더부(300)는 진공 합착 장치와는 별도의 장비로써 진공 챔버(110)의 외측에 구축되며, 두 개의 아암을 가진다.

상기 어느 하나의 아암(이하, “제1아암”이라 한다)(310)은 액정이 적하된 제1기판(510)을 진공 챔버 내로 반송하는 역할을 수행한다. 그리고, 다른 하나의아암(이하, “제2아암”이라 한다)(320)은 액정이 적하되지 않은 혹은, 씨일재가 도포된 제2기판(520)을 진공 챔버(110) 내로 반송하는 역할을 수행한다.

만일, 어느 한 기판에 액정이 적하됨과 동시에 씨일재가 도포된다면 이 기판을 제1아암(310)이 반송하도록 하고, 다른 한 기판은 제2아암(320)이 반송하도록 설정한다.

또한, 상기한 로더부(300)는 각각의 기판(510,520)이 상기 각 아암(310,320)에 얹혀진 상태로써 진공 챔버(110) 내부로 반송되기 전의 대기 상태에서 상기 제1아암(310)이 제2아암(320)에 비해 상측에 위치되도록 구성된다.

상기 제1아암(310)에 얹혀지는 제1기판(510)이 제2기판(520)의 상측에 위치하는 이유는 상기 제1기판(510)의 상면에 액정이 적하된 상태이기 때문이다.

즉, 상기 제2아암(320)이 제1아암(310)에 비해 상측에 위치될 경우 상기 제2아암(320)의 움직임에 따라 발생되어 비산될 수 있는 각종 이물질이 상기 제1아암(310)에 얹혀있는 제1기판(510)의 액정에 낙하되어 그 손실이 유발되는 문제점이 있다. 이에 따라 상기 제1아암(310)을 제2아암(320)의 상측에 위치시킴이 바람직하다.

그리고, 상기 기판 받침 수단은 상기 진공 챔버(110) 내에서 각 기판의 반입/반출 방향을 따라 이동하면서 선택적으로 상부 스테이지(121)에 고정된 기판(520)을 받쳐주는 역할을 수행하며, 크게 리프팅부와 이동부로 구성된다.

상기 리프팅부는 리프트 바(lift-bar)(411)와, 지지대(412)를 포함하여 구성된다.

이 때, 상기 리프트 바(411)는 제2기판(520)의 폭 방향을 향하여 길게 형성되고, 상부 스테이지(121)에 고정되는 제2기판(520)의 저면을 그 폭 방향으로 받쳐주는 역할을 한다.

상기 리프트 바(411)는 도시한 도 7a와 같이 단순한 바(bar)의 형상으로써 제2기판(520)과 면 접촉을 수행하면서 상기 제2기판을 받쳐주도록 구성할 수 있다.

하지만, 상기 리프트 바(411)의 상면에 상기 제2기판(520)의 저면과 접촉하는 최소 하나 이상의 돌기(411a)를 돌출 형성하여 상기 각 돌기(411a)가 상기 제2기판(520)과 점 접촉을 수행하면서 상기 제2기판(520)을 받쳐주도록 구성할 수도 있다.

이 때, 상기 돌기(411a)는 도시한 도 7b와 같은 형상으로 형성할 수 있고, 도 7c와 같은 형상으로 형성할 수도 있다.

또한, 상기 지지대(412)는 그 일단이 상기 리프트 바(411)의 일단에 결합되고, 그 타단이 이동부에 결합되어 상기 리프트 바(411)를 지지할 수 있도록 한다.

그리고, 상기 리프팅부는 최소 둘 이상 구비하여 각각이 제2기판(520)의 각 부위를 동시에 받쳐주도록 한다. 이로 인해 상기 제2기판(520)의 처짐이 최대한 방지된다.

특히, 상기 각 리프팅부는 제2기판(520)의 각 부위 중 더미 영역이 위치되는 부위를 각각 선택적으로 받쳐줄 수 있도록 하여 셀(cell)이 형성된 부위와의 접촉에 따른 손상 방지 및 제2기판(520)의 휨을 최대한 방지할 수 있도록 한다.

그리고, 상기 이동부는 나선축(413)과 구동모터(414)를 포함하여 구성되며,리프팅부를 수평 이동시키도록 동작한다.

상기 이동부를 나선축(413)과 구동모터(414)로 구성할 경우 도시한 도 4 내지 도 6과 같이 나선축(413)은 진공 챔버(110) 내에 하부 스테이지(122)의 장변측을 따라 길게 설치하고, 구동모터(414)는 상기 나선축(413)에 축결합한다.

이 때, 상기 나선축(413)의 나선 방향은 그 중앙을 기준으로 양측이 서로 다른 방향을 향하도록 형성한다. 즉, 상기 나선축(413)의 일측은 우선 나사로 형성하고, 타측은 좌선 나사로 형성한다.

이와 함께, 리프팅부는 상기 나선축(413)의 양측 끝단부에 각각 대응 설치하여 구동모터(414)의 구동이 이루어질 경우 상기 나선축(413)의 중앙측으로 이동되도록 한다.

특히, 상기 나선축(413)은 평면에서 볼 때 하부 스테이지(122)의 장변측 양측부에 각각 구비하고, 지지대(412)는 그 일단을 상기 각 나선축(413)에 나사 결합하여 상기 나선축(413)을 따라 이동 가능하도록 한다.

이 때, 상기 지지대(412)의 타단은 리프트 바(411)의 양단에 각각 결합한다.

또한, 두 개의 지지대(412)가 하나의 리프트 바(411)를 지지할 수 있도록 할 경우 상기 리프트 바(411)가 어느 한 측으로 처질 수 있는 문제점이 방지될 수 있다.

따라서, 본 발명의 실시예에서는 하나의 리프팅부가 두 개의 지지대(412)와 하나의 리프트 바(411)로 구성됨을 제시한다.

또한, 각 나선축(413)에는 구동모터(414)를 모두 연결할 수도 있고, 어느 하나의 나선축(413)에만 구동모터(414)를 연결할 수도 있다.

이 때, 상기 구동모터(414)가 연결되지 않는 나선축(413)은 나선을 형성하지 않아도 상관없다.

또한, 상기한 구성에서 리프팅부는 그 동작이 이루어지지 않을 경우 하부 스테이지(122)의 상면에 비해 낮게 위치되도록 한다.

이를 위해, 상기 지지대(412)를 상하 이동시키는 구동수단(415)를 더 포함하여 구성한다.

이 때, 상기 구동수단(415)은 공기압이나 유압을 이용하여 지지대(412)를 상하 이동시킬 수 있는 유공압 실린더나, 회전 이동력을 이용하여 지지대(412)를 상하 이동시킬 수 있는 스텝 모터 중 최소 어느 하나로 구성한다. 이의 경우, 지지대(412)의 형상은 상기 각 구동수단(415)에 따라 일부 달라질 수 있다.

미설명 부호 416은 나선축(413)의 일단 즉, 구동모터(414)에 결합된 측의 반대측 부위의 처짐 및 유동을 방지할 수 있도록 구비되는 고정부이다.

이하, 전술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명 액정표시소자의 합착 장치를 이용한 기판간 합착 과정을 보다 개략적으로 설명하면 하기와 같다.

우선, 로더부(300)는 각 아암(310,320)을 제어하여 하부 스테이지(122)에 반입할 제1기판(510)과 상부 스테이지(121)에 반입할 제2기판(520)을 각각 전달받는다.

이 상태에서 상기 로더부(300)는 제2아암(320)을 제어하여 진공 챔버(110)의 개방되어 있는 유출구(111)를 통해 제2기판(520)을 진공 챔버(110) 내의 상부 스테이지(121)에 반입시킨다.

이의 경우 상부 스테이지(121)에 연결된 진공 펌프(123)가 그 동작을 수행하면서 상기 상부 스테이지(121)에 형성된 각 진공홀(121b)로 진공력을 전달한다.

따라서, 제2아암(320)에 의해 반입된 제2기판(520)은 상기 상부 스테이지(121)에 진공 흡착된다.

만일, 상기한 과정에서 하부 스테이지에 여타의 기판(예컨대, 합착된 기판)이 존재한다면, 상기 제2기판(520)을 반입하였던 제2아암(320)이 상기 하부 스테이지(122)에 안착되어 있던 합착 기판을 반출한다.

그리고, 상기 과정이 완료되어 제2아암(320)이 진공 챔버(110) 외부로 빠져나오면 로더부(300)는 제1아암(310)을 제어하여 제1기판(510)을 상기 진공 챔버(110) 내의 하측 공간에 설치된 하부 스테이지(122)에 반입시킨다.

이후, 하부 스테이지(122)에 연결된 진공 펌프(도시는 생략함)가 동작하면서 상기 하부 스테이지(122)에 형성된 각 진공홀(도시는 생략함)로 진공력을 전달한다.

따라서, 제1아암(310)에 의해 반입된 제1기판(5120)은 상기 하부 스테이지(122)에 진공 흡착된다.

그리고, 상기한 제1아암(310)이 진공 챔버(110) 외부로 빠져나오면 각 기판(510,520)의 로딩 과정이 완료된다.

상기한 과정에서 씨일재가 도포된 제2기판(520)을 액정이 적하된 제1기판(510)보다 먼저 반입시키는 이유는 상기 제2기판(520)의 반입 과정에서 발생될 수 있는 먼지 등이 상기 제1기판(510)의 액정이 적하된 영역에 떨어짐을 방지하기 위함이다.

그리고, 상기한 과정을 통한 각 기판(510,520)의 로딩이 완료되면 상기 진공 챔버(110)의 유출구(111)가 폐쇄되어 진공 챔버(110) 내부는 밀폐된 상태를 이루게 된다.

이후, 진공 장치(200)가 구동하여 공기 흡입력을 발생시킨다.

이 때, 상기 진공 챔버(110)의 공기 배출관(112)에 구비된 개폐 밸브(112a)가 상기 공기 배출관(112)을 개방하여 상기 진공 장치(200)로부터 발생된 공기 흡입력을 상기 진공 챔버(110) 내부로 전달한다. 따라서, 상기 진공 챔버(110) 내부는 점차 진공된다.

그리고, 구동수단(415)의 구동에 의해 각 지지대(412)가 상향 이동된다.

이와 함께, 이동부를 구성하는 한 쌍의 구동모터(414)가 동작하면서 한 쌍의 나선축(413)을 각각 회전시킨다.

이에 상기 각 나선축(413)의 양단에 각각 결합되어 있던 한 쌍의 리프팅부는 상기 각 나선축(413)의 형성 방향에 대응하여 상기 각 나선축(413)의 중앙부위를 향하여 이동한다.

즉, 각 리프팅부를 구성하는 한 쌍의 지지대(412)가 상기 나선축(413)의 회전에 의한 수평 이동력을 부여받아 상기 나선축(413)의 중앙부위를 향하여 이동함으로써 리프트 바(411)를 이동시키게 되는 것이다.

이 때, 상기 각 리프팅부가 설정된 거리만큼 이동되면 각 구동모터(414)의구동이 중단되어 상기 리프팅부가 정지된다.

상기 각 리프팅부의 위치 제어는 각 구동모터(414)의 구동시간 또는, 구동량 등을 제어함으로써 가능하다.

바람직하기로는 상기 각 리프팅부의 정지 위치가 제2기판(520)의 더미 영역이 위치된 부위의 하측이면 더욱 좋다.

상기 과정이 완료되면, 진공 펌프(123)의 동작이 중단되어 제2기판(520)을 고정하던 진공력의 차단이 이루어진다.

따라서, 상기 상부 스테이지(121)에 흡착되어 있던 제2기판(520)은 낙하되어 그 저부에 위치되어 있던 각 리프트 바(411)의 상면에 얹혀진다.

이 때, 상기 제2기판(520)을 각 리프트 바(411)의 상면에 얹는 과정은 상부 스테이지(121)를 하향 이동시켜 제2기판(520)과 각 리프트 바(411)간을 접촉시킨 후 상부 스테이지(121)의 각 진공홀(121b)을 통해 전달하던 진공력을 해제하도록 설정할 수도 있다.

이의 경우, 제2기판(520)의 낙하에 따른 각 리프트 바(411)와의 충격으로 발생될 수 있는 손상을 미연에 방지할 수 있게 된다.

이후, 일정 시간 동안 진공 장치(200)를 구동시켜 진공 챔버(110) 내부를 완전히 진공시키면 상기 진공 장치(200)의 구동이 중단됨과 동시에 공기 배출관(112)의 개폐 밸브(112a)가 동작하여 상기 공기 배출관(112)을 폐쇄시킨다.

그리고, 상부 스테이지(121) 및 하부 스테이지(122)의 각 정전척(121a,122a)에 전원이 인가되어 각 기판(510,520)이 상기 각 스테이지(121,122)에 정전 흡착된다.

상기 과정이 완료되면 각 기판 받침 수단은 전술한 각 과정의 역순으로 동작하면서 상기 기판 받침 수단을 구성하는 각 리프트 바(411) 및 각 지지대(412)를 각각 원위치 시킨다.

이후, 스테이지 이동장치는 각각의 스테이지(121,122)를 선택적으로 이동시키면서(예컨대, 상부 스테이지를 하향 이동시킴으로써) 각 스테이지(121,122)에 정전 흡착된 각 기판(510,520)간 합착을 수행하게 된다.

전술한 각 과정 중 기판 받침 수단의 구동 시기는 진공 챔버(110) 내부를 진공시키는 도중에 진행되는 것만은 아니다.

즉, 기판 받침 수단의 구동 시기는 각 기판(510,520)의 반입이 완료된 후 진공 챔버(110) 내부를 진공 상태로 만들기 바로 직전에 수행할 수도 있다.

한편, 도시한 도 8 및 도 9는 기판 받침 수단의 제2실시예를 도시하고 있다.

즉, 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 받침 수단은 나선축을 두 쌍 이상으로 구비하여 3 혹은, 4개의 리프팅부가 선택적으로 이동될 수 있도록 한다.

이는, 상기 리프팅부의 개수가 기판의 모델이나 크기에 따라 각기 틀려질 수 있기 때문에, 각 기판의 모델별 대처가 용이할 수 있도록 하기 위함이다.

예컨대, 도시한 도 8과 같이 3개의 리프팅부가 사용될 경우 하부 스테이지(122)에 가장 인접된 위치에 설치되는 한 쌍의 나선축(이하, “제1나선축”이라 한다)(421)은 그 나선 방향이 중앙측을 기준으로 양측이 서로 다른 방향을 향하도록 형성한다.

즉, 제1나선축(421)의 일측은 우선 나사(right-hand bolt)로 형성하고, 타측은 좌선 나사(left-hand bolt)로 형성한다.

이와 함께, 어느 하나의 리프팅부(이하, “제1리프팅부”라 한다)(422) 및 다른 하나의 리프팅부(이하, “제2리프팅부”라 한다)(423)는 상기 제1나선축(421)의 양측 끝단부에 각각 대응 설치한다.

그리고, 제1나선축(421)에 비해 외측부위에 설치되는 한 쌍의 나선축(이하, “제2나선축”이라 한다)(424)은 그 나선 방향이 전체적으로 동일 방향을 향하도록 형성한다.

이와 함께, 또 다른 하나의 리프팅부(이하, “제3리프팅부”라 한다)(425)는 상기 제2나선축(424)의 어느 한측 끝단부에 설치한다.

이 때, 상기 각 나선축(421,424)은 각각 구동모터(426)가 축결합된다.

따라서, 각 구동모터(426)의 구동이 이루어져 각 나선축(421,424)이 회전하게 되면 제1리프팅부(422) 및 제2리프팅부(423)는 제1나선축(421)의 중앙측으로 각각 이동하고, 제3리프팅부(425)는 제2나선축(424)의 중앙측으로 이동하면서 기 셋팅된 위치에 정지된다.

물론, 상기한 구성에서 제1나선축(421)은 그 나선방향이 동일한 어느 한 방향을 향하도록 형성하고, 제2나선축(424)은 그 나선 방향이 상기 제2나선축(424)의 중앙 부위를 기준으로 양측이 서로 다른 방향을 향하도록 형성할 수도 있다.

이의 경우, 제1리프팅부(422) 및 제2리프팅부(423)는 상기 제2나선축(424)의 양 끝단에 설치되고, 제3리프팅부(425)는 상기 제1나선축(421)의 어느 한 끝단에설치된다.

만일, 도시한 도 9와 같이 기판의 모델이 틀려 4개의 리프팅부를 필요로 할 경우 제2나선축(424)의 형상을 제1나선축(421)과 동일하게 형성하고, 제3리프팅부(425) 및 별도의 리프팅부(이하, “제4리프팅부”라 한다)(427)는 제2나선축(424)의 양측 끝단부에 각각 대응 설치한다.

따라서, 각 구동모터(426)의 구동이 이루어져 각 나선축(421,424)이 회전하게 되면 제1리프팅부(422) 및 제2리프팅부(423)는 제1나선축(421)의 중앙측으로 각각 이동하고, 제3리프팅부(425) 및 제4리프팅부(427)는 제2나선축(424)의 중앙측으로 각각 이동하면서 기 셋팅된 위치에 정지된다.

한편, 도 10 및 도 11은 기판 받침 수단의 제3실시예를 도시하고 있다.

즉, 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 받침 수단은 이동부가 다수의 리프팅부를 각각 선택적으로 제어하여 이동할 수 있도록 한 구성이 제시된다.

이를 위해, 상기 이동부는 이동축(431)과 상기 이동축(431)에 결합되는 리프팅부에 직결되어 상기 리프팅부가 상기 이동축(431)을 따라 이동하도록 구동하는 구동수단(432)을 포함하여 구성되며, 각 리프팅부(433)를 수평 이동시키도록 동작한다.

특히, 상기 이동축(431)은 통상의 가이드 레일로 형성하고, 구동수단(432)은 리니어 모터로 구성한다.

이 때, 상기 구동수단은 각 리프팅부(433)와 이동축(431)간의 연결 부위에 결합하여 상기 각 리프팅부(433)가 이동축(431)을 따라 이동하도록 구성한다.

그리고, 상기의 경우 각 리프팅부(433)는 상기 이동축(431)의 어느 한측 끝단에 모두 위치시킬 수 있다. 물론, 상기 각 리프팅부(433)를 상기 이동축(431)의 양 끝단에 각각 위치시킬 수도 있다.

상기한 바와 같이 각 리프팅부(433)가 서로 다른 제어에 의해 각각 이동할 수 있도록 구성된다면 도시한 도 12 및 도 13와 같이 리프팅부(433)를 3개 이상 구비할 수 있음이 가능하다. 이에 따라 제2기판(520)의 전반적인 부위를 더욱 안정적으로 받쳐줄 수 있게 된다.

물론, 도시하지는 않았지만 상기 이동축은 래크(rack) 혹은, 기어나 체인 등으로 형성하고, 구동수단은 피니언이나, 기어 혹은, 스프라켓 휠 등이 축결합된 모터로 구성할 수도 있다.

또한 상기 이동축은 레일로 형성하고, 구동수단은 유공압 실린더로 구성할 수도 있다.

한편, 도 14 내지 도 17은 기판 받침 수단의 제4실시예를 도시하고 있다.

상기 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 받침 수단은 리프팅부(441)를 구성하는 하나의 리프트 바(442)가 하나의 지지대(443)에 의해서만 지지될 수 있도록 함을 제시한다.

즉, 상기 리프트 바(442)는 그 길이방향의 중앙측이 양단으로 분리된 상태로써 서로 대향되도록 형성되는 것이다.

이는, 각 구동수단(444)간 동작 오차의 발생이 이루어졌을 경우 각 이동축(445)에 연결되는 각각의 지지대(443)가 서로 어긋나게 되어 동작 불량이 발생될 수 있기 때문이다.

즉, 각 이동축(445)에 연결되는 각각의 지지대(443)가 개별적인 제어를 받을 수 있도록 함으로써 각 구동수단(444)간 동작 오차에 따른 동작 불량을 방지할 수 있도록 한 것이다.

그리고, 상기한 구성에서 이동부를 구성하는 이동축(445) 및 구동수단(444)은 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에서 제시된 나선축 및 구동모터로 구성할 수 있으나, 도시한 도 16 및 도 17의 경우에는 본 발명의 제3실시예에서 제시된 이동부로 구성함이 보다 바람직하다.

특히, 도시한 도 15 및 도 17과 같이 진공 챔버(110) 내부를 평면에서 봤을 때 각 리프트 바(442)는 서로 교차된 상태로 위치되도록 함으로써 제2기판(520)을 보다 안정적으로 받칠 수 있도록 설정할 수도 있다.

한편, 도 18 및 도 19는 기판 받침 수단의 제5실시예를 도시하고 있다.

즉, 본 발명의 제5실시예에 따른 기판 받침 수단은 하부 스테이지(122)의 일측면 인접 부위에 서로 대향된 상태로 2개씩 각각 구성함이 제시된다.

이의 경우 어느 하나의 기판 받침 수단(이하, “제1기판 받침 수단”이라 한다)(451)은 진공 챔버 내의(110) 각 부위 중 유출구(111)가 형성된 부위에 설치하고, 다른 하나의 기판 받침 수단(이하, “제2기판 받침 수단”이라 한다)(452)은 상기 제1기판 받침 수단(451)의 위치와 대향되는 측에 위치되도록 구성된다.

상기와 같은 제5실시예는 각 나선축(451a,451b,452a,452b)의 나선이 어느 한 방향만을 향하도록 형성하면 되고, 상기 각 나선축(451a,451b,452a,452b)은 각각의구동모터(451c,451d,452c,452d)에 의해 제어를 받도록 구성됨으로써 보다 정밀한 이동이 가능하다는 장점을 가진다.

한편, 상기와 같은 제5실시예는 제2기판(520)의 중앙측 더미 영역을 받쳐줄 수 있는 구성의 추가가 곤란할 수 있다.

이에 본 발명의 제6실시예에서는 도시한 도 20 및 도 21과 같이 각 기판 받침 수단(451,452) 사이에 선택적인 상향 이동 및 좌우 회전을 수행하면서 제2기판(520)의 중앙측을 받쳐주는 별도의 기판 받침 수단(이하, “회전식 기판 받침 수단”이라 한다)(453)을 더 구비함을 제시한다.

이 때, 상기 회전식 기판 받침 수단(453)은 제2기판(520)과 접촉되는 받침대(453a)와, 상기 받침대와 결합된 연결축(453b)과, 상기 연결축을 상하 이동 및 좌우 회전시키기 위해 구동력을 제공하는 구동수단(453c)을 포함하여 구성되며, 상기한 구동수단은 유공압 실린더 혹은, 모터 중 최소 어느 하나로 구성한다.

즉, 상기한 회전식 기판 받침 수단(453)은 여타 기판 받침 수단(451,452)의 이동시 상향 이동 및 좌우 회전을 수행하면서 제2기판(520)의 중앙측 더미 영역 하부에 받침대(453a)가 위치되도록 구동하게 되는 것이다.

또한, 본 발명에 따른 기판 받침 수단은 반드시 기판의 반입/반출 방향을 따라 이동하면서 제2기판(520)의 저면을 그 폭 방향으로 받쳐주도록 구성할 수 있는 것으로만 한정하지는 않는다.

예컨대, 기판 받침 수단을 도시한 도 22의 본 발명에 따른 제7실시예와 같이 제2기판(520)의 반입/반출 방향과는 수직된 방향을 따라 이동하면서 제2기판(520)의 저면 특히, 상기 제2기판(520)의 더미 영역이 형성된 부위를 그 길이 방향으로 받쳐주도록 구성할 수도 있는 것이다.

이의 경우, 상기 기판 받침 수단의 리프트 바(471)는 제2기판(520)의 길이 방향을 향하여 길게 형성되고, 하나 혹은, 두 개의 지지대(472)가 상기 하나의 리프트 바(471)를 지지하도록 구성한다.

또한, 본 발명에 따른 기판 받침 수단의 이동부는 반드시 진공 챔버(110) 내의 하부에만 설치하여야 하는 것으로 한정하지는 않는다.

예컨대, 도시한 도 23의 본 발명에 따른 제8실시예와 같이 진공 챔버(110) 내의 상부에 이동부를 설치할 수도 있음은 이해 가능하다.

즉, 본 발명에 따른 제1실시예 내지 제7실시예에서의 각 이동부를 진공 챔버(110) 내의 상부에 설치할 수도 있는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 액정표시소자용 진공 합착 장치의 기판 받침 수단에 따른 구성에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 진공 챔버 내부를 진공 시키는 과정 중 상부 스테이지에 고정되는 제2기판의 지지를 수행하는 기판 받침 수단을 상기 제2기판의 각 셀이 형성된 영역에는 아무런 영향을 주지 않고, 각 더미 영역과 면 접촉을 수행하면서 기판의 중앙 부위 및 둘레 부위를 각각 받쳐줄 수 있도록 하여 상기 제2기판의 특정 부위가 하부로 처지게 되는 문제점을 방지할 수 있는 효과를 가진다.

특히, 대형화되는 액정표시소자의 제조 공정에 사용되는 진공 합착 장치에본 발명의 구성을 적용할 경우 원활한 기판의 처짐 방지를 수행할 수 있게 되어 상기 기판의 처짐에 따른 불량률을 최대한 방지시킬 수 있게 되어 유리한 장점을 가진다.

둘째, 본 발명에 따른 각 기판 받침 수단을 이용하여 기판을 받쳐줄 경우 상기 기판을 떨어뜨리지 않고 안정적으로 받쳐줄 수 있게 되어 기판의 파손을 미연에 방지할 수 있다는 효과를 가진다.

특히, 대형화되는 액정표시소자의 제조 공정에 적용할 경우 종래의 기술에 비해 기판의 파손에 따른 불량률을 최대한 저감시킬 수 있게 되어 유리하다.

Claims (36)

1. 기판간 합착 공정이 수행되는 진공 챔버와;

   제2기판을 고정하는 상부 스테이지 및 제1기판을 고정하는 하부 스테이지와;

   상기 진공 챔버의 내부에 설치되고, 각 기판의 반입/반출 방향을 따라 이동하며, 상기 제2기판의 저면을 받쳐주는 기판 받침 수단:을 포함하여 구성된 액정표시소자용 진공 합착 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   기판 받침 수단은

   제2기판의 저면을 받쳐주는 리프팅부; 그리고,

   상기 리프팅부를 각 기판의 반입/반출 방향을 따라 이동시키는 이동부:를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   리프팅부는

   제2기판의 폭 방향을 향해 길게 형성되고, 상기 제2기판의 저면과 접촉되는 리프트 바(Lift-Bar); 그리고,

   일단은 상기 리프트 바에 수직 결합되고, 타단은 상기 이동부에 결합되어 상기 리프트 바를 지지하는 지지대:가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   리프트 바의 상면에는 다수의 돌기가 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   각 돌기는

   제2기판의 저면에 형성된 더미 영역에 위치되도록 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
6. 제 3 항에 있어서,

   하나의 리프트 바에는 하나의 지지대만 결합됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
7. 제 3 항에 있어서,

   하나의 리프트 바에는 두 개의 지지대가 결합됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
8. 제 2 항에 있어서,

   리프팅부는 두 개 이상임을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
9. 제 2 항에 있어서,

   리프팅부는 제2기판의 더미 영역이 형성된 부위를 받쳐줄 수 있도록 위치됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
10. 제 3 항에 있어서,

    지지대에는

    상기 지지대를 상향 이동시키는 구동수단이 구비됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
11. 제 10 항에 있어서,

    구동수단은

    공기압이나 유압을 이용하여 지지대를 상향 이동시키는 실린더 또는, 회전력을 이용하여 상기 지지대를 상하 이동시키는 모터 중 최소 어느 하나로 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
12. 제 2 항에 있어서,

    이동부는

    진공 챔버 내의 어느 한 스테이지의 장변측 인접부위를 따라 길게 설치된 나선축; 그리고,

    상기 나선축에 축결합된 구동모터:를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
13. 제 12 항에 있어서,

    나선축의 나선 방향은

    상기 나선축의 중앙부위를 기준으로 양측이 서로 반대 방향을 향하도록 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
14. 제 2 항 또는, 제 13 항에 있어서,

    리프팅부는

    나선축의 양측 끝단부에 각각 설치됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
15. 제 13 항에 있어서,

    나선축은

    어느 한 스테이지의 양측에 각각 설치됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
16. 제 15 항에 있어서,

    나선축은

    어느 한 스테이지의 양측에 각각 두 개씩 설치됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
17. 제 16 항에 있어서,

    각 나선축 중 상기 스테이지에 가장 인접된 위치에 설치되는 두 개의 나선축은 그 나선 방향이 상기 나선축의 중앙부위를 기준으로 양측이 서로 반대 방향을 향하도록 형성되고,

    상기 스테이지의 외측에 설치되는 두 개의 나선축은 그 나선 방향이 동일한 어느 한 방향을 향하도록 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
18. 제 17 항에 있어서,

    스테이지에 가장 인접된 위치에 설치된 두 개의 나선축의 양끝단에는 두 개의 리프팅부를 각각 결합하고,

    스테이지의 외측에 설치된 두 개의 나선축의 어느 한 끝단에는 하나의 리프팅부를 결합하여 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
19. 제 16 항에 있어서,

    각 나선축 중 상기 스테이지에 가장 인접된 위치에 설치되는 두 개의 나선축은 그 나선 방향이 동일한 어느 한 방향을 향하도록 형성되고,

    상기 스테이지의 외측에 설치되는 두 개의 나선축은 그 나선 방향이 상기 나선축의 중앙부위를 기준으로 양측이 서로 반대 방향을 향하도록 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
20. 제 19 항에 있어서,

    스테이지에 가장 인접된 위치에 설치된 두 개의 나선축의 어느 한 끝단에는 하나의 리프팅부를 각각 결합하고,

    스테이지의 외측에 설치된 두 개의 나선축의 양끝단에는 두 개의 리프팅부를 결합하여 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
21. 제 16 항에 있어서,

    각 나선축은 그 나선 방향이 상기 나선축의 중앙부위를 기준으로 양측이 서로 반대 방향을 향하도록 형성되고,

    스테이지에 가장 인접된 위치에 설치된 두 개의 나선축의 양끝단 및 상기 스테이지의 외측에 설치된 두 개의 나선축의 양끝단에는 각각 두 개씩 총 4개의 리프팅부를 결합하여 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
22. 제 13 항에 있어서,

    나선축은

    어느 한 스테이지의 양측에 각각 두 개 이상 설치됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
23. 제 2 항에 있어서,

    이동부는

    진공 챔버 내의 어느 한 스테이지의 장변측 인접부위를 따라 길게 설치된 이동축; 그리고,

    상기 이동축에 결합되는 리프팅부에 직결되어 상기 리프팅부가 상기 이동축을 따라 이동하도록 구동하는 구동수단:을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
24. 제 23 항에 있어서,

    이동축은 가이드 레일로 형성되고,

    구동수단은 리니어 모터로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
25. 제 23 항에 있어서,

    이동축은 래크(rack) 혹은, 기어나 체인 등으로 형성되고,

    구동수단은 피니언, 기어 혹은, 스프라켓 휠 등이 축결합된 모터로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
26. 제 23 항에 있어서,

    이동축은 레일로 형성되고,

    구동수단은 유공압 실린더로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
27. 제 23 항에 있어서,

    리프팅부는

    적어도 둘 이상 구비됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
28. 제 1 항에 있어서,

    기판 받침 수단은 진공 챔버 내의 네 모서리에 각각 하나씩 총 네 개로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
29. 제 28 항에 있어서,

    각 기판 받침 수단은

    제2기판의 저면을 받쳐주는 리프팅부; 그리고,

    상기 리프팅부를 각 기판의 반입/반출 방향을 따라 이동시키는 이동부:를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
30. 제 29 항에 있어서,

    리프팅부는

    제2기판의 폭에 비해 짧게 형성되고, 상기 제2기판의 저면과 접촉되는 리프트 바(Lift-Bar); 그리고,

    일단은 상기 리프트 바에 수직 결합되고, 타단은 상기 이동부에 결합되어 상기 리프트 바를 지지하는 지지대:가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
31. 제 28 항에 있어서,

    서로 대향되는 두 모서리 부위에 구비되는 각각의 두 개의 기판 받침 수단 사이 사이에는

    상향 이동 및 좌우 회전을 선택적으로 수행하면서 그 상면이 제2기판의 중앙측 더미 영역을 받쳐주는 별도의 기판 받침 수단을 더 포함하여 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
32. 제 31 항에 있어서,

    별도의 기판 받침 수단은

    기판과 접촉되는 받침대와, 상기 받침대와 결합된 연결축과, 상기 연결축을 상하 이동 및 좌우 회전시키기 위해 구동력을 제공하는 구동수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
33. 제 1 항에 있어서,

    기판 받침 수단은

    진공 챔버 내의 상면, 하면 중 적어도 어느 한 곳에 설치됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
34. 기판간 합착 공정이 수행되는 진공 챔버와;

    제2기판을 고정하는 상부 스테이지 및 제1기판을 고정하는 하부 스테이지와;

    어느 한 스테이지의 측면 인접 부위에 설치되고, 각 기판의 반입/반출 방향과는 수직된 방향을 따라 이동하고, 상기 제2기판의 저면을 받쳐주는 기판 받침 수단:을 포함하여 구성된 액정표시소자용 진공 합착 장치.
35. 제 34 항에 있어서,

    기판 받침 수단은

    제2기판의 저면을 받쳐주는 리프팅부; 그리고,

    상기 리프팅부를 각 기판의 반입/반출 방향을 따라 이동시키는 이동부:를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
36. 제 35 항에 있어서,

    리프팅부는

    제2기판의 폭 방향을 향해 길게 형성되고, 상기 제2기판의 저면과 접촉되는리프트 바(Lift-Bar); 그리고,

    일단은 상기 리프트 바에 수직 결합되고, 타단은 상기 이동부에 결합되어 상기 리프트 바를 지지하는 지지대:가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.