KR101007996B1 - 기판합착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판합착장치에 관한 것으로, 상부챔버, 상기 상부챔버에 접하여 합착공간을 형성하는 하부챔버, 상기 상부챔버의 내측에 배치되며 판 형상으로 형성되는 상정반 그리고, 상기 상정반의 하면으로 노출되어 기판이 점착되는 점착면을 구비하며 상기 점착면의 가장자리를 따라 단차를 형성하도록 구성되는 점착척을 포함하는 기판합착장치를 제공한다.
따라서, 본 발명에 의할 경우, 기판을 상정반에 점착시키는 경우 기판에 가해지는 충격을 최소화하여, 공정시 발생되는 불량률을 줄일 수 있고, 나아가 안정적인 점착력으로 기판을 상정반에 점착하는 것이 가능한 바, 공정시 기판 탈거로 인하여 기판이 손상되는 것을 예방할 수 있다.

Description

기판합착장치{APPARATUS FOR ATTACHING SUBSTRATES}
본 발명은 기판합착장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 정전력을 이용하여 기판을 부착하는 기판합착장치에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가되어 왔다. 이에, 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Pannel), ELD(Eletro Luminescent Display) 등 여러 가지 평판 표시장치가 연구되어 왔고, 그 일부는 이미 실생활에 널리 사용되고 있다.
그 중 LCD의 경우에는 CRT(Cathode Ray Tube)에 비하여 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 많이 사용되고 있다. LCD에 사용되는 액정표시패널의 대표적인 예로서 TFT-LCD 패널이 있다. TFT-LCD 패널은 복수의 TFT(Thin Film Transistor)가 매트릭스형으로 형성된 어레이 기판과, 컬러 필터나 차광막 등이 형성된 컬러 필터 기판이 수 ㎛ 정도의 간격을 가지고 서로 대향하여 합착되고, 합착 전, 또는 합착 후에 액정이 주입되어 봉인됨으로서 패널의 제조가 이루어진다.
따라서, LCD에 사용되는 액정표시패널을 제조함에 있어서는 어레이 기판 및 컬러 필터 기판을 각각 제조한 후에 양 기판을 합착하고 그 사이의 공간에 액정 물질을 주입하는 공정이 필수적으로 필요하며, 이 중에서 기판을 합착시키는 공정은 LCD의 품질을 결정하는 중요한 공정 중에 하나이다.
기판 합착은 압력을 이용하여 어레이 기판과 컬러 필터 기판을 서로 가압함으로써 이루어진다. 이를 위하여 기판합착장치는 상하에 서로 대향하여 배치되는 두 개의 정전척(ESC; Electrostatic Chuck)을 구비하고, 이 정전척들에 기판을 점착한다. 그리고, 양 정전척의 평행도를 정밀하게 유지시키면서 서로 근접시킨 후 두 기판의 합착을 진행한다.
한편, 기판합착장치에 사용되는 정전척은 반도체 제조공정 및 디스플레이 패널 제조공정에서 기판을 지지하기 위하여 가장 보편적으로 사용되는 것이다. 이 정전척 및 정전척을 이용한 기판 점착에 대해 선행하는 기술로는 (주) 동경일렉트론에 의하여 출원된 국제공개번호 "WO2004/084298", "정전척을 이용한 기판 유지 기구 및 그 제조 방법"을 참조할 수 있다.
정전척은 주로 알루미나 소결체 또는 알루미나 용사로 이루어지는 세라믹으로 제조되고, 내부에는 직류 전원에 접속되는 전극판이 개재되어 직류전원으로부터 인가된 고전압에 의해 발생하는 정전력으로 기판을 흡착한다.
이때, 상기 정전척을 이용하는 경우 정전척의 높은 표면 경도로 인해 기판 점착시 기판에 충격이 가해지는 문제점이 발생할 수 있었다. 또한, 상기 정전척은 고비용이 요구되는 장치로서 기판이 대형화됨에 따라 비용이 증가하는 문제점이 발생하였다.
본 발명의 목적은 기판을 상정반에 점착하는 경우 기판에 가해지는 충격을 최소화 할 수 있는 기판합착장치를 제공하기 위함이다.
또한, 저렴한 비용으로 안정적인 점착력을 제공할 수 있는 기판합착장치를 제공하기 위함이다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 상부챔버, 상기 상부챔버에 접하여 합착공간을 형성하는 하부챔버, 상기 상부챔버의 내측에 배치되며 판 형상으로 형성되는 상정반 그리고, 상기 상정반의 하면으로 노출되어 기판이 점착되는 점착면을 구비하며 상기 점착면의 가장자리를 따라 단차를 형성하도록 구성되는 점착척을 포함하는 기판합착장치를 제공할 수 있다.
여기서, 상기 점착척은 기판 탈거시, 상기 점착면을 볼록하게 팽창시켜 상기 기판과 점착되는 면적을 줄이면서 기판을 탈거시키도록 구성될 수 있다.
여기서, 상기 점착면의 단면은 상기 기판이 점착되는 부분의 가장자리에서 유선형을 이루며 단차를 형성하는 것이 바람직하다.
구체적으로, 상기 점착척은 기판 탈거시 공기가 주입되는 공기주입장치, 상기 주입되는 공기가 수용되는 공간을 형성하는 복수개의 격벽을 구비하는 프레임, 그리고 상기 복수개의 격벽의 단부에 고정 설치되는 점착면을 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 상기 점착면이 가장자리 부분에서 단차를 형성하도록 상기 복수개의 격벽 중 가장 외측의 격벽은 나머지 격벽에 비해 짧은 길이를 갖도록 구성되고, 이외의 격벽은 상기 동일한 길이로 구성될 수 있다.
이때, 상기 점착면은 탄성 재질의 점착 소재로 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 점착척은 상기 상정반의 내측에 복수개로 구비될 수 있다.
본 발명에 의할 경우, 기판을 상정반에 점착시키는 경우 기판에 가해지는 충격을 최소화하여, 공정시 발생되는 불량률을 줄일 수 있다.
또한, 안정적인 점착력으로 기판을 상정반에 점착하는 것이 가능한 바, 공정시 기판 탈거로 인하여 기판이 손상되는 것을 예방할 수 있다.
이하에서는, 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 합착장치를 도시한 개략 단면도이다. 도 1을 참조하면, 기판합착장치(100)는 상부챔버(200), 하부챔버(300) 및 구동부(400)를 포함한다.
상부챔버(200)는 구동부(400)에 의해 승강한다. 상부챔버(200)의 하면은 하부챔버(300)와 밀착하여 합착공간을 형성한다. 상정반(210)은 상부챔버(200)의 하면에 배치되며, 판 형상으로 형성된다. 점착척(500)은 상정반(210)의 하면에 구비되며, 상기 점착척(500)의 하면에는 제1 기판(P1)이 부착된다. 상기 점착척(500)에 대해서는 이하에서 구체적으로 살펴보도록 한다.
한편, 상부챔버(200)의 상면에는 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)의 상대적 위치를 조절하기 위한 카메라부(230)를 더 포함할 수 있다. 카메라부(230)는 상부챔버(200) 및 상정반(210)에 형성된 관통공을 통하여 제1 기판(P1) 및 후술할 제2 기판(P2)의 정렬상태를 판독할 수 있다. 카메라부(230)는 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)에 마련되는 얼라인 마크(미도시)를 중첩하여 관측할 수 있도록 장착되며, 여기서 제1 기판과 제2 기판의 대각된 두 모서리 이상을 중첩 관측할 수 있도록 배치될 수 있다. 이때, 카메라부(230)가 얼라인 마크를 촬영할 수 있도록 조명장치(330)가 하부챔버(300)의 하측에 설치되어 카메라부(230)로 조명을 제공할 수 있다.
또한, 도시하지는 않았지만 상부챔버(200)와 하부챔버(300)에 의해 형성되는 합착공간에 진공압을 형성하기 위해 진공펌프가 연결될 수 있다. 진공펌프는 드라이 펌프(Dry Pump), 터보모레큘러 펌프(Turbomolecular Pump, TMP), 미케니컬 부스터 펌프(Mechanical Booster Pump, MBP) 등이 될 수 있다.
하부챔버(300)는 상부챔버(200)의 하부에 배치되며, 구동부(400)에 의해 상부챔버(200)가 하부챔버(300)측으로 하강되면서 합착공간을 형성할 수 있다. 하정반(310)은 하부챔버(300)의 상면에 배치되며, 하부척(320)은 하정반(310)의 상면에 배치된다. 이때, 제2 기판(P2)은 하부척(320)에 부착되면서 위치가 고정될 수 있다. 일 예로, 상기 하부척(320)은 정전력에 의해 제2 기판(P2)을 부착하는 정전척(ESC : Electrostatic Chuck)일 수 있다.
하부챔버(300)의 가장자리에는 상부챔버(200)의 하면에 접촉하여 합착공간의 기밀을 유지하기 위한 실링부재(340)가 구비될 수 있다.
하부챔버(300)의 하면에는 외부로부터 인입되는 기판을 상측의 점착척(500) 또는 하측의 하부척(320)으로 이동시킬 수 있는 기판승강장치(350)가 배치될 수 있다.
기판승강장치(350)는 하부챔버(300)와 하정반(310)을 관통하여 배치되는 복수개의 승강핀(351) 및, 하부챔버(300)의 외부에 마련되어 복수개의 승강핀(351)을 승강시키는 승강핀작동체(352)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 제1 기판(P1)이 상부챔버(200)와 하부챔버(300) 사이로 인입되는 경우, 승강핀(351)은 상승하여 제1 기판(P1)을 지지한 후, 추가적으로 상승하여 제1 기판(P1)을 상기 상정반(210)의 하면에 위치하는 점착척(500)에 부착하는 역할을 수행할 수 있다. 그리고, 제2 기판(P2)이 상부챔버(200)와 하부챔버(300) 사이로 인입되는 경우에는, 승강핀(351)은 상승하여 제2 기판(P2)을 지지한 후, 하강하여 제2 기판(P2)을 하부척(320)에 위치시키는 역할을 수행한다. 또한, 합착공정이 완료되어 합착된 기판(P1+P2)을 외부로 반출하는 경우에는, 상기 로봇암에 의한 취출이 용이하도록 하부챔버(300)의 상면으로부터 소정 높이 상승시키는 역할을 할 수 있다.
한편, 구동부(400)는 상부챔버(200)와 하부챔버(300)가 합착공간을 형성하도록 상부챔버(200)를 하부챔버(300) 측으로 하강시키는 역할을 할 수 있다.
이하에서는 도 2 및 도 3을 참조하여, 본 실시예에 따른 점착척(500)의 구성 을 구체적으로 설명하도록 한다.
도 2는 기판 부착시 본 실시예의 점착척 및 상정반의 단면을 나타낸 단면도이고, 도 3은 기판 탈거시 점착척 및 상정반의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 점착척(500)은 상기 상정반(210)의 하면에 노출되도록 설치되는 복수개의 점착면(520)을 포함하여 구성될 수 있다. 그리고, 상기 점착면(520)은 자체가 갖는 점착력을 이용하여 제1 기판(P1)을 부착시켜 고정시킬 수 있다. 여기서, 상기 점착면(520)은 고무 등의 소정의 점착력을 갖는 부재를 사용하여 구성하는 것이 가능하며, 본 실시예에서는 다이아프램(Diaphragm)을 이용하여 구성할 수 있다.
이 경우 종래의 정전력을 이용하는 정전척에 비하여 저렴한 비용으로 점착척을 구성하는 것이 가능하다. 그리고, 종래의 정전척은 표면의 경도로 인하여 기판 부착시 기판으로 충격이 가해질 우려가 있었다. 이에 비하여, 상기 점착척(500)의 점착면(520)에 사용되는 소재는 일반적으로 경도가 낮은 재질로 이루어지는 바, 재질의 완충효과로 인하여 기판 부착시 제1 기판(P1)으로 가해지는 충격을 줄일 수 있다.
나아가, 본 발명에 의한 점착척(500)은 제1 기판을 부착할 뿐만 아니라, 기판 합착시 자체적으로 제1 기판(P1)을 탈거하도록 구동될 수 있다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 합착을 위해 제1 기판(P1)을 탈거하기 위해서는 점착면(520)의 단면은 볼록하게 팽창하여, 제1 기판(P1)이 점착되는 면적을 줄이면서 기판을 탈거시킬 수 있다.
종래에는, 정전척을 이용하여 제1 기판을 부착한 후, 탈거시 별도의 분리장치를 이용하여 제1 기판(P1)을 탈거할 수 있었다. 다만, 이 경우 제1 기판(P1)에 부착력이 가해지는 위치와 제1 기판(P1)을 분리시키기 위한 힘이 가해지는 위치가 상이한 바, 탈거시 정렬이 흐트러지는 등의 구동상의 약점이 존재할 수 있다. 이에 비해, 본 발명은 제1 기판(P1)상의 동일한 위치에서 부착 및 탈거를 위한 힘이 작용하는 바, 상기와 같은 약점을 극복하는 것이 가능하다. 또한, 상기 점착척(500)의 단일 구성으로 제1 기판(P1)의 점착 및 탈거가 가능한 바 기구적으로도 단순화시킬 수 있는 장점이 있다.
구체적으로, 상기 점착척(500)은 제1 기판 탈거시 공기가 주입되는 공기주입장치(530, 도1 참조), 상기 주입되는 공기가 수용되는 공간을 형성하는 복수개의 격벽(511)이 구비된 프레임(510), 그리고 상기 격벽(511)의 단부에 고정 설치되는 점착면(520)을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 공기주입장치(530)는 상기 상정반(210)의 외측에 구비될 수 있으며, 제1 기판 탈거시 소정의 유로(531)를 통해 점착척(500)의 프레임(510) 내측으로 공기를 주입할 수 있다. 프레임(510)은 상정반(210)의 내측에 설치되며 상기 주입되는 공기가 수용되는 공간을 형성할 수 있다. 이때, 상기 프레임(510)은 상정반(210)의 하측방향으로 연장되는 복수개의 격벽(511)을 구비하여, 주입되는 공기는 각각의 격벽(511)에 의하여 복수개의 구역으로 분리 수용될 수 있다.
한편, 점착면(520)은 복수개의 격벽(511) 단부를 따라 고정 설치되어 상정반(210)의 하측으로 노출되도록 설치된다. 그리고, 공기주입장치에 의하여 상기 프 레임(510) 내측으로 공기가 주입되면, 상기 프레임(510) 내측의 압력에 의하여 상기 점착면(520)은 상대적으로 압력이 낮은 하측으로 볼록하게 팽창할 수 있다. 이때, 점착면(520)은 팽창압에 의한 변형이 용이하도록 탄성 재질로 구성되는 것이 바람직하다.
이와 같은 점착척(500)은, 상시(常侍) 및 제1 기판(P1) 부착시에는 격벽(511)의 단부를 따라 나란하게 점착면(520)이 형성된다. 따라서, 승강핀(351)에 의해 제1 기판(P1)이 상승하면 상기 점착면(520)을 이용하여 제1 기판(P1)을 부착하여 고정시킬 수 있다.
다만, 제1 기판(P1)을 탈거하고자 하는 경우에는 상기 점착척(500)의 공기주입장치로부터 공기가 주입되어, 격벽(511)의 단부에 고정되지 않은 점착면(520)은 하측으로 팽창하게 된다. 따라서, 제1 기판(P1)과 점착하는 면적이 점점 줄어들어 제1 기판(P1)과의 점착이 약해지고, 결국 제1 기판(P1)은 자중에 의해 점착척(500)으로부터 탈거될 수 있다.
이때, 하나의 점착면(520)은 복수개의 격벽(511) 단부에 각각 고정 설치되면서, 공기주입시 다수개의 볼록한 형상을 형성하면서 팽창하는 것이 바람직하다. 이 경우, 제1 기판(P1) 탈거시 다수개의 지점에 제1 기판(P1)을 지지하여 급격한 탈거를 방지할 수 있다. 또한, 하나의 볼록한 형상을 이루는 것에 비하여 하측 변위가 적게 발생하는 바, 제1, 제2 기판(P1, P2)이 근접한 상태에서도 상기와 같은 공정을 수행하는 것이 가능하다.
여기서, 점착척(500)은 상기 제1 기판(P1)의 점착이 이루어지는 점착면(520) 이 가장자리를 따라 단차를 형성하도록 구성되는 것이 바람직하다. 점착면(520)의 모든 단면이 제1 기판(P1)과 평행하게 형성되는 경우, 제1 기판(P1)과 점착면(520) 사이에 공기가 완전히 빠져나가지 못한 상태로 점착될 수 있다. 이 경우, 점착면(520)의 점착력이 약해지면서 공정 도중 제1 기판(P1)이 탈거하여 손상되는 문제점이 발생할 수 있다. 나아가, 진공상태에서 진행되는 제1, 제2 기판의 합착 공정시 점착면(520) 사이에 존재하는 공기의 잔압에 의하여 제1 기판(P1)의 정렬상태가 흐트러지면서 탈거될 수 있고, 위치별 점착력의 차이로 인해 제1 기판(P1)의 점착위치는 각각 상이한 시점에서 탈거될 우려가 있다.
따라서, 본 발명에서는 도 2에 도시된 바와 같이, 프레임(510)에 구비되는 복수개의 격벽(511) 중 가장 외측의 격벽(511b)은 나머지 격벽(511a)에 비해 짧은 길이를 갖도록 구성할 수 있다. 즉, 나머지 격벽(511a)들은 동일한 길이로 구성되어 상정반(210)의 하측으로 연장되는 것에 비해, 가장 외측의 격벽(511b)의 단부는 상대적으로 상측에 위치할 수 있다. 따라서, 상기 격벽(511)의 단부에 고정 설치되는 점착면(520)은 가장자리부에서 상향으로 단차지는 형상으로 구성된다.
이와 같이, 본 발명과 같이 점착면(520)이 가장자리를 따라 단차를 형성하는 경우, 제1 기판(P1)과 점착되는 점착면의 단면은 가장자리부분이 유선형으로 구성되면서 점착면(520) 내측에 위치한 공기가 용이하게 외측으로 빠져나갈 수 있다. 따라서, 제1 기판(P1) 점착시 모든 점착척(500)은 일정한 점착력으로 제1 기판(P1)을 점착시키는 것이 가능하다.
나아가, 제1 기판(P1) 탈거시에도 점착면(520)의 가장자리부는 점착면(520) 의 내측에 비하여 소정시간 앞서 제1 기판(P1)과 분리가 이루어질 수 있다. 따라서, 점착면(520)의 가장자리부터 순차적인 탈거가 가능한 바, 보다 안정적으로 제1 기판(P1)을 탈거하는 장점을 갖을 갖을 수 있다.
이하에서는 전술한 기판합착장치의 작동상태를 설명하기로 한다.
먼저, 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)은 로봇 암 등의 기판공급장치(미도시)에 의해 상부챔버(200)와 하부챔버(300) 사이로 공급된다.
제1 기판(P1)이 먼저 공급되는 경우 제1 기판(P1)이 상부챔버(200)와 하부챔버(300) 사이로 진입되어 기판승강장치(350)에 안착된다. 그리고, 기판승강장치(350)의 승강핀(351)이 상승하여, 제1 기판(P1)은 점착척(500)의 점착면(520)에 점착된다. 이때, 점착면(520)은 가장자리부분이 유선형의 단면을 갖도록 단차 형성되는 바, 제1 기판(P1)과 점착면(520) 사이에 존재하던 공기들이 외측으로 용이하게 빠져나가면서 점착이 이루어질 수 있다.
그리고, 제2 기판(P2) 또한 상부챔버(200)와 하부챔버(300) 사이로 진입되어 기판승강장치(350)로 안착된다. 그리고, 승강핀(351)이 하강하면서, 제2 기판은 하정반(310)의 하부척(320)에 점착된다.
제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)의 부착이 완료되면, 구동부(400)에 의해 상부챔버(200)가 하부챔버(300) 측으로 하강하고, 상부챔버(200)의 하면이 하부챔버(300)의 상면에 밀착되면서 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)의 합착을 위한 합착공간이 형성된다. 그리고, 상기 합착공간은 실링부재(340)에 의해 기밀을 유지할 수 있다.
합착공간이 형성되면, 승강핀(351)을 이용하여 제2 기판(P2)을 상승시켜 제1 기판(P1)에 근접시키고, 얼라인 마크 및 카메라부(230)를 이용하여 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)을 정렬시킨다.
정렬이 완료되면, 진공펌프를 이용하여 합착공간을 진공상태로 형성한 후, 상기 점착척(500)은 점착된 제1 기판(P1)을 이탈시켜 제2 기판과 접합시키는 공정을 수행한다.
즉, 점착척(500)의 공기주입장치에서 점착척(500) 내측으로 공기를 주입이 이루어진다. 그리고, 제1 기판(P1)과 점착상태를 유지하던 점착면(520)은 공기의 팽창압에 의하여 하측으로 볼록한 형상으로 팽창한다. 따라서, 제1 기판(P1)은 상기 점착척(500)에 공기가 주입됨에 따라 점착면(520)에 점착되는 힘이 순차적으로 감소하고, 결국 점착면(520)으로부터 이탈하여 제2 기판(P2) 방향으로 낙하여 가접합이 이루어진다. 이 경우, 점착면(520)과 제1 기판 사이에는 공기가 존재하지 않는 바, 정렬 상태를 유지하면서 낙하하는 것이 가능하다.
제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)의 가접합이 이루어지면, 외부에 N2공정가스를 공급하여 압력을 가하여, 제1 기판(P1) 및 제2 기판(P2)을 견고하게 부착시킨다. 즉, 합착공간의 압력을 상승시킴으로서 가접합된 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)의 내부와 외부의 압력차에 합착이 이루어진다.
제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)의 합착이 완료되면, 합착공간의 압력을 대기압 상태로 복원하고, 합착된 기판을 로봇 암 등을 이용하여 외부로 반출하는 것으로 공정이 종료될 수 있다.
전술한 실시예에서는 점착척을 이용한 기판합착장치를 이용하여 본 발명의 기술적 사상을 설명하였다. 다만, 이는 일 실시예에 불과하는 것으로 본 발명이 기판합착장치에 한정되는 것은 아니며, 이 이외에도 기판을 점착 및 탈거하는 점착척을 구비하는 구성이면 모두 적용이 가능하다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 합착장치를 도시한 개략 단면도이고,
도 2는 도 1에서 제1 기판 부착시 본 실시예의 점착척 및 상정반의 단면을 나타낸 단면도이고,
도 3은 도 1에서 제1 기판 탈거시 점착척 및 상정반의 단면을 나타낸 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>
200 : 상부챔버 210 : 상정반
300 : 하부챔버 350 : 기판승강장치
500 : 점착척 510 : 프레임
511 : 격벽 520 : 점착면

Claims (7)

  1. 상부챔버;
    상기 상부챔버에 접하여 합착공간을 형성하는 하부챔버;
    상기 상부챔버의 내측에 배치되며, 판 형상으로 형성되는 상정반; 그리고,
    상기 상정반의 하면으로 노출되어 기판이 점착되는 점착면을 구비하되 상기 점착면의 가장자리를 따라 단차를 형성하도록 구성되는 점착척;을 포함하는 기판합착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 점착척은 기판 탈거시, 상기 점착면을 볼록하게 팽창시켜 상기 기판과 점착되는 면적을 줄이면서 기판을 탈거시키는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 점착면의 단면은 상기 기판이 점착되는 부분의 가장자리부에서 유선형을 이루며 단차를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 점착척은 기판 탈거시 공기가 주입되는 공기주입장치, 상기 주입되는 공기가 수용되는 공간을 형성하는 복수개의 격벽을 구비하는 프레임을 더 포함하 고, 상기 점착면은 상기 복수개의 격벽의 단부에 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 점착면이 가장자리 부분에서 단차를 형성하도록 상기 복수개의 격벽 중 가장 외측의 격벽은 나머지 격벽에 비해 짧은 길이를 갖도록 구성되고, 상기 나머지 격벽은 동일한 길이로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 점착면은 탄성 재질의 점착 소재로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 점착척은 상기 상정반의 내측에 복수개로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
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