KR20100048051A

KR20100048051A - 기판합착장치 및 기판합착방법

Info

Publication number: KR20100048051A
Application number: KR1020080107044A
Authority: KR
Inventors: 황재석
Original assignee: 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date: 2008-10-30
Filing date: 2008-10-30
Publication date: 2010-05-11
Also published as: KR100994499B1

Abstract

본 발명은 기판합착장치에 관한 것으로, 본 발명의 기판합착장치는 상부 챔버; 상기 상부 챔버 내에 마련되는 상부 정반; 상기 상부 정반에 마련되며, 상부 기판을 점착력에 의해 부착(attach)하는 점착제; 상기 상부 기판으로 기체를 분사하여 상기 상부 기판과 상기 점착제를 분리(detach)하는 기판 분리기; 상기 상부 기판과 합착할 하부 기판이 안착되는 하부 정반; 및 상기 상부 챔버와 결합하여 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 합착할 수 있는 합착 공간을 형성하는 하부 챔버를 구비하는바 상기와 같은 구성의 본 발명에 따르면 간단한 구조의 점착제 및 기판분리기를 사용하여 저비용으로 기판을 부착하고 기판을 쉽게 분리할 수 있다. 또한, 고가의 정전척을 대체할 수 있어 기판합착장치의 제조비용이 절감되는 효과가 있다.

Description

기판합착장치 및 기판합착방법{Apparatus for assembling substrates and Method for assembling substrates}

본 발명은 기판합착장치 및 기판합착방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 점착력을 이용하여 기판을 부착하는 기판합착장치 및 기판합착방법에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가되어 왔다. 이에 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 그 일부는 이미 실생활에 널리 사용되고 있다.

그 중 LCD의 경우에는 CRT(Cathode Ray Tube)에 비하여 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징으로 인하여 널리 사용되고 있으며, 디스플레이 패널의 대형화가 진행되고 있다.

이러한, LCD는 전극이 형성되어 있는 TFT(Thin Film Transistor) 기판과 형광체가 도포된 CF(Color filter) 기판 사이에 액정(Liquid Crystal)을 주입하여 형성된다. 양 기판의 외주면에는 액정 물질을 누출을 막기 위한 봉인재(Sealer)가 구비되며, 양 기판 사이에는 소정 간격으로 양 기판 사이의 간격을 유지하기 위한 간격재(Spacer)가 배치된다.

따라서 LCD의 제조 공정에 있어서는 TFT기판 및 CF 기판을 각각 제조한 후에 양 기판을 합착하고 그 사이의 공간에 액정 물질을 주입하는 공정이 필수적이며 기판을 합착시키는 공정은 LCD의 품질을 결정하는 중요한 공정 중 하나이다.

일반적으로 기판 합착공정은 내부를 진공 상태로 형성시킬 수 있는 상부챔버와 하부챔버로 구성되는 기판합착장치에 의하여 수행되며, 이 기판합착장치는 정전기력으로 기판을 유지하는 정전척(electrostatic chuck, ESC)이 주로 사용된다.

그런데, 최근 디스플레이 패널의 대형화로 인해 큰 사이즈의 정전척을 제작해야 하는데, 그 제작이 어려울뿐더러 제작하더라도 매우 고가품이 되어 기판합착장치의 제조 비용이 증가된다는 문제가 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 점착제를 이용하여 기판을 부착하고, 기체를 상기 기판에 분사하여 상기 점착제로부터 상기 기판을 쉽게 분리할 수 있는 기판합착장치를 제공하는데 있다.

본 실시예에 따른 기판합착장치는 상부 챔버; 상기 상부 챔버 내에 마련되는 상부 정반; 상기 상부 정반에 마련되며, 상부 기판을 점착력에 의해 부착(attach)하는 점착제; 상기 상부 기판으로 기체를 분사하여 상기 상부 기판과 상기 점착제를 분리(detach)하는 기판 분리기; 상기 상부 기판과 합착할 하부기 판이 안착되는 하부 정반; 및 상기 상부 챔버와 결합하여 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 합착할 수 있는 합착 공간을 형성하는 하부 챔버를 포함한다.

상기 점착제는, 구성성분 중에 질소 0.16 중량 퍼센트, 탄소 66.36 중량 퍼센트, 수소 10.70 중량 퍼센트를 포함하는 폴리이소부틸렌 재질의 고무일 수 있다.

상기 점착제는, 상기 상부 정반과 부착되는 면 및 상기 상부 기판과 부착되는 면이 편평하고, 상기 두 면 사이를 관통하는 공간이 있는 형상으로 이루어질 수 있다.

상기 기판 분리기는 상기 공간으로 기체를 유출입시키는 기체 유출입기 및 기체 유출입관을 포함하고, 기페 유출입기를 제어하는 기판 분리기 제어부를 포함한다.

본 실시예에 따른 기판합착방법은 상부 기판을 상부 정반에 마련된 점착제에 부착하고, 하부 기판을 하부 정반에 부착하는 단계; 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 정렬하는 단계; 상기 점착제에 부착된 상기 상부 기판에 기체를 분사하여 상기 상부 기판을 상기 점착제와 분리하는 단계; 상기 상부 기판이 분리되어 상기 하부 기판 상에 낙하하면 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 합착하는 단계를 포함한다.

본 발명에 의한 기판합착장치는 상부 챔버; 상기 상부 챔버 내에 마련되는 상부 정반; 상기 상부 정반에 마련되며, 상부 기판을 점착력에 의해 부착(attach)하되, 질소 0.16 중량 퍼센트, 탄소 66.36 중량 퍼센트, 수소 10.70 중량 퍼센트를 포함하는 폴리이소부틸렌 재질의 고무인 점착제; 상기 상부 기판과 합착할 하부 기판이 안착되는 하부 정반; 및 상기 상부 챔버와 결합하여 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 합착할 수 있는 합착 공간을 형성하는 하부 챔버를 포함한다.

본 실시예에 따른 기판합착장치에 따르면, 간단한 구조의 점착제 및 기판분리기를 사용하여 저비용의 장치로 기판을 부착하고 기판을 쉽게 분리할 수 있다. 또한, 고가의 정전척을 대체할 수 있어 기판합착장치의 제조비용이 절감되는 효과가 있다.

이하에서는 본 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 각 도면에 도시된 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일부재를 가리킨다.

도 1은 본 실시예에 따른 기판합착장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.

기판합착장치는 상부 기판(S1)이 안착되는 상부 챔버(100)와 하부 기판(S2) 이 안착되는 하부 챔버(200)를 구비한다. 하부 챔버(200)는 베이스에 고정되고, 상부 챔버(100)는 승강부(300)에 의해 승강한다. 승강부(300)는 도면에 도시하지는 않았지만, 리프트 스크류와 리프트 모터로 구성되어 상부챔버를 상하로 승강이 가능하게 설치될 수 있다. 본 실시예와 달리 상부 챔버(100)가 고정되고, 하부 챔버(200)가 승강하는 구조라도 무방하다.

상부 챔버(100)에는 상부 기판(S1)을 부착시킬 수 있는 점착제(110)와 상부 기판(S1)에 기체를 분사하여 상부 기판(S1)과 점착제(110)를 분리하는 기판 분리기(120)가 구비되고, 하부 챔버(200)에는 하부 기판(S2)을 안착시킬 수 있는 기판척(210)이 구비된다. 점착제(110)는 상부 챔버(100)에 구비된 상부 정반(101)에 마련되고, 기판척(210)은 하부 챔버(200)에 구비된 하부 정반(201)에 설치된다.

기판척(210)은 하부 기판(S2)을 정전기력으로 흡착하는 정전척(Electro Static Chuck, ESC), 압력차를 이용하는 진공척 등이 사용될 수 있다.

리프트 핀(lift pin, 220)은 상부 기판(S1)이 공정챔버(100,200) 내로 반입되면 상승하여 상부 기판(S1)을 수취한 후, 다시 상승하여 상부 기판(S1)을 점착제(110)에 부착시킨다.

또한, 리프트 핀(220)은 하부 기판(S2)이 공정챔버 내로 반입될 경우 상승하여 하부 기판(S2)을 수취한 후 하강하여 기판척(210)에 위치시키는 역할을 한다. 또한, 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)을 합착하여 패널(panel)을 형성하는 합착 공정이 완료되면, 합착된 패널을 상기 공정챔버 외부로 반출하기 위해 상승시키는 역할을 한다. 리프트 핀(220)은 다수개가 존재할 수 있으며, 기판척(210) 및 하부 정 반(201)을 관통하여 승강할 수 있다.

그리고 상부 챔버(100)에는 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)에 미리 표시된 정렬마크(Align mark)를 촬영하여 기판들이 정확한 합착지점에 위치하였는지를 확인할 수 있도록 하는 카메라(130)가 설치된다. 카메라(130)는 상부 챔버(100)를 관통하는 촬영홀을 통하여 정렬 마크를 촬영한다. 이때, 카메라(130)가 정렬 마크를 촬영할 수 있도록 조명장치(230)가 하부 챔버(200)의 하측에 설치되어 카메라(130)로 조명을 제공하게 된다.

또한, 도시되지는 않았으나 상부 챔버(100)와 하부 챔버(200)에는 이들의 밀착으로 공정 공간을 형성할 경우 내부를 진공상태로 형성하기 위한 고진공분자펌프(Turbo Molecular Pump, TMP) 및 드라이 펌프(Dry pump)가 연결된다.

도 2는 본 실시예에 따른 점착제와 기판 분리기를 나타낸 개념도이다.

도 2를 참조하면, 점착제(110)는 상부 기판(S1)을 부착하는 장치로서 재료는 점착성을 가진 고무를 사용할 수 있다. 상기 고무는 폴리이소부틸렌(Polyisobutylene)을 사용하여 만들 수 있는데, 폴리이소부틸렌은 이소부틸렌을 단량체로 하여 양이온 중합에 의해 제조할 수 있다. 일반적으로 폴리이소부틸렌은 작은 양의 이소프렌을 이소부틸렌에 첨가한 후 마이너스 100℃ 정도의 온도에서 중합을 행한다. 본 실시예에 따른 폴리이소부틸렌은 질소 0.15 내지 0.17 중량 퍼센트, 탄소 66.35 내지 66.37 중량 퍼센트, 수소 10.69 내지 10.71 중량 퍼센트 및 수지 고형물을 포함하여 구성될 수 있다.

도 3은 본 실시예에 따른 점착제의 형상을 나타낸 사시도이다.

도 3을 참조하면, 점착제(110)는 상부 정반(101)과 부착되는 면 및 상기 상부 기판(S1)과 부착되는 면이 편평하고, 상기 두 면 사이를 관통하는 공간이 있는 형상으로 이루어진다. 점착제(110)의 단면은 환형태(ring shape)이며, 소정의 높이를 가지는 형상으로 압축성형이나 주입성형, 사출 성형 등에 의해 직접 외형을 형성하여 제조할 수 있다.

도 4는 다른 실시예에 따른 점착제의 형상을 나타낸 단면도이다. 도 5는 또 다른 실시예에 따른 점착제의 형상을 나타낸 단면도이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 다른 실시예에 따른 점착제(110′)는 단면이 5각형의 띠 형태이며, 또 다른 실시예에 따른 점착제(110″)는 단면이 4각형의 띠 형태이다. 상기 점착제(110′,110″)는 소정의 높이를 가지는 형상이다. 상기한 점착제(110, 110′,110″)들의 형상은 예시에 불과하며 그 외에도 다양한 변형이 가능함은 당업자에게 자명하다.

단, 점착제(110,110′,110″)는 상부 정반(101)에 마련된 상태에서 상부 기판(S1)과 부착이 되었을 때 점착제(110)와 상기 상부 기판(S1)사이에 폐공간이 형성될 수 있는 형상이어야 한다. 다시 말해, 상부기판(S1)과 점착제(110)의 결합으로 형성되는 공간이 폐공간이 될 수 있도록 하는 형상이어야 한다. 점착제(110)는 점착력이 약화되면 점착제(110)만 용이하게 교체할 수 있도록 설계되는 것이 바람직하다.

기판 분리기(120)는 점착제(110)와 상부 기판(S1)을 분리시키는 장치로 기체 유출입기(121), 기체 유출입관(122) 및 기판 분리기 제어부(123)로 구성된다. 이러 한 기판 분리기(120)는 점착제(110)가 다수개 배치되는 경우 점착제(110)의 개수와 동일한 개수로 다수개 배치될 수 있다.

기체 유출입기(121)는 기체 유출입관(122)을 통해 점착제(110)와 상부 기판(S1)이 부착되어 형성하는 공간으로 기체를 유출입시킨다. 이 경우 유입시키는 기체는 질소(N2)가스일 수 있고, 유출시키는 기체는 대기일 수 있다. 유출입되는 기체의 양을 측정하기 위해 MFC(Mass Flow Controller)가 사용될 수 있다.

기체 유출입관(122)은 기체 유출입기(121)로부터 점착제(110)와 상부 기판(S1)이 부착되어 형성하는 공간(space)으로 기체가 유출입하는 통로가 된다.

기판 분리기 제어부(123)는 후술한다.

도 6은 본 실시예에 따른 점착제 및 기판 분리기를 다수개 설치한 상부 챔버를 나타낸 도면이다.

도 6을 참조하면, 기판 분리기 제어부(123)는 기체 유출입기(121)를 제어함으로써 기판 분리기(120)의 동작을 제어하는 부분으로, 다수개의 기체 유출입기(121)와 연결될 수 있으며 각 기체 유출입기(121)를 각각 제어한다. 다시 말해, 기판 분리기 제어부(123)는 모든 기체 유출입기(121)가 동시에 기체를 분사하게 할 수도 있고, 아니면 선택된 소정의 기체 유출입기(121)만 기체를 분사하게 할 수도 있다. 예컨대, 기판 분리기 제어부(123)는 상부 기판(S1)의 중앙부에 위치하게 되는 기체 유출입기(121)는 먼저 기체를 분사하고, 상부기판(S1)의 외곽부분에 위치하게 되는 기체 유출입기(121)는 소정의 지연시간을 두고 기체를 분사하는 방법과 같이 각 기체 유출입기(121)를 제어할 수 있다.

도 7은 본 실시예에 따른 점착제 및 기판 분리기를 다수개 배치한 상태에서 상부 정반을 바라본 평면도이다.

도 7을 참조하여, 점착제(110) 및 기판 분리기(120)의 배치방법을 설명한다. 도 7은 평면도이므로 기판 분리기(120)에서 기체 유출입관(122)의 구멍부분만 도시한 것을 이해해야 한다.

점착제(110) 및 기체 유출입관(122)이 상부 정반(101)의 가운데 부분에는 간격이 넓게 배치되며 상부 정반(101)의 외곽 부분에는 간격이 좁게 배치된다. 이 경우 부착되는 상부 기판(S1)의 크기를 고려하여 그 크기에 대응하는 상부 정반(101)의 면적에만 점착제(110) 및 기체 유출입관(122)을 설치할 수 있다.

상기한 바와 같이, 상부 정반(101)의 가운데에는 점착제(110) 간의 간격을 넓게 배치하고 상부 정반(101)의 외곽부분에는 점착제(110) 간의 간격을 좁게 배치하는 것은 상부 기판(S1)의 분리시에 상부 기판(S1)의 외곽부분에 위치한 점착제(110)들에 좀 더 큰 힘이 걸리게 되기 때문이다.

상부 기판(S1)의 분리시에 상부 기판(S1)의 가운데 부분부터 분리를 시작하는데 그 이유는 상부 기판(S1)의 모서리와 같은 외곽부분부터 분리를 시작하면 상부 기판(S1) 자체의 하중으로 인해 모멘트가 작용하여 상부 기판(S1)에 미세한 뒤틀림이 발생할 수 있기 때문이다.

도 7에 도시된 바와 같이, 기체 유출입관(122)은 점착제(110)와 상부 기판(S1)이 부착되었을 때 형성되는 공간에 기체를 유출입할 수 있도록 각 점착제(110)의 가운데에 설치되는 것이 바람직하다.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판합착방법에 대해 상세히 설명한다.

도 8은 본 실시예에 따른 기판합착장치를 이용한 기판합착방법을 설명하기 위한 순서도이다.

도 8을 참조하면, 먼저 상부 기판(S1)이 로봇암(robot arm)등의 반송수단에 의해 챔버(100,200) 사이의 공정 공간으로 반입된다. 반입된 상부 기판(S1)은 소정 높이로 상승한 리프트 핀(220)에 의해 수취된다(S61).

상부 기판(S1)을 수취한 리프트 핀(220)은 다시 상승하여 상부 기판(S1)을 상부 정반(101)에 마련된 점착제(110)에 부착한다(S62). 이 때, 리프트 핀(220)이 상승하여 상부 기판(S1)이 점착제(110)에 접촉되면 기체 유출입기(121)는 대기를 흡입한다. 이 때, 챔버 내부의 공정 공간은 아직 대기압 상태이므로 기체 유출입기(121)가 대기를 흡입하면 압력차가 발생하여 상부 기판(S1)이 점착제에 더욱 밀착되어 견고하게 부착이 되는 효과가 있다.

이후, 하부 기판(S2)이 로봇암 등의 반송 수단에 의해 챔버(100,200) 사이의 공정 공간으로 반입된다. 그리고, 하부 기판(S2)이 소정 위치에 반입되면 리프트 핀(220)이 상승하여 하부 기판(S2)를 지지한다. 이후 리프트 핀(220)이 하강하여 하부 정반에 위치한 정전척(210)에 하부 기판(S2)을 안착시킨다(S63).

이후 상부 챔버(100)가 하강한다. 상부 챔버(100)가 계속적으로 하강하여 하부 챔버(200)와 밀착되면 챔버(100, 200) 내부의 공정 공간은 챔버 외부의 대기와 차단된다. 그리고 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)의 사전 정렬(alignment)이 이루 어진 후, 챔버(100, 200) 내부의 공정 공간은 강제 배기에 의해 진공 상태가 된다(S64). 강제 배기는 드라이 펌프 및 TMP(Turbo Molecular Pump)에 의해 이루어질 수 있다.

이때는 상부 챔버(100)와 하부 챔버(200)가 결합하여 형성된 공정 공간이 진공 상태이므로 상기 공정 공간에서의 압력과 상부 기판(S1)과 점착제(110)가 부착되어 형성되는 공간과의 압력 차이가 미미한 상태이다. 따라서, 상부 기판(S1)은 점착제(110)의 점착력만으로 점착제(110)와의 부착이 유지되는 상태이다.

상기한 바와 같이 상부 기판(S1)이 점착제(110)에 부착되면, 카메라(130)로 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2)의 얼라인 마크를 촬영하여 최종 정렬(alignment)가 이루어지도록 한다(S65). 이러한 정렬과정은 공지된 기술인 바 자세한 설명을 생략한다.

상기 최종 정렬이 끝나면 기체 유출입기(121)는 기판 분리기 제어부(123)의 제어 신호에 따라 질소 가스와 같은 기체를 분사한다(S66). 상기 분사된 기체는 기체 유출입관(122)을 통해 상부 기판(S1)과 점착제(110)의 부착에 의해 형성된 공간으로 유입된다. 이때, 기판 분리기 제어부(123)는 상부 기판(S1)의 중앙부에 위치하게 되는 기체 유출입기(121)는 먼저 기체를 분사하고, 상부 기판(S1)의 외곽부분에 위치하게 되는 기체 유출입기(121)는 소정의 지연시간을 두고 기체를 분사하는 방법으로 각 기체 유출입기(121)를 제어한다.

상기 유입된 기체에 의해 상부 기판(S1)과 점착제(110)의 부착에 의해 형성된 공간과 챔버(100, 200) 내부의 공정 공간과의 압력 차이가 발생한다. 이러한 압 력 차이 때문에 상부 기판(S1)은 점착제(110)로부터 용이하게 분리된다.

상부 기판(S1)이 점착제(110)로부터 분리되면 상부 기판(S1)은 하부 기판(S2)측으로 중력에 의해 낙하하며, 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2) 사이에 도포된 실런트(sealant)에 의하여 밀착된다.

상부 기판(S1)의 낙하 후에 별도의 배기관(미도시) 또는 기체 유출입관(122)을 통하여 고압의 질소가스가 분사되어 상부 기판(S1)을 가압한다. 이에 따라 챔버(100, 200) 내부는 진공 상태에서 대기압 상태로 된다. 이 경우, 상부 기판(S1)과 하부 기판(S2) 사이는 진공 상태이고, 챔버(100, 200) 내부의 공정 공간은 대기압 상태가 되므로 서로 밀착된 기판(S1, S2) 내부와 외부의 압력 차이, 가압 가스의 가압력에 의하여 합착이 이루어진다(S67).

상기 두 기판(S1, S2)의 합착과 동시에 실런트와 함께 도포된 액정의 주입이 이루어진다. 액정의 주입은 합착 후에 별도로 이루어질 수도 있다.

합착된 두 기판(S1,S2)은 리프트 핀(220)에 의해 상승되어 반출 위치에 위치된다. 그러면, 챔버(100, 200) 외부에서 로봇암과 같은 반송수단이 챔버(100, 200) 내부로 진입하여 상기 합착된 두 기판(S1,S2)을 반출하여 합착공정은 완료된다.

도 4는 다른 실시예에 따른 점착제의 형상을 나타낸 단면도이다.

도 5는 또 다른 실시예에 따른 점착제의 형상을 나타낸 단면도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

101 : 상부 정반

201 : 하부 정반

110 : 점착제

120 : 기판 분리기

121 : 기체 유출입기

122 : 기체 유출입관

123 : 기판 분리기 제어부

Claims

상부 챔버;

상기 상부 챔버 내에 마련되는 상부 정반;

상기 상부 정반에 마련되며, 상부 기판을 점착력에 의해 부착(attach)하는 점착제;

상기 상부 기판으로 기체를 분사하여 상기 상부 기판과 상기 점착제를 분리(detach)하는 기판 분리기;

상기 상부 기판과 합착할 하부 기판이 안착되는 하부 정반; 및

상기 상부 챔버와 결합하여 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 합착할 수 있는 합착 공간을 형성하는 하부 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
제 1 항에 있어서, 상기 점착제는,

구성성분 중에 질소 0.16 중량 퍼센트, 탄소 66.36 중량 퍼센트, 수소 10.70 중량 퍼센트를 포함하는 폴리이소부틸렌 재질의 고무인 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
제 1 항에 있어서, 상기 점착제는,

상기 상부 정반과 부착되는 면 및 상기 상부 기판과 부착되는 면이 편평하고, 상기 두 면 사이를 관통하는 공간이 있는 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
제 3 항에 있어서, 상기 기판 분리기는

상기 점착제가 상기 상부 정반에 마련되어 상기 상부 기판을 부착한 경우에 , 상기 공간으로 기체를 제공하거나 흡입하는 기체 유출입기; 상기 기체 유출입기와 상기 공간을 연결하는 기체 유출입관; 및 상기 기체 유출입기를 제어하는 기판 분리기 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
제 1 항에 있어서, 상기 점착제는

상기 상부 정반에 다수개가 마련되는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
제 5 항에 있어서, 상기 점착제들은

상기 상부 기판과의 분리가 시작되는 부분에는 서로간의 간격이 넓게 배치되고, 상기 분리가 시작되는 부분과 멀어질수록 서로간의 간격이 좁게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
제 5 항에 있어서,

상기 기판 분리기는 상기 다수개의 점착제와 동일한 개수로 마련되며, 상기 기판 분리기 제어부는 상기 다수개의 기판 분리기 각각의 기체 유출입기를 독립적으로 제어할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
상부 기판을 상부 정반에 마련된 점착제에 부착하고, 하부 기판을 하부 정반에 부착하는 단계;

상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 정렬하는 단계;

상기 점착제에 부착된 상기 상부 기판에 기체를 분사하여 상기 상부 기판을 상기 점착제와 분리하는 단계;

상기 상부 기판이 분리되어 상기 하부 기판 상에 낙하하면 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판합착방법.
제 8항에 있어서 상기 점착제와 상부 기판을 분리하는 단계는,

상기 상부 기판의 가운데 부분과 부착된 점착제부터 먼저 분리하고, 상기 가 운데 부분에서 멀리 위치한 점착제일수록 나중에 분리하는 것을 특징으로 하는 기판합착방법.
기판을 점착력에 의해 부착할 수 있는 점착제를 포함하는 기판합착장치에 있어서,

상부 챔버;

상기 상부 챔버 내에 마련되는 상부 정반;

상기 상부 정반에 마련되며, 상부 기판을 점착력에 의해 부착(attach)하되, 질소 0.16 중량 퍼센트, 탄소 66.36 중량 퍼센트, 수소 10.70 중량 퍼센트를 포함하는 폴리이소부틸렌 재질의 고무인 점착제;

상기 상부 기판과 합착할 하부 기판이 안착되는 하부 정반; 및

상기 상부 챔버와 결합하여 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 합착할 수 있는 합착 공간을 형성하는 하부 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.