KR101466466B1 - 도포 장치 - Google Patents

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KR101466466B1
KR101466466B1 KR1020130020337A KR20130020337A KR101466466B1 KR 101466466 B1 KR101466466 B1 KR 101466466B1 KR 1020130020337 A KR1020130020337 A KR 1020130020337A KR 20130020337 A KR20130020337 A KR 20130020337A KR 101466466 B1 KR101466466 B1 KR 101466466B1
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마사토시 우에노
히로카즈 오제
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

가요성을 가지는 도포액 튜브를 이용하여 도포 헤드에 도포액을 공급하는 경우에도, 도포액 튜브에 산소가 투과하는 것을 막을 수 있는 도포 장치.
가요성을 가지는 도포액 튜브(328)와, 가요성을 가지는 기체 공급 튜브(421)를 결속하여 이루어지는 튜브군(42)에 접속 용기(40)를 통하여 불활성 가스를 공급한다. 이에 의해, 도포액 튜브(328)와 기체 공급 튜브(421)의 사이에 형성된 간극(423)에 불활성 가스를 공급할 수 있어, 도포액 튜브(328)의 주위에 불활성 가스에 의한 층이 생기기 때문에, 도포액 튜브(328)에 산소가 투과하는 것을 막을 수 있다.

Description

도포 장치{APPLICATION APPATATUS}
본 발명은, 유기 EL 표시 장치용 유리 기판, 액정 표시 장치용 유리 기판, PDP용 유리 기판, 태양 전지용 기판, 전자 페이퍼용 기판 혹은 반도체 제조 장치용 마스크 기판 등의 기판에 도포액을 도포하는 도포 장치에 관한 것이다.
도포액을 토출하는 노즐을 주사함으로써 기판에 도포액을 도포하는 도포 장치가, 종래부터 이용되고 있으며, 근래에는, 평면 표시 장치용의 유리의 기판에 대해 화소 형성 재료를 포함하는 도포액을 도포할 때에도 응용이 검토되고 있다. 전형적인 예로는, 기판 상에 형성된 격벽을 따르는 주주사 방향으로 노즐을 이동시키고, 주주사 방향으로의 이동이 완료될 때마다 기판을 주주사 방향에 수직인 부주사 방향으로 이동시킴으로써, 도포액이 소정의 피치로 배열되는 스트라이프 형상으로 도포된다. 이와 같은, 도포 장치에서는, 도포액의 공급원과 노즐의 사이가 가요성을 가지는 도포액 튜브로 접속됨으로써, 이동하는 노즐에 도포액을 상시 공급하는 것이 가능하게 된다. 또, 도포 장치에서는, 토출부에 복수의 노즐을 배열하여 설치하고, 노즐의 배열 방향으로 교차하는 주주사 방향으로 토출부를 이동시킴으로써, 기판 상에 도포액을 단시간에 도포하는 것도 행해진다.
또한, 특허 문헌 1에서는, 기체 공급 튜브의 주위에 복수의 도포액 튜브가 배치되고, 결속재가 복수의 도포액 튜브의 전체의 외주에 밀착되어 상기 외주를 덮음으로써, 이들 튜브가 결속되어 튜브군이 구축되는 것이 개시되어 있다. 이와 같이 튜브군을 구축함으로써, 기판 상으로의 도포액의 도포 시에서의 변형이 억제되며, 기판 상에 도포액을 균일하게 도포하는 것이 실현되고 있다.
일본국 특허공개 2009－131735호 공보
그런데, 특허 문헌 1에 기재된 도포 장치에서는, 튜브군을 구축하는 도포액 튜브는, 유연성을 필요로 하기 때문에 테플론(등록상표)계 재료가 사용되고 있다. 또, 상기 장치에서 도포되는 도포액은 유기 EL(Electro Luminescence) 재료가 사용되고 있으며, 일반적으로 유기 EL 재료는 산소에 접함으로써, 발광 수명이 짧아진다는 문제가 있다. 따라서, 특허 문헌 1에 기재된 장치를 이용하여, 유기 EL 재료를 도포하는 경우, 테플론(등록상표)계 재료로 제작된 도포액 튜브에 산소가 투과하여, 유기 EL 재료에 악영향을 미칠(예를 들면 유기 EL 재료의 수명을 짧게 할) 우려가 있다.
본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 복수의 토출구를 가지는 토출부를 고속으로 이동시키면서 도포를 행하는 도포 장치에 있어서, 공급 도중의 도포액이 산소 등에 접하는 것을 막는 것을 목적으로 한다.
청구항 1에 관련된 발명은, 기판에 도포액을 도포하는 도포 장치로서, 기판을 수평으로 유지하는 기판 유지부와, 기판에 평행한 부주사 방향으로 배열된 복수의 토출구로부터 기판을 향해 도포액을 토출하는 토출부와, 부주사 방향에 수직 또는 기판에 평행한 주주사 방향으로 신장하는 가이드부와, 가이드부에 걸어 맞춰지면서 가이드부와의 사이에 기체를 분출함으로써 비접촉 상태로 가이드부에 지지되는 슬라이더를 가지고, 슬라이더에 부착된 토출부를 주주사 방향으로 이동시키는 주주사 기구와, 토출부의 주주사 방향으로의 이동이 완료될 때마다 기판을 토출부에 대해 부주사 방향으로 상대적으로 이동시키는 부주사 기구와, 가요성을 가지며 기체를 슬라이더에 공급하는 기체 공급 튜브와, 각각이 가요성을 가지며 도포액을 토출부에 공급하는 복수의 도포액 튜브를 일체적으로 덮도록 결속재로 결속한 튜브군과, 튜브군의 토출부와는 반대측의 단부와 연결되는 접속 용기와, 접속 용기 내에 불활성 가스를 공급하는 가스 공급부와, 도포액 튜브에 도포액을 공급하는 도포액 공급부와, 기체 공급 튜브에 기체를 공급하는 기체 공급부를 구비하고, 가스 공급부는, 접속 용기 내에 공급된 불활성 가스를, 기체 공급 튜브와 복수의 도포액 튜브가 결속됨으로써 형성된 간극에 공급하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성된 발명에서는, 가요성을 가지는 도포액 튜브와 기체 공급 튜브를 결속하여 이루어지는 튜브군의 사이에 형성된 간극에, 접속 용기를 통하여 불활성 가스를 공급함으로써, 도포액 튜브의 주위에 불활성 가스에 의한 층이 생기기 때문에, 도포액 튜브에 산소가 투과하여 그 튜브를 흐르는 도포액이 산소에 노출되는 것을 막을 수 있다. 이에 의해, 도포액의 산소에 의한 수명 저하 등을 막을 수 있다.
청구항 2에 관련된 발명은, 기판에 도포액을 도포하는 도포 장치로서, 기판을 수평으로 유지하는 기판 유지부와, 기판에 평행한 부주사 방향으로 배열된 복수의 토출구로부터 기판을 향해 도포액을 토출하는 토출부와, 부주사 방향에 수직 또는 기판에 평행한 주주사 방향으로 신장하는 가이드부와, 가이드부에 걸어 맞춰지면서 가이드부와의 사이에 불활성 가스를 분출함으로써 비접촉 상태로 가이드부에 지지되는 슬라이더를 가지고, 슬라이더에 부착된 토출부를 주주사 방향으로 이동시키는 주주사 기구와, 토출부의 주주사 방향으로의 이동이 완료될 때마다 기판을 토출부에 대해 부주사 방향으로 상대적으로 이동시키는 부주사 기구와, 가요성을 가지며 불활성 가스를 슬라이더에 공급하는 기체 공급 튜브와, 각각이 가요성을 가지며 도포액을 토출부에 공급하는 복수의 도포액 튜브를 일체적으로 덮도록 결속재로 결속한 튜브군과, 튜브군의 토출부와는 반대측의 단부와 연결되는 접속 용기와, 접속 용기 내에 불활성 가스를 공급하는 가스 공급부와, 도포액 튜브에 도포액을 공급하는 도포액 공급부를 구비하고, 가스 공급부는, 접속 용기 내에 공급된 불활성 가스를, 튜브군을 구성하는 기체 공급 튜브와, 기체 공급 튜브와 복수의 도포액 튜브가 결속됨으로써 형성된 간극에 공급하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성된 발명에서는, 가요성을 가지는 도포액 튜브, 기체 공급 튜브를 결속하여 이루어지는 튜브군에 접속 용기를 통하여 불활성 가스를 공급함으로써, 도포액 튜브와 기체 공급 튜브 사이에 형성된 간극과, 기체 공급 튜브에 불활성 가스를 공급할 수 있어, 도포액 튜브의 주위에 불활성 가스에 의한 층이 생기기 때문에, 도포액 튜브에 산소가 투과하여 그 튜브를 흐르는 도포액이 산소에 노출되는 것을 막을 수 있다. 이에 의해, 도포액의 산소에 의한 수명 저하 등을 막을 수 있다.
청구항 3에 관련된 발명은, 도포액 공급부는, 도포액을 저류하는 도포액 저류부와, 도포액 저류부로부터 접속 용기까지 도포액을 공급하는 복수의 금속 배관을 가지고, 각각의 금속 배관은, 접속 용기에 연결된 튜브군으로부터 연장된 각각의 도포액 튜브와 접속되는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성된 발명에서는, 도포액 저류부로부터 접속 용기까지 도포액을 공급하는 관을 금속 배관으로 함으로써 도포액 튜브와 접속될 때까지 도포액이 산소에 노출되는 것을 막을 수 있다.
청구항 4에 관련된 발명은, 각각의 금속 배관과, 각각의 도포액 튜브의 접속은, 접속 용기 내에서 행해지는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성된 발명에서는, 금속 배관과 도포액 튜브를 접속 용기 내에 접속함으로써, 도포액 저류부로부터 기판 상에 도포될 때까지 동안에 산소에 노출되는 것을 확실히 막을 수 있다.
청구항 5에 관련된 발명은, 가스 공급부는, 접속 용기 내에 대기압보다 높은 압력으로 불활성 가스를 공급하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성된 발명은, 접속 용기 내에 공급된 불활성 가스를 확실히 간극에 송출할 수 있다.
청구항 6에 관련된 발명은, 도포액이 유기 EL 표시 장치용의 유기 EL 재료 를 포함하는 것을 특징으로 하고, 청구항 7에 관련된 발명은 유기 EL 재료가 정공 수송 재료를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성된 발명에서는, 도포액의 산소 폭로에 의한 수명 저하를 막을 수 있어, 유기 EL 표시 장치용의 도포 장치에 적용할 수 있다.
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 관련된 발명에 의하면, 복수의 토출구를 가지는 토출부를 고속으로 이동시키면서 도포를 행하는 도포 장치에 있어서, 가요성을 가지는 도포액 튜브와, 기체 공급 튜브를 결속하여 이루어지는 튜브군에 형성되는 간극에, 접속 용기를 통하여 불활성 가스를 공급함으로써, 도포액 튜브의 주위에 불활성 가스에 의한 층을 형성하여, 도포액 튜브에 산소가 투과하는 것에 의한 도포액의 산소 폭로를 막을 수 있다. 이에 의해, 도포액의 산소에 의한 수명 저하 등을 막을 수 있다.
도 1은 도포 장치의 평면도이다.
도 2는 도포 장치의 정면도이다.
도 3은 도포액 공급부의 구성을 나타내는 도이다.
도 4는 헤드 이동 기구의 슬라이더의 단면도이다.
도 5는 튜브군의 절단부 단면도이다.
도 6은 제1 실시 형태에서의 접속 용기를 설명하기 위한 개요도이다.
도 7은 도포액의 도포의 흐름을 나타내는 도이다.
도 8은 제2 실시 형태에서의 접속 용기를 설명하기 위한 개요도이다.
이하, 이 발명의 실시의 형태를 도 1 및 도 2를 참조하면서 설명한다. 도 1은 이 발명에 관련된 도포 장치(1)의 평면도이며, 도 2는 그 정면도이다.
이 도포 장치(1)는, 직사각형 형상의 유리 기판(이하, 간단히 「기판」이라고 칭한다)(9)에 대해 도포액을 도포하기 위한 것이다. 보다 상세하게는, 이 도포 장치(1)는, 액티브 매트릭스 구동 방식의 유기 EL(Electro Luminescence) 표시 장치용의 기판(9)에, 휘발성의 용매(본 실시의 형태에서는, 방향족의 유기 용매), 및, 발광 재료로서의 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 도포하기 위한 것이다.
이 도포 장치(1)는, 주로, 기판(9)을 수평으로 유지하는 스테이지(10)와, 스테이지(10)를 이동시키는 스테이지 이동 기구(20)와, 스테이지(10)에 유지된 기판(9)의 상면에 도포액을 도포하기 위한 도포 헤드(30)와, 도포 헤드(30)에 도포액을 공급하기 위한 도포액 공급부(32)와, 헤드 이동 기구(50)에 불활성 가스를 공급하는 가스 공급부(33)와, 도포액 공급부(32)에 접속된 분기관(327)과, 가스 공급부(33)에 접속된 가스 공급관(331)이 접속되는 접속 용기(40)와, 도포 헤드(30)를 이동시키는 헤드 이동 기구(50)를 구비한다. 또, 도포 장치(1)는, 도포 장치(1)가 구비하는 각 부와 전기적으로 접속되고, 이들 각 부의 동작을 제어하는 제어부(2)를 구비한다.
스테이지(10)는, 평판 형상의 외형을 가지고, 그 상면에 기판(9)을 수평 자세로 올려 놓아 유지하는 기판 유지부로서 기능한다. 또, 스테이지(10)는, 기판(9)보다 사이즈가 작다. 스테이지(10)의 상면에는 복수의 흡인구멍(도시 생략)이 형성되어 있다. 이들 흡인구멍은 진공 펌프 등에 접속되어 있으며, 그 진공 펌프를 동작시킴으로써, 스테이지(10) 상에 기판(9)을 올려 놓았을 때에는, 흡인구멍으로부터의 흡인압에 의해 기판(9)은 스테이지(10)의 상면에 흡착되어 고정적으로 유지된다. 또, 스테이지(10)는, 그 내부에 히터에 의한 가열 기구(도시 생략)를 구비한다. 그리고, 스테이지(10) 상에 올려 놓아진 기판(9)을 소정의 온도로 가열할 수 있다.
스테이지 이동 기구(20)는, 스테이지(10)를 기판(9)의 주면에 대해 평행한 소정의 방향(즉, 도 1 중의 Y방향이며, 이하, 「부주사 방향」이라고 칭한다)으로 수평 이동시킨다. 스테이지 이동 기구(20)는, 스테이지(10)를 회전시키는 회전 기구(24)와, 스테이지(10)를 회전 가능하게 지지하는 지지 플레이트(23)와, 지지 플레이트(23)를 수평으로 지지하는 기대(21)와, 기대(21)를 부주사 방향으로 이동시키는 부주사 기구(22)를 가지고 있다. 회전 기구(24), 부주사 기구(22)는, 제어부(2)와 전기적으로 접속되어 있으며, 제어부(2)로부터의 지시에 따라 스테이지(10)를 이동시킨다.
회전 기구(24)는, 스테이지(10)의 내부에 부착된 회전자에 의해 구성된 모터를 가지고 있다. 또, 스테이지(10)의 중앙부 하면측과 지지 플레이트(23)의 사이에는 회전 베어링 기구가 설치되어 있다. 그 때문에, 모터를 동작시키면, 회전자가 Z축 둘레의 회전 방향으로 구동하고, 회전 베어링 기구의 회전축을 중심으로 하여 스테이지(10)가 소정 각도의 범위 내에서 회전한다.
부주사 기구(22)는, 지지 플레이트(23)를 하방으로부터 지지하는 기대(21)의 하면에 부착된 리니어 모터(221)와, 부주사 방향으로 연장되는 한 쌍의 가이드 레일(222)을 가지고 있다. 이 때문에, 리니어 모터(221)를 구동시키면, 가이드 레일(222)을 따라 기대(21) 및 스테이지(10)가 부주사 방향으로 이동한다.
도포 헤드(30)는, 복수의 노즐(31)을 구비한다. 보다 구체적으로는 노즐(31)을 16개 구비하고 있다. 또한, 노즐(31)의 개수에 대해서는 1개 이상이면 되고, 다수의 노즐을 구비하고 있어도 된다.
도포 헤드(30)는, 스테이지(10)에 유지된 기판(9)의 상면을 향해 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 연속적으로 토출한다. 바꾸어 말하면, 도포 헤드(30)는 노즐(31)로부터 도포액을 액주 상태로 토출하기 위한 토출부이다. 또, 복수의 노즐(31)은, 기판(9)의 주면에 평행이며 부주사 방향에 수직인 방향(즉, 도 1 중의 Y방향에 수직인 X방향이며, 이하, 「주주사 방향」이라고 칭한다)에 관해서 대략 직선 형상으로 떨어져 배열됨과 함께 도 1 중의 부주사 방향으로 미소하게 어긋나 배치된다.
본 실시 형태에서는, 인접하는 2개의 노즐(31)의 사이의 부주사 방향에 관한 거리가, 기판(9)의 도포 영역(91)(도 1 중에 있어서 파선으로 둘러싸서 나타낸다) 상에 미리 형성되어 있는 주주사 방향으로 신장하는 격벽 간의 피치(이하, 「격벽 피치」라고 칭한다)의 3배에 동등해지도록 조정되어 있다.
도포액 공급부(32)는, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 도포 헤드(30)로 공급하기 위한 기구이다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 도포액 공급부(32)는, 도포액 저류부로서 기능하는 도포액을 저류하는 용기(321)에 일단이 접속되는 액공급관(322)을 가지며, 액공급관(322)에는, 펌프(323), 매스 플로우 콘트롤러(324), 압력계(325) 및 필터 (326)가, 용기(321)측으로부터 (타방의 단부를 향해) 순서대로 설치된다. 액공급관(322)의 용기(321)와는 반대측의 단부는 복수의 분기관(327)으로 분기하고 있으며, 복수의 분기관(327)이 후기하는 접속 용기(40)에 접속되어 있다.
도포액 공급부(32)로부터 복수의 분기관(327)에 도포액이 일정한 유량으로 도입되며, 각각의 노즐(31)에 도포액이 공급된다. 또한, 여기서, 액공급관(322) 및 복수의 분기관(327)은, 산소 등이 침투하지 않는 재질의 관이 이용되어 있다. 이러한 재질로서는, 예를 들면 스텐레스강 등의 금속 배관을 이용할 수 있다. 이와 같이, 액공급관(322), 분기관(327)에 산소 폭로가 일어나기 어려운 재질을 채용함으로써, 산소 등의 영향을 받아 유기 EL 재료의 수명 저하를 막을 수 있다.
가스 공급부(33)는, 헤드 이동 기구(50)에 불활성 가스(예를 들어, 질소 가스 등)를 공급하기 위한 기구이며, 후기하는, 접속 용기(40)에 가스 공급관(331)을 통하여 접속되어 있다. 가스 공급부(33)는 적어도 도포 처리가 행해지고 있는 동안은 불활성 가스를 공급하고 있다. 또한, 처리가 정지하고 있는 동안도 불활성 가스를 공급하고 있어도 된다.
헤드 이동 기구(50)는, 한 쌍의 가이드부(51)와, 가이드부(51)에 대해 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 슬라이더(52)와, 한 쌍의 가이드부(51)의 양단부 근방에 설치되며, Z축 방향을 향하는 축을 중심으로 회전 가능한 한 쌍의 풀리(53)와, 풀리(53)에 감겨진 무단 형상의 동기 벨트(54)를 구비한다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 슬라이더(52)는 관통구멍(52a)이 형성되어 있으며, 가이드부(51)가 관통구멍(52a)에 삽입된다. 실제로는, 도 1에 나타내는 바와 같이 (-Y)측의 슬라이더(52)에는 후술하는 튜브군(42)에 포함되는 기체 공급 튜브(421)를 통하여, 또, (+Y)측의 슬라이더(52)에는 도시 생략한 기체 공급 튜브(421)를 통하여 가스 공급부(33)로부터 일정 압력의 불활성 가스가 공급되고 있으며, 도 4에 나타내는 바와 같이, 관통구멍(52a)의 내주면과 가이드부(51)의 외주면의 사이에 불활성 가스가 분출되고(도 4에서는, 불활성 가스의 분출 방향을 부호 A1를 붙이는 화살표로 나타내고 있다.), 슬라이더(52)가 가이드부(51)에 비접촉 상태로 걸어 맞춰지면서 주주사 방향으로 이동 가능하게 지지된다.
도 1에 나타내는 2개의 가이드부(51)의 사이에서, 가이드부(51)의 양단부의 근방에는, 환 형상의 동기 벨트(54)가 걸어지는 2개의 풀리(53)가 각각 설치된다. 슬라이더(52)는 동기 벨트(54)에 고정되어 있으며(도 4참조), (-Y)측의 슬라이더(52)에는 도포 헤드(30)가 부착된다. 헤드 이동 기구(50)에서는, 일방의 풀리(53)에 접속되는 모터가 구동됨으로써, 동기 벨트(54)가 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하여, 도포 헤드(30)가 (-X)방향 또는 (+X)방향으로 고속 또한 매끄럽게 이동한다.
헤드 이동 기구(50)가, 도포 헤드(30)를 주주사 방향으로 이동시키는 주주사 기구가 된다. 또한, 헤드 이동 기구(50)는, 제어부(2)와 전기적으로 접속되어 있으며, 제어부(2)로부터의 지시에 따라 도포 헤드(30)를 이동시킨다.
도포 헤드(30)의 주주사 방향으로의 이동이 완료될 때 마다, 기판(9)을 유지하는 스테이지(10)를 부주사 방향으로 이동시킴으로써, 기판(9)의 표면의 도포 영역(91)에 대해 도포액의 도포를 실행한다. 또한, 도포 헤드(30)의 주주사 시에는, 수액부(12)의 근방에서 가속 또는 감속이 완료되며, 기판(9)의 상방에서는, 도포 헤드(30)는, 예를 들면, 매초 3~5m 정도의 일정 속도로 이동한다.
제어부(2)는, 각종의 연산 처리를 실행하면서, 도포 장치(1)가 구비하는 각 부의 동작을 제어한다. 제어부(2)는, 예를 들면 각종 연산 처리를 행하는 CPU, 부트 프로그램 등을 기억하는 ROM, 연산 처리의 작업 영역이 되는 RAM, 프로그램이나 각종의 데이터 파일 등을 기억하는 하드 디스크 등의 기억부, 각종 표시를 행하는 디스플레이, 키보드, 및, 마우스 등의 입력부, LAN 등을 통하여 데이터 통신 기능을 가지는 데이터 통신부, 등을 가지는 컴퓨터에 의해 구성된다. 컴퓨터에 인스톨된 프로그램을 따라 컴퓨터가 동작함으로써, 상기 컴퓨터가 도포 장치(1)의 제어부(2)로서 기능한다. 또한, 제어부(2)에서 실현되는 각 기능부는, 컴퓨터에 의해 소정의 프로그램이 실행됨으로써 실현되어도 되고, 전용의 하드웨어에 의해 실현되어도 된다.
또, 이 도포 장치(1)는, 기판(9) 상에 형성된 얼라이먼트 마크(도시 생략)를 촬상하여 검출하기 위한 좌우 한 쌍의 촬상부(11)를 구비한다. 이 한 쌍의 촬상부(11)에는, 각각, CCD 카메라가 설치되어 있다. 그리고, 촬상부(11)에서 검출된 얼라이먼트 마크의 위치에 기초하여, 기판(9)의 위치 맞춤이 행해진다.
또, 도포 헤드(30)의 왕복 이동 방향(X방향)에 관해서 스테이지(10)의 양측에는, 도포 헤드(30)에서의 노즐(31)로부터의 도포액을 받는 한 쌍의 수액부(12)가 설치되어 있다. 도포 헤드(30)는, 기판(9)에 대한 도포 처리를 행하고 있지 않은 동안(대기하고 있는 동안)도, 도포액을 연속적으로 토출하고 있다. 수액부(12)는, 이 동안에 토출되는 도포액을 받기 위한 기구이며, 그 내부에 다공성 부재를 구비하기 때문에 도포 헤드(30)로부터 토출된 도포액이 주위에 튀는 것을 막을 수 있다.
도 5는, 튜브군(42)의 절단부 단면도이다. 튜브군(42)은, 가스 공급부(33)로부터 도입되는 불활성 가스를 슬라이더(52)로 이끄는 가요성을 가지는 기체 공급 튜브(421)와, 각각이 가요성을 가짐과 함께 도포액 공급부(32)로부터 도입되는 도포액을 복수의 노즐(31)로 이끄는 도포액 튜브(328)를 가지고, 기체 공급 튜브(421)의 주위에 도포액 튜브(328)가 배치된다. 여기서, 기체 공급 튜브(421)의 내부는 가스 공급로(422)로서 기능하며, 각각의 도포액 튜브(328)의 내부가 도포액 공급로(329)로서 기능한다.
또, 각각의 도포액 튜브(328), 및 기체 공급 튜브(421)는, 불소계 수지로 형성되어 있으며, 이러한 재료로서 PFA(테트라플루오르에틸렌·퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체) 등의 테플론(등록상표)계 재료를 채용할 수 있다. 물론, 가요성을 가지는 도포액 튜브(328) 및 기체 공급 튜브(421)는, 다른 재료로 형성되어도 된다.
실제로는, 복수의 도포액 튜브(328)는, 기체 공급 튜브(421)의 외주 상에서 등간격(즉, 기체 공급 튜브(421)의 중심축을 중심으로 하는 둘레방향에 등각도 감각으로) 배치된다. 본 실시 형태에서는, 기체 공급 튜브(421)의 외경(직경)이 6밀리미터(mm)가 되고(내경 4mm), 도포액 튜브(328)의 외경이 1.5밀리미터(mm)가 되며(내경 0.5mm), 16개(도 5는 도시의 형편상, 8개만 기재하고 있다)의 도포액 튜브(328)는 기체 공급 튜브(421)의 외주 상에 조밀하게 배열된다.
또, 튜브군(42)은 복수의 도포액 튜브(328)의 전체의 외주(즉, 기체 공급 튜브(421)의 주위에 배치되는 복수의 도포액 튜브(328)를 1개의 부재로서 파악한 경우의 외주)에 밀착되어 상기 외주를 덮는 결속재(424)를 가지고, 결속재(424)에 의해 기체 공급 튜브(421) 및 복수의 도포액 튜브(328)가 거의 일체적으로 결속된다. 이 때, 기체 공급 튜브(421)와 복수의 도포액 튜브(328)가 결속재(424)에 의해 결속됨으로써 간극(423)이 형성된다.
실제로는, 복수의 도포액 튜브(328)를 기체 공급 튜브(421)의 주위에 배치한 것을, 테플론(등록상표)계 재료로 형성되는 관 형상의 열수축성 부재인 결속재(424)에 삽입하고, 열을 부여하여 열수축성 부재를 수축시키지만, 간극(423)을 완전하게 없앨 수는 없다.
복수의 도포액 튜브(328)와 기체 공급 튜브(421)를 결속하는 구조에 의해, 튜브군(42)에서는 변형에 대한 강성이 매우 커져, 도포 헤드(30)가 고속으로 이동한 경우에도, 충분한 강성을 유지할 수 있다.
도 6은, 접속 용기(40)를 설명하기 위한 개요도이다. 접속 용기(40)는, 내부에 밀폐된 공간을 가지는 직사각형 형상의 용기(직육면체)이며, 도포액 공급부(32)로부터 도포액을 공급하는 분기관(327), 기체 공급 튜브(421)에 불활성 가스를 공급하기 위한 가스 공급관(331), 도포액 및 불활성 가스를 노즐(31) 및 슬라이더(52)에 공급하기 위한 튜브군(42)이 접속되어 있다.
접속 용기(40)를 구성하는 하나의 벽면에는, 가스 공급관(331)을 연결하기 위한 개구부가 형성되어 있다. 상기 개구부와 가스 공급관(331)은 연결 부재(44)를 통하여 연결된다. 연결 부재(44)는 시일 구조를 가지고 있으며, 접속 용기(40)의 내부를 밀폐 상태로 유지한 채로 가스 공급관(331)을 접속 용기(40)에 연통 접속하는 것이 가능해진다. 접속 용기(40)에 가스 공급관(331)이 연통 접속됨으로써, 가스 공급관(331)의 타방측에 연통 접속된 가스 공급부(33)로부터 공급된 불활성 가스가, 일방측의 가스 공급구(332)로부터 접속 용기(40) 내에 공급된다.
또, 가스 공급관(331)이 연결된 접속 용기(40)의 벽면에는, 분기관(327)을 연결하기 위한 개구부가 분기관(327)과 동수만큼 형성되어 있다. 도 6은 도시의 형편상, 복수의 분기관(327)을 4개만 도시하고 있지만, 본 실시 형태에서는 8개씩, 2열로 연결되어 있다. 또한, 접속 용기(40)와 분기관(327)의 연결은 이것에 한정되는 것이 아니라, 접속 용기(40)의 다른 벽면이어도 되고, 또 연결은 1열이어도 복수열이어도 적절히 채용할 수 있다.
또, 가스 공급관(331) 및 분기관(327)이 연결되는 접속 용기(40)의 벽면과는 다른 벽면에, 튜브군(42)을 연결하기 위한 개구부가 형성되어 있다. 상기 개구부와 튜브군(42)의 도포 헤드(30)와는 반대측의 단부가 연결 부재(41)를 통하여 연결된다. 연결 부재(41)는 시일 구조를 가지고 있으며, 접속 용기(40)의 내부를 밀폐 상태로 유지한 채로 튜브군(42)을 접속 용기(40)에 삽입 통과 가능해진다.
튜브군(42)의 단부는 접속 용기(40) 내에 삽입 통과되어 있으며, 그 단부로부터 도포액 튜브(328)가 연장되어 있으며, 연결 부재(43)를 통하여 각각의 분기관(327)과, 각각의 도포액 튜브(328)가 연결되어 연통 접속된다. 이와 같이 하여, 분기관(327)을 통하여 공급된 도포액을 각각의 도포액 튜브(328)에 공급하는 것이 가능해진다. 특히, 분기관(327)과 도포액 튜브(328)의 연결은 접속 용기(40) 내에서 행해진다. 접속 용기(40) 내란, 접속 용기(40)에 설치된 연결 부재(43) 중에서 분기관(327)과 도포액 튜브(328)가 연결되는 상태, 및, 분기관(327)이 연결 부재(43)를 통하여 접속 용기(40) 내에 삽입 통과되며, 접속 용기(40) 내에서, 기존의 연결 수단에 의해 분기관(327)과 도포액 튜브(328)를 연결하는 상태를 포함하는 것이다.
또, 접속 용기(40) 내에 삽입 통과된 튜브군(42)을 구성하는 기체 공급 튜브(421)의 단부는 접속 용기(40) 내에서 개구하고 있다. 아울러, 기체 공급 튜브(421)와 복수의 도포액 튜브(328)가 결속재(424)에 의해 결속됨으로써 형성된 간극(423)도, 접속 용기(40) 내에서 개구하고 있다. 따라서, 가스 공급부(33)로부터 가스 공급관(331)을 통하여 접속 용기(40) 내에 공급된 불활성 가스는, 기체 공급 튜브(421) 및 간극(423)에 공급된다. 이 때, 가스 공급부(33)로부터 공급되는 불활성 가스의 공급압은 대기압보다 높은 압력인 것이 바람직하다. 왜냐하면, 대기압보다 높은 압력으로 불활성 가스를 공급함으로써, 확실히 간극(423)에 불활성 가스를 공급할 수 있기 때문이다.
기체 공급 튜브(421)를 통하여 슬라이더(52)에 불활성 가스를 공급함으로써, 슬라이더(52)는 가이드부(51)에 비접촉 상태로 걸어 맞춰지면서 주주사 방향으로 이동 가능하게 지지된다. 또, 간극(423)에 불활성 가스가 공급됨으로써, 튜브군(42)을 구성하는 복수의 도포액 튜브(328)의 주위에 불활성 가스의 층이 형성된다.
이와 같이, 테플론(등록상표)계 재료로 생성된 도포액 튜브(328)의 주위에 불활성 가스의 층을 형성함으로써, 도포액 튜브(328) 내부에 산소가 투과하는 것을 막아, 도포액의 산소 폭로에 의한 수명 저하를 막을 수 있다.
또, 상기 서술한 바와 같이 금속 배관으로 형성된 분기관(327)과, 테플론(등록상표)계 재료로 생성된 도포액 튜브(328)를 불활성 가스가 충만한 접속 용기(40) 내에서 연결시킴과 함께, 튜브군(42)의 간극(423)에 불활성 가스를 공급함으로써, 도포액 튜브(328)가 어느 구간에서도 산소에 접하는 것을 막을 수 있다.
다음에, 도 7을 참조하면서 도포 장치(1)에서의 구체적인 도포 동작에 대해서 설명한다. 도 7은 도포 장치(1)에서의 도포액의 도포의 흐름을 나타내는 도이다. 기판(9)이 스테이지(10)에서 유지되면, 촬상부(11)가 얼라이먼트 마크를 촬상하고 촬상부(11)로부터의 출력에 기초하여 스테이지 이동 기구(20)가 구동되며 기판(9)이 이동 및 회전하여 도포 개시 위치로 이동한다(단계 S11). 상기 서술한 바와 같이, 기판(9)의 주면 상에는 서로 평행한 복수의 격벽이 배열 형성되며, 주면 상의 격벽 간의 영역수의 선 형상 영역이 주주사 방향에 수직인 부주사 방향으로 일정한 영역 피치로 주면 상에 배열된 상태로, 처리 대상의 기판(9)이 준비되게 된다. 이 때, 도포 헤드(30)는, 부주사 방향에 관해서 기판(9)의 (+Y)측의 단부 근방이며, 주주사 방향에서, 대기 위치인 수액부(12)의 상방에 미리 배치되어 있다.
계속하여, 복수의 노즐(31)로부터 도포액의 토출이 개시되고(단계 S12), 또한, 헤드 이동 기구(50)가 제어되어 도포 헤드(30)의 주주사 방향의 이동(즉, 도 1 중의 (-X)측에서 (+X)측으로의 주주사)이 개시된다. 이에 의해, 복수의 노즐(31)의 각각으로부터 기판(9)의 주면을 향해 도포액을 일정한 유량으로 연속적으로(중단되지 않고) 토출되면서, 도포 헤드(30)가 주주사 방향으로 연속적으로 일정한 속도로 이동하고, 기판(9)의 도포 영역(91)의 16개의 선 형상 영역에 도포액이 스트라이프 형상으로 도포된다(단계 S13).
그리고, 도포 헤드(30)가 대기 위치인 수액부(12)의 상방까지 이동함으로써, 도포액에 의한 스트라이프 형상의 패턴이 형성된다. 또한, 도 1 중에서의 도포 영역(91)의 (-X)측 및 (+X)측의 비도포 영역(및, 필요에 따라 (+Y)측 및 (-Y)측의 비도포 영역)은 도시 생략한 마스크에 의해 덮여 있기 때문에 도포액은 기판(9) 상에 직접은 도포되지 않는다.
도포 헤드(30)가 대기 위치까지 이동하면, 스테이지 이동 기구(20)가 구동되어, 기판(9)이 스테이지(10)와 함께 (+Y)방향(즉, 부주사 방향)으로 영역 피치의 48배에 동등한 거리만큼 이동한다(단계 S14). 이 때, 도포 헤드(30)에서는, 복수의 노즐(31)로부터 수액부(12)를 향해 도포액이 연속적으로 토출되고 있다.
부주사 방향에서의 기판(9)의 이동이 종료되면, 기판(9) 및 스테이지(10)가 도포 종료 위치까지 이동했는지 아닌지가 제어부(2)에 의해 확인된다(단계 S15). 그리고, 도포 종료 위치까지 이동하고 있지 않은 경우에는, 단계 S13로 되돌아와 도포 헤드(30)가 복수의 노즐(31)로부터 도포액을 토출하면서 기판(9)의 (+X)측으로부터 (-X)방향(즉, 주주사 방향)으로 이동함으로써, 기판(9) 상의 선 형상 영역에 도포액이 도포된다(스테소프 S13). 그 후, 기판(9)이 부주사 방향으로 이동하고, 도포 종료 위치까지 이동했는지 아닌지의 확인이 행해진다(단계 S14, S15).
도포 장치(1)에서는, 스테이지(10) 및 기판(9)이 도포 종료 위치에 위치할 때까지, 도포 헤드(30)의 주주사 방향으로의 이동이 완료될 때마다, 기판(9)이 부주사 방향으로 상대적으로 이동되고(즉, 도포 헤드(30)의 주주사 방향에서의 이동, 및, 기판(9)의 (+Y)측으로의 단계 이동이 반복되고), 이에 의해, 기판(9)의 도포 영역(91)에서, 도포액이 영역 피치의 3배에 동등한 피치로 배열된 스트라이프 형상으로 도포된다(단계 S13~S15). 도포 장치(1)에서는, 부주사 방향에 관해, 기판(9) 상에서 도포액의 도포가 진행되는 방향(즉, 도포 헤드(14)의 기판(9)에 대한 상대 이동 방향)은, 스테이지 이동 기구(20)에 의한 기판(9)의 이동 방향과는 반대 방향이 되어 있다.
실제로는, 도포 장치(1)에서는 도포 헤드(30)의 주주사 방향으로의 이동, 및, 기판(9)의 부주사 방향으로의 이동이 고속으로 반복되지만(즉, 도포 헤드(30)의 주주사 방향으로의 왕복 이동이 고속으로 반복된다.), 튜브군(42)의 변형에 대한 강성이 높음으로써, 기판(9) 상으로의 도포액의 도포 시에서 튜브군(42)은 거의 변형되지 않는다. 따라서, 튜브군(42)이 거의 일정한 형상을 유지한 채로(이른바 강체 모드로) 도포 헤드(30)가 진동 운동한다.
그리고, 기판(9)이 도포 종료 위치까지 이동하면, 복수의 노즐(31)로부터의 도포액의 토출이 정지되고(단계 S15, S16), 도포 장치(1)에 의한 기판(9)에 대한 도포액의 도포가 종료된다. 도포 장치(1)에 의한 도포가 종료된 기판(9)은, 다른 도포 장치 등으로 반송되며, 도포 장치(1)에 의해 도포된 도포액 이외의 다른 2색 도포액이 도포된다. 그리고, 기판(9)에 대해 소정의 공정이 행해진 후, 다른 부품과 조합되어 유기 EL 표시 장치가 제조된다. 또한, 도포 장치(1)에서는, 실제로는 복수의 기판(9)에 대해 연속적으로 도포액의 도포가 행해진다.
이상, 설명한 바와 같이 본 발명의 도포 장치(1)에서는, 도포 헤드(30)를 고속으로 이동시키면서 기판(9) 상에 도포액을 균일하게 도포하기 때문에, 도포 헤드(30)에 도포액 및 불활성 가스를 공급하기 위한 도포액 튜브(328) 및 기체 공급 튜브(421)에 가요성을 가지는 재료를 채용한다. 그 때, 접속 용기(40) 내에서 분기관(327)과 도포액 튜브(328)를 연결하고, 접속 용기(40) 내에 공급된 불활성 가스를 기체 공급 튜브(421) 및 튜브군(42) 내의 간극(423)에 공급함으로써, 도포액 튜브(328) 내에 산소가 투과하지 않아, 도포액의 수명 저하를 막을 수 있다. 동시에 도포 헤드(30)의 고속 이동에 의한 도포를 행할 수 있다.
다음에, 이 발명의 다른 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 8은, 이 발명의 제2 실시 형태에 관련된 접속 용기(40)를 설명하기 위한 개요도이다. 제2 실시 형태는, 기체 공급 튜브(421)에 기체를 공급하기 위한 기체 공급부(34)와, 기체 공급부(34)로부터 접속 용기(40)까지 기체를 공급하기 위한 에어 공급관(341)을 구비하는 점에서, 상기 서술한 제1 실시 형태와 다르다. 또한, 도 6에 나타내는 제1 실시 형태와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 상세한 설명을 생략한다.
기체 공급부(34)는, 헤드 이동 기구(50)에 기체를 공급하기 위한 기구이며, 접속 용기(40)에 에어 공급관(341)을 통하여 접속되어 있다. 기체 공급부(34)는 적어도 도포 처리가 행해지고 있는 동안은 기체를 공급하고 있다. 또한, 처리가 정지하고 있는 동안도 기체를 공급하고 있어도 된다. 또, 기체 공급부(34)가 공급하는 기체로서는, 공기(에어)나 불활성 가스(예를 들면, 질소 등) 등이어도 되고, 그 외의 기체여도 된다. 본 실시 형태에서는, 이후의 설명에서 에어를 공급하는 예를 설명한다.
에어 공급관(341)은 기체 공급부(34)와 접속 용기(40)를 연결하고 있으며, 기체 공급부(34)로부터 공급된 에어를 접속 용기(40)로 이끈다. 접속 용기(40)에는, 에어 공급관(341)과 연결하기 위한 개구부가 형성되어 있으며, 상기 개구부에 연결 부재(45)를 통하여 에어 공급관(341)이 연결된다. 또한, 연결 부재(45)는 시일 구조를 가지고 있다. 또, 튜브군(42)의 단부는 접속 용기(40) 내에 삽입 통과되어 있으며, 그 단부로부터 도포액 튜브(328)와, 기체 공급 튜브(421)가 연장되어 있으며, 연결 부재(43)를 통하여 각각의 분기관(327)과, 각각의 도포액 튜브(328)가 연결되어 연통 접속된다. 마찬가지로, 연결 부재(45)를 통하여 에어 공급관(341)과 기체 공급 튜브(421)가 연결되어 연통 접속된다.
이와 같이 하여, 분기관(327)을 통하여 공급된 도포액을 각각의 도포액 튜브(328)에 공급하는 것이 가능해진다. 마찬가지로, 기체 공급부(34)로부터 공급되는 에어를 기체 공급 튜브(421)에 공급하는 것이 가능해진다.
이상, 설명한 바와 같이 제2 실시 형태의 도포 장치에서는, 도포 헤드(30)를 고속으로 이동시키면서 기판(9) 상에 도포액을 균일하게 도포하기 때문에, 도포 헤드(30)에 도포액 및 에어를 공급하기 위한 도포액 튜브(328) 및 기체 공급 튜브(421)에 가요성을 가지는 재료를 채용한다. 그 때, 접속 용기(40) 내에서 분기관(327)과 도포액 튜브(328)를 연결함과 함께, 가스 공급부(33)로부터 접속 용기(40) 내에 공급된 불활성 가스를 튜브군(42) 내의 간극(423)에 공급한다. 또, 기체 공급부(34)로부터 공급된 에어를 기체 공급 튜브(421)에 공급한다. 이와 같이, 도포 헤드(30)를 고속으로 이동시키기 위한 기체 공급부(34)를 설치함으로써, 간극(423)에 공급하는 불활성 가스의 공급 압력을 낮게 할 수 있음과 함께, 간극(423)에 불활성 가스를 공급함으로써 도포액 튜브(328) 내에 산소가 투과하지 않아, 도포액의 수명 저하를 막을 수 있다. 동시에 도포 헤드(30)의 고속 이동에 의한 도포를 행할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시의 형태에 대해서 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시의 형태에 한정되는 것이 아니라, 다양한 변형이 가능하다.
튜브군(42)에서는, 기체 공급 튜브(421) 및 복수의 도포액 튜브(328)가 삽입되는 관 형상의 수축성 부재를 수축시켜 결속재(424)를 형성함으로써, 기체 공급 튜브(421) 및 복수의 도포액 튜브(328)를 강고하게 또한 용이하게 결속하는 것이 가능해져, 튜브군(42)을 용이하게 제작할 수 있지만, 예를 들면, 기체 공급 튜브(421)의 주위에 배치되는 복수의 도포액 튜브(328)의 전체의 외주로부터 점착 테이프를 틈새 없이 감음으로써, 결속재가 형성되어도 된다. 이 경우에도, 기체 공급 튜브(421)와 도포액 튜브(328)의 사이에 형성된 간극(423)에 접속 용기(40)를 통하여 불활성 가스를 공급할 수 있기 때문에, 도포액에 대한 산소 폭로를 막을 수 있다.
도포 장치에서는, 예를 들면, 도포 헤드(30)에서 Y방향에 관해서 3α개(α는 양의 정수)의 노즐(31)이 배열됨과 함께, 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 3종류의 유기 EL 재료를 각각 포함하는 3종류의 도포액의 공급원이 설치되며, 가장 (+Y)측의 노즐(31)로부터 2개 마다에 존재하는 노즐(31)에 R의 도포액이 공급되며, R의 도포액이 공급되는 노즐(31)의 (-Y)측에 인접하는 노즐(31)에 G의 도포액이 공급되고, 나머지의 노즐(31)에 B의 도포액이 공급됨으로써, 도포 헤드(30)의 한 번의 주주사에 의해 기판(9) 상에 3종류의 도포액이 동시에 도포되어도 된다.
또, 도포 헤드(30)에서는, 도포액을 토출하는 노즐(31)이 2개 이상이 되는 것이면 어떠한 갯수가 되어도 되지만, 복수의 도포액 튜브(328)를 기체 공급 튜브(421)의 외주 상에 등간격으로 배치하여 튜브군(42)의 변형에 대한 강성을 튜브군(42)이 신장되는 방향에 수직인 모든 방향에 관해서 거의 균등하게 증대한다는 관점에서는, 노즐(31)이 3개 이상이 되고 도포액 튜브(328)가 3개 이상이 되는 것이 바람직하다. 이 경우에, 기체 공급 튜브(421)의 주위를 복수의 도포액 튜브(328)가 꼬아지면서 (나선 형상으로) 감겨짐으로써, 튜브군의 강성이 더 높아져도 된다. 또, 도포액 튜브(328)의 수에 따라서는, 기체 공급 튜브(421)의 주위에 도포액 튜브(328)가 다층으로 배치되어도 된다(즉, 기체 공급 튜브(421) 상의 도포액 튜브(328)에 겹쳐 도포액 튜브(328)가 배치된다.). 이와 같이 도포액 튜브(328)가 기체 공급 튜브(421)의 주위에 배치되었다고 해도, 접속 용기(40)를 통하여 튜브군(42)의 간극(423)에 불활성 가스를 공급할 수 있기 때문에, 도포액 튜브(328)에 산소가 투과하는 것을 막을 수 있어, 도포액의 열화를 막을 수 있다.
또, 접속 용기(40)는 직육면체로 했지만 이것에 한정되는 것은 아니다. 접속 용기(40)로서는, 분기관(327)이나 가스 공급관(331), 튜브군(42) 등이 연결되기 쉬운 구조이면 되고, 예를 들면 다면체 구조여도 된다.
또, 상기의 실시 형태에서는, 발광 재료를 포함하는 도포액을 이용하여 기판(9) 상에 발광 재료의 패턴을 형성하는 것이 실현되지만, 휘발성의 용매(예를 들면, 물)에 더하여 정공 수송 재료를 포함하는 도포액이 기판(9)에 도포되어도 된다. 이 경우도, 도포 장치에서는, 정공 수송 재료를 포함하는 도포액을 산소에 쐬이지 않고, 기판(9) 상에 균일하게 도포할 수 있다. 또한, 정공 수송 재료란, 유기 EL 표시 장치의 정공 수송층을 형성하는 재료이며, 정공 수송층이란, 유기 EL 재료에 의해 형성된 유기 EL층으로 정공을 수송하는 협의의 정공 수송층 만을 의미하는 것이 아니라, 정공의 주입을 행하는 정공 주입층도 포함한다.
또, 상기의 실시 형태에서는, 기체 공급 튜브(421)의 주위에 복수의 도포액 튜브(328)를 배치하고, 복수의 도포액 튜브(328)의 전체의 외주를 결속재(424)로 덮도록 결속함으로써 튜브군(42)을 형성하고 있었지만 이것에 한정되는 것은 아니다. 기체 공급 튜브(421)와 복수의 도포액 튜브(328)를 일체적으로 결속하고 있으면 되며, 그 위치 관계는 한정되지 않는다. 따라서, 복수의 도포액 튜브(328)의 집합체와, 기체 공급 튜브(421)를 결속재로 일체적으로 결속하여 튜브군(42)이 형성되어도 된다.
또, 도포 장치(1)는, 도포 헤드(30)의 주주사 방향으로의 이동을 에어 또는 불활성 가스를 이용한 헤드 이동 기구(50)(슬라이더 및 가이드)를 채용하여, 도포 헤드(30)의 최대 이동 속도를 매초 1m 이상 10m 이하인 경우에 특히 적합하다고 할 수 있다. 왜냐하면, 도포 헤드(30)가 고속으로 이동하기 때문에, 그 도포 헤드(30)에 도포액 및 에어 또는 불활성 가스를 공급하기 위한 도포액 튜브(328) 및 기체 공급 튜브(421)가 가요성을 가지는 것이 바람직하다. 이 경우, 도포액 튜브(328)에 산소가 투과할 우려가 있다. 그 때문에, 접속 용기(40)를 통하여 도포액 튜브(328)의 외주에 불활성 가스를 충전함과 함께, 헤드 이동 기구(50)에 에어 또는 불활성 가스를 공급함으로써, 도포 헤드(30)의 고속 이동과, 도포액에 대한 산소 폭로의 방지를 동시에 실현할 수 있다.
1 도포 장치 2 제어부
9 기판 10 스테이지
14 도포 헤드 22 부주사 기구
30 도포 헤드 31 노즐
32 도포액 공급부 33 가스 공급부
34 기체 공급부 40 접속 용기
42 튜브군 50 헤드 이동 기구
51 가이드부 52 슬라이더
327 분기관 328 도포액 튜브
421 기체 공급 튜브 423 간극
424 결속재

Claims (7)

  1. 기판에 도포액을 도포하는 도포 장치로서,
    상기 기판을 수평으로 유지하는 기판 유지부와,
    상기 기판에 평행한 부주사 방향으로 배열된 복수의 토출구로부터 상기 기판을 향해 도포액을 토출하는 토출부와,
    상기 부주사 방향에 수직 또는 상기 기판에 평행한 주주사 방향으로 신장하는 가이드부와, 상기 가이드부에 걸어 맞춰지면서 상기 가이드부와의 사이에 기체를 분출함으로써 비접촉 상태로 상기 가이드부에 지지되는 슬라이더를 가지고, 상기 슬라이더에 부착된 상기 토출부를 상기 주주사 방향으로 이동시키는 주주사 기구와,
    상기 토출부의 상기 주주사 방향으로의 이동이 완료될 때마다 상기 기판을 상기 토출부에 대해 상기 부주사 방향으로 상대적으로 이동시키는 부주사 기구와,
    가요성을 가지며 상기 기체를 상기 슬라이더에 공급하는 기체 공급 튜브와, 각각이 가요성을 가지며 상기 도포액을 상기 토출부에 공급하는 복수의 도포액 튜브를 일체적으로 덮도록 결속재로 결속한 튜브군과,
    상기 튜브군의 상기 토출부와는 반대측의 단부와 연결되는 접속 용기와,
    상기 접속 용기 내에 불활성 가스를 공급하는 가스 공급부와,
    상기 도포액 튜브에 상기 도포액을 공급하는 도포액 공급부와,
    상기 기체 공급 튜브에 상기 기체를 공급하는 기체 공급부를 구비하고,
    상기 가스 공급부는, 상기 접속 용기 내에 공급된 상기 불활성 가스를 상기 기체 공급 튜브와 상기 복수의 도포액 튜브가 결속됨으로써 형성된 간극에 공급하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  2. 기판에 도포액을 도포하는 도포 장치로서,
    상기 기판을 수평으로 유지하는 기판 유지부와,
    상기 기판에 평행한 부주사 방향으로 배열된 복수의 토출구로부터 상기 기판을 향해 도포액을 토출하는 토출부와,
    상기 부주사 방향에 수직 또는 상기 기판에 평행한 주주사 방향으로 신장하는 가이드부와, 상기 가이드부에 걸어 맞춰지면서 상기 가이드부와의 사이에 불활성 가스를 분출함으로써 비접촉 상태로 상기 가이드부에 지지되는 슬라이더를 가지고, 상기 슬라이더에 부착된 상기 토출부를 상기 주주사 방향으로 이동시키는 주주사 기구와,
    상기 토출부의 상기 주주사 방향으로의 이동이 완료될 때마다 상기 기판을 상기 토출부에 대해 상기 부주사 방향으로 상대적으로 이동시키는 부주사 기구와,
    가요성을 가지며 상기 불활성 가스를 상기 슬라이더에 공급하는 기체 공급 튜브와, 각각이 가요성을 가지며 상기 도포액을 상기 토출부에 공급하는 복수의 도포액 튜브를 일체적으로 덮도록 결속재로 결속한 튜브군과,
    상기 튜브군의 상기 토출부와는 반대측의 단부와 연결되는 접속 용기와,
    상기 접속 용기 내에 상기 불활성 가스를 공급하는 가스 공급부와,
    상기 도포액 튜브에 상기 도포액을 공급하는 도포액 공급부를 구비하고,
    상기 가스 공급부는, 상기 접속 용기 내에 공급된 상기 불활성 가스를 상기 튜브군을 구성하는 상기 기체 공급 튜브와, 상기 기체 공급 튜브와 상기 복수의 도포액 튜브가 결속됨으로써 형성된 간극에 공급하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 도포액 공급부는,
    상기 도포액을 저류하는 도포액 저류부와,
    상기 도포액 저류부로부터 상기 접속 용기까지 상기 도포액을 공급하는 복수의 금속 배관을 가지고,
    각각의 상기 금속 배관은, 상기 접속 용기에 연결된 상기 튜브군으로부터 연장된 각각의 상기 도포액 튜브와 접속되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    각각의 상기 금속 배관과, 각각의 상기 도포액 튜브의 접속은, 상기 접속 용기 내에서 행해지는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 가스 공급부는, 상기 접속 용기 내에 대기압보다 높은 압력으로 상기 불활성 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 도포액이, 유기 EL 표시 장치용의 유기 EL 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 유기 EL 재료는, 정공 수송 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
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