CN103288356A - 涂布装置 - Google Patents

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Abstract

一种涂布装置，即使当使用具有可挠性的涂布液管来将涂布液供给至涂布头时，也可防止氧穿透涂布液管。将惰性气体经由连接容器(40)而供给至管群(42)，该管群(42)是捆束具有可挠性的涂布液管(328)、与具有可挠性的气体供给管(421)而成。借此，可将惰性气体供给至涂布液管(328)与气体供给管(421)之间所形成的间隙(423)，从而可在涂布液管(328)的周围形成由惰性气体产生的层，因此，可防止氧穿透涂布液管(328)。

Description

涂布装置
技术领域
本发明涉及一种涂布装置，该涂布装置将涂布液涂布至有机电致发光(Electro Luminescence，EL)显示装置用玻璃(glass)基板、液晶显示装置用玻璃基板、等离子显示面板(Plasma Display Panels，PDP)用玻璃基板、太阳电池用基板、电子纸(electronic paper)用基板或半导体制造装置用掩模(mask)基板等基板。
背景技术
以往使用的涂布装置是借由扫描喷出涂布液的喷嘴(nozzle)，将涂布液涂布至基板，近年来，在将包含像素形成材料的涂布液涂布至平面显示装置用的玻璃的基板时，也研究了应用方面。典型的例子是使喷嘴向沿着基板上所形成的间隔壁的主扫描方向移动，每当朝向主扫描方向的移动完成时，使基板向与主扫描方向垂直的副扫描方向移动，借此，将涂布液涂布成以规定的间距(pitch)排列的条纹(stripe)状。在此种涂布装置中，利用具有可挠性的涂布液管(tube)，将涂布液的供给源与喷嘴之间予以连接，借此，能够总是将涂布液供给至移动的喷嘴。另外，在涂布装置中，也可将多个喷嘴排列设置于喷出部，使喷出部向与喷嘴的排列方向交叉的主扫描方向移动，借此，在短时间内将涂布液涂布至基板上。
再者，在专利文献1中揭示了如下的内容：将多根涂布液管配置在气体供给管的周围，由捆束材紧贴着多根涂布液管的整个外周，将该外周予以覆盖，借此，捆束所述管而构筑管群。借由以所述方式构筑管群，将涂布液涂布至基板上时的变形受到抑制，实现了将涂布液均一地涂布至基板上。
现有技术文献
专利文献
专利文献1日本专利特开2009-131735号公报
发明内容
发明所欲解决的课题
此外，在专利文献1所揭示的涂布装置中，由于需要柔软性，因此，构筑管群的涂布液管使用了特富龙(Teflon)(注册商标)系材料。另外，所述装置所涂布的涂布液使用了有机电致发光(EL，ElectroLuminescence)材料，一般而言，有机EL材料存在如下的问题：发光寿命会因与氧发生接触而缩短。因此，在使用专利文献1所揭示的装置来涂布有机EL材料的情况下，氧会穿透特富龙(注册商标)系材料所制作的涂布液管，从而有可能会对有机EL材料产生不良影响(例如使有机EL材料的寿命缩短)。
本发明是鉴于所述问题而成的发明，本发明的目的在于在如下的涂布装置中，防止供给途中的涂布液与氧等发生接触，而所述涂布装置一面使包括多个喷出口的喷出部高速地移动，一面进行涂布。
解决课题的技术手段
第一技术方案是将涂布液涂布至基板的涂布装置，包括：基板保持部，水平地保持着基板；喷出部，从多个喷出口向基板喷出涂布液，所述多个喷出口沿着与基板呈平行的副扫描方向排列；主扫描机构，包括：引导部，向与副扫描方向垂直且与基板呈平行的主扫描方向延伸；及滑动件，一面卡合于引导部，一面将气体喷出至该滑动件与引导部之间，借此，以非接触状态支撑于引导部；且所述主扫描机构使安装于滑动件的喷出部向主扫描方向移动；副扫描机构，每当喷出部的朝向主扫描方向的移动完成时，使基板相对于喷出部，向副扫描方向相对地移动；管群，以一体地将气体供给管与多个涂布液管予以覆盖的方式，利用捆束材来捆束所述气体供给管与所述多个涂布液管而成，所述气体供给管具有可挠性且将气体供给至滑动件，所述多个涂布液管各自具有可挠性且将涂布液供给至喷出部；连接容器，与管群的处于喷出部相反侧的端部连结；供气部，将惰性气体供给至连接容器内；涂布液供给部，将涂布液供给至涂布液管；以及气体供给部，将气体供给至气体供给管，供气部将供给至连接容器内的惰性气体供给至间隙，该间隙是因捆束气体供给管与多个涂布液管而形成的间隙。
在以所述方式构成的发明中，将惰性气体经由连接容器而供给至具有可挠性的涂布液管与管群之间所形成的间隙，所述管群是捆束气体供给管而成的管群，借此，可在涂布液管的周围形成由惰性气体产生的层，因此，可防止氧穿透涂布液管而使在该管中流动的涂布液暴露于氧。借此，可防止因氧而使涂布液的寿命缩短等。
第二技术方案是将涂布液涂布至基板的涂布装置，包括：基板保持部，水平地保持着所述基板；喷出部，从多个喷出口向基板喷出涂布液，所述多个喷出口沿着与基板呈平行的副扫描方向排列；主扫描机构，包括：引导部，向与副扫描方向垂直且与基板呈平行的主扫描方向延伸；及滑动件，一面卡合于引导部，一面将惰性气体喷出至滑动件与该引导部之间，借此，以非接触状态支撑于引导部；且所述主扫描机构使安装于滑动件的喷出部向主扫描方向移动；副扫描机构，每当喷出部的朝向主扫描方向的移动完成时，使基板相对于喷出部，向副扫描方向相对地移动；管群，以一体地将气体供给管与多个涂布液管予以覆盖的方式，利用捆束材来捆束所述气体供给管与所述多个涂布液管而成，所述气体供给管具有可挠性且将惰性气体供给至滑动件，所述多个涂布液管各自具有可挠性且将涂布液供给至喷出部；连接容器，与管群的处于喷出部相反侧的端部连结；供气部，将惰性气体供给至连接容器内；以及涂布液供给部，将涂布液供给至涂布液管，供气部将供给至连接容器内的惰性气体供给至构成管群的气体供给管与间隙，该间隙是因捆束气体供给管与多个涂布液管而形成的间隙。
在以所述方式构成的发明中，将惰性气体经由连接容器而供给至管群，该管群是捆束具有可挠性的涂布液管、气体供给管而成的管群，借此，可将惰性气体供给至涂布液管与气体供给管之间所形成的间隙、与气体供给管，从而可在涂布液管的周围形成由惰性气体产生的层，因此，可防止氧穿透涂布液管而使在该管中流动的涂布液暴露于氧。借此，可防止因氧使涂布液的寿命缩短等。
第三技术方案是：涂布液供给部包括涂布液积存部，积存着涂布液；以及多根金属配管，将涂布液从涂布液积存部供给至连接容器为止，各个所述金属配管与从连结于所述连接容器的所述管群伸出各个所述涂布液管连接。
在以所述方式构成的发明中，将如下的管设为金属配管，所述管是将涂布液从涂布液积存部供给至连接容器为止的管，借此，可防止在与涂布液管连接之前，涂布液暴露于氧。
第四技术方案是：在连接容器内，将各个金属配管与各个涂布液管予以连接。在以所述方式构成的发明中，在连接容器内，将金属配管与涂布液管予以连接，借此，可确实地防止所述涂布液在从涂布液积存部涂布至基板上为止的期间暴露于氧。
第五技术方案是：供气部利用高于大气压的压力，将惰性气体供给至连接容器内。以所述方式构成的发明可确实地将供给至连接容器内的惰性气体送出至间隙。
第六技术方案是：涂布液包含有机电致发光显示装置用的有机电致发光材料或空穴输送材料。在以所述方式构成的发明中，可防止因涂布液暴露于氧而寿命缩短，从而可适用于有机电致发光显示装置用的涂布装置。
发明的效果
根据第一至第六技术方案中的任一个技术方案，在一面使包括多个喷出口的喷出部高速地移动，一面进行涂布的涂布装置中，将惰性气体经由连接容器而供给至管群之间所形成的间隙，该管群是捆束具有可挠性的涂布液管、气体供给管而成的管群，借此，可在涂布液管的周围形成由惰性气体产生的层，并防止因氧穿过涂布液管而使涂布液暴露于氧。借此，可防止因氧使涂布液的寿命缩短等。
附图说明
图1是涂布装置的平面图。
图2是涂布装置的正面图。
图3是表示涂布液供给部的构成的图。
图4是涂布头移动机构的滑动件(slider)的剖面图。
图5是管群的切断部端面图。
图6是用以对第一实施方式中的连接容器进行说明的概要图。
图7是表示涂布液的涂布流程的图。
图8是用以对第二实施方式中的连接容器进行说明的概要图。
附图标记：
1：涂布装置
2：控制部
9：基板
10：平台
11：拍摄部
12：受液部
20：平台移动机构
21：基台
22：副扫描机构
23：支撑板
24：旋转机构
30：涂布头
31：喷嘴
32：涂布液供给部
33：供气部
34：空气供给部
40：连接容器
41、43、44、45：连结构件
42：管群
50：涂布头移动机构
51：引导部
52：滑动件
52a：贯通孔
53：滑轮
54：同步带
91：涂布区域
221：线性马达
222：导轨
321：容器
322：液体供给管
323：泵
324：质流控制器
325：压力计
326：过滤器
327：分支管
328：涂布液管
329：涂布液供给路径
331、421：气体供给管
332：气体供给口
341：空气供给管
422：气体供给路径
423：间隙
424：捆束材
A1：箭头
S11～S16：步骤
X、Y、Z：方向
具体实施方式
以下，一面参照图1及图2，一面对本发明的实施方式进行说明。图1是本发明的涂布装置1的平面图，图2是所述涂布装置1的正面图。
所述涂布装置1用以将涂布液涂布至矩形状的玻璃基板(以下仅称为“基板”)9。更详细而言，所述涂布装置1用以将如下的涂布液涂布至有源矩阵(active matrix)驱动方式的有机EL(Electro Luminescence)显示装置用的基板9，所述涂布液包含：挥发性的溶剂(本实施方式中为芳香族的有机溶剂)、及作为发光材料的有机EL材料。
所述涂布装置1主要包括：平台(stage)10、平台移动机构20、涂布头30、涂布液供给部32、供气部33、连接容器40以及涂布头移动机构50。平台10水平地保持着基板9；平台移动机构20使平台10移动；涂布头30用以将涂布液涂布至保持于平台10的基板9的上表面；涂布液供给部32用以将涂布液供给至涂布头30；供气部33将惰性气体供给至涂布头移动机构50；连接容器40连接着分支管327与气体供给管331，所述分支管327连接于涂布液供给部32，所述气体供给管331连接于供气部33；涂布头移动机构50使涂布头30移动。另外，涂布装置1包括控制部2，该控制部2与涂布装置1所包括的各部分形成电性连接，对所述各部分的动作进行控制。
平台10具有平板状的外形，且作为基板保持部而发挥功能，该基板保持部将基板9以水平姿势载置保持于其上表面。另外，平台10的尺寸(size)小于基板9的尺寸。在平台10的上表面形成有多个抽吸孔(省略图示)。所述抽吸孔连接于真空泵(vacuum pump)等，借由使所述真空泵工作，当将基板9载置于平台10上时，基板9会因来自抽吸孔的抽吸压而吸附于平台10的上表面，并保持固定。另外，平台10在内部包括利用加热器(heater)的加热机构(省略图示)。于是，可将载置于平台10上的基板9加热至规定的温度。
平台移动机构20使平台10向与基板9的主面呈平行的规定的方向(即图1中的Y方向，以下称为“副扫描方向”)水平移动。平台移动机构20包括：旋转机构24、支撑板23、基台21以及副扫描机构22。旋转机构24使平台10旋转；支撑板23以可旋转的方式支撑着平台10；基台21水平地支撑着支撑板23；副扫描机构22使基台21向副扫描方向移动。旋转机构24、副扫描机构22与控制部2电性连接，根据来自控制部2的指示，使平台10移动。
旋转机构24包括马达(motor)，该马达包含安装在平台10的内部的转子。另外，在平台10的中央部下表面侧与支撑板23之间设置有旋转轴承机构。因此，若使马达工作，则转子会向围绕Z轴的旋转方向驱动，平台10以旋转轴承机构的旋转轴为中心，在规定角度的范围内旋转。
副扫描机构22包括：线性马达(linear motor)221以及一对导轨(guide rail)222。线性马达221安装于基台21的下表面，该基台21从下方支撑着支撑板23；一对导轨222沿着副扫描方向延伸。因此，若使线性马达221驱动，则基台21及平台10会沿着导轨222，向副扫描方向移动。
涂布头30包括多个喷嘴31。更具体而言，包括16个喷嘴31。再者，喷嘴31的个数只要为一个以上即可，也可包括多个喷嘴。
涂布头30向保持于平台10的基板9的上表面连续地喷出涂布液，该涂布液包含有机EL材料。换句话说，涂布头30是用以使涂布液以液柱的状态从喷嘴31喷出的喷出部。另外，多个喷嘴31在与基板9的主面呈平行且与副扫描方向垂直的方向(即图1中的与Y方向垂直的X方向，以下称为“主扫描方向”)上，呈大致直线状地隔开排列，并且在图1中的副扫描方向上稍微错开地配置。
在本实施方式中，以使副扫描方向上的邻接的2根喷嘴31之间的距离等于间隔壁之间的间距(以下称为“间隔壁间距”)的3倍的方式进行调整，所述间隔壁预先形成在基板9的涂布区域91(在图1中，由虚线包围地表示)上且向主扫描方向延伸。
涂布液供给部32是用以向涂布头30供给涂布液的机构，所述涂布液包含有机EL材料。
如图3所示，涂布液供给部32包括液体供给管322，该液体供给管322的一端连接于容器321，该容器321作为涂布液积存部而发挥功能且积存着涂布液，在液体供给管322中，从容器321侧起(向另一个端部)依次设置有泵323、质流控制器(mass flow controller)324、压力计325及过滤器(filter)326。液体供给管322的处于容器321相反侧的端部分支成多个分支管327，多个分支管327连接于后述的连接容器40。
涂布液以固定的流量从涂布液供给部32导入至多个分支管327，且将涂布液供给至各个喷嘴31。再者，此处，液体供给管322及多个分支管327使用了氧等无法渗入的材质的管。例如可使用不锈钢等的金属配管作为此种材质的管。如此，对于液体供给管322、分支管327采用不易引起氧暴露(oxygen exposure)的材质，借此，可防止有机EL材料因受到氧等的影响而寿命缩短。
供气部33是用以将惰性气体(例如氮气等)供给至涂布头移动机构50的机构，该供气部33经由气体供给管331而连接于后述的连接容器40。供气部33至少在进行涂布处理期间供给惰性气体。再者，在处理停止期间，也可供给惰性气体。
涂布头移动机构50包括：一对引导部51、滑动件52、一对滑轮(pulley)53以及环状(endless)的同步带(synchronous belt)54。滑动件52以能够相对于引导部51滑动的方式而配设；一对滑轮53配设在一对引导部51的两端部附近，且能够以朝向Z轴方向的轴为中心而旋转；环状的同步带54卷绕于滑轮53。
如图4所示，滑动件52形成有贯通孔52a，引导部51插入至贯通孔52a。实际上如图1所示，将固定压力的惰性气体从供气部33经由后述的管群42中所含的气体供给管421，供给至(-Y)侧的滑动件52，另外，将固定压力的惰性气体从供气部33经由省略图示的气体供给管421，供给至(+Y)侧的滑动件52，如图4所示，惰性气体在贯通孔52a的内周面与引导部51的外周面之间喷出(在图4中，利用标记着符号A1的箭头来表示惰性气体的喷出方向)，滑动件52一面以非接触状态卡合于引导部51，一面以能够向主扫描方向移动的方式受到支撑。
在图1所示的两个引导部51之间，在引导部51的两端部的附近分别设置有两个滑轮53，环状的同步带54挂在所述两个滑轮53上。滑动件52固定于同步带54(参照图4)，涂布头30安装于(-Y)侧的滑动件52。在涂布头移动机构50中，将连接于一个滑轮53的马达予以驱动，借此，同步带54顺时针或逆时针地旋转，涂布头30高速且顺滑地向(-X)方向或(+X)方向移动。
涂布头移动机构50成为使涂布头30向主扫描方向移动的主扫描机构。再者，涂布头移动机构50与控制部2电性连接，根据来自控制部2的指示，使涂布头30移动。
每当涂布头30的朝向主扫描方向的移动完成时，使保持着基板9的平台10向副扫描方向移动，借此，将涂布液涂布至基板9表面的涂布区域91。再者，在涂布头30进行主扫描时，在受液部12的附近完成加速或减速，在基板9的上方，涂布头30例如以每秒3m～5m左右的固定速度移动。
控制部2一面执行各种运算处理，一面对涂布装置1所具有的各部分的动作进行控制。借由如下的电脑(computer)来构成控制部2，该电脑例如包括：进行各种运算处理的中央处理器(Central ProcessingUnit，CPU)、存储着启动程序(boot program)等的只读存储器(Read OnlyMemory，ROM)、成为运算处理的作业区域的随机存取存储器(RandomAccess Memory，RAM)、存储着程序或各种数据文件(data file)等的硬盘(hard disk)等存储部、进行各种显示的显示器(display)、键盘(keyboard)及鼠标(mouse)等输入部、以及经由局域网(Local AreaNetwork，LAN)等而具有数据通讯功能的数据通讯部等。电脑根据安装(install)在电脑中的程序而工作，借此，该电脑作为涂布装置1的控制部2而发挥功能。再者，控制部2中所实现的各功能部可借由电脑执行规定的程序来实现，也可借由专用的硬件(hardware)来实现。
另外，所述涂布装置1包括左右的一对拍摄部11，该左右的一对拍摄部11用以拍摄基板9上所形成的对准标记(alignment mark)(省略图示)而进行检测。在所述一对拍摄部11中，分别配设有电荷耦合器件(Charge Coupled Device，CCD)相机(camera)。于是，基于拍摄部11所检测出的对准标记的位置，将基板9的位置对准。
另外，在涂布头30的往返移动方向(X方向)上，在平台10的两侧配设有一对受液部12，该一对受液部12接受来自涂布头30中的喷嘴31的涂布液。涂布头30即使在不对基板9进行涂布处理期间(待机期间)，也会连续地喷出涂布液。受液部12是用以接受此期间所喷出的涂布液的机构，由于在该受液部12的内部包括多孔性构件，因此，可防止从涂布头30喷出的涂布液溅向周围。
图5是管群42的切断部端面图。管群42包括：气体供给管421以及涂布液管328。气体供给管421具有可挠性，将从供气部33导入的惰性气体引导至滑动件52；涂布液管328各自具有可挠性，并且将从涂布液供给部32导入的涂布液引导至多个喷嘴31，而涂布液管328配置在气体供给管421的周围。此处，气体供给管421的内部作为气体供给路径422而发挥功能，各个涂布液管328的内部作为涂布液供给路径329而发挥功能。
另外，各个涂布液管328及气体供给管421由氟系树脂形成，可采用四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(Polyfluoroalkoxy，PFA)等特富龙(注册商标)系材料作为此种材料。当然，也可利用其他材料来形成具有可挠性的涂布液管328及气体供给管421。
实际上，多个涂布液管328等间隔(即，在以气体供给管421的中心轴为中心的圆周方向上，以等角度表现)地配置在气体供给管421的外周上。在本实施方式中，气体供给管421的外径(直径)设为6毫米(mm)(内径为4mm)，涂布液管328的外径设为1.5毫米(mm)(内径为0.5mm)，16根(在图5中，为了便于图示，仅记载了8根涂布液管328)涂布液管328密集地排列在气体供给管421的外周上。
另外，管群42包括捆束材424，该捆束材424紧贴着多个涂布液管328的整个外周(即，将气体供给管421的周围所配置的多个涂布液管328视为一个构件时的外周)，将该外周予以覆盖，借由捆束材424来大致一体地捆束气体供给管421及多个涂布液管328。此时，气体供给管421与多个涂布液管328被捆束材424捆束，借此，形成间隙423。
实际上，将多个涂布液管328配置在气体供给管421的周围而成的构件插入至捆束材424(特富龙(注册商标)系材料所形成的管状的热收缩性构件)，施加热来使热收缩性构件收缩，但无法完全消除间隙423。
借由捆束着多个涂布液管328与气体供给管421的构造，管群42对于变形的刚性变得极大，即使在涂布头30高速地移动的情况下，也可保持充分的刚性。
图6是用以对连接容器40进行说明的概要图。连接容器40是在内部具有密闭空间的矩形状的容器(长方体)，从涂布液供给部32供给涂布液的分支管327、用以将惰性气体供给至气体供给管421的气体供给管331、以及用以将涂布液及惰性气体供给至喷嘴31及滑动件52的管群42连接于所述连接容器40。
在构成连接容器40的一个壁面中形成有开口部，该开口部用以连结气体供给管331。所述开口部与气体供给管331经由连结构件44而被连结。连结构件44具有密封(seal)构造，能够在将连接容器40的内部保持为密闭状态下，将气体供给管331连通连接于连接容器40。气体供给管331连通连接于连接容器40，借此，从连通连接于气体供给管331的远侧的供气部33供给的惰性气体，会从近侧的气体供给口332供给至连接容器40内。
另外，在连结着气体供给管331的连接容器40的壁面中，以与分支管327相同的数量形成有开口部，该开口部用以连结分支管327。图6为了便于图示，仅将多根分支管327图示了4根，但在本实施方式中，成2列地各连结8根分支管327。再者，连接容器40与分支管327的连结并不限定于所述方式，可连结在连接容器40的不同壁面上，另外，可成一列或成多列地适当采用连结方式。
另外，在与连结着气体供给管331及分支管327的连接容器40的壁面不同的壁面中，形成有用以连结管群42的开口部。该开口部与管群42的处于涂布头30相反侧的端部经由连结构件41而连结。连结构件41具有密封构造，能够在将连接容器40的内部保持为密闭状态的状态下，将管群42插通至连接容器40。
管群42的端部插通至连接容器40内，涂布液管328从该端部伸出，各个分支管327与各个涂布液管328经由连结构件43而被连结且被连通连接。如此，能够将经由分支管327而供给的涂布液供给至各个涂布液管328。特别是在连接容器40内，将分支管327与涂布液管328予以连结。所谓连接容器40内，包含如下的两个状态，一个状态是指在配设于连接容器40的连结构件43中，分支管327与涂布液管328被连结，另一个状态是指分支管327经由连结构件43而插通至连接容器40内，在连接容器40内，借由已知的连结单元来将分支管327与涂布液管328予以连结。
另外，气体供给管421的端部在连接容器40内形成开口，该气体供给管421构成插通至连接容器40内的管群42。并且，间隙423也在连接容器40内形成开口，所述间隙423是因气体供给管421与多个涂布液管328被捆束材424捆束而形成。因此，从供气部33经由气体供给管331而供给至连接容器40内的惰性气体，被供给至气体供给管421及间隙423。此时，从供气部33供给的惰性气体的供给压优选为高于大气压的压力。原因在于：利用高于大气压的压力来供给惰性气体，借此，可确实地将惰性气体供给至间隙423。
经由气体供给管421而将惰性气体供给至滑动件52，借此，滑动件52一面以非接触状态卡合于引导部51，一面以能够向主扫描方向移动的方式受到支撑。另外，将惰性气体供给至间隙423，借此，在构成管群42的多个涂布液管328的周围形成惰性气体层。
如此，在由特富龙(注册商标)系材料形成的涂布液管328的周围形成惰性气体层，借此，可防止氧穿透涂布液管328内部，从而可防止因涂布液暴露于氧而引起的寿命缩短。
另外，在充满惰性气体的连接容器40内，使以所述方式由金属配管形成的分支管327、与由特富龙(注册商标)系材料形成的涂布液管328连结，并且将惰性气体供给至管群42的间隙423，借此，在任一个区间内，均可防止涂布液管328与氧发生接触。
接着，一面参照图7，一面对涂布装置1中的具体的涂布动作进行说明。图7是表示涂布装置1中的涂布液的涂布流程的图。利用平台10来保持基板9之后，拍摄部11拍摄对准标记，基于来自拍摄部11的输出，将平台移动机构20予以驱动，基板9移动及旋转，并移动至涂布开始位置(步骤(step)S11)。如上所述，在基板9的主面上排列形成彼此平行的多个间隔壁，主面上的间隔壁之间的区域数的线状区域以固定的区域间距，沿着与主扫描方向垂直的副扫描方向排列在主面上，以此状态来准备作为处理对象的基板9。此时，涂布头30在副扫描方向上，预先配置在基板9的(+Y)侧的端部附近，且在主扫描方向上，预先配置在待机位置即受液部12的上方。
接着，开始从多个喷嘴31喷出涂布液(步骤S12)，进而对涂布头移动机构50进行控制，涂布头30开始向主扫描方向移动(即，从图1中的(-X)侧向(+X)侧进行主扫描)。借此，一面以固定的流量，从多个喷嘴31分别向基板9的主面连续地(不间断地)喷出涂布液，一面使涂布头30以固定的速度向主扫描方向连续地移动，将涂布液呈条纹状地涂布至基板9的涂布区域91的16个线状区域(步骤S13)。
接着，涂布头30移动至待机位置即受液部12的上方为止，借此，利用涂布液来形成条纹状的图案(pattern)。再者，图1中的涂布区域91的(-X)侧及(+X)侧的非涂布区域(以及根据需要，(+Y)侧及(-Y)侧的非涂布区域)被省略图示的掩模覆盖，因此，涂布液不会直接涂布至基板9上。
若涂布头30移动至待机位置为止，则将平台移动机构20予以驱动，基板9与平台10一起向(+Y)方向(即，副扫描方向)移动与区域间距的48倍相等的距离(步骤S14)。此时，涂布头30从多个喷嘴31向受液部12连续地喷出涂布液。
若副扫描方向上的基板9的移动结束，则借由控制部2来确认基板9及平台10是否已移动至涂布结束位置(步骤S15)。接着，当尚未移动至涂布结束位置时，返回至步骤S13，涂布头30一面从多个喷嘴31喷出涂布液，一面从基板9的(+X)侧向(-X)方向(即，主扫描方向)移动，借此，将涂布液涂布至基板9上的线状区域(步骤S13)。然后，基板9向副扫描方向移动，确认该基板9是否已移动至涂布结束位置(步骤S14、步骤S15)。
在涂布装置1中，每当直至平台10及基板9位于涂布结束位置，涂布头30的朝向主扫描方向的移动完成时，使基板9相对地向副扫描方向移动(即，反复地进行涂布头30在主扫描方向上的移动、及基板9的朝向(+Y)侧的步进移动)，借此，将涂布液呈条纹状地涂布至基板9的涂布区域91，所述条纹状是所述涂布液以与区域间距的3倍相等的间距排列而成的形状(步骤S13～步骤S15)。在涂布装置1中，在副扫描方向上，将涂布液涂布至基板9上时的前进方向(即，涂布头30相对于基板9的相对移动方向)与利用平台移动机构20来使基板9移动时的移动方向相反。
实际上，在涂布装置1中，高速地反复使涂布头30向主扫描方向移动，及使基板9向副扫描方向移动(即，高速地反复使涂布头30在主扫描方向上进行往返移动)，但由于管群42对于变形的刚性高，因此，当将涂布液涂布至基板9上时，管群42几乎不会变形。因此，在管群42维持着大致固定的形状的状态下(在所谓的刚体模式(mode)下)，涂布头30进行振动运动。
接着，若基板9移动至涂布结束位置，则停止从多个喷嘴31喷出涂布液(步骤S15、步骤S16)，涂布装置1对于基板9进行的涂布液的涂布结束。将利用涂布装置1进行的涂布已结束的基板9搬送至其他涂布装置等，涂布除了涂布装置1所涂布的涂布液以外的其他的双色涂布液。接着，对基板9进行了规定的步骤之后，将该基板9与其他零件加以组合，制造有机EL显示装置。再者，在涂布装置1中，实际上将涂布液连续地涂布至多个基板9。
以上，如说明所述，在本发明的涂布装置1中，一面使涂布头30高速地移动，一面将涂布液均一地涂布至基板9上，因此，在涂布液管328及气体供给管421中采用具有可挠性的材料，所述涂布液管328及气体供给管421用以将涂布液及惰性气体供给至涂布头30。此时，在连接容器40内将分支管327与涂布液管328予以连结，将供给至连接容器40内的惰性气体供给至气体供给管421及管群42内的间隙423，借此，氧不会穿透涂布液管328内，可防止涂布液的寿命缩短。同时，可利用涂布头30的高速移动来进行涂布。
接着，对本发明的其他实施方式进行说明。图8是用以对本发明的第二实施方式的连接容器40进行说明的概要图。第二实施方式与所述第一实施方式的不同点在于包括：空气(air)供给部34以及空气供给管341。空气供给部34用以将气体供给至气体供给管421；空气供给管341用以将气体从空气供给部34供给至连接容器40为止。再者，对与图6所示的第一实施方式相同的构件标记相同的符号，且将详细的说明予以省略。
空气供给部34是用以将气体供给至涂布头移动机构50的机构，该空气供给部34经由空气供给管341而连接于连接容器40。空气供给部34至少在进行涂布处理期间供给气体。再者，在处理停止期间，也可供给气体。另外，空气供给部34所供给的气体可为空气(air)或惰性气体(例如氮气等)等，也可为其他气体。在本实施方式的以下的说明中，对供给空气的例子进行说明。
空气供给管341连结着空气供给部34与连接容器40，将从空气供给部34供给的空气引导至连接容器40。在连接容器40中，形成有用以与空气供给管341连结的开口部，空气供给管341经由连结构件45而连结于该开口部。再者，连结构件45具有密封构造。另外，管群42的端部插通在连接容器40内，涂布液管328与气体供给管421从该端部伸出，各个分支管327与各个涂布液管328经由连结构件43而被连结且被连通连接。同样地，空气供给管341与气体供给管421经由连结构件45而被连结且连通连接。
如此，能够将经由分支管327而供给的涂布液供给至各个涂布液管328。同样地，能够将从空气供给部34供给的空气供给至气体供给管421。
以上，如说明所述，在第二实施方式的涂布装置中，一面使涂布头30高速地移动，一面将涂布液均一地涂布至基板9上，因此，在涂布液管328及气体供给管421中采用具有可挠性的材料，所述涂布液管328及气体供给管421用以将涂布液及空气供给至涂布头30。此时，在连接容器40内将分支管327与涂布液管328予以连结，并且将从供气部33供给至连接容器40内的惰性气体供给至管群42内的间隙423。另外，将从空气供给部34供给的空气供给至气体供给管421。如此，借由设置用以使涂布头30高速地移动的空气供给部34，可使供给至间隙423的惰性气体的供给压力降低，并且借由将惰性气体供给至间隙423，氧不会穿透涂布液管328内，可防止涂布液的寿命缩短。同时，可利用涂布头30的高速移动来进行涂布。
以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于所述实施方式，能够进行各种变形。
在管群42中，使气体供给管421及多个涂布液管328所插入的管状的收缩性构件收缩，从而形成捆束材424，借此，能够牢固且容易地捆束气体供给管421及多个涂布液管328，且可容易地制作管群42，但例如也可将胶带(adhesive tape)无间隙地缠绕在气体供给管421的周围所配置的多个涂布液管328的整个外周，借此来形成捆束材。即使在此情况下，也可将惰性气体经由连接容器40，供给至形成在气体供给管421与涂布液管328之间的间隙423，因此，可防止涂布液暴露于氧。
对于涂布装置而言，例如也可在涂布头30中，在Y方向上排列有3α根(α为正整数)喷嘴31，并且设置有分别包含红色(R)、绿色(G)、及蓝色(B)的三种有机EL材料的三种涂布液的供给源，将红色涂布液供给至从最靠(+Y)侧的喷嘴31每隔开两个喷嘴31而存在的喷嘴31，将绿色涂布液供给至与被供给了红色涂布液的喷嘴31的(-Y)侧相邻接的喷嘴31，将蓝色涂布液供给至剩余的喷嘴31，借此，借由涂布头30的一次主扫描，将三种涂布液同时涂布至基板9上。
另外，在涂布头30中，只要喷出涂布液的喷嘴31设为2根以上，则也可设为任意的根数，但根据如下的观点，优选将喷嘴31设为3根以上，将涂布液管328设为3根以上，所述观点是指将多根涂布液管328等间隔地配置在气体供给管421的外周上，使管群42对于变形的刚性在与管群42的延伸方向垂直的全部方向上大致均等地增大。在此情况下，也可一面拧转多个涂布液管328，一面将多个涂布液管328(呈螺旋状地)卷绕在气体供给管421的周围，借此，进一体提高管群的刚性。另外，也可根据涂布液管328的数量，将涂布液管328呈多层地配置在气体供给管421的周围(即，将涂布液管328重叠地配置于气体供给管421上的涂布液管328)。如此，即使将涂布液管328配置在气体供给管421的周围，也可将惰性气体经由连接容器40而供给至管群42的间隙423，因此，可防止氧穿透涂布液管328，从而可防止涂布液变差。
另外，将连接容器40设为长方体，但并不限定于此。连接容器40只要为容易连结分支管327或气体供给管331、管群42等的构造即可，例如也可为多面体构造。
另外，在所述实施方式中，实现了使用包含发光材料的涂布液，在基板9上形成发光材料的图案，但除了挥发性的溶剂(例如水)之外，也可将包含空穴输送材料(hole transport material)的涂布液涂布至基板9。即使在此情况下，涂布装置也可将包含空穴输送材料的涂布液均一地涂布至基板9上，而不会使该涂布液暴露于氧。再者，所谓空穴输送材料，是指形成有机EL显示装置的空穴输送层的材料，所谓空穴输送层，并非仅指将空穴输送至有机EL材料所形成的有机EL层的狭义的空穴输送层，而是还包含进行空穴注入的空穴注入层。
另外，在所述实施方式中，将多个涂布液管328配置在气体供给管421的周围，以利用捆束材424来将多个涂布液管328的整个外周予以覆盖的方式进行捆束，借此来形成管群42，但不限于此。只要一体地捆束气体供给管421与多个涂布液管328即可，气体供给管421与多个涂布液管328的位置关系并无限定。因此，也可利用捆束材来一体地捆束多个涂布液管328集合体与气体供给管421，从而形成管群42。
另外，可以说涂布装置1特别适合于如下的情况，该情况是指采用涂布头移动机构50(滑动件及引导部)，且涂布头30的最大移动速度为每秒1m以上且为10m以下，所述涂布头移动机构50(滑动件及引导部)利用空气或惰性气体，使涂布头30向主扫描方向移动。原因在于：由于涂布头30高速地移动，因此，用以将涂布液及空气或惰性气体供给至该涂布头30的涂布液管328及气体供给管421优选具有可挠性。在此情况下，氧有可能会穿透涂布液管328。因此，经由连接容器40将惰性气体填充至涂布液管328的外周，并且将空气或惰性气体供给至涂布头移动机构50，借此，可在使涂布头30高速地移动的同时，防止涂布液暴露于氧。

Claims (10)

1.一种涂布装置，将涂布液涂布至基板，其特征在于，所述涂布装置包括：
基板保持部，水平地保持着所述基板；
喷出部，从多个喷出口向所述基板喷出涂布液，所述多个喷出口沿着与所述基板呈平行的副扫描方向排列；
主扫描机构，包括：引导部，向与所述副扫描方向垂直且与所述基板呈平行的主扫描方向延伸；及滑动件，一面卡合于所述引导部，一面将气体喷出至所述滑动件与所述引导部之间，借此，以非接触状态支撑于所述引导部；且所述主扫描机构使安装于所述滑动件的所述喷出部向所述主扫描方向移动；
副扫描机构，每当所述喷出部的朝向所述主扫描方向的移动完成时，使所述基板相对于所述喷出部，向所述副扫描方向相对地移动；
管群，以一体地将气体供给管与多个涂布液管予以覆盖的方式，利用捆束材来捆束所述气体供给管与所述多个涂布液管而成，所述气体供给管具有可挠性且将所述气体供给至所述滑动件，所述多个涂布液管各自具有可挠性且将所述涂布液供给至所述喷出部；
连接容器，与所述管群的处于所述喷出部相反侧的端部连结；
供气部，将惰性气体供给至所述连接容器内；
涂布液供给部，将所述涂布液供给至所述涂布液管；以及
气体供给部，将所述气体供给至所述气体供给管，
所述供气部将供给至所述连接容器内的所述惰性气体供给至因捆束所述气体供给管与所述多个涂布液管而形成的间隙。
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布液供给部包括：
涂布液积存部，积存着所述涂布液；以及
多根金属配管，将所述涂布液从所述涂布液积存部供给至所述连接容器为止，
各个所述金属配管与从连结于所述连接容器的所述管群伸出的各个所述涂布液管连接。
3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于：
在所述连接容器内，将各个所述金属配管与各个所述涂布液管予以连接。
4.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：
所述供气部利用高于大气压的压力，将所述惰性气体供给至所述连接容器内。
5.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：
所述涂布液包含有机电致发光显示装置用的有机电致发光材料或空穴输送材料。
6.一种涂布装置，将涂布液涂布至基板的涂布装置，其特征在于，包括：
基板保持部，水平地保持着所述基板；
喷出部，从多个喷出口向所述基板喷出涂布液，所述多个喷出口沿着与所述基板呈平行的副扫描方向排列；
主扫描机构，包括：引导部，向与所述副扫描方向垂直且与所述基板呈平行的主扫描方向延伸；及滑动件，一面卡合于所述引导部，一面将惰性气体喷出至所述滑动件与所述引导部之间，借此，以非接触状态支撑于所述引导部；且所述主扫描机构使安装于所述滑动件的所述喷出部向所述主扫描方向移动；
副扫描机构，每当所述喷出部的朝向所述主扫描方向的移动完成时，使所述基板相对于所述喷出部，向所述副扫描方向相对地移动；
管群，以一体地将气体供给管与多个涂布液管予以覆盖的方式，利用捆束材来捆束所述气体供给管与所述多个涂布液管而成，所述气体供给管具有可挠性且将所述惰性气体供给至所述滑动件，所述多个涂布液管各自具有可挠性且将所述涂布液供给至所述喷出部；
连接容器，与所述管群的处于所述喷出部相反侧的端部连结；
供气部，将所述惰性气体供给至所述连接容器内；以及
涂布液供给部，将所述涂布液供给至所述涂布液管，
所述供气部将供给至所述连接容器内的所述惰性气体供给至构成所述管群的所述气体供给管与间隙，所述间隙是因捆束所述气体供给管与所述多个涂布液管而形成的间隙。
7.根据权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布液供给部包括：
涂布液积存部，积存着所述涂布液；以及
多根金属配管，将所述涂布液从所述涂布液积存部供给至所述连接容器为止，
各个所述金属配管与从连结于所述连接容器的所述管群伸出的各个所述涂布液管连接。
8.根据权利要求7所述的涂布装置，其特征在于：
在所述连接容器内，将各个所述金属配管与各个所述涂布液管予以连接。
9.根据权利要求6所述的涂布装置，其特征在于：
所述供气部利用高于大气压的压力，将所述惰性气体供给至所述连接容器内。
10.根据权利要求6所述的涂布装置，其特征在于：
所述涂布液包含有机电致发光显示装置用的有机电致发光材料或空穴输送材料。
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