CN110523558A - 一种涂布机构 - Google Patents

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CN110523558A CN201910800657.9A CN201910800657A CN110523558A CN 110523558 A CN110523558 A CN 110523558A CN 201910800657 A CN201910800657 A CN 201910800657A CN 110523558 A CN110523558 A CN 110523558A
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刘达
许晓伟
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    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B12/00Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area
    • B05B12/16Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area for controlling the spray area
    • B05B12/18Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area for controlling the spray area using fluids, e.g. gas streams

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Abstract

本发明提供了一种涂布机构,涂布机构包括:涂布喷嘴,用于向基板喷涂涂布液;保护气罩产生器,保护气罩产生器用于向基板喷出保护气体,保护气体围绕涂布喷嘴喷出的涂布液形成保护气罩。本发明实施方式中提供一种涂布机构,使得利用该涂布机构进行涂布的过程中,涂布液不易吸水析出和/或被氧化发黄,形成的膜层的光学性能较佳。

Description

一种涂布机构
技术领域
本发明实施例涉及显示技术领域,特别涉及一种涂布机构。
背景技术
在显示面板的生产过程中,通常要采用涂布系统在基板上涂布形成衬底、光刻胶膜层等各种膜层。在具体生产中,涂布装置通常采用喷嘴在基板上涂布相应的涂布液,例如:衬底材料、光刻胶等。涂布装置的基本工作过程为:喷嘴以一定速度沿基板表面从基板的一侧边缘移动到相对的另一侧边缘,同时,喷嘴中以一定的速度吐出涂布液,随着喷嘴的移动,涂布液就能涂布到基板的表面以形成相应的膜层。
然而,发明人发现现有技术中至少存在如下问题:在涂布过程中涂布液易吸水析出或被被氧化发黄,使得形成的膜层的光学性能较差。
发明内容
本发明实施方式的目的在于提供一种涂布机构,使得利用该涂布机构进行涂布的过程中,涂布液不易吸水析出或被氧化发黄,形成的膜层的光学性能较佳。
为解决上述技术问题,本发明的实施方式提供了一种涂布机构,涂布喷嘴用于向基板喷涂涂布液;保护气罩产生器,保护气罩产生器用于向基板喷出保护气体,保护气体围绕涂布喷嘴喷出的涂布液形成保护气罩。
本发明实施方式相对于现有技术而言提供了一种涂布机构,包括涂布喷嘴和保护气罩产生器,保护气罩产生器向基板喷出保护气体,且该保护气体围绕涂布喷嘴喷出的涂布液形成保护气罩,该保护气罩将该被涂布液涂布的基板部位与环境空气隔离开来,在该被涂布液涂布的基板部位营造一个无氧气及水分的环境,从而避免喷出的涂布液与氧气和水分接触,因此避免了基板上形成的膜层发黄或产生颗粒,光学性能较佳。
另外,保护气罩产生器包括:至少一个喷气嘴,喷气嘴环绕涂布喷嘴设置。
另外,保护气罩产生器包括:至少两个喷气嘴;涂布喷嘴包括:相对的两个第一侧边,相对的两个第一侧边限定涂布液的喷出区域;至少两个喷气嘴分布于涂布喷嘴的相对的两个第一侧边,每个第一侧边至少分布有一个喷气嘴;或者,保护气罩产生器包括:至少四个喷气嘴;涂布喷嘴包括:相对的两个第一侧边和相对的两个第二侧边,两个第二侧边与两个第一侧边限定出涂布液的喷出区域;至少四个喷气嘴分布于涂布喷嘴的两个第一侧边和两个第二侧边,每个第一侧边和每个第二侧边至少分布有一个喷气嘴。
另外,还包括:位于涂布喷嘴、以及喷气嘴上方的遮挡罩;涂布喷嘴及喷气嘴在基板上的正投影,均包含于遮挡罩在基板上的正投影内。该方案中遮挡罩能够阻挡空气从涂布喷嘴或喷气嘴的上方进入而对涂布液产生影响。
另外,遮挡罩至少包括:位于涂布喷嘴、以及喷气嘴上方的第一遮挡板;以及连接第一遮挡板、且向涂布喷嘴方向弯折的第二遮挡板。该方案中第二遮挡板能够限制保护气体的位置,从而避免保护气体扩散较快,增强保护气体形成的保护气罩的稳定性。
另外,第一遮挡板上开设有第一通孔和第二通孔,其中,第一通孔下方连接涂布喷嘴、第一通孔上方设置有供液管道,供液管道连接涂布喷嘴,用于为涂布喷嘴供给涂布液;第二通孔下方连接喷气嘴、第二通孔上方设置有通气管道,通气管道连接喷气嘴,用于为喷气嘴提供保护气体。该方案中由于供液管道通过第一遮挡板上的第一通孔连接涂布喷嘴,通气管道通过第一遮挡板上的第二通孔连接喷气嘴,从而有利于涂布机构的小型化设计。
另外,喷气嘴与第一遮挡板呈一夹角,且夹角小于90°。
另外,第一遮挡板呈椭圆形或圆形或方形。
另外,涂布喷嘴包括:相对设置的两个侧壁,涂布液从两个侧壁之间喷出;涂布机构还包括:用于吸取空气水分的吸湿装置,吸湿装置设置于涂布喷嘴的至少一个侧壁的下方。
另外,吸湿装置包括:与侧壁连接的承载部,承载部下方开设有多个第三通孔;承载部上方用于承载干燥剂。该方案中进一步吸取在被涂布涂布液的基板部位附近的水分,为该被涂布涂布液的基板部位营造一个更加干燥的环境。
附图说明
一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明,这些示例性说明并不构成对实施例的限定,附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件,除非有特别申明,附图中的图不构成比例限制。
图1是根据本发明第一实施方式的涂布机构的结构示意图;
图2是根据本发明第一实施方式的涂布机构的仰视图;
图3是根据本发明第二实施方式的涂布机构的结构示意图;
图4是根据本发明第二实施方式的涂布机构的仰视图;
图5是根据本发明第三实施方式的涂布机构的结构示意图;
图6是根据本发明第三实施方式的涂布机构的仰视图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明的各实施方式进行详细的阐述。然而,本领域的普通技术人员可以理解,在本发明各实施方式中,为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是,即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改,也可以实现本申请所要求保护的技术方案。
本发明的第一实施方式涉及一种涂布机构,如图1所示,本实施方式的核心在于,提供了一种涂布机构,涂布喷嘴1用于向基板10喷涂涂布液;保护气罩产生器,保护气罩产生器用于向基板10喷出保护气体,保护气体围绕涂布喷嘴1喷出的涂布液形成保护气罩,该保护气罩将该被涂布液涂布的基板10部位与环境空气隔离开来,在该被涂布涂布液的基板10部位营造一个无氧气及水分的环境,从而避免喷出的涂布液与氧气和水分接触,因此避免了基板10上形成的膜层发黄或产生颗粒,光学性能较佳。
下面对本实施方式的涂布机构的实现细节进行具体的说明,以下内容仅为方便理解提供的实现细节,并非实施本方案的必须。
如图2所示,本实施方式中的保护气罩产生器包括:至少一个喷气嘴2,喷气嘴2环绕涂布喷嘴1设置。
具体地说,喷气嘴2呈环状,由于环状喷气嘴2围绕涂布喷嘴1设置,因此,环状喷气嘴2喷出的保护气体围绕涂布喷嘴1喷出的涂布液,形成一环状保护气罩,该环状保护气罩、涂布喷嘴1以及该基板10形成一封闭空间,将被涂布液涂布的基板10部位与环境空气隔离开来,从而降低环境中空气和氧气对涂布液的影响。可实现地,喷气嘴2距离基板10的水平高度与涂布喷嘴1距离基板10的水平高度相同,或者喷气嘴2的水平高度略高于涂布喷嘴1的水平高度,从而避免喷气嘴2与涂布喷嘴1之间在高度上存在空隙,空气从该空隙进入而对涂布液产生影响。
进一步地,涂布机构还包括:位于涂布喷嘴1、以及喷气嘴2上方的遮挡罩3;涂布喷嘴1及喷气嘴2在基板10上的正投影,均包含于遮挡罩3在基板10上的正投影内。
具体地说,涂布机构还设置有一遮挡罩3,遮挡罩3设置于涂布喷嘴1及喷气嘴2上方,由于遮挡罩3在基板10上的正投影包含涂布喷嘴1、以及喷气嘴2在基板10上的正投影,因此遮挡罩3能够阻挡空气从涂布喷嘴1或喷气嘴2的上方进入而对涂布液产生影响。
优选地,遮挡罩3至少包括:位于涂布喷嘴1、以及喷气嘴2上方的第一遮挡板31;以及连接第一遮挡板31、且向涂布喷嘴1方向弯折的第二遮挡板32。
具体地说,遮挡罩3至少包括:位于涂布喷嘴1、以及喷气嘴2上方的第一遮挡板31,以及连接第一遮挡板31、且向涂布喷嘴1方向弯折的第二遮挡板32,第一遮挡板31阻挡空气从涂布喷嘴1或喷气嘴2的上方进入而对涂布液产生影响,第二遮挡板32能够限制保护气体的位置,从而避免保护气体扩散较快,增强保护气体形成的保护气罩的稳定性。
可实现地,第一遮挡板31上开设有第一通孔311,第一通孔311下方连接有涂布喷嘴1,第一通孔311上方连接有供液管道4,供液管道4连接涂布喷嘴1,用于为涂布喷嘴1供给涂布液。本实施方式中给出了一种可实现的第一遮挡板31和涂布喷嘴1的连接关系,遮挡罩3的第一遮挡板31上开设有第一通孔311,第一通孔311上方连接有供液管道4,供液管道4通过第一通孔311连接第一遮挡板31下方的涂布喷嘴1,供液管道4为涂布喷嘴1提供涂布液。由于供液管道4通过第一遮挡板31上的第一通孔311连接涂布喷嘴1,从而有利于涂布机构的小型化设计。优选地,涂布喷嘴1和供液管道4可拆卸连接,从而方便涂布喷头的清洗、维护或更换。
另外,第一遮挡板31上开设有第二通孔312;第二通孔312下方连接喷气嘴2、第二通孔312上方连接有通气管道5,通气管道5连接喷气嘴2,用于为喷气嘴2提供保护气体。
具体地说,通气管道5通过第二通孔312连接喷气嘴2,为喷气嘴2提供保护气体。由于通气管道5通过第一遮挡板31上的第二通孔312连接喷气嘴2,从而有利于涂布机构的小型化设计。值得说明的是,由于本实施方式中喷气嘴2为一个,因此第二通孔312的数目为一个。
需要强调的是,本实施方式中喷气嘴2与第一遮挡板31呈一夹角(图2中未示出),且夹角小于90°。当喷气嘴2与第一遮挡板31的夹角小于90°时,喷气嘴2吹出的保护气体不会垂直吹到基板10上的涂布液表面,对基板上形成的膜层厚度的影响较小。
另外,本实施方式中第一遮挡板31呈椭圆形、方形或圆形或其他可能的形状,本实施方式中图2中第一遮挡板3以椭圆形示出。
另外,涂布喷嘴1包括:相对设置的两个侧壁11,涂布液从两个侧壁11之间喷出;涂布机构还包括:用于吸取空气水分的吸湿装置6;吸湿装置6设置于涂布喷嘴1的至少一个侧壁11的下方。
具体地说,在涂布喷嘴1的至少一个侧壁11下方设置有用于吸取空气水分的吸湿装置6,进一步吸取在被涂布涂布液的基板10部位附近的水分,为该被涂布涂布液的基板10部位营造一个更加干燥的环境。本实施方式中吸湿装置6可以设置为两个或两个以上,每个侧壁11下方均可设置有一个吸湿装置6,进一步提高涂布机构的吸水能力。
优选地,吸湿装置6包括:与侧壁11连接的承载部61,承载部61下方开设有多个第三通孔611;承载部61上方用于承载干燥剂。
具体地说,如图2所示,每个吸湿装置6包括:与侧壁11连接的承载部61,承载部61上方用于承载干燥剂,承载部61下方开设有多个第三通孔611,方便干燥剂从该多个第三通孔611吸收周围气体中的水分。可实现地,承载部61的上方或侧边开设有开口,从而方便从开口取出干燥剂进行更换。该干燥剂采用不发尘物质,以避免对基板10上形成的膜层产生影响,干燥剂的更换周期根据其吸水能力决定。
值得说明的是,本实施方式中的保护气体可以为氩气、氦气、氮气或其他不易与涂布液发生反应的气体,在实际应用中,操作人员可根据实际需求选择保护气体的种类。
与现有技术相比,本发明实施方式提供了一种涂布机构,涂布喷嘴1用于向基板10喷涂涂布液;保护气罩产生器,保护气罩产生器用于向基板10喷出保护气体,保护气体围绕涂布喷嘴1喷出的涂布液形成保护气罩,该保护气罩将该被涂布液涂布的基板10部位与环境空气隔离开来,在该被涂布涂布液的基板10部位营造一个无氧气及水分的环境,从而避免喷出的涂布液与氧气和水分接触,因此避免了基板上形成的膜层发黄或产生颗粒,光学性能较佳。
本发明的第二实施方式涉及一种涂布机构。如图3和图4所示,第二实施方式与第一实施方式大致相同,不同之处在于,本实施方式中保护气罩产生器包括:至少两个喷气嘴2;涂布喷嘴1包括:相对的两个第一侧边111,相对的两个第一侧边111限定涂布液的喷出区域;至少两个喷气嘴2分布于涂布喷嘴1的相对的两个第一侧边111,每个第一侧边111至少分布有一个喷气嘴2。
本实施方式中给出了保护气罩产生器的另一种实现方式,包括至少两个喷气嘴2,涂布喷嘴1包括:相对的两个第一侧边111,相对的两个第一侧边111限定涂布液的喷出区域,至少两个喷气嘴2分布于涂布喷嘴1的相对的两个第一侧边111。
作为一种可实现的方式,喷气嘴2可设置于涂布喷嘴1上,在涂布喷嘴1的每个第一侧边111上设置至少一个喷气嘴2,若每个第一侧边111设置一个喷气嘴2,每个喷气嘴2形成一个子保护气罩,两个子保护气罩、该涂布喷嘴1以及该基板10形成一封闭空间,将被涂布液涂布的基板10部位与环境空气隔离开来,从而降低环境中空气和氧气对涂布液的影响。可选地,喷气嘴2呈长条状,从而在涂布喷嘴1的每个第一侧边111上设置一个喷气嘴2即可,两个喷气嘴2生成两个子保护气罩。当然,本实施方式中涂布喷嘴1的每个第一侧边111也可设置有多个喷气嘴2,以增强每个第一侧边111保护气罩的牢固性。
作为另一种可实现的方式,如图3和图4所示,喷气嘴2可独立于涂布喷嘴1设置。具体地,涂布机构还设置有一遮挡罩3,遮挡罩3设置于涂布喷嘴1及喷气嘴2上方;遮挡罩3至少包括:位于涂布喷嘴1、以及喷气嘴2上方的第一遮挡板31,以及连接第一遮挡板31、且向涂布喷嘴1方向弯折的第二遮挡板32。第一遮挡板31上还开设有第二通孔312,第二通孔312下方连接喷气嘴2,第二通孔312上方设置有通气管道5,通气管道5通过第二通孔312连接喷气嘴2为喷气嘴2提供保护气体。喷气嘴2设置于遮挡罩3的下方,不与涂布喷嘴1连接,本实施方式中由于喷气嘴2的数量为至少两个,因此,第一遮挡板31上的第二通孔312的数量也为至少两个,每个第二通孔312上方连接一通气管道5、下方连接一喷气嘴2,一个通气管道5为一个喷气嘴2提供保护气体,从而确保为每个喷气嘴2提供保护气体。
值得说明的是,本实施方式中涂布喷嘴1包括:相对设置的两个侧壁11,涂布液从两个侧壁11之间喷出,在涂布喷嘴1的至少一个侧壁11下方设置有用于吸取空气水分的吸湿装置6,进一步吸取在被涂布液涂布的基板10部位附近的水分,为该被涂布液涂布的基板10部位营造一个更加干燥的环境。本实施方式中吸湿装置6可以设置为两个或两个以上,每个侧壁11下方可设置有一个吸湿装置6,进一步提高涂布机构的吸水能力。
优选地,吸湿装置6包括:与侧壁11连接的承载部61,承载部61下方开设有多个通孔;承载部61上方用于承载干燥剂。具体地说,每个吸湿装置6包括:与侧壁11连接的承载部61,承载部61上方用于承载干燥剂,承载部61下方开设有多个第三通孔611,方便干燥剂从该多个第三通孔611吸收周围气体中的水分。可实现地,承载部61的上方或侧边开设有开口,从而方便从开口取出干燥剂进行更换。该干燥剂采用不发尘物质,以避免对基板10上形成的膜层产生影响,干燥剂的更换周期根据其吸水能力决定。
与现有技术相比,本发明实施方式中提供了一种涂布机构,保护气罩产生器包括:至少两个喷气嘴2;涂布喷嘴1包括:相对的两个第一侧边111,相对的两个第一侧边111限定涂布液的喷出区域;至少两个喷气嘴2分布于涂布喷嘴1的相对的两个第一侧边111,每个第一侧边111至少分布有一个喷气嘴2。该方案中给出了保护气罩产生器的另一种实现方式。
本发明的第三实施方式涉及一种涂布机构。如图5和图6所示,第三实施方式是对第二施方式的进一步改进,主要改进之处在于:该方案中涂布机构包括至少四个喷气嘴2;至少四个喷气嘴2分布于涂布喷嘴1的四个两个第一侧边111和两个第二侧边112,每个第一侧边111和每个第二侧边112至少分布有一个喷气嘴2,以增强保护气罩的牢固性。
本实施方式中给出了保护气罩产生器的一种改进的方式,包括至少四个喷气嘴2,涂布喷嘴1包括:相对的两个第二侧边112,两个第二侧边112与两个第一侧边111限定出涂布液的喷出区域;至少四个喷气嘴2分布于涂布喷嘴1的两个第一侧边111和两个第二侧边112,每个第一侧边111和每个第二侧边112至少分布有一个喷气嘴2。
作为一种可实现的方式,喷气嘴2可设置于涂布喷嘴1上,在涂布喷嘴1的每个第一侧边111和每个第二侧边112上设置至少一个喷气嘴2,若每个第一侧边111和每个第二侧边112设置一个喷气嘴2,每个喷气嘴2形成一个子保护气罩,四个子保护气罩、涂布喷嘴1以及基板10形成一封闭空间,将被涂布液涂布的基板10部位与环境空气隔离开来,从而降低环境中空气和氧气对涂布液的影响;且本实施方式中设置有至少四个喷气嘴2,从而产生至少四个子保护气罩,相比于设置至少两个喷气嘴2的方案来说,进一步提高了保护气罩的牢固性。优选地,喷气嘴2呈长条状,从而在涂布喷嘴1的每个第一侧边111和每个第二侧边112上设置一个喷气嘴2即可,四个喷气嘴2生成四个子保护气罩。当然,本实施方式中涂布喷嘴1的每个第一侧边111和每个第二侧边112也可设置有多个喷气嘴2,以进一步增强每个第一侧边111和每个第二侧边112的子保护气罩的牢固性。
作为另一种可实现的方式,喷气嘴2可独立于涂布喷嘴1设置。具体地,涂布机构还设置有一遮挡罩3,遮挡罩3设置于涂布喷嘴1及喷气嘴2上方;遮挡罩3至少包括:位于涂布喷嘴1、以及喷气嘴2上方的第一遮挡板31,以及连接第一遮挡板31、且向涂布喷嘴1方向弯折的第二遮挡板32。第一遮挡板31上还开设有第二通孔312,第二通孔312下方连接喷气嘴2,第二通孔312上方设置有通气管道5,通气管道5通过第二通孔312连接喷气嘴2为喷气嘴2提供保护气体。喷气嘴2设置于遮挡罩3的下方,不与涂布喷嘴1连接,本实施方式中由于喷气嘴2的数量为至少四个,因此,第一遮挡板31上的第二通孔312的数量也为至少四个,每个第二通孔312上方连接一通气管道5、下方连接一喷气嘴2,一个通气管道5为一个喷气嘴2提供保护气体,从而确保为每个喷气嘴2提供保护气体。
值得说明的是,本实施方式中涂布喷嘴1包括:相对设置的两个侧壁11,涂布液从两个侧壁11之间喷出,在涂布喷嘴1的至少一个侧壁11下方设置有用于吸取空气水分的吸湿装置6,进一步吸取在被涂布液涂布的基板10部位附近的水分,为该被涂布液涂布的基板10部位营造一个更加干燥的环境。本实施方式中吸湿装置6可以设置为两个或两个以上,每个侧壁11下方可设置有一个吸湿装置6,进一步提高涂布机构的吸水能力。
优选地,吸湿装置6包括:与侧壁11连接的承载部61,承载部61下方开设有多个第三通孔611;承载部61上方用于承载干燥剂。具体地说,如图所示,每个吸湿装置6包括:与侧壁11连接的承载部61,承载部61上方用于承载干燥剂,承载部61下方开设有多个第三通孔611,方便干燥剂从该多个第三通孔611吸收周围气体中的水分。可实现地,承载部61的上方或侧边开设有开口,从而方便从开口取出干燥剂进行更换。该干燥剂采用不发尘物质,以避免对基板10上形成的膜层产生影响,干燥剂的更换周期根据其吸水能力决定。
与现有技术相比,本发明实施方式中提供了一种涂布机构,保护气罩产生器包括:至少四个喷气嘴2;涂布喷嘴1包括:相对的两个第二侧边112,两个第二侧边112与两个第一侧边111限定涂布液的喷出区域;至少四个喷气嘴2分布于涂布喷嘴1的两个第一侧边111和两个第二侧边112,每个第一侧边111和每个第二侧边112至少分布有一个喷气嘴2。该方案中设置有至少四个喷气嘴2,从而产生至少四个子保护气罩,相比于设置至少两个喷气嘴2的方案来说,进一步提高了保护气罩的牢固性。
值得说明的是,在实际应用中,本实施方式中第一实施方式的实现细节可以应用于第二或第三实施方式中;第二实施方式中的实现细节也可应用于第三实施方式中。
本领域的普通技术人员可以理解,上述各实施方式是实现本发明的具体实施例,而在实际应用中,可以在形式上和细节上对其作各种改变,而不偏离本发明的精神和范围。

Claims (10)

1.一种涂布机构,其特征在于,包括:
涂布喷嘴,所述涂布喷嘴用于向基板喷涂涂布液;
保护气罩产生器,所述保护气罩产生器用于向所述基板喷出保护气体,所述保护气体围绕所述涂布喷嘴喷出的所述涂布液形成保护气罩。
2.根据权利要求1所述的涂布机构,其特征在于,所述保护气罩产生器包括:至少一个喷气嘴,所述喷气嘴环绕所述涂布喷嘴设置。
3.根据权利要求1所述的涂布机构,其特征在于,所述保护气罩产生器包括:至少两个喷气嘴;所述涂布喷嘴包括:相对的两个第一侧边,所述相对的两个第一侧边限定所述涂布液的喷出区域;所述至少两个喷气嘴分布于所述涂布喷嘴的相对的两个第一侧边,每个所述第一侧边至少分布有一个所述喷气嘴;
或者,所述保护气罩产生器包括:至少四个喷气嘴;所述涂布喷嘴包括:相对的两个第一侧边和相对的两个第二侧边,所述两个第二侧边与所述两个第一侧边限定出所述涂布液的喷出区域;所述至少四个喷气嘴分布于所述涂布喷嘴的两个第一侧边和两个第二侧边,每个所述第一侧边和每个所述第二侧边至少分布有一个所述喷气嘴。
4.根据权利要求2或3所述的涂布机构,其特征在于,还包括:位于所述涂布喷嘴、以及所述喷气嘴上方的遮挡罩;
所述涂布喷嘴及所述喷气嘴在所述基板上的正投影,均包含于所述遮挡罩在所述基板上的正投影。
5.根据权利要求4所述的涂布机构,其特征在于,所述遮挡罩至少包括:位于所述涂布喷嘴、以及所述喷气嘴上方的第一遮挡板;以及连接所述第一遮挡板、且向所述涂布喷嘴方向弯折的第二遮挡板。
6.根据权利要求5所述的涂布机构,其特征在于,所述第一遮挡板上开设有第一通孔和第二通孔,其中,所述第一通孔下方连接所述涂布喷嘴、所述第一通孔上方设置有供液管道,所述供液管道连接所述涂布喷嘴,用于为所述涂布喷嘴供给涂布液;所述第二通孔下方连接所述喷气嘴、所述第二通孔上方设置有通气管道,所述通气管道连接所述喷气嘴,用于为所述喷气嘴提供保护气体。
7.根据权利要求5所述的涂布机构,其特征在于,所述喷气嘴与所述第一遮挡板呈一夹角,且所述夹角小于90°。
8.根据权利要求5所述的涂布机构,其特征在于,所述第一遮挡板呈椭圆形或圆形或方形。
9.根据权利要求1所述的涂布机构,其特征在于,所述涂布喷嘴包括:相对设置的两个侧壁,所述涂布液从所述两个侧壁之间喷出;所述涂布机构还包括:用于吸取空气水分的吸湿装置,所述吸湿装置设置于所述涂布喷嘴的至少一个侧壁的下方。
10.根据权利要求9所述的涂布机构,其特征在于,所述吸湿装置包括:与所述侧壁连接的承载部,所述承载部下方开设有多个第三通孔;所述承载部上方用于承载干燥剂。
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