CN107990634A - 干燥设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种干燥设备，包括腔体，所述腔体包括底板，所述底板具有第一平面，所述腔体内设有用于吹风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，所述第一风刀和所述第三风刀相对设置，所述第二风刀位于所述第一风刀和所述第三风刀之间背向所述底板一侧，相对设置的所述第一风刀和所述第三风刀，以及相对设置的第二风刀与所述底板的所述第一平面之间构成容纳空间，盒状容器设于所述空间内。本发明提供的一种干燥设备，通过设置腔体并在腔体内设置出风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，相对于现有技术，加多了出风位置，加快了风的流动性，提高了干燥设备的工作效率。

Description

干燥设备
技术领域
本发明属于OLED制作技术领域，尤其涉及一种干燥设备。
背景技术
在OLED显示器件的蒸镀制程中所用的掩膜版(MASK)，通常采用在金属材料上设置开口，蒸镀材料通过开口沉积于基板上形成薄膜。MASK使用后必须进行清洗，并且要保证在清洗后MASK不得残留任何污点，否则，每个产品均会出现相同的不良。MASK清洗主要在盒状容器(cassette)内进行，cassette保持洁净干燥是保证MASK清洁的重要手段，cassette目前主要采用一个风管吹风方式进行干燥，现有的干燥方法效率低，不能满足生产的需求。
发明内容
本发明的目的是提供一种干燥设备，以解决现有技术所存在干燥效率低的问题。
为实现本发明的目的，本发明提供了如下的技术方案：
第一方面，一种干燥设备，其特征在于，包括腔体，所述腔体包括底板，所述底板具有第一平面，所述腔体内设有用于吹风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，所述第一风刀和所述第三风刀相对设置，所述第二风刀位于所述第一风刀和所述第三风刀之间背向所述底板一侧，相对设置的所述第一风刀和所述第三风刀，以及相对设置的第二风刀与所述底板的所述第一平面之间构成容纳空间盒状容器设于所述空间内。
在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述底板包括相对设置的两个侧边，所述第二风刀的延伸方向与所述两个两侧边之间形成小于90度的夹角，所述第一风刀和所述第三风刀与所述第二风刀共同构建一个垂直于所述第一平面的第二平面。
结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述第一风刀包括第一管道和第一喷嘴，所述第一喷嘴相对所述第一管道倾斜并使所述第一喷嘴具有朝向所述底板方向的角度；所述第三风刀包括第三管道和第三喷嘴，所述第三喷嘴相对所述第三管道倾斜并使所述第三喷嘴具有朝向所述底板方向的角度，所述第三喷嘴倾斜的角度与所述第一喷嘴倾斜的角度相同。
结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，所述第二风刀包括第二管道和第二喷嘴，所述第二喷嘴相对所述第二管道倾斜，并使所述第二喷嘴具有倾斜于所述第一平面的角度。
结合第一方面及第一方面的第二种或第三种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，所述盒状容器包括板架，两个所述板架相对设置，所述板架上设有支撑条，所述支撑条用于支撑掩膜版。
结合第一方面及第一方面的第四种可能的实现方式，在第一方面的第五种可能的实现方式中，所述支撑条设有多层，以使所述板架支撑多块所述掩膜版，所述第一风刀包括多个所述第一喷嘴，多个所述第一喷嘴沿所述第一管道方向间隔设置。
结合第一方面及第一方面的第五种可能的实现方式，在第一方面的第六种可能的实现方式中，所述腔体内还设有第四风刀，所述第四风刀设于所述第一风刀之相对所述底板的相邻一侧，所述第四风刀包括第四管道和第四喷嘴，所述第四喷嘴设置于所述第四管道上，所述第四喷嘴相对所述第四管道上下移动。
结合第一方面及第一方面的第六种可能的实现方式，在第一方面的第七种可能的实现方式中，所述第四管道可转动360°，以带动所述第四喷嘴向四面吹风。
在第一方面的第八种可能的实现方式中，所述腔体为封闭式结构，所述腔体还连接有抽真空组件，所述抽真空组件用于对所述腔体内抽真空。
在第一方面的第八种可能的实现方式中，所述腔体内还设有加热组件，所述加热组件设于所述腔体底部。
本发明的有益效果：
本发明提供的一种干燥设备，通过设置腔体并在腔体内设置出风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，第一风刀、第二风刀、第三风刀和底板构成的容纳空间内设有清洗掩膜版所用的盒状容器，干燥设备工作时，第一风刀、第二风刀和第三风刀吹射风以对该盒状容器进行干燥，相对于现有技术，加多了出风位置，加快了风的流动性，提高了干燥设备的工作效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明一种实施方式的干燥设备的结构示意图；
图2是图1中的干燥设备的一种实施方式的俯视结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1和图2，本发明的一种较佳实施方式提供了一种干燥设备，包括腔体100，所述腔体包括底板102，所述底板102具有第一平面103，所述腔体100内设有用于吹风的第一风刀10、第二风刀20和第三风刀30，所述第一风刀10和所述第三风刀30相对设置，所述第二风刀20位于所述第一风刀10和所述第三风刀30之间背向所述底板102一侧，相对设置的所述第一风刀10和所述第三风刀30，以及相对设置的第二风刀20与所述底板102的所述第一平面103之间构成容纳空间，盒状容器(图中未标号)设于所述空间内。
本实施方式中，通过设置腔体100并在腔体100内设置吹风的第一风刀10、第二风刀20和第三风刀30，掩膜版容纳于第一风刀10、第二风刀20、第三风刀30和底板102构成的空间内，干燥设备工作时，第一风刀10、第二风刀20和第三风刀30吹射风以对盒状容器进行干燥，相对于现有技术，加多了出风位置，加快了风的流动性，提高了干燥设备的工作效率。
本实施方式中，腔体100为封闭结构，腔体100与外界联通的各个接口处设置有密封圈等密封装置，以防异物进入腔体100内。腔体100底部可设置凸台104，用于垫高盒状容器的放置位置，以使盒状容器内上吹射下来的液滴等异物流入该凸台104周围的区域内，该凸台104周围的区域还可设置排液口(未图示)，用于排出液滴等异物。
本实施方式中，第一风刀10、第二风刀20和第三风刀30与送风机构(未图示)相连，该送风机构设于腔体100外，可对空气加压，使风刀出射的风具有较强的气压，空气流动速度更快，可进一步加快干燥速度。进一步的，送风机构还可对空气加热，使风刀出射的风为热风，进一步加快干燥速度。
本实施方式中，所述腔体100还连接有抽真空组件101，所述抽真空组件101用于对所述腔体100内抽真空。进一步的，抽真空组件101于腔体100底部与腔体100内部联通，抽真空组件101至少为1个，例如，在腔体100内相对于掩膜版300两侧边的两侧分别设置1个抽真空组件101，或在腔体100底部的四角设置4个抽真空组件均可，该抽真空组件101可包括抽风机(未图示)和管道(未图示)，通过管道(未图示)与腔体100相连。
本实施方式中，所述腔体100内还设有加热组件(未图示)，所述加热组件设于所述腔体底部100。进一步的，该加热组件可设于凸台102上，也可设于凸台102周围的区域，以使腔体100内的温度较高，液滴以蒸汽的形式存在，由抽真空组件101抽出。进一步的，该加热组件的加热温度范围为80～200℃，优选为100～150℃。
本实施方式中，盒状容器设于干燥设备的腔体内，实现了设备的整体性，使清洗和干燥工作可在同一个设备内进行，优化了工艺布局。
一种实施方式中，请参考图2，所述底板102包括相对设置的两个侧边，所述第二风刀20的延伸方向与所述两个两侧边之间形成小于90度的夹角，所述第一风刀10和所述第三风刀30与所述第二风刀20共同构建一个垂直于所述第一平面103的第二平面(未图示)。
具体的，所述第二风刀20与所述底板102相对两侧边呈倾斜状，所述第一风刀10和所述第三风刀30与所述第二风刀20在一个平面内。通过以上设置，使得掩膜版300上各个区域均可被风刀出射的风吹射到，不留死角。进一步的，该第一风刀10和第三风刀30可在底板102两侧边位置平行于底板102侧边移动，该第二风刀20可在平行于第一平面103的平面上旋转，以进一步加快对盒状容器的吹射，进一步提高干燥效率。
一种实施方式中，所述第一风刀10包括第一管道11和第一喷嘴12，所述第一喷嘴12相对所述第一管道11倾斜并使所述第一喷嘴12具有朝向所述底板102方向的角度；所述第三风刀30包括第三管道31和第三喷嘴32，所述第三喷嘴32相对所述第三管道31倾斜并使所述第三喷嘴32具有朝向所述底板102方向的角度，所述第三喷嘴32倾斜的角度与所述第一喷嘴12倾斜的角度相同。
本实施方式中，设置朝向底板102方向，即向下倾斜的喷嘴角度，相较于喷嘴角度与第一平面103平行的方案而言，可加快盒状容器上的液滴等异物加快向下流动，抑或可加快液滴的蒸发，均可加快干燥速度，提高干燥设备的效率。
具体而言，第一喷嘴12与第一管道11的倾斜角度为20°～70°，优选为25°～60°，进一步优选为30°～45°，特别的，倾斜角度具体为25°、30°、45°、60°时具有较好的吹射效果。
一种实施方式中，所述第二风刀20包括第二管道21和第二喷嘴22，所述第二喷嘴22相对所述第二管道21倾斜，并使所述第二喷嘴22具有倾斜于所述第一平面103的角度。具体而言，第二喷嘴22不垂直于第一平面103，第二喷嘴22与第二管道21的倾斜角度为20°～70°，优选为25°～60°，进一步优选为30°～45°，特别的，倾斜角度具体为25°、30°、45°、60°时具有较好的吹射效果。
一种实施方式中，所述盒状容器包括板架200，两个所述板架200相对设置，所述板架200上设有支撑条202，所述支撑条202用于支撑掩膜版300。
本实施方式中，两个相对的板架200之间还可设底板架203，所述底板架203位于凸台102之上，所述底板架203连接所述相对的两个板架200，底板架203下还可设至少一个收纳盒201，用于储存板架200以及支撑条202上流下的液滴。
一种实施方式中，所述支撑条202设有多层，以使所述板架200支撑多块所述掩膜版300，所述第一风刀10包括多个所述第一喷嘴12，多个所述第一喷嘴12沿所述第一管道11方向间隔设置。可以理解的，第二风刀20和第三风刀30也可与第一风刀10具有相类似的结构，在此不再赘述。通过以上设置，使得盒状容器一次可清洗多块掩膜版300，干燥设备一次可对盒状容器内的多个位置进行吹风，提高了干燥设备的干燥效率。应当说明，掩膜版300清洗完成之后才对盒状容器进行干燥，即在干燥设备工作时，盒状容器中应无掩膜版300。
一种实施方式中，所述腔体100内还设有第四风刀40，所述第四风刀40设于所述第一风刀10之相对所述底板102的相邻一侧，所述第四风刀40包括第四管道41和第四喷嘴42，所述第四喷嘴42设置于所述第四管道41上，所述第四喷嘴42可相对所述第四管道41上下移动。
本实施方式中，第四喷嘴42可具有多个喷口，以覆盖更大面积的喷射区域，第四喷嘴42喷射的风可与第一平面103平行，也可具有一定的角度。通过设置第四喷嘴42并可向下移动，使得在第一风刀10、第二风刀20和第三风刀30的基础上，喷射的风吹扫位置更为全面，进一步加快干燥盒状容器，提高效率。
进一步的，所述第四管道41可转动360°，以带动所述第四喷嘴42向四面出风，以进一步扩大风吹扫区域。当然，也可设置第四管道41固定，而第四喷嘴42在第四管道41上可转动360°。
以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施方式而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施方式的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种干燥设备，其特征在于，包括腔体，所述腔体包括底板，所述底板具有第一平面，所述腔体内设有用于吹风的第一风刀、第二风刀和第三风刀，所述第一风刀和所述第三风刀相对设置，所述第二风刀位于所述第一风刀和所述第三风刀之间远离所述底板一侧，相对设置的所述第一风刀和所述第三风刀，以及相对设置的第二风刀与所述底板的所述第一平面之间构成容纳空间，盒状容器设于所述空间内。
2.如权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，所述底板包括相对设置的两个侧边，所述第二风刀的延伸方向与所述两个两侧边之间形成小于90度的夹角，所述第一风刀和所述第三风刀与所述第二风刀共同构建一个垂直于所述第一平面的第二平面。
3.如权利要求2所述的干燥设备，其特征在于，所述第一风刀包括第一管道和第一喷嘴，所述第一喷嘴相对所述第一管道倾斜并使所述第一喷嘴具有朝向所述底板方向的角度；所述第三风刀包括第三管道和第三喷嘴，所述第三喷嘴相对所述第三管道倾斜并使所述第三喷嘴具有朝向所述底板方向的角度，所述第三喷嘴倾斜的角度与所述第一喷嘴倾斜的角度相同。
4.如权利要求2所述的干燥设备，其特征在于，所述第二风刀包括第二管道和第二喷嘴，所述第二喷嘴相对所述第二管道倾斜，并使所述第二喷嘴具有倾斜于所述第一平面的角度。
5.如权利要求3或4所述的干燥设备，其特征在于，所述盒状容器包括板架，两个所述板架相对设置，所述板架上设有支撑条，所述支撑条用于支撑掩膜版。
6.如权利要求5所述的干燥设备，其特征在于，所述支撑条设有多层，以使所述板架支撑多块所述掩膜版，所述第一风刀包括多个所述第一喷嘴，多个所述第一喷嘴沿所述第一管道方向间隔设置。
7.如权利要求6所述的干燥设备，其特征在于，所述腔体内还设有第四风刀，所述第四风刀设于所述第一风刀之相对所述底板的相邻一侧，所述第四风刀包括第四管道和第四喷嘴，所述第四喷嘴设置于所述第四管道上，所述第四喷嘴相对所述第四管道上下移动。
8.如权利要求7所述的干燥设备，其特征在于，所述第四管道可转动360°，以带动所述第四喷嘴向四面吹风。
9.如权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，所述腔体为封闭式结构，所述腔体还连接有抽真空组件，所述抽真空组件用于对所述腔体内抽真空。
10.如权利要求1所述的干燥设备，其特征在于，所述腔体内还设有加热组件，所述加热组件设于所述腔体底部。
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