JP3224951U - 縦型ウェットエッチング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】回路基板に対しエッチング液を均一に吹き付け可能な縦型ウェットエッチング装置を提供する。【解決手段】縦型ウェットエッチング装置は、ハウジング１００、搬送装置２００及び吹付管路３００を含む。ハウジングの内部には動作空間１０１が形成される。搬送装置は、動作空間内に設けられる水平軌道２１０と、水平軌道に設けられる少なくとも１つの治具２２０を含み、治具が水平軌道に沿って平行移動する。吹付管路は動作空間内に設けられる。吹付管路には、水平軌道に向かって配置される複数のノズル３１１が設けられる。ノズルは対応する水平軌道の両端の間の領域に間隔を置いて配列され、それぞれ異なる高さ位置に配置される。【選択図】図６

Description

本考案はエッチング装置に関し、特に、回路基板にエッチング液を均一に吹き付け可能なノズル配置の縦型ウェットエッチング装置に関する。

回路基板用のウェットエッチング装置は、一般的に横型と縦型の２種類に分類されるが、本考案は縦型のウェットエッチング装置に関する。縦型ウェットエッチング装置では、回路基板を起立状態で吊るしてノズルを通過させ、ノズルにより回路基板の表面にエッチング液を吹き付ける。通常、ノズルは水平管上に一列に配置される。水平管は、上下に間隔を置いて並列に複数設けられ、回路基板を水平管の縦方向に沿って水平に移動させながら、上記のノズルから回路基板の表面にエッチング液を吹き付ける。しかし、水平管同士の間隔はノズルの吹付範囲から外れた領域となる。且つ、そもそも管路には体積制限が存在するため、水平管同士の距離には下限がある。こうしたことから、回路基板のエッチングにムラができてしまう。

上記に鑑みて、本考案の考案者らは、上述した従来技術について熱心に研究を行い、学術理論を駆使することで、上記の課題解決に邁進することを本考案における改良目標とした。

本考案は、回路基板にエッチング液を均一に吹き付け可能なノズル配置の縦型ウェットエッチング装置を提供する。

本考案は、ハウジング、搬送装置及び吹付管路を含む縦型ウェットエッチング装置を提供する。ハウジングの内部には動作空間が形成されている。搬送装置は、動作空間内に設けられる水平軌道と、水平軌道に設けられる少なくとも１つの治具を含み、治具が水平軌道に沿って平行移動可能である。吹付管路は動作空間内に設けられる。吹付管路には、水平軌道に向かって配置される複数のノズルが設けられる。これらノズルは対応する水平軌道の両端の間の領域に間隔を置いて配列され、且つ、これらノズルはそれぞれ異なる高さ位置に配置される。

本考案の縦型ウェットエッチング装置は、吹付管路が傾斜して配置されるストレート管を含み、これらノズルはストレート管に設けられ、且つ、これらノズルはストレート管に沿って間隔を置いて配列される。ストレート管の一端は密閉されており、且つ、ストレート管の他端は加圧液体源に連通している。ストレート管にはバイパス均圧管が設けられており、且つ、バイパス均圧管はストレート管の両端にそれぞれ連通している。

本考案の縦型ウェットエッチング装置は、吹付管路が複数のストレート管を含み、これらストレート管は上下に間隔を置いて互いに平行に配列され、且つ、各ストレート管は傾斜して配置される。これらストレート管は、水平軌道の一方の側に設けられる。各ストレート管の一端は密閉されており、且つ、各ストレート管の他端は加圧液体源にそれぞれ連通している。各ストレート管にはバイパス均圧管がそれぞれ設けられており、且つ、各バイパス均圧管は、自身が位置するストレート管の両端にそれぞれ連通している。

本考案の縦型ウェットエッチング装置は、吹付管路が、水平に間隔を置いて横並びに配置される一対のストレート管を含み、各ストレート管の一端は密閉されており、一対のストレート管における他端は互いに連通するとともに、更に加圧液体源に連通している。各ストレート管にはバイパス均圧管がそれぞれ設けられており、且つ、各バイパス均圧管は、自身が位置するストレート管の両端にそれぞれ連通している。一対のストレート管は、水平軌道の両側に設けられる。水平軌道の両側における各ストレート管のノズルは対向して配置される。

本考案の縦型ウェットエッチング装置では、吹付管路上の複数のノズルを異なる高さ位置に設けることで、回路基板に対しエッチング液を均一に吹き付け可能となる。

図１は、本考案の好ましい実施例における縦型ウェットエッチング装置の側面図である。 図２は、本考案の好ましい実施例における縦型ウェットエッチング装置の横断位置の平面図である。 図３は、本考案の好ましい実施例における縦型ウェットエッチング装置の横断位置の平面図である。 図４は、本考案の好ましい実施例における縦型ウェットエッチング装置の吹付管路の側面図である。 図５は、本考案の好ましい実施例における縦型ウェットエッチング装置の使用状態を示す図である。 図６は、本考案の好ましい実施例における縦型ウェットエッチング装置の使用状態を示す図である。

図１〜図４を参照して、本考案の好ましい実施例は、ハウジング１００、搬送装置２００及び吹付管路３００を含む縦型ウェットエッチング装置を提供する。ハウジング１００内には動作空間１０１が形成されている。搬送装置２００は、動作空間１０１内に設けられる水平軌道２１０と、水平軌道２１０に設けられる少なくとも１つの治具２２０を含む。且つ、治具２２０は水平軌道２１０に沿って平行移動可能である。吹付管路３００は動作空間１０１内に設けられている。吹付管路３００には、水平軌道２１０に向かって配置される複数のノズル３１１が設けられている。これらノズル３１１は、対応する水平軌道２１０の両端の間の領域に間隔を置いて配列される。且つ、これらノズル３１１は、それぞれ異なる高さ位置に配置される。

最も単純な実施可能な形態の場合、吹付管路３００は、傾斜して配置される単一のストレート管３１０を含めばよい。上記のノズル３１１はストレート管３１０に設けられ、且つ、これらノズル３１１はストレート管３１０に沿って間隔を置いて配列される。ストレート管３１０の一端は密閉端３１０ａである。且つ、ストレート管３１０の他端は、エッチング液を加圧して各ノズル３１１に供給するよう、加圧液体源３０１に連通している。また、ストレート管３１０にはバイパス均圧管３２０を設け、且つ、バイパス均圧管３２０がストレート管３１０の両端にそれぞれ連通してもよい。

図５及び図６を参照して、本実施例において、本考案の縦型ウェットエッチング装置は、傾斜して配置されるストレート管３１０によって、ストレート管３１０上のノズル３１１をそれぞれ異なる高さ位置に配置可能としている。そのため、治具２２０が回路基板１０を挟持して水平軌道２１０沿いに移動し、これらノズル３１１を通過する際に、回路基板１０に対する吹付範囲が面状となる。よって、従来の水平管と比較して、本考案の縦型ウェットエッチング装置では吹付範囲がより均一となり、且つ、完全に回路基板１０の表面をカバー可能となる。ただし、本考案の縦型ウェットエッチング装置の吹付管路３００は、ストレート管３１０を傾斜して配置することでノズル３１１を異なる高さ位置にそれぞれ配置するという唯一の方法に限らない。例えば、吹付管路３００はその他の形状の湾曲管を含んでもよい。湾曲管にノズル３１１を設ければ、ノズル３１１を異なる高さにそれぞれ配置可能となる。

本実施例において、本考案の縦型ウェットエッチング装置の吹付管路３００は、複数のストレート管３１０を含むことが好ましい。これらストレート管３１０は上下に間隔を置いて互いに平行に配列される。また、水平軌道２１０の両側にストレート管３１０が１列ずつ設けられ、水平軌道２１０の両側における各ストレート管３１０のノズル３１１が対向して配置される。各ストレート管３１０は傾斜して配置される。各ストレート管３１０の一端は密閉端３１０ａであり、且つ、各ストレート管３１０の他端は加圧液体源３０１にそれぞれ連通している。

本実施例において、水平軌道２１０の両側に位置する２列のストレート管３１０は、一対となるよう配置されている。各一対のストレート管３１０における各ストレート管３１０の一端は密閉端３１０ａである。また、当該一対のストレート管３１０における他端は互いに連通しており、更に、加圧液体源３０１に連通している。これにより、水平軌道２１０の両側におけるストレート管３１０内のエッチング液が均圧となるため、回路基板１０の両面にエッチング液を均一に吹き付け可能となる。また、各ストレート管３１０にはバイパス均圧管３２０がそれぞれ設けられている。且つ、各バイパス均圧管３２０は、自身が位置するストレート管３１０の両端にそれぞれ連通している。これにより、ストレート管３１０の両端におけるエッチング液の圧力が均衡するため、当該ストレート管３１０上の各ノズル３１１が均一にエッチング液を吹き付け可能となる。

好ましくは、ストレート管３１０の下端を、隣接する他のストレート管３１０の上端と同一の高さ位置に配置可能とする。これによれば、隣接するストレート管３１０の吹付範囲を連続させられる。

以上は本考案の好ましい実施例にすぎず、本考案の権利範囲を限定するものではない。本考案の精神を利用したその他の等価の変形は、いずれも本考案の権利範囲に属する。

１０ 回路基板
１００ ハウジング
１０１ 動作空間
２００ 搬送装置
２１０ 水平軌道
２２０ 治具
３００ 吹付管路
３０１ 加圧液体源
３１０ ストレート管
３１０ａ 密閉端
３１１ ノズル
３２０ バイパス均圧管

Claims (12)

1. 内部に動作空間が形成されるハウジング、
   当該動作空間内に設けられる水平軌道と、当該水平軌道に設けられる少なくとも１つの治具を含み、当該治具が当該水平軌道に沿って平行移動可能である搬送装置、及び
   当該動作空間内に設けられる管路であって、当該水平軌道に向かって配置される複数のノズルが設けられる吹付管路、を含み、
   これらノズルは対応する当該水平軌道の両端の間の領域に間隔を置いて配列され、且つ、これらノズルはそれぞれ異なる高さ位置に配置される縦型ウェットエッチング装置。
2. 当該吹付管路は傾斜して配置されるストレート管を含み、これらノズルは当該ストレート管に設けられ、且つ、これらノズルは当該ストレート管に沿って間隔を置いて配列される請求項１に記載の縦型ウェットエッチング装置。
3. 当該ストレート管の一端は密閉されており、且つ、当該ストレート管の他端は加圧液体源に連通している請求項２に記載の縦型ウェットエッチング装置。
4. 当該ストレート管にはバイパス均圧管が設けられており、且つ、当該バイパス均圧管は当該ストレート管の両端にそれぞれ連通している請求項２に記載の縦型ウェットエッチング装置。
5. 当該吹付管路は複数のストレート管を含み、これらストレート管は上下に間隔を置いて互いに平行に配列され、且つ、各当該ストレート管は傾斜して配置される請求項１に記載の縦型ウェットエッチング装置。
6. これらストレート管は、当該水平軌道の一方の側に設けられる請求項５に記載の縦型ウェットエッチング装置。
7. 各当該ストレート管の一端は密閉されており、且つ、各当該ストレート管の他端は加圧液体源にそれぞれ連通している請求項５に記載の縦型ウェットエッチング装置。
8. 各当該ストレート管にはバイパス均圧管がそれぞれ設けられており、且つ、各当該バイパス均圧管は、自身が位置する当該ストレート管の両端にそれぞれ連通している請求項７に記載の縦型ウェットエッチング装置。
9. 当該吹付管路は、水平に間隔を置いて横並びに配置される一対のストレート管を含み、各当該ストレート管の一端は密閉されており、当該一対のストレート管における他端は互いに連通するとともに、更に加圧液体源に連通している請求項１に記載の縦型ウェットエッチング装置。
10. 各当該ストレート管にはバイパス均圧管がそれぞれ設けられており、且つ、各当該バイパス均圧管は、自身が位置する当該ストレート管の両端にそれぞれ連通している請求項９に記載の縦型ウェットエッチング装置。
11. 当該一対のストレート管は、当該水平軌道の両側に設けられる請求項９に記載の縦型ウェットエッチング装置。
12. 当該水平軌道の両側における各当該ストレート管のこれらノズルは、対向して配置される請求項１１に記載の縦型ウェットエッチング装置。