CN104741289A - 基板传送装置及涂布装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板传送装置及涂布装置，基板传送装置包括驱动装置和传送手臂，所述传送手臂用于携带需要传送的基板，所述驱动装置驱动所述传送手臂运动至预定的位置，所述传送手臂上设有吹出气流的吹气装置。该基板传送装置及涂布装置的传送手臂上安装有吹气装置，当传送手臂携带需要涂布的基板至涂布载台时，传送手臂上的吹气装置会对涂布载台进行吹拭，从而将涂布载台上的粒子吹走，改善涂布效果。

Description

基板传送装置及涂布装置

技术领域

本发明涉显示器制造领域，特别是涉及一种基板传送装置及涂布装置。

背景技术

在液晶和平板显示制造领域，制造工艺中涉及多种涂布装置，如涂布感光材料的涂布装置、涂布密封(seal)胶的涂布装置等。制造工艺中采用的掩膜技术，在基板上镀相应膜层后，需要涂布装置在基板上均匀涂胶，以通过光照反应、化学品显像、湿刻，最终得到相应膜层图案。

现有技术中，涂布装置包括：承载机台、设置于承载机台上的喷嘴支架、固定在喷嘴支架上的连接板、通过连接板固定于喷嘴支架上的狭缝喷嘴、与狭缝喷嘴相连的涂布液输入管道、调节狭缝喷嘴与待涂布基板之间距离的微分调节器、设于承台机台上承载待涂布基板的涂布载台等。

使用涂布装置涂布涂布液时，狭缝喷嘴的两端通过连接板固定在喷嘴支架上，微分调节器用来调节狭缝喷嘴与待涂布基板之间的距离，涂布液输入管道设置在狭缝喷嘴顶部，将涂布液输入到狭缝喷嘴中，然后涂布液通过狭缝喷嘴涂布在需要进行涂布的基板上。

现有技术存在的缺陷在于：如果带涂布的基板的表面不平整，会影响涂布的效果，甚至导致设备的报警。目前，基板与涂布载台的工艺已经非常精密，造成基板表面不平整的原因，大部分是因为载台与基板之间存在的粒子。这些粒子的存在严重影响涂布效果，甚至导致设备故障、产品返工、产品品质异常等不良现象。

发明内容

基于此，有必要提供一种基板传送装置及涂布装置，其具有改善涂布装置涂布效果的优点。

一种基板传送装置，包括驱动装置和传送手臂，所述传送手臂用于携带需要传送的基板，所述驱动装置驱动所述传送手臂运动至预定的位置，所述传送手臂上设有吹出气流的吹气装置。

在其中一个实施例中，所述吹气装置为吹出气流的风刀，所述风刀设置在所述传送手臂的下方。

在其中一个实施例中，所述传送手臂包括多个承载基板的支撑杆。

在其中一个实施例中，所述多个支撑杆中相邻两个支撑杆之间的间距相等。

在其中一个实施例中，所述多个支撑杆中的每一个支撑杆上设有至少一个风刀，所述多个支撑杆内部为中空结构，压缩气流通过所述支撑杆达到所述风刀后由风刀吹出。

在其中一个实施例中，所述多个支撑杆中的每一个支撑杆上的风刀相互间呈一字形排列，排列成一字形的多个风刀吹出的气流形成一个气帘。

在其中一个实施例中，所述风刀可旋转的固定于所述支撑杆上。

在其中一个实施例中，所述多个支撑杆中的每一个支撑杆上均设有多个风刀，每个支撑杆上的多个风刀均呈一字形排列。

一种涂布装置，包括承载机台、设置于承载机台上的喷嘴支架、固定在喷嘴支架上的连接板、通过连接板固定于喷嘴支架上的狭缝喷嘴、与狭缝喷嘴相连的涂布液输入管道、调节狭缝喷嘴与待涂布基板之间距离的微分调节器和设于承台机台上承载待涂布基板的涂布载台，其特征在于，所述涂布装置还包括上述基板传送装置，所述基板传送装置将基板传送至所述涂布载台上。

在其中一个实施例中，所述基板传送装置固定于所述承载机台上。

上述基板传送装置及涂布装置的传送手臂上安装有吹气装置，当传送手臂携带需要涂布的基板至涂布载台时，传送手臂上的吹气装置会对涂布载台进行吹拭，从而将涂布载台上的粒子吹走，改善涂布效果。

附图说明

图1为本发明的基板传送装置示意图；

图2为图1所示基板传送装置的风刀收起来时的示意图；

图3为图1所示基板传送装置的正视图；

图4为本发明的涂布装置示意图；

图5为图4所示涂布装置的基板运送到涂布载台上时的示意图；

图6为图4所示涂布装置的基板运送到涂布载台上后基板传送装置从涂布载台上撤回时的示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参考图1和图2，本发明的一个实施例提供一种基板传送装置100。该基板传送装置100包括驱动装置和传送手臂120。传送手臂120用于携带需要传送的基板，驱动装置驱动传送手臂120运动至预定的位置，传送手臂120上设有吹出气流的吹气装置130。图中并未画出驱动装置，此处的驱动装置可以是旋转电机、驱动气缸、运动导轨等。传送手臂120与驱动装置相连接并由驱动装置带动传送手臂运动。

在该实施例中，该基板传送装置100的吹气装置130为吹出气流的风刀。并且，风刀设置在传送手臂120的下方。此处的传送手臂120的下方是指当传送手臂120传送基板时，与传送手臂120上放置基板的一面相对的一侧。压缩空气进入风刀后，以一面厚度仅为0.05毫米的气流薄片高速吹出。通过科恩达效应原理及风刀特殊的几何形状，此薄片风幕最大可30～40倍的环境空气，而形成一面薄薄的高强度、大气流的冲击风幕。风刀具有使用寿命长，能够很好的吹除钢板，铝合金型材等平面上的灰尘的优点。因此，此处的吹气装置130采用风刀。在其它实施例中，吹气装置130也可以采用常用的出风口设计。

该基板传送装置100的传送手臂120包括多个承载基板的支撑杆122和承载将多个支撑杆122连接在一起的连接臂124。多个支撑杆122中相邻两个支撑杆之间的间距相等，这样可以使各个支撑杆122受力较为均匀。多个支撑杆122中的每一个支撑杆122上设有至少一个风刀。支撑杆122内部为中空结构，压缩气流通过支撑杆122达到风刀后由风刀吹出。这样支撑杆122可以起到输送气流的作用，无需再另外安装气流管道，从而使该基板传送装置100的结构更加简单，成本更低。

该基板传送装置100的多个支撑杆122中的每一个支撑杆122上的风刀相互间呈一字形排列，排列成一字形的多个风刀吹出的气流形成一个气帘。如图1所示。这样，传送手臂120在携带着基板传送的过程中，风刀吹出的气帘可以很好的实现对经过的区域进行吹尘作业。

请参考图3，该基板传送装置100的风刀可旋转的固定于支撑杆122上。当该基板传送装置100的传送手臂120将基板传送到位后，基板会被涂布载台上的支撑销定起，以利于该基板传送装置100的传送手臂120退出。此次的相邻两个风刀是相互靠在一起的，该基板传送装置100在退出的过程中风刀会碰到支撑销，导致该基板传送装置100的传送手臂120无法退出。所以，此处的风刀采用可旋转的固定于支撑杆122上的方式。当该基板传送装置100的传送手臂120退出时，支撑销的阻挡将推动风刀旋转，从而使传送手臂120能够退出。本技术领域人员可以理解的是，支撑销相对于传送手臂120的位置、风刀的长度相对于两个相邻支撑销之间的距离需要根据实际的需要进行设定，以使风刀不至于被两个支撑销卡住。当然，此处也可以设置一个旋转电机来控制风刀的旋转，从而使风刀能够旋转到与支撑杆122相一致的位置，避免风刀产生阻挡。该实施例是采用旋转电机来控制风刀的旋转。

该基板传送装置100的多个支撑杆122中的每一个支撑杆122上均设有多个风刀，多个支撑杆中的多个风刀均呈一字形排列。也就是说呈一字形排列的风刀有多排。这样，可以保证风刀能够将涂布载台上的粒子清扫干净。

请参考图4与图5，本发明还提供一种涂布装置。该涂布装置包括承载机台、设置于承载机台上的喷嘴支架、固定在喷嘴支架上的连接板、通过连接板固定于喷嘴支架上的狭缝喷嘴、与狭缝喷嘴相连的涂布液输入管道、调节狭缝喷嘴与待涂布的基板300之间距离的微分调节器和设于承台机台上承载待涂布基板的涂布载台220。该涂布装置还包括图1或图2所示的基板传送装置100，基板传送装置100将基板300传送至涂布载台220上。其中，基板传送装置100可以固定于承载机台上也可以设置在承载机台的侧边。

需要说明的是，图4与图5只绘示出了该涂布装置的涂布载台220和基板传送装置100，涂布载台220上设有用于顶起基板220的支撑销222。此处的涂布装置与常用的涂布装置结构相类似，不同之处在于，本发明的涂布装置的基板传输装置采用图1所示的基板传送装置100。此处的基板300可以是玻璃、液晶面板或者平板显示器的显示面板等。

下面将结合图4～6说明一下该涂布装置的工作过程。

该涂布装置进行涂布作业时需要先将基板300运送到涂布载台220上。此时，基板传送装置100将开始工作，驱动装置驱动承载有基板300的传送手臂120向涂布载台220运动。在传送手臂120向涂布载台220运动的过程中，支撑杆122上固定的风刀会以张开的状态对涂布载台220进行吹拭，也就是风刀排成一字形的状态，如图4和图5所示。传送手臂120将基板300传送到位后，各风刀停吹并旋转至与支撑杆122相重合的位置，并隐藏于支撑杆122的底部，如图6所示。之后，支撑杆122上的基板300会被涂布载台220上的支撑销222顶起。基板300被涂布载台220上的支撑销222顶起后传送手臂120开始撤回，同时风刀以另一个角度再次对涂布载台进行吹拭，这样可以使吹拭效果更好。等传送手臂120从涂布载台220上撤回后支撑销222也将向回收缩，此处就可以对基板300进行涂布液的涂布。涂布完成后，将基板300取走。接着就可以重复上述过程对下一个基板300进行作业。

从该涂布装置的整个工作过程可以看出，基板传送装置100在传送基板300的同时实现了对涂布载台220的清洁。此过程在未额外增加制造时间的基础上达到了对涂布载台220上的粒子进行清除的目的，改善了涂布效果，从而提高了产品品质，减少了设备停机机率，降低了产品重工率。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种基板传送装置，包括驱动装置和传送手臂，所述传送手臂用于携带需要传送的基板，所述驱动装置驱动所述传送手臂运动至预定的位置，其特征在于，所述传送手臂上设有吹出气流的吹气装置。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述吹气装置为吹出气流的风刀，所述风刀设置在所述传送手臂的下方。

3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述传送手臂包括多个承载基板的支撑杆。

4.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述多个支撑杆中相邻两个支撑杆之间的间距相等。

5.根据权利要求4所述的基板传送装置，其特征在于，所述多个支撑杆中的每一个支撑杆上设有至少一个风刀，所述多个支撑杆内部为中空结构，压缩气流通过所述支撑杆达到所述风刀后由风刀吹出。

6.根据权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，所述多个支撑杆中的每一个支撑杆上的风刀相互间呈一字形排列，排列成一字形的多个风刀吹出的气流形成一个气帘。

7.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述风刀可旋转的固定于所述支撑杆上。

8.根据权利要求7所述的基板传送装置，其特征在于，所述多个支撑杆中的每一个支撑杆上均设有多个风刀，每个支撑杆上的多个风刀均呈一字形排列。

9.一种涂布装置，包括承载机台、设置于承载机台上的喷嘴支架、固定在喷嘴支架上的连接板、通过连接板固定于喷嘴支架上的狭缝喷嘴、与狭缝喷嘴相连的涂布液输入管道、调节狭缝喷嘴与待涂布基板之间距离的微分调节器和设于承台机台上承载待涂布基板的涂布载台，其特征在于，所述涂布装置还包括如权利要求1至8中任一项所述的基板传送装置，所述基板传送装置将基板传送至所述涂布载台上。

10.根据权利要求9所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置固定于所述承载机台上。