KR101829960B1

KR101829960B1 - 도포 방법 및 도포 장치

Info

Publication number: KR101829960B1
Application number: KR1020150164568A
Authority: KR
Inventors: 히로유키 오구라
Original assignee: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date: 2014-11-28
Filing date: 2015-11-24
Publication date: 2018-02-19
Also published as: TWI610724B; US20160151801A1; US10279368B2; KR20160064983A; JP6438748B2; TW201637733A; JP2016101563A

Abstract

슬릿 노즐의 슬릿 개구부는, 원형의 기판의 중심부로부터 기판의 외연부에 한 방향으로 연장되도록 길게 배치되고, 또, 길이 방향의 길이가 기판의 반경 미만으로 구성되어 있다.
이러한 슬릿 노즐에 의해 기판 상에 약액을 토출하는데, 이때에, 회전 유지부에 의해, 기판과 슬릿 노즐을 기판의 중심부 둘레로 상대적으로 회전시킨다. 이것에 의해, 슬릿 노즐로부터 토출된 약액이 모두 기판 상에 착액하여 양호한 액 기둥을 형성하고, 원형의 기판의 외연부를 따라 기판 대략 전면에 약액의 막이 형성된다. 그로 인해, 불필요한 약액을 억제하면서, 기판 상에 양호한 약액을 도포할 수 있다.

Description

도포 방법 및 도포 장치{COATING METHOD AND COATING APPARATUS}

본 발명은, 반도체 기판, 액정 표시용 유리 기판, 포토 마스크용 유리 기판, 광디스크용 기판 등의 원형(원반 형상)의 기판에, 고점도의 약액을 도포하는 도포 방법 및 도포 장치에 관한다.

종래, 도포 장치는, 기판을 대략 수평 자세로 유지하여 회전시키는 회전 유지부와, 레지스트 등의 약액을 기판에 토출하는 노즐을 구비하고 있다(예를 들어, 일본국:특허 공개 평11-162808호 공보 참조). 도포 장치는, 노즐로부터 기판의 중심부에 약액을 공급하고, 기판 유지부에서 기판을 고속 회전시킨다. 이에 의해, 기판 전면에 약액이 퍼져, 약액의 막이 형성된다.

그러나, 종래 장치의 경우에는, 다음과 같은 문제가 있다. 즉, 스핀 도포 방식인 경우, 회전에 의해 약액을 기판 전면에 퍼지게 하기 위해, 약액을 기판 밖으로 불필요하게 버리게 된다. 특히, 점도가 높아질수록 약액을 기판 전면에 퍼지게 하기 어렵고, 다량의 약액이 필요하게 되어, 다량의 약액을 기판 밖으로 불필요하게 버리게 된다. 그 결과, 고가의 약액을 사용할 때 등, 비용적으로 불리해진다.

또, 스핀 도포 방식으로는, 막두께를 형성할 때에, 회전에 의해 성막하는 성질상, 막두께의 목표값보다 얇아진다. 이 경우, 예를 들어, 2회 도포하여 2층의 막을 형성한다. 그로 인해, 약액을 더욱 불필요하게 버리게 되고, 또, 처리 시간이 길어져 버린다.

한편, 스핀 도포하지 않는 방식으로서, 도 1과 같이, 각 기판(직사각형 형상 기판)의 상방을 슬릿 노즐(103)로 한 방향으로 이동시키면서, 약액을 도포하는 스캔 도포 방식이 있다. 이 방식으로 원형 기판(W)에 도포하는 경우, 도 1의 사선과 같이, 불필요하게 약액을 버리는 영역(SH)이 발생한다.

또, 스캔 도포 방식으로는, 슬릿 노즐(103)의 토출구와 원형의 기판(W)의 간극이 균일하게 유지되지 않음으로써, 특히, 고점도의 약액을 기판(W)에 균일한 두께로 도포할 수 없다. 즉, 각 기판(W)인 경우, 도 2A와 같이, 토출 개시시에 커튼 형상으로 양호한 액 기둥이 형성되고, 또, 그것이 유지되므로, 균일한 두께로 도포할 수 있다. 이에 비해, 원형의 기판(W)인 경우는, 도 2B와 같이, 토출 개시시에, 원형의 기판(W)의 외연부(E)의 1점에서밖에 접액하지 않으므로, 커튼 형상으로 양호한 액 기둥이 형성되지 않는다. 그로 인해, 균일한 두께의 막이 형성되지 않아, 도포 불균일이 발생한다.

또, 일본국:특허 공개 평11-162808호 공보와 같이, 슬릿 노즐을 기판 중심부의 상방에 배치하고, 기판을 회전시켜 도포한 경우에는, 불필요하게 버리는 약액은 억제된다. 그러나, 기판 중심부에 약액을 토출하는 경우, 그 부분에 형성된 약액의 막은 두꺼워지기 쉽고, 약액의 튀어오름으로, 슬릿 노즐이 오염되는 문제가 발생한다. 슬릿 노즐이 약액으로 오염되어, 그 약액이 고체화하여 남으면, 파티클이 되어 기판을 오염시키는 문제점이 발생할 우려가 있다. 그 외의 부분에 부착하거나, 오염된 부분에 의해 균일한 두께로 도포할 수 없게 된다. 또한, 일본국:특허 공개 평11-162808호 공보에서 사용되는 약액의 점도는, 11cP(centipoise)이다.

본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 불필요한 약액을 억제하면서, 원형의 기판 상에 양호하게 약액을 도포하는 것이 가능한 도포 방법 및 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또, 슬릿 노즐의 오염을 방지하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 취한다.

즉, 본 발명에 따른 도포 방법은, 원형의 기판의 중심부로부터 상기 기판의 외연부의 한 방향으로 연장되도록 길게 배치된 슬릿 개구부로서, 길이 방향의 길이가 상기 기판의 반경 또는 그 미만으로 구성된 상기 슬릿 개구부를 가지는 슬릿 노즐에 의해, 기판 상에 약액을 토출하는 공정과, 상기 슬릿 노즐에 의해 약액을 토출할 때에, 약액 토출용 회전부에 의해, 상기 기판과 상기 슬릿 노즐을 상기 기판의 중심부 둘레로 상대적으로 회전시키는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 따른 도포 방법에 의하면, 슬릿 노즐의 슬릿 개구부는, 원형의 기판의 중심부로부터 기판의 외연부에 한 방향으로 연장되도록 길게 배치되고, 또, 길이 방향의 길이가 기판의 반경 또는 그 미만으로 구성되어 있다. 이러한 슬릿 노즐에 의해 기판 상에 약액을 토출하는데, 이때에, 약액 토출용 회전부에 의해, 기판과 슬릿 노즐을 기판의 중심부 둘레로 상대적으로 회전시킨다. 그것에 의해, 슬릿 노즐로부터 토출된 약액이 모두 기판 상에 착액하여 양호한 액 기둥을 형성하고, 원형의 기판의 외연부를 따라 기판 대략 전면에 약액의 막이 형성된다. 그로 인해, 불필요한 약액을 억제하면서, 기판 상에 양호하게 약액을 도포할 수 있다.

또, 본 발명에 따른 슬릿 노즐에 의해 토출되어 형성된 약액의 막은, 약액 토출의 시점과 종점의 연결 부분을 하나로 할 수 있으므로, 막두께가 커질 우려가 있는 부분을 줄일 수 있다. 또, 슬릿 노즐의 길이 방향의 길이가 짧을수록, 오염되기 어렵고, 또, 메인테넌스하기 쉽다.

또, 상술의 도포 방법에 있어서, 약액의 토출 종료 후, 기체 노즐에 의해, 상기 기판의 상방으로부터 상기 기판 상에 형성한 약액의 막을 향해, 기체를 분사하는 공정을 더 구비하고 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 약액의 막을 평탄화시킬 수 있다.

또, 상술의 도포 방법에 있어서, 상기 기체는, 용제의 증기를 포함하는 기체인 것이 바람직하다. 용제의 증기를 포함하지 않은 기체를 약액의 막에 분사하면, 분사한 부분에서 약액 중의 용제가 기화하여 약액을 건조시켜 버릴 우려가 있다. 그러나, 기체에 용제의 증기가 포함되어 있으므로, 이 기체를 약액의 막에 분사하더라도, 약액 중의 용제가 기화하여 건조하는 것을 억제할 수 있다.

또, 상술의 도포 방법에 있어서, 상기 기체 노즐에 의해 기체를 분사할 때에, 기체 노즐 이동부에 의해, 상기 기체 노즐을 상기 기판의 반경 방향으로 이동시키는 공정을 더 구비하고 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 기체 노즐을 기판의 반경 방향으로 이동시키면서, 약액의 막에 기체를 분사할 수 있다. 예를 들어, 슬릿 노즐에 의한 토출의 시점과 종점의 중복 부분에서 약액의 막두께가 커져 버리는데, 이 부분을 평평하게 할 수 있다.

또, 상술의 도포 방법에 있어서, 상기 기체 노즐에 의해 기체를 분사할 때에, 기체 분사용 회전부에 의해, 상기 기체 노즐과 상기 기판을 상기 기판의 중심부 둘레로 상대적으로 회전시키는 공정을 더 구비하고 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 기판과 기체 노즐을 기판의 중심부 둘레로 상대적으로 회전시키면서, 약액의 막에 기체를 분사할 수 있다. 또, 기체 노즐의 반경 방향의 이동과 짜 맞추면, 기판 내의 모든 위치로 기체 노즐을 이동시킬 수 있다.

또, 상술의 도포 방법에 있어서, 상기 슬릿 개구부는, 상기 기판의 외연부측의 단부가 상기 기판의 외연부보다 내측에 위치하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. 기판의 외연부까지, 약액의 막이 형성되어 있으면, 기판 반송시에, 기판 반송 기구의 아암이 오염되어 버리는 문제가 발생한다. 그러나, 외연부(E)까지 약액의 막(F)이 형성되지 않으므로, 기판 반송 기구의 아암의 오염을 억제할 수 있다. 또, 에지 컷 린스 및 백 사이드 린스가 불필요해진다. 또, 기판의 외연부까지 회전에 의해 약액이 퍼지지 않으므로, 프리 웨트 처리가 불필요해진다. 그로 인해, 각 처리를 생략할 수 있다. 이것에 의해, 각 처리액을 사용하지 않으므로, 처리액의 배출량을 삭감시킬 수 있다.

또, 상술의 도포 방법에 있어서, 상기 슬릿 개구부는, 상기 기판의 중심부측의 단부가 상기 기판의 중심부보다 외측에 위치하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. 기판의 중심부에 약액을 토출하면, 약액의 막이 부풀어오르기 쉽다. 그로 인해, 부풀어오른 막이 원인으로, 예를 들어, 토출한 약액이 튀어올라 슬릿 노즐을 오염시켜 버릴 우려가 있다. 그러나, 기판의 중심부에 약액을 토출하지 않으므로, 약액의 막의 부풀어오름을 억제할 수 있다.

또, 상술의 도포 방법에 있어서, 상기 슬릿 개구부의 일 예는, 상기 기판의 중심부로부터 상기 기판의 외연부를 향함에 따라, 폭이 크다. 슬릿 개구부의 폭을 바꿈으로써, 단위 면적당의 토출량을 고르게 할 수 있어, 기판의 반경 방향에 있어서의 도포 불균일을 억제할 수 있다.

또, 상술의 도포 방법에 있어서, 상기 슬릿 노즐의 일 예는, 상기 기판의 중심부로부터 상기 기판의 외연부를 향함에 따라, 공급되는 약액량이 많아지도록 구성되어 있다. 슬릿 노즐에 공급되는 약액량을 바꿈으로써, 단위 면적당의 토출량을 고르게 할 수 있어, 기판의 반경 방향에 있어서의 도포 불균일을 억제할 수 있다.

또, 상술의 도포 방법에 있어서, 상기 슬릿 노즐은, 상기 기판의 중심부로부터 상기 기판의 외연부를 향함에 따라, 상기 슬릿 개구부와 상기 기판의 표면의 간극이 커지도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. 기판의 중심부보다 기판의 외연부가 약액의 토출량이 많으므로, 토출량에 맞는 최적의 높이로 함으로써, 막두께를 균일하게 형성할 수 있다. 또, 튀어오름 등에 의한 슬릿 노즐의 오염을 방지할 수 있다.

또, 상술의 도포 방법에 있어서, 상기 약액 토출용 회전부에 의한 회전의 일 예는, 360도 미만이다. 이것에 의해, 슬릿 노즐에 의한 약액 토출의 시점과 종점의 사이에 간극을 설치할 수 있다. 그로 인해, 약액의 막이 겹쳐서 약액의 막두께가 커지고, 토출한 약액의 튀어오름 등에 의한 슬릿 노즐의 오염을 방지할 수 있다.

또, 상술의 도포 방법에 있어서, 상기 약액의 점도는, 300cP 이상 10000cP 이하인 것이 바람직하다. 이것에 의해, 고점도의 약액에 대해, 불필요한 약액을 억제하면서, 원형의 기판 상에 양호하게 약액을 도포할 수 있다.

또, 본 발명에 따른 도포 장치에 있어서, 원형의 기판의 중심부로부터 상기 기판의 외연부의 한 방향으로 연장되도록 길게 배치된 슬릿 개구부로서, 길이 방향의 길이가 상기 기판의 반경 또는 그 미만으로 구성된 상기 슬릿 개구부를 가지고, 기판 상에 약액을 토출하는 슬릿 노즐과, 상기 슬릿 노즐에 의해 약액을 토출할 때에, 상기 슬릿 노즐과 상기 기판을 상기 기판의 중심부 둘레로 상대적으로 회전시키는 약액 토출용 회전부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 따른 도포 장치에 의하면, 슬릿 노즐의 슬릿 개구부는, 원형의 기판의 중심부로부터 기판의 외연부에 한 방향으로 연장되도록 길게 배치되고, 또, 길이 방향의 길이가 기판의 반경 또는 그 미만으로 구성되어 있다. 이러한 슬릿 노즐에 의해 기판 상에 약액을 토출하는데, 이때에, 약액 토출용 회전부에 의해, 기판과 슬릿 노즐을 기판의 중심부 둘레로 상대적으로 회전시킨다. 그것에 의해, 슬릿 노즐로부터 토출된 약액이 모두 기판 상에 착액하여 양호한 액 기둥을 형성하고, 원형의 기판의 외연부를 따라 기판 대략 전면에 약액의 막이 형성된다. 그로 인해, 불필요한 약액을 억제하면서, 기판 상에 양호하게 약액을 도포할 수 있다.

본 발명에 따른 도포 방법 및 도포 장치에 의하면, 슬릿 노즐의 슬릿 개구부는, 원형의 기판의 중심부로부터 기판의 외연부에 한 방향으로 연장되도록 길게 배치되고, 또, 길이 방향의 길이가 기판의 반경 또는 그 미만으로 구성되어 있다. 이러한 슬릿 노즐에 의해 기판 상에 약액을 토출하는데, 이때에, 약액 토출용 회전부에 의해, 기판과 슬릿 노즐을 기판의 중심부 둘레로 상대적으로 회전시킨다. 그것에 의해, 슬릿 노즐로부터 토출된 약액이 모두 기판 상에 착액하여 양호한 액 기둥을 형성하고, 원형의 기판의 외연부를 따라 기판 대략 전면에 약액의 막이 형성된다. 그로 인해, 불필요한 약액을 억제하면서, 기판 상에 양호하게 약액을 도포할 수 있다.

발명을 설명하기 위해 현재에 알맞다고 생각되는 몇 가지의 형태가 도시되어 있는데, 발명이 도시된 대로의 구성 및 방책에 한정되는 것이 아니라는 점을 이해 바란다.
도 1은, 기판을 한 방향으로 횡단하는 스캔 방식의 과제를 설명하기 위한 도이다.
도 2A 및 도 2B는, 기판을 한 방향으로 횡단하는 스캔 방식의 과제를 설명하기 위한 도이다.
도 3은, 실시예 1에 따른 도포 장치의 개략 구성도이다.
도 4A는, 슬릿 노즐 및 슬릿 개구부의 배치를 도시하는 평면도이며, 도 4B는, 약액 도포의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 5A는, 슬릿 노즐의 길이 방향의 종단면도이고, 도 5B는, 슬릿 노즐의 횡단면도이며, 도 5C는, 슬릿 노즐의 폭 방향의 종단면도이고, 도 5D는, 슬릿 개구부의 형상을 도시하는 도이다.
도 6은, 슬릿 개구부의 길이 방향의 양단을 도시하는 도이다.
도 7은, 실시예 2에 따른 도포 장치의 개략 구성도이다.
도 8은, 약액의 막에 기체를 분사하는 평탄화 처리를 설명하기 위한 도이다.
도 9는, 슬릿 개구부와 기판의 간극에 따른 구성을 설명하기 위한 도이다.
도 10A는, 변형예에 따른 슬릿 노즐의 길이 방향의 종단면도이고, 도 10B는, 변형예에 따른 슬릿 노즐의 횡단면도이며, 도 10C는, 변형예에 따른 슬릿 개구부의 형상을 도시하는 도이고, 도 10D는, 변형예에 따른 슬릿 노즐의 길이 방향의 종단면도이다.
도 11은, 변형예에 따른 슬릿 노즐 및 슬릿 개구부의 배치를 도시하는 도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 1을 설명한다. 도 3은, 실시예 1에 따른 도포 장치(1)의 개략 구성도이다. 도 4A는, 슬릿 노즐(3) 및 슬릿 개구부(21)의 배치를 도시하는 평면도이며, 도 4B는, 약액 도포의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.

도 3을 참조한다. 도포 장치(1)는, 기판(W)을 대략 수평 자세로 유지하여 회전시키는 회전 유지부(2)와, 기판(W) 상에 약액을 토출하는 슬릿 노즐(3)을 구비하고 있다. 약액은, 접착제나, 평탄화막 형성용 약액, 레지스트 등의 고점도의 약액이 이용된다. 약액의 점도는, 예를 들어, 300cP(centipoise) 이상 10000cP 이하이다.

회전 유지부(2)는, 회전축(AX1) 둘레로 회전 가능하도록 기판(W)을 유지하는 스핀 척(4)과, 스핀 척(4)을 회전축(AX1) 둘레로 회전시키는 구동을 행하는 회전 구동부(5)를 구비하고 있다. 스핀 척(4)은, 예를 들어, 기판(W)의 이면을 진공 흡착함으로써 기판(W)을 대략 수평 자세로 유지한다. 회전 구동부(5)는, 모터 등에 의해 구성되어 있다. 또한, 회전 유지부(2)가 본 발명의 약액 토출용 회전부에 상당한다. 또, 회전축(AX1)과 기판(W)의 중심부(CT)는, 대략 일치한다.

회전 유지부(2)의 측방에는, 회전 유지부(2)를 둘러싸는 컵(7)이 설치되어 있다. 컵(7)은, 도시하지 않은 구동부에 의해, 상하 방향으로 이동하도록 구성되어 있다.

슬릿 노즐(3)은, 아암(9)에 의해 지지되어 있다. 또, 아암(9)에 지지된 슬릿 노즐(3)은, 슬릿 노즐 이동부(11)에 의해, 컵(7)의 외측에 배치된 대기 포트(도시하지 않음)와 기판(W)의 상방의 소정 위치의 사이에서 이동되도록 구성되어 있다. 슬릿 노즐 이동부(11)는, 슬릿 노즐(3)을, X방향(제1 수평 방향), Y방향(제2 수평 방향) 및 Z방향(상하 방향) 중 적어도 어느 한쪽으로 이동시킨다. 또한, 슬릿 노즐 이동부(11)는, 슬릿 노즐(3)을 회전축(AX2) 둘레로 회전시키도록 구성되어 있어도 된다. 또, 슬릿 노즐 이동부(11)는, 예를 들어 모터나 가이드 레일 등으로 구성되어 있다.

슬릿 노즐(3)에는, 약액 공급원(13)으로부터 약액이 공급된다. 약액 공급원(13)으로부터의 약액은, 약액 배관(15)을 통해 슬릿 노즐(3)에 공급된다. 약액 배관(15)에는, 약액의 공급 및 그 정지를 행하는 개폐 밸브(V1), 및 펌프(P) 등이 개재하여 설치되어 있다.

또, 도포 장치(1)는, 중앙 연산 처리 장치(CPU) 등으로 구성되고, 도포 장치(1)의 각 구성을 제어하는 제어부(17)와, 하드 디스크 등으로 구성되며, 도포 장치(1)의 동작 조건 등을 기억하는 기억부(도시하지 않음)와, 표시부 및 입력부를 가지는 조작부(19)를 구비하고 있다. 조작부(19)의 표시부는, 액정 모니터 등으로 구성되고, 입력부는, 조이스틱, 마우스, 키보드 및 버튼 등으로 구성되어 있다.

다음에, 슬릿 노즐(3)에 대해 자세하게 설명한다. 도 3 및 도 4A와 같이, 슬릿 노즐(3)은, 슬릿 개구부(21)를 구비하고 있다. 슬릿 개구부(21)는, 원형의 기판(W)의 중심부(CT)로부터 기판(W)의 외연부(E)에 한 방향으로 연장되도록 길게 배치되어 있다. 또, 슬릿 개구부(21)는, 길이 방향의 길이가 기판(W)의 반경 미만으로 구성되어 있다. 예를 들어, 직경 300mm의 기판(W)이면, 슬릿 개구부(21)의 길이 방향의 길이는, 150mm 미만으로 구성되어 있다. 슬릿 개구부(21)는, 중심부(CT)의 상방을 통과하지 않도록 구성되어 있다.

이러한 슬릿 개구부(21)를 가지는 슬릿 노즐(3)에 의해, 기판(W) 상에 약액을 토출하는데, 이때, 회전 유지부(2)에 의해, 기판(W)이 그 중심부(CT)(회전축(AX1)) 둘레로 회전된다(도 4B 참조). 즉, 기판(W)의 중심부(CT) 둘레로, 슬릿 노즐(3)과 기판(W)을 상대적으로 회전시키면서, 슬릿 노즐(3)에 의해 약액이 토출된다. 그리고, 토출 개시 후, 대략 1회전한 시점에서 약액의 토출을 정지한다. 그것에 의해, 원형의 기판(W)의 외연부(E)를 따라 기판(W) 대략 전면에 약액의 막(F)이 형성(도포)된다.

도 5A~도 5D는, 슬릿 노즐(3)의 구조를 도시하는 도이다. 또한, 도 5A는, 도 5B의 화살표 A-A와 같이 본 종단면도이고, 도 5B는, 도 5A의 화살표 B-B와 같이 본 도이다. 또, 도 5C는, 도 5B의 화살표 C-C와 같이 본 도이다. 도 5A~도 5C와 같이, 슬릿 노즐(3)은, 약액을 유통시키는 내부 통로(23)와, 내부 통로(23)의 한쪽에 설치되고, 내부 통로(23)에 약액을 공급하기 위한 복수의 공급구(25)와, 내부 통로(23)의 다른쪽에 설치되고, 약액을 토출하는 슬릿 개구부(21)를 구비하고 있다.

슬릿 개구부(21)는, 도 5D와 같이, 기판(W)의 중심부(CT)로부터 기판(W)의 외연부(E)를 향함에 따라 폭(WD)이 커지도록 구성되어 있다. 이것에 의해, 기판(W)의 중심부(CT)로부터 외연부(E)를 향함에 따라, 기판(W)에 토출하는 약액의 토출량을 많게 할 수 있다. 즉, 슬릿 개구부(21)의 폭(WD)을 바꿈으로써, 단위 면적당의 토출량을 고르게 할 수 있고, 기판(W)의 반경 방향(RD)에 있어서의 도포 불균일을 억제할 수 있다. 또한, 복수의 공급구(25)의 개구경(개구 면적)(S)은, 본 실시예에서는 같다.

또한, 도 5B에서는, 내부 통로(23)는, 슬릿 개구부(21)와 마찬가지로, 기판(W)의 중심부(CT)로부터 외연부(E)를 향함에 따라, 폭(WD)이 커지도록 구성되어 있다. 이 점, 다음과 같은 구성이어도 된다. 즉, 내부 통로(23)는, 복수의 공급구(25)측에서는, 기판(W)의 중심부(CT)로부터 기판(W)의 외연부(E)에 걸쳐 폭(WD)이 일정하고, 복수의 공급구(25)측으로부터 슬릿 개구부(21)를 향함에 따라, 도 5D의 슬릿 개구부(21)의 폭(WD)과 같이 좁혀도 된다. 또, 내부 통로(23)는, 기판(W)의 중심부(CT)로부터 기판(W)의 외연부(E)에 걸쳐 폭(WD)이 일정하고, 슬릿 개구부(21) 부근에서 도 5D와 같은 형상으로 좁혀도 된다.

또, 슬릿 개구부(21)는, 도 6과 같이, 기판(W)의 외연부(E)측의 단부(21a)가 기판(W)의 외연부(E)보다 내측에 위치하도록 구성되어 있다. 예를 들어, 직경 300mm의 원형의 기판(W)인 경우, 슬릿 개구부(21)의 단부(21a)는, 외연부(E)보다 2mm 정도 내측에 위치한다. 이 경우, 거리(G1)는 2mm 정도이다.

또, 슬릿 개구부(21)는, 도 6과 같이, 기판(W)의 중심부(CT)측의 단부(21b)가 기판(W)의 중심부(CT)보다 외측에 위치하도록 구성되어 있다. 예를 들어, 직경 300mm의 원형의 기판(W)인 경우, 슬릿 개구부(21)의 단부(21b)는, 중심부(CT)보다 0.5mm~1mm 정도 떨어진, 즉 중심부(CT)의 외측에 위치한다. 이 경우, 거리(G2)는, 0.5mm~1mm 정도이다. 또한, 본 실시예에 있어서, 중심부(CT)의 상방에는 슬릿 개구부(21)는 설치되어 있지 않다.

다음에, 도포 장치(1)의 동작에 대해 설명한다.

도 3을 참조한다. 도시하지 않은 기판 반송 기구에 의해, 기판(W)이 회전 유지부(2)에 반송된다. 회전 유지부(2)의 스핀 척(4)은, 기판(W)을 유지한다. 또, 컵(7)이 소정 높이로 상승한다.

기판(W)의 반송 후, 슬릿 노즐(3)은, 슬릿 노즐 이동부(11)에 의해, 대기 포트(도시하지 않음)로부터 기판(W)의 상방의 미리 설정된 소정 위치로 이동된다. 슬릿 노즐(3)이 소정 위치로 이동되면, 슬릿 노즐(3)의 슬릿 개구부(21)는, 도 3 및 도 4A와 같이, 원형의 기판(W)의 중심부(CT)로부터 기판(W)의 외연부(E)에 한 방향으로 연장되도록 반경 방향(RD)을 따라 길게 배치된다. 이 상태로, 슬릿 노즐(3)에 의해 기판(W) 상에 약액을 토출한다.

슬릿 노즐(3)에 의해 약액을 토출할 때, 즉, 약액의 토출 개시부터 토출 종료까지, 회전 유지부(2)는, 유지하는 기판(W)을 중심부(CT)(회전축(AX1)) 둘레로 대략 1회전시킨다. 이것에 의해, 슬릿 노즐(3)과 기판(W)을 기판(W)의 중심부(CT) 둘레로 상대적으로 대략 1회전시키고 있다. 또한, 약액의 토출 개시 전부터 기판(W)을 회전시켜도 되고, 약액의 토출 종료 후도 계속해서 기판(W)을 회전시켜도 된다.

약액의 토출 중, 슬릿 노즐(3)로부터 토출된 약액이 모두 기판(W) 상에 착액 하므로 양호한 액 기둥을 형성한다. 또, 원형의 기판(W)의 외연부(E)를 따라, 원을 그리도록, 기판(W) 대략 전면에 약액의 막(F)이 형성된다. 그로 인해, 도 1과 같이, 원형의 기판(W)의 외측에 약액을 토출하지 않으므로, 불필요한 약액이 억제된다. 또, 도 2A와 같이, 양호한 액 기둥을 형성하면서, 약액의 막(F)이 형성되므로, 기판(W) 상에 양호하게 약액을 도포할 수 있다.

또, 약액을 토출할 때에, 회전 유지부(2)에 의한 기판(W)의 회전은, 기판(W) 상에 착액한 약액이 원심력으로 기판(W) 밖으로 흘러 넘치지 않는 회전수(회전 속도)로 행해진다. 즉, 기판(W)은, 천천히 저속으로 회전된다. 그로 인해, 기판(W)의 외측으로 약액이 배출되지 않으므로, 불필요한 약액을 더 억제할 수 있다. 또, 스핀 도포 방식과 같이 고속 회전시키지 않으므로, 약액 등에 의한 미스트가 발생하지 않는다. 그로 인해, 스핀 도포 방식의 경우보다 컵(7) 내의 배기량을 억제할 수 있다. 그 결과, 장치의 가동 에너지를 삭감할 수 있다.

약액의 막(F)이 형성된 후, 슬릿 노즐(3)은, 슬릿 노즐 이동부(11)에 의해, 기판(W) 상방의 소정 위치로부터 대기 포트(도시하지 않음)로 이동된다. 또, 회전 유지부(2)는, 기판(W)이 회전하고 있는 경우는 회전을 정지하고, 기판(W)의 유지를 해제한다. 또, 컵(7)을 하강시킨다. 그리고, 기판 반송 기구(도시하지 않음)에 의해 스핀 척(4) 상의 기판(W)이 반송된다.

본 실시예에 의하면, 슬릿 노즐(3)의 슬릿 개구부(21)는, 원형의 기판(W)의 중심부(CT)로부터 기판(W)의 외연부(E)에 한 방향으로 연장되도록 길게 배치되고, 또, 길이 방향의 길이가 기판(W)의 반경 미만으로 구성되어 있다. 이러한 슬릿 노즐(3)에 의해 기판(W) 상에 약액을 토출하는데, 이때에, 회전 유지부(2)에 의해, 슬릿 노즐(3)과 기판(W)을 기판(W)의 중심부(CT) 둘레로 상대적으로 회전시킨다. 그것에 의해, 슬릿 노즐(3)로부터 토출된 약액이 모두 기판(W) 상에 착액하여 양호한 액 기둥을 형성하면서, 원형의 기판(W)의 외연부(E)를 따라 기판(W) 대략 전면에 약액의 막(F)이 형성된다. 그로 인해, 불필요한 약액을 억제하면서, 기판(W) 상에 양호하게 약액을 도포할 수 있다.

또, 본 실시예에 따른 슬릿 노즐(3)에 의해 토출되어 형성된 약액의 막(F)은, 약액 토출의 시점과 종점의 연결 부분(도 8의 중복 부분(OL) 참조)을 하나로 할 수 있으므로, 막두께가 커질 우려가 있는 부분을 줄일 수 있다. 또, 슬릿 노즐(3)의 길이 방향의 길이가 짧을수록, 오염되기 어렵고, 또, 메인테넌스하기 쉽다.

또, 기판(W)의 외연부(E)까지, 약액의 막(F)이 형성되어 있으면, 기판 반송시에, 기판 반송 기구의 아암(핸드라고도 부른다)이 오염되어 버리는 문제가 발생한다. 그러나, 도 6의 거리(G1)와 같이, 슬릿 개구부(21)는, 기판(W)의 외연부(E)측의 단부(21a)가 기판(W)의 외연부(E)보다 내측에 위치하도록 구성되어 있다. 그로 인해, 외연부(E)까지 약액의 막(F)이 형성되지 않으므로, 기판 반송 기구의 아암의 오염을 억제할 수 있다. 또, 외연부(E)까지 약액의 막(F)이 형성되지 않으므로, 에지 컷 린스 및 백 사이드 린스가 불필요해진다. 또, 기판(W)의 외연부(E)까지 회전에 의해 약액이 퍼지지 않으므로, 프리 웨트 처리가 불필요해진다. 그로 인해, 각 처리를 생략할 수 있다. 이것에 의해, 각 처리액을 사용하지 않으므로, 처리액의 배출량을 삭감시킬 수 있다.

또, 도 6의 거리(G2)와 같이, 슬릿 개구부(21)는, 기판(W)의 중심부(CT)측의 단부(21b)가 기판(W)의 중심부(CT)보다 외측에 위치하도록 구성되어 있다. 기판(W)의 중심부(CT)에 약액을 토출하면, 약액의 막(F)이 부풀어오르기 쉽다. 그로 인해, 부풀어오른 막(F)이 원인으로, 예를 들어, 토출한 약액이 튀어올라 슬릿 노즐(3)을 오염시켜 버릴 우려가 있다. 그러나, 기판(W)의 중심부(CT)에 약액을 토출하지 않으므로, 약액의 막(F)의 부풀어오름을 억제할 수 있다.

또, 약액의 점도는, 300cP 이상 10000cP 이하이다. 이것에 의해, 고점도의 약액에 대해, 불필요한 약액을 억제하면서, 원형의 기판(W) 상에 양호하게 약액을 도포할 수 있다.

다음에, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 2를 설명한다. 또한, 실시예 1과 중복하는 설명은 생략한다. 도 7은, 실시예 2에 따른 도포 장치(1)의 개략 구성도이다. 도 8은, 약액의 막(F)에 기체를 분사하는 평탄화 처리를 설명하기 위한 도이다.

실시예 1에서는, 약액의 토출 종료 후, 기판 반송 기구에 의해 기판(W)을 반출하고 있었는데, 본 실시예에서는, 약액의 토출 종료 후, 기판(W) 상에 토출되어 형성된 약액의 막(F)을 평탄화하는 처리를 행한다.

도 7을 참조한다. 도포 장치(1)는, 도 3의 구성에 추가하여 또한, 약액의 토출 종료 후, 기판(W)의 상방으로부터 기판(W) 상에 형성한 약액의 막(F)을 향해, 기체를 분사하는 기체 노즐(31)을 구비하고 있다. 또한, 도 7에 있어서, 슬릿 노즐(3)은, 도시하지 않은 대기 포트에 위치하고 있다.

기체 노즐(31)은, 아암(33)에 의해 지지되어 있다. 또, 아암(33)에 지지된 기체 노즐(31)은, 기체 노즐 이동부(35)에 의해, 컵(7)의 외측에 배치된 대기 위치와 기판(W)의 상방의 미리 설정된 소정 위치의 사이에서 이동되도록 되어 있다. 기체 노즐 이동부(35)는, 기체 노즐(31)을, X방향(제1 수평 방향), Y방향(제2 수평 방향) 및 Z방향(상하 방향) 중 적어도 어느 한쪽으로 이동시킨다. 또한, 기체 노즐 이동부(35)는, 기체 노즐(31)을 회전축(AX3) 둘레로 회전시키도록 구성되어도 된다. 또, 기체 노즐 이동부(35)는, 예를 들어 모터나 가이드 레일 등으로 구성되어 있다.

기체 노즐(31)에는, 기체 배관(37)을 통해 기체 공급원(39)으로부터 기체가 공급된다. 기체 배관(37)에는, 기체의 분사 및 그 정지를 행하는 개폐 밸브(V2) 등이 개재하여 설치되어 있다. 기체 노즐 이동부(35) 및 개폐 밸브(V2) 등은, 제어부(17)에 의해 제어된다.

약액의 막(F)에 분사하는 기체는, 질소 등의 불활성 가스, 공기, 및 그 외 기체가 이용된다. 또, 기체는, 용제의 증기(기화한 용제)를 포함하는 기체여도 된다. 용제는, 예를 들어, 약액 중에 포함되는 용제와 같은 물질로 구성된다. 용제의 증기를 포함하지 않은 예를 들어 질소만을, 약액의 막(F)에 분사하면, 분사한 부분에서 약액 중의 용제가 기화하여 약액을 건조시켜 버릴 우려가 있다. 그러나, 기체에 용제의 증기가 포함되어 있으므로, 이 기체를 약액의 막(F)에 분사하더라도, 약액 중의 용제가 기화하여 건조하는 것을 억제할 수 있다.

다음에, 본 실시예의 도포 장치(1)의 동작에 대해 설명한다.

도 4B와 같이, 기판(W)이 대략 1회전하는 동안에 슬릿 노즐(3)로부터 약액이 토출된다. 이것에 의해, 기판(W) 상에는, 약액의 막(F)이 형성된다. 그러나, 도 8과 같이, 슬릿 노즐(3)에 의한 토출의 시점과 종점에서 중복 부분(OL)이 발생한다. 중복 부분(OL)은, 부풀어올라 볼록 형상으로 되어 있다. 그 중복 부분(OL)을 평탄화하기 위해, 기체를 분사하여 평평하게 하는 처리를 행한다. 슬릿 노즐(3)은, 대기 포트로 이동된다.

도 8과 같이, 기체 노즐(31)은, 기체 노즐 이동부(35)에 의해, 토출의 시점과 종점의 중복 부분(OL) 또는 그 연장선의 상방에 위치한다. 기체를 분사할 때에, 기체 노즐 이동부(35)에 의해, 기체 노즐(31)을 기판(W)의 반경 방향(RD)을 향해 이동시킨다. 이것에 의해, 기체 노즐(31)을 반경 방향(RD)으로 이동시키면서, 중복 부분(OL)(약액의 막(F))에 기체를 분사할 수 있다. 그로 인해, 중복 부분(OL)의 볼록 형상을 평평하게 할 수 있다. 또한, 기체 노즐(31)의 반경 방향(RD)의 이동은, 중심부(CT)로부터 외연부(E)를 향해 행해도 되고, 외연부(E)로부터 중심부(CT)를 향해 행해도 된다. 또, 기체 노즐(31)의 반경 방향(RD)의 이동은, 1회 또는 복수 회, 왕복시켜도 된다.

또, 기체의 분사는, 기체 노즐(31)을 반경 방향(RD)으로 이동하면서, 회전 지지부(2)에 의해, 기판(W)을 회전시켜도 된다. 이것에 의해, 기체 노즐(31)과 기판(W)을 기판(W)의 중심부(CT) 둘레로 상대적으로 회전시키면서, 약액의 막(F)에 기체를 분사할 수 있다. 또, 기체 노즐(31)의 반경 방향(RD)의 이동과 회전을 짜 맞추면, 기판(W) 내의 모든 위치에 기체 노즐(31)을 이동시킬 수 있다. 또, 도 8에 있어서, 기체 노즐(31)은, 대략 수평 자세의 기판(W)에 대해, 바로 아래를 향해 기체를 분사하고 있다. 이 점, 도 8의 파선과 같이, 기체 노즐(31)이 이동하는 반경 방향(RD)의 외측(외연부(E))을 향해 대각선 아래로 기체를 분사해도 된다. 또한, 회전 지지부(2)가 본 발명의 기체 분사용 회전부에 상당한다.

기체의 분사의 일 예를 설명한다. 기체 노즐(31)에 의한 기체의 분사 방향은, 반경 방향(RD)의 외측을 향하고 있으며, 대각선 아래로 기체를 분사하도록 되어 있다. 기판(W)을 저회전시키면서, 중심부(CT)로부터 외연부(E)로, 기체 노즐(31)에 의한 기체의 분사 방향으로 기체 노즐(31)을 이동시킨다. 이것에 의해, 약액을 유동시켜 막을 평탄화시킨다. 또한, 기판(W)의 회전은, 기판(W)을 약액이 크게 유동하지 않는, 예를 들어, 약액이 원심력으로 기판(W) 밖으로 흘러 넘치지 않는 회전수(회전 속도)로 행해진다.

약액의 막(F)의 평탄화 처리 후, 기체 노즐(31)은, 기체 노즐 이동부(35)에 의해, 컵(7)의 외측의 대피 위치로 이동한다. 또, 기판(W)이 회전하고 있는 경우는, 회전 유지부(2)에 의한 기판(W)의 회전을 정지시켜, 스핀 척(4)에 의한 기판(W)의 유지를 해제한다. 또, 컵(7)을 하강시킨다. 그리고, 기판 반송 기구에 의해 스핀 척(4) 상의 기판(W)이 반송된다.

본 실시예에 의하면, 기판(W) 상에 토출되어 형성한 약액의 막(F)을 향해 기판(W)의 상방으로부터, 기체 노즐(31)에 의해 기체를 분사한다. 이것에 의해, 약액의 막(F)을 평탄화시킬 수 있다.

또한, 본 실시예에 있어서, 기체 노즐(31)은, 도 7에서는, 기체의 분사구(31a)가 단체로 구성되어 있다. 이 점, 예를 들어, 분사구가 복수(다공)여도 되고, 슬릿 형상이어도 된다.

또한, 본 실시예에 있어서, 기체 노즐(31)을 반경 방향(RD)으로 이동시키고 있었다. 그러나, 필요에 따라, 기체를 분사할 때에, 기체 노즐(31)을 반경 방향(RD)에 고정시켜도 된다. 예를 들어, 슬릿 형상 등과 같이, 반경 방향(RD)으로 길게 기체를 분사할 수 있으면, 기체 노즐(31)을 반경 방향(RD)으로 이동시키는 동작을 생략할 수 있다.

본 발명은, 상기 실시 형태에 한정될 일은 없으며, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.

(1) 상술한 실시예 2에서는, 약액의 토출 후, 기판(W) 상에 형성된 약액의 막(F)을 평탄화하는 처리를, 약액의 막(F)에 기체를 분사함으로써 행하고 있었다. 이 점, 예를 들어, 회전 유지부(2)에서 기판(W)을 중심부(CT)(회전축(AX1)) 둘레로 회전시킴으로써 행해도 된다. 이 경우, 기판(W)의 회전은, 기판(W) 상의 약액이 원심력으로 기판(W) 밖으로 흘러 넘치지 않는 회전수(회전 속도)로 행해진다. 이것에 의해, 기체 노즐(31) 등의 기체를 분사하기 위한 구성을 설정하지 않아도 되므로, 구성을 간단히 할 수 있다. 또한, 이 평탄화 처리의 회전수는, 약액 토출시와 상이한 회전수여도 된다.

(2) 상술한 각 실시예 및 변형예(1)에서는, 슬릿 노즐(3)의 슬릿 개구부(21)와 기판(W)의 표면의 간극(G3)은, 도 6과 같이, 기판(W)의 중심부(CT)측으로부터 외연부(E)에 걸쳐 동일했다. 그러나, 슬릿 노즐(3)은, 도 9와 같이, 기판(W)의 중심부(CT)로부터 기판(W)의 외연부(E)를 향함에 따라, 슬릿 개구부(21)와 기판(W)의 표면의 간극(G3)이 커지도록 구성되어도 된다. 기판(W)의 중심부(CT)보다 기판(W)의 외연부(E)가 약액의 토출량이 많으므로, 토출량에 맞는 최적의 높이로 함으로써, 막두께를 균일하게 형성할 수 있다. 또, 튀어오름 등에 의한 슬릿 노즐(3)의 오염을 방지할 수 있다.

(3) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 도 5D와 같이, 슬릿 개구부(21)는, 기판(W)의 중심부(CT)로부터 외연부(E)를 향함에 따라, 폭(WD)이 커지도록 구성되어 있었다. 이 점, 슬릿 노즐(3)은, 기판(W)의 중심부(CT)로부터 외연부(E)를 향함에 따라, 슬릿 노즐(3)에 공급되는 약액량이 많아지도록 구성되어도 된다. 그것에 의해, 기판(W)의 중심부(CT)로부터 외연부(E)를 향함에 따라 기판(W)에 토출하는 약액의 토출량을 많게 하여, 단위 면적당의 토출량을 고르게 할 수 있으며, 기판(W)의 반경 방향(RD)에 있어서 도포 불균일을 억제할 수 있다.

도 10A와 같이, 복수의 공급구(25)가 설치되어 있는데, 공급구(25)는, 중심부(CT)로부터 외연부(E)를 향해, 개구경(S)이 커지도록 구성되어 있다. 도 10B와 같이, 내부 통로(23)의 폭(WD)은, 중심부(CT)로부터 외연부(E)에 걸쳐 동일하다. 슬릿 개구부(51)의 폭(WD)도, 도 10C와 같이, 중심부(CT)로부터 외연부(E)에 걸쳐 동일하다. 또한, 도 5A에 있어서도, 도 10A와 같이, 중심부(CT)로부터 외연부(E)를 향함에 따라, 슬릿 노즐(3)에 공급되는 약액량이 많아지도록 구성되어도 된다.

또, 도 10A의 구성을 대신하여, 예를 들어, 도 10D와 같이, 각 공급구(25)의 개구경(S)은 같은 경으로 하는 한편, 기판(W)의 중심부(CT)측으로부터 외연부(E)측을 향함에 따라, 인접하는 공급구(25) 사이의 피치(PT)가 좁아져 가도록, 각 공급구(25)를 배치해도 된다. 즉, 슬릿 노즐(3)은, 기판(W)의 중심부(CT)로부터 외연부(E)를 향함에 따라, 슬릿 노즐(3)에 공급되는 약액량이 많아지도록 구성되어도 된다.

(4) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 기판(W)을 대략 1회전시키고, 기판(W) 상으로의 약액 토출의 종료시(약액 중단시)에, 슬릿 노즐 이동부(11)에 의해, 슬릿 노즐(3)을 상 방향으로 약간 이동시켜도 된다. 이것에 의해, 슬릿 노즐(3)의 오염을 방지할 수 있다.

(5) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 슬릿 노즐(3)에 의해 약액을 토출할 때에, 회전 지지부(2)에 의해, 슬릿 노즐(3)에 대해 기판(W)을, 중심부(CT) 둘레로 회전시키고 있었다. 이 점, 예를 들어, 슬릿 노즐 이동부(11)에 의해, 기판(W)에 대해 슬릿 노즐(3)을, 중심부(CT)(회전축(AX1)) 둘레로 회전시켜도 된다. 이 경우도 마찬가지로 슬릿 노즐(3)의 회전은, 기판(W) 상에 착액한 약액이 원심력으로 기판(W) 밖으로 흘러 넘치지 않는 회전수(회전 속도)로 행해진다.

(6) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 기체 노즐(31)에 의해 기체를 분사할 때에, 회전 지지부(2)에 의해, 기체 노즐(31)에 대해 기판(W)을, 중심부(CT)(회전축(AX1)) 둘레로 회전시키고 있었다. 이 점, 예를 들어, 기체 노즐 이동부(35)에 의해, 기판(W)에 대해 기체 노즐(31)을, 중심부(CT)(회전축(AX1)) 둘레로 회전시켜도 된다.

(7) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 기판(W) 상에 약액을 토출할 때에, 슬릿 노즐(3)과 기판(W)을 중심부(CT) 둘레로 상대적으로 대략 1회전시키고 있었다. 기판 유지부(2) 등에 의한 회전은, 360° 미만이어도 된다. 이것에 의해, 슬릿 노즐(3)에 의한 약액 토출의 시점과 종점의 사이에 간극을 설치할 수 있다. 그로 인해, 도 8의 중복부(OL)와 같이, 약액의 막(F)이 겹쳐 약액의 막두께가 커지고, 토출한 약액의 튀어오름 등에 의한 슬릿 노즐(3)의 오염을 방지할 수 있다. 또한, 약액 토출의 시점과 종점의 간극은, 기체를 분사하는 등의 평탄화 처리에 의해 보충된다.

(8) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 슬릿 노즐(3)은, 단체로 구성되었는데, 도 11과 같이, 복수(2개 이상)로 구성되고, 복수의 슬릿 노즐(3)이 기판(W)의 대략 중심부(CT)를 기준으로 환상으로 배치하도록 구성되어도 된다. 예를 들어, 도 11과 같이, 슬릿 노즐(3)이 2개로 구성되는 경우, 약액을 토출할 때에, 회전 유지부(3) 등에 의한 회전은, 대략 반회전(대략 180°)으로 끝난다. 그러나, 도 8의 중복 부분(OL)이 2개소가 되어, 평탄화 처리하는 부분이 증가하는 문제가 있다.

또, 도 11의 2개의 슬릿 노즐(3)은, 단체로 구성되고, 기판(W)의 중심부(CT)에 약액을 토출하지 않도록, 2개의 슬릿 개구부(21)를 구비하는 것이어도 된다. 또, 기판(W)의 중심부(CT) 상의 약액의 막(F)의 막두께를 작게 억제할 수 있으면, 2개의 슬릿 개구부(21)는, 하나로 연결되어 있어도 된다.

(9) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 슬릿 노즐(3)로부터 기판(W) 상에 약액을 토출할 때에, 기판(W)을 대략 1회전시키고 있었다. 그러나, 예를 들어, 회전은, 2회전 이상이어도 된다. 이 경우, 슬릿 노즐(3)이 오염되지 않도록 높이 등이 조정되어 배치된다.

(10) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 슬릿 개구부(21)의 길이 방향의 길이가 반경 미만으로 구성되어 있었는데, 그 길이는, 반경이어도 된다. 예를 들어, 직경 300mm의 기판(W)이면, 슬릿 개구부(21)의 길이 방향의 길이는, 150mm이다.

(11) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 기판(W)을 상방으로부터 보았을 때에, 슬릿 개구부(21)의 중심부(CT)측을 연장하면 중심부(CT)의 상방을 통과한다. 이 점, 슬릿 개구부(21)의 중심부(CT)측을 연장하더라도 중심부(CT)의 상방을 통과하지 않도록 경사져 있어도 된다.

본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있으며, 따라서, 발명의 범위를 개시하는 것으로서, 이상의 설명이 아닌, 부가된 클레임을 참조해야만 한다.

Claims

약액을 도포하는 도포 방법으로서,
원형의 기판의 중심부로부터 상기 기판의 외연부의 한 방향으로 연장되도록 길게 배치된 슬릿 개구부로서, 길이 방향의 길이가 상기 기판의 반경 또는 그 미만으로 구성된 상기 슬릿 개구부를 가지는 슬릿 노즐에 의해, 기판 상에 약액을 토출하는 공정;
상기 슬릿 노즐에 의해 약액을 토출할 때에, 약액 토출용 회전부에 의해, 상기 기판과 상기 슬릿 노즐을 상기 기판의 중심부 둘레로 상대적으로 회전시키는 공정을 포함하며,
상기 회전은 상기 기판 상에 착액된 약액이 상기 회전에 의한 원심력으로 상기 기판 밖으로 흘러 넘치지 않는 회전 속도로 행해지는, 도포 방법.
청구항 1에 있어서,
약액의 토출 종료 후, 기체 노즐에 의해, 상기 기판의 상방으로부터 상기 기판 상에 형성한 약액의 막을 향해, 기체를 분사하는 공정을 더 구비하고 있는, 도포 방법.
청구항 2에 있어서,
상기 기체는 용제의 증기를 포함하는 기체인, 도포 방법.
청구항 2에 있어서,
상기 기체 노즐에 의해 기체를 분사할 때에, 기체 노즐 이동부에 의해, 상기 기체 노즐을 상기 기판의 반경 방향으로 이동시키는 공정을 더 구비하고 있는, 도포 방법.
청구항 2에 있어서,
상기 기체 노즐에 의해 기체를 분사할 때에, 기체 분사용 회전부에 의해, 상기 기체 노즐과 상기 기판을 상기 기판의 중심부 둘레로 상대적으로 회전시키는 공정을 더 구비하고 있는, 도포 방법.
청구항 1에 있어서,
상기 슬릿 개구부는 상기 기판의 외연부측의 단부가 상기 기판의 외연부보다 내측에 위치하도록 구성되어 있는, 도포 방법.
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 슬릿 개구부는 상기 기판의 중심부측의 단부가 상기 기판의 중심부보다 외측에 위치하도록 구성되어 있는, 도포 방법.
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 슬릿 개구부는, 상기 기판의 중심부로부터 상기 기판의 외연부를 향함에 따라, 폭이 큰, 도포 방법.
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 슬릿 노즐은, 상기 기판의 중심부로부터 상기 기판의 외연부를 향함에 따라, 공급되는 약액량이 많아지도록 구성되어 있는, 도포 방법.
청구항 9에 있어서,
상기 슬릿 노즐은, 상기 기판의 중심부로부터 상기 기판의 외연부를 향함에 따라, 상기 슬릿 개구부와 상기 기판의 표면의 간극이 커지도록 구성되어 있는, 도포 방법.
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 약액 토출용 회전부에 의한 회전은 360도 미만인, 도포 방법.
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 약액의 점도는 300cP 이상 10000cP 이하인, 도포 방법.
약액을 도포하는 도포 장치로서,
원형의 기판의 중심부로부터 상기 기판의 외연부의 한 방향으로 연장되도록 길게 배치된 슬릿 개구부로서, 길이 방향의 길이가 상기 기판의 반경 또는 그 미만으로 구성된 상기 슬릿 개구부를 가지고, 기판 상에 약액을 토출하는 슬릿 노즐; 및
상기 슬릿 노즐에 의해 약액을 토출할 때에, 상기 슬릿 노즐과 상기 기판을 상기 기판의 중심부 둘레로 상대적으로 회전시키는 약액 토출용 회전부를 포함하며,
상기 회전은 상기 기판 상에 착액된 약액이 상기 회전에 의한 원심력으로 상기 기판 밖으로 흘러 넘치지 않는 회전 속도로 행해지는, 도포 장치.