KR101427870B1 - 배선판 측정장치 - Google Patents

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세이코 프레시죤 가부시키가이샤
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Abstract

지그판(4)은, 등중심간격으로 길이방향을 따라서 복수의 작은 구멍(40a)이 형성되어 있고, 길이방향의 중앙 근방의 영역인 중앙영역(4c)에 있어서 나사(41)에 의해 재치대(2)에 고정되는 동시에, 중앙영역(4c)보다 단부 측에서는 나사에 의해 재치대(2)에 고정되지 않는다. 또한, 지그판(4)은, 재치대(2)에 설치된 마그넷(2c)에 의해서, 길이방향의 양단부가 재치대(2) 측으로 부세된다.

Description

배선판 측정장치{APPARATUS FOR MEASURING WIRING BOARD}
본 발명은 배선판 측정장치에 관한 것이다.
종래, IC 칩, 저항, 컨덴서 등의 전자부품을 실장하기 위하여, 다층 인쇄배선판이 이용되고 있다. 이러한 다층 인쇄배선판은, 각 층의 인쇄배선판을 각각 형성하고, 최종적으로, 형성한 인쇄배선판을 적층시킴으로써 얻어진다.
인쇄배선판을 적층할 때에는, 각 인쇄배선판의 배선패턴끼리 정확한 위치 관계가 아니면 불량품이 되어 버리기 때문에, 인쇄배선판에 형성되어 있는 배선 패턴의 위치를 정확하게 측정하는 것이 요망된다. 특히, 다층 인쇄배선판을 대량으로 생산할 경우에는, 배선 패턴의 위치(어긋남)마다 분별해서 인쇄배선판을 적층함으로써, 효율적으로 다층 인쇄배선판을 제조할 수 있다.
인쇄배선판에 형성되어 있는 배선 패턴의 위치를 측정하기 위하여, 인쇄배선판을 재치대(載置台)에 재치해서, 인쇄배선판에 형성된 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 연직 위쪽으로부터 촬상하는 것이 있다(예를 들어, 일본국 공개 특허 제2005-349505호 공보 참조). 일본국 공개 특허 제2005-349505호 공보에 기재된 장치에서는, 소정 간격마다 복수의 기준 마크가 형성된 위치 측정용의 지그판(jig plate)이 재치대에 고정되어 있다. 그리고, 촬상하여 얻어진 화상 데이터로부터 지그판의 기준 마크를 기준으로 인쇄배선판을 측정하고, 인쇄배선판에 구멍을 뚫는 위치를 설정하고 있다. 일본국 공개 특허 제2005-349505호 공보에 기재된 장치에서는, 온도변화에 의해서 지그판이 신축되어, 기준 마크 간의 거리가 변화되는 것을 고려해서, 온도변화에 의해 변형되기 어려운 재료로 지그판을 형성하고 있다.
전술한 장치에서는, 온도변화에 의해 변형되기 어려운 지그판을 이용하고 있지만, 지그판이 고정되는 재치대가 온도변화에 따라서 변형되면, 재치대와의 고정 개소를 통해서 지그판에 큰 힘이 가해져, 지그판이 변형되어 기준 마크 간의 거리가 변화되어 버릴 우려가 있다.
본 발명은 전술한 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 온도변화에 영향을 받지 않고 지그판을 이용해서 인쇄배선판을 측정하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 배선판 측정장치는,
위치 검출용의 마크가 형성된 인쇄배선판의 상기 마크의 위치를 측정하는 배선판 측정장치로서,
상기 인쇄배선판이 재치되는 재치대와,
미리 간격이 측정된 복수의 표식이 형성되어, 길이방향의 중앙을 포함해서 길이방향의 2분의 1보다 좁은 영역인 중앙영역에 있어서 고정 수단에 의해 상기 재치대에 고정되는 동시에 상기 중앙영역이 아닌 비중앙영역은 상기 재치대에 고정되지 않는 지그판과,
상기 인쇄배선판 및 상기 지그판을 촬상하는 촬상 수단과,
상기 촬상 수단에 의해 촬상된 화상 데이터에 있어서의 상기 지그판의 다른 표식의 위치 정보와 미리 측정되어 있는 상기 표식의 간격으로부터 상기 촬상 수단에 의해 촬상되는 화상 데이터의 위치 정보를 교정하고, 상기 촬상 수단에 의해 촬상된 상기 인쇄배선판의 화상 데이터로부터 상기 인쇄배선판의 상기 마크의 위치를 측정하는 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 지그판의 비중앙영역을 상기 재치대를 향해서 부세시키는(즉, 힘을 가하는) 부세 수단을 구비해도 된다.
상기 부세 수단은, 상기 재치대 또는 상기 지그판에 설치된 마그넷(magnet)을 구비해도 된다.
상기 부세 수단은, 상기 재치대에 설치되어 밀어붙이는 힘 또는 끌어당기는 힘을 상기 지그판에 가하는 탄성체를 구비해도 된다.
또한, 상기 재치대는, 가이드홈을 지니고,
상기 지그판은, 상기 가이드홈 내에 부착되어도 된다.
본 발명에 따르면, 온도변화에 영향을 받지 않고 지그판을 이용해서 인쇄배선판을 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 배선판 측정장치의 구성의 개요를 나타낸 측면도;
도 2는 배선판 측정장치의 구성의 개요를 나타낸 표면도;
도 3은 재치대와 지그판의 구성의 개요를 나타낸 사시도;
도 4는 재치대와 지그판의 구성의 개요를 나타낸 분해 사시도;
도 5는 재치대가 변형되었을 때의 재치대와 지그판의 부착 양상을 나타낸 모식도;
도 6은 인쇄배선판에 인쇄된 가이드 마크의 일례를 나타낸 도면;
도 7은 변형예에 있어서의 재치대와 지그판의 구성의 개요를 나타낸 상면도;
도 8은 변형예에 있어서의 재치대와 지그판의 부착 양상을 나타낸 모식도.
본 발명의 실시형태에 따른 배선판 측정장치에 대해서 도면을 이용해서 설명한다. 배선판 측정장치(1)는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 프레임(10)과, 가공 대상물인 인쇄배선판(PCB)을 재치하기 위한 재치대(2)와, 재치대(2)에 고정되는 지그판(4)과, 재치대(2)를 이동하는 반송부(3)와, 재치대(2)를 연직 위쪽으로부터 촬상하는 촬상부(5)와, 장치 전체를 제어하는 제어부(6)(도 2에서는 도시생략)를 구비하고 있다. 이하, 반송부(3)에 의해서 재치대(2)가 이동하는 방향을 Y방향, Y방향에 수직이고 수평인 방향을 X방향, 연직방향을 Z방향으로 한다. 또, 도 1 및 도 2에서는, 재치대(2) 상의 인쇄배선판(PCB)을 파선으로 표시하고 있다.
도 1 및 도 2의 흰 바탕 화살표는 작업자의 정위치이다. 작업자는 화살의 방향(Y축의 정방향)을 향해서 서 있고, 인쇄배선판(PCB)을 배선판 측정장치(1)에 투입하고, 측정이 끝나면 인쇄배선판(PCB)을 배선판 측정장치(1)로부터 취출한다. 인쇄배선판(PCB)의 투입과 취출은, 본 실시형태에서는, 작업자에 의해 행해지는 것으로 했지만, 반송 장치에 의해서 행해도 된다. 반송 장치는, 예를 들어, 에어에 의해서 흡착하는 흡착기를 구비한 로봇 팔로 구성할 수 있다.
재치대(2)는, 상부의 재치면에 인쇄배선판(PCB)을 재치하는 것으로, 반송부(3)에 의해서 Y방향으로 이동한다. 재치대(2)는, 반송부(3)에 의해서, 소정의 높이에 지지되어, 재치면이 수평으로 되어 있다. 재치대(2)의 Y방향의 중앙부에는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 지그판(4)을 부착하기 위한 가이드홈(2b)이 X방향을 따라서 형성되어 있다. 가이드홈(2b) 내의 X방향의 양단부 근방에는, 마그넷(2c)이 매립되어서 설치되어 있다. 또한, 가이드홈(2b)의 Y방향 양측에는 흡착 구멍(2a)가 형성되고, 흡착 구멍(2a)을 부압으로 하는 도시하지 않은 흡착 장치가 연결되어 있다. 재치대(2)에 인쇄배선판(PCB)이 재치된 상태에서 흡착 구멍(2a)이 부압으로 됨으로써, 인쇄배선판(PCB)은 재치대(2)에 흡착되어서 고정된다.
지그판(4)은, 단면이 직사각형이고 세장형의 판형상이며, 예를 들어, 인바(invar) 등의 선팽창률이 작고 온도변화에 의해서 변형되기 어려운 재료로 형성된다. 지그판(4)은, X방향이 길이방향으로 되도록 재치대(2)의 가이드홈(2b) 내에 부착된다. 지그판(4)에는, 그 길이방향을 따라서 복수의 작은 구멍(40a)이 형성되어 있다. 복수의 작은 구멍(40a)은, 도 3에 나타낸 바와 같이 이웃한 작은 구멍(40a)끼리의 간격(LD)이 등중심간격으로 되도록 지그판(4)을 관통해서 형성되어 있다. 이하, 본 명세서에서는 작은 구멍(40a)끼리의 간격은 중심간 거리를 가리킨다.
지그판(4)은, X방향(길이방향)의 중앙 근방에 있어서 2행 2열의 4점에서 나사(41)에 의해 재치대(2)에 고정되어 있고, 이 4점보다 단부 측에서는, 나사를 이용해서 고정되어 있지 않다. 즉, 지그판(4)은, 도 3 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 지그판(4)의 길이방향의 중앙을 포함하는 길이(Lc)의 중앙영역(4c)(도 3 및 도 4 중, 그물코 형상으로 표시한 부분)에 있어서 나사(41)에 의해 재치대(2)에 고정되어 있다. 또, 중앙영역(4c)은, 나사(41)의 축중심을 연결하여 이루어진 직사각형 영역을 말한다. 또한, 지그판(4)은, 재치대(2)의 가이드홈(2b) 내의 X방향 양단부 근방에 설치된 마그넷(2c)에 의해, 길이방향(X방향)의 양단부가 재치대(2) 측으로 부세되어 있다. 본 실시형태에서는, 마그넷(2c)에 의해서 지그판(4)의 양단부가 흡인되어, 재치대(2)에 근접하고 있다.
이와 같이 지그판(4)이 재치대(2)에 부착됨으로써, 지그판(4)은, 중앙영역(4c)에 있어서 4점에서 재치대(2)에 고정되므로, 지그판(4)과 재치대(2)의 위치가 벗어나 버리는 것을 억제할 수 있다. 또, 재치대(2)에 고정되어 있지 않은 지그판(4)의 양단부는, 재치대(2)에 설치된 마그넷(2c)에 의해서 재치대(2) 측으로 부세되므로, 지그판(4)의 양단부가 재치대(2)로부터 들떠버리는 것을 억제할 수 있다.
온도변화에 의한 재치대(2)와 지그판(4)과의 치수의 관계를 도 5에 나타낸다. 도 5의 (a) 측에는, 지그판(4)이 재치대(2)에 부착되어 온도변화가 없는 상태가 도시되어 있다. 도 5의 (b) 측에 나타낸 바와 같이, 예를 들어, 재치대(2)가 온도변화에 의해서 열팽창되었을 경우에, 중앙영역(4c)의 범위 내에 있는 지그판(4)은, 나사(41)로 고정되어 있기 때문에, 재치대(2)의 열팽창에 의한 변형의 영향을 받는다. 구체적으로는 중앙영역(4c)의 범위 내에 있는 작은 구멍(40a)끼리의 간격(LD)이, 재치대(2)의 열팽창에 의한 변형의 영향을 받아서, 설계상의 간격보다도 커진다.
이것에 대해서, 중앙영역(4c)보다 단부 측(중앙영역(4c)이 아닌 영역, 이하 「비중앙영역」이라고도 칭함)은, 나사로 고정되어 있지 않으므로, 도 5의 (b) 측에 나타낸 바와 같이 재치대(2)가 온도변화의 영향을 받아서 열팽창되었을 경우더라도, 중앙영역(4c)이 아닌 영역은 그 영향을 받지 않는다. 따라서, 본 실시형태에 따르면, 지그판(4)의 길이방향의 양단부에 있어서 지그판(4)과 재치대(2)가 고정되어 있을 경우에 비해서, 지그판(4)과 재치대(2)의 고정 개소에 가해지는 힘을 저감시킬 수 있다. 이 때문에, 재치대(2)의 변형에 따라서 지그판(4)이 변형되어 버리는 것을 억제할 수 있다. 특히, 중앙영역(4c)의 범위 외의 작은 구멍(40a)끼리의 간격(LD)이 설계상의 값에 대해서 변화되는 것을 억제할 수 있다.
여기서, 지그판(4)과 재치대(2)를 고정하는 부위(즉, 중앙영역(4c))은, 재치대(2)의 변형에 따라서 지그판(4)이 변형되는 것이 억제되는 부위이면 된다. 즉, 지그판(4)과 재치대(2)를 고정하는 중앙영역(4c)은, 재치대(2)가 변형되어도 지그판(4)이 받는 영향은 작은 것으로 상정되는 중앙 근방의 영역이면 되고, 지그판(4)의 길이방향의 길이(L)의 2분의 1보다 좁은 범위로 하는 것이 바람직하다. 중앙영역(4c)은, 예를 들어, 재치대(2) 및 지그판(4)의 재질 등에 의거해서 정할 수 있고, 길이방향의 중앙을 포함해서 길이방향의 3분의 1의 길이의 영역 또는 길이방향의 4분의 1의 길이의 영역 등으로 해도 된다.
반송부(3)는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 이동대(31)와, 프레임(10)에 고정되어서 Y방향으로 뻗는 1조의 가이드 레일(32a), (32b)과, Y방향으로 뻗는 볼 나사(33)와, 볼 나사(33)를 회전시키는 이동용 모터(34)를 구비한다. 이동대(31)는, 재치대(2)를 지지하고, 이동대(31)에 설치된 도시하지 않은 볼 너트가 볼 나사(33)와 걸어맞춤한다. 이러한 구성에 의해, 반송부(3)에서는, 이동용 모터(34)에 의해서 볼 나사(33)가 회전하면, 이동대(31)가 가이드 레일(32a), (32b)을 따라서 Y방향으로 이동한다. 따라서, 이동대(31)에 지지되는 재치대(2)가 이동대(31)와 함께 Y방향으로 이동한다.
촬상부(5)는, 1조의 측정용 카메라(52a), (52b)와, 측정용 카메라(52a), (52b)를 이동시키는 카메라 이동부(53L), (53R)를 구비한다. 측정용 카메라(52a), (52b)는, 연직 위쪽으로부터 인쇄배선판(PCB)의 가이드 마크(M1) 내지 (M4)(이하, 통합하여 「가이드 마크(M)」라고도 칭함)를 촬상하는 것으로, 거치대(架台)(54L), (54R)에 고정되어 있다.
카메라 이동부(53L), (53R)는, 측정용 카메라(52a), (52b)를 지지하는 거치대(54L), (54R)를 이동시킴으로써, 측정용 카메라(52a), (52b)를 X방향으로 각각 이동시킨다. 카메라 이동부(53L), (53R)는, 각각 X방향으로 뻗는 볼 나사(55L), (55R)와, 거치대(54L), (54R)에 고정되어서 볼 나사(55L), (55R)에 걸어맞춤하는 도시하지 않은 볼 너트와, 볼 나사(55L), (55R)를 각각 회전시키는 카메라용 모터(56L), (56R)를 구비한다. 카메라 이동부(53L), (53R)에서는, 카메라용 모터(56L), (56R)에 의해서 볼 나사(55L), (55R)를 회전시킴으로써 거치대(54L), (54R)가 X방향으로 각각 이동하고, 측정용 카메라(52a), (52b)가 X방향으로 이동한다.
제어부(6)는, CPU(Central Processing Unit) 등을 중심으로 한 주지의 마이크로프로세서를 이용할 수 있다. 제어부(6)는, 반송부(3) 및 촬상부(5)에 구동 신호를 출력하는 동시에 반송부(3) 및 촬상부(5)로부터 신호를 수신하여, 장치 전체의 제어를 행한다.
이상의 구성의 배선판 측정장치(1)는, 인쇄배선판(PCB)을 측정하는 것이 가능하다. 본 실시형태에 있어서의 인쇄배선판(PCB)은, 도 6에 나타낸 바와 같이, 4군데의 가이드 마크(M)가 인쇄된다. 가이드 마크(M)는, 인쇄배선판(PCB)의 4정점의 근방에 배치되어, 직사각형의 인쇄배선판(PCB)의 4변으로부터 등거리의 위치에 인쇄된다.
배선판 측정장치(1)에 의해서 인쇄배선판(PCB)을 측정할 때에는, 온도변화에 의한 배선판 측정장치(1) 자체의 변형을 보정한다. 그 때문에, 우선, 제어부(6)는, 측정용 카메라(52a), (52b)의 촬상 위치에 지그판(4)이 위치하도록 반송부(3)에 의해서 재치대(2)를 이동시킨다. 이어서, 제어부(6)는, 측정용 카메라(52a), (52b)에 의해서 지그판(4)을 촬상하고, 촬상한 데이터에 있어서의 지그판(4)의 작은 구멍(40a)의 간격을 측정한다. 지그판(4)은 온도변화에 의해 변형되기 어려운 재질에 의해서 형성되어 있고, 인접하는 작은 구멍(40a)의 간격(LD)은 미리 정해져 있다. 그래서, 제어부(6)는, 촬상한 데이터에 있어서의 작은 구멍(40a)의 간격과 실제의 작은 구멍(40a)의 간격(LD)으로부터, 측정용 카메라(52a), (52b)의 촬상 데이터에 있어서의 거리를 작은 구멍(40a)의 간격(LD)에 의해서 보정(교정)하는 거리변환함수를 구한다. 이 거리변환함수는, 미리 정해진 기간(예를 들어, 수 시간 또는 1일 등)마다 구하는 것으로 해도 되고, 배선판 측정장치(1)가 기동되었을 때 및/또는 조작자에 의해서 소정의 조작이 행해졌을 때 구하는 것으로 해도 된다.
그리고, 제어부(6)는, 예를 들어, 도시하지 않은 표시부에 메시지를 표시해서 측정 대상인 인쇄배선판(PCB)의 투입을 촉진시킨다. 작업자가 측정 대상인 인쇄배선판(PCB)을 재치대(2) 상에 재치하면, 제어부(6)는, 흡착 장치에 의해서 재치대(2)의 흡착 구멍(2a)을 부압으로 한다. 이것에 의해, 인쇄배선판(PCB)이 재치대(2)에 고정된다. 계속해서, 제어부(6)는, 측정용 카메라(52a), (52b)에 의해 인쇄배선판(PCB)의 가이드 마크(M)를 촬상한다. 이때는, 제어부(6)는, 측정용 카메라(52a), (52b)에 의해서 가이드 마크(M)가 촬상가능한 위치에 재치대(2)를 이동시키는 동시에, 측정용 카메라(52a), (52b)의 서로의 거리가 가이드 마크(M)의 X방향의 거리(Lx)와 동등하게 되도록 거치대(54L), (54R)를 이동시키고, 측정용 카메라(52a), (52b)에 의해서 가이드 마크(M)를 촬상한다.
측정용 카메라(52a), (52b)는, 인쇄배선판(PCB)에 있어서의 배선 패턴의 위치가 측정되도록, 가이드 마크(M)와 함께 인쇄배선판(PCB)의 특징점과 지그판(4)을 촬상한다. 인쇄배선판(PCB)의 특징점으로서는, 예를 들어, 인쇄배선판(PCB)에 미리 형성되어 있는 도시하지 않은 기준 마크를 특징점으로 하거나, 인쇄배선판(PCB)의 가장자리를 특징점으로 할 수 있다.
측정용 카메라(52a), (52b)에 의해서 인쇄배선판(PCB)의 가이드 마크(M)를 촬상하면, 제어부(6)는, 측정 대상인 인쇄배선판(PCB)의 식별 번호와 관련지어서, 촬상한 데이터에 의거한 측정 데이터를 기억한다. 인쇄배선판(PCB)의 식별 번호는, 예를 들어, 그 날 처음으로 측정하는 인쇄배선판이면 넘버 1 등으로 한다. 그 밖에도, 로트 번호와 관련짓는 등으로 해도 된다. 제어부(6)는, 측정 데이터로서, 측정용 카메라(52a), (52b)에서 촬상한 화상 데이터와 지그판(4)을 이용해서 구한 거리변환 함수에 의거해서, 인쇄배선판(PCB)에 있어서의 배선 패턴의 위치를 산출하고, 도시하지 않은 메모리에 기억한다. 예를 들어, 측정 데이터로서, 가이드 마크(M1) 내지 (M4)의 중심으로부터 인쇄배선판(PCB)의 가장자리(특징점)까지의 X방향 및 Y방향의 거리를 각각 기억하는 것이 고려된다.
이와 같이 해서 인쇄배선판(PCB)의 측정 데이터가 기억되면, 제어부(6)는, 재치대(2)를 초기 위치로 이동시킨 후에, 인쇄배선판(PCB)과 재치대(2)의 고정을 해제하여, 배선판의 측정을 종료시킨다. 배선판의 측정이 종료되면, 작업자가 인쇄배선판(PCB)을 재치대(2)로부터 떼어낸다.
이상과 같이, 본 실시형태의 배선판 측정장치(1)는, 지그판(4)이, 길이방향(X방향)의 중앙으로서 길이방향의 길이의 2분의 1보다 좁은 영역인 중앙영역(4c)에 있어서 나사(41)에 의해 재치대(2)에 고정되는 동시에, 중앙영역(4c)보다 단부 측은, 나사로 재치대(2)에 고정되지 않는다. 이것에 의해, 본 실시형태에서는, 재치대(2)가 온도변화에 의해 변형된 경우더라도, 재치대(2)의 변형에 따라서 지그판(4)이 변형되어 버리는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 온도변화에 영향을 받지 않고 지그판(4)을 이용해서 인쇄배선판(PCB)을 측정할 수 있다. 또한, 지그판(4)의 양단부에 대응하는 재치대(2)의 위치에는, 마그넷(2c)이 설치되어 있으므로, 지그판(4)의 고정되어 있지 않은 양단부를 재치대(2) 측으로 부세시킬 수 있어, 지그판(4)이 재치대(2)로부터 들떠 버리는 것을 억제할 수 있다.
이상, 일 실시형태를 들어서 본 발명을 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되지 않고, 그 응용 및 변형 등은 임의이다. 예를 들어, 상기 실시형태에서는, 지그판(4)은, 재치대(2)의 중앙에 있어서, X방향이 길이방향으로 되도록 재치대(2)에 부착되는 것으로 했지만, 도 7에 나타낸 바와 같이, X방향이 길이방향으로 되도록 지그판(4A)이 재치대(2)의 Y방향의 단부에 부착되어도 되고, Y방향이 길이방향으로 되도록 지그판(4B)이 재치대(2)에 부착되어도 된다. 또한, 도 7에 나타낸 바와 같이, 복수의 지그판이 재치대(2)에 부착되어도 된다.
상기 실시형태에서는, 지그판(4)은, 재치대(2)의 가이드홈(2b) 내에 부착되는 것으로 했지만, 재치대(2)의 재치면에 부착되어도 된다. 또한, 지그판(4)은, 재치대(2)에 대해서 X방향, Y방향, Z방향을 불문하고, 이동가능해도 된다.
상기 실시형태에서는, 지그판(4)의 길이방향의 양단부에 대응하는 재치대(2)의 위치에는, 마그넷(2c)이 설치되는 것으로 했지만, 지그판(4)의 양단부에 마그넷이 설치되어도 된다. 이 경우, 예를 들어, 재치대(2)의 가이드홈(2b)의 내부가 마그넷에 끌어당겨지는 재료로 형성되어 있으면 된다. 또한, 도 8에 나타낸 바와 같이, 지그판(4)에 대해서 재치대(2) 측으로 밀어붙이는 힘을 가하는 용수철 등의 탄성체(2d)가 재치대(2)에 설치되어도 된다. 또한, 재치대(2) 측으로 끌어당기는 힘을 지그판(4)에 가하도록 탄성체가 설치되어도 된다.
상기 실시형태에서는, 지그판(4)에는, 표식으로서 복수의 작은 구멍(40a)이 형성되는 것으로 했지만, 표식은, 측정용 카메라(52a), (52b)를 이용해서 측정 기준으로서 촬상할 수 있는 것이면 되고, 예를 들어, 작은 구멍(40a) 대신에 또는 이에 부가해서, 지그판(4)에 소정 간격으로 눈금이 형성되어 된다.
상기 실시형태에서는, 지그판(4)은, 나사(41)에 의해서 2행 2열의 4점에서 재치대(2)에 고정되는 것으로 했지만, X방향 또는 Y방향을 따른 2점 또는 중앙의 1점에서 재치대(2)에 고정되어도 된다. 이 경우, 지그판(4)의 중앙에서부터 먼 나사(41)의 바깥쪽 가장자리를 연결해서 이루어지는 영역을 중앙영역(4c)으로 해도 된다. 바꾸어 말하면, 중앙영역(4c)은, 재치대(2)의 변형의 영향을 받아서 작은 구멍(40a)끼리의 간격(LD)이 변화될 수 있는 영역을 말하고, 중앙영역(4c)이 아닌 비중앙영역은, 재치대(2)의 변형이 간격(LD)에 영향을 주지 않는 영역을 말한다.
상기 실시형태에서는, 측정용 카메라(52a), (52b)로서 CCD 카메라를 사용했지만, X선 카메라 등을 이용해도 된다. 또한, 측정용 카메라(52a), (52b)에 부가해서, 프레얼라인먼트(prealignment)용 카메라 등 다른 카메라가 구비되어도 된다. 또, 측정용 카메라(52a), (52b)를 상하 이동시킴으로써 측정용 카메라와 프레얼라인먼트용 카메라를 겸용시켜도 된다. 또한, 측정용 카메라(52a), (52b)는, 재치대(2)의 아래쪽 또는 위쪽과 아래쪽의 양쪽에 배치되는 것이더라도 된다.
상기 실시형태에서는, 인쇄배선판(PCB)에는, 네 모퉁이에 가이드 마크(M1) 내지 (M4)가 형성되는 것으로 했지만, 이러한 예로 한정되는 것은 아니고, 가이드 마크가 적어도 2개 형성되어 있으면 된다. 또한, 가이드 마크는, 인쇄된 것에 한정되지 않고, 구멍 등이어도 된다.
또한, 배선판 측정장치(1)에는, 예를 들어, 인쇄배선판(PCB)에 구멍을 뚫기 위한 천공 기구 등, 다른 구성이 탑재되어 있어도 된다.
본 발명은, 본 발명의 광의의 정신과 범위를 일탈하는 일 없이, 다양한 실시형태 및 변형이 가능하게 되는 것이다. 또, 전술한 실시형태는, 본 발명을 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 범위는, 실시형태가 아니라, 특허청구범위에 의해서 표시된다. 그리고, 특허청구범위 내 및 그것과 동등한 발명의 의의의 범위 내에서 실시되는 각종 변형이 본 발명의 범위 내로 간주된다.
본 출원은, 2011년 11월 8일에 출원된 일본국 특허출원 제2011-244125호에 의거해서 우선권을 주장하고, 본 출원의 명세서 중에는, 일본국 특허출원 제2011-244125호의 명세서, 특허청구범위 및 도면의 내용을 참조해서 원용하는 것으로 한다.

Claims (5)

  1. 위치 검출용의 마크가 형성된 인쇄배선판의 상기 마크의 위치를 측정하는 배선판 측정장치로서,
    상기 인쇄배선판이 재치되는 재치대(載置台);
    자성체로 형성되고, 미리 간격이 측정된 복수의 표식이 형성되고, 길이방향의 중앙을 포함해서 길이방향의 2분의 1보다 좁은 영역인 중앙영역에 있어서 고정 수단에 의해 상기 재치대에 고정되는 동시에 상기 중앙영역이 아닌 비중앙영역은 상기 재치대에 고정되지 않는 지그판;
    상기 인쇄배선판 및 상기 지그판을 촬상하는 촬상 수단;
    상기 촬상 수단에 의해 촬상된 화상 데이터에 있어서의 상기 지그판의 다른 표식의 위치 정보와 미리 측정되어 있는 상기 표식의 간격으로부터 상기 촬상 수단에 의해 촬상되는 화상 데이터의 위치 정보를 교정하고, 상기 촬상 수단에 의해 촬상된 상기 인쇄배선판의 화상 데이터로부터 상기 인쇄배선판의 상기 마크의 위치를 측정하는 제어 수단; 및
    상기 재치대에 배치되는 자석을 구비하고, 상기 지그판의 비중앙영역을 상기 자석에 의해 상기 재치대를 향해서 부세시키는 부세 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 배선판 측정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 재치대는 가이드홈을 지니고,
    상기 자석은 상기 가이드홈 내에 매설되어 있으며,
    상기 지그판은 상기 가이드홈 내에 부착되는 것을 특징으로 하는 배선판 측정장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 재치대는 상기 고정 수단의 근방에 흡착 구멍을 지니고,
    상기 재치대에 재치된 상기 인쇄배선판은 상기 흡착구멍에 의해 고착되는 것을 특징으로 하는 배선판 측정장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
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