KR101365635B1 - 정밀이송장치 - Google Patents

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Abstract

정밀하게 연속적으로 이송대상품을 이송할 수 있는 정밀이송장치를 개시한다. 개시된 정밀이송장치는, 직선구간 및 곡선구간을 가지며 폐루프를 형성하는 궤도레일과; 상기 궤도레일을 지지하는 메인바디와; 다수의 이송대상품을 각각 지지하도록 상기 궤도레일을 따라 서로 이격 배치된 다수의 지지플레이트와, 상기 다수의 지지플레이트가 각각 상기 궤도레일을 따라 이동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트에 각각 결합된 다수의 레일트래커와, 상기 다수의 지지플레이트가 상기 궤도레일의 상기 곡선구간을 이동할 때 상기 다수의 지지플레이트가 서로에 대해서 회동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트 각각을 힌지 결합하는 힌지핀을 포함하는 이송트레인과; 상기 직선구간의 궤도레일 상에 위치하는 상기 지지플레이트를 상기 궤도레일을 따라 이동시키는 이송트레인 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

정밀이송장치{ACCURATE TRANSFERRING APPARATUS}
본 발명은, 정밀이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정밀하게 연속적으로 이송대상품을 이송할 수 있는 정밀이송장치에 관한 것이다.
최근에 개발된 반도체 제조공정으로 기존의 리소그래피 및 에칭공정을 대체할 수 있도록, 반도체 웨이퍼에 직접 소정의 잉크로 인쇄하는 인쇄전자기술을 활용한 제조공법이 개발되고 있다.
여기서, 잉크로 직접 반도체 웨이퍼에 인쇄를 하는 경우, 반도체 웨이퍼나 잉크를 토출하는 잉크셔틀을 정밀하게 이송할 필요가 있다.
또한, 반도체 웨이퍼를 한 개씩 낱개 단위로 인쇄하는 방식으로는 생산성이 떨어지므로 연속적인 인쇄가 가능하도록 반도체 웨이퍼를 이송할 필요가 있다.
본 발명의 목적은, 정밀하게 이송대상품을 이송할 수 있는 정밀이송장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 복수의 이송대상품을 연속적으로 이송 가능한 정밀이송장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 정밀이송장치에 있어서, 직선구간 및 곡선구간을 가지며 폐루프를 형성하는 궤도레일과; 상기 궤도레일을 지지하는 메인바디와; 다수의 이송대상품을 각각 지지하도록 상기 궤도레일을 따라 서로 이격 배치된 다수의 지지플레이트와, 상기 다수의 지지플레이트가 각각 상기 궤도레일을 따라 이동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트에 각각 결합된 다수의 레일트래커와, 상기 다수의 지지플레이트가 상기 궤도레일의 상기 곡선구간을 이동할 때 상기 다수의 지지플레이트가 서로에 대해서 회동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트 각각을 힌지 결합하는 힌지핀을 포함하는 이송트레인과; 상기 직선구간의 궤도레일 상에 위치하는 상기 지지플레이트를 상기 궤도레일을 따라 이동시키는 이송트레인 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀이송장치에 의해서 달성될 수 있다.
여기서, 상기 궤도레일은 내측레일과 외측레일을 포함하며, 상기 다수의 레일트래커는, 각각, 상기 내측레일의 상면 및 하면 각각을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 상면롤러 및 하면롤러와; 상기 내측레일의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 측면롤러와; 상기 외측레일의 상면 및 하면 각각을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 상면롤러 및 하면롤러와; 상기 외측레일의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 측면롤러를 포함할 수 있다.
또한, 상기 정밀이송장치는 상기 복수의 내측레일 상면롤러 및 상기 복수의 외측레일 상면롤러를 상기 내측레일의 상면을 향해 탄성바이어스 시키는 상면 탄성바이어스 부재와; 상기 복수의 내측레일 측면롤러 및 상기 복수의 외측레일 측면롤러 중 어느 하나를 상기 내측레일의 측면 또는 상기 외측레일의 측면을 향해 탄성바이어스 시키는 측면 탄성바이어스 부재를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 궤도레일은 내측레일과 외측레일을 포함하며, 상기 힌지핀은 상기 지지플레이트에서 상기 내측레일 측으로 편향 배치될 수 있다.
또한, 상기 다수의 레일트래커는, 각각, 상기 내측레일 상면롤러 및 상기 내측레일 하면롤러를 함께 지지하는 제1지지부재와; 상기 외측레일 상면롤러 및 상기 외측레일 하면롤러를 함께 지지하는 제2지지부재와; 상기 내측레일 측면롤러를 지지하는 제3지지부재와; 상기 외측레일 측면롤러를 지지하는 제4지지부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 정밀이송장치에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 정밀하게 이송대상품을 이송할 수 있다.
둘째, 무한궤도레일을 이용하여 복수의 이송대상품을 연속적으로 이송가능하다. 이에 의해, 다수의 이송대상품이 연속되어 이송될 수 있으므로 생산효율이 월등히 향상된다.
도 1은, 본 발명에 따른 정밀이송장치의 개략 사시도,
도 2는, 도 1의 정밀이송장치의 평면도,
도 3은, 도 1의 정밀이송장치의 요부 개략 사시도,
도 4는, 도 3의 정밀이송장치의 요부 개략 측면도,
도 5는, 도 1의 정밀이송장치의 요부 부분 확대 측면도,
도 6은, 도 1의 정밀이송장치의 이송트레인의 확대 배면도,
도 7은, 도 1의 정밀이송장치의 이송트레인의 확대 평면도,
도 8은, 도 1의 정밀이송장치의 요부 배면 사시도,
도 9는, 도 4의 Ⅸ-Ⅸ선에 따른 개략 단면도,
도 10은, 도 1의 정밀이송장치의 이송트레인이 곡면구간 레일을 통과할 때의 요부 확대 사시도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정밀이송장치에 대해서 설명하기로 한다.
도 1은 편의상 궤도레일(110)의 전 구간을 도시하지 않고 일부구간만 도시하기로 한다. 즉, 직선구간(B)이 대향하는 구간에서 생략되었고, 곡선구간(C)의 대향하는 구간에서도 생략되었다. 상기 궤도레일(110)은 대체로 직선구간(B) 및 상기 곡선구간(C)을 포함하는 타원형 폐루프를 형성하도록 마련될 수 있다.
본 발명에 따른 정밀이송장치(100)는, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 직선구간(B) 및 상기 곡선구간(C)으로 구성된 폐루프를 형성하는 궤도레일(110)과; 상기 궤도레일(110)을 지지하는 메인바디(101)와; 이송트레인(200)과; 상기 이송트레인(200)을 구동하는 이송트레인 구동부(120)를 포함한다.
상기 궤도레일(110)은 상기 직선구간(B)을 형성하도록 배치된 직선구간 레일(111)과, 상기 곡선구간(C)을 형성하도록 배치된 곡선구간 레일(113)을 포함한다.
여기서, 상기 직선구간 레일(111)의 일단부 측에서는 상기 이송트레인(200)의 지지플레이트(210) 상에 소정의 이송대상품이 자동 또는 수동으로 적재된다.
또한, 상기 직선구간 레일(111)의 타단부 측에서는 후술할 작업수행부(A)에 의해 소정의 작업이 수행된 이송대상품이 상기 지지플레이트(210)로부터 취출된다.
이렇게 이송대상품이 취출된 상기 지지플레이트(210)는 상기 곡선구간 레일(113)을 따라서 이동하고, 다시 반대방향의 직선구간 레일(미도시) 및 곡선구간 레일(미도시)을 따라서 이동하여 최초 위치로 이동될 수 있다. 즉, 상기 다수의 지지플레이트(210)는 무한궤도인 상기 궤도레일(110)을 따라서 이동될 수 있다.
상기 직선구간 레일(11)의 상기 일단부 및 타단부 측 사이에는 상기 적재된 이송대상품에 소정의 작업을 수행하기 위한 작업수행부(A)가 배치될 수 있다. 여기서, 상기 이송대상품은 반도체 웨이퍼 또는 솔라셀 제조용 웨이퍼 일수 있고, 상기 작업수행부(A)는 상기 반도체 웨이퍼에 인쇄잉크를 도포하기 위한 잉크분사부일 수 있다. 물론, 이러한 이송대상품 및 작업수행부는 일례에 불과하고 다양하게 변경될 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 정밀이송장치(100)는 반도체 웨이퍼에 인쇄잉크를 분사하는 장치외에도 정밀 이송이 필요한 다양한 장치에 사용될 수 있다.
상기 궤도레일(110) 및 상기 이송트레인(200)은 상기 2개의 중심선(J, K)에 대해서 대칭으로 배치될 수 있다.
도 1에서는 편의상 이송트레인(200)의 일부만을 도시하였다. 실제 이송트레인(200)은 상기 궤도레일(110)의 전 구간을 따라서 배치되도록 마련된다.
한편, 상기 궤도레일(110)은 내측레일(111a, 113a)과 외측레일(111b, 113b)을 포함한다.
상기 이송트레인(200)은 다수의 이송대상품을 각각 지지하도록 상기 궤도레일(110)을 따라 서로 이격 배치된 다수의 지지플레이트(210)와; 상기 다수의 지지플레이트(210)가 각각 상기 궤도레일(110)을 따라 이동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트(210)에 각각 결합된 다수의 레일트래커(220)와; 상기 다수의 지지플레이트(210)가 상기 궤도레일(110)의 상기 곡선구간(C)을 이동할 때 상기 다수의 지지플레이트(210)가 서로에 대해서 회동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트 각각을 힌지 결합하는 힌지핀(241)을 포함한다.
여기서, 다수의 지지플레이트(210)에 다수의 이송대상품이 연속적으로 적재되어 상기 작업수행부(A)에 의해서 연속적으로 작업될 수 있으므로 생산성이 획기적으로 증대될 수 있다.
여기서, 상기 다수의 지지플레이트(210)는 상기 곡선구간 레일(113)에서 서로 인접한 지지플레이트(210)들이 간섭되지 않도록 소정의 간격만큼 서로 이격된다.
여기서, 상기 다수의 지지플레이트(210)는 이송대상품의 종류에 따라 상기 궤도레일(110)의 내부를 향해 연장된 연장 지지플레이트(210a)를 더 포함할 수 있다. 상기 연장 지지플레이트(210a)는 상기 지지플레이트(210)에 후술할 연결부재(131)를 통해 간접적으로 결합될 수 있다. 물론, 경우에 따라서, 상기 지지플레이트(210)에 직접 결합될 수도 있고, 일체로 제조될 수도 있다.
상기 이송트레인 구동부(120)는 상기 직선구간(B)의 궤도레일(110), 즉 상기 직선구간 레일(111) 상에 위치하는 상기 지지플레이트(210)를 구동한다. 이에 의해, 상기 지지플레이트(210)가 상기 궤도레일(110)을 따라서 이동 가능하다.
도 3, 도 6 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 다수의 레일트래커(220)는, 각각, 상기 내측레일(111a, 113a)의 상면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 상면롤러(222)와; 상기 내측레일(111a, 113a)의 하면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 하면롤러(221)와; 상기 내측레일(111a, 113a)의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 측면롤러(223)와; 상기 외측레일(111b, 113b)의 상면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 상면롤러(226)와; 상기 외측레일(111b, 113b)의 하면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 하면롤러(225)와; 상기 외측레일(111b, 113b)의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 측면롤러(227)를 포함한다.
상기 다수의 레일트래커(220)는 상기 다수의 지지플레이트(210)에 각각 대응하여 상기 지지플레이트(210)의 하측에 설치될 수 있다.
보다 구체적으로 설명하면, 도 3 및 도 8에 도시된 바와 같이, 하나의 지지플레이트(210) 마다 하나의 레일트래커(220)가 설치된다. 즉, 상기 하나의 지지플레이트(210)의 하측에 상기 궤도레일(110)을 따라 진행하는 방향을 따라 전방측 및 후방측에 각각 한 쌍의 내측레일 상면롤러(222) 및 하면롤러(221)와, 한 쌍의 외측롤러 상면롤러(226) 및 하면롤러(225)가 설치된다.
한편, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 다수의 레일트래커(220)는, 각각, 상기 내측레일 상면롤러(222) 및 상기 내측레일 하면롤러(221)를 함께 회전가능하게 지지하는 제1지지부재(231)와; 상기 외측레일 상면롤러(226) 및 상기 외측레일 하면롤러(225)를 함께 회전가능하게 지지하는 제2지지부재(232)와; 상기 내측레일 측면롤러(223)를 회전가능하게 지지하는 제3지지부재(233)와; 상기 외측레일 측면롤러(227)를 회전 가능하게 지지하는 제4지지부재(234)를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제1지지부재(231)는 도 7에 도시된 바와 같이, 제1체결구(236)에 의해서 상기 지지플레이트(210)에 결합될 수 있다.
또한, 상기 제2지지부재(232)는 도 7에 도시된 바와 같이, 제2제결구(235)에 의해 상기 지지플레이트(210)에 결합될 수 있다.
상기 제3지지부재(233)는 후술할 도 8에 도시된 동력전달부(130)에 결합될 수 있다.
상기 제4지지부재(234)는 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 결합핀(237)에 의해서 상기 지지플레이트(210)에 결합될 수 있다. 물론, 상술한 제1 내지 제4지지부재(231, 232, 233, 234)의 결합대상 및 결합방식은 일례에 불과하고 각 지지부재가 지지하는 롤러를 회전 가능하게 지지할 수 있는 한, 다양하게 변경될 수 있다.
상기 정밀이송장치(100)는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 복수의 내측레일 상면롤러(222) 및 상기 복수의 외측레일 상면롤러(226)를 상기 내측레일(111a)의 상면(S1) 및 상기 외측레일(111b)의 상면(S1)을 향해 각각 탄성바이어스 시키는 복수의 상면 탄성바이어스 부재(250)를 더 포함할 수 있다.
이에 의해, 상기 복수의 내측레일 상면롤러(222) 및 상기 복수의 외측레일 상면롤러(226)가 상기 궤도레일(110)의 상면(S1)으로부터 이격되지 않고 상면(S1)과 접촉을 유지할 수 있다. 이로써, 상기 지지플레이트(210)의 상면에 배치된 이송대상품이 상하 요동 없이 안정적으로 이송될 수 있다.
여기서, 상기 궤도레일(111)의 상면(S1)을 기준면으로서 설정함으로써 상면롤러(222, 226)를 상기 상면(S1)에 탄성바이어스 시킨 것이다. 경우에 따라서는 상기 궤도레일(111)의 하면(S3)을 기준면으로 하는 경우에는 상기 하면롤러(221, 225)를 상기 하면(S3)을 향해 탄성바이어스 시키는 하면 탄성바이어스 부재(미도시)로 대체할 수도 있다.
또한, 상기 정밀이송장치(100)는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 복수의 내측레일 측면롤러(223) 및 상기 복수의 외측레일 측면롤러(227) 중 어느 하나를 상기 내측레일(111a)의 측면 또는 상기 외측레일(111b)의 측면을 향해 탄성바이어스 시키는 복수의 측면 탄성바이어스 부재(260)를 더 포함할 수 있다.
여기서, 도 8은 상기 측면 탄성바이어스 부재(260)가 잘 드러날 수 있도록, 일측의 지지플레이트(210)에 결합된 동력전달부(130)를 제거하고 도시한 것이다.
상기 복수의 측면 탄성바이어스 부재(260)는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 복수의 내측레일 측면롤러(223)를 상기 내측레일(111a)의 측면(S2)을 향해 탄성 바이어스 시키도록 마련될 수 있다. 이에 의해, 상기 내측레일 측면롤러(223)가 상기 내측레일(111a)의 측면(S2)으로부터 이격되지 않고 측면(S2)과 접촉을 유지하면서 구름회전 가능하다. 이로써, 상기 지지플레이트(210)가 상기 궤도레일(110)의 폭방향을 따라서 요동되지 않고 정밀하게 이송될 수 있다.
상기 상면 탄성바이어스 부재(250)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제2지지부재(232)와 상기 지지플레이트(210)의 하면 사이에 배치될 수 있다. 보다 상세하게 설명하면, 도 7에 도시된 바 있는, 상기 제2지지부재(232)를 상기 지지플레이트(210)에 결합하기 위한 제2체결구(235)에 상기 상면 탄성바이어스 부재(250)가 삽입되어 상기 제2지지부재(232)를 상방향(F2)으로 탄성바이어스 시킬 수 있다. 이에 의해, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제2지지부재(232)에 의해 회전 가능하게 지지된 상기 외측레일 상면롤러(226)가 상기 외측레일(111b)의 상면(S1)에 접촉유지될 수 있다.
또한, 상기 상면 탄성바이어스 부재(250)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제2지지부재(231)와 상기 지지플레이트(210)의 하면 사이에 배치될 수 있다. 보다 상세하게 설명하면, 도 7에 도시된 바 있는, 상기 제1지지부재(231)를 상기 지지플레이트(210)에 결합하기 위한 제1체결구(236)에 상기 상면 탄성바이어스 부재(250)가 삽입되어 상기 제1지지부재(231)를 상방향(F2)으로 탄성바이어스 시킬 수 있다. 이에 의해, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제1지지부재(231)에 의해 회전 가능하게 지지된 상기 내측레일 상면롤러(222)가 상기 내측레일(111a)의 상면(S1)에 접촉유지될 수 있다.
한편, 상기 측면 탄성바이어스 부재(260)는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제3지지부재(233)를 상기 내측레일(111a)의 측면(S2)을 향해 탄성가압하도록 마련될 수 있다.
상기 제3지지부재(233)는 상기 동력전달부(130)의 연결부재(131)에 제3체결구(238)에 의해 결합될 수 있다. 상기 측면 탄성바이어스 부재(260)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제3체결구(238)에 삽입되어 상기 내측레일 측면롤러(233)를 내측방향(F1)으로 탄성 가압할 수 있다. 이러한, 측면 탄성바이어스 부재(260)의 결합방식은 일례에 불과하고, 상기 내측레일 측면롤러(233)를 상기 내측방향(F1)으로 탄성 가압할 수 있는 한 그 결합방식은 다양하게 변경될 수 있다.
상기 상면 탄성바이어스 부재(250) 및 상기 측면 탄성바이어스 부재(260)는 코일 스프링 및 판스프링 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 이송트레인 구동부(120)는 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 무한궤도 회전하는 타이밍벨트(122)와; 상기 타이밍벨트(122)를 구동하는 구동모터(121)와; 상기 구동모터(121)의 구동력에 의해 종동회전 하는 종동롤러(126)와, 상기 구동모터(121) 및 상기 종동롤러(126)를 지지하는 구동부 바디(128)를 포함한다.
상기 구동부 바디(128)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 궤도레일(110)의 하측에서 상기 메인바디(도 1의 101)에 결합될 수 있다. 보다 상세하게는, 상기 구동부 바디(128)는 상기 직선구간(B)에 위치하는 상기 직선구간 레일(111)의 하측에 배치될 수 있다.
상기 이송트레인 구동부(120)는 상기 전 구간의 궤도레일(110)을 따라서 배치된 이송트레인(200) 중 상기 직선구간(B)에 위치하는 이송트레인(200)을 구동할 수 있다. 상기 이송트레인(200) 전체가 상기 궤도레일(110)을 따라서 배치되어 있는 바, 직선구간(B) 상에 위치하는 이송트레인(220)을 구동함으로써 전체 이송트레인(200)을 회전시킬 수 있다.
상기 타이밍벨트(122)의 상하면에는 각각 치형(齒型, 123)이 형성될 수 있다. 상기 구동모터(121)의 구동롤러(미도시)의 외면 및 상기 종동롤러(126)의 외면에도 그에 대응하는 치형이 형성될 수 있다.
상기 구동모터(121)의 구동롤러(미도시)와 상기 종동롤러(126) 사이에는 복수의 중간롤러(125)들이 소정 간격으로 배치될 수 있다.
상기 구동모터(121)는 전기모터, 보다 상세하게는 서보모터 일 수 있다.
상기 이송트레인 구동부(120)는 도 1에 도시된 직선구간 레일(111)의 반대측에도 마련될 수도 있다. 즉, 서로 대향하는 직선구간(B) 각각에 이송트레인 구동부(120)가 설치될 수도 있다.
한편, 상기 정밀이송장치(100)는 상기 이송트레인 구동부(120)의 구동력을 상기 이송트레인(200)에 전달하기 위한 동력전달부(130)를 더 포함할 수 있다.
상기 동력전달부(130)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 이송트레인(200)의 각 지지플레이트(210)에 설치될 수 있다.
상기 동력전달부(130)는 상기 타이밍벨트(122)의 상면 치형(도 5의 123)에 결합되는 벨트결합부재(133)와, 상기 벨트결합부재(133)와 상기 지지플레이트(210)를 연결하는 연결부재(131)를 포함한다.
상기 벨트결합부재(133)는 상기 타이밍벨트(122)의 상면 치형(도 5의 123)에 대응하는 하면치형(133a)을 포함한다.
상기 연결부재(131)는 상기 지지플레이트(210) 및 상기 벨트결합부재(133)에 체결구에 의해서 각각 결합될 수 있다.
상기 연결부재(131)에는 상술한 바와 같이, 상기 제3지지부재(233)가 결합될 수 있다.
이에 의해, 상기 이송트레인(200)이 상기 직선구간(도 1의 B)을 진입하는 경우, 각 지지플레이트(210)의 하측에 설치된 상기 동력전달부(130)의 상기 벨트결합부재(133)와 상기 타이밍벨트(122)가 서로 맞물려서 상기 이송트레인(200)이 연속적으로 회전 구동될 수 있다.
한편, 상기 이송트레인(200)의 각 지지플레이트(210)는 내측레일(도 3의 111a, 113a)측으로 편향 배치된 힌지핀(241)에 의해서 결합된다. 즉, 상기 힌지핀(241)은 상기 각 지지플레이트(210)에서 상기 내측레일(111a, 113a) 측으로 편향 배치된다. 이에 의해, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 이송트레인(200)이 상기 궤도레일(110)의 상기 곡선구간 레일(113)을 통과할 때 각각의 지지플레이트(210)가 서로에 대해서 회동 가능하게 마련됨으로써, 각각의 지지플레이트(210)가 곡선구간 레일(113)을 원활하게 트래킹하여 이동 가능하다.
상기 각 지지플레이트(210)는 상기 힌지핀(241)으로 서로 결합가능하도록 마련된 힌지핀 결합부(211)를 포함한다.
상기 힌지핀 결합부(211)는 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 이송트레인(200)의 이송방향에 대해 전방측으로 연장된 전방측 연장부(211a)와; 상기 이송트레인(200)의 이송방향에 대해 전방측으로 연장된 후방측 연장부(211b)를 포함한다.
상기 전방측 연장부(211a) 및 상기 후방측 연장부(211b)는 상기 힌지핀(241)이 삽입되는 힌지핀 삽입공(미도시)을 갖는다.
상기 지지플레이트(210)의 전방측 연장부(211a)와 상기 지지플레이트(210)에 인접한 지지플레이트(210)의 후방측 연장부(211b)가 상기 힌지핀 삽입공(미도시)이 동심이 되도록 서로 상하로 배치되고, 상기 동심의 힌지핀 삽입공(미도시)에 상기 힌지핀(241)이 삽입됨으로써 복수의 지지플레이트(210)가 서로에 대해 회동 가능하게 연결될 수 있다.
여기서, 상기 정밀이송장치(100)는, 상기 이송트레인(200)이 정속으로 궤도레일(110)을 따라서 이동 가능하도록 상기 구동모터(121)를 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
본 발명은 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구의 범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 정밀이송장치 110: 궤도레일
111: 직선구간 레일 113: 곡선구간 레일
111a, 113a: 내측레일 111b, 113b: 외측레일
120: 이송트레인 구동부 121: 구동모터
122: 타이밍벨트 126: 종동롤러
130: 동력전달부 131: 연결부재
133: 벨트결합부재 200: 이송트레인
210: 지지플레이트 220: 레일트래커
221: 내측레일 하면롤러 222: 내측레일 상면롤러
223: 내측레일 측면롤러 225: 외측레일 하면롤러
226: 외측레일 상면롤러 227: 외측레일 측면롤러
231: 제1지지부재 232: 제2지지부재
233: 제3지지부재 234: 제4지지부재
250: 상면 탄성바이어스부재 260: 측면 탄성바이어스부재

Claims (5)

  1. 정밀이송장치에 있어서,
    직선구간 및 곡선구간을 가지며 폐루프를 형성하는 내측레일과 외측레일을 포함하는 궤도레일과;
    상기 궤도레일을 지지하는 메인바디와;
    다수의 이송대상품을 각각 지지하도록 상기 궤도레일을 따라 서로 이격 배치된 다수의 지지플레이트와, 상기 다수의 지지플레이트가 각각 상기 궤도레일을 따라 이동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트에 각각 결합된 다수의 레일트래커와, 상기 다수의 지지플레이트가 상기 궤도레일의 상기 곡선구간을 이동할 때 상기 다수의 지지플레이트가 서로에 대해서 회동 가능하도록 상기 다수의 지지플레이트 각각을 힌지 결합하는 힌지핀을 포함하는 이송트레인과;
    상기 직선구간의 궤도레일 상에 위치하는 상기 지지플레이트를 상기 궤도레일을 따라 이동시키는 이송트레인 구동부를 포함하고,
    상기 다수의 레일트래커는, 각각,
    상기 내측레일의 상면 및 하면 각각을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 상면롤러와 하면롤러 및 그 상면롤러와 하면롤러를 함께 지지하는 제1지지부재와;
    상기 외측레일의 상면 및 하면 각각을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 상면롤러와 하면롤러 및 그 상면롤러와 하면롤러를 함께 지지하는 제2지지부재와;
    상기 내측레일의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 내측레일 측면롤러및 그 측면롤러를 지지하는 제3지지부재와;
    상기 외측레일의 측면을 따라서 구름회전 가능한 복수의 외측레일 측면롤러 및 그 측면롤러를 지지하는 제4지지부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀이송장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 내측레일 상면롤러 및 상기 복수의 외측레일 상면롤러를 상기 내측레일의 상면을 향해 탄성바이어스 시키는 상면 탄성바이어스 부재와;
    상기 복수의 내측레일 측면롤러 및 상기 복수의 외측레일 측면롤러 중 어느 하나를 상기 내측레일의 측면 또는 상기 외측레일의 측면을 향해 탄성바이어스 시키는 측면 탄성바이어스 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀이송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 궤도레일은 내측레일과 외측레일을 포함하며,
    상기 힌지핀은 상기 지지플레이트에서 상기 내측레일 측으로 편향 배치된 것을 특징으로 하는 정밀이송장치.
  5. 삭제
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