KR101360545B1 - 조정 가능한 렌즈의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 상에서 조정 가능한 렌즈의 조립체를 제조하는 방법을 제공한다. 이 방법은 그러한 렌즈의 용이한 제조 방법을 제공하여, 조립의 비용을 최소화하는 동시에 휴대 전화기 등에 사용하기 위한 소형의 조정 가능한 렌즈의 대량 생산을 위한 방법을 제공한다.

조정 가능한 렌즈, 카메라, 휴대 전화기, 폴리머, 압전 액츄에이터, 스페이서

Description

조정 가능한 렌즈의 제조 방법 {METHOD FOR MANUFACTURING ADJUSTABLE LENS}

본 발명은 조정 가능한 렌즈를 제조하는 방법에 관한 것이며, 특히 조정 가능한 렌즈를 웨이퍼 기술로 제조하는 방법에 관한 것이다.

많은 응용예에서 조정 가능한 렌즈의 저렴한 대량 생산 기술에 대한 요구가 증가하고 있다. 휴대 전화기에 카메라가 대중적으로 사용된다는 것은 수백만개의 렌즈가 사용됨을 의미한다. 그러한 렌즈의 설계는 휴대 전화기의 카메라 모듈의 상부에 렌즈를 끼웠을 때 작동이 용이할 것, 가능한 한 적은 작동 단계를 제공할 것 등의 복수의 요건 충족을 필요로 한다. 이러한 요구는, 예를 들어 초점 길이가 렌즈로부터 피사체까지의 거리에 맞도록 조정되어야 하는 자동 초점 렌즈에서 직면하는 것과 같은 조율 가능한 파라미터를 렌즈 장치가 포함할 때 훨씬 더 커진다. 대개 그러한 렌즈는 예를 들어 적당한 방식으로 조립하는 것을 어렵게 할 수 있는 가동 부품을 포함하는 복잡한 설계이다. 그러한 설계에서의 다른 문제는 가능한 한 얇은 렌즈 조립체의 제공에 대한 요구가 증가한다는 것이다. 얇고 가벼운 휴대 전화기 및 카메라는 시장에서 필수불가결한 것이다.

종래 기술에는, 단순화된 가변 초점 길이 렌즈 조립체를 제공하는 렌즈 설계의 몇 가지 예가 존재한다. 예를 들어, JP 02-178602는 액체를 사이에 둔 한 쌍의 투명 베이스 재료 중 하나에 배치된 압전 소자에 전압을 인가하면 베이스 재료가 굴곡되고, 이러한 굴곡이 렌즈 조립체 표면의 원하는 만곡을 제공하는 렌즈 조립체를 개시한다.

JP 2000-249813은 2개의 굴곡 가능한 투명 플레이트 사이에 배치된 변형 가능한 투명 재료를 포함하는 렌즈 조립체를 개시한다. 공통의 액츄에이터가 플레이트들을 굴곡시켜서 렌즈 조립체의 초점 길이를 이동시킬 수 있다.

JP 01-140118은 투명 액체를 포함하는 실린더 용기의 상부에 투명 전극을 갖는 압전 폴리머를 포함하는 조정 가능한 렌즈 조립체를 개시한다. 압전 폴리머에 인가되는 전압은 폴리머의 만곡을 제공하고, 따라서 초점 길이를 이동시킨다.

본 발명의 발명자는 도 1에 도시된 바와 같은 조정 가능한 렌즈 조립체의 설계를 발명하였다. 도 1에 도시된 바와 같은 렌즈 조립체를 제조하는 방법을 제공하는 것이 본 발명의 일 태양이다.

본 발명의 일 태양은 열거된 요소 순서 또는 다른 요소 순서로, 개시되지 않은 다른 요소와 함께 또는 그것을 제외하고, 모든 열거된 요소 또는 임의의 하위 세트의 요소를 포함하는 다음의 구성 요소 및 구성 관계를 포함하는 렌즈 조립체를 제조하는 방법으로서, 적어도 하나의 지지체가 얇은 글래스 커버를 포함하는 겔 또는 엘라스토머를 지지하고, 얇은 글래스 커버의 원형 중간 부분이 글래스 커버의 나머지 부분과 접촉하지 않은 상태로 겔의 상부에 부유하는 아일랜드(island)로서 배치되고, 얇은 원형 압전 링 형상 결정체가 글래스 아일랜드의 에지를 따라 배치되고, 글래스 커버의 나머지 부분은 적어도 하나의 지지체의 에지까지 겔의 상부에 배치되고, 적어도 하나의 지지체의 에지를 따른 말단 요소가 압전 링에 가해지는 신호를 위한 전기 접속부를 제공하고, 그와 동시에 말단 요소가 적어도 하나의 지지체에 대한 글래스 커버의 기계적 지지 및 고정을 제공하는 렌즈 조립체가 대량 생산될 수 있는 방법에 관한 것이다.

본 발명은 가요성 투명 재료가 2개의 글래스 플레이트들 사이에 개재되고, 글래스 플레이트들 중 하나 또는 모두가 액츄에이터(예를 들어, 압전 액츄에이터)에 의해 형상 결정되는 조정 가능한 렌즈를 생산하는 방법의 예에 관한 것이다. 가요성 재료는 렌즈의 벌크 재료를 제공하기 위해 포함되며, 예를 들어 폴리머 겔, 엘라스토머, 또는 선형 또는 분기형 폴리머릭 또는 올리고머릭 오일에 의해 제공될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 조정 가능한 렌즈의 생산을 위한 공정은 웨이퍼 스케일(wafer scale)로 제공된다.

본 발명의 다른 태양에 따르면, 웨이퍼 스케일의 조정 가능한 렌즈를 고정된 또는 조정 가능한 렌즈의 스택으로 실시하는 것이 가능하다.

본 발명의 또 다른 태양은 (예를 들어 웨이퍼 스케일 카메라 모듈의 편리화를 위해) 광학 센서와 같은 웨이퍼 스케일 조립체 상의 다른 광학 시스템으로 조정 가능한 렌즈를 실시하는 것을 편리하게 하는 것이다.

본 발명의 또 다른 태양은 액츄에이터를 위한 전기 접점과 같은 특징부를 간소한 방식으로 포함하는 것이다.

도 1은 조정 가능한 렌즈 조립체의 설계를 도시한다.

도 2는 도 1에 도시된 설계의 사시도를 도시한다.

도 3은 조정 가능한 렌즈의 다른 예를 도시한다.

도 4는 웨이퍼 상의 렌즈 조립체의 배열을 도시한다.

도 5는 웨이퍼 상의 렌즈 조립체의 다른 배열을 도시한다.

도 6은 폴리머가 부분적으로 제거된 렌즈 조립체를 도시한다.

도 7은 렌즈 조립체의 다른 예를 도시한다.

(자동) 초점 렌즈 또는 줌 렌즈와 같은 응용예에 사용되는 소형의 조정 가능한 렌즈를 제조하기 위한 기술적으로 실행 가능한 해법은 다수 존재한다. 본 발명은 2개 이상의 강성 재료(예를 들어 글래스 또는 더 단단한 폴리머 재료) 사이에 개재된 가요성 재료(때때로, 폴리머 겔, 엘라스토머 또는 오일임)를 포함하는 조정 가능한 렌즈의 제조 공정에 관한 것이다. 이들 강성 재료 중 하나 또는 모두는 액츄에이터에 연결된다. 액츄에이터는 강성 커버 재료의 형상을 왜곡하는 힘을 제공한다. 이 왜곡은 가요성 재료의 형상을 약간 변화시켜 렌즈 형상을 부여한다. 렌즈 형상은 렌즈를 통과하는 빛의 초점을 변화시킬 것이다. 조정 가능한 렌즈는 예를 들어 자동 초점 렌즈 또는 줌 렌즈 응용예에 사용될 수 있다.

본 발명은 (아래에서 위로) 지지 글래스, 스페이서 재료, 가요성 재료(폴리머), 가요성 재료 위에 "부유하는(float)" 액츄에이터(예를 들어, 압전 액츄에이 터) 디스크를 가진 커버 글래스를 포함한다. 도 1 및 도 2의 개략도를 참고하기 바란다.

관련 렌즈 조립체에서는 렌즈를 구성하는 개별 구조물의 기하학적 크기 및 렌즈 요소의 총 물리적 크기가 모두 중요한 측면이다. 상술한 렌즈 설계에서, 가요성 재료의 두께 및 형상 변화 가능한 커버 재료의 두께는 조율 가능한 렌즈 요소의 기능성에 중요하다. 가능한 한 낮은 가동력을 사용하기 위해(따라서 예를 들어 압전 결정체에 가능한 한 낮은 전압을 인가하기 위해), 구경에 대한 커버 재료 두께의 비율을 가능한 한 낮게 유지하는 것이 바람직하다. 실제적인 최적의 두께는 취급의 용이성, 렌즈 표면 만곡의 품질 및 낮은 가동력 사이의 절충일 것이다. 예를 들어 1mm의 구경을 가진 렌즈 요소에 있어서의 기하학적 치수의 예는 5 내지 50㎛의 커버 글래스 두께 및 0.1 내지 2mm의 폴리머 두께이다. 지지 글래스의 두께는 렌즈 조립체의 기능에 중요하지 않다. 그러나, 기계적 안정성은 설계 파라미터이다. 렌즈 조립체의 일 실시예에서, 그 두께는 약 200㎛ 이상이다.

조정 가능한 렌즈는 액츄에이터를 포함하기 때문에, 액츄에이터가 복수의 개별 액츄에이터 요소를 포함하는 경우에, 전압 공급/제어 유닛으로부터 액츄에이터 요소(들)로 전기 신호가 가야한다. 이것은 싱귤레이션(singulation) 후에 각각의 렌즈 요소의 외부에 전극을 제공함으로써 달성될 수 있거나, 또는 전극이 각각의 개별 렌즈 요소에 통합될 수 있다. 조정 가능한 렌즈 요소와 여타 렌즈 시스템 및/또는 화상 센서의 웨이퍼 스케일 통합이 이루어져야 한다면, 각각의 개별 렌즈 요소에 전극이 통합되는 것이 바람직하고 당연할 수 있다.

렌즈 조립체의 일 실시예에서는, 액츄에이터를 위한 구동 전자 장치 및/또는 제어 전자 장치가 지지 기판의 일부에 제공된다. 이 실시예에서, 신호는 지지체로부터 신호를 가져오는 스페이서 요소와 관련된 도전성 요소 및 지지체에 통합된 전자 장치에 의해, 액츄에이터 요소 또는 글래스 아일랜드를 포함하는 액츄에이터 요소에 접합을 통해 접촉시키는 것이 가능한 커버 글래스에 제공될 수 있다.

부유 아일랜드 디스크 상의 액츄에이터로부터의 전극들은 예를 들어 그들을 커버 글래스에 통합함으로써 렌즈 요소의 에지로 안내되어, 형상 변형 가능한 디스크 아일랜드로의 전극 브릿지를 형성할 수 있거나, 또는 커버 글래스/액츄에이터의 에칭 후의 별도의 단계에서 준비될 수 있다.

본 발명의 몇몇 실시예가 설명될 수 있다. 아래의 실시예들은 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 간주되어서는 안되며, 단지 실시예일 뿐이다. 어떠한 순서의 단계도 여타의 단계와 교환 또는 조합될 수 있다.

실시예 A:

본 발명의 일 실시예는 다음의 단계를 포함한다.

1. 스페이서 요소[예를 들어, 글래스 비드, 폴리머 비드, 섬유, 금속(금, 실리콘 등)으로 만들어진 고체 요소]가 몇몇 가능한 기술[접착(gluing), 리프트-오프(lift-off), 적층(deposition), 선택 에칭(selective etching), 성장법(growing) 등] 중 하나에 의해 지지 기판/글래스 위에 준비된다.

2. 액체 프리-폴리머(pre-polymer)의 스핀 코팅, 분무, 분배 등이 스페이서를 가진 지지 글래스 상에 실시된다.

3. 사전 조립된 액츄에이터를 가진 연속 커버 글래스가 지지 글래스/스페이서/폴리머 기판 상에 플립-칩(flip-chip) 조립되고, 몇몇 가능한 공지의 접합 기술(양극 접합, 접착 등) 중 하나를 사용하여 접합된다.

4. 조정 가능한 렌즈의 "부유" 활동 디스크를 형성하기 위해 액츄에이터를 가진 커버 글래스가 마스킹 및 선택 에칭된다.

5. 액츄에이터를 위한 전기 접점이 형성된다.

6. 웨이퍼 상에서 다수의 렌즈 요소를 형성하는 경우에, 스페이서 요소의 일부가 격자 패턴의 코너에 남도록 전체 웨이퍼를 격자 패턴으로 톱질(sawing)함으로써 개별 요소들이 최종적으로 형성된다.

상기 단계 3 및 단계 4와 관련하여, 단계 3 및 단계 4의 효과를 달성하기 위한 선택적인 방법은 에칭에 의해 제공된 구멍과 동등한 복수의 구멍을 포함하는 커버 글래스를 제조하고, 그에 대응하여 액츄에이터 요소를 포함하는 사전 제조된 글래스 디스크를 제공하며, 그 후 글래스 아일랜드를 폴리머의 상부에 떠있는 구멍의 개구에 위치시키는 것이다.

이 실시예의 장점은 1) 용이하게 사용 가능한 웨이퍼 스케일 처리 단계가 편리해진다는 것, 2) 소형의 조정 가능한 렌즈가 형성될 수 있다는 것(렌즈 요소의 폭은 개구 직경의 2배 내지 3배 정도로 작을 수 있음), 3) 렌즈 요소가 고정된 스페이서 요소의 존재로 인해 양호한 기계적 안정성을 갖는다는 것이다.

재료 선택의 예

이하는 실시예 A에서 설명된 예시적인 방법에 따라 선택될 수 있는 재료 및 공정의 예이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 다결정 실리콘(polycrystalline silcon)이 300㎛ 두께의 지지 글래스 웨이퍼 상에 적층된다. 폴리실리콘은 원하는 스페이서 두께(예를 들어 500㎛)까지 연마된다. 레지스트 폴리머가 폴리실리콘 위에 스핀 코팅되고, 마스크를 통해 선택적으로 UV 경화된다. 잉여 레지스트는 수세되고, 스페이서 요소를 형성하기 위해 실리콘은 예를 들어 건식 에칭 기술에 의해 제거된다. 가요성 폴리머의 적층 및 경화 후에, 압전 액츄에이터를 가진 커버 글래스가 스페이서 요소 위에 조립되고, 서로 접합 또는 접착된다. 싱귤레이션 전의 최종 단계는 커버 글래스를 에칭하여 가요성 폴리머 필름 위에 부유하는 형상 변형 가능한 디스크를 형성하는 것이다.

실시예 B:

본 발명의 다른 실시예는 방법 A에 설명된 것과 같은 단계들을 포함하지만, 커버 글래스가 지지체/스페이서 기판 상에 장착된 후의 순간까지 폴리머 재료의 도포를 지연하는 단계를 포함한다. 실시예 B의 장점은 유기 또는 무기 폴리머를 렌즈 요소에 도입하는 것을 지연시킴으로써 이들 재료와 관련된 제한된 처리 온도가 생략될 수 있다는 것이다. 다른 장점은 폴리머에 의한 접합 표면의 오염이 방지되고, 공정의 접합 단계가 매우 단순화될 수 있다는 것이다.

실시예 C:

본 발명의 다른 실시예는 상술한 실시예 A 및 B에서 설명된 것과 같은 단계들을 포함하지만, 액츄에이터를 가진 커버 글래스 기판 상에 스페이서 요소를 형성 한다. 스페이서 요소는 매우 얇은 커버 글래스에 기계적 안정성을 제공하기 위해 연속적이거나 또는 반연속적인 구성을 가져야 한다. 이것을 달성하는 하나의 명쾌한 방법은 실리콘 웨이퍼에 접합된 얇은 글래스 필름 위에 가동 압전 결정체를 준비하는 것이다. 압전 적층 전에 또는 그 후에, 배면의 실리콘이 원하는 패턴에 따라 마스킹되고, 공지된 기술 중 하나에 의해 에칭되어 스페이서 요소를 형성한다. 그 후 스페이서 요소를 갖는 이 액츄에이터/커버 글래스가 지지 글래스에 접합되고, 임의의 시점에 폴리머 재료가 상술한 실시예 A 및 B에 설명된 바와 같이 도입된다.

실시예 D:

본 발명의 다른 실시예는 상술한 실시예 A 및 B에서 설명된 것과 같은 설계들을 포함하지만, 임의의 도전성 재료인 추가의 스페이서 재료를 포함한다. 상부 커버 글래스 상에서 힘을 발생시키는 액츄에이터는 전극에 의해 외부 전압 공급원 및 제어 시스템에 접속되어야 한다. 도전성(예컨대, 금속, 실리콘, 도전성 폴리머, 접착제 또는 복합 재료)인 스페이서 재료를 커버 글래스의 관통 구멍 및 지지 글래스 상의 관통 구멍 또는 전극과 조합함으로써, 극히 소형의 조정 가능한 렌즈가 제공된다.

액츄에이터가 복수의 개별 액츄에이터 요소로서 구성되면, 스페이서 요소는 관통 구멍을 통해 연속적인 커버 글래스의 상부의 복수의 접촉 패드 및 복수의 도전체를 포함한다.

실시예 E:

본 발명의 다른 실시예는 실시예 A, B 또는 C에 설명된 것과 같은 단계들을 포함하고, 도 3에 개략적으로 도시된 바와 같이 통합된 보호 커버 글래스를 배치하는 단계를 더 포함한다.

실시예 F:

다른 실시예는 폴리머가 전체 조립체를 덮지 않도록 형성되고, 대신에 폴리머가 공정에서 각각의 렌즈 요소를 위한 개별 요소로서 제공되는 단계를 포함한다. 폴리머 재료는 인쇄, 적층, 분배, 스핀 코팅 등과 같은 임의의 종래 기술로 제조될 수 있다. 또한, 폴리머 요소는 액츄에이터 요소를 포함하는 커버 글래스 상에 또는 지지 기판 상에 적용될 수 있다.

실시예 G:

본 발명의 다른 실시예는 예를 들어 커버 글래스 요소의 조립 전에 또는 그 후에 폴리머를 부분 에칭함으로써 폴리머 층이 부분적으로 제거되어, 도 6에 도시된 바와 같은 렌즈 요소 구조물을 생성하는 단계를 포함한다. 이 실시예에 따른 방법의 이점은 액츄에이터 요소의 변형이 쉬워져서, 요구되는 구동 전압이 낮아질 수 있다는 것이다.

실시예 H:

본 발명의 다른 실시예는 실시예 D에 설명된 것과 같은 단계들을 포함하지만, 연속적인 벽으로서 스페이서 재료를 제공하는 단계를 더 포함한다. 이것은 액츄에이터 요소 및 가요성 재료를 포함하는 기밀하게 밀봉된 구획의 형성을 편리하게 한다. 이 실시예는 가요성 요소로서 적용 가능한 재료의 범위를 확장시키는데, 이는 가요성 재료가 휘발성을 가진 액체를 함유하는 겔 또는 고점성 폴리머를 포함할 수 있기 때문이다.

실시예 I:

본 발명의 또 다른 실시예는 지지 글래스가 글래스-온-실리콘(glass-on-silicon) 기판으로 대체되는 단계를 포함하고, 여기에서는 실리콘에 개구가 제공되고, 그 안에 광경로가 위치한다. 도 7은 개략도이다. 이 실시예의 장점은 전기 접촉을 위한 관통 구멍을 형성하는 사용 가능한 공정을 편리하게 하면서, 글래스 자체의 두께가 작더라도 지지 글래스의 양호한 기계적 안정성을 유지한다는 것이다.

본 발명의 이 실시예에서, 액츄에이터를 가동 및 제어하기 위한 구동 전자 장치 및 제어 로직은 기판의 실리콘 부분에 적층된 집적 회로로서 제공될 수 있거나, 또는 당업자에게 알려진 바와 같이 실리콘 재료와 일체형 부분일 수 있다.

Claims (16)

1. 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법이며,

   투명 지지체 상에 복수의 스페이서 부재를 사전 결정된 격자 패턴으로 형성하는 단계와,

   스페이서 부재를 포함하는 투명 지지체 상에 스핀 형성에 의해 프리-폴리머를 도포하는 단계와,

   도포된 프리-폴리머의 상부에 사전 조립된 액츄에이터를 가진 연속 커버 글래스를 부착하는 단계와,

   액츄에이터를 둘러싸는 원형 부분을 커버 글래스의 상부에 마스킹하고, 그 후 커버 글래스의 원형 부분의 주변에 액츄에이터를 갖는 상태로 커버 글래스의 원형 부분을 포함하는 부유 활동 디스크를 프리-폴리머 상부에 에칭에 의해 제공하는 단계와,

   액츄에이터를 위한 전기 접점을 형성하는 단계를 포함하는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
2. 제1항에 있어서, 조정 가능한 렌즈 조립체는 웨이퍼 상에 제조된 복수의 렌즈 조립체의 부분이며, 격자 패턴에 의해 제공된 방향을 따라 전체 웨이퍼를 톱질함으로써 개별의 조정 가능한 렌즈 조립체를 제공하는 웨이퍼 톱질 단계를 더 포함하고, 스페이서 부재는 각각의 스페이서 부재의 일부가 싱귤레이션 후에 렌즈 조립 체의 각각의 견본에 남아있도록 톱질에 의해 분할되는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
3. 제1항에 있어서, 제조될 각각의 렌즈 조립체와 관련된 복수의 개구가 연속 커버 글래스에 배치되고, 액츄에이터를 포함하는 복수의 글래스 디스크가 연속 커버 글래스의 복수의 개구 각각의 내부에서 폴리머의 상부에 부유하도록 조립되는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
4. 제1항에 있어서, 연속 커버 글래스를 부착하는 단계는 프리-폴리머를 도포하는 단계 전에 수행되는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
5. 제1항에 있어서, 스페이서 부재는, 먼저 연속 글래스 커버를 실리콘 기판에 접합하고, 실리콘 기판에 마스크를 도포하여 스페이서 요소의 형태를 규정하고, 스페이서 부재를 제공하도록 실리콘 기판을 에칭하는 것에 의해 형성되는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
6. 제5항에 있어서, 실리콘 기판이 에칭되어 스페이서 부재를 형성하기 전에, 실리콘 기판에 접합된 연속 커버 글래스 상에 액츄에이터가 형성되는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
7. 제1항에 있어서, 액츄에이터에 부착된 전극을 위한 접촉 패드를 제공하기 위해 스페이서 부재에는 연속 커버 글래스 내의 관통 구멍 및 전기 전도성 재료가 제공되는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
8. 제7항에 있어서, 액츄에이터가 복수의 액츄에이터 요소로 만들어지는 경우에 스페이서 부재는 복수의 도전체를 포함하는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
9. 제1항에 있어서, 렌즈 조립체에는 추가적인 보호 글래스 조립체가 배치되는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 프리-폴리머는 웨이퍼 상의 각각의 렌즈 조립체의 중심에 프리-폴리머의 적층체로서 제공되는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
11. 제1항 또는 제2항에 있어서, 프리-폴리머는 연속 커버 글래스 상의 각각의 렌즈 조립체의 중심에 프리-폴리머의 적층체로서 제공되는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
12. 제10항에 있어서, 프리-폴리머의 적층은 인쇄, 적층, 분배, 스핀 코팅 또는 유사 기술에 의해 이루어지는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
13. 제1항에 있어서, 프리-폴리머가 적층 후에 부분적으로 제거되는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
14. 제1항에 있어서, 스페이서 부재는 각각의 렌즈 조립체의 주변 둘레에 연속적인 벽으로서 배치되는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
15. 제1항에 있어서, 투명 지지체는 글래스-온-실리콘(glass-on-silicon) 기판에 의해 제공되고, 실리콘에 개구가 제공되어 빛이 렌즈 조립체를 통과하는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.
16. 제15항에 있어서, 투명 지지체의 실리콘 부분은 각각의 렌즈 조립체의 액츄에이터를 각각 구동 및 제어하는 복수의 전자 장치를 포함하는, 조정 가능한 렌즈 조립체의 제조 방법.

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