KR101339050B1

KR101339050B1 - 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기

Info

Publication number: KR101339050B1
Application number: KR1020087019102A
Authority: KR
Inventors: 노부유키 가사마
Original assignee: 미라이얼 가부시키가이샤
Priority date: 2006-07-19
Filing date: 2007-07-03
Publication date: 2013-12-09
Also published as: US8079477B2; JP2008028016A; JP4947631B2; US20110042266A1; DE112007001695T5; WO2008010411A1; KR20090041359A

Abstract

웨이퍼 재치 트레이(1) 상면의 반도체 웨이퍼 재치위치에는 탄력성이 있는 웨이퍼 재치 쿠션 시트(5)가 배치되고, 그 웨이퍼 재치 쿠션 시트(5)에는 웨이퍼 재치 트레이(1)에 대하여 착탈하도록 흡착되는 착탈가능 흡착면(5B)이 형성되어 있다. 그 결과, 반도체 웨이퍼가 반송 중 등에 있어서 파손되는 일이 없고, 또한 필요에 따라 웨이퍼 재치 쿠션 시트(5)를 웨이퍼 재치 트레이(1)에 대하여 간편하게 탈착하여 용이하게 세정하거나 교환하거나 할 수 있다.

Description

쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기{WAFER CONTAINER WITH CUSHION SHEET}

본 발명은, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer)를 반송 또는 보관하기 위해서 이용되는 쿠션 시트(cushion sheet)를 구비하는 웨이퍼 수납용기(wafer 收納容器)에 관한 것이다.

반도체의 제조공정에 있어서, 얇은 반도체 웨이퍼를 각 공정간 혹은 각각의 공정 내에서 반송 또는 보관할 때에, 반도체 웨이퍼를 파손시키거나 오손(汚損)시킬 우려가 없도록 반도체 웨이퍼는 웨이퍼 수납용기 내에 수납된다. 그리고 반도체 웨이퍼를 한장 한장 독립하여 안전하게 수납할 수 있도록, 복수의 웨이퍼 재치 트레이를 포개고, 두개의 웨이퍼 재치 트레이의 사이에 형성되는 내측공간 내에 반도체 웨이퍼를 한 장씩 개별로 수납하도록 한 웨이퍼 수납용기가 제안되어 있다(예를 들면 특허문헌1).

또한 최근과 같이 극박화(極薄化)가 진행되어 취약해진 반도체 웨이퍼를 안전하게 수납하기 위해서, 두개의 웨이퍼 재치 트레이의 사이에 형성되 는 내측공간 내에서 한 장의 반도체 웨이퍼를 2장의 쿠션 시트의 사이에 삽입한 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기가 제안되어 있다. 반도체 웨이퍼를 쿠션 시트의 사이에 삽입함으로써 반도체 웨이퍼가 진동이나 충격 등의 외력에 의하여 파손되는 것이 방지된다(예를 들면 특허문헌2).

특허문헌1 : 일본국 공개특허공보 특개2003-168731

특허문헌2 : 일본국 공개특허공보 특개2005-191419

[해결하고자 하는 과제]

반도체 웨이퍼를 수송, 반송할 때나, 제조공정 등에 있어서 반도체 웨이퍼를 실은 웨이퍼 재치 트레이를 다른 웨이퍼 재치 트레이로부터 떼어낼 때나, 웨이퍼 재치 트레이에 실려 있는 반도체 웨이퍼의 모양을 체크할 때 등에 있어서, 반도체 웨이퍼가 웨이퍼 재치 트레이 내에서 뜻하지 않게 미끄러지거나 웨이퍼 재치 트레이가 기운 상태로 되거나 할 경우가 있다. 또한 웨이퍼 재치 트레이는 각 공정간에서 반도체 웨이퍼를 몇 번씩이나 출납하면서 반복하여 사용될 경우가 많으므로, 그 도중에 쿠션 시트에 먼지 등이 부착될 경우가 있다. 이렇게 하면 쿠션 시트로부터 반도체 웨이퍼로 먼지가 옮겨져서 반도체 웨이퍼를 사용할 수 없을 우려가 있으므로, 쿠션 시트는 단독으로 세정 또는 교환할 수 있도록, 웨이퍼 재치 트레이에 간편하게 탈착(脫着)할 수 있도록 형성되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 목적은, 반도체 웨이퍼가 반송 중 등에 있어서 파손되는 일이 없고, 또한 필요에 따라 쿠션 시트를 트레이에 대하여 간편하게 탈착하여 용이하게 세정하거나 교환하거나 할 수 있는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기를 제공하는 것에 있다.

[과제해결수단]

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기는, 반도체 웨이퍼를 실어서 지지하기 위한 복수의 웨이퍼 재치 트레이가 포개져서, 웨이퍼 재치 트레이에 실리는 반도체 웨이퍼가 그 웨이퍼 재치 트레이와 그 상측에 인접하여 포개진 웨이퍼 재치 트레이의 사이에 형성되는 내측공간 내에 수납된 상태가 되는 구성을 구비하고, 웨이퍼 재치 트레이 상면의 반도체 웨이퍼 재치위치에는 탄력성이 있는 웨이퍼 재치 쿠션 시트가 배치되고, 그 웨이퍼 재치 쿠션 시트에는 웨이퍼 재치 트레이에 대하여 착탈하도록 흡착되는 착탈가능 흡착면이 형성되어 있는 것이다.

또, 웨이퍼 재치 쿠션 시트는 반도체 웨이퍼의 대략 전체면을 실을 수 있는 크기로 형성되어 있고, 그 웨이퍼 재치 쿠션 시트의 이면측의 일부 또는 전체면에 착탈가능 흡착면이 형성되어 있으면 좋고, 복수의 웨이퍼 재치 트레이를 서로 포갠 상태에서 임의의 중첩위치에 있어서 해제할 수 있도록 결합하기 위한 트레이 결합기구가 설치되어 있더라도 좋다.

그리고 반도체 웨이퍼를 웨이퍼 재치 쿠션 시트 쪽으로 가압하기 위한 탄력성이 있는 웨이퍼 가압 쿠션 시트가 웨이퍼 재치 트레이의 이면측에 배치되어 있더라도 좋고, 웨이퍼 재치 트레이의 이면에 착탈하도록 흡착되는 착탈가능 흡착면이 웨이퍼 가압 쿠션 시트에 형성되어 있더라도 좋다. 또, 웨이퍼 재치 쿠션 시트에 있어서 반도체 웨이퍼에 접촉하는 쪽의 면에, 반도체 웨이퍼에 대하여 착탈하도록 흡착되는 착탈가능 흡착면이 형성되어 있더라도 좋다. 그 경우에는, 반도체 웨이퍼에 대한 웨이퍼 재치 쿠션 시트의 흡착력이, 웨이퍼 재치 트레이에 대한 웨이퍼 재치 쿠션 시트의 흡착력보다 작게 설정되어 있으면 좋다.

또, 착탈가능 흡착면이 다수의 미세 흡입반에 의하여 형성되어 있어서, 미세 흡입반을 흡착상대 쪽으로 가압함으로써 미세 흡입반과 그 흡착상대가 흡착 고정된 상태가 되도록 하여도 좋다. 그 경우에, 미세 흡입반이 연속 기포형 또는 독립 기포형의 발포체의 기포가 외기로 개구한 상태의 것으로 형성되어 있더라도 좋고, 미세 흡입반이 발포 엘라스토머계 고분자 재료, 발포 고무계 고분자 재료 또는 발포 우레탄계 고분자 재료로 형성되어 있더라도 좋다. 발포 고무계 고분자 재료의 경우에, 그것이 아크릴산 에스테르 공중합체로 이루어지는 발포 아크릴 라텍스이더라도 좋다.

또한 웨이퍼 재치 쿠션 시트 또는 웨이퍼 가압 쿠션 시트가, 착탈가능 흡착면을 구비하는 흡착 기능층과 탄력적인 쿠션으로서 기능하는 쿠션 기능층을 일체로 적층하여 구성되어 있더라도 좋다. 그 경우에, 쿠션 기능층이 탄력성을 구비하는 엘라스토머계 고분자 재료 또는 발포 고분자 재료에 의하여 형성되어 있더라도 좋다. 또한 웨이퍼 재치 쿠션 시트 및 웨이퍼 가압 쿠션 시트의 쌍방 또는 일방의 전기적인 표면저항이 10⁸∼10¹⁰Ω의 범위에 있으면 좋다.

[발명의 효과]

본 발명에 의하면, 웨이퍼 재치 트레이 상면의 반도체 웨이퍼 재치위치에는 탄력성이 있는 웨이퍼 재치 쿠션 시트가 배치되고, 그 쿠션 시트에는 트레이에 대하여 착탈하도록 흡착되는 착탈가능 흡착면이 형성되어 있으므로, 반도체 웨이퍼가 반송 중 등에 있어서 파손되는 일이 없고, 또한 필요에 따라 쿠션 시트를 트레이에 대하여 간편하게 탈착하여 용이하게 세정하거나 교환하거나 할 수 있다.

도1은, 본 발명에 관한 제1의 실시예를 나타내는 웨이퍼 재치 트레이로부터 쿠션 시트가 떼어내지는 상태의 측면 단면도이다.

도2는, 본 발명에 관한 제1의 실시예를 나타내는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 재치 트레이가 다수 포개진 상태의 일부를 분리하여 나타내는 사시도이다.

도3은, 본 발명에 관한 제1의 실시예를 나타내는 두개의 웨이퍼 재치 트레이가 분리된 상태의 측면 단면도이다.

도4는, 본 발명에 관한 제1의 실시예를 나타내는 두개의 웨이퍼 재치 트레이가 결합된 상태의 측면 단면도이다.

도5는, 본 발명에 관한 제1의 실시예를 나타내는 흡착 기능층의 대략을 나타내는 단면도이다.

도6은, 본 발명에 관한 제1의 실시예를 나타내는 웨이퍼 재치 트레이 상호간의 결합이 풀어지는 상태의 부분 단면도이다.

도7은, 본 발명에 관한 제2의 실시예를 나타내는 두개의 웨이퍼 재치 트레이가 분리된 상태의 측면 단면도이다.

***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명***

1 웨이퍼 재치 트레이

5 재치 쿠션(웨이퍼 재치 쿠션 시트)

5A 쿠션 기능층 5B 흡착 기능층

5C 흡착 기능층 8 결합 구멍(트레이 결합기구)

9 결합훅(트레이 결합기구) 13 저면

14 이면

15 가압 쿠션(웨이퍼 가압 쿠션 시트)

15A 쿠션 기능층 15B 흡착 기능층

W 반도체 웨이퍼

이하에, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 관하여 설명한다.

도2는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기의 전체 구성을 나타내고 있는 것으로서, 반도체 웨이퍼(W)를 실어서 지지하기 위한 복수의 웨이퍼 재치 트레이(1)가 수평한 상태에서 상하로 포개져서 배치되어 있다. 또 도2에는, 복수 개 포개진 웨이퍼 재치 트레이(1)의 일부를 분리한 상태가 도면에 나타나 있다. 포개진 복수의 웨이퍼 재치 트레이(1)의 상하 양단에는, 도면에 나타내지 않은 기계적 인터페이스 장치(機械的 interface 裝置)와 결합시키기 위한 결합홈(3)이 형성된 한 쌍의 베이스 트레이(2)가 부착되어 있다.

예를 들면 폴리카보네이트 수지(polycarbonate 樹脂) 등과 같은 플라스틱 재료로 성형된 각 웨이퍼 재치 트레이(1)가 포개짐으로써, 웨이퍼 재치 트레이(1)에 실리는 반도체 웨이퍼(W)가, 각 웨이퍼 재치 트레이(1)와 그 상측에 인접하여 포개진 웨이퍼 재치 트레이(1)의 사이에 형성되는 내측공간 내에 수납된 상태가 된다. 다만 반도체 웨이퍼(W)는 웨이퍼 재치 트레이(1)의 상면에 부착된 웨이퍼 재치 쿠션 시트(5)(이하, 짧게 「재치 쿠션(5)」이라고 약칭한다)에 실을 수 있게 되어 있다. 6은, 재치 쿠션(5)의 주위를 그것보다 외측 위치에서 전체 둘레에 걸쳐 둘러싸는 상태로 배치되고 탄력성의 부재로 이루어지는 환상 씰부재(環狀 seal 部材), 7은, 웨이퍼 재치 트레이(1)를 개별로 기계장치로 쥘 수 있도록 각 웨이퍼 재치 트레이(1)의 가장자리부의 180도 대칭위치에 형성된 파지부(把持部)이다.

각 웨이퍼 재치 트레이(1)의 상면의 환상 씰부재(6)보다 외측 가장자리 측 위치에는, 그 웨이퍼 재치 트레이(1)의 상측에 위치하는 웨이퍼 재치 트레이(1)와 결합시키기 위한 결합 구멍(8)이 예를 들면 4곳에 형성되어 있다. 그것에 대응하여, 각 결합 구멍(8)과 탈착할 수 있도록 결합하는 결합훅(9)이, 웨이퍼 재치 트레이(1)의 이면(裏面)으로부터 하방을 향하여 4곳에 돌출하도록 형성되어 있다. 이와 같이, 복수의 웨이퍼 재치 트레이(1)를 서로 포갠 상태에서 임의의 중첩위치에 있어서 해제할 수 있도록 결합하기 위한 트레이 결합기구가, 결합 구멍(8)과 결합훅(9)으로 구성되어 있다. 10은, 결합 구멍(8)과 결합훅(9)의 결합을 해제시키는 훅 해제 키(도면에는 나타내지 않는다)를 삽입하기 위한 키 삽입 구멍이다.

도3과 도4는, 두개의 웨이퍼 재치 트레이(1)가 분리된 상태와 포개진 상태를 나타내는 측면 단면도이다. 다만 결합훅(9)의 단면(斷面)을 도면에 나타내기 위해서, 다른 단면 위치의 도면을 복합시켜 나타내고 있다. 환상 씰부재(6)는, 각 웨이퍼 재치 트레이(1)의 상면의 외측 가장자리보다 조금 내측위치에 형성된 환상홈 내에 하반부가 삽입된 상태로 배치되어 있다. 그리고 각 웨이퍼 재치 트레이(1)는, 환상 씰부재(6)보다 내측에 위치하는 부분이 상하 양면 모두 하방으로 들어간 접시 모양으로 형성되어 있다. 이것은, 웨이퍼 재치 트레이(1)에 실리는 반도체 웨이퍼(W)가 웨이퍼 재치 트레이(1)로부터 쉽게 미끄러져 떨어지는 것을 방지하기 위한 효과적인 수단이 된다.

재치 쿠션(5)은, 모든 부분에 있어서 반도체 웨이퍼(W)에 대하여 화학적 악영향을 미치게 하지 않는 재료(예를 들면, 불순물 가스의 발생이 규정치 이하인 것 같은 재료)에 의하여, 반도체 웨이퍼(W)의 대략 전체면을 실을 수 있는 크기의 원반 모양으로 형성되어 있다. 그러한 재치 쿠션(5)은, 반도체 웨이퍼(W)를 외부로부터의 충격 등으로부터 보호하는 탄력적인 쿠션으로서 기능하는 쿠션 기능층(5A)과, 웨이퍼 재치 트레이(1)의 저면(13)에 대하여 착탈하도록 흡착되는 착탈가능 흡착면을 구비하는 흡착 기능층(5B)을 적층시켜 일체화하여 구성되어 있다. 그 중에서 쿠션 기능층(5A)은, 예를 들면 발포 우레탄(發泡 urethane) 등과 같은 발포 고분자 재료(發泡高分子材料) 또는 엘라스토머계 고분자 재료(elastomer系高分子材料) 등과 같은 탄력성을 구비하는 고분자 재료에 의하여 형성되어 있다.

재치 쿠션(5)의 이면측의 층을 형성하는 흡착 기능층(5B)은, 예를 들면 주위에 화학적 악영향을 미치게 하지 않는 아크릴산 에스테르 공중합체(acryl酸 ester 共重合體)로 이루어지는 발포 아크릴 라텍스(發泡 acryl latex) 등과 같은 발포 고무계 고분자 재료, 발포 엘라스토머계 고분자 재료 또는 발포 우레탄계 고분자 재료로 형성되어 있다. 그리고 도5에 대략 나타나 있는 바와 같이, 발포체로 이루어지는 흡착 기능층(5B)에 다수 형성된 기포(5h) 중에서 흡착 기능층(5B)의 이면위치에서 외기(外氣)를 향하여 개구하는 기포(5h')가 각각 미세 흡입반으로서 기능한다. 따라서 이 실시예의 흡착 기능층(5B)은 그 이면 전체면이 미세 흡입반으로 되어 있고(다만, 이면 의 일부여도 지장이 없다), 미세 흡입반을 흡착상대인 웨이퍼 재치 트레이(1)의 저면(13) 쪽으로 가압함으로써 미세 흡입반이 저면(13)에 흡착 고정된 상태가 된다. 또, 그러한 흡착력을 확보하기 위해서, 웨이퍼 재치 트레이(1)의 저면(13)은 활면(滑面)으로 형성하는 것이 바람직하다. 또한 흡착 기능층(5B)의 미세 흡입반(기포(5h'))의 평균 지름은 10μm 이상이고 50μm 이하인 것이 바람직하다. 또, 기포(5h)는 연속 기포 또는 독립 기포의 어느 것이어도 좋고, 도5에는 이를 단순화하여 나타내고 있다.

이와 같이 구성된 재치 쿠션(5)은, 웨이퍼 재치 트레이(1)의 저면(13)에 대하여 어느 정도 이상의 힘으로 전체면에 걸쳐 가압하면, 흡착 기능층(5B)의 이면의 흡착작용에 의하여 웨이퍼 재치 트레이(1)의 저면(13)에 흡착 고정된 상태가 된다. 그 결과, 웨이퍼 재치 트레이(1)를 단독으로 기울여도 재치 쿠션(5)이 웨이퍼 재치 트레이(1)로부터 미끄러져 떨어질 우려가 없다. 그리고 재치 쿠션(5)을 손으로 잡고 어느 정도 이상의 힘으로 잡아 당기면, 도1에 나타나 있는 바와 같이 웨이퍼 재치 트레이(1)의 저면(13)으로부터 재치 쿠션(5)을 간단하게 떼어낼 수 있다. 따라서 재치 쿠션(5)을 필요에 따라 웨이퍼 재치 트레이(1)로부터 떼어내서 세정하거나 교환하거나 할 수 있다.

도3으로 되돌아가서, 웨이퍼 재치 트레이(1)의 이면(14)에는, 반도체 웨이퍼(W)를 하측의 웨이퍼 재치 트레이(1)의 재치 쿠션(5) 쪽으로 가압하기 위한 탄력성이 있는 웨이퍼 가압 쿠션 시트(15)(이하, 짧게 「가압 쿠션(15)」 이라고 약칭한다)가 착탈할 수 있도록 흡착되어 있다. 이 실시예의 가압 쿠션(15)은, 재치 쿠션(5)과 마찬가지로, 반도체 웨이퍼(W)에 대하여 화학적 악영향을 미치게 하지 않는 재료에 의하여 반도체 웨이퍼(W)의 소정의 영역 또는 대략 전체면을 가압할 수 있는 크기의 원반 모양으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 탄력적인 쿠션으로서 기능하는 쿠션 기능층(15A)과, 웨이퍼 재치 트레이(1)의 이면(하면(下面))(14)에 대하여 착탈하도록 흡착되는 착탈가능 흡착면을 구비하는 흡착 기능층(15B)을 적층시켜 일체화하여 구성되어 있다.

이 실시예의 가압 쿠션(15)을 형성하고 있는 쿠션 기능층(15A)과 흡착 기능층(15B)은, 상기의 재치 쿠션(5)을 형성하고 있는 쿠션 기능층(5A)과 흡착 기능층(5B)과 동일한 구성으로 되어 있다. 따라서 가압 쿠션(15)은 웨이퍼 재치 트레이(1)의 이면(14)에 착탈하도록 흡착 고정하는 것이 가능하고, 손으로 쥐고 어느 정도 이상의 힘으로 잡아 당기면, 도1에 나타나 있는 바와 같이 웨이퍼 재치 트레이(1)의 이면(14)으로부터 간단하게 떼어내서 세정하거나 교환하거나 할 수 있다.

다시, 도3, 도4로 되돌아가서, 결합훅(9)은 웨이퍼 재치 트레이(1)의 이면으로부터 돌출하는 가늘고 긴 축부(軸部)의 선단에, 외측으로 L자 모양으로 꺾여 구부러진 훅부가 일체로 형성된 구성으로 되어 있다. 따라서 도4에 나타나 있는 바와 같이 웨이퍼 재치 트레이(1)를 그 밑 위치의 웨이퍼 재치 트레이(1)와 포개지는 상태로 실어서 가압하면, 결합훅(9)의 축부 가 탄성변형 하면서 훅부가 결합 구멍(8) 내로 삽입된 후에, 결합훅(9)이 탄성변형 전의 원래의 형상으로 되돌아간다. 그 결과, 결합훅(9)의 훅부가 빠져 나갈 수 없는 상태로 결합 구멍(8)과 결합하고, 포개진 두 개의 웨이퍼 재치 트레이(1) 상호간이 결합된 상태가 된다.

그러면, 하측의 웨이퍼 재치 트레이(1)에 부착되어 있는 환상 씰부재(6)가 전체 둘레에 걸쳐 상측의 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기의 이면에 의하여 찌그러진 상태가 되고, 그 내측의 반도체 웨이퍼(W)가 수용된 공간이 외부로부터 씰(seal)된 상태가 된다. 그 결과, 하측의 웨이퍼 재치 트레이(1)에 실려져 있던 반도체 웨이퍼(W)가, 하측의 재치 쿠션(5)과 상측의 가압 쿠션(15)의 사이에서 탄력적으로 협지되는 상태가 되고, 외부로부터의 충격 등의 영향을 직접 받지 않고 안전하게 지지된다. 이렇게 하여 반도체 웨이퍼(W)를 실은 웨이퍼 재치 트레이(1)를 적당한 수만큼 포개서 결합시킨 상태에서 안전하게 반송 및 보관할 수 있다.

그리고 반도체 웨이퍼(W)를 꺼낼 때에는, 도6에 나타나 있는 바와 같이 도면에 나타내지 않은 훅 해제 키를 키 삽입 구멍(10)으로부터 삽입하여 결합훅(9)의 축부를 탄성변형 시킨다. 그에 따라 결합훅(9)이 결합 구멍(8)으로부터 빠지는 상태가 되므로, 상측의 웨이퍼 재치 트레이(1)를 들어 올려서 하측의 웨이퍼 재치 트레이(1)와 분리시킬 수 있다. 그 때에, 반도체 웨이퍼(W)는 하측의 웨이퍼 재치 트레이(1)의 재치 쿠션(5) 상에 실린 상태로 되어 있으므로, 그대로의 상태에서 반도체 웨이퍼(W)에 대한 검사를 실시할 수 있다.

도7은, 본 발명에 관한 제2의 실시예인 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기를 나타내는 도면으로서, 재치 쿠션(5)에 있어서 반도체 웨이퍼(W)에 접촉하는 쪽의 면에, 반도체 웨이퍼(W)에 대하여 착탈하도록 흡착되는 착탈가능 흡착면을 구비하는 흡착 기능층(5C)을 적층하여 일체화한 것이다. 그 흡착 기능층(5C)의 구성은 상기의 제1의 실시예에 나타낸 흡착 기능층(5B)이 구비하는 구성과 같아서, 착탈가능 흡착면이 다수의 미세 흡입반으로 형성되어 있다. 그 이외의 구성은 제1의 실시예와 같다.

그 결과, 이 실시예에 있어서는, 반도체 웨이퍼(W)를 실은 재치 쿠션(5)과 반도체 웨이퍼(W)가 착탈하도록 흡착되므로, 반도체 웨이퍼(W)를 항상 휘어짐이 없는 평탄한 상태로 유지할 수 있는 이점이 있다. 다만 반도체 웨이퍼(W)를 웨이퍼 재치 트레이(1)로부터 떼어낼 때에, 재치 쿠션(5)이 웨이퍼 재치 트레이(1) 측에 흡착된 상태를 유지하도록, 반도체 웨이퍼(W)에 대한 흡착 기능층(5C)의 흡착력이, 웨이퍼 재치 트레이(1)에 대한 흡착 기능층(5B)의 흡착력보다 작게 설정되어 있다. 그렇게 하기 위해서는, 웨이퍼 재치 트레이(1)에 대한 흡착 기능층(5B)과 반도체 웨이퍼(W)에 대한 흡착 기능층(5C)의 미세 흡입반(기포(5h'))의 크기를 적절하게 다르게 함으로써 용이하게 설정할 수 있다.

그런데 반도체 웨이퍼(W)의 전기적인 표면저항은 일반적으로 10⁹Ω 정 도로서, 반도체 웨이퍼(W)의 표리 양면에 접촉하는 재치 쿠션(5)과 가압 쿠션(15)의 표면저항을 그것과 같은 정도로 함으로써, 반도체 웨이퍼(W)와의 접촉면에 대한 먼지의 부착이나 반도체 웨이퍼(W)에 형성된 전자회로에 대한 전기적 악영향 등을 억제할 수 있다. 따라서 재치 쿠션(5)과 가압 쿠션(15)의 쌍방 또는 일방의 표면저항이 10⁸∼10¹⁰Ω의 범위에 있으면 좋고, 가장 바람직하게는 재치 쿠션(5)과 가압 쿠션(15)의 표면저항이 모두 반도체 웨이퍼(W)와 같은 10⁹Ω 정도이면 좋다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라, 예를 들면 재치 쿠션(5)과 가압 쿠션(15)은 각각, 반드시 반도체 웨이퍼(W) 전체면을 받지 않아도 좋다. 또한 트레이 결합기구는, 결합훅(9)을 결합 구멍(8)에 결합시키는 구조로 한정되지 않고, 그 이외의 어떤 구조의 것이어도 지장이 없다.

Claims

반도체 웨이퍼(半導體 wafer)를 실어서 지지하기 위한 복수의 웨이퍼 재치 트레이(wafer 載置 tray)가 포개져서, 상기 웨이퍼 재치 트레이에 실리는 반도체 웨이퍼가 그 웨이퍼 재치 트레이와 그 상측에 인접하여 포개진 웨이퍼 재치 트레이 사이에 형성되는 내측공간 내에 수납된 상태가 되는 구성을 구비하고,

상기 웨이퍼 재치 트레이 상면(上面)의 반도체 웨이퍼 재치위치에는 탄력성이 있는 웨이퍼 재치 쿠션 시트(wafer 載置 cushion sheet)가 배치되고, 그 웨이퍼 재치 쿠션 시트에는 상기 웨이퍼 재치 트레이에 대하여 착탈(着脫)하도록 흡착(吸着)되고, 상기 웨이퍼 재치 쿠션 시트에 있어서 상기 반도체 웨이퍼에 접촉하는 쪽의 면에, 상기 반도체 웨이퍼에 대하여 착탈하도록 흡착되는 착탈가능 흡착면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
제1항에 있어서,

상기 웨이퍼 재치 쿠션 시트는 상기 반도체 웨이퍼의 전체면(全體面)을 실을 수 있는 크기로 형성되어 있고, 그 웨이퍼 재치 쿠션 시트의 이면측(裏面側)의 일부 또는 전체면에 상기 착탈가능 흡착면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
제1항에 있어서,

상기 복수의 웨이퍼 재치 트레이를 서로 포갠 상태에서 임의의 중첩위치(重疊位置)에 있어서 해제할 수 있도록 결합하기 위한 트레이 결합기구(tray 結合機構)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
제1항에 있어서,

상기 반도체 웨이퍼를 상기 웨이퍼 재치 쿠션 시트 쪽으로 가압하기 위한 탄력성이 있는 웨이퍼 가압 쿠션 시트가 상기 웨이퍼 재치 트레이의 이면측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
제4항에 있어서,

상기 웨이퍼 재치 트레이의 이면에 착탈하도록 흡착되는 착탈가능 흡착면이 상기 웨이퍼 가압 쿠션 시트에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
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제1항에 있어서,

상기 반도체 웨이퍼에 대한 상기 웨이퍼 재치 쿠션 시트의 흡착력이, 상기 웨이퍼 재치 트레이에 대한 상기 웨이퍼 재치 쿠션 시트의 흡착력보다 작게 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
제1항에 있어서,

상기 착탈가능 흡착면이 다수의 미세 흡입반(微細吸入盤)에 의하여 형성되어 있고, 상기 미세 흡입반을 흡착상대 쪽으로 가압함으로써 상기 미세 흡입반과 그 흡착상대가 흡착 고정된 상태가 되는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
제8항에 있어서,

상기 미세 흡입반이, 연속 기포형(連續氣泡型) 또는 독립 기포형(獨立氣泡型)의 발포체(發泡體)의 기포가 외기(外氣)로 개구(開口)한 상태의 것으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
제9항에 있어서,

상기 미세 흡입반이, 발포 엘라스토머계 고분자 재료(發泡 elastomer系高分子材料), 발포 고무계 고분자 재료(發泡고무系高分子材料) 또는 발포 우레탄계 고분자 재료(發泡 urethane系高分子材料)로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
제10항에 있어서,

상기 발포 고무계 고분자 재료가 아크릴산 에스테르 공중합체(acryl酸 ester 共重合體)로 이루어지는 발포 아크릴 라텍스(發泡 acryl latex)인 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
제4항, 제5항, 제7항∼제11항 중 어느 하나의 항에 있어서,

상기 웨이퍼 재치 쿠션 시트 또는 상기 웨이퍼 가압 쿠션 시트가, 상기 착탈가능 흡착면을 구비하는 흡착 기능층과 탄력적인 쿠션으로서 기능하는 쿠션 기능층을 일체로 적층하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
제12항에 있어서,

상기 쿠션 기능층이, 탄력성을 구비하는 엘라스토머계 고분자 재료 또는 발포 고분자 재료에 의하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.
제4항에 있어서,

상기 웨이퍼 재치 쿠션 시트 및 상기 웨이퍼 가압 쿠션 시트의 쌍방 또는 일방의 전기적인 표면저항이 10⁸∼10¹⁰Ω의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 쿠션 시트를 구비하는 웨이퍼 수납용기.