KR101336584B1 - 유체동압베어링 - Google Patents

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KR101336584B1 KR1020120046159A KR20120046159A KR101336584B1 KR 101336584 B1 KR101336584 B1 KR 101336584B1 KR 1020120046159 A KR1020120046159 A KR 1020120046159A KR 20120046159 A KR20120046159 A KR 20120046159A KR 101336584 B1 KR101336584 B1 KR 101336584B1
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Abstract

본 발명은 고정자 측에 장착된 고정체 및 회전자 측에 동압작용 발생을 위한 유체를 통하여 고정체와 대향하도록 장착된 회전체를 포함하고, 고정체 및/또는 회전체가 대향표면에 고경도 금속층이 피복된 구조를 가지도록 모재에 경도가 모재보다 큰 금속을 접합시킨 복합재인 클래드로 구성되기 때문에, 고정체와 회전체 간의 마찰에 따른 마모량을 줄일 수 있는 유체동압베어링을 제공한다.

Description

유체동압베어링{Fluid Dynamic Bearing}
본 발명은 샤프트(shaft)를 베어링 간극에서 발생하는 유체의 동압작용에 의하여 비접촉 상태로 지지하는 유체동압베어링에 관한 것이다.
여기에서, 유체동압베어링이라 함은 주로 HDDㆍFDD와 같은 자기디스크장치나 CD-ROMㆍCD-R/RWㆍDVD-RAM/ROM과 같은 광디스크장치나 MDㆍMO와 같은 광자기디스크장치 등의 스핀들 모터(spindle motor), 레이저빔 프린터(LBP)의 폴리곤 스캐너 모터(polygon scanner motor), 축류팬 등의 소형 모터용으로서 적합한 것을 말한다.
일반적으로, 유체동압베어링은 샤프트(2)를 레이디얼(radial) 방향으로 비접촉 지지하는 레이디얼 베어링 부분(R1,R2)과 샤프트(2)를 스러스트(thrust) 방향으로 비접촉 지지하는 스러스트 베어링 부분(T1,T2)을 포함한다. 레이디얼 베어링 부분은 축 부재(2a)의 외주면 또는 슬리브(sleeve)(8)의 내주면(8a)에 형성된 그루브(groove)를 가진다. 스러스트 베어링 부분은 플랜지(flange) 부재(2b)의 상면(2b1) 또는 슬리브의 하단면(8c), 플랜지 부재의 하면(2b2) 또는 스러스트 부재(7c)의 상면(7c1)에 각각 형성된 그루브를 가진다.(도 1 및 특허문헌 1, 2 참조)
이와 같은 유체동압베어링에서 레이디얼 및 스러스트 베어링 부분은, 샤프트가 일정한 속도 이상으로 회전 중인 경우에는 축 부재와 슬리브 사이, 플랜지 부재와 슬리브 사이 및 플랜지 부재와 스러스트 부재 사이에서 발생하는 유체의 동압작용에 의하여 샤프트를 비접촉 상태로 지지하나, 샤프트가 일정한 속도 이하로 회전되는 경우에는 그러하지 못하여,(예를 들어, 기동 초기에는 샤프트가 슬리브 및 스러스트 부재와 접촉하면서 회전되기 시작하고, 또 기동 정지 시에는 샤프트의 회전속도가 차츰 감속됨에 따라 샤프트가 슬리브 및 스러스트 부재와 접촉하면서 회전되다가 정지한다.) 샤프트와 슬리브 및 샤프트와 스러스트 부재 사이에서는 마찰이 발생된다.
샤프트와 슬리브, 샤프트와 스러스트 부재 간의 마찰에 의하면, 샤프트와 슬리브 및 샤프트와 스러스트 부재는 서로 대향하는 면(축 부재의 외주면과 슬리브의 내주면, 플랜지 부재의 상면과 슬리브의 하단면 및 플랜지 부재의 하면과 스러스트 부재의 상면)이 마모되고, 나아가서는 이러한 대향하는 면에 형성된 그루브가 변형(그루브의 깊이 축소 등)되어 유체의 동압작용이 비정상적으로 이루어질 수 있다.
샤프트와 슬리브, 샤프트와 스러스트 부재 간 마찰에 따른 마모 정도는 샤프트나 슬리브나 스러스트 부재 등을 경도가 큰 소재로 구성하면 줄일 수 있다. 그러나, 경도가 큰 소재는 그만큼 가공이 어렵다는 문제점이 있었다.
일본 공개특허 제2003-065324호 일본 공개특허 제2003-336636호
본 발명의 목적은 제조가 용이하고 슬리브나 스러스트 부재와, 샤프트 사이의 마찰에 의한 마모량을 줄일 수 있는 유체동압베어링을 제공하는 데 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유체동압베어링은, 축 부재(111) 및 상기 축 부재(111)에 직교하게 고정된 플랜지부재(115)를 가진 샤프트(11); 축 부재(111)의 외주에 배치된 슬리브(12); 축 부재(111)와 슬리브(12) 사이에 마련되고, 레이디얼 베어링 간극에서 발생하는 유체의 동압작용에 의해 샤프트(11)를 레이디얼 방향으로 비접촉 지지하는 레이디얼 베어링 부분(14); 플랜지부재(115)와 슬리브(12) 사이에, 플랜지부재(115)와 스러스트부재(132) 사이에 각각 마련되고, 스러스트 베어링 간극에서 발생하는 유체의 동압작용에 의해 샤프트(11)를 스러스트 방향으로 비접촉 지지하는 스러스트 베어링 부분(15A, 15B); 및 상기 슬리브(12)의 외주에 고정된 하우징 부재(131) 및 상기 하우징 부재(131)에 일체로 형성되어 상기 플랜지부재(115)와 대향하도록 배치된 스러스트부재(132)를 가진 하우징(13);을 포함하고, 상기 스러스트 부재(132)는 알루미늄 계열 금속으로 이루어진 모재(13-1)와, 상기 모재(13-1)의 플랜지 부재(115)와 대향하는 표면에 피복된 제1금속층(13-2)와, 상기 모재(13-1)의 다른 표면에 피복된 제2금속층(13-3)으로 이루어지며, 상기 제1금속층(13-2) 및 상기 제2금속층(13-3)은 상기 모재(13-1)에 비해 경도가 상대적으로 큰 금속으로 이루어지고, 상기 스러스트 부재(132)는 상기 모재(13-1)의 양면에 제1금속층(13-2) 및 제2금속층(13-3)이 열과 압력에 의해 접합된 복합재인 클래드로 구성되며, 상기 축 부재(111)는 속이 빈 파이프 구조로 이루어진 중공축 소재(112)와, 상기 중공축 소재(112)의 내부공간에 충전되되 스프링백(springback)율이 상기 중공축 소재(112)에 비해 작도록 상기 중공축소재(112)의 밀도 보다 작은 밀도를 가진 소결금속으로 이루어지는 보강재(113)와, 중공축 소재(112)의 개방된 양단을 각각 차폐하는 마감부재(114A, 114B)를 포함하며,
상기 보강재는 알루미늄(aluminium)계열 금속분말을 압축성형한 후에 가열하여 고결시킨 다공성 구조의 소결금속인 것을 특징으로 한다.
상기 제1금속층(13-2)과 제2금속층(13-3)은 동일한 금속으로 이루어지고, 상기 모재(13-1)는 알루미늄 계열 금속이고, 기 제1 및 제2금속층(13-2, 13-3)은 스테인리스스틸 계열 금속인 것을 특징으로 한다.

본 발명은 슬리브, 스러스트 부재, 샤프트에 대한 용이한 가공성을 기대할 수 있고, 구성요소들 사이의 마모에 따른 작동 불량을 최소화할 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 유체동압베어링이 도시된 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 유체동압베어링이 적용된 스핀들 모터를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 유체동압베어링이 도시된 단면도이다.
도 4, 5는 도 3에 도시된 축 부재를 나타내는 사시도 및 단면도이다.
도 6은 도 3에 도시된 하우징의 일부분을 나타내는 단면도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 유체동압베어링이 적용된 스핀들 모터를 나타내는 단면도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 스핀들 모터는 샤프트(11)를 비접촉 방식으로 회전 가능하게 지지하는 유체동압베어링(10)(이하, 도면부호의 병기는 생략한다.), 통형 부분(21)를 가지며 이 통형 부분(21)의 내주에 유체동압베어링이 고정된 케이싱(20), 샤프트(11)에 장착된 디스크 허브(disk hub)(30), 통형 부분(21)의 외주에 장착된 고정자(스테이터 코일, stator coil)(40), 디스크 허브(30)에 고정자(40)와 대향하도록 장착된 회전자(로터 마그넷, rotor magnet)(50)를 포함한다.
디스크 허브(30)는 적어도 하나의 디스크(D)를 유지한다. 회전자(50)는 고정자(40)에 전원을 공급하면 고정자(40)와의 사이에서 발생하는 전자기력으로 인하여 회전된다. 물론, 디스크 허브(30) 및 샤프트(11)도 회전자(50)와 함께 회전된다.
도 3은 본 발명에 따른 유체동압베어링이 도시된 단면도이다.
도 2, 3을 참조하면, 샤프트(11)는 축 부재(111)와 플랜지 부재(115)를 가진다. 플랜지 부재(115)는 가운데에 구멍이 형성된 원형 플레이트 구조를 가진다. 축 부재(111)는 플랜지 부재(115)의 내주에 플랜지 부재(115)와 직교하도록 고정되어, 플랜지 부재(115)는 축 부재(111)의 외주에 마련된다. 유체동압베어링은 이러한 샤프트(11)를 비롯하여 슬리브(12), 하우징(13), 레이디얼 베어링 부분(14) 및 제1과 제2의 두 스러스트 베어링 부분(15A,15B)을 더 포함하는데, 슬리브(12)의 내주에는 축 부재(111)가 삽입되어, 슬리브(12)는 양단 중 한쪽의 면(도 3에서 보아 하단면)이 플랜지 부재(115)의 한쪽 면(도 3에서 보아 상면)과 대향한다.
하우징(13)은 하우징(13)의 본체인 하우징 부재(131) 및 하우징 부재(131)와 일체형인 스러스트 부재(132)를 가진다. 하우징 부재(131)는 통 구조를 가지고, 스러스트 부재(132)는 가운데 부분에 구멍이 형성되도록 하우징 부재(131)의 양단 중 한쪽에서 내측으로 연장되어 내향하는 플랜지 구조를 가짐으로써, 하우징(13)은 전체적으로 보았을 때 컵(cup)의 구조를 가진다. 이러한 하우징(13)은 스러스트 부재(132)가 플랜지 부재(115)의 다른 쪽 면(도 3에서 보아 하면)과 대향하도록 슬리브(12)의 외주에 하우징 부재(131)가 압입, 고정된다.
레이디얼 베어링 부분(14)은 축 부재(111)와 슬리브(12) 사이(레이디얼 베어링 간극)에서 발생하는 유체의 동압작용에 의하여 샤프트(11)를 레이디얼 방향으로 비접촉 지지한다. 두 스러스트 베어링 부분(15A,15B)은 플랜지 부재(115)와 슬리브(12) 사이(제1 스러스트 베어링 간극), 플랜지 부재(115)와 스러스트 부재(132) 사이(제2 스러스트 베어링 간극)에서 각각 발생하는 유체의 동압작용으로 샤프트(11)를 스러스트 방향으로 비접촉 지지한다. 레이디얼 베어링 부분(14)은 축 부재(111)의 외주면에 형성된 레이디얼 그루브(141)를 포함한다. 레이디얼 그루브(141)는 헤링본(herringbone) 형상일 수 있다. 실시조건에 따라서는, 축 부재(111)가 아닌 슬리브(12)의 내주면에 레이디얼 그루브(141)를 형성할 수 있다. 또는, 축 부재(111)의 외주면과 슬리브(12)의 내주면 둘 모두에 레이디얼 그루브(141)를 형성할 수 있다. 제1 스러스트 베어링 부분(15A)은 플랜지 부재(115)의 한쪽 면(도 3에서 보아 상면)에 형성된 제1 스러스트 그루브(151A)를 포함하고, 제2 스러스트 베어링 부분(15B)은 플랜지 부재(115)와 대향하는 스러스트 부재(132)의 한쪽 면에 형성된 제2 스러스트 그루브(151B)를 포함한다. 제1과 제2의 스러스트 그루브(151A,151B)는 스파이럴(spiral) 형상일 수 있다. 실시조건에 따라서는, 제1 스러스트 그루브(151A)는 도 3에서 보아 슬리브(12)의 하단면에 형성될 수도 있고, 또는 이 슬리브(12)의 하단면과 도 3에서 보아 플랜지 부재(115)의 상면 둘 모두에 형성될 수도 있다. 또한, 제2 스러스트 그루브(151B)는 도 3에서 보아 플랜지 부재(115)의 하면에, 또는 이 플랜지 부재(115)의 하면과 스러스트 부재(132)의 한쪽 면 둘 모두에 형성될 수 있다.
축 부재(111)가 도 4와 도 5에 도시되어 있다. 도 4, 도 5에 도시된 바와 같이, 축 부재(111)는 속이 빈 파이프의 구조를 가지는 중공축 소재(112), 중공축 소재(112)의 내부공간에 충전된 보강재(113), 중공축 소재(112)의 개방된 양단(도 4, 도 5에서 보아 상, 하단)을 각각 차폐하기 위한 마감부재(114A,114B)를 포함한다.
중공축 소재(112)는 스테인리스스틸 계열 금속으로 이루어진다. 레이디얼 그루브(141)는 전조(form rolling)에 의하여 중공축 소재(112)의 외주를 따라 성형된다. 레이디얼 그루브(141)는 2열 이상이 마련될 수 있다. 그리고, 이렇게 레이디얼 그루브(141)를 2열 이상 마련한 경우, 각 열의 레이디얼 그루브(141)는 중공축 소재(112)의 길이(축)방향으로 서로 이격되도록 배치하는 것이 바람직하다.
보강재(113)는 중공축 소재(112)를 구조적으로 보강한다. 이를 위하여, 보강재(113)는 중공축 소재(112)의 내부공간 전체에 충전될 수도 있고 내부공간 일부분(예를 들어, 외력을 집중적으로 받는 부분)에만 충전될 수도 있다. 보강재(113)는 그 스프링백(spring back)율이 중공축 소재(112)에 비하여 작도록 그 밀도가 중공축 소재(112)에 비하여 작은 금속으로 이루어진다. 이러한 보강재(113)로는 알루미늄 계열 금속분말을 압축하고 가열하여 결합시키는 방법으로 제조함에 따라 다공성 구조를 가지는 소결금속을 적용하는 것이 바람직하다.
마감부재(114A,114B)는 중공축 소재(112)의 양쪽 개방부에 각각 끼워진 상태로 결합되어 보강재(113)인 소결금속으로부터의 부스러기가 중공축 소재(112)의 외부로 떨어져 나가는 것을 방지한다. 도 4, 도 5에서 보아 중공축 소재(112)의 개방된 상단을 차폐하는 마감부재(114A)는 외부로 드러나는 끝 부분에 홈(H1)이 중공축 소재(112)의 길이방향을 따라 마련되는데, 이 홈(H1)은 내주에 암나사가 형성된 암나사 홈이다. 암나사 홈(H1)에는 축 부재(111)에 디스크 허브(30)를 장착하기 위한 커버 부재(도시되지 않음) 결합용 볼트가 결합된다. 즉, 커버 부재는 축 부재(111)와 디스크 허브(30)를 결합하는 역할을 하는바, 볼트에 의하여 암나사 홈(H1)에 결합되는 것이다.
이와 같은 축 부재(111)는 중공축 소재(112)의 내부공간에 보강재(113)를 충전하고, 중공축 소재(112)의 개방된 양단을 두 마감부재(114A,114B)에 의하여 각각 차폐한 다음, 중공축 소재(112)의 외주면에 레이디얼 그루브(141)를 성형하기 위한 전조(축 부재는 다이스(dies) 사이에 끼워지고, 다이스는 이렇게 끼워진 축 부재에 압력을 가하면서 그루브 성형부에 의하여 레이디얼 그루브를 형성함.)를 행하는 순으로 제조된다.
이 때, 중공축 소재(112)의 내부공간에 충전된 보강재(113)는 전조 시의 성형압력에 의한 중공축 소재(112)의 형상 변형을 방지한다. 또, 보강재(113)의 밀도가 중공축 소재(112)에 비하여 작아서 스프링백율 또한 보강재(113)가 작기 때문에, 중공축 소재(112)에의 레이디얼 그루브(141) 성형을 위한 전조에 기인하는 스프링백 현상을 적극적으로 억제할 수 있다.
즉, 원상 회복력이 중공축 소재(112)에 비하여 작은 보강재(113)가 레이디얼 그루브(141)의 성형으로 인한 중공축 소재(112)의 변형을 일정량 흡수함에 따라 스프링백 현상을 적극적으로 억제할 수 있는 것이다. 이 같은 스프링백 현상 억제에 따르면, 레이디얼 그루브(141)를 보다 정밀하게 형성할 수 있다.
하우징(13)의 일부분이 도 6에 도시되어 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 일체형인 하우징 부재(131)와 스러스트 부재(132)는 슬리브(12) 및 플랜지 부재(115)와 대향하는 표면(하우징 부재：내주면, 스러스트 부재：도 6에서 보아 상면)에 경도가 상대적으로 큰 제1금속층(13-2)이 피복된 구조를 가지는바, 이 구조를 위하여 모재(13-1)의 한쪽 면에 경도가 모재(13-1)에 비하여 커서 내마모성이 우수한 금속을 열과 압력을 가하여 얇게 접합시킨 복합재인 클래드로 구성된다. 물론, 모재(13-1)에 접합하는 금속은 제1금속층(13-2)이 되고, 스러스트 부재(132)의 제1금속층(13-2)에는 제2 스러스트 그루브(151B)가 형성된다.
모재(13-1)는 가볍고 가공성이 우수하므로 하우징(13)을 제조하는 데 유리한 알루미늄 계열 금속으로 이루어진다. 제1금속층(13-2)은 경도가 알루미늄 계열 금속에 비하여 커서 이 알루미늄 계열 금속의 취약한 내마모성을 보완할 수 있는 스테인리스스틸 계열 금속으로 이루어진다.
한편, 모재(13-1)의 다른 쪽 면에도 제1금속층(13-2)과 동일계열의 제2금속층(13-3)이 얇게 접합될 수 있다. 이렇게 모재(13-1)의 양면에 동일계열 금속을 접합하면 모재(13-1)와 접합된 금속이 서로 다른 열팽창계수로 인하여 고온환경에서(열이 가하여졌을 때) 휘어지는 현상을 방지할 수 있다.
하우징(13)은 프레스 가공(press working)으로 제조될 수 있다. 이 때, 하우징(13)은 모재(13-1)가 알루미늄 계열 금속이므로 하우징 부재(131)와 스러스트 부재(132)에 의한 컵의 구조를 가지도록 용이하게 가공할 수 있다.
설명한 바와 같은 구성의 유체동압베어링은, 기동 초기에는 샤프트(11)가 슬리브(12) 및 스러스트 부재(132)와 접촉하면서 회전되고, 샤프트(11)의 회전속도가 가속되어 일정한 수준에 도달한 때에는 레이디얼 베어링 간극과 제1ㆍ제2 스러스트 베어링 간극에서 발생되는 유체 동압작용에 의하여 샤프트(11)가 슬리브(12) 및 스러스트 부재(132)와 비접촉 상태로 회전된다.
기동을 정지시키면, 샤프트(11)는 회전속도가 차츰 감속되어 슬리브(12) 및 스러스트 부재(132)와 접촉하면서 회전되다가 정지한다. 이렇듯, 스러스트 부재(132)는 작동과정 중에 샤프트(11)와 접촉되므로 플랜지 부재(115)와의 마찰을 피할 수 없으나, 플랜지 부재(115)와 접촉되는 제1금속층(13-2)이 스테인리스스틸 계열의 금속으로 이루어지므로 플랜지 부재(115)와의 마찰에 따른 마모 정도는 알루미늄 계열의 금속으로 이룬 경우에 비하여 현저히 줄일 수 있고, 나아가서는 제2 스러스트 그루브(151B)의 변형을 최소화할 수 있다.
이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.
예를 들면, 위에서는 하우징(13) 전체가 클래드로 구성되는 것으로 설명하였으나, 하우징(13)의 일부인 스러스트 부재(132)만 클래드로 구성할 수 있다. 또는, 스러스트 부재(132)에서도 제2 스러스트 그루브(151B)가 형성되는 부분에 한하여서만 제1금속층(13-2)이 피복된 구조를 가지도록 할 수 있다. 또는, 중공축 소재(112)나 플랜지 부재(115)도 하우징(13)과 마찬가지로 클래드로 구성할 수 있다.
다른 예로서, 위에서는 축 부재(111)가 중공축 소재(112)를 포함하는 것으로 설명하였으나, 축 부재(111)는 속이 비어 있지 않은 일반적인 축 소재로 구성할 수 있다. 그리고, 일반적인 축 소재의 외주에는 피복재를 일정한 두께로 피복하고, 피복재는 보강재(113)와 마찬가지로 스프링백율이 일반적인 축 소재 금속(예를 들어, 스테인리스스틸 계열 금속)에 비하여 작도록 밀도가 일반적인 축 소재에 비하여 작은 금속(예를 들어, 알루미늄 계열 소결금속)으로 이룰 수 있다.
한편, 위에서는 보강재(113)가 중공축 소재(112)의 내부공간 중 일부에만 충전될 수 있다고 설명하였는데, 여기에서의 일부라 함은 레이디얼 그루브(141)의 성형위치와 대응하는 부분일 수 있다.
11 : 샤프트 12 : 슬리브
13 : 하우징 13-1 : 모재
13-2 : 제1금속층 14 : 레이디얼 베어링 부분
15A, 15B : 스러스트 베어링 부분 111 : 축 부재
112 : 중공축 소재 113 : 보강재
115 : 플랜지 부재 131 : 하우징 부재
132 : 스러스트 부재 141 : 레이디얼 그루브
151A, 151B : 스러스트 그루브

Claims (6)

  1. 축 부재(111) 및 상기 축 부재(111)에 직교하게 고정된 플랜지부재(115)를 가진 샤프트(11);
    축 부재(111)의 외주에 배치된 슬리브(12);
    축 부재(111)와 슬리브(12) 사이에 마련되고, 레이디얼 베어링 간극에서 발생하는 유체의 동압작용에 의해 샤프트(11)를 레이디얼 방향으로 비접촉 지지하는 레이디얼 베어링 부분(14);
    플랜지부재(115)와 슬리브(12) 사이에, 플랜지부재(115)와 스러스트부재(132) 사이에 각각 마련되고, 스러스트 베어링 간극에서 발생하는 유체의 동압작용에 의해 샤프트(11)를 스러스트 방향으로 비접촉 지지하는 스러스트 베어링 부분(15A, 15B); 및
    상기 슬리브(12)의 외주에 고정된 하우징 부재(131) 및 상기 하우징 부재(131)에 일체로 형성되어 상기 플랜지부재(115)와 대향하도록 배치된 스러스트부재(132)를 가진 하우징(13);을 포함하고,
    상기 스러스트 부재(132)는 알루미늄 계열 금속으로 이루어진 모재(13-1)와, 상기 모재(13-1)의 플랜지 부재(115)와 대향하는 표면에 피복된 제1금속층(13-2)와, 상기 모재(13-1)의 다른 표면에 피복된 제2금속층(13-3)으로 이루어지며,
    상기 제1금속층(13-2) 및 상기 제2금속층(13-3)은 상기 모재(13-1)에 비해 경도가 상대적으로 큰 금속으로 이루어지고,
    상기 스러스트 부재(132)는 상기 모재(13-1)의 양면에 제1금속층(13-2) 및 제2금속층(13-3)이 열과 압력에 의해 접합된 복합재인 클래드로 구성되며,
    상기 축 부재(111)는 속이 빈 파이프 구조로 이루어진 중공축 소재(112)와, 상기 중공축 소재(112)의 내부공간에 충전되되 스프링백(springback)율이 상기 중공축 소재(112)에 비해 작도록 상기 중공축소재(112)의 밀도 보다 작은 밀도를 가진 소결금속으로 이루어지는 보강재(113)와, 중공축 소재(112)의 개방된 양단을 각각 차폐하는 마감부재(114A, 114B)를 포함하며,
    상기 보강재(113)는 알루미늄(aluminium)계열 금속분말을 압축성형한 후에 가열하여 고결시킨 다공성 구조의 소결금속인 것을 특징으로 하는 유체동압베어링.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1금속층(13-2)과 제2금속층(13-3)은 동일한 금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유체동압베어링.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 모재(13-1)는 알루미늄 계열 금속이고,
    상기 제1 및 제2금속층(13-2, 13-3)은 스테인리스스틸 계열 금속인 것을 특징으로 하는 유체동압베어링.

  6. 삭제
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