KR101240546B1 - 장방형 구조로 배열된 전자 부품의 이동 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 장방형 구조로 배열된 전자 부품을 평탄 캐리어 상에 위치시키는 방법 및 장치에 관한 것으로, 매트릭스 구조로 배열된 다수의 부품을 픽업하고, 부품을 평탄 캐리어에 위치시키며, 이 부품은 픽업된 후에 먼저 위치 결정 테이블에 위치되고, 위치 결정 테이블에 위치된 제품은 평탄 캐리어 상에 배치되기 전에 후속하여 다시 픽업된다. 본 발명에 따른 방법 및 장치는 상이한 처리 스테이션에서 처리되고 이들 처리 스테이션 사이에서 이송되는 반도체의 생산에 적용 가능하다. 그러나, 처리 스테이션은 전자 부품의 묶음(batch)을 장방형 구조로 전달하지만, 일반적으로 그 후의 이송에 대해서는 부적절한 개수, 부적절한 피치, 또는 부적절한 배향을 갖는다. 부품의 개수, 부품의 피치 또는 부품의 배향은 전자 부품의 그룹을 2개의 단계로 이동시킴으로써 변경될 수 있다.

반도체 부품, 평탄 캐리어, 선형 전기 모터, 전달 테이블, 위치 결정 테이블

Description

장방형 구조로 배열된 전자 부품의 이동 방법 및 장치{METHOD AND DEVICE FOR DISPLACING ELECTRONIC COMPONENTS ORDERED IN A RECTANGUALR STRUCTURE}

본 발명은, 매트릭스 구조로 배열된 전자 부품을 평탄 캐리어 상에 위치시키는 방법으로서, 매트릭스 구조로 배열된 다수의 부품을 픽업하는 단계와, 상기 부품을 상기 평탄 캐리어 상에 위치시키는 단계를 포함하는 방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 매트릭스 구조로 배열된 부품을 평탄 캐리어 상에 위치시키는 장치로서, 상기 부품이 매트릭스 구조로 위치되는 전달 테이블과, 제품이 위치되어야 하는 평탄 캐리어의 위치를 결정하는 위치 결정 수단(positioning means)과, 상기 전달 테이블로부터 매트릭스 구조로 배열된 다수의 부품을 픽업하여 위치시키는 하나 이상의 이송 부재(transport element)를 포함하는 장치에 관한 것이다.

이러한 방법은, 반드시 그런 것은 아니지만, 통상적으로 반도체의 생산에의 적용을 모색한다. 반도체의 생산 시, 반도체는 상이한 처리 스테이션(processing station)에서 이루어지는 상이한 공정을 겪게 된다. 반도체는 이러한 처리 스테이션 사이에서 이송되어야 한다. 생산 현장에서는 이러한 목적을 위해 표준화된 평탄 캐리어가 사용된다. 그러나, 처리 스테이션은 일반적으로 전자 부품의 묶 음(batch)을 장방형 구조로 운반하지만, 정확한 개수, 정확한 피치 또는 정확한 배향을 이루지는 못하고 있다.

부품이 위치되는 평탄 캐리어는 일반적으로 평탄 플레이트에 의해 형성되며, 이들 플레이트는 그 후 이동 가능한 카세트 내로 슬라이드할 수 있다.

그러나, 평탄 캐리어는 전자 부품을 하나의 처리 스테이션에서 다음 처리 스테이션으로 이송하는 컨베이어 벨트에 의해서도 형성될 수 있다. 컨베이어 벨트는 이송하는 동안 운반 기능을 수행한다. 이러한 컨베이어 벨트는 일반적으로 전자 부품을 위치시키는 동안에는 정지 상태로 될 것이므로, "캐리어"라는 표현은 적정한 것으로 보인다. 이러한 컨베이어 벨트는 따라서 "평탄 캐리어"라는 표현에 부합하는 것으로 생각되어야 한다.

본 발명의 목적은, 예컨대 반도체 제품 등의 전자 부품의 그룹의 개수, 피치 또는 배향을 변경시킬 수 있는 수단을 제공하는 것이다.

본 발명의 이러한 목적은, 부품을 픽업한 후에 먼저 위치 결정 테이블에 위치시키고, 위치 결정 테이블 상에 위치된 부품을 평탄 캐리어 상에 위치시키기 전에 후속하여 다시 픽업함으로써 달성된다.

본 발명의 이러한 목적은, 본 발명에 따른 장치가 위치 결정 테이블을 더 포함하며, 하나 이상의 이송 부재가 부품을 전달 테이블로부터 위치 결정 테이블로 이송하고, 부품을 위치 결정 테이블로부터 위치 결정 수단 상에 배치된 평탄 캐리어로 이송하도록 구성됨으로써 달성된다.

전자 부품의 그룹을 2개의 단계로 이동시킴으로써, 부품의 개수, 부품의 피치 또는 부품의 배향과 같은 다양한 특징을 변경시킬 수 있게 된다.

본 발명의 제1 실시예에 따르면, 부품이 위치 결정 테이블 상에 머무르는 동안 제품에 대한 한 가지 이상의 특징이 시각적으로 검출된다. 이러한 목적으로, 위치 결정 테이블 상에 존재하는 부품을 검출하기 위해 시각적 검출 수단이 배치된다. 본 실시예는 그룹 내에 부품이 존재하지 않거나 또는 시각적으로 검출 가능한 특징 기준(visually detectable quality criteria)과의 불일치(non-compliance) 등의 부품의 그룹에서 발생할 수 있는 상이점을 판정하기 위한 수단을 제공한다. 판정된 상이점은 제2 이송 동작에서 수정될 수 있다.

시각적 검출 수단은 위치 결정 테이블 상에 위치된 카메라를 포함하는 것이 바람직하며, 위치 결정 테이블은 관통되어 있고, 위치 결정 테이블의 하부측에 조명 수단이 위치된다. 이러한 구성은 전자 부품의 그룹의 특징을 검출하기 위한 간편하면서 효과적인 방안을 제공한다.

통상적으로 부품의 그룹의 하나 이상의 특징이 수정되어야 하기 때문에, 이러한 수정을 2개의 이송 단계 사이에서 분할하는 것이 바람직하다. 첫 번째 옵션은 부품의 이송 동작 중 적어도 하나의 이송 동작 동안에 부품의 상대적인 위치를 변경하는 방안을 제공한다.

특징을 변경하기 위한 가능한 방안 중의 하나는 부품 사이의 피치를 변경시키는 것이다. 이에 대해서는, 제1 이송 동작 동안 제1 방향에서의 부품 간의 상호 간격을 변경시키는 방안과, 하나 이상의 이송 부재를 제1 방향에서의 부품 간의 상호 간격을 변경시키도록 구성하는 방안이 가능하다.

다른 방향에서 피치를 변경하기 위해서는, 제2 방향에서의 부품 간의 상호 간격을 제2 이송 동작 동안에 변경할 수 있다. 이를 위해, 하나 이상의 이송 부재가, 제1 방향에 직각을 이루는 제2 방향에서 부품 간의 상호 간격을 변경시키도록 구성된다.

캐리어 상에 정확하게 위치시키기 위해, 부품의 그룹은 이송 동작 중 하나 이상의 이송 동작 동안 회전되는 것이 바람직하다. 이송 부재는 이러한 목적을 위해 맞물림 부재가 설치되는 것이 바람직하며, 맞물림 부재는 서로 평행하게 연장하는 지지체들 상에 배치되고, 지지체는 변경될 부품 간의 간격의 방향으로 이동 가능하다.

부품의 그룹의 피치 및 배향 외에, 마찬가지로 그룹 또는 묶음(batch) 당 부품의 개수가 캐리어 상에 이송되어야 하는 부품의 개수와 상이하게 수도 있다. 이를 위해, 본 발명은 제1 이송 동작에서 이송된 부품의 개수를 제2 이송 동작 동안 이송되는 부품의 개수와 상이하게 하는 방안을 제공한다. 여기에서, 위치 결정 테이블이 버퍼로서 작용하며, 제1 이송 동작과 제2 이송 동작에서 이송된 부품의 개수 간의 차이만큼이 위치 결정 테이블에 잔류되며, 이러한 잔류 부품이 후속의 제2 이송 동작에서 이송된다.

제2 이송 동작에서 위치 결정 테이블로부터 옮겨진 부품의 개수가 제1 이송 동작에서 위치 결정 테이블에 위치된 부품의 개수보다 적을 때에는, 그 차이만큼이 위치 결정 테이블에 잔류될 것이다. 이들 잔류 부품의 적어도 일부는, 그 사이에 이루어지는 제1 이송 동작 동안에 배치된 부품의 일부와 함께, 후속의 제2 이송 동작 동안 옮겨진다. 이 과정은, 그 사이에 이루어지는 제1 이송 동작 없이 2개의 연속적인 제2 이송 동작을 수행하기에 충분한 부품이 위치 결정 테이블 상에 모여질 때까지 반복된다. 그러나, 제2 이송 동작 동안에 이동되는 부품의 개수가 제1 이송 동작 동안에 이송되는 부품의 개수를 초과하도록 하는 것도 가능하다. 이 때에는, 제2 이송 동작이 수행되기 전에 2개의 제1 이송 동작이 먼저 수행되어야 한다.

본 방법을 제어하기 위해, 부품의 시각적 검출 동안 부품의 존재가 검출되는 것이 바람직하며, 부품이 존재하지 않는 것으로 검출된 때에는, 이와 같이 부품이 존재하지 않는 상황이 후속의 이송 동작 동안 정정된다. 이 방안은, 위치 결정 테이블에 공급되는 부품의 개수가 이동된 부품의 개수와 상이한 전술한 상황에만 적용 가능한 것은 아니고, 생산 공정에서의 오류로 인해 부품이 분실되었거나 또는 부품이 퇴출되어 제거되었을 때의 상황에도 적용 가능하다.

공정에 대한 감시 제어를 위해, 부품의 시각적인 검출 시에 부품이 계수되도록 권장된다. 이 기능은 결국 위치 결정 테이블 상에 부품이 존재하는가에 대한 검사에 용이하게 통합될 수 있다.

단일 방향으로 이동할 수 있는 맞물림 부재를 갖는 이송 부재를 구성하는 여러 가지 방법이 있다. 본 발명의 발명자는, 적어도 하나의 외측 운반 부재가 구동 부재에 의해 수축 위치(retracted position)와 확장 위치(extended position) 사이에서 구동될 수 있고, 다른 운반 부재가 핀 및 홀 접속(pin-hole connection)에 의해 외측 운반 부재에 연결되게 하는 구성이 효과적이면서 비교적 간편한 방안이라는 것을 발견하였다.

본 발명에의 적용을 위해, 픽업 공정 및 셋팅-다운 공정(setting-down process) 동안에 운반 부재의 위치가 정해질 필요가 있다. 이로써, 이들 조건만이 충족되는 구성을 적용하는 옵션이 제공된다. 수축 위치에서는 운반 부재가 상호 접촉하고, 연장 위치에서는 운반 부재가 정지부(stop)와 각각 접촉하는 구성은, 이 조건을 충족한다.

상기의 구성은 외측 운반 부재의 구동을 필요로 한다. 특히 간편한 구동 방법은, 외측 운반 부재가 회전 시에 구동 가능한 크랭크 또는 디스크에 레버를 통해 연결되도록 하는 것이다.

전술한 구성과는 다른 구성으로서, 캐리어가 회전 시에 구동 가능한 디스크의 에지에 각각 기계적으로 결합되도록 하는 구성이 있다. 이 구성은 특히 에지의 정밀도에 대해 더 높은 구조적 표준을 요구하지만, 초소형의 구성으로 될 수 있다는 장점이 있으며, 이 장점은 특히 본 발명에 따른 장치가 소형 제품에 적용되어야 하고 이용 가능한 공간이 작을 때에는 가장 중요하다.

캐리어의 피치를 변경시킴으로써 부품의 피치를 변경하는 전술한 기능은 한쪽의 치수에만 관련된다. 양쪽 치수에서 피치를 변경할 수 있도록 하기 위해서는, 이송 부재 중의 적어도 하나를 수평축 상의 순환을 위해 현수되도록 하는 것이 바람직하다.

적정한 공급량의 부품만이 처리되어야 하는 장치의 경우, 부품을 위치 결정 테이블에 이송할 뿐만 아니라 위치 결정 테이블로부터 부품을 이송하도록 구성된 하나의 이송 부재를 사용하는 것이 바람직하다. 여기에서는 전술한 이송 부재의 순환 기능이 필수적이며, 이송 부재는 결국 양쪽 방향에서 교대로 피치 변경을 수행할 수 있어야 한다. 그러나, 2개의 경로의 각각에 대해 하나씩 2개의 이송 부재를 사용하는 것도 마찬가지로 가능하다.

이송 부재의 개수에 상관없이, 적어도 하나의 이송 부재가 선형 전기 모터에 의해 수평 방향으로 구동 가능하도록 하는 것이 좋다. 선형 전기 모터는 간략한 구성 외에 극도의 정밀한 제어 가능성의 장점을 제공한다. 그러나, 다른 유형의 구동 방식도 배제할 수는 없다.

이상으로부터 알 수 있는 바와 같이, 이송 부재는 통상적으로 상이한 개수의 부품을 이송하여야 한다. 그러므로, 적어도 하나의 이송 부재가 조절 가능한 개수의 부품을 이송하도록 구성되는 것이 바람직하다.

전체적인 공정을 제어하고 최적화하기 위해, 본 발명의 장치는, 이송될 부품의 개수를 조절하기 위해 시각적 검출 장치 및 이송 부재에 접속되는 제어 장치가 제공되는 것이 바람직하다.

도 1은 본 발명에 따른 장치의 개략적인 사시도이다.

도 2는 본 발명에 따른 이송 부재를 상세하게 나타내는 사시도이다.

도 3은 이송 부재의 상위부의 단면도이다.

도 4는 이송 부재의 제1 실시예의 하위부의 사시도이다.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 이송 부재의 사시도이다.

도 6은 도 5에 도시된 이송 부재의 내부의 사시도이다.

이하에서는 첨부 도면에 도시된 비제한적인 예시 실시예에 기초하여 본 발명을 구체적으로 설명한다.

도 1에는, 전체적으로 도면부호 "1"로 나타내어져 있고, 처리가 이루어진 반도체 제품 등의 전자 부품(2)을 캐리어(3)에 이송하도록 구성된 장치가 도시되어 있다. 이 장치에는 전달 테이블(4)이 설치되며, 이 전달 테이블 상에는 이전의 공정에서 전달된 부품(2)이 장방형 패턴으로 정렬되어 있다. 이 장치는 또한 위치 결정 테이블(5)과, 캐리어(3)가 위에 위치될 수 있는 캐리어 테이블(6)을 포함한다. 캐리어 테이블(6)은 수평 및 수직 방향으로 이동 가능하여, 탑재된 캐리어를 캐리어 캐리지(carrier carriage)(7)에 위치시킬 수 있다. 이러한 캐리어 캐리지(7)는 캐리어(3) 상에 위치된 부품(2)을 이송하기 위해 전자 부품의 제조업체에서 흔히 사용되고 있다.

본 발명의 장치는 선형 전기 모터(8)가 설치되며, 이 선형 전기 모터(8)는 길이 방향으로 연장하고, 2개의 이송 부재(9A, 9B)가 탑재된다. 선형 전기 모터는 이송 부재의 수평 이동을 안내하고 그 이송 부재를 지지하는 가이드가 제공된다. 좌측 이송 부재(9B)는 부품을 전달 테이블(4)로부터 위치 결정 테이블(5)로 이송하도록 구성되며, 우측 이송 부재(9B)는 부품을 위치 결정 테이블(5)로부터 캐리어(3)로 이송하도록 구성된다. 그러나, 이 두 가지 모두의 기능을 위해 하나의 이송 부재를 사용하는 것도 가능하다.

위치 결정 테이블(5)의 위쪽에는 위치 결정 테이블 상에 존재하는 부품을 검출하기 위한 카메라(10)가 배치되어 있다. 위치 결정 테이블(5)의 아래에는, 카메라에 의해 검출된 이미지의 콘트래스트(contrast)를 증가시키고 부품(2)의 존재의 검출을 용이하게 하기 위해, 부품을 아래쪽에서 조명하는 광원이 배치되어 있다.

도 2에는 이송 부재가 전체적으로 도시되어 있다. 이송 부재(9)는 지지체(12)를 통해 캐리지(13)에 연결되는 상위부(11)를 포함하며, 캐리지(13)는 선형 전기 모터(8)에 의해 선형 전기 모터 및 관련 가이드를 따라 이동할 수 있다. 이송 부재(9)의 상위부(11) 아래에는 하위부(14)가 배치되어 있다. 본 실시예에서, 하위부(14)는 수직축 상에서 상위부(11)에 대해 회전 가능하다. 이송 부재의 하위부(14)는 장형 운반 부재(elongated carrying elements)(15)의 어레이가 제공되며, 각각의 운반 부재(15)에는 도시되어 있지 않은 맞물림 부재의 어레이가 그들의 아래측에 배치되어 있다. 장형 운반 부재(15)는 단일 방향에서의 맞물림 부재 사이의 간격을 변경하기 위해 길이 방향으로 가로질러 이동할 수 있다.

도 3은 이송 부재의 상위부(11)의 단면도이다. 상위부(11)는 2개의 베어링(18)이 배치되어 있는 하우징(17)을 포함한다. 중심축(20)을 갖는 중공(中空)형 부시(hollow bush)(19)가 베어링(18)에 회전 가능하게 장착되어 있다. 이송 부재의 하위부(14)는 수직 방향으로의 이동을 위해 부시(19)에 장착된다. 중심축(20) 주변에는 이송 부재의 하위부가 고정되는 환형 피스톤(21)이 배치된다. 환형 피스톤(21) 주변에는, 압축 공기의 제어 가능한 소스에 연결되어 이송 부재의 하위 부(14)의 높이를 제어하는 챔버(22)가 배치된다. 전기 모터(도시하지 않음)가 하우징(17)의 외측에 배치되어, 회전 시에 중심축(20) 및 이송 부재의 하위부를 구동시킨다. 최종적으로, 이송 부재의 하위부에서의 다수의 기능을 제어할 수 있도록 압축 가스를 위한 다수의 연결부가 배치되어 있다.

도 4는 이송 부재의 하위부(14)의 제1 예시 실시예를 도시하고 있다. 하위부(14)는 도면에 2개의 벽부(25A, 25B)만이 도시되어 있는 프레임을 포함하며, 프레임은 중심축(20)에 연결되어 있다. 프레임 상에는 회전 시에 디스크(27)를 구동하기 위해 공압식 회전 구동 장치(26)가 배치되어 있다. 디스크(27) 내에서는 다수의 굴곡형 슬롯(28)이 형성되어 있다. 이 회전 구동 장치는, 다른 유형의 드라이브도 가능하기는 하지만, 공압식으로 구동되도록 구성되는 것이 바람직하다.

벽부(25A, 25B)는 운반 부재(15) 및 그 위에 배치된 맞물림 부재(16)를 안내하도록 구성된다. 각각의 운반 부재(15) 상에는 슬롯(28) 중의 하나를 관통하여 연장되는 핀(29)이 배치되어 있다. 이러한 디스크(27)와 핀(29) 간의 결합 및 슬롯(28)의 설계의 결과, 디스크(27)의 회전 동안, 운반 부재(15)는 운반 부재(15)가 서로 떨어져 위치되는 확장 위치와, 운반 부재(15)가 서로 근접하여 위치되는 수축 위치 사이에서 구동된다. 맞물림 부재(16)가 공압식 에너지 공급(pneumatic energizing)을 통해 작동되는 것에 유념하기 바란다. 따라서, 이송 부재의 하위부는 맞물림 수단의 제어를 위한 다수의 공압식 연결부를 포함한다.

도 5 및 도 6에는, 운반 부재(15)가 다른 방식으로 구동되는 이송 부재의 실시예가 도시되어 있다. 외측 운반 부재(15A, 15B)는 각각 레버(31A, 31B)를 통해 디스크(32)에 연결되며, 이 디스크는 회전 시에 구동 가능한 것으로, 다른 경우에는 크랭크에 의해 형성될 수도 있다. 디스크(32)는 회전을 위해 도 4에 도시된 실시예에서의 공압식 회전 구동 장치(26)와 같은 공압식으로 구동되는 모터에 연결될 수 있다. 외측 운반 부재는 디스크(32)의 회전에 의해 이동된다. 나머지 운반 부재(15)는 이동 방향으로 각각 연장되는 로드(33A, 33B)에 각각 연결되어 있다. 이들 로드는 동일한 방향으로 구동 가능한 운반 부재(15)에 핀 및 홀 접속에 의해 각각 연결된다. 이들 나머지 운반 부재(15)는 외측 운반 부재(15A, 15B)의 이동 동안 함께 이동된다. 직접 구동되는 외측 운반 부재(15A, 15B) 간의 연결이 마찰에 의해서만 제어되는 접속이기 때문에, 간접 구동되는 운반 부재(15)의 최종 위치를 결정하기 위해서는, 확장 위치에 정지부(stop)가 필요하다. 간접 구동되는 운반 부재(15)의 위치는 이동 동안에는 정밀하게 정해지지 않는다는 것으로 알려져 있다. 운반 부재(15)가 서로 가장 근접하여 있는 최종 위치에서, 최종 위치는 운반 부재(15)가 서로에 대해 이동되어 있는 것으로 정해진다.

운반 부재(15)가 서로에 대해 가장 멀리 떨어지게 되는 다른 확장 위치에서, 정지부는 개구부(35)에 의해 형성되며, 이 개구부는 이송 부재의 하위부의 측벽(34)에 배치되고, 계단형의 외형으로 제공된다. 개구부(35)가 안에 배치되어 있는 이들 측벽은 도 5에 도시되어 있다. 각각의 간접 구동되는 운반 부재(15)의 최종 위치는 개구부(35)의 각각의 계단부(36)에 의해 정해진다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 장치는, 소정의 패턴으로 전달되는 반도체 제품과 같이 프로세스 머신으로부터 인입되는 전자 부품을 픽업하고, 이 전자 부품을 수정된 방식으로 배열하며, 이 부품을 존재 및 특징에 대해 검사하고, 이 부품을 추가의 이송을 위해 캐리어 상에 위치시키도록 적용된다. 이러한 목적을 위해, 프로세스 머신에 의해 전달 테이블(4) 상에 위치된 부품(2)이 제1 이송 부재(9A)에 의해 픽업되고, 위치 결정 테이블(5) 상에 위치된다. 여기에서, 부품 간의 피치는 제1 방향으로 변경될 수 있으며, 부품의 그룹이 회전될 수 있다.

부품이 위치 결정 테이블(5) 상에 위치된 후, 이 부품은 존재 여부 및 옵션으로는 특징에 대해 카메라(10)에 의해 모니터링된다. 부품은 그 후 제2 이송 부재(9B)에 의해 픽업되고, 캐리어(3) 상에 위치된다. 또한, 부품 간의 피치는, 이러한 위치 이동 동안, 바람직하게는 피치가 처음에 변경된 방향의 교차 방향으로 변경될 수 있다. 부품의 그룹의 회전 또한 가능하다.

위치 결정 테이블(5) 상에 부품을 위치시키는 것은, 프로세스 머신에 의해 전달 테이블 상에 배치된 부품의 수가 캐리어 상에 배치된 부품의 수와 동일하지 않은 상황에서, 위치 결정 테이블에 다수의 부품을 잔류시키는 추가의 옵션을 제공한다.

본 발명에서 벗어나지 않는 범위 내에서 도시된 본 발명의 구성에 대한 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.

Claims (25)

1. 장방형 구조로 배열된 전자 부품들을 평탄 캐리어(flat carrier)에 이송하는 방법으로서,

   매트릭스 구조로 배열된 다수의 전자 부품들을 픽업하는 단계; 및

   상기 전자 부품들을 상기 평탄 캐리어 상에 위치시키는 단계

   를 포함하되,

   상기 전자 부품들을 픽업한 후에 위치 결정 테이블 상에 먼저 위치시키고, 그 후에, 상기 위치 결정 테이블 상에 위치된 상기 전자 부품들을 상기 평탄 캐리어 상에 위치시키기 전에 상기 위치 결정 테이블 상의 전자부품들을 다시 픽업하며,

   상기 전자 부품들의 이송 동작 중에 상기 전자 부품들의 상대적인 위치를 변경시키는,

   전자 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 방법.
2. 제1항에 있어서,

   상기 전자 부품들의 이송 동작 중에 상기 전자 부품들 간의 제1 방향에서의 상호 간격이 변경되는, 전자 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 방법.
3. 제2항에 있어서,

   상기 전자 부품들의 이송 동작 중에 상기 전자 부품들 간의 제2 방향에서의 상호 간격이 변경되는, 전자 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 방법.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서,

   상기 전자 부품들의 이송 동작 중에 상기 전자 부품들이 회전되는, 전자 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 위치 결정 테이블 상에 먼저 위치된 전자 부품들의 개수가, 그 후 상기 평탄 캐리어 상에 위치시키기 위해 픽업되는 전자 부품들의 개수와 상이한, 전자 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 방법.
6. 제5항에 있어서,

   상기 위치 결정 테이블 상에 먼저 위치된 전자 부품들의 개수와 그 후 상기 평탄 캐리어 상에 위치시키기 위해 픽업되는 전자 부품들의 개수 간의 차이만큼이 상기 위치 결정 테이블 상에 잔류되며, 잔류된 전자 부품들 중의 적어도 일부가 후속의 이송 동작에서 이송되는, 전자 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 방법.
7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 전자 부품들이 상기 위치 결정 테이블 상에 유지되는 동안, 상기 전자 부품들의 하나 이상의 특징을 시각적으로 검출하는, 전자 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 방법.
8. 제7항에 있어서,

   상기 전자 부품의 시각적인 검출 동안에 전자 부품의 존재 여부가 검출되며, 전자 부품이 존재하지 않는 것으로 검출되는 경우, 이러한 전자 부품의 존재하지 않음이 후속하는 이송 동작 동안 정정되는, 전자 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 방법.
9. 제7항에 있어서,

   상기 전자 부품의 시각적인 검출 동안에 상기 전자 부품들을 계수하는, 전자 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 방법.
10. 장방형 구조로 배열된 부품들을 평탄 캐리어에 이송하는 장치로서,

    상기 부품들이 매트릭스 구조로 위치되는 전달 테이블;

    상기 부품들이 위치되어야 하는 상기 평탄 캐리어의 위치를 결정하기 위한 위치 결정 수단;

    상기 전달 테이블로부터 매트릭스 구조로 배열된 다수의 상기 부품들을 픽업하여 위치시키는 하나 이상의 이송 부재; 및

    위치 결정 테이블

    을 포함하며,

    하나 이상의 상기 이송 부재는, 상기 부품들을 상기 전달 테이블로부터 상기 위치 결정 테이블에 이송하고, 상기 부품들을 상기 위치 결정 테이블로부터 상기 위치 결정 테이블 상에 위치된 상기 평탄 캐리어에 이송하도록 구성되며,

    하나 이상의 상기 이송 부재는, 제1 방향에서의 상기 부품들 간의 상호 간격을 변경시키도록 구성되고, 또한,

    하나 이상의 상기 이송 부재는, 상기 제1 방향과 직각을 이루는 제2 방향에서의 상기 부품들 간의 상호 간격을 변경시키도록 구성된,

    부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
11. 제10항에 있어서,

    상기 위치 결정 테이블 상에 존재하는 상기 부품들을 검출하기 위해 시각적 검출 수단이 배치되는, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
12. 제11항에 있어서,

    상기 시각적 검출 수단은 상기 위치 결정 테이블 상에 위치된 카메라를 포함하며, 상기 위치 결정 테이블은 관통되고, 상기 위치 결정 테이블의 하부측에 조명 수단이 제공되는, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
13. 제10항 또는 제12항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 이송 부재는 서로 평행하게 연장하는 지지체 상에 배치된 맞물림 부재가 제공되며, 상기 지지체는 변경될 상기 부품들 간의 간격의 방향으로 이동할 수 있는, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
14. 삭제
15. 제13항에 있어서,

    외측에 위치한 하나 이상의 운반 부재가 구동 부재에 의해 수축 위치와 확장 위치 사이에서 구동될 수 있으며, 핀 및 홀 접속(pin-hole connection)에 의해 외측의 상기 운반 부재에 다른 운반 부재가 연결되어 있는, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
16. 제15항에 있어서,

    상기 수축 위치에서는 상기 운반 부재들이 서로 접촉하며, 상기 확장 위치에서는 상기 운반 부재들이 각각 정지부(stop)와 접촉하는, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
17. 제15항에 있어서,

    외측의 상기 운반 부재는 회전 시에 구동 가능한 크랭크에 레버를 통해 연결되는, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
18. 제15항에 있어서,

    상기 운반 부재들이 회전 시에 구동 가능한 디스크의 에지에 각각 기계적으로 결합되는, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
19. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,

    하나 이상의 상기 이송 부재가 수평축 상에서의 순환을 위해 현수되어 있는, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
20. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 부품들을 상기 위치 결정 테이블에 이송할뿐만 아니라 상기 위치 결정 테이블로부터 상기 부품들을 이송하도록 구성된 하나의 이송 부재만을 포함하는, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
21. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,

    하나 이상의 상기 이송 부재가 선형 전기 모터에 의해 수평 방향으로 구동 가능한, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
22. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,

    하나 이상의 상기 이송 부재가, 조절 가능한 개수의 상기 부품들을 이송하도록 구성된, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
23. 제22항에 있어서,

    이송될 상기 부품들의 개수를 조절하기 위해 시각적 검출 장치 및 상기 이송 부재에 접속되는 제어 장치를 더 포함하는, 부품을 평탄 캐리어에 이송하는 장치.
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