NL1028824C2

NL1028824C2 - Werkwijze en inrichting voor het verplaatsen van in een rechthoekige structuur gerangschikte elektronische componenten.

Info

Publication number: NL1028824C2
Application number: NL1028824A
Authority: NL
Inventors: Wilhelmus Hendrikus Jo Harmsen
Original assignee: Fico Bv
Priority date: 2005-04-20
Filing date: 2005-04-20
Publication date: 2006-10-23
Also published as: TWI392047B; KR20070121823A; MY154558A; CN101160651B; KR101240546B1; CN101160651A; TW200639964A; WO2006112711A2; WO2006112711A3

Description

Γ »

Werkwijze en inrichting voor het verplaatsen van in een rechthoekige structuur gerangschikte elektronische componenten.

De onderhavige uitvinding betreft een werkwijze voor het plaatsen van in een 5 matrixstructuur gerangschikte elektronische componenten op een vlakke drager, omvattende de stappen van het oppakken van een aantal in de matrixstructuur gerangschikte componenten en het op de vlakke drager plaatsen van de componenten.

De uitvinding betreft tevens een inrichting voor het plaatsen van in een matrixstructuur 10 gerangschikte componenten op een vlakke drager, waarbij de inrichting een aflevertafel waarop de componenten in een matrixstructuur worden geplaatst, positioneermiddelen voor het positioneren van een vlakke drager waarop de producten moeten worden geplaatst en tenminste een transportelement voor het van de aflevertafel oppakken en plaatsen van een aantal in een matrixstructuur gerangschikte componenten omvat.

15

Een dergelijke werkwijze vindt veelal doch niet uitsluitend toepassing bij de productie van halfgeleiders. Halfgeleiders ondergaan bij hun productie verschillende bewerkingen die in verschillende bewerkingsstations plaatsvinden. De halfgeleiders moeten tussen déze bewerkingsstations worden getransporteerd. Hiervoor worden veelal binnen een 20 productielocatie gestandaardiseerde vlakke dragers gebruikt. De bewerkingsstations leveren de batches elektronische componenten wel veelal in een rechthoekige structuur af, doch niet in de juiste aantallen, met de juiste steek of in de juiste oriëntatie.

De vlakke dragers waarop de componenten worden geplaatst, worden veelal gevormd 25 door vlakke platen, waarbij deze platen vervolgens in verplaatsbare kasten geschoven kunnen worden.

De vlakke dragers kunnen echter eveneens worden gevormd door transportbanden die de elektronische componenten transporteren van het ene bewerkingsstation naar het 30 volgende bewerkingsstation. De transportbanden vervullen tijdens het transport een dragende functie. In het algemeen zullen dergelijke transportbanden stilstaan tijdens het plaatsen van de elektronische componenten, zodat de term ‘drager’ gerechtvaardigd lijkt. Dergelijke transportbanden moeten dan ook worden beschouwd onder de term ‘vlakke drager’ te vallen.

1028824 t « 2

Het doel van de uitvinding is het verschaffen van middelen waarmee aantallen, steek of oriëntatie van groepen elektronische componenten, in het bijzonder, doch niet uitsluitend halfgeleiderproducten kunnen worden aangepast.

5

Dit doel wordt bereikt doordat de componenten na het oppakken aanvankelijk op een positioneertafel worden geplaatst en dat de op de positioneertafel geplaatste componenten vervolgens weer worden opgepakt voordat zij op de vlakke drager worden geplaatst.

10

Dit doel wordt eveneens bereikt doordat de inrichting verder een positioneertafel omvat en dat het tenminste ene transportelement is ingericht voor het transporteren van de componenten van de aflevertafel naar de positioneertafel en voor het transporteren van de componenten van de positioneertafel naar een op de positioneermiddelen geplaatste 15 vlakke drager.

Door het in twee stappen verplaatsen van de groepen elektronische componenten ontstaat de mogelijkheid diverse eigenschappen, zoals aantallen componenten, hun steek of oriëntatie aan te passen.

20

Volgens een eerste uitvoeringsvorm wordt tijdens het verblijf van de componenten op de positioneertafel tenminste een hoedanigheid van de componenten visueel waargenomen. Hiertoe zijn visuele waamemingsmiddelen aangebracht voor het waarnemen van op de positioneertafel aanwezige componenten. Deze uitvoeringsvorm 25 verschaft middelen voor het constateren van eventuele afwijkingen bij de groep componenten, zoals de afwezigheid van componenten in de groep, of het niet voldoen aan visueel waarneembare kwaliteitscriteria. Eventueel geconstateerde afwijkingen kunnen dan worden gecorrigeerd in de tweede transporthandeling.

30 Bij voorkeur omvatten de visuele waamemingsmiddelen een boven de positioneertafel geplaatste camera, waarbij de positioneertafel is geperforeerd en waarbij aan de onderzijde van de positioneertafel verlichtingsmiddelen zijn geplaatst. Dit betreft een eenvoudige doch doeltreffende maatregel voor het waarnemen van de hoedanigheid van de groep elektronische componenten.

1028824 f 3 3

Omdat veelal meer dan een eigenschap van een groep componenten moet worden aangepast, is het aantrekkelijk deze aanpassingen te verdelen over beide transportstappen. Een eerste mogelijkheid verschaft de maatregel dat tijdens tenminste 5 een van dé transporthandelingen van de componenten tenminste hun onderlinge positie wordt veranderd.

Een van de mogelijkheden van het veranderen van een eigenschap betreft het veranderen van de steek tussen de componenten. Dit leidt tot de maatregel dat tijdens 10 een eerste transporthandeling de onderlinge afstand tussen de componenten in een eerste richting wordt veranderd en tot de maatregel dat tenminste een van de transportelementen is ingericht voor het veranderen van de onderlinge afstand tussen de componenten in een eerste richting.

15 Voor het veranderen van de steek in de andere richting kan tijdens de tweede transporthandeling de onderlinge afstand tussen de componenten in de tweede richting worden veranderd. Hiertoe is tenminste een van de transportelementen ingericht voor het veranderen van de onderlinge afstand tussen de componenten in zich loodrecht op de eerste richting uitstrekkende tweede richting.

20

Voor een juiste plaatsing op de drager wordt de groep componenten bij voorkeur tijdens tenminste een van de transporthandelingen geroteerd. Hiertoe is het transportelement bij voorkeur voorzien van grijpelementen, zijn de grijpelementen aangebracht op zich in een onderling parallel uitstrekkende dragers en zijn de dragers beweegbaar in de 25 richting van de te veranderen afstand tussen de componenten.

Behalve de steek en de oriëntatie van de groep componenten kan eveneens het aantal componenten per groep of batch verschillend zijn van het aantal componenten dat op een drager moet worden getransporteerd. Hiertoe verschaft de uitvinding de maatregel 30 dat het aantal in de eerste transporthandeling getransporteerde componenten ongelijk is aan het tijdens de tweede transporthandeling aantal getransporteerde componenten. Hierbij werkt de positioneertafel als een buffer; het verschil tussen het aantal in de eerste en de tweede transporthandeling getransporteerde componenten blijft achter op 1028824 J » 4 de positioneertafel en bij een volgende tweede transporthandeling worden deze resterende componenten getransporteerd.

Wanneer het in de tweede transporthandeling van de positioneertafel weggenomen 5 aantal componenten kleiner is dan het aantal in de eerste transporthandeling op de positioneertafel geplaatste componenten, zal het verschil achterblijven op de positioneertafel. Tenminste een deel van deze resterende componenten wordt weggenomen tijdens de daaropvolgende tweede transporthandeling, tezamen met een deel van de componenten die zijn aangebracht tijdens de tussenliggende eerste 10 transporthandeling. Dit proces herhaalt zich totdat voldoende componenten op de positioneertafel zijn verzameld om twee tweede transporthandelingen achter elkaar uit te voeren zonder een tussenliggende eerste transporthandeling. Het is echter eveneens mogelijk dat het aantal tijdens de tweede transporthandeling afgevoerde componenten groeter is dan het aantal tijdens de eerste transporthandeling toegevoerde componenten. 15 Dan moeten eerst twee eerste transporthandelingen worden uitgevoerd voordat een tweede transporthandeling uitgevoerd kan worden.

Voor het besturen van deze werkwijze wordt bij voorkeur tijdens het visueel waarnemen van de componenten de aanwezigheid van een component waargenomen en 20 bij geconstateerde afwezigheid wordt tijdens een volgende transporthandeling de afwezigheid gecorrigeerd. Deze maatregel is niet alleen van toepassing op de hierboven beschreven situaties waarin het aantal aan de positioneertafel toegevoerde componenten ongelijk is aan het aantal afgevoerde componenten, maar tevens in situaties, waarin componenten door een fout in het productieproces ontbreken of wanneer zij verwijderd 25 zijn door afkeur.

Voor het administratief beheersen van het proces heeft het de voorkeur dat tijdens het visueel waarnemen van de componenten de componenten worden geteld. Deze functie kan immers gemakkelijk worden geïntegreerd in de aanwezigheidscontrole op de 30 positioneertafel.

Voor het construeren van een transportelement met de beweegbaarheid van de grijpelementen in een enkele richting bestaat een aantal mogelijkheden. Het is de uitvinders gebleken dat de constructie waarbij tenminste een buitenste drager door een 1028824 ί ' 5 aandrijfelement aandrijfbaar is tussen een ingeschoven positie en een uitgeschoven positie en overige dragers door een pen- en gat-verbinding zijn verbonden met de buitenste drager, tot een doelmatige en relatief eenvoudige oplossing leidt.

5 Voor de toepassing bij de uitvinding behoeft slechts een bij het oppakproces en bij het neerzetproces de positie van de dragers gedefinieerd te zijn. Dit biedt de mogelijkheid een constructie toe te passen, waarbij slechts aan deze eisen voldaan wordt. Een waarbij in de ingeschoven positie de dragers met elkaar in aanraking zijn en in de uitgeschoven positie de dragers elke met een aanslag in aanraking zijn, voldoet aan deze eis.

10

De bovenstaande constructie vereist een aandrijving van de buitenste drager of dragers. Een bijzonder simpele wijze van voor de aandrijving ontstaat wanneer de buitenste drager door een hefboom met een in rotatie aandrijfbare kruk of schijf is verbonden.

15 Een alternatief voor de hierboven toegelichte constructie wordt verkregen wanneer de dragers elk mechanisch zijn gekoppeld met coulissen van een in rotatie aandrijfbare schijf. Deze constructie stelt constructief hogere eisen, in het bijzonder voor wat betreft de nauwkeurigheid van de coulissen, maar deze heeft het voordeel dat deze zeer klein kan worden gebouwd, hetgeen in het bijzonder wanneer de inrichting volgens de 20 uitvinding geschikt moet zijn voor kleine producten en de beschikbare ruimte klein is, van het grootste belang is.

i i j

De hierboven beschreven functionaliteit van het veranderen van de steek van de componenten door de steek van de dragers te veranderen betreft slechts een enkele 25 dimensie. Om de steek in beide dimensies te kunnen vemaderen, is het aantrekkelijk wanneer tenminste een van de transportelementen om een horizontale as roteerbaar is opgehangen.

Bij inrichtingen waarbij slechts een matig debiet aan componenten behoeft te worden 30 verwerkt, is het aantrekkelijk gebruik te maken van een enkel transportelement dat is ingericht voor zowel het transporteren van de componenten naar de positioneertafel als vanaf de positioneertafel. Hierbij is de hierboven genoemde functie van het roteren van transportelement onontbeerlijk; het transportelement moet immers afwisselend een steekverandering in beide richtingen uit kunnen voeren. Het is echter evenzeer mogelijk 1 0 28 8:-a I * 6 om gebruik te maken van twee transportelementen, namelijk een voor elk van beide trajecten.

Onafhankelijk van het aantal elementen heeft het de voorkeur wanneer het tenminste 5 ene transportelement in horizontale richting aandrijfbaar is door een lineaire elektromotor. De lineaire elektromotor biedt immers het voordeel van een uiterst nauwkeurige bestuurbaarheid, in samenhang met een eenvoudige constructie. Andere soorten aandrijfmechanismen worden echter niet uitgesloten.

10 Zoals uit het bovenstaande blijkt, moeten de transportelementen veelal verschillende aantallen componenten transporteren. Het is dan aantrekkelijk wanneer tenminste een van de transportelementen is ingericht voor het transporteren van een bestuurbaar aantal componenten.

15 Voor het beheersen en optimaliseren van het gehele proces is de inrichting bij voorkeur voorzien van een besturingsinrichting en is de besturingsinrichting bij voorkeur verbonden met de visuele waameeminrichting en met het transportelement voor het besturen van het aantal te transporteren producten.

20 Vervolgens zal de onderhavige uitvinding worden toegelicht aan de hand van de in navolgende figuren weergegeven niet-Iimitatieve uitvoeringsvoorbeelden. Hierin toont: figuur 1: een schematisch perspectivisch aanzicht op een inrichting volgens de uitvinding; figuur 2: een schematisch perspectivisch detailaanzicht op een transportelement volgens 25 de uitvinding; figuur 3: een doorsnede-aanzicht van een bovenste deel op een transportelement; figuur 4: een perspectivisch aanzicht van een onderste deel op een eerste uitvoeringsvorm van een transportelement; figuur 5: een perspectivisch aanzicht op een transportelement volgens een tweede 30 uitvoeringsvorm; en figuur 6: een perspectivisch aanzicht op het inwendige van het in figuur 5 getoonde transportelement.

1028824 I » 7 ! i

In figuur 1 is een in zijn geheel met 1 aangeduide inrichting getoond, die geschikt is i voor het transporteren naar een drager 3 van een bewerking doorlopen hebbende elektronische componenten 2, zoals halfgeleiderproducten. De inrichting is voorzien van een aflevertafel 4 waarop het voorgaande proces de componenten 2 volgens een 5 rechthoekig patroon gerangschikt aflevert. Verder omvat de inrichting een positioneertafel 5 en een dragertafel 6 waarop dragers 3 geplaatst kunnen worden. De dragertafel 6 is beweegbaar in horizontale en verticale richting om de beladen dragers tot in eèn dragerwagen 7 te kunnen plaatsen. Dergelijk dragerwagens 7 zijn in de bij de vervaardiging van elektronische componenten gebruikelijk voor het transporteren van 10 de op dragers 3 geplaatste componenten 2.

De inrichting is voorzien van een zich in de lengterichting uitstrekkende lineaire elektromotor 8 waaraan twee transportelementen 9A, 9B zijn bevestigd. De lineaire elektromotor is verder voorzien van een geleider voor geleiden van de horizontale 15 beweging van de transportelementen en het ondersteunen van de transportelementen. Hierbij is het linker transportelement 9A ingericht voor het transporteren van de componenten van de aflevertafel 4 naar de positioneertafel 5 en is het rechter transportelement ingericht voor het transporteren van de componenten van de positioneertafel 5 naar de drager 3. Het is echter mogelijk voor beide functies gebruik te 20 maken van een enkel transportelement.

Boven de positioneertafel 5 is een camera 10 aangebracht voor het waarnemen van de op de positioneertafel aanwezige componenten. Onder de positioneertafel 5 is een lichtbron aangebracht voor het aan de onderzijde verlichten van de componenten, voor 25 het vergroten het contrast van het door de camera waargenomen beeld en voor het vergemakkelijken van de aanwezigheidsdetectie Van de componenten 2.

In figuur 2 is een transportelement in zijn geheel weergegeven. Het transportelement 9 omvat een bovenste deel 11, dat door middel van een drager 12 is verbonden met een 30 wagen 13, die door de lineaire elektromotor 8 langs de lineaire elektromotor en de bijbehorende geleider beweegbaar is. Onder het bovenste deel 11 van het transportelement 9 is een onderste deel 14 aangebracht. Bij de onderhavige uitvoeringsvorm is het onderste deel 14 om een verticale as roteerbaar ten opzichte van het bovenste deel 11. Het onderste deel 14 van het transportelement is voorzien van een 1028824 1 # δ reeks langwerpige dragers 15, die elk zijn voorzien van een reeks aan hun onderzijde aangebracht, en in de tekeningen niet afgebeelde grijpelementen. De langwerpige dragers 15 zijn dwars op hun lengterichting beweegbaar voor het in een enkele richting aanpassen van de afstand tussen de grijpelementen.

5

Figuur 3 toont een doorsnede-aanzicht van het bovendeel 11 van het transportelement.

Het bovendeel 11 omvat een behuizing 17, waarin twee lagers 18 zijn aangebracht. In de lagers 18 is een holle bus 19 met een centrale as 20 roteerbaar gelagerd. Het onderste deel 14 van het transportorgaan is in verticale richting beweegbaar aan de bus 19 10 bevestigd. Rondom de centrale as 20 is een ringvormige zuiger 21 aangebracht waaraan het onderste deel van het transportelement is bevestigd. Aldus is boven de ringvormige zuiger 21 een kamer 22 aangebracht, die, aangesloten op een bestuurbare persluchtbron de hoogte van het onderste deel 14 van het transportelement bestuurt. Aan de buitenzijde van de behuizing 17 is een niet weergegeven elektromotor aangebracht voor 15 het in rotatie aandrijven van de centrale as 20 en daarmee van het onderste deel van het transportorgaan. Ten slotte is een aantal doorverbindingen voor perslucht aangebracht om besturing mogelijk te maken van een aantal functies in het onderste deel van het transportelement.

20 In figuur 4 is een eerste uitvoeringsvoorbeeld weergegeven van een onderste deel 14 van een transportorgaan. Het onderste deel 14 omvat een frame, waarvan in de tekening slechts twee wanden 25A en 25B zijn weergegeven, en welk frame is verbonden met de centrale as 20. Op het frame is een pneumatische rotatie-aandrijfinrichting 26 aangebracht voor het in rotatie aandrijven van een schijf 27. In de schijf 27 is een aantal 25 gebogen sleuven 28 aangebracht. Deze aandrijfinriching is bij voorkeur ingericht om pneumatisch te worden aangedreven, doch andere soorten van andrijving worden niet uitgesloten.

De wanden 25 A en 25B zijn elk ingericht voor het geleiden van de dragers 15 en de 30 daarop geplaatste grijpelementen 16. Op elk van de dragers 15 is een pen 29 aangebracht die zich door een van de sleuven 28 heen uitstrekt. Als gevolg van deze koppeling tussen de schijf 27 en de pennen 29 tezamen met de vormgeving van de sleuven 28, worden de dragers 15 bij rotatie van de schijf 27 aangedreven tussen een ! uiterste positie, waarin de dragers 15 zich ver van elkaar af bevinden en een inwendige 1028824 - ------------------------9--------------------- ------ positie waarin de dragers 15 zich dicht bij elkaar bevinden. Hierbij wordt erop gewezen dat de grijpelementen 16 door middel van pneumatische bekrachtiging worden geactiveerd. Ook het onderste deel van het transportelement omvat dan ook een aantal pneumatische verbindingen voor de besturing van de grijpelementen.

5

In figuur 5 en 6 is een uitvoeringsvorm van een transportelement getoond waarbij de dragers 15 op een alternatieve wijze worden aangedreven. De buitenste dragers 15A, respectievelijk 15B zijn elk door middel van een heiboom 31A, respectievelijk 31B J

verbonden met een in rotatie aandrijfbare schijf 32, welke overigens tevens door een 10 kruk zou kunnen worden gevormd. De schijf 32 is hierbij voor rotatie gekoppeld met j een bij voorkeur pneumatisch aangedreven motor 26, evenals bij de vorige uitvoeringsvorm. Door rotatie van de schijf 32 worden de buitenste dragers bewogen.

De buitenste dragers 15 zijn elk verbonden met een zich in de bewegingsrichting uitstrekkende stang 33A, respectievelijk 33B. Deze stangen zijn elk door een pen-gat-15 verbinding gekoppeld met de in dezelfde richting aandrijfbare dragers 15. Hierdoor worden deze resterende dragers 15 meegenomen bij de beweging van de buitenste dragers 15A, 15 B. Omdat de verbinding tussen de direct aangedreven dragers 15 A en 15B slechts een door wrijving beheerste verbinding is, zijn aanslagen bij de uiterste posities noodzakelijk voor het bepalen van de eindpositie van de indirect aangedreven 20 dragers 15. Hierbij wordt erop gewezen dat de positie van de indirect aangedreven dragers 15 tijdens de beweging niet precies gedefinieerd is. Bij de eindpositie waarbij de dragers 15 het dichtste bij elkaar liggen wordt de eindpositie bepaald doordat de dragers 15 tegen elkaar aan zijn bewogen.

25 Bij de andere uiterste positie, waarbij de dragers 15 het verste van elkaar vandaan zijn, wordt een aanslag gevormd door in een zijwand 34 van het onderste deel van het transportelement geplaatste, van een getrapte contour voorziene openingen 35 . Deze wanden met de daarin aangebrachte openingen 35 zijn afgebeeld in figuur 5. Hierbij wordt de eindpositie van elk van de indirect aangedreven dragers 15 bepaald door een 30 respectievelijke trap 36 van de opening 35.

De hierboven beschreven inrichting wordt toegepast voor het oppakken van door een van een bewerkingsmachine afkomstige elektronische componenten zoals halfgeleideiproducten welke in een bepaald stramien worden afgeleverd, op een 1028824 Λ * 10 aangepaste wijze te rangschikken, te controleren op aanwezigheid en kwaliteit, en op een drager te plaatsen voor verder transport. Hiertoe worden de door de bewerkingsmachine op de aflevertafel 2 geplaatste componenten 4 door het eerste transportelement 9A opgepakt en op de positioneertafel 5 geplaatst. Hierbij kan de steek 5 tussen de componenten in een eerste richting worden veranderd en kan de groep componenten worden geroteerd.

Eenmaal op de positioneertafel 5 geplaatst worden de componenten door de camera 10 gecontroleerd op aanwezigheid en eventueel kwaliteit. Vervolgens worden de 10 componenten opgepakt door de tweede transportinrichting 9B en op de drager 3 geplaatst. Ook bij deze verplaatsing kan de steek tussen de componenten worden veranderd, bij voorkeur in een richting die dwars staat op de richting waarin de steek aanvankelijk werd veranderd. Ook is een rotatie van de groep componenten mogelijk.

15 De plaatsing van de componenten op de positioneertafel 5 biedt verder mogelijkheid een aantal componenten op de positioneertafel achter te laten, in de situatie waarin het aantal door de bewerkingsmachine op de aflevertafel geplaatste componenten ongelijk j is aan het aantal op de drager geplaatste componenten.

20 Het zal duidelijk zijn dat diverse variaties van de hier getoonde constructies kunnen worden aangebracht zonder af te wijken van de uitvinding.

1028824 i

Claims

1. Werkwijze voor het plaatsen van in een rechthoekige structuur gerangschikte elektronische componenten op een vlakke drager, omvattende de volgende stappen; 5. het oppakken van een aantal volgens een matrixstructuur gerangschikte componenten; en - het op de vlakke drager plaatsen van de componenten, met het kenmerk dat de componenten na het oppakken aanvankelijk op een positioneertafel worden geplaatst en dat de op de positioneertafel geplaatste producten 10 vervolgens weer worden opgepakt voordat zij op de vlakke drager worden geplaatst.

2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk dat tijdens het verblijf van de producten op de positioneertafel tenminste een hoedanigheid van de elektronische componenten visueel wordt waargenomen. 15

3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat tijdens tenminste een van de transporthandelingen van de elektronische componenten tenminste hun onderlinge positie wordt veranderd.

4. Werkwijze volgens conclusie 3, met het kenmerk dat tijdens een eerste transporthandeling de onderlinge afstand tussen de elektronische componenten in een eerste richting wordt veranderd.

5. Werkwijze volgens conclusie 3 of 4, met het kenmerk dat tijdens de tweede 25 transporthandeling de onderlinge afstand tussen de elektronische componenten in de tweede richting wordt veranderd.

6. Werkwijze volgens conclusies 3,4 of 5, met het kenmerk dat tijdens tenminste een van de transporthandelingen de elektronische componenten worden geroteerd. 30

7. Werkwijze volgens een van de voorafgaande conclusies, met het kenmerk dat het aantal in de eerste transporthandeling getransporteerde componenten ongelijk is aan het tijdens de tweede transporthandeling getransporteerde componenten. 1028824

8. Werkwijze volgens conclusie 7, met het kenmerk dat het verschil tussen het aantal in de eerste en de tweede transporthandeling getransporteerde componenten op de positioneertafel resteert en bij een volgende tweede transporthandeling tenminste een deel van de resterende componenten mede worden getransporteerd. i 5

9. Werkwijze volgens conclusie 2, met het kenmerk dat tijdens het visueel waarnemen van de componenten de aanwezigheid van een component wordt waargenomen en dat bij waargenomen afwezigheid tijdéns een volgende transporthandeling de afwezigheid wordt gecorrigeerd. 10

10. Werkwijze volgens een van de conclusies 2-9, met het kenmerk dat tijdens het visueel waarnemen van de componenten de componenten worden geteld.

11. Inrichting voor het plaatsen van in een rechthoekige structuur gerangschikte 15 componenten op een vlakke drager, omvattende; - een aflevertafel waarop de componenten in een matrixstmctuur worden geplaatst; - positioneermiddelen voor het positioneren van een vlakke drager waarop de componenten moeten worden geplaatst, - tenminste een transportelement voor het van de aflevertafel oppakken en plaatsen van 20 een aantal in een matrix gerangschikte componenten, met het kenmerk dat de inrichting verder een positioneertafel omvat en dat het tenminste ene transportelement is ingericht voor het transporteren van componenten van de aflevertafel naar de positioneertafel en voor het transporteren van de componenten van de positioneertafel naar een op de positioneermiddelen geplaatste vlakke drager. 25

12. Inrichting volgens conclusie 11, met het kenmerk dat visuele waamemingsmiddelen zijn aangebracht voor het waarnemen van op de positioneertafel aanwezige componenten.

13. Inrichting volgens conclusie 12, met het kenmerk dat de visuele waamemingsmiddelen een boven de positioneertafel geplaatste camera omvatten, dat de positioneertafel is geperforeerd en dan de onderzijde van de positioneertafel van verlichtingsmiddelen is voorzien 1028824 è *

14. Inrichting volgens conclusie 11,12 of 13, met het kenmerk dat tenminste een van de transportelementen is ingericht voor het veranderen van de onderlinge afstand tussen de componenten in een eerste richting.

15. Inrichting volgens conclusie 14, met het kenmerk dat tenminste een van de transportelementen is ingericht voor het veranderen van de onderlinge afstand tussen de componenten in zich loodrecht op de eerste richting uitstrekkende tweede richting.

16. Inrichting volgens conclusie 14 of 15, met het kenmerk dat het 10 transportelement voorzien is van grijpelementen, dat de grijpelementen zijn aangebracht op zich in een onderling parallel uitstrekkende dragers en dat de dragers beweegbaar zijn in de richting van de te veranderende afstand tussen de componenten.

17. Inrichting volgens conclusie 16, met het kenmerk dat tenminste een buitenste 15 drager door een aandrijfelement aandrijfbaar is tussen een ingeschoven positie en een uitgeschoven positie en overige dragers door een pen- en gatverbinding zijn verbonden met de buitenste drager.

18. Inrichting volgens conclusie 17, met het kenmerk, dat in de ingeschoven 20 positie de dragers met elkaar in aanraking zijn en dat in de uitgeschoven positie de dragers elke met een aanslag in aanraking zijn.

19. Inrichting volgens conclusie 17 of 18, met het kenmerk dat de buitenste drager door een hefboom met een in rotatie aandrijfbare kruk is verbonden. 25

20. Inrichting volgens conclusie 16, met het kenmerk dat de dragers elk mechanisch zijn gekoppeld met coulissen van een in rotatie aandrijfbare schijf.

21. Inrichting volgens een van de conclusies 11-20, met het kenmerk dat tenminste 30 een van de transportelementen om een horizontale as roteerbaar is opgehangen.

22. Inrichting volgens een van de conclusies 11-21, met het kenmerk dat de inrichting slechts een enkel transportelement omvat dat is ingericht voor het transporteren van de producten naar de positioneertafel als vanaf de positioneertafel. 1028824

23. Inrichting volgens een van de voorafgaande conclusies, met het kenmerk dat het tenminste ene transportelement in horizontale richting aandrijfbaar is door een lineaire elektromotor. 5

24. Inrichting volgens een van de conclusies 11-23, met het kenmerk dat tenminste een van de transportelementen is ingericht voor het transporteren van een bestuurbaar aantal componenten.

25. Inrichting volgens conclusie 24, met het kenmerk dat de inrichting een besturingsinrichting omvat, en dat de besturingsinrichting is verbonden met de visuele waameeminrichting en met het transportelement voor het besturen van het aantal te transporteren componenten. /» 1028824