KR101233111B1 - 기판 정렬장치 및 그 제어방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 플렉시블한 기판의 정렬을 보다 정확하게 이룰 수 있는 기판의 정렬장치에 관한 것으로서, 기판이 올려지며 올려진 기판을 흡착하는 흡착부가 구비된 스테이지, 상기 스테이지에 놓여진 기판의 적어도 일측면이 지지되도록 상기 스테이지에 돌출되도록 구비되어 기판의 정렬기준이 되는 스토퍼, 상기 스테이지에 놓여진 기판을 상기 스토퍼측으로 미는 적어도 하나의 푸셔, 상기 스테이지의 상측에 승강 가능하게 구비되며 상기 스테이지에 놓여진 기판을 눌러 압착하는 상부 프레스를 포함하여 이루어지는 기판의 정렬장치가 제공된다.

Description

기판 정렬장치 및 그 제어방법{Aligner for Board and Controlling Method for the Same}

본 발명은 기판 얼라인 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플렉시블한 기판의 정렬을 보다 정확하게 이룰 수 있는 기판의 정렬장치에 관한 것이다.

일반적으로 전자부품의 회로가 되는 기판 등의 부품을 제조하기 위해서는 여러가지 공정을 거치게 되며, 이들 각 공정은 해당공정을 위해 각 공정마다 별도의 최적의 환경으로 설계된 장비의 내부에서 진행된다.

그러기 위해서는, 상기 기판등의 부품이 각 장비를 거칠 때마다 이동하여 각 장비에 로딩되어야 한다.

상기와 같이, 각 장비에 기판등의 부품을 로딩하기 위해서 장비의 탑재전에 부품을 대기하게 되는데, 이 때에 부품의 대기위치가 정해져 있으며 각 장비는 정해진 위치에 놓여진 기판등의 부품을 픽커를 사용하여 장비에 로딩한다.

이를 위해, 부품을 정해진 위치에 정렬하는 기판 정렬장치가 사용되고 있다.

도 1은 종래의 기판 정렬장치를 도시한 사시도이다.

종래의 기판 정렬장치는 스테이지(20)의 일측에 스토퍼(30) 및 푸셔(42, 44)가 구비된다.

상기 스테이지(20)는 기판(10)이 올려지는 구성요소이며, 상기 스토퍼(30)는 상기 스테이지(20)에 놓여진 기판(10)의 측면이 지지되도록 상기 스테이지(20)에 돌출 형성되어 기판(10)의 정렬기준이 된다. 그리고, 상기 푸셔(2, 44)는 기판(10)이 상기 스토퍼(30)에 연접된 상태로 놓여지도록 상기 스테이지(20)에 놓여진 기판(10)을 상기 스토퍼(30) 측으로 미는 구성요소로서 복수개가 구비될 수 있다.

따라서, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 스테이지에 기판이 반입되면, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 푸셔(42)가 상기 기판(10)을 스토퍼(30)측에 연접되도록 밀어 상기 기판(10)이 정위치에 정렬되도록 하는 것이다.

그런데, 최근에 들어 유연한 재질의 플렉시블한 기판의 사용이 늘어나고 있는 추세이다. 상기와 같이 플렉시블한 기판을 종래의 기판 정렬장치를 통하여 정렬시키고자 푸셔(42)로서 상기 기판(10)을 스토퍼(30) 측으로 밀게 되면, 도 4에 도시된 바와 같이 기판(10)이 자체의 탄성으로 인해 좌굴될 수 있으며, 기판(10)이 좌굴된 상태에서 상기 푸셔(42)의 가압을 해제할 경우, 도 5에 도시된 바와 같이 기판의 자체적인 탄성에 의해 기판이 원래의 상태로 복원되면서 그 반발력으로서 정위치인 스토퍼(30)와 연접되는 위치에서 이동하여 벗어나게 되는 경우 발생하는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 플렉시블한 기판의 정렬을 보다 정확하게 이룰 수 있는 기판의 정렬장치를 제공하고자 하는 것을 과제로 한다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 기판 정렬장치의 일 실시예에 따르면, 기판이 올려지며 올려진 기판을 흡착하는 흡착부가 구비된 스테이지, 상기 스테이지에 놓여진 기판의 적어도 일측면이 지지되도록 상기 스테이지에 돌출되도록 구비되어 기판의 정렬기준이 되는 스토퍼, 상기 스테이지에 놓여진 기판을 상기 스토퍼측으로 미는 적어도 하나의 푸셔, 상기 스테이지의 상측에 승강 가능하게 구비되며 상기 스테이지에 놓여진 기판을 눌러 압착하는 상부 프레스를 포함하여 이루어지는 기판의 정렬장치가 제공된다.

상기 스토퍼는 상기 기판의 모서리의 두개면이 지지되도록 형성될 수 있다.

상기 스토퍼는 상기 상부 프레스가 하강할 때 상부 프레스의 누르는 압력에 의해 스테이지 내부로 수용되도록 상기 스테이지에 탄성지지되도록 이루어질 수 있다.

상기 흡착부는 상기 스테이지의 기판이 올려지는 면에 형성된 적어도 하나의 흡착공, 상기 스테이지의 흡착공에서 스테이지에 놓여진 기판을 흡착하는 음압을 형성하는 제1블로워을 포함하여 이루어질 수 있다.

그리고, 상기 상부 프레스의 스테이지와 마주보는 면에 상기 기판을 누를 때 결함이 생기는 것을 방지하도록 유연한 재질의 압착면이 구비될 수 있다.

상기 푸셔가 상기 기판을 상기 스토퍼 측으로 가압할 때, 상기 상부프레스의 스테이지를 향하는 면에 공기를 기판 상면측으로 송풍하여 상기 기판이 휘어지는 것을 방지하도록 구비되는 송풍부가 더 구비될 수 있다.

상기 송풍부는 상기 상부 프레스의 스테이지를 향하는 면에 형성된 적어도 하나의 송풍구, 상기 각 송풍구에 공기를 공급하도록 구비되는 제2블로워를 포함하여 이루어질 수 있다.,

그리고, 상기 압착면은, 공기가 통할 수 있는 다공질성의 재질로 이루어질 수 있다.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 푸셔가 반입된 기판을 스토퍼 측으로 밀어 정위치에 정렬하는 기판정렬단계와, 상기 스테이지에 정렬된 기판의 정렬이 흐트러지지 않도록 상기 기판을 흡착하여 흡착단계, 상부 프레스가 상기 정위치에 정렬된 기판을 스테이지에 눌러 기판이 평평하게 스테이지에 밀착되도록 압착하는 압착단계, 상기 상부 프레스가 상승하여 상기 기판의 압착을 해제하는 압착해제단계 및 상기 기판의 흡착을 해제하는 흡착해제단계를 포함하여 이루어지는 기판 정렬장치의 제어방법이 제공된다.

그리고, 상기 기판 정렬장치의 제어방법은 상기 기판정렬단계 전에, 기판이 정렬될 때 푸셔의 압력에 의해 좌굴되지 않도록 상기 상부 프레스가 상기 기판의 상측에 근접한 위치로 하강한 상태에서 상기 기판의 상측에 공기를 불어내는 블로잉 단계가 수행되는 것을 더 포함하여 이루어질 수 있다.

본 발명의 기판 정렬장치 및 그 제어방법에 따르면 플렉시블한 기판을 좌굴없이 정렬시킬 수 있어 정렬의 정확성을 보다 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래의 기판 정렬장치를 도시한 사시도;
도 2는 도 1의 기판 정렬장치에 기판이 반입된 모습을 나타낸 단면도;
도 3은 도 2의 기판이 정렬된 상태를 단면도;
도 4는 플렉시블한 기판이 기판 정렬장치에 반입되어 정렬될 때 좌굴되는 모습을 나타낸 단면도;
도 5는 상기 푸셔가 원위치 되었을 때 탄성복원된 기판이 정렬된 위치에서 벗어난 상태를 나타낸 단면도;
도 6은 본 발명의 기판 정렬장치의 일 실시예를 도시한 사시도;
도 7은 도 6의 기판 정렬장치에 기판이 반입된 모습을 도시한 단면도;
도 8은 플랙시블한 기판이 도 6의 기판 정렬장치에 반입되어 정렬될 때 좌굴되는 모습을 나타낸 단면도;
도 9는 정렬된 기판이 상부 프레스에 의해 압착되는 모습을 나타낸 단면도;
도 10은 상부 프레스가 상승하고, 기판이 스테이지에 흡착된 모습을 나타낸 단면도;
도 11은 정렬 완료된 기판이 픽커로 반출되는 모습을 나타낸 단면도; 그리고
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 정렬장치의 제어방법을 도시한 순서도 이다.

이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.

또한, 본 실시예에서, 본 발명의 기판 정렬장치는 장비에 기판을 로딩하기 전에 부품을 대기할 때 정렬하는 프리 얼라이너(Pre-Aligner)에 적용되는 것을 예로 들어 설명하기로 하나, 본 발명은 반드시 이에 한정된 것은 아니며 여타 다른 장치의 기판 정렬장치에도 적용될 수 있다.

또한, 본 실시예에서, 상기 기판은 유연한 재질의 플랙시블(flexible)한 기판이 사용되는 것을 예로 들어 설명하기로 한다. 하지만 본 발명은 이 외에도 유연하지 않은, 단단한 재질의 기판도 정렬이 가능하다.

또한, 본 실시예에서, 상기 기판으로는 디스플레이 패널을 이루는 기판을 예로 들어 설명하기로 하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 여타 다른 기판도 적용이 가능하다.

도 6은 본 실시예에 따른 기판 정렬장치를 도시한 도면이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 정렬장치는 스테이지(110)와 스토퍼(120) 및 상부 프레스(140)를 포함하여 이루어 질 수 있다.

상기 스테이지(110)는 기판(10)이 올려지는 평면을 이루는 구성요소이다.

그리고, 상기 스토퍼(120)는 상기 스테이지(110)에 올려진 기판(10)의 적어도 일측면이 지지되도록 상기 스테이지(110)로부터 돌출되도록 구비된다. 그리고, 상기 스토퍼(120)는 상기 기판(10)의 측면이 연접되었을 때 상기 기판(10)이 정위치인 곳에 구비되어 기판(10) 정렬의 기준이 되는 위치에 구비될 수 있다.

또한, 상기 스토퍼(120)는 상기 기판(10)의 모서리의 두 면이 연접되어 지지될 수 있도록 ㄱ자 형태로 절곡되어 형성될 수 있다.

또한, 상기 스토퍼(120)는 후술하는 상기 상부 프레스(140)가 하강할 때 상기 상부 프레스(140)에 의해 탄성적으로 눌려지도록 상기 스테이지(110)에 탄성지지될 수 있다. 이를 위하여 상기 스테이지(110)에는 상기 스토퍼(120)가 수용되는 수용홈(122)이 형성되며, 상기 스토퍼(120)는 상기 수용홈(122)에 스프링(124)에 의해 탄성지지될 수 있다.

상기 푸셔는 상기 스테이지(110)에 놓여진 기판(10)을 상기 스토퍼(120) 측으로 미는 구성요소이다. 상기 푸셔는 상기 스테이지(110)에 수평한 방향으로 슬라이딩 하도록 구비될 수 있으며, 상기 기판(10)과 연접하는 면은 기판(10)을 안정적으로 밀기 위하여 플렌지가 형성될 수 있다.

상기와 같은 푸셔는 상기 기판(10)을 일측방향으로 미는 제1푸셔(132)와 상기 제1푸셔(132)와는 직각되는 방향으로 기판(10)을 미는 제2푸셔(134)로 2개 구비될 수 있다.

상기와 같은 스토퍼(120) 및 제1푸셔(132)와 제2푸셔(134)는 상기 기판(10)이 사각형 형태일 때를 기준으로 설명한 것이며, 상기 기판(10)의 형태에 따라 상기 스토퍼(120) 및 푸셔의 형태 및 개수는 달라질 수 있다.

그리고, 상기 스테이지(110)의 상부에는 상부 프레스(140)가 구비된다. 상기 상부 프레스(140)는 도 7 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지(110)의 상측에서 승강 가능하게 구비되며, 상기 스테이지(110)에 놓여진 기판(10)을 압착하는 구성요소이다.

좀 더 자세하게 설명하자면 상기 상부 프레스(140)는 상기 기판(10)이 정렬될 때 상기 기판(10)이 스테이지(110)에 밀착되도록 눌러 상기 기판(10)이 좌굴되지 않도록 압착하는 구성요소이다. 이러한 상부 프레스(140)는 기판(10)과 직접적으로 맞닿는 구성요소이므로 접촉시 상기 기판(10)에 결함을 발생시키지 않게 하기 위하여 상기 상부 프레스(140)의 기판(10)과 맞닿는 면은 부드럽고 유연한 스펀지나 실리콘 등의 재질의 압착면(142)이 구비되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 스테이지(110)에는 흡착부(112)가 구비될 수 있다. 상기 흡착부(112)는 상기 스테이지(110)에 놓여진 기판(10)을 흡착하여 고정시키기 위한 구성요소이다. 상기 흡착부(112)는 도 7 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지(110)의 기판(10)이 놓여지는 면에 형성된 하나 이상의 흡착공(114)과, 제1블로워(118) 및 유로(116)를 포함하여 이루어질 수 있다.

즉, 상기 제1블로워(118)가 작동하여 상기 유로를 통해 상기 흡착공(114)에서 공기를 흡입하는 음압을 형성함으로써 상기 스테이지(110)에 놓여진 기판(10)이 상기 스테이지(110)의 면에 좌굴없이 흡착되어 고정될 수 있는 것이다.

또한, 상기 상부 프레스(140)에는 송풍부(144)가 형성될 수 있다. 상기 송풍부(144)는 플랙시블한 재질의 기판(10)이 제1푸셔(132) 및 제2푸셔(134)에 의해 정렬되면서 그 탄성에 의해 좌굴이 일어날 때 상기 기판(10)의 상측에서 공기를 고압으로 분사하여 그 압력으로서 기판(10)의 좌굴을 방지하여 기판(10)이 평평한 상태를 유지하면서 스테이지(110)에 보다 잘 밀착되도록 하는 구성요소이다.

상기와 같은 송풍부(144)는 도 7 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 상부 프레스(140)의 기판(10)을 향하는 면에 형성된 하나 이상의 송풍구(146)와 제2블로워(148) 및 유로(149)를 포함하여 이루어질 수 있다.

즉, 상기 제2블로워(148)가 작동하여 상기 유로를 통해 상기 송풍구(146)에서 공기를 분사함으로써 상기 스테이지(110)에 놓여진 기판(10)이 공기분사의 압력으로 인해 좌굴이 방지되는 것이다.

이 때, 상기 제1블로워(118)와 제2블로워(148)는 서로 별개의 구성요소이거나 또는 동일한 하나의 구성요소일 수 있다. 상기 제1블로워(118)와 제2블로워(148)가 하나의 구성요소일 때는 정역회전이 가능하도록 구비되어 공기를 흡입하거나 송풍하는 것이 가능하도록 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 상기 상부 프레스(140)의 기판(10)을 향하는 면에 구비된 압착면(142) 또한 공기가 통할 수 있는 다공성의 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.

따라서, 상기와 같은 본 실시예의 기판 정렬장치의 스테이지(110)에 기판(10)이 올려진 후에 상기 상부 프레스(140)가 상기 기판(10)에 근접한 위치로 하강하여 기판(10)이 정렬될 때 상기 푸셔(132, 134)가 미는 압력에 의해 좌굴되는 것을 방지하도록 상기 송풍부(144)에서 공기를 분사하면서 상기 제1푸셔(132) 및 제2푸셔(134)가 상기 기판(10)을 스토퍼(120) 측으로 밀면서 정렬을 하게 되고, 상기 기판(10)의 정렬이 완료된 후에는 상기 푸셔(132, 134)가 원위치 하면서 공기의 분사가 중지되고, 상기 흡착부(112)가 작동하여 상기 기판(10)을 스테이지(110)의 면에 흡착시킨 후 상기 상부 프레스(140)가 더욱 하강하여 상기 기판(10)을 스테이지(110)의 면에 압착시켜 기판(10)이 스테이지(110)의 면에 밀착되어 평평하도록 압착시키며, 상기 상부프레스가 상승한 후에 흡착부(112)의 작동이 중지되어 기판(10)의 정렬을 완료시킬 수 있다.

이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 정렬장치의 제어방법에 대해 설명하고자 한다.

본 실시예에 따른 기판 정렬장치의 제어방법은 도 12에 도시된 바와 같이, 반입단계(S110)와 블로잉단계(S120), 기판 정렬단계(S130), 흡착단계(S140), 압착단계(S150), 압착해제단계(S160) 및 흡착 해제단계(S170)를 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 반입단계(S110)는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지(110)에 기판(10)이 반입되어 놓여지는 단계이다. 본 단계에서 상기 기판(10)은 상기 스테이지(110)에 올려져있을 뿐이며 정렬이 되지 않은 상태이다.

상기 블로잉단계(S120)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 상부 프레스(140)가 상기 기판(10)에 근접한 위치에 까지 하강한 후 상기 송풍부(144)가 작동되어 상기 기판(10)에 공기를 분사함으로써 그 압력으로 상기 기판(10)이 후술하는 기판 정렬단계(S130)에서 좌굴되려는 현상을 방지하여 평평한 상태를 유지할 수 있도록 하여 보다 정확한 정렬을 이루도록 하는 단계이다.

상기 기판 정렬단계(S130)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제1푸셔(132) 및 제2푸셔(134)가 작동하여 상기 기판(10)이 스토퍼(120) 측에 연접되어 정위치에 정렬이 이루어지는 단계이다. 이 때 상기 기판(10)이 플랙시블한 재질이므로 자체의 탄성 및 푸셔의 압력에 의해 어느정도 휘어지는 좌굴하려는 경향이 상기 블로잉단계(S120)에서의 공기분사압력에 의해 방지되어 상기 기판(10)이 평평한 상태를 유지하므로 정확한 위치에 정렬될 수 있다.

상기 흡착단계(S140)는 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 기판 정렬단계(S130)에서 정위치에 정렬된 기판(10)을 스테이지(110)의 면에 흡착하여 고정하는 단계이다.

그리고, 상기 압착단계(S150)는 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 상부 프레스(140)가 더욱 하강하여 상기 상부 프레스(140)의 압착면(142)이 상기 기판(10)을 상기 스테이지(110)에 압착하는 단계이다. 따라서, 본 단계에서 상기 기판(10)은 스테이지(110)에 완전히 밀착되게 되어 스테이지(110)의 면을 따라 평평하게되며 상기 스프링(124)에 의해 탄성지지되는 스토퍼(120) 또한 상기 상부 스테이지(110)에 의해 눌려져 수용홈(122) 내부로 하강하게 된다. 상기 압착단계(S150)에서 상기 상부 스테이지(110)가 하강하기 전에 상기 블로잉단계(S120)에서 공기의 분사가 중지되며, 상기 기판 정렬단계(S130)에서 작동되었던 상기 제1푸셔(132) 및 제2푸셔(134)가 원위치로 복귀할 수 있다.

상기 압착 해제단계(S160)는 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 흡착부(112)가 작동되어 기판(10)이 스테이지(110)에 흡착된 상태에서 상기 상부 프레스(140)가 상승하여 기판(10)의 압착을 해제하는 단계이다. 이 때, 상기 흡착부(112)가 기판(10)을 스테이지(110)에 흡착시키고 있으므로 상기 상부 프레스(140)가 상승할 때 마찰력등의 외력이 다소 작용한다고 하여도 상기 기판(10)은 정렬된 위치에서 움직이지 않고 고정된 상태를 유지하게 되며, 상기 스토퍼(120) 또한 원래의 위치로 복귀하게 된다.

상기 흡착 해제단계(S170)는 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 흡착부(112)의 작동이 중지되어 상기 기판(10)의 흡착을 중지하는 단계이다. 본 단계의 후에는 상기 기판(10)은 어떠한 고정없이 스테이지(110)의 정위치에 정렬된 상태로 놓여져 있는 상태이므로 별도의 픽커(150)등을 통해 장비로 반출이 가능하다.

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.

110: 스테이지 112: 흡착부
114: 흡착공 116: 유로
120: 스토퍼 122: 수용홈
124: 스프링 132: 제1푸셔
134: 제2푸셔 140: 상부 프레스
142: 압착면 144: 송풍부
146: 송풍구 148: 제2블로워
149: 유로 150: 픽커

Claims (10)

1. 기판이 올려지며 올려진 기판을 흡착하는 흡착부가 구비된 스테이지;
   상기 스테이지에 놓여진 기판의 적어도 일측면이 지지되도록 상기 스테이지에 돌출되도록 구비되어 기판의 정렬기준이 되는 스토퍼;
   상기 스테이지에 놓여진 기판을 상기 스토퍼측으로 미는 적어도 하나의 푸셔; 및
   상기 스테이지의 상측에 승강 가능하게 구비되며 상기 스테이지에 놓여진 기판을 눌러 압착하는 상부 프레스;
   를 포함하여 이루어지는 기판의 정렬장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 스토퍼는 상기 기판의 모서리의 두개면이 지지되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판의 정렬장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 스토퍼는 상기 상부 프레스가 하강할 때 상부 프레스의 누르는 압력에 의해 스테이지 내부로 수용되도록 상기 스테이지에 탄성지지되는 것을 특징으로 하는 기판의 정렬장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 흡착부는
   상기 스테이지의 기판이 올려지는 면에 형성된 적어도 하나의 흡착공;
   상기 스테이지의 흡착공에서 스테이지에 놓여진 기판을 흡착하는 음압을 형성하는 제1블로워;
   을 포함하여 이루어지는 기판의 정렬장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 상부 프레스의 스테이지와 마주보는 면은 상기 기판을 누를 때 결함이 생기는 것을 방지하는 압착면이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 정렬장치.
6. 제1항 또는 제5항에 있어서,
   상기 푸셔가 상기 기판을 상기 스토퍼 측으로 가압할 때, 상기 상부프레스의 스테이지를 향하는 면에 공기를 기판 상면측으로 송풍하여 상기 기판이 휘어지는 것을 방지하도록 구비되는 송풍부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 정렬장치.
7. 제5항에 있어서,
   상기 송풍부는
   상기 상부 프레스의 스테이지를 향하는 면에 형성된 적어도 하나의 송풍구;
   상기 각 송풍구에 공기를 공급하도록 구비되는 제2블로워;
   를 포함하여 이루어지는 기판의 정렬장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 압착면은,
   공기가 통할 수 있는 다공질성의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 정렬장치.
9. 기판이 스테이지에 반입되는 반입단계;
   푸셔가 반입된 기판을 스토퍼 측으로 밀어 정위치에 정렬하는 기판정렬단계;
   상기 스테이지에 정렬된 기판의 정렬이 흐트러지지 않도록 상기 기판을 흡착하여 흡착단계;
   상부 프레스가 상기 정위치에 정렬된 기판을 스테이지에 눌러 기판이 평평하게 스테이지에 밀착되도록 압착하는 압착단계;
   상기 상부 프레스가 상승하여 상기 기판의 압착을 해제하는 압착해제단계;
   상기 기판의 흡착을 해제하는 흡착해제단계;
   를 포함하여 이루어지는 기판 정렬장치의 제어방법.
10. 제9항에 있어서,
    상기 기판정렬단계전에,
    기판이 정렬될 때 푸셔의 압력에 의해 좌굴되지 않도록 상기 상부 프레스가 상기 기판의 상측에 근접한 위치로 하강한 상태에서 상기 기판의 상측에 공기를 분사하는 블로잉 단계가 수행되는 것을 더 포함하여 이루어지는 기판 정렬장치의 제어방법.

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