KR101224255B1 - 가치 증서를 검사하는 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 발광 센서(12)를 가지고 발광 가치 증서(BN), 특히 지폐를 검사하는 방법 및 장치와 관련되고, 상기 가치 증서는 발광 방사를 여기하기 위해 조사되고 상기 가치 증서로부터 방사하는 발광 방사는 스펙트럼의 분해로 검출된다.
상기 이송 방향(T)로 상기 발광 센서(12)를 지나 이송되는 상기 검사되는 가치 증서(BN)는 상기 이송 방향으로 연장되는 발광 영역(35)으로 조명되기 때문에, 매우 적은 발광 방사를 방출하는 가치 증서의 경우에도 효과적인 측정이 가능해진다.

Description

가치 증서를 검사하는 장치 및 방법{DEVICE AND METHOD FOR VERIFYING VALUE DOCUMENTS}
본 발명은 특별히 발광 가치 증서를 검사(check)하는 장치 및 방법과 관련된다. 여기서 상기 가치 증서는 광으로 조사(irradiate; 照射)되고 상기 가치 증서로부터 방사되는 상기 발광 방사는 스펙트럼 분해로 검출된다.
그러한 발광 가치 증서는 지폐, 수표, 쿠폰 또는 칩카드(chip card)가 될 수 있다. 그에 제한되지는 않을지라도, 본 발명는 주로 지폐의 검사를 다루고 있다. 지폐는 전형적으로 페이퍼 또는 인쇄 잉크 내에 예를 들어 형광성(fluoresce) 또는 인광성의(phosphoresce) 발광 행동을 보이는 특성 물질이나 복수 개의 특성 물질의 혼합을 함유한다.
그러한 가치 증서의 진정성(authenticity)을 검사하기 위해 알려진 많은 시스템이 있다. 일례로 DE 23 66 274 C2로부터 알려진 시스템이 일예이다. 이 시스템에서, 지폐의 진정성을 검사하기 위해, 즉 특히 형광성 특성 물질이 검사될 지폐상에 실제로 존재하는지 여부를 검사하기 위해, 지폐는 비스듬히 조사되고 수직으로 보내지는 형광성 방사가 간섭 필터를 사용하여 스펙트럼의 분해로 검출된다. 분광계의 다른 포토셀(photocell)로부터 신호들을 비교함으로써 평가가 행해진다.
이 시스템은 대부분의 경우에 매우 신뢰성 있게 작용한다. 그러나, 더욱 소형의 구조를 가지고 검출될 발광 방사의 강도가 매우 낮은 경우에도 충분히 신뢰성 있게 검사될 수 있는 발광 센서가 필요하다.
이러한 전제에서, 소형의 발광 센서로 신뢰할 수 있는 검사를 허용하는 발광 가치 증서를 검사하는 장치 및 방법을 제공하는 것이 본 발명의 문제이다.
이러한 문제는 독립 청구항에 의해 해결된다. 종속 청구항 및 이후의 상세한 설명은 바람직한 실시예를 설명한다.
이송 방향으로 상기 발광 센서를 지나 이송되는 검사될 상기 가치 증서가 상기 이송 방향으로 연장되는 조명 영역으로 조명되기 때문에, 매우 적은 발광 방사를 방출하는 가치 증서를 효과적으로 측정할 수 있다. 특히 이것은 인광성의(phosphorescence) 방사의 측정을 상당히 개선시킨다.
다음의 상세한 설명에서 기술되는 상기 종속 청구항 및 실시예의 특성은 조합하여 또는 각각 다른 청구항에 독립하여 그리고 주된 청구항의 주제에 독립하여, 예를 들어 이송 방향으로 연장하는 조명 영역을 만들지 않는 장치 및 조명 방사보다 방사의 측정을 실행하는 장치에서, 유리하게 사용될 수 있다는 것이 특히 강조된다.
또한, 본 발명의 이점은 첨부된 도면을 참조하여 예시의 방법으로 더욱 면밀히 설명된다. 상기 특성은 다음과 같이 기술된다:
도 1은 지폐 분류(sorting) 장치의 개략도;
도 2는 도 1에 따른 지폐 분류 장치에 사용될 수 있는 본 발명의 발광 센서의 내부의 개략적 측면도;
도 3은 위에서 바라본 경우에 도 2의 상기 발광 센서의 구성요소를 나타낸 도면;
도 4는 도 1에 따른 상기 지폐 분류 장치에서 사용될 수 있는 대체적인 본 발명의 발광 센서의 내부의 개략적 측면도;
도 5는 도 2 및 도 3의 상기 발광 센서의 사용을 설명하는 지폐의 개략도;
도 6은 도 2의 상기 발광 센서에서 사용되는 검출기 열(row)의 일례를 위에서 바라본 도면;
도 7은 도 2의 상기 발광 센서에서 사용되는 검출기 열의 다른 일례를 위에서 바라본 도면;
도 8은 도 7의 선 I-I에 따른 절단면;
도 9는 도 2 또는 도 4의 상기 발광 센서의 검출기 열로부터 데이터의 정보읽기(readout) 동안의 개략적 도면;
도 10은 본 발명의 대체적 발광 센서의 내부의 개략적 측면도;
도 11은 외부 광원을 가진 본 발명의 발광 센서의 개략도;
도 12는 본 발명의 다른 발광 센서 부분의 개략도; 및
도 13은 본 발명의 다른 발광 센서의 검출기 부분의 개략도이다.
본 발명 장치는 광학적 방사 - 특히 발광 방사 - 를 검사하는 모든 종류의 장치에서 사용될 수 있다. 그에 제한되는 것은 아닐지라도, 다음의 설명은 예를 들어 지폐를 계수(counting) 및/또는 분류 및/또는 입금(depositing) 및/또는 출금(dispensing)하는 데 사용될 수 있는 지폐 처리 장치 내 지폐를 검사하는 바람직한 변형과 관련될 것이다.
도 1은 이러한 지폐 분류 장치(1)를 예로서 보여준다. 상기 지폐 분류 장치(1)는 처리될 지폐(BN)가 외부로부터 수동으로 투입되거나 또는 묶음을 푼 이후 임의로 지폐 묶음이 자동적으로 공급될 수 있는, 지폐(BN)를 위한 입력 포켓(pocket)(3)을 하우징(2) 내에 가지고 있다. 입력 포켓으로 투입되는 상기 지폐(BN)는 선별기(singler)(4)에 의해 더미로부터 하나씩 제거되고 이송 장치(5)에 의해 센서 장치(6)를 통하여 이송된다. 상기 센서 장치(6)는 공통적인 하우징으로 일체화되거나 개개의 하우징에 장착된 하나 이상의 센서 모듈을 가질 수 있다. 상기 센서 모듈은 예를 들어 상기 검사될 지폐(BN)의 진정성 및/또는 상태 및/또는 기명의 값을 검사하는 데 사용된다. 상기 센서 장치(6)를 통과 이후, 상기 검사될 지폐(BN)는 상기 센서 장치(6)의 검사 결과와 주어진 분류 기준에 근거하여 게이트(7) 관련된 나선형의 슬롯 더미(8)를 통해, 임의적으로 묶여지거나 포장된 이후 지폐가 손으로 제거되거나 자동적으로 획득될 수 있는 출력 포켓(9)으로 출력된다. 또한 분쇄기(10)가 인증되고 더 이상 유통에 적합하지 않은 것으로 분류되는 지폐(BN)을 파괴하기 위해 제공될 수 있다. 상기 지폐 분류 장치(1)의 제어는 컴퓨터-지원 제어 유닛(11)에 의해 수행된다.
상기된 바와 같이, 상기 센서 장치(6)는 다른 센서 모듈을 가질 수 있다. 상기 센서 장치(6)는 특히 발광 방사를 검사하기 위한 센서 모듈(12) - 이후부터 발광 센서(12)로서 언급함 - 에 의해 특징지워진다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 특히 소형의 디자인을 가진 발광 센서(12)의 광학적 구성요소의 내부 구조 및 배치를 개략적인 단면도로 설명하고 있다. 도 3은 또한 상기 발광 센서(12)내 위치한 상기 구성요소의 부분의 상부(top view)를 보여준다. 상기 발광 센서(12)는 특히 소형으로 디자인되고 높은 신호-대-노이즈 비율에 관하여 최적화된다.
상기 발광 센서(12)는 특히 일반적 하우징(13) 내에서 발광 방사를 자극하기 위한 하나 이상의 광원(14), 검출기(30) 및 바람직하게는 상기 발광 광(light)의 스펙트럼적으로 분해되는 검출을 위한 분광계(30)를 포함한다. 상기 하우징(13)은 상기 하우징(13)을 손상시키지 않고는 그 안에 포함된 상기 구성요소에 인증되지 않은 접근이 가능하지 않도록 밀봉되어 있다.
상기 광원(14)은 예를 들어 LED가 될 수 있으나, 바람직하게는 레이저 다이오드(14)와 같은 레이저 광원이 될 수 있다. 상기 레이저 다이오드(14)는 하나 이상의 다른 파장 또는 파장 범위를 방출할 수 있다. 만약 복수 개의 다른 파장 또는 파장 범위가 사용된다면, 같은 광원 하우징 또는 별개의 광원 하우징들 - 즉, 별개의 광원 모듈들 - 이 예를 들어, 나란히 배치되고 바람직하게는 지폐(BN) 상에 같은 위치 또는 인접한 위치상에 투영될 수 있는 광(光)에 병렬로 방사하는 다른 파장 또는 파장 범위를 위한 복수 개의 광원(14)을 포함하도록 제공될 수 있다.
만약 상기 광원(14)이 복수 개의 다른 파장 또는 파장 범위의 광(光)을 방출 한다면, 상기 개개의 파장 또는 파장 범위는 선택적으로 활동 가능하도록 제공될 수 있다.
다른 변형이 도 4를 참조하여 이후 설명될 것이다.
상기 레이저 다이오드(14)로부터 방사하는 광(光)은 이미징 렌즈(optic)(15, 16, 17)에 의해 검사될 지폐상에 조사된다. 상기 이미징 렌즈는 시준기(collimator) 렌즈(15), 빔 분산기(beam splitter)(16)로서 편향(deflection) 거울, - 특히 상기 빔 분산기는 상기 레이저 다이오드(14)로부터 방사하고 상기 시준기 렌즈(15)에 의해 형성되는 상기 레이저 빔을 90°로 편향하는 이색성(dichroic) 빔 분산기(16) - 및 전면 글라스(18)를 통해 바람직하게는 상기 이송 시스템(5)에 의하여 방향(T)를 지나 이송되는 검사될 상기 지폐(BN) 위로 수직하게 상기 편향된 레이저 빔을 촬상하는, 큰 각도의 빔 확산(beam spread)을 가지는 집광 렌즈(condenser lens)(17)를 포함하고, 그리하여 상기 지폐(BN)가 발광 방사를 방출하도록 자극하게 된다.
상기 분광기(30)의 도움으로 상기 조명된 지폐(BN)로부터 방사하는 상기 발광 방사는 바람직하게는 마찬가지로 수직으로 - 즉, 상기 여기 광(excitation light)과 동축으로 - 검출된다. 이것은 예를 들어 DE 23 66 274 C2에 따른 비스듬한 조명의 경우보다 측정상 상기 이송되는 지폐(BN)의 방향 허용치(orientation tolerance)를 통해 더 낮은 간섭 감도(interference sensitivity)의 결과가 된다.
감광 검출 유닛(21)상에 상기 발광 방사를 촬상하는 상기 렌즈는 마찬가지로 상기 전면 글라스(18), 상기 집광 렌즈(17) 및 측정될 상기 발광 방사에 적어도 부 분적으로 투명한 상기 거울(16)을 포함한다. 또, 상기 렌즈는 이후 큰 오프닝을 갖는 추가적인 집광 렌즈(19), 상기 광원(14)의 상기 조명 파장 및 측정되지 않는 다른 파장을 차단하도록 디자인된 다음의 필터(20), 및 편향 거울(23)을 갖는다. 상기 편향 거울(23)은 빔 경로를 구부리고(fold) 이미징 격자(24) 및 스펙트럼의 분해(24)를 위한 다른 장치상에서 측정될 상기 발광 방사를 편향한다. 상기 편향 거울은 가능하면 소형의 구조를 위해 상기 분광계의 초점 평면에 평행하게 또는 거의 평행하게(각도 < 15°) 장착된다. 상기 이미징 격자(24)는 바람직하게는 상기 검출기 유닛(21) 상에 제1 차수 또는 마이너스 제1 차수 발광 방사를 촬상하는 오목 렌즈(26)를 가진 파장 분산 구성요소를 갖는다. 그러나 더 높은 차수도 역시 촬상할 수 있다. 상기 검출기 유닛(21)은 바람직하게는 복수 개의 감광성 픽셀 - 즉 열(row)로 배치되는 이미징 포인트 - 을 포함하는 검출기 열(row)(22)을 갖고, 이후부터 도 6 및 도 7을 참조하는 예시의 방법으로 설명된다.
상기 분광기(30)의 입구 슬릿이 도 2에 참조 기호 AS로 표시되어 있다. 상기 입구 슬릿(AS)은 빔 경로상 틈(aperture)의 형태로 상기 하우징(13) 내 존재할 수 있다. 그러나 현재 시점에서 틈이 존재하지 않고 상기 지폐(BN)상에 상기 광원(14)의 상기 조명 통로(track)에 의해 주어지는 "가상의" 입구 슬릿(AS)만이 존재할 가능성이 있다. 후자의 변형은 더 높은 광 강도를 갖게 되는 결과가 되나, 희망하지 않는 주위의(ambient) 광 또는 흩어진 광에 대해 더 큰 감도를 갖게 될 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 편향 거울(23)은 상기 이미징 격자(24)에 대해 위치 하여 상기 입구 슬릿(AS)이 상기 편향 거울(23)의 영역에 들어오게 된다. 이것은 편향될 상기 방사의 상기 빔 단면을 특히 상기 편향 거울(23)상에 소형으로 만들기 때문에, 상기 편향 거울(23) 자체는 특히 작은 크기를 가질 수 있다. 상기 편향 거울(23)이 상기 검출기 유닛(21)의 구성요소가 된다면, 상기 편향 거울(23)은 도 2에 따른 상기 검출기 유닛(21)의 감광 영역 위에 뿐만 아니라, 그들의 측면에서도 장착될 수 있다.
발광 방사를 자극하기 위한 상기 광원(14)은 검사될 지폐(BN)상에 상기 이송 방향(T)로 연장되는 길고 가는(elongate) 조명 영역(35)을 만드는 것은 본 발명의 특별한 아이디어이다.
이러한 변형은 매우 낮은 농도로 상기 지폐(BN)상에 보통 존재하는 상기 발광성 - 특히 인광성 - 특성 물질이 상기 발광 센서(12)를 지나 이송되는 동안 상기 이송 방향으로 연장되는 상기 조명 영역에 의해 더 오랫동안 증강되어(pump up), 그에 의해 특히 상기 안정된(persistent) 인광성의 특성 물질의 방사 강도가 증가하게 되는 이점이 있다.
도 5는 관련된 순간적인 일견(view)을 설명한다. 상기 이송 방향(T)로 연장하는 길고 가는 조명 영역(35)은, 상기 조명 방사가 상기 이송 방향(T)에 수직방향보다 상기 이송 방향(T)이 더 긴 지폐상에, 주어진 순간에 어떠한 형태의 영역 - 특히 수직의 트랙 - 을 조사하는 것을 의미한다고 이해될 수 있다. 바람직하게는, 이송 방향(T)에서 상기 조명 영역(35)의 연장이 상기 이송 방향(T)에 수직한 연장보다 적어도 2배가 되고, 더욱 바람직하게는, 적어도 3배, 4배 또는 5배가 된다.
도 5는 다른 해칭(hatching)을 가지고 마찬가지의 이미징 영역(36), 즉, 상기 분광계(30)의 입사 동공(entrance pupil)(36), 즉, 상기 입구 슬릿(AS)의 크기에 따른 주어진 순간에 상기 분광계(30)에 촬상된 지폐(BN)의 그 영역을 설명한다. 상기 분광계(30)의 상기 입사 동공의 길이 및 넓이가 바람직하게는 상기 레이저 다이오드(14)의 상기 조명 영역(35)의 대응되는 크기보다 더 작다고 인식될 수 있다. 이것은 개개의 센서 구성요소에 더 큰 정렬 허용 오차(alignment tolerance)를 허락한다.
또한, 도 5의 순간적인 일견은 상기 조명 영역(35)이 상기 이미징 영역(36)과 비교하여 상기 이송 방향(T)에 반하는 것 보다는 이송 방향(T)에서 더욱 연장되는 경우를 보여준다. 이것은 상기 증가된 높혀진(pump-up) 효과를 사용하는데 유리하다. 그러나, 대체적으로 상기 조명 영역(35) 및 상기 이미징 영역(36)이 단지 부분적으로 상기 이송 방향(T)에서 오버랩 되는 것으로 제공될 수 있다. 그러나 만일 상기 이미징 영역(36)이 대칭적으로 배치되어 있다면, 즉, 상기 이미징 영역(35)의 중간에 배치되어 있다면, 지폐(BN)가 상기 이송 방향(T)로 이송되는 장치(1) 및 지폐(BN)가 상기 반대 방향(-T)로 이송되는 장치(1)에서 상기 발광 센서(6)는 이송될 수 있다.
본 발명의 추가적인 특별한 아이디어에 따라, 다른 검출기 유닛들(21, 27)은 상기 발광 방사 - 특히 스펙트럼의 분해(24)(예를 들어 상기 이미징 격자(24))를 위한 장치로부터 방사하는 상기 발광 방사 - 를 검출하는 데 사용된다. 그래서, 다른 검출기 유닛들(21, 27)의 측정할 수 있는 스펙트럼의 영역이 바람직하게는 다 르고 예를 들어 단지 부분적으로 오버랩 되거나 또는 전혀 오버랩 되지 않는 것에 의해 추가적인 검출기 유닛(27) - 예를 들어 하나 이상의 주어진 파장 또는 파장 범위에서 측정하기 위한 필터 - 에 제공될 수 있다. 상기 복수 개의 추가적인 검출기 유닛(27)은 별개로 구분되어 있거나, DE 101 27 837 A1의 예시에 의해 기술되는 샌드위치(sandwich) 구조로 존재할 수 있다.
상기 하나의 검출기 유닛(21) - 특히 상기 검출기 열(22) - 이 상기 지폐(BN)의 상기 발광 방사의 스펙트럼적으로 분해된 측정을 위해 디자인되는 동안, 상기 적어도 하나 이상의 검출기 유닛(27)은 추가적으로 또는 대체적으로 상기 광대역의(broadband), 스펙트럼적으로 분해되지 않은 제0차 상기 분광계(30) 및/또는 상기 발광 방사의 감소 행동과 같은 상기 발광 방사의 적어도 하나의 다른 측정을 수행하는 데 사용될 수 있다.
또한, 상기 추가적인 검출기 유닛(27)은 또한 상기 지폐(BN)의 적어도 하나의 특성 물질의 다른 광학 성질을 검사하는 것으로 디자인될 수 있다. 이것은 예를 들어 다른 파장 또는 파장 범위에서 규정된(stated) 측정에 의해 수행될 수 있다. 바람직하게는, 상기 추가적인 검출기 유닛(27)은 또한 상기 지폐(BN)의 다른 특성 물질을 검사하는 데 디자인될 수 있다. 그리고 예를 들어 상기 검출기 열(22)은 상기 지폐(BN)의 제1 특성 물질의 광학적 성질을 측정하는 데 디자인될 수 있고 상기 검출기 열(22)과는 다른 스펙트럼의 범위에서 상기 지폐(BN)의 다른 특성 물질을 측정하기 위한 추가적인 검출기 유닛(27)이 디자인될 수 있다. 상기 검출기(22, 27)는 바람직하게는 측정하는 동안 원하지 않는 흩어진 광 또는 더 높 은 차수의 광을 억압하는 필터를 가지고 있다.
도 3의 평면도에서 볼 수 있듯이, 제 0차 상기 분광계(30)를 측정하는 데 디자인되는 경우, 상기 추가적인 검출기 유닛(27)은 상기 오목 렌즈(26) 위에서 교란시키는(disturbing) 재반사를 회피하기 위해 상기 이미징 격자(24) 및 상기 검출기 열(22)에 대해 경사지게 배치될 수 있다. 이 경우, 검은색 영역과 같은 방사 흡수 광 트랩(trap)은 추가적인 검출기 유닛(27)으로부터 방사하는 빔 경로의 끝단에서 추가적으로 존재할 수 있다.
상기 발광 센서(12)의 조정(calibration) 및 기능적 테스팅을 위해, 하나 이상의 발광 특성 물질을 가진 참조 샘플(32)이 제공될 수 있어, 상기 지폐(BN)상에서 검사되는 상기 발광 특성 물질과 동일하거나 다른 화학적 구성을 가질 수 있다. 도 2에서 보여지는 것처럼, 상기 참조 샘플(32)은 상기 하우징(13)내 일체화될 수 있고 예를 들어 상기 빔 분산기(16)에 대해 상기 레이저 다이오드(14)에 반대로 배치된 추가적인 광원(LED 31)에 포일(foil)로서 적용될 수 있다. 상기 참조 샘플(32)은 대신에 예를 들어 LED(31) 및 각을 이루는(angular) 거울(16) 사이에 별개의 구성요소가 될 수 있다. 예를 들어 상기 발광 센서(12)의 두지폐 측정 사이클 사이의 정지중에 조정을 위해, 상기 참조 샘플(32)은 이색성 빔 분산기(16)위 기생 반사에 의해 상기 검출기 열(22)위에서 촬상되고 평가되는 한정된 발광 방사를 방사하는 상기 LED(31)에 의한 방사에 의해 자극될 수 있다.
상기 분광계(30)의 강도 조정을 위해, 상기 참조 샘플(32)의 상기 발광 특성 물질은 바람직하게는 광대역 - 상기 분광계(30)에 의해 검출될 수 있는 전체 스펙 트럼의 범위에 걸친 - 을 방출할 수 있다. 그러나, 상기 참조 샘플(32)의 상기 발광 특성 물질은 대체적으로 또는 추가적으로 파장 조정을 수행하기 위한 좁은 대역 절점(peak)를 가진 어떤 특유의 스펙트럼 신호를 방출할 수 있다. 그러나, 상기 참조 샘플(32)없이 단지 추가적인 광원(31)만이 상기 분광계(30)의 조정을 위해 사용될 수 있다.
대체적 또는 추가적으로, 상기 참조 샘플(32)은 상기 하우징(31) 바깥쪽에 - 특히 측정되는 상기 지폐(BN)에 대해 반대쪽에 - 장착될 수 있고, 예를 들어 플레이트(28)과 같은 반대쪽 구성요소 상에 일체화될 수 있다.
상기 하우징(13)의 바깥쪽에, 추가적인 검출기 유닛(33)이 별개의 구성요소로서 존재하거나 상기 플레이트(28)에 일체화될 수 있다. 상기 추가적인 검출기 유닛(33)은 예를 들어 상기 전면 글라스(18)를 통과하고 임의로 상기 지폐(BN)을 통하여 지나가는 상기 레이저 다이오드(14)의 상기 방사 및/또는 상기 지폐(BN)의 상기 발광 방사를 측정하기 위한 하나 이상의 포토셀(photocell)이다. 이 경우, 상기 플레이트(28)는 가이드내 방향(P)에서 대신할 수 있게 장착될 수 있어, 대체적으로 상기 참조 샘플(32) 또는 상기 포토셀(33)은 상기 레이저 다이오드(14)의 상기 조명 방사로 정렬될 수 있다.
상기 플레이트(28)는 바람직하게는 상기 지폐(BN)의 상기 이송 평면 바깥에 점으로 도시된 연결 소자(55)를 통해 상기 하우징(13)에 연결될 것이다. 도 2에서 수평적으로 연장된 단면에서, 대략 U자 형태의 하우징(13), 연결 영역(55) 및 플레이트(28)가 존재한다. 또한 상기 참조 샘플(32) 및 포토셀(33)이 없는 대체적인 변형에서, 상기 플레이트(28)를 장착하는 이러한 방법은 상기 레이저 다이오드(14)의 레이저 방사의 희망하지 않는 유출에 대항하는 광 실드(shield)를 제공하는 이점을 가진다. 만약 상기 플레이트(28)가 목적을 유지하거나 혼란(jam)을 해소하기 위해 떨어질 수 있게 상기 하우징(13)에 고정되어 있다면, 상기 플레이트(28)가 떨어지거나 제거되는 경우 상기 레이저 다이오드(14)는 해제되도록 할 수 있다.
도 4는 도 1에 따른 지폐 분류 장치에서 사용될 수 있는 대체적이고 매우 소형인 발광 센서(6)의 개략적인 단면도를 보여준다. 같은 구성요소는 도 2에서와 같이 같은 참조 번호로 표시되어 있다.
도 4에 따른 상기 발광 센서(6)내 상기 광학적 구성요소의 배열은 상기 편향 거울(23)이 생략될 수 있다는 점에서, 도 2에 따른 상기 발광 센서(6)와 다르다. 가능하였음에도 불구하고, 도 4에 따른 상기 발광 센서(6)가 어떠한 추가적인 검출 유닛(31, 33)을 가지지 않았다는 점이 주목된다. 이러한 경우, 이색성(dichroic) 빔 분산기(16)가 상기 조명 방사를 야기하는 것이 아니라, 거울에 조사된 형태로 편향되는 상기 발광 방사를 야기한다.
또한, 예를 들어 추가적인 이색성 빔 분산기(53)에 의해 상기 개개의 레이저 다이오드(51, 52)의 방사가 결합될 수 있는 것에 의해, 두개의 상기 광원(14)은 상호적으로 다른 파장을 방출하는 상호 수직의 레이저 다이오드(51, 52)를 가지게 되고, 그리하여 상기 같은 조명 영역(35) 또는 오버랩된 또는 구분된(spaced) 조명 영역(35)이 상기 지폐(BN)에 조사될 수 있다. 바람직하게는, 하나 또는 다른 레이저 다이오드(51, 52) 또는 두개의 레이저 다이오드(51, 52)는 대체적으로 동시에 또는 교호적으로(alternating) 검사될 상기 지폐에 의존하여 방사 방출에 있어 활성될 수 있다.
업라이트 투영(projection) - 즉 상기 검출기 열(22) - 에서 인식될 수 있는 상기 감광성의 검출기 소자는 캐리어(carrier)에 비대칭적으로 장착되는데, 도 7에 관하여 더욱 면밀히 설명된다.
또한, 상기 발광 센서(6)는 바람직하게는 상기 하우징(13)에서 상기 분광계(30)의 측정값의 상기 신호 처리 및/또는 상기 발광 센서(6)의 개개의 구성요소의 전력 제어를 위해 사용되는 제어 유닛(50)을 갖는다.
도 6 및 도 7을 참조하여, 상기 발광 센서(12)에서 사용할 수 있는 상기 검출기 열(22)의 2개의 다른 변형이 설명되어질 것이다. 도 6은 일반적으로 나란히 배치된 100 이상의 감광 픽쳐 소자(도 6에서는 최초 7개의 왼편 픽셀(40)만을 도시하고 있음) - 소위 약어로 픽셀(40) - 를 가진 종래의 검출기 열(22)을 상세하게 보여주고 있고, 이는 기판(41)상에서 혹은 내에서 대략 상기 픽셀(40)의 넓이에 상응하는 거리로 같은 크기, 같은 간격으로 떨어져 있다.
반대로, 도 7에서 예시의 방법으로 설명되는 것처럼, 더 큰 픽셀 영역과 더 작은 비감광 영역의 부분으로 이루어진 상당히 더 적은 개수의 픽셀(40)을 가진 변경된 검출기 열(22)을 사용하는 것이 바람직하다. 그러한 변경된 검출기 열(22)은 도 6의 상기 종래의 검출기 열(22)보다 상당히 더 큰 신호-대-노이즈 비율을 가지는 이점을 가진다. 바람직하게는, 상기 변경된 검출기 열(22)은 기판(41)상 또는 내에서 10과 32 사이의, 바람직하게는 10과 20 사이의 단일 픽셀들(40)을 갖도록 구성된다. 상기 개개 픽셀(40)은 적어도 0.5mm×0.5mm의 크기를 가질 수 있고, 바람직하게는 0.5mm×1mm, 더욱 바람직하게는 1mm×1mm의 크기를 가진다. 상기 도 7의 실시예에 따르면, 예시의 방법에 의해 상기 검출기 열(22)은 높이 2mm, 넓이 1mm인 20개의 픽셀(40)을 가지고 약 50㎛의 연장(extension)을 가진 인접한 픽셀(40) 사이에 비감광영역(41)을 가진다.
또한, 도 7에서 보여주는 것처럼, 특히 측정될 상기 발광 방사의 분산 방향에서 단일 픽셀들(40)이 다른 크기를 가진다고 할 수 있다. 상기 스펙트럼의 모든 파장이 아니라 선택적으로 단지 단일 파장 또는 파장 범위가 일반적으로 평가되기 때문에, 상기 픽셀(40)은 평가될 특정 파장(또는 파장 범위)에 적합해지기 위해 구성될 수 있다.
특별히 검출되는 상기 파장 범위에 의존하여, 상기 검출기 열(22)은 규정된 상태에서 다른 재료로 구성될 수 있다. 자외선 또는 가시광선 영역에서 발광 측정을 위해서는 약 1100nm 이하에 반응하는 실리콘으로 만들어진 검출기가 적합하고, 적외선 영역에서 측정을 위해서는 약 900nm 이상에서 반응하는 InGaAs로 만들어진 검출기 열(22)이 적당하다. 바람직하게는 그러한 InGaAs 검출기 열(22)이 특히 바람직하게는 상기 InGaAs 검출기 열(22)의 상기 픽셀(40)의 아날로그 신호를 증폭하는 실리콘 기술에 의해 만들어지는 증폭기 스테이지를 가지는 실리콘 기판(42)에 직접적으로 적용될 것이다. 이것은 마찬가지로 특히 소형의 구조에 짧은 신호 경로 및 증가된 신호-대-노이즈 비를 제공한다.
적은 픽셀(40)(예, 도 7에 따라)을 가진 상기 검출기 열(22)은 바람직하게는 단지 상대적으로 작은 500nm 미만의 스펙트럼 범위를 검출하고, 더욱 바람직하게는 약 300nm 미만의 범위를 검출한다. 상기 검출기 열(22)이 상기 측정된 발광 스펙트럼을 평가하는 동안 기준선 발견과 같은 정상화(normalization)를 수행하기 위해, 상기 지폐(BN)에서 측정되는 상기 발광 스펙트럼의 바깥쪽에서 감광적인 적어도 하나의 픽셀(40)을 가진다고 할 수 있다.
본 발명의 발광 센서(6)의 소형의 구조에도 불구하고 상기 검출기 소자(21)상에 상기 발광 방사의 충분한 분산을 허용하기 위해, 상기 이미징 격자(24)는 바람직하게 약 300 line/mm 초과의 - 더욱 바람직하게는 500 line/mm 초과 - 회절 구성요소를 가질 것이다. 이미징 격자(24) 및 검출기 소자(21)간의 거리는 바람직하게는 약 70mm 미만, 더욱 바람직하게는 50mm 미만이 될 수 있다.
상기 검출기 열(22)의 상기 개개의 픽셀(40)의 정보읽기(readout)는 전환(shift) 레지스터의 도움으로 연속적으로 수행될 수 있다. 그러나, 상기 검출기 열(22)의 단일 픽셀(40) 및 픽셀 그룹의 평행한 정보읽기는 바람직하게 수행될 것이다. 도 9의 예시에 따라, 상기 3개의 왼편 픽셀(40)은 예를 들어 도 7에 따라 상기 실리콘 기판(42)의 부분이 될 수 있고, 각각의 아날로그/디지털 변환기(46)에 공급되는 각각 증폭기 스테이지(45)를 사용하여 증폭된 상기 픽셀(40)의 측정 신호에 의해 각각 단일하게 읽힌다. 도 9의 개략적인 설명에서 상기 2개의 오른편 픽셀은 차례로 떨어져 있는 증폭기 스테이지(45)에 의해 최초로 증폭되고, 임의적으로 샘플을 포함할 수 있고 회로를 유지하는 일반적인 다중화(multiplex) 유닛(47) 및 상기 다중화 유닛(47)에 연결된 일반적 아날로그/디지털 변환기(46)에 공급된 다.
그에 의해, 복수 개의 픽셀(40) 또는 픽셀 그룹의 상기 허락된 평행한 정보읽기는 짧은 통합 시간 및 상기 지폐(BN)의 동기화된 측정을 허락한다. 이러한 측정은 마찬가지로 신호-대-노이즈 비율을 증가시키는 데 기여한다.
본 발명의 추가적인 독립적 아이디어에 따라, 상기 발광 방사를 위해 상기 이미징 렌즈의 구성요소와 상기 검출기(30)의 구성요소의 일체화가 수행된다. 특히, 상기 분광계(30)에서 검출되는 상기 발광 방사를 편향시키기 위한 상기 편향 거울(23)이 도 2에서 보여지는 것처럼 상기 검출기 유닛(21)에 직접 연결될 수 있다.
도 7은 편향 거울(23)이 상기 검출기 열(22)를 가진 일반적 캐리어 - 즉, 특별히 상기 실리콘 기판(42)에 - 에 직접 적용되는 변경된 변형을 보여준다. 대체적으로 상기 편향 거울(23)은 예를 들어 상기 검출기 유닛(21)의 커버 글라스에 적용될 수 있다.
또한, 포토셀(56)과 같은 광검출기는 상기 편향 거울(23) 아래 존재할 수 있다. 이러한 바람직한 변형은 도 7의 라인 I-I를 따른 단면을 보여주는 도 8의 예시의 방법으로 보여진다. 이러한 경우, 상기 포토셀(56)에 적용되는 상기 편향 거울(23)은 적어도 부분적으로는 상기 포토셀(56)에 의해 측정되는 상기 파장에 대해 투명하다. 상기 포토셀(56)은 목적을 조정하고 및/또는 상기 발광 방사의 다른 성질을 평가하는 데 사용될 수 있다.
도 4에서 설명된 것처럼, 상기 검출기 열(22)은 바람직하게는 상기 캐리어 - 즉, 상기 실리콘 기판 - 에 비대칭적으로 적용될 수 있다. 이는 도 4에서 설명되는 것처럼 소형의 센서 디자인 때문이 아니라, 추가적인 광학의 구성요소(23, 56)를 덧붙이기 위해서이다.
언급된 바대로, 지폐(BN)의 검사에서 일반적으로 기대되는 상기 발광 방사의 상기 매우 낮은 신호 강도 때문에, 상기 발광 센서(12)의 조정은 동작이 진행하는 동안 - 즉, 특히 예를 들면 두개의 발광 센서(12)의 지폐 측정 사이클 사이 정지되어 있는 경우 - 에 요구될 것이다. 이미 기술된 가능한 측정은 상기 참조 샘플(32)을 사용하는 것이다.
추가적인 아이디어에 따라, 이것은 상기 발광 센서(12)의 측정값에 의존하여 이동이 예를 들어 외부적 제어 유닛(11) 또는 바람직하게는 내부 제어 유닛(50)에 의해 제어될 수 있는 것에 의한, 상기 발광 센서(12)의 광학적 구성요소의 유효한 기계적 변위(displacement)에 의해 수행될 수 있다.
예를 들어, 상기 이미징 격자(24)의 구성요소는 발동기(25)에 의해 방향(S)로 떨어져서 장착될 수 있다. 예를 들면 도 2에서 화살표(D)의 방향으로 유효하게 떨어질 수 있게 구동되는 상기 검출기(21)와 같은 다른 광학적 구성요소의 기계적 이동을 얻기 위해, 도시되지 않은 다른 구성요소를 사용하는 것이 마찬가지로 가능하다. 하나 이상의 방향에서 상기 광학적 구성요소의 이동은 또한 수행될 수 있다.
그래서, 상기 발광 센서(12)의 상기 측정값의 평가는 예를 들면 상기 발광 센서(12)의 동작 계속중에 수행될 수 있고, 만일 상기 측정값(예, 상기 검출기 열(22), 상기 추가적인 검출기 유닛(27) 또는 상기 포토셀(33)의 측정값) 또는 그로부터 도출된 양이 어떠한 참조값 또는 범위에서 벗어나는 경우, 상기 발광 센서(12)의 단일 또는 수개의 광학적 구성요소의 유효한 기계적 변위는 증가된 신호 증가(gain) 및 원하지 않는 변화의 보상 - 즉, 전자기기(electronics)의 조명에 의해 트리거된 온도의 동요, 또는 광학적 구성요소의 노화의 신호 때문에 - 을 얻기 위해 수행될 수 있다. 이것은 적은 수의 픽셀(40)을 가진 검출기 유닛(21)을 위해 특히 중요하다.
상기 발광 센서(12)의 광원의 수명을 늘리기 위해, 예를 들어, 지폐(BN)가 측정 윈도우의 영역에 - 즉, 전면 글라스(18) - 위치한 경우 고 전력에서 기동되는 상기 레이저 다이오드(14)가 제공될 수 있다.
추가적인, 대체물 또는 추가물이 상술된 변형에서 생각될 수 있다.
상기 이미징 격자(24)가 오목한 표면을 가진 예가 도 2 및 4에 관하여 기술되어 있지만 동안, 평면 격자가 대체적으로 사용될 수도 있다. 그러한 발광 센서(12)의 상기 구조는 도 10의 예시의 방법으로 설명된다. 입구 윈도우(18)를 통해 검사되고 검출되는 상기 지폐(BN)로부터 방사되는 상기 방사는 이러한 경우 상기 광이 90°로 편향되는 빔 분산기(16)상에 시준기 렌즈(17)를 통하거나, 제1 구형의 시준기 거울(70)상에 억압을 조명하기 위한 렌즈(19) 및 필터(20)를 통한다. 상기 거울(70)로부터 상기 방사는 평면 격자(71) 상에 편향된다. 후자에 의해 스펙트럼적으로 분해된 상기 광은 검출기 배열(21) 상에 제2 구형의 집광 거울(72) 및 원통 모양의 렌즈(73)를 통하여 직접 연결되어 있다.
도 10의 상기 발광 센서(12)는 상기 발광 광이 광 가이드 결합에 의해 결합된다는 점에 특징이 있다. 특히, 레이저 광원(68)에 의해 생성되는 광은 광 가이드(69), 빔 형성 렌즈(66), 상기 빔 분산기(16), 상기 시준기 렌즈(17) 및 검사될 상기 지폐상의 상기 입구 윈도우(18)를 통해서 방사된다. 광 가이드(69)가 유연하고 변형될 수 있어 원하는 경우에는 언제든지 상기 조명 빔 경로가 연장될 수 있기 때문에 예를 들어 상기 하우징(13)내 공간 절약 장소에서 광원을 고정하는 것이 가능하다.
특히, 그러한 광 가이드가 사용되는 경우, 상기 광원은 상기 발광 센서(12)의 상기 하우징(13) 바깥쪽에 장착될 수 있다. 이러한 공간적 분리는 광원(68)에 의해 발생되는 열이 상기 하우징(13) 및 특히 상당히 민감한 검출기(21)에 위치한 다른 광학적 구성요소의 동작 및 조정과 상당히 적게 충돌되는 이점을 가진다. 도 11은 광원(68)이 발광 센서(12)의 상기 하우징(13)으로 유도하는 광 가이드(69)에 조사하는 대응하는 개략적인 예를 보여준다. 상기 하우징(13)은 도 10의 것과 유사한 예시의 방법에 의해 구성될 수 있고, 상기 광 가이드(69)가 또한 상기 하우징(13)의 바깥으로 연장될 수 있기 위해 상기 광원(68)이 상기 하우징(13)의 밖에 위치한다 것이 유일한 차이점이다.
도 11에 따른 상기 광 결합의 추가적인 특별한 특성은 상기 광원(69) 및 상기 하우징(13)과 연결된 상기 광 가이드(69)가 도 11에 단면의 일견에서 개략적으로 보여지는 중간 영역(70)에서 나선형 모양으로 고리를 이루고 있다는 것이다. 상기 광원(68)이 상기 광 가이드(69)에 조사하는 경우, 상기 광 가이드(69)에서 연 속된 전체의 반사가 있게 된다. 이것은 상기 광원(68)의 결합된 레이저 방사의 빔 단면을 공간적으로 균질화(homogenized)되도록 만든다. 이것은 더 많은 생산할 수 있는 검사 결과가 달성되기 위하여 상기 검사 동안에 상기 조명이 덜 동요하는 이점을 갖는다. 그러나, 이러한 목적을 위해, 상기 광 가이드는 평면상에 나선형 모양으로 고리를 이루고 있을 필요는 없다. 차라리 본질적인 것은 상기 광 가이드가 어떠한 길이를 가지고 있다는 점이다. 그래서, 상기 광 가이드(69)는 50㎛ 내지 200㎛의 단면을 갖는 섬유에서 바람직하게는 1m 내지 20m의 길이를 갖는다.
마찬가지로, 검사될 상기 지폐의 방사는 상기 하우징(13)의 바깥에 존재하는 광학적 구성요소를 통해 배타적으로 실행되고, 상기 발광 센서(12)는 상기 하우징(13)내에 단지 상기 조명된 지폐로부터 방사되는 상기 방사를 측정하기 위해 사용되는 상기 광학적 구성요소를 포함한다고 대체적으로 생각할 수 있다.
상기 조명 빔을 안정화하기 위해, 추가적인 격자가 상기 레이저의 상기 공명기 내부에 만들어진 소위 DFB 레이저 및 추가적인 격자가 상기 레이저의 상기 공명기 바깥쪽에 만들어진 소위 DFR 레이저를 사용할 수 있다.
격자 분광계 - 즉, 이미징 격자(24)를 가진 분광계(30) - 를 사용하는 상기 검사의 바람직한 변형이 예시의 방법으로 상술되었다 할지라도, 기본적으로 격자 분광계가 없이도 해나갈 수 있고 스펙트럼의 분산을 위해 프리즘을 가지는 분광계(30)를 사용하거나 상기 발광 방사에서 검출되는 다른 파장 또는 파장의 범위를 필터링 하기 위해 다른 필터를 사용하여 측정을 수행하는 것이 가능하다. 이것은 특히 다중트랙 또는 상당히 민감한 측정을 위해 특별히 사용될 수 있다.
격자 분광계가 없는 발광 센서(1)의 예는 도 12에 설명된다. 도 12는 개략적으로 발광 센서의 상기 검출부만을 보여준다. 하우징, 상기 조명 및 이미징 렌즈와 같은 다른 모든 구성요소는 간결화를 위해 생략되었다. 도 12의 이러한 예에 따라, 검사되는 지폐(BN)로부터 방사되는 상기 빔은 다른 파장 또는 파장 범위에 민감한 단일 검출기(59)상에서 선택적으로 회전축(58) 주변으로 회전할 수 있는 편향 거울(57)을 통해 편향된다. 이것은 상기 검출기(59)를 위한 다른 파장 범위에 감광성의 검출기 영역을 선택함으로써 우선적으로 수행될 수 있다. 그러나, 도 12에서 예시의 방법에 의해 지적되는 것처럼, 상기 검출기(59)의 상류측인 다른 파장 범위를 위해 필터(60)를 배치하는 것과 바람직하게는 후자에 그들을 고정하는 것이 가능하다.
마찬가지로는 소위 필터 휠(wheel)을 다른 필터로 사용하는 것이 가능하다. 상기 필터 휠의 회전은 상기 개개의 다른 필터가 검사될 상기 지폐(BN)의 상기 빔이 성공적으로 교차하게 되고 이는 이후 상기 검출기에 입사(incident)된다.
도 13은 다른 예에 따른 검출기(61)를 매우 개략적으로 보여주고 있다. 상기 검출기는 기판(62)상에 같은 타입의 감광성 픽셀(63)의 열 또는 배열을 가진다. 상기 검출기(61)에서 화살표의 방향으로 지시되는 필터 파장의 그레디언트(gradient)를 가진 필터(64)가 상기 픽셀(63)상에 장착된다. 이것은 다른 파장은 상기 화살표의 방향에서 중시되는 상기 필터(64)의 다른 장소에서 필터링된다는 것을 의미한다. 필터 파장 그레디언트를 가진 그러한 필터(64)의 사용은 검사될 광이 상기 검출기(61)에 직접 방사되고 격자(24) 및 상기 편향 거울(23, 57)과 같 은 소자를 분산시키는 파장이 필요하지 않다는 이점이 있다. 상기 발광 센서(1)의 구조는 특히 간단히 더욱 적은 구성요소를 가지고 디자인될 수 있다.
또한, 발광 센서의 특히 바람직한 예에서 뿐만 아니라 다른 광학적 센서에서도 예를 들어 단일한 구성요소의 유효한 광학의 변위를 사용하는 것이 가능하다. 또한, 예를 들어, 상기 발광 센서 자체가 발광 방사를 자극하기 위해 광원을 가지지 않은 경우, 상기 분광계 특별한 실시예는 또한 유리하다.
또한, 이후의 지폐(BN)의 측정값이 이미 동시에 감지되는 동안, 본 발명의 시스템은 하나의 지폐(BN)의 상기 발광 센서(12)의 측정값이 평가되도록 디자인된다. 이전의 지폐(BN)의 측정값의 평가는 신속히 처리되어야 한다. 그러나 상기 이송 경로(5)의 개개의 게이트(7)는 이전의 지폐(BN)를 관련된 저장 포켓(9)에 편향시키기에 충분한 정도로 빠르게 교체될 수 있다.
본 발명의 장치 및 방법은 결과적으로 발광 가치 증서의 단순하고 신뢰할 수 있는 검사 및 구별을 허용한다. 상기 검사는 예를 들어 상기 특성 물질을 자극하기 위해 어떠한 시간 지속기간(0 내지 tp)동안 주어진 강도를 가진 제1 파장을 가진 광을 발생시키는 상기 광원(14)에 의해 수행될 수 있다. 상기 광원(14)의 광은 방향(T)에서 전면 글라스(18)를 지나 이송되는 검사될 지폐(BN)의 특성 물질을 자극하여, 상기 특성 물질이 제2 파장의 발광 광을 방출한다. 방출되는 발광 광의 강도는 어떠한 원리에 따라 자극의 지속시간(0 내지 tp)동안 증가한다. 상기 방출된 발광 광의 강도의 증가 및 감소의 방법은 사용되는 상기 특성 물질 및 자극적인 광 원(14) - 즉, 강도 및 파장 또는 파장 분포 - 에 의존한다. 시간(tp)에 자극의 종료 후, 상기 방출된 발광 광의 강도는 어떤 원칙에 따라 감소한다.
상기 분광계(30)의 도움으로, 지폐(BN)로부터 방사하는 상기 발광 광은 수직으로 - 상기 자극 광에 평행하게 - 검출되고 평가된다. 지폐(BN) 또는 특성 물질의 조합에 사용되는 특성 물질이 그러한 감쇄 행동을 하기 때문에, 하나 이상의 어떤 시간(t2, t3)에 상기 검출 유닛(21)의 신호를 평가함으로써, 인증된 지폐(BN)가 존재하는지 여부가 확실히 검사될 수 있다. 감쇄 행동의 검사는 인증된 지폐(BN)의 주어진 강도를 가진 한번 이상의 회수로 상술된 발광 광의 강도의 비교 수단에 의해 수행될 수 있다. 또한 상기 발광 광의 강도의 패턴이 알려진 지폐(BN)에 주어진 패턴과 비교된다고 할 수 있다.

Claims (42)

  1. 발광 방사를 일으키는 광원(14, 51, 52, 68) 및 발광 가치 증서(BN)로부터 방사하는 상기 발광 방사를 스펙트럼 분해능으로 검출하기 위한 발광 센서(12)를 가진, 상기 발광 가치 증서(BN)를 검사하는 장치(1)로서,
    상기 광원(14, 51, 52, 68)이, 상기 발광 센서(12)를 지나 이송 방향(T)으로 이송되는 상기 가치 증서(BN)상에 상기 이송 방향(T)으로 연장되는 조명 영역(35)을 생성하며,
    상기 이송 방향(T)에서의 상기 조명 영역(35)의 연장이, 상기 이송 방향(T)에 수직한 연장보다 2배 이상인, 검사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 발광 센서(12)의 이미징 영역(36)이, 상기 발광 센서(12)를 지나 이송되는 상기 가치 증서(BN)의 상기 이송 방향(T)으로 연장되는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 이미징 영역(36)의 길이, 또는 폭, 또는 길이 및 폭이 상기 광원(14, 51, 52, 68)의 상기 조명 영역(35)의 대응하는 크기보다 작은 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 가치 증서(BN)상에 상기 이미징 영역(36) 및 상기 조명 영역(35)이 주어진 시간에서 적어도 부분적으로 또는 완전하게 오버랩되는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가 다른 파장을 방출하는 하나 이상의 광원(14, 51, 52, 68)을 갖는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가 10 내지 32 픽셀(40)을 가지는 적어도 하나의 검출기 열(row)(22)을 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  7. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가 상기 가치 증서(BN)의 발광 스펙트럼 외부 방사를 측정하기 위한 적어도 하나의 검출기 소자(40)를 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  8. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가, 다른 크기의 픽셀(40)을 가진 적어도 하나의 검출기 열(22)을 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  9. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가 실리콘 기판(42)상에 InGaAs 검출기 열(22)을 가지는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  10. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(6)의 검출기 유닛(21)이 500nm 미만의 스펙트럼 범위를 검출하는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  11. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 광원(14) 및 상기 발광 센서(12) 및 상기 발광 센서(6)의 측정값의 신호 처리 및 상기 발광 센서(6)의 구성 요소의 파워 제어를 위한 제어 유닛(50)이 하나의 공통의 하우징(13) 내에 일체화 된 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  12. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 광원(14)이 검사될 상기 가치 증서(BN)를 수직으로 조사하고,
    상기 발광 센서(12)는 상기 비춰지는 가치 증서(BN)로부터 수직하게 방사되는 발광 방사를 검출하는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  13. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)는, 측정할 발광 방사의 빔 경로가 접히도록 하기 위한 편향(deflection) 거울(23)을 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  14. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)는, 광검출기(56)에 의해 측정되는 파장에 대해 적어도 부분적으로 투명한 편향 거울(23)이 그 표면에 또는 그 표면 위에 위치된 광검출기(56)를 갖는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가 측정될 상기 방사의 빔 경로에서 상기 광검출기(56, 59, 63)의 상류측에 배치된 필터(60, 64)를 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  16. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)는, 발광 방사를 위한 감광성(photosensitive) 검출기 유닛(22) 및 상기 감광성 검출기 유닛(22) 상에 상기 발광 방사를 이미징하기 위한 구성요소(23)를 모두 가지는 구성요소(21)를 갖는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  17. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가 기판(42)에 비대칭적으로 적용되는 검출기 열(22)을 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  18. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    발광 센서(12)는 다른 스펙트럼의 범위에서 측정하는 상기 발광 방사의 다른 특성들을 검출하기 위한 복수 개의 검출 유닛(21, 27)을 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  19. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    다른 검출기 유닛들(21, 27)이 상기 가치 증서(BN)의 다른 특성 물질을 검사하기 위해 디자인되는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  20. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    하나의 검출기 유닛(21)은 상기 발광 방사의 스펙트럼적 분해 측정을 위해 디자인되고, 다른 검출기 유닛(27)은 상기 발광 방사의 비스펙트럼적 분해 측정을 위해 디자인되는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  21. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    하나의 검출기 유닛(21)이 상기 발광 방사의 시간 통합적(time-integrated) 측정을 위해 디자인되고, 다른 검출기 유닛(27)이 상기 발광 방사의 시간 분해적(time-resolved) 측정을 위해 디자인되는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  22. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    하나의 검출기 유닛(27)이 스펙트럼적 분해되는 발광 방사의 제로 차수를 측정하기 위해 디자인되고 다른 검출기 유닛(21)은 스펙트럼으로 분해되는 발광 방사의 다른 차수를 측정하기 위해 디자인되는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  23. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    검출기 유닛(27)은 스펙트럼 분해를 위한 장치(24)에 관하여 이 장치(24)에의 재반사를 피하도록 경사지게 배치된 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  24. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)는 발광 특성 물질을 가진 참조 샘플(32)를 가지고 있는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  25. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)는 발광 특성 물질이 제공된 참조 샘플(32)을 조사하기 위해 추가적인 광원(31)을 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  26. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)는
    상기 발광 센서(12)의 광학 구성요소(21, 24)의 유효한 기계적 변위를 위한 수단(25)을 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  27. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)의 광학적 구성요소(21, 24)의 유효한 기계적 변위는 상기 발광 센서(12)의 측정 값들에 따라 제어 유닛(11, 50)에 의해 제어가능한 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  28. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)의 측정 값들이 아직 하나의 가치 증서(BN)에 대해 평가되고 있는 동안 후속 가치 증서(BN)의 측정값들이 이미 동시에 감지되는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  29. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)는 적어도 하나의 검출기 열(22)을 가지며,
    상기 검출기 열(22)의 단일 픽셀(40)이 병렬로 읽혀질 수 있는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  30. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)는 적어도 하나의 검출기 열(22)을 가지며,
    상기 검출기 열(22)의 단일 픽셀(40)이 각각 별개의 증폭기 스테이지(45) 및 이후의 아날로그/디지탈 변환기(46)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  31. 검사될 가치 증서(BN)가 발광 방사를 일으키게 조사되고 상기 가치 증서(BN)로부터 방사되는 발광 방사가 스펙트럼의 분해능으로 검출되는, 발광 센서(12)를 가진 발광 가치 증서(BN)를 검사하는 방법으로서,
    이송 방향(T)으로 발광 센서(12)를 지나 이송되는 검사될 상기 가치 증서(BN)가 상기 이송 방향(T)으로 연장되는 조명 영역(35)으로 조명되는 것을 특징으로 하는, 검사 방법.
  32. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가 다른 파장을 방출하는 하나 이상의 광원(14, 51, 52, 68)을 가지며, 또한, 단일 파장이 선택적으로 활성가능한 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  33. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가 10 내지 20 픽셀(40)을 가지는 적어도 하나의 검출기 열(row)(22)을 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  34. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가, 측정될 다른 크기의 발광 방사의 분산(dispersion) 방향으로 다른 크기의 픽셀(40)을 가진 적어도 하나의 검출기 열(22)을 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  35. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가 실리콘 기판(42)상에 InGaAs 검출기 열(22)을 가지며, 상기 실리콘 기판(42)은 상기 InGaAs 검출기 열(22)의 픽셀(40)의 아날로그 측정 신호를 증폭하기 위해 하나 이상의 증폭기 스테이지(45)를 가지는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  36. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(6)의 상기 이미징 격자(grating)(24)가 300 lines/mm를 초과하는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  37. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    이미징 격자(24)와 검출기 유닛(21) 사이의 거리가 70 mm 미만인 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  38. 청구항 14에 있어서,
    상기 발광 센서(12)가 측정될 상기 방사의 빔 경로에서 상기 광검출기(56, 59, 63)의 상류측에 배치된, 필터 파장 그래디언트를 가진 필터(64)를 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  39. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    발광 센서(12)는 다른 스펙트럼 분해능으로 측정하는 상기 발광 방사의 다른 특성들을 검출하기 위한 복수 개의 검출 유닛(21, 27)을 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  40. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    발광 센서(12)는 상기 발광 방사의 특성들을 검출하기 위한 복수 개의 검출 유닛(21, 27)을 가지는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  41. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)는 적어도 하나의 검출기 열(22)을 가지며,
    상기 검출기 열(22)의 픽셀 그룹이 병렬로 읽혀질 수 있는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  42. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 발광 센서(12)는 적어도 하나의 검출기 열(22)을 가지며,
    상기 검출기 열(22)의 픽셀 그룹이 각각 별개의 증폭기 스테이지(45) 및 이후의 아날로그/디지탈 변환기(46)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
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