KR101216868B1

KR101216868B1 - 전자선 조사 장치

Info

Publication number: KR101216868B1
Application number: KR1020060026730A
Authority: KR
Inventors: 세이따로 나까오
Original assignee: 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
Priority date: 2005-03-25
Filing date: 2006-03-24
Publication date: 2012-12-28
Also published as: US20060272579A1; KR20060103209A; CN1838334A; JP2006275515A; US7705330B2; CN1838334B; JP4641844B2

Abstract

본 발명은 조사실의 산소 농도를 적절한 레벨로 유지하면서 불활성 기체의 사용량을 삭감하는 것이 가능한 전자선 조사 장치를 제공하는 것이다.

조사실(4) 내로 불활성 기체를 도입하면서 조사실(4)을 통과하는 피조사체로서의 필름(F)에 전자선을 조사하는 전자선 조사 장치(1)에 있어서, 조사실(4) 내의 산소 농도를 검출하는 산소 농도계(35)와, 조사실(4) 내로 도입되는 불활성 기체의 유량을 조정하는 주제어 밸브(25)와, 산소 농도가 저하되면 불활성 기체의 유량이 감소되도록, 산소 농도계(25)가 검출한 산소 농도를 기초로 하여 주제어 밸브(25)의 개방도를 제어하는 제어 유닛(40)을 마련한다.

조사실, 전자선 조사 장치, 주제어 밸브, 산소 농도계, 제어 유닛

Description

전자선 조사 장치{ELECTRON BEAM IRRADIATION DEVICE}

도1은 본 발명의 일형태에 관한 전자선 조사 장치의 주요부를 나타내는 도면.

도2는 조사실의 구성을 나타내는 단면도.

도3은 전자선 조사 장치에 마련된 제어 유닛의 기능 블록도.

도4는 제어 유닛의 제어부가 실행하는 유량 제어의 순서를 나타내는 흐름도.

도5는 유량 제어에 있어서의 주제어 밸브의 개방도의 결정을 설명하기 위한 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 전자선 조사 장치

2 : 고정 유닛

4 : 조사실

5 : 전자선 발생 장치

6 : 투과 창문

7 : 전자선 포착기

8 : 반입구

9 : 반출구

10 : 도입부

11 : 도출부

12 : 처리부

13 : 권취 롤

14, 15 : 반송 롤러

16 : 권취 롤

20A : 제1 슬릿

20B : 급기 구멍

20C : 제2 슬릿

20D : 제3 슬릿

20E : 제4 슬릿

20F : 급기 구멍

21 : 탱크

22 : 공급관로

23 : 주관로

24A 내지 24F : 분기관로

25 : 주제어 밸브(유량 조정 밸브)

26A 내지 26F : 부제어 밸브(분기관로용 제어 밸브)

30C, 30L, 30R : 기체 취입구

31 : 산소 농도 측정 시스템

32 : 샘플링관로

33 : 필터

34 : 압력 센서(압력 검출 수단)

35 : 산소 농도계(산소 농도 검출 수단)

36 : 펌프

37 : 유량계

40 : 제어 유닛(개방도 제어 수단, 필터 감시 수단, 경고 수단)

41 : 제어부

42 : 조작 패널

43 : 필름 주행 장치

44 : 밸브 구동 회로

45 : 프로세스 감시 장치

F : 필름(피조사체)

[문헌 1] 일본 특허 공고 소63-8440호 공보

[문헌 2] 일본 특허 공개 평5-60899호 공보

[문헌 3] 일본 실용신안 공개 평6-80200호 공보

본 발명은 조사실 내로 불활성 기체를 도입하면서 상기 조사실을 통과하는 피조사체에 전자선을 조사하는 전자선 조사 장치에 관한 것이다.

수지 필름 등의 띠 형상의 피조사체에 전자선을 조사하여 그 피조사체에 가교, 경화, 개질 등의 처리를 실시하는 전자선 조사 장치가 알려져 있다. 이러한 종류의 조사 장치에 있어서는, 산소가 존재하는 환경 하에서 전자선을 조사하면, 산소가 전자선에 반응하여 전자선의 조사 에너지가 소비되는 등 부적합이 생기는 경우가 있다. 그로 인해, 전자선의 조사실 내에 질소 등의 불활성 기체를 도입하여 산소를 그 불활성 기체로 치환함으로써, 조사실의 산소 농도를 저레벨(예를 들어 100 ppm 이하)로 억제하고 있다(예를 들어 특허 문헌 1 내지 3 참조).

[특허 문헌 1] 일본 특허 공고 소63-8440호 공보

[특허 문헌 2] 일본 특허 공개 평5-60899호 공보

[특허 문헌 3] 일본 실용신안 공개 평6-80200호 공보

그러나, 상술한 전자선 조사 장치로는 불활성 기체를 끊임없이 일정한 유량으로 공급하고 있기 때문에 불활성 기체의 사용량이 크고, 때로는 지나친 불활성 기체가 도입되는 경우가 있다. 예를 들어, 피조사체를 주행시키면서 전자선을 조사하는 타입의 전자선 조사 장치로는 피조사체에 수반하여 조사실에 침입하고자 하는 공기를 불활성 기체로 박리하여 조사실 외에 배제할 필요가 있고, 그로 인해 피조사실의 입구에서 대량의 불활성 기체를 피조사체에 끊임없이 내뿜지 않으면 안된다. 그러나, 피조사체를 정지시키거나 마무리 작업 등을 위해 피조사체를 전자선 조사시보다도 저속으로 주행시키고 있는 경우에는 수반 공기의 권취가 없거나 있어도 그 영향이 작으므로, 전자선 조사시와 같은 유량으로 불활성 기체의 도입을 계속하면 불활성 기체가 불필요하게 소비된다.

그래서, 본 발명은 조사실의 산소 농도를 적절한 레벨로 유지하면서 불활성 기체의 사용량을 삭감하는 것이 가능한 전자선 조사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 조사실(4) 내로 불활성 기체를 도입하면서 상기 조사실을 통과하는 피조사체(F)에 전자선을 조사하는 전자선 조사 장치(1)에 있어서, 상기 조사실 내의 산소 농도를 검출하는 산소 농도 검출 수단(35)과, 상기 조사실 내로 도입되는 불활성 기체의 유량을 조정하는 유량 조정 밸브(25)와, 상기 산소 농도가 저하되면 상기 불활성 기체의 유량이 감소되도록, 상기 산소 농도 검출 수단이 검출한 산소 농도를 기초로 하여 상기 유량 조정 밸브의 개방도를 제어하는 개방도 제어 수단(40)을 구비함으로써, 상술한 과제를 해결한다.

본 발명의 전자선 조사 장치에 따르면, 조사실의 산소 농도를 기초로 하여 유량 조정 밸브의 개방도를 제어함으로써, 조사실에 도입되는 불활성 기체의 유량을 조사실의 산소 농도에 따라서 적절하게 변화시킬 수 있다. 즉, 산소 농도가 상승 경향에 있을 때에는 유량 조정 밸브의 개방도를 증가시켜 불활성 기체의 유량을 증가시킴으로써, 산소 농도의 허용 한도를 넘는 상승을 막을 수 있다. 한편, 산소 농도가 필요 이상으로 저하되어 있을 때에는 유량 조정 밸브의 개방도를 감소시켜 불활성 기체의 유량을 저하시킴으로써, 불활성 기체가 지나치게 도입되는 상태의 해소를 도모할 수 있다. 이에 의해, 조사실의 산소 농도를 허용 레벨로 유지하면서 불활성 기체가 불필요한 소비를 억제하여 그 사용량을 삭감할 수 있다.

본 발명의 일형태에 있어서, 상기 개방도 제어 수단은, 상기 피조사체의 주행 속도가 높을 때에는 상기 주행 속도가 낮을 때보다도 동일 산소 농도에 대한 불활성 기체의 유량이 상대적으로 커지도록, 상기 산소 농도와 상기 유량 조정 밸브의 개방도의 관계를 상기 주행 속도에 따라서 변화시켜도 좋다. 피조사체의 주행 속도가 낮은 경우에는 피조사체에 수반하여 조사실에 침입하고자 하는 공기의 유량이 작아 산소 농도의 변화도 비교적 완만해지지만, 피조사체의 주행 속도가 높아지면 피조사체에 수반하는 공기의 유량도 증가하고, 산소 농도의 변화가 비교적 급격하게 생긴다. 이 경우, 산소 농도의 상승을 검출하여 유량 조정 밸브의 개방도를 증가시켜도 제어가 시간에 맞지 않을 우려가 있다. 이에 반해, 동일 산소 농도 하에서도 피조사체의 주행 속도가 높은 경우에는 낮은 경우보다도 불활성 기체의 유량을 상대적으로 증가시켜 두면, 불활성 기체의 유량에 여유가 생겨 산소 농도가 급격한 상승을 억제할 수 있다. 또, 본 형태에 있어서, 주행 속도가 낮은 경우라 함은 주행 속도가 0인 상태, 즉 피조사체가 정지되어 있는 상태를 포함하는 개념이다.

본 발명의 일형태에 있어서, 상기 조사실에는 복수의 기체 취입구(30C, 30L, 30R)가 마련되고, 상기 복수의 기체 취입구의 각각에는 샘플링관로(32)가 접속되고, 각 샘플링관로에 상기 산소 농도 검출 수단(35)이 마련되고, 상기 개방도 제어 수단은 각 샘플링관로에 취입된 기체 속의 산소 농도의 검출치를 기초로 하여 상기 조사실의 산소 농도를 판별하고, 그 판별된 산소 농도를 기초로 하여 상기 유량 조정 밸브의 개방도를 제어해도 좋다. 본 형태에 따르면, 복수의 기체 취입구의 각각으로부터 조사실의 기체를 취입하여 산소 농도를 검출하고 있기 때문에, 조사실의 1개소에서 산소 농도를 검출하는 경우와 비교하여 조사실의 산소 농도를 고정 밀도로 검출할 수 있다. 이 경우, 복수의 기체 취입구는 피조사체의 폭 방향으로 나열하고 있어도 좋다. 이에 의해, 피조사체의 폭 방향에 관한 부분적인 산소 농도의 상승을 불활성 기체의 유량 제어에 반영시켜 폭 방향에 있어서의 전자선의 조사 품질의 변동을 확실하게 억제할 수 있다. 또한 복수의 기체 취입구는 상기 조사실에 있어서의 전자선의 투과 창문(6)에 인접하여 배치되어도 좋다. 이와 같이 기체 취입구를 배치하면, 전자선의 조사 위치 부근의 산소 농도를 불활성 기체의 유량 제어에 반영시켜 불활성 기체의 유량을 가장 적합하게 제어할 수 있다.

본 발명의 일형태에 있어서, 각 샘플링관로(32)에는 필터(33)가 마련되고, 상기 산소 농도 검출 수단은 상기 필터의 하류에 배치되어도 좋다. 필터의 하류에 산소 농도 검출 수단을 배치함으로써, 전자선의 조사에 수반하여 피조사체로부터 종이 부스러기 등의 먼지가 발생하는 환경이지만, 그 먼지를 필터로 제거하여 조사실의 산소 농도를 정확하게 검출할 수 있다.

또한, 각 샘플링관로의 필터의 하류에 압력 검출 수단(34)이 마련되는 동시에, 상기 압력 검출 수단이 검출한 압력을 기초로 하여 각 필터의 막힘의 유무를 판별하는 필터 감시 수단(40)이 더 마련되고, 상기 개방도 제어 수단은 상기 필터에 막힘이 생기고 있다고 판별된 샘플링관로의 산소 농도 검출 수단에 의한 산소 농도의 검출치를 상기 조사실의 산소 농도를 판별하기 위한 대상으로부터 제외하고, 남은 산소 농도 검출 수단에 의한 산소 농도의 검출치를 기초로 하여 상기 조사실의 산소 농도를 판별해도 좋다. 본 형태에 따르면, 필터의 막힘에 기인하여 산소 농도의 검출치에 오차가 생기는 경우에, 그 오차가 불활성 기체의 유량 제어에 주는 영향을 배제할 수 있다.

본 발명의 일형태에 있어서, 각 샘플링관로의 필터의 하류에 압력 검출 수단(34)이 마련되는 동시에, 상기 압력 검출 수단이 검출한 압력을 기초로 하여 각 필터의 막힘의 유무를 판별하는 필터 감시 수단(40)과, 상기 필터에 막힘이 생기고 있다고 판별된 경우에 소정의 경고를 출력하는 경고 수단(40)이 또한 마련되어도 좋다. 본 형태에 따르면, 필터의 막힘을 전자선 조사 장치의 오퍼레이터에 경고하여 필터의 보수를 채울 수 있다.

본 발명의 일형태에 있어서, 상기 조사실에는 상기 피조사체의 반입구(8)에 계속되는 도입부(10)와, 상기 도입부보다도 통로 폭이 확대되고 또한 전자선의 투과 창문(6)을 구비한 처리부(12)가 설치되고, 상기 도입부 및 상기 처리부의 각각에 불활성 기체의 취출구(20A 내지 20E)가 설치되고, 상기 불활성 기체의 공급원(21)과 각 취출구를 연결하는 주관로(23)에 상기 유량 조정 밸브(25)가 설치되는 동시에, 상기 주관로로부터 상기 도입부의 취출구로 불활성 기체를 분배하는 분기관로(24A 내지 24C)에는 상기 분기관로에 있어서의 불활성 기체의 유량을 조정하는 분기관로용 제어 밸브(26A 내지 26C)가 마련되고, 상기 개방도 제어 수단은 상기 산소 농도를 기초로 하는 상기 유량 조정 밸브의 개방도 제어 외에, 상기 피조사체의 정지시에 상기 분기관로용 제어 밸브의 개방도를 감소시켜도 좋다. 도입부의 취출구는 거기서부터 취출하는 불활성 기체에 의해 피조사체에 수반하여 조사실 내에 침입하고자 하는 공기를 박리하여 실외로 밀어내는 작용을 생기게 하지만, 피조사체의 정지시에는 수반 공기가 침입하지 않으므로, 그와 같은 작용을 생기게 할 필요도 없다. 그래서, 피조사체의 정지시에 도입부의 취출구에 대응하는 분기관로용 제어 밸브의 개방도를 감소시키도록 하면, 불활성 기체가 불필요한 소비를 억제하여 사용량을 더 삭감할 수 있다. 이 경우, 분기관로용 제어 밸브의 개방도의 감소는 분기관로용 제어 밸브를 완전 폐쇄 상태로 제어하는 것이라도 좋고, 비정지시와 비교하여 개방도를 완전 폐쇄 상태에 도달하지 않는 정도로 감소시키는 것이라도 좋다.

본 발명의 다른 형태의 전자선 조사 장치는, 조사실(4) 내로 불활성 기체를 도입하면서 상기 조사실을 통과하는 피조사체(F)에 전자선을 조사하는 전자선 조사 장치(1)이며, 상기 조사실 내에 마련된 기체 취입구(30C, 30L, 30R)에 접속되어 상기 조사실 내의 기체를 취입하는 샘플링관로(32)와, 상기 샘플링관로에 마련된 필터(33)와, 상기 필터의 하류에 있어서의 압력을 검출하는 압력 검출 수단(34)과, 상기 필터의 하류에 유도된 기체 속의 산소 농도를 검출하는 산소 농도 검출 수단(35)과, 상기 압력 검출 수단이 검출한 압력을 기초로 하여 각 필터의 막힘의 유무를 판별하는 필터 감시 수단(40)과, 상기 필터에 막힘이 생기고 있다고 판별된 경우에 소정의 경고를 출력하는 경고 수단(40, 45)을 구비한 것이다.

본 형태의 전자선 조사 장치에 따르면, 산소 농도 검출 수단을 이용하여 조사실 내의 산소 농도를 감시할 수 있다. 산소 농도 검출 수단은 필터의 하류에 설치되어 있기 때문에, 전자선의 조사에 수반하여 피조사체로부터 종이 부스러기 등의 먼지가 발생하는 환경이지만, 그 먼지를 필터로 제거하여 조사실의 산소 농도를 정확하게 검출할 수 있다. 또한, 필터의 막힘을 압력 검출 수단의 검출치로부터 판별하여 경고를 출력할 수 있으므로, 필터의 보수를 오퍼레이터에 채우고, 필터의 막힘에 기인하여 산소 농도의 검출치에 오차가 생기고 있는 상태가 방치될 우려를 배제할 수 있다.

또, 이상의 설명에서는 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위해 첨부 도면의 참조 부호를 괄호로 부기하였지만, 그에 따라 본 발명이 도시의 형태에 한정되는 것은 아니다.

도1은 본 발명의 일형태에 관한 전자선 조사 장치의 주요부를 나타내는 도면이다. 전자선 조사 장치(1)는 공장 플로어 등에 거치되는 고정 유닛(2)과, 그 고정 유닛(2) 상에 설치되는 가동 유닛(3)을 구비하고 있다. 고정 유닛(2)의 일단부에는 고정벽(2a)이 마련되고, 그 고정벽(2a)의 전방에는 한 쌍의 레일(2b)이 설치되어 있다. 가동 유닛(3)은 레일(2b)에 따라서 이동 가능하게 마련되어 있고, 그 일단부에는 고정벽(2a)과 대향하는 가동벽(3a)이 설치되어 있다. 가동 유닛(3)이 고정벽(2a)을 향해 전진하여 고정벽(2a)과 가동벽(3a)이 조합됨으로써, 양벽(2a, 3a) 사이에 전자선의 조사실(4)이 형성된다(도2 참조). 도1은 가동 유닛(3)을 고정벽(2a)으로부터 후퇴시켜 조사실(4)을 개방한 상태를 나타내고 있다. 가동 유닛 (3)의 가동벽(3a)의 후방에는 전자선을 발생시키는 전자선 발생 장치(5)가 설치되어 있다. 전자선 발생 장치(5)로부터 사출되는 전자선은 가동벽(3a)에 마련된 투과 창문(6)을 통해 조사실(4)에 입사하고, 고정벽(2a)의 전자선 포착기(7)에 포착된다.

도2에 도시한 바와 같이, 조사실(4)의 일단부(상단부)에는 피조사체로서의 필름(F)이 반입되는 반입구(8)가 마련되고, 조사실(4)의 타단부(하단부)에는 필름(F)이 반출되는 반출구(9)가 설치되어 있다. 고정벽(2a) 및 가동벽(3a)이 조합된 상태에 있어서, 조사실(4)은 양 개구(8, 9)를 제외하여 그 주위가 폐쇄된 폐쇄 공간으로 구성된다. 조사실(4)의 반입구(8)에 계속되는 소정 범위에는 통로 폭이 좁혀진 도입부(10)가 마련되고, 반출구(9)에 연속되어 있는 소정 범위에도 통로 폭이 좁혀진 도출부(11)가 설치되어 있다. 이러한 도입부(10) 및 도출부(11) 사이에는 도입부(10) 및 도출부(11)보다도 통로 폭이 확대된 처리부(12)가 마련되고, 그 처리부(12)에 상술한 투과 창문(6)이 설치되어 있다. 필름(F)은 권취 롤(13)로부터 권취되고, 적절한 수의 반송 롤러(14)에 안내되면서 반입구(8)로부터 조사실(4)의 도입부(10)에 반입된다. 조사실(4) 내에 반입된 필름(F)은 처리부(12)에 유도되고, 그 처리부(12)에 의해 투과 창문(6)을 통과한 전자선(EB)이 필름(F)의 표면에 조사된다. 전자선 조사 후의 필름(F)은 도출부(11)를 통과하여 반출구(9)로부터 반출되고, 또한 적절한 수의 반송 롤러(15)로 안내되면서 권취 롤(16)에 권취된다. 이하에 있어서, 필름(F)의 주행 방향(V)을 기준으로서 권취 롤(13)을 향하는 방향을 필름 주행 방향에 관한 상류라 부르고, 권취 롤(16)을 향하는 방향을 필름 주행 방향에 관한 하류라 부르는 경우가 있다. 또, 피조사체(F)는 전자선(EB)의 조사에 의해 어떠한 처리가 실시되는 것이면 좋지만, 여기서는 벽지 등으로 이용되는 종이 기재의 필름을 상정하여 설명을 계속한다.

조사실(4)을 구성하는 가동벽(3a)에는 질소 등의 불활성 기체를 실내로 도입하기 위한 취출구가 적절한 위치에 설치되어 있다. 예를 들어, 도입부(10)에는 제1 슬릿(20A) 및 다수의 급기 구멍(20B)이 취출구로서 각각 마련되고, 또한 도입부(10)와 처리부(12)와의 경계 부근에도 제2 슬릿(20C)이 취출구로서 설치되어 있다. 처리부(12)에는 투과 창문(6)을 전후로 끼우도록 하여 제3 슬릿(20D) 및 제4 슬릿(20E)이 취출구로서 설치되어 있다. 또한 도출부(11)와 처리부(12)와의 경계 부근에는 다수의 급기 구멍(20F)이 취출구로서 설치되어 있다. 제1 슬릿(20A) 및 제2 슬릿(20C)은, 각각 필름(F)의 표면에 그 전체 폭에 걸쳐 불활성 기체를 송풍하도록 설치되어 있다. 이러한 슬릿(20A, 20C)으로부터 송풍되는 불활성 기체에 의해, 도입부(10)에 인입된 필름(F)에 수반하는 공기가 박리되어 반입구(8)로부터 실외로 밀어내어진다. 급기 구멍(20B)은 필름(F)을 억압하는 불활성 기체의 지지층을 필름(F)과 가동벽(3a) 사이에 형성하여 필름(F)의 요동을 억제하기 위해 설치되어 있다. 또, 이하에 있어서 슬릿(20A, 20C 내지 20E) 및 급기 구멍(20B, 20F)을 구별할 필요가 없을 때에는 취출구(20A 내지 20F)라 표기하는 것이 있다.

도1로 복귀하여, 전자선 조사 장치(1)에는 불활성 기체의 공급원으로서의 탱크(21)로부터 취출구(20A 내지 20F)에 불활성 기체를 공급하기 위한 공급관로(22)가 설치되어 있다. 공급관로(22)는 모든 취출구(20A 내지 20F)에 대해 공용되는 주관로(23)와, 주관로(23)와 취출구(20A 내지 20F)를 개별로 접속하는 분기관로(24A 내지 24F)를 구비하고 있다. 또, 분기관로(24A 내지 24F)의 첨자(A 내지 F)는 취출구(20A 내지 20F)의 첨자(A 내지 F)에 각각 대응한다. 주관로(23)에는 탱크(21)로부터 각 분기관로(24A 내지 24F)에 유도되는 불활성 기체의 유량을 제어하는 유량 조정 밸브로서의 주제어 밸브(25)가 설치되어 있다. 또한, 분기관로(24A 내지 24F)의 각각은 각 분기관로(24A 내지 24F)의 유량을 제어하는 분기관로용 제어 밸브로서의 부제어 밸브(26A 내지 26F)가 설치되어 있다. 또, 주제어 밸브(25)에는 개방도를 비례적으로 변화시켜 유량을 조정 가능한 전자 비례 제어 밸브가 이용된다. 부제어 밸브(26A 내지 26F)의 각각은, 개방 위치와 폐쇄 위치와의 이 위치 사이에서 절환 제어 가능한 개폐 밸브라도 좋고, 전자 비례 제어 밸브라도 좋다.

또한, 제3 슬릿(20D)의 근방, 바꿔 말하면 투과 창문(6)에 인접한 위치에는 복수(도면에서는 3개)의 기체 취입구(30L, 30C 및 30R)가 필름(F)의 폭 방향으로 나열하여 설치되어 있다. 기체 취입구(30C)는 필름(F)의 폭 방향 중심에 위치하고, 좌우의 기체 취입구(30L, 30R)는 각각 필름(F)의 폭 방향 양단부 부근에 위치하고 있다. 또, 이하에 있어서 기체 취입구(30L, 30C 및 30R)를 구별할 필요가 없을 때에는 이들을 기체 취입구(30)라 표기한다.

기체 취입구(30)의 각각은 산소 농도 측정 시스템(31)이 접속되어 있다. 또, 도1에서는 우측의 기체 취입구(30R)에 대한 산소 농도 측정 시스템(31)만을 나타내지만, 다른 기체 취입구(30C, 30L)의 각각에 대해서도 동일 구성의 산소 농도 측 정 시스템(31)이 각각 접속되어 있다. 산소 농도 측정 시스템(31)은 기체 취입구(30)로부터 조사실(4)의 기체를 취입하기 위한 샘플링관로(32)와, 그 샘플링관로(32)에 취입된 기체 속의 먼지를 제거하는 필터(33)와, 필터(33)의 하류측(2차측)에 있어서의 기체의 압력(필터 2차압)을 검출하는 압력 센서(34)와, 필터(33)의 하류측에 의해 기체 속의 산소 농도를 검출하는 산소 농도계(35)와, 샘플링관로(32)에 조사실(4) 내의 기체를 인입하는 펌프(36)와, 펌프(36)로부터 토출된 기체의 유량을 검출하는 유량계(37)를 구비하고 있다. 필터(33)에는 교환이 용이하게 행할 수 있게 카트리지식의 필터가 사용되어 있다. 유량계(37)는 산소 농도계(35)가 정상적으로 동작하는 범위의 유량의 기체가 샘플링관로(32)에 흐르고 있는지 여부를 오퍼레이터가 확인하기 위해 설치되어 있다.

압력 센서(34) 및 산소 농도계(35)가 각각 출력하는 압력 신호 및 산소 농도 신호는 전자선 조사 장치(1)의 제어 유닛(40)에 입력된다. 제어 유닛(40)은 필름(F)에 대해 소정의 조건 하에서 전자선이 조사되도록, 전자선 발생 장치(5)에 의한 전자선의 조사 제어, 필름(F)의 주행 제어, 취출구(20A 내지 20F)로부터 도입하는 불활성 기체의 유량 제어 등을 실행한다.

도3은 제어 유닛(40)의 기능 블록도이다. 제어 유닛(40)은 필름(F)에 대한 전자선의 조사에 필요한 각종의 처리를 실행하는 제어부(41)를 갖고 있다. 제어부(41)는 마이크로세서 혹은 LSI 등의 논리 회로 등을 이용한 제어 장치로 구성된다. 제어부(41)에는, 상술한 산소 농도 측정 시스템(31)의 압력 센서(34) 및 산소 농도계(35)가 접속되는 동시에, 전자선 조사 장치(1)의 오퍼레이터가 필름(F)의 주행 속도 등의 동작 조건을 입력하는 수단으로서 조작 패널(42)이 접속된다. 또한, 제어부(41)에는 제어 대상 장치로서 전자선 발생 장치(5), 필름 주행 장치(43) 및 밸브 구동 회로(44)가 접속되어 있다. 제어부(41)는 조작 패널(42)로부터 지시되는 동작 조건에 따라서 전자선 발생 장치(5) 및 밸브 구동 회로(44)에 지시를 준다. 전자선 발생 장치(5)는 제어부(41)로부터의 지시에 따라 전자선을 발생시킨다. 필름 주행 장치(43)는 제어부(41)로부터의 지시에 따라 권취 롤(16) 등을 회전 구동하여 필름(F)을 주행시킨다. 밸브 구동 회로(44)는 제어부(41)로부터의 지시에 따라서 주제어 밸브(25) 및 부제어 밸브(26A 내지 26F)를 절환 제어한다.

조작 패널(42)에서는 전자선 조사 장치(1)의 동작 모드로서, 대기 모드, 마무리 작업 모드 및 연속 운전 모드가 선택 가능해진다. 조작 패널(42)로부터 대기 모드가 지시된 경우, 제어부(41)는 전자선 발생 장치(5)로부터의 전자선 조사를 정지시키는 동시에, 필름 주행 장치(43)에 의한 필름(F)의 주행을 정지시킨다. 한편, 조작 패널(42)로부터 연속 운전 모드가 지시된 경우, 제어부(41)는 미리 조작 패널(42)을 통해 세트된 소정의 생산 속도(예를 들어 200 m/min.)에 의해 필름(F)을 주행시키는 동시에, 전자선 발생 장치(5)로부터 소정의 에너지량의 전자선을 연속적으로 조사시킨다. 마무리 작업 모드는 필름(F)의 의장 맞춤, 색 맞춤, 절삭 부착 등의 준비 작업을 행하는 경우에 선택되는 것이다. 마무리 작업 모드에서는 오퍼레이터가 조작 패널(42)을 통해 전자선의 조사 조건 및 필름(F)의 주행 속도 등을 적당히 지시 가능하고, 제어부(41)는 그것들의 지시에 따라 전자선 발생 장치(5)에 의한 전자선의 조사 및 필름 주행 장치(43)에 의한 필름(F)의 주행을 제어한 다.

제어부(41)는 대기 모드, 마무리 작업 모드 및 연속 운전 모드 중 어느 하나에 있어도, 압력 센서(34) 및 산소 농도계(35)가 각각 검출되는 압력 및 산소 농도를 기초로 하여 주제어 밸브(25) 및 부제어 밸브(26A 내지 26C)의 개방도를 결정하고, 그 결정한 개방도를 밸브 구동 회로(44)에 부여하여 이러한 제어 밸브(25, 26A 내지 26C)의 개방도를 제어한다. 단, 그 개방도의 결정에 있어서는 필름 주행 장치(43)에 의한 필름(F)의 주행 속도도 고려되지만, 상세한 것은 후술한다.

또한, 제어부(41)에는 프로세스 감시 장치(45)가 접속된다. 프로세스 감시 장치(45)는 전자선의 조사 품질을 감시하기 위해 마련된 것이다. 제어부(41)는 전자선 발생 장치(5)의 가속 전압, 빔 전류, 필름 주행 장치(43)에 의한 필름(F)의 주행 속도, 산소 농도계(35)가 검출한 산소 농도 등의 제조 공정의 감시에 필요한 상태량을 전자선 발생 장치(5) 및 필름 주행 장치(43)로부터 취득하여 이러한 상태량을 프로세스 감시 장치(45)에 출력한다. 프로세스 감시 장치(45)는 제어부(41)로부터 받은 상태량의 시간적인 변화를 기록하고, 또한 그 기록 내용을 모니터 등의 표시 수단(도시되지 않음)에 표시한다.

도4는 제어부(41)가 제어 밸브(25, 26A 내지 26C)를 조작하여 불활성 기체의 유량을 제어하기 위해 적절한 주기로 반복 실행하는 유량 제어 처리의 순서를 나타내는 흐름도이다. 도시한 유량 제어 처리에 있어서, 제어부(41)는 우선 스텝 S1에 의해 압력 센서(34)의 출력 신호를 수신하여 각 샘플링관로(32)의 필터 2차압을 검출하고, 계속되는 스텝 S2에 의해 각각의 압력이 부족한지 여부를 판단한다. 이는 필터(33)가 정상적으로 기능하고 있는지 여부를 판별하기 위한 처리이다. 스텝 S2에 있어서 어느 하나의 필터(33)의 2차압이 부족한 경우, 제어부(41)는 그 필터(33)에 막힘이 발생하고 있다고 판단하여 스텝 S3으로 진행하고, 소정의 경고 장치[일례로서 프로세스 감시 장치(45) 혹은 이에 부속되는 부저, 램프 등]를 통해 필터(33)의 막힘을 오퍼레이터에 경고하고, 계속되는 스텝 S4에 의해 필터(33)가 막혀 있다고 판단된 샘플링관로(32)를 산소 농도의 평가 대상으로부터 제외한다. 스텝 S2의 처리에 의해 제어부(41)는 본 발명의 필터 감시 수단으로서 기능하고, 스텝 S3의 처리에 의해 제어부(41)는 본 발명의 경고 수단으로서 기능한다. 한편, 스텝 S2에 의해 모든 필터(33)의 2차압이 정상이라고 판단한 경우에는 스텝 S3 및 S4를 스킵한다.

다음 스텝 S5에 있어서, 제어부(41)는 필터(33)의 2차압이 정상이라고 판단된 샘플링관로(32)의 산소 농도계(35)의 출력을 취입하여 산소 농도를 검출한다. 이 경우, 복수의 산소 농도계(35)의 검출치가 존재하는 경우에는 그러한 평균치를 조사실(4)의 산소 농도로서 취득한다. 단, 최대치를 이용해도 좋고, 다수의 산소 농도계(35)가 존재하는 경우에는 통계적 수법에 의해 요구되는 중앙치 및 최빈치 등의 여러 가지 값에 의해 조사실(4)의 산소 농도를 판별해도 좋다.

계속되는 스텝 S6에 있어서, 제어부(41)는 산소 농도의 검출치를 기초로 하여 주제어 밸브(25)의 완전 개방 위치로부터의 교축량(ΔVO)을 결정한다. 즉, 도5에 도시한 바와 같이 산소 농도와 주제어 밸브(25)가 적절한 개방도와의 대응 관계를 미리 정해 두고, 이 대응 관계를 이용하여 스텝 S5에서 검출한 산소 농도가 OXC1에 대응하는 개방도를 기본 개방도(VObase)로서 구한다. 그리고, 주제어 밸브(25)의 완전 개방시 개방도(VOfull)와 기본 개방도(VObase)와의 차이(= VOfull - VObase)를 교축량(ΔVO)으로서 결정한다. 또, 도5에 도시한 바와 같이 산소 농도와 주제어 밸브(25)의 기본 개방도(VObase)와의 관계는, 산소 농도가 저하되면 개방도가 감소되도록 정해지지만, 그 변화의 형태는 유량 제어에 대한 산소 농도의 응답성 등을 고려하여 적당히 설정하여 좋다.

다음에, 제어부(41)는 스텝 S7에 의해 필름(F)의 주행 속도(V)를 취득하고, 또한 스텝 S8에서 주행 속도(V)가 0이 아닌지 판단한다. 주행 속도가 0, 즉 필름(F)이 정지되거나 필름(F)이 도입되어 있지 않은 경우에는 스텝 S9로 진행하고, 제어부(41)는 도입부(10)의 취출구(20A 내지 20C)에 대응하는 부제어 밸브(26A 내지 26C)만을 완전 폐쇄 상태로 제어한다. 이에 의해, 제1 슬릿(20A), 제2 슬릿(20C) 및 급기 구멍(20B)으로부터의 불활성 기체의 도입이 중지된다. 필름(F)이 주행하고 있지 않을 때에는 필름(F)에 수반하여 공기가 침입할 우려가 없기 때문이다. 또, 다른 부제어 밸브(26D 내지 26F)는 완전 개방 상태로 제어되고, 조사실(4)에는 제3 슬릿(20D), 제4 슬릿(20E) 및 급기 구멍(20F)으로부터 불활성 기체가 도입된다.

계속되는 스텝 S10에 있어서 제어부(41)는 주제어 밸브(25)의 목표 개방도(VOtgt)를 완전 개방시의 개방도(VOfull)로부터 교축량(ΔVO)을 감산한 값으로 설정한다. 이 경우, 주제어 밸브(25)의 목표 개방도(VOtgt)는 도5에 나타낸 기본 개방도(VObase)와 일치한다. 한편, 스텝 S8에서 주행 속도(V)가 0이 아닌 경우, 제 어부(41)는 스텝 S11에 자진하여 모든 부제어 밸브(26A 내지 26F)를 완전 개방 상태로 제어한다. 계속되는 스텝 S12에 있어서, 제어부(41)는 필름(F)의 주행 속도(V)가 0보다도 크게 또한 소정의 임계치(Vth) 이하인지 여부를 판단한다. 임계치(Vth)는 산소 농도의 저하에 대응하여 불활성 기체의 유량을 감소시키는지 여부를 판별하는 기준치로서 주어지는 것이다. 임계치(Vth)는 필름(F)을 상술한 연속 조사 모드로 주행시킬 때 생산 속도의 하한치보다도 낮고, 또한 마무리 작업 모드에 있어서 지시되는 주행 속도의 상한치보다도 높은 값으로 설정된다.

스텝 S12가 긍정된 경우, 제어부(41)는 스텝 S13으로 진행하고, 주제어 밸브(25)의 목표 개방도(VOtgt)를 다음식에서 얻어지는 값으로 설정한다.

VOtgt = VOfull - AVO × C

여기서 C는 교축량(ΔVO)을 필름 정지시보다도 작은 폭으로 제한하기 위한 보정율이며, 0 < C < 1이다. 즉, 스텝 S13에서는 필름 정지시의 목표 개방도(VOtgt)로서 주어지는 기본 개방도(VObase)보다도 목표 개방도(VOtgt)를 크게 설정한다. 필름(F)이 주행하고 있는 경우에는 필름(F)의 정지시와 비교하여 수반 공기의 침입에 의해 산소 농도가 쉽게 상승하고, 한편 산소 농도의 검출치에 따른 유량 제어에는 응답 지연이 수반하기 때문에, 필름(F)의 저속 주행시에는 필름(F)의 정지시보다도 유량의 감소 폭을 억제한 쪽이 산소 농도를 허용 범위 내에 유지하는 데에 있어서 바람직하기 때문이다.

한편, 스텝 S12가 부정 판단된 경우, 제어부(41)는 스텝 S14로 진행하고, 주제어 밸브(25)의 목표 개방도(VOtgt)를 완전 개방시의 개방도(VOfull)로 설정한다. 스텝 S12가 부정 판단된 경우에는 필름(F)이 생산 속도로 주행하여 전자선의 조사가 행해져 있기 때문에, 이 때에는 불활성 기체의 사용량의 삭감보다도 산소 농도의 상승 방지를 우선한 쪽이 바람직하고, 그로 인해 산소 농도에 관계없이 주제어 밸브(25)를 완전 개방 상태에 유지하고 있다. 또, 필름(F)이 종이 기재로 이루어지는 경우에는 전자선의 조사에 의해 종이 부스러기가 생겨 조사실(4)이 오염되기 때문에, 불활성 기체의 유량을 되도록이면 크게 설정한 쪽이 바람직하다는 사정도 있다. 이상과 같이 하여 주제어 밸브(25)의 목표 개방도(VOtgt)를 설정한 후, 제어부(41)는 스텝 S15에서 주제어 밸브(25)를 목표 개방도(VOtgt)에 제어하고, 그 후 도4의 처리를 완료한다. 또, 스텝 S15에 있어서는 주어진 목표 개방도(VOtgt)와 현재의 개방도와의 편차를 기초로 하는 비례 제어 외에, 미분 제어 및 적분 제어를 실시해도 좋다. 이상의 스텝 S5 내지 스텝 S15를 실행함으로써 제어부(41)는 본 발명의 개방도 제어 수단으로서 기능한다.

이상의 처리에 따르면, 필름(F)이 정지되어 있을 때, 또는 저속 주행하고 있을 때(V < Vth)에는 산소 농도가 저하되면 주제어 밸브(25)의 목표 개방도(VOtgt)가 감소하여 조사실(4)로 도입되는 불활성 기체의 유량이 교축된다. 이에 의해, 산소 농도를 허용 범위에 유지하면서 불활성 기체가 쓸데없는 소비를 억제하여 그 사용량을 삭감할 수 있다. 특히 필름(F)이 정지되어 있을 때에는 도입부(10)에 있어서의 불활성 기체의 취출을 중지하고 있기 때문에 불활성 기체의 사용량의 삭감 효과가 높다. 또한, 필름(F)이 저속 주행하고 있을 때에는 정지시와 비교하여 동일 산소 농도에 대한 주제어 밸브(25)의 목표 개방도(VOtgt)가 보다 큰 값으로 설 정되기 때문에, 불활성 기체가 쓸데없는 소비를 억제하면서, 제어의 응답 지연 기인하는 산소 농도의 상승을 방지할 수 있다. 또한, 필름(F)을 생산 속도로 주행시켜 전자선을 조사하고 있을 때에는 산소 농도가 저하되어도 주제어 밸브(25)의 목표 개방도(VOtgt)가 완전 개방시의 개방도(VOfull)에 유지되어 조사실(4)의 산소 농도가 최소한으로 제어되므로, 전자선의 조사 품질이 열화될 우려가 없다.

이상의 형태에 있어서는, 필름(F)의 폭 방향으로 복수의 기체 취입구(30C, 30L, 30R)를 모두 필름(F)의 중앙 및 폭 방향 양단부에 있어서의 산소 농도를 검출하고 있기 때문에, 1개소만으로 산소 농도를 검출하는 경우와 비교하여 조사실(4)의 산소 농도의 검출 정밀도가 향상되고, 불활성 기체의 유량을 보다 적절하게 제어할 수 있다. 또, 필터(33)의 하류측의 압력을 검출하여 필터(33)의 막힘을 판정하고, 막힘이 생기고 있는 샘플링관로(32)에 대해서는 산소 농도의 평가 대상으로부터 제외하고 있기 때문에, 필터(33)의 막힘에 기인하여 불활성 기체의 유량 제어에 오차가 생길 우려가 없다. 덧붙여서 말하면, 필터(33)가 막히면 필터(33)의 하류에 있어서의 산소 농도가 상승하기 때문에, 그 산소 농도에 따라서 불활성 기체의 유량을 제어한 경우에는 불활성 기체가 필요 이상으로 도입되어 사용량에 낭비가 생긴다. 본 형태에 따르면 그와 같은 낭비가 생길 우려는 없다. 또한, 필터(33)의 막힘이 검출된 경우에 경고를 출력하고 있기 때문에, 오퍼레이터에 필터(33)의 보수를 촉구할 수 있다. 따라서, 필터(33)의 막힘에 의해 산소 농도의 검출치에 오차가 생기고 있는 상태에 오퍼레이터가 알아차리는 일 없이, 이것이 방치될 우려를 배제할 수 있다.

본 발명은 상술한 형태로 한정되는 일 없이, 여러 가지의 형태에 의해 실시할 수 있다. 이하에 상기의 형태에 대한 변형예를 설명한다.

상기의 형태에서는 필터(33)에 막힘이 생기고 있지 않는 한에 있어서, 3개소의 기체 취입구(30C, 30L, 30R)의 각각 접속된 모든 샘플링관로(32)를 평가 대상으로 하고 있지만, 평가 대상의 개수는 필름(F)의 폭에 따라서 변화시켜도 좋다. 예를 들어 필름(F)의 폭이 좁아 양단부의 기체 취입구(30L, 30R)가 필름(F)보다도 외측에 어긋나 있는 경우에는 중앙의 기체 취입구(30C)로부터 샘플링관로(32)에 취입된 기체 속의 산소 농도만을 기초로 하여 유량 제어를 실시하고, 그 한 쪽에서 모든 기체 취입구(30C, 30L, 30R)가 필름(F)과 대향하는 경우에는 모든 샘플링관로(32)로 취입된 기체 속의 산소 농도를 검출하여 평균치 등을 기초로 하는 유량 제어를 행해도 좋다. 이 경우에는 조작 패널(42)로부터 필름(F)의 폭을 입력하고, 그 입력치에 따라서 제어부(41)가 평가 대상의 샘플링관로(32)를 선택하면 좋다.

상기의 형태에서는, 연속 조사시에는 주제어 밸브(25)를 완전 개방 상태에 유지하고 있지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니라, 필름(F)을 주행시키면서 전자선을 조사하는 사이에서도 산소 농도에 따른 불활성 기체의 유량 제어를 실시해도 좋다. 예를 들어, 필름(F)이 종이 부스러기와 같은 먼지를 발생시키지 않는 재질로 이루어지는 경우(예를 들어 수지 기재의 필름인 경우)에는, 연속 조사 중에서도 산소 농도의 감소에 따라서 불활성 기체의 유량을 좁혀도 좋다.

상기의 형태에서는, 주제어 밸브(25)의 목표 개방도(VOtgt)의 설정을 필름(F)의 정지시, 저속 주행시, 연속 조사시의 3단계로 나눠 변화시키고 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 목표 개방도(VOtgt)를 더 세밀하게 제어해도 좋다. 예를 들어 필름(F)의 주행 속도가 상승함에 따라서 보정율(C)을 감소시킴으로써, 동일 산소 농도 하에 있어서의 목표 개방도(VOtgt)를 주행 속도(V)의 변화에 맞춰 연속적으로 변화시켜도 좋다. 산소 농도의 변화에 대한 불활성 기체의 유량 제어의 응답성이 충분히 확보되어 있는 경우에는, 주행 속도를 고려한 유량 제어를 생략하고, 주행 속도를 막론하고, 도5에 예시한 산소 농도와 기본 개방도(VObase)와의 관계에 따라서 주제어 밸브(25)의 유량을 제어해도 좋다.

불활성 기체의 유량의 제어는 주제어 밸브(25)에 의해 실현되는 것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 주제어 밸브(25)를 생략하여 부제어 밸브(26A 내지 26F)의 개방도를 산소 농도를 기초로 하여 개별로 변화시킴으로써 조사실(4)의 각처에 도입되는 불활성 기체의 유량을 제어해도 좋다. 기체 취입구의 배치는 투과 창문(6)에 인접하는 위치에 있어서 필름(F)의 폭 방향으로 나열되는 예로 한정되지 않는다. 예를 들어, 필름(F)의 주행 방향에 대해서도 복수의 위치에 기체 취입구를 마련하고, 조사실(4) 내의 산소 농도 분포를 더 세밀하게 판별하여, 그 판별 결과에 따라서 부제어 밸브(26A 내지 26F)의 각각의 개방도를 개별로 제어해도 좋다.

상기의 형태에서는 필름(F)의 정지시에 제1 슬릿(20A), 제2 슬릿(20C) 및 급기 구멍(20B)으로부터의 불활성 기체의 도입을 중지하고 있지만, 부제어 밸브(26A 내지 26C)의 개방도를 완전 폐쇄 상태에 도달하지 않는 정도에 초점을 맞춤으로써, 저속 주행시나 연속 조사시보다도 소량의 불활성 기체를 그러한 취출구(20A 내지 20C)로부터 공급해도 좋다. 단, 부제어 밸브(26A 내지 6C)를 이용한 불활성 기체 의 유량 제어는 생략해도 좋고, 그 제어 대상이 되는 취출구의 위치, 개수는 조사실(4)의 구성에 따라서 적절하게 변경 가능하다. 또한, 도입부(10)에 있어서의 복수의 취출구에 대해 부제어 밸브를 공통화하여 그 개방도를 제어해도 좋다.

이상으로 설명한 바와 같이, 본 발명의 전자선 조사 장치에 따르면, 조사실에 도입되는 불활성 기체의 유량을 조사실의 산소 농도를 기초로 하여 제어하고 있기 때문에, 조사실의 산소 농도를 허용 레벨로 유지하면서 불활성 기체의 불필요한 소비를 억제하여 그 사용량을 삭감할 수 있다.

Claims

조사실 내로 불활성 기체를 도입하면서 상기 조사실을 통과하는 피조사체에 전자선을 조사하는 전자선 조사 장치에 있어서,

상기 조사실 내의 산소 농도를 검출하는 산소 농도 검출 수단과,

상기 조사실 내로 도입되는 불활성 기체의 유량을 조정하는 유량 조정 밸브와,

상기 산소 농도가 저하되면 상기 불활성 기체의 유량이 감소되도록, 상기 산소 농도 검출 수단이 검출한 산소 농도를 기초로 하여 상기 유량 조정 밸브의 개방도를 제어하는 개방도 제어 수단을 구비하고,

상기 조사실에는 복수의 기체 취입구가 마련되고, 상기 복수의 기체 취입구의 각각에는 샘플링관로가 접속되고, 각 샘플링관로에 상기 산소 농도 검출 수단이 마련되고, 상기 개방도 제어 수단은 각 샘플링관로에 취입된 기체 속의 산소 농도의 검출치를 기초로 하여 상기 조사실의 산소 농도를 판별하고, 그 판별된 산소 농도를 기초로 하여 상기 유량 조정 밸브의 개방도를 제어하는 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제1항에 있어서, 상기 개방도 제어 수단은, 상기 피조사체의 주행 속도가 높을 때에는 상기 주행 속도가 낮을 때보다도 동일 산소 농도에 대한 불활성 기체의 유량이 상대적으로 커지도록, 상기 산소 농도와 상기 유량 조정 밸브의 개방도의 관계를 상기 주행 속도에 따라서 변화시키는 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
삭제
제1항에 있어서, 상기 복수의 기체 취입구가 상기 피조사체의 폭 방향으로 나열되어 있는 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제4항에 있어서, 상기 복수의 기체 취입구가 상기 조사실에 있어서의 전자선의 투과 창문에 인접하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제1항에 있어서, 각 샘플링관로에 필터가 마련되고, 상기 산소 농도 검출 수단은 상기 필터의 하류에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제6항에 있어서, 각 샘플링관로의 필터의 하류에 압력 검출 수단이 마련되는 동시에, 상기 압력 검출 수단이 검출한 압력을 기초로 하여 각 필터의 막힘의 유무를 판별하는 필터 감시 수단이 더 마련되고, 상기 개방도 제어 수단은 상기 필터에 막힘이 생기고 있다고 판별된 샘플링관로의 산소 농도 검출 수단에 의한 산소 농도의 검출치를 상기 조사실의 산소 농도를 판별하기 위한 대상으로부터 제외하고, 남은 산소 농도 검출 수단에 의한 산소 농도의 검출치를 기초로 하여 상기 조사실의 산소 농도를 판별하는 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제6항에 있어서, 각 샘플링관로의 필터의 하류에 압력 검출 수단이 마련되는 동시에, 상기 압력 검출 수단이 검출한 압력을 기초로 하여 각 필터의 막힘의 유무를 판별하는 필터 감시 수단과, 상기 필터에 막힘이 생기고 있다고 판별된 경우에 소정의 경고를 출력하는 경고 수단이 더 마련된 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 조사실에는 상기 피조사체의 반입구에 계속되는 도입부와, 상기 도입부보다도 통로 폭이 확대되고 전자선의 투과 창문을 구비하는 처리부가 마련되며,

상기 도입부 및 상기 처리부의 각각에 불활성 기체의 취출구가 마련되고,

상기 불활성 기체의 공급원과 각 취출구를 연결하는 주관로에 상기 유량 조정 밸브가 설치되는 동시에, 상기 주관로로부터 상기 도입부의 취출구로 불활성 기체를 분배하는 분기관로에는 상기 분기관로에 있어서의 불활성 기체의 유량을 조정하는 분기관로용 제어 밸브가 마련되고,

상기 개방도 제어 수단은 상기 산소 농도를 기초로 하는 상기 유량 조정 밸브의 개방도 제어 외에, 상기 피조사체의 정지시에 상기 분기관로용 제어 밸브의 개방도를 감소시키는 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
조사실 내로 불활성 기체를 도입하면서 상기 조사실을 통과하는 피조사체에 전자선을 조사하는 전자선 조사 장치에 있어서,

상기 조사실 내에 마련된 기체 취입구에 접속되어 상기 조사실 내의 기체를 취입하는 샘플링관로와,

상기 샘플링관로에 마련된 필터와,

상기 필터의 하류에 있어서의 압력을 검출하는 압력 검출 수단과,

상기 필터의 하류에 유도된 기체 속의 산소 농도를 검출하는 산소 농도 검출 수단과,

상기 압력 검출 수단이 검출한 압력을 기초로 하여 각 필터의 막힘의 유무를 판별하는 필터 감시 수단과,

상기 필터에 막힘이 생기고 있다고 판별된 경우에 소정의 경고를 출력하는 경고 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제4항에 있어서, 각 샘플링관로에 필터가 마련되고, 상기 산소 농도 검출 수단은 상기 필터의 하류에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제5항에 있어서, 각 샘플링관로에 필터가 마련되고, 상기 산소 농도 검출 수단은 상기 필터의 하류에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제11항에 있어서, 각 샘플링관로의 필터의 하류에 압력 검출 수단이 마련되는 동시에, 상기 압력 검출 수단이 검출한 압력을 기초로 하여 각 필터의 막힘의 유무를 판별하는 필터 감시 수단이 더 마련되고, 상기 개방도 제어 수단은 상기 필터에 막힘이 생기고 있다고 판별된 샘플링관로의 산소 농도 검출 수단에 의한 산소 농도의 검출치를 상기 조사실의 산소 농도를 판별하기 위한 대상으로부터 제외하고, 남은 산소 농도 검출 수단에 의한 산소 농도의 검출치를 기초로 하여 상기 조사실의 산소 농도를 판별하는 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제12항에 있어서, 각 샘플링관로의 필터의 하류에 압력 검출 수단이 마련되는 동시에, 상기 압력 검출 수단이 검출한 압력을 기초로 하여 각 필터의 막힘의 유무를 판별하는 필터 감시 수단이 더 마련되고, 상기 개방도 제어 수단은 상기 필터에 막힘이 생기고 있다고 판별된 샘플링관로의 산소 농도 검출 수단에 의한 산소 농도의 검출치를 상기 조사실의 산소 농도를 판별하기 위한 대상으로부터 제외하고, 남은 산소 농도 검출 수단에 의한 산소 농도의 검출치를 기초로 하여 상기 조사실의 산소 농도를 판별하는 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제11항에 있어서, 각 샘플링관로의 필터의 하류에 압력 검출 수단이 마련되는 동시에, 상기 압력 검출 수단이 검출한 압력을 기초로 하여 각 필터의 막힘의 유무를 판별하는 필터 감시 수단과, 상기 필터에 막힘이 생기고 있다고 판별된 경우에 소정의 경고를 출력하는 경고 수단이 더 마련된 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.
제12항에 있어서, 각 샘플링관로의 필터의 하류에 압력 검출 수단이 마련되는 동시에, 상기 압력 검출 수단이 검출한 압력을 기초로 하여 각 필터의 막힘의 유무를 판별하는 필터 감시 수단과, 상기 필터에 막힘이 생기고 있다고 판별된 경우에 소정의 경고를 출력하는 경고 수단이 더 마련된 것을 특징으로 하는 전자선 조사 장치.