KR101208324B1 - 클로로실란의 반응성 증류 - Google Patents

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Abstract

디메틸디클로로실란과 같은 클로로실란은 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)에서 가수분해되어 사이클로실록산, 클로로실록산 및 염화수소 기체를 생성한다. 상기 사이클로실록산 및 클로로실록산은 세척되고 이들의 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B) 내에서의 휘발성에 따라 분리되어, 실질적으로 염화물을 함유하지 않는 휘발성 사이클로실록산 스트림 및 실질적으로 염화물을 함유하지 않는 비휘발성 실록산 스트림을 생성한다. 당해 공정은 실질적으로 염화물에 효율적이다.
Figure R1020077022338
디메틸디클로로실란, 클로로실란, 사이클로실록산, 클로로실록산, 염화수소 기체, 가수분해.

Description

클로로실란의 반응성 증류{Reactive distillation of chlorosilanes}
본 발명은 클로로실란을 가수분해하는 공정에서 염화수소의 회수에 일반적으로 관련되는 공정 단계를 최소화하여 폴리실록산 함유 가수분해물을 생성하는 방법에 관한 것이다.
폴리디메틸실록산 중합체는 다단계 공정으로 제조한다. 직접 공정으로부터 수득되는 클로로실란의 가수분해는 당업계에 공지되어 있고, 가수분해물이라 칭명되는 사이클릭 실란올 말단화 올리고머와 선형 실란올 말단화 올리고머의 혼합물을 생성한다. 몇몇 사례에서, 클로로 말단화 중합체가 또한 수득된다.
선형 실록산의 쇄 길이 뿐만 아니라 선형 올리고머에 대한 사이클릭 올리고머의 비율은, 물에 대한 클로로실란의 비율, 온도, 접촉 시간 및 용매와 같은 가수분해 조건에 의해 조절된다. 상업적으로, 디메틸디클로로실란의 가수분해는 배치식 또는 연속식 공정에 의해 수행된다. 통상적인 산업적 공정에 있어서, 디메틸디클로로실란은 연속식 반응기에서 물과 함께 혼합된다. 가수분해물과 수성 HCl의 혼합물은 바람직하게는 단순한 디캔터를 사용하여 분리되며, 이러한 디캔터는 본질적으로 정비가 필요 없다. 그러나, 병합(coalescence) 기술과 중력 분리를 조합한 변형 기술을 포함하는 다른 방법 또한 사용될 수 있다. 시판되는 다단식 병합 분리기(multistage coalescer separator)는, 교환가능한 다공성 매질을 이용하도록 설정되어 벌크 연속적 수성상으로부터 실리콘상을 먼저 병합하여 분리하고, 소수성 매질을 이용하여 실리콘으로부터 비연속 수성상의 미세 분산액을 분리하여 추가로 정제한다. 극소량의 물을 함유하는 HCl 기체를 분리하면, 직접 공정에 재사용될 수 있는 염화 메틸로 전환시킬 수 있다. 상기 가수분해물을 잔류산을 제거하기 위하여 세정하고 임의로 염기 첨가 또는 이온 교환 기술을 사용하여 중화시키고 건조시키고 여과시킨다. 통상적인 수득물은 사이클릭 올리고머 약 30 내지 50%로 이루어지며, 잔여물은 선형 올리고머로 이루어진다. 통상적으로, 사이클릭 올리고머 및 선형 올리고머는 증류에 의해 후속적으로 분리된다. 추가적인 염화물의 제거를 위하여 물을 가수분해물, 사이클릭 올리고머 또는 선형 올리고머에 가한다.
오직 선형 올리고머로의 디메틸디클로로실란의 완전한 전환은 또한 연속적 가수분해 조작에 의해 가능하다. 상기 조작에서, 사이클릭 올리고머를 스트리핑(stripping) 공정에 의해 선형 올리고머로부터 분리하고 사이클릭 올리고머를 디메틸디클로로실란과 혼합시킨다. 상기 혼합물을 클로로 말단화 올리고머로 평형화시키고, 이는 후속적으로 가수분해된다. 이어서, 실란올 말단화 선형 올리고머를 다른 실리콘 중합체의 제조시 사용한다. 통상적으로, 이들 실란올 말단화 선형 올리고머를 촉매의 존재하에 헥사메틸디실록산과 같은 적합한 말단차단제와 반응시켜 저점도 및 중점도 트리메틸실록시 말단화 폴리디메틸실록산을 수득한다.
다단계 공정을 보다 적은 단계의 조작으로 집약시키는 단순화 공정에 대한 요구가 존재한다. 이는 본 발명에 따라 공정을 처리 기능을 수행하기 위한 특정 기구로의 특정 조건, 공급 속도 및 투입량 하에서 수행하여 성취될 수 있다. 본원에서 제공되는 단순화 공정은 자본 집약도 감소라는 경제적 이익을 제공한다.
발명의 요약
본 발명은 클로로실란의 가수분해방법에 관한 것이다. 본 발명 방법에 의하면, 하나 이상의 클로로실란을 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼에 공급하고, 염화물을 함유하지 않는 물을 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼에 공급하고, HCl 기체를 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼의 상부로부터 분리하고, 포화 수성 HCl을 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼의 하부로부터 분리하고, 이를 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼의 상부로 재순환시키고, 사이클로실록산 및 클로로실록산의 혼합물을 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼으로부터 분리하고 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼에 공급하고, 실질적으로 염화물을 함유하지 않는 사이클로실록산 및 실질적으로 염화물을 함유하지 않는 비휘발성 실록산을 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼으로부터 분리하고, 수성 HCl을 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼으로부터 분리하고 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼으로 재순환시킨다. 본 발명의 다양한 특성은 상세한 설명에 의해 명확해질 것이다.
통상적인 클로로실란 가수분해 공정에서, R3SiCl, R2SiCl2 및 RHSiCl2과 같은 클로로실란(여기서, R은 하기에서 정의한 바와 같다)은 향류의 작동 모드로 수성상과 반응하여 사이클릭 및 선형 실록산 생성물을 형성한다. 가수분해 공정의 전면에 주입되는 클로로실란은 이 단계에서 HCl 농도를 감소시키는 수성상과 지속적으로 접촉한다. 반응수는 반응/추출 단계의 최종 단계에서 공정에 가해지며, 도입된 클로로실란과 반응할 때까지 각각의 스테이지를 통해 향류로 펌핑된다. 최종 생성물에서 잔여 염화물 농도를 최소화하며 염화물 이온의 회수와 실록산의 생성을 극대화하기 위해 반응/추출에 대해 다양한 수의 스테이지가 사용될 수 있다. 이온 교환 기술이 최종 생성물의 염화물 농도를 0.2ppm 미만으로 감소시키기 위해 사용될 수 있다. 본원에서 사용된 용어 "실질적으로 염화물을 함유하지 않음"은 염화물 5ppm 미만, 또는 염화물 1ppm 미만, 또는 염화물 0.5ppm 미만, 또는 염화물 0.2ppm 미만을 의미한다. 추가로, 계면활성제는 최종 생성물에 존재하는 사이클릭 및 선형 실록산의 비율에 영향을 미치기 위하여 공정에 사용될 수 있다. 알킬 설포네이트의 알칼리성 염이 이러한 목적에 의해 사용될 수 있으나, 우선적으로 알칼리 금속을 제거하는 처리를 해야한다. 양이온 제거 및 염 형태로부터 계면활성제의 알킬 설폰산 형태로의 전환을 위하여 이온 교환 공정을 이용할 수 있다.
본 발명은 클로로실란을 가수분해시켜 실질적으로 염화물을 함유하지 않는 휘발성 사이클로실록산 및 실질적으로 염화물을 함유하지 않는 비휘발성 선형 실록산을 생성하면서 염화물을 염화수소 기체로서 회수하는 연속 공정에 관한 것이다. 본 공정은 클로로실란을 목적하는 분자량으로 가수분해시켜 휘발성 실록산 및 비휘발성 실록산 성분을 각각의 비점 이하의 온도에서 분리하는 동시에 염산을 약한 공비 또는 서브 공비 수성 HCl을 함유하는 스트림 및 염화수소 기체로 분리하는 2개의 향류 단계를 포함한다. 본 공정의 제1 단계는 슈퍼 공비 염산 중에서 클로로실란을 가수분해시켜 액체 사이클로실록산, 클로로실록산 및 HCl 기체를 생성한다. 사이클릭 분획 및 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A) 내의 실록산의 분자량은 실록산과 수성상 사이의 접촉 시간, 및 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼 내의 온도 및 압력에 의해 조절될 수 있다. 공정의 제2 단계는 서브 공비 염산의 존재하에 휘발성 및 비휘발성 실록산 스트림을 분리하는 동안 클로로실록산을 추가로 가수분해시키고 중합시킨다. 유사하게는, 사이클릭 분획 및 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B) 내의 분자량은 실록산과 수성상 사이의 접촉 시간, 및 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼 내의 온도 및 압력에 의해 조절될 수 있다. 하나의 양태에서, 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼의 상부로부터 제거되는 사이클로실록산은 규소수 6 미만의 사이클로실록산을 95% 이상 함유한다. 신선한 물을 공정의 제2 단계에 가한다. 공정의 제2 단계에서 생성된 서브 공비 염산은 공정의 제1 단계로 재순환된다. 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼 및 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼의 함유물은 기계적으로 또는 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼 및 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼 내의 증기/액체 접촉에 의해 생성되는 난류에 의해 교반된다. 당해 공정에 의해, 예를 들면, 1 내지 36%의 수성 HCl의 외부 공급원으로부터의 염화물을 또한 HCl 기체로서 회수할 수 있다.
공정에 도입되는 클로로실란은 화학식 R2SiCl2의 클로로실란을 함유할 수 있다. R은 수소, 또는 탄소수 1 내지 20의 알킬 그룹, 사이클로알킬 그룹, 아릴 그룹 또는 아르알킬 그룹과 같은 탄화수소 라디칼일 수 있다. 탄화수소 라디칼은 메틸, 에틸, 프로필, 이소프로필, n-부틸, 이소부틸, 3급 부틸, 2급 부틸, 펜틸, 헥실, 페닐, 톨릴, 벤질 및 β-페닐에틸과 같은 그룹일 수 있다. 적합한 클로로실란의 일부 예로는, 디메틸디클로로실란[(CH3)2SiCl2], 디에틸디클로로실란[C2H5)2SiCl2], 디-n-프로필디클로로실란[(n-C3H7)2SiCl2], 디-i-프로필디클로로실란[(i-C3H7)2SiCl2], 디-n-부틸디클로로실란[(n-C4H9)2SiCl2], 디-i-부틸디클로로실란[(i-C4H9)2SiCl2], 디-t-부틸디클로로실란[(t-C4H9)2SiCl2], n-부틸메틸디클로로실란[CH3(n-C4H9))SiCl2], 옥타데실메틸디클로로실란[CH3(C18H37)SiCl2], 디페닐디클로로실란[(C6H5)2SiCl2], 페닐메틸디클로로실란[CH3(C6H5)SiCl2], 디사이클로헥실디클로로실란[(C6H11)2SiCl2] 및 메틸디클로로실란(CH3SiHCl2)과 같은 화합물을 포함한다. 바람직한 클로로실란은 디메틸디클로로실란 및 메틸디클로로실란(CH3SiHCl2)이다. 필요하다면, R3SiCl과 같은 클로로실란 또한 사용할 수 있다(여기서, R은 상기에서 정의한 바와 같다). 바람직한 클로로실란, 예를 들면, 트리메틸클로로실란 (CH3)3SiCl이다. 상기 클로로실란 혼합물 또한 사용될 수 있다. 클로로실란(들)을 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼에 액체 또는 기체로서 도입할 수 있다.
본 발명의 공정에 도입되는 클로로실란에 존재하는 염화물과 관련하여, 본 발명의 공정은 가수분해에서 물의 화학양론적 필수량을 사용한다. 본 발명을 위하여, 화학양론적 양은 클로로실란으로서 공정에 첨가된 염화물 2몰당 물 1몰을 의미하는 것으로 고려된다. 물의 화학양론적 양은 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)에 이를 도입함으로써 공정에 도입된다. 공비 혼합물은 혼합물이 임의의 소정의 압력에서 증류되는 동안 증기상의 조성과 동일한 액상의 조성을 유지하는 액체 혼합물인 조성물을 의미하는 것으로 고려된다.
본원의 컬럼(A) 및 컬럼(B) 내의 공정은 3가지 방식, 즉 첫번째로 화학양론적 필수량 방식, 두번째로 화학양론적 과량 방식 및 세번째로 화학양론적 소량 방식으로 조작할 수 있다. 첫번째 화학양론적 필수량 방식에서, 컬럼(A 및 B) 모두에 필요한 물을 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)에 가한다. 물은 그 이외는 가하지 않으며, 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)에는 과량의 물을 가하지 않는다. 상기 방식에서, 도 1에서 나타낸 바와 같이 스트림으로부터 분리되는 서브 공비 수성 HCl은 없다. 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼의 하부에서 수성 HCl 스트림 모두는 액체로서 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)으로 재순환되고 증기로서 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)으로 재순환된다.
두번째의 화학양론적 과량 방식에서는, 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)에, 2개의 컬럼(A 및 B)에 요구되는 양 이상의 물을 도입한다. 이 방식에서, 일부의 물이 서브 공비 수성 HCl 스트림으로서 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)의 하부를 이탈한다. 상기의 제3 화학양론적 소량 방식에서, 클로로실란을 가수분해하는데 요구되는 양 이하의 물을 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)에 가한다. 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)에 요구되는 물을 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)의 하부로부터의 산 및 외부로부터의 1 내지 36%의 수성 HCl로 공급한다.
제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)의 하부에 존재하고 재순환되는 물은 필수적으로 염화수소에 의해 포화된다. "필수적으로 포화된다"는 공정 조건하에서 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)을 이탈하는 물이 일정 농도의 염화수소를 함유하여, 가수분해 반응의 결과로서 방출된 추가의 염화물이 기체성 염화수소로서 공정으로부터 방출됨을 의미한다.
공정은 -6℃ 내지 약 150℃ 범위의 온도에서 수행할 수 있다. 바람직한 온도는 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)에 대하여는 약 -3℃ 내지 22℃ 범위이며 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼에 대하여는 약 100℃ 내지 110℃ 범위의 온도이다. 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A) 내의 압력은 2 내지 50psig 범위일 수 있고, 반면 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B) 내의 압력은 0 내지 30psig 범위일 수 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 클로로실란의 가수분해방법은, 하나 이상의 클로로실란을 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)에 공급하는 단계, 염화물을 함유하지 않는 물을 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)에 공급하는 단계, HCl 기체를 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)의 상부로부터 분리하는 단계, 포화 수성 HCl을 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)의 하부로부터 분리하고 이를 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)의 상부로 재순환시키는 단계, 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)으로부터 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)으로 상기 사이클로실록산 및 클로로실록산을 공급하는 단계, 염화물을 함유하지 않는 사이클로실록산을 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)의 상부로부터 분리하고 실질적으로 염화물을 함유하지 않는 비휘발성 실록산을 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)의 하부로부터 분리하는 단계, 및 수성 HCl을 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)의 하부로부터 분리하고 이를 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)으로 재순환시키는 단계를 포함한다. 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)의 상부로 재순환된 포화 수성 HCl 분획을 열교환기(C)에서 가열하여 클로로실란 가수분해 반응에서 생성된 HCl을 증발시키기 위한 에너지를 공급할 수 있다. 추가로, 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼의 하부로부터 분리한 수성 HCl 또한 가열할 수 있으며, 제2 가열된 분획은 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)으로 재순환되는 반면, 제1 분획은 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)으로 재순환되어 돌아갈 수 있다. 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)의 하부로부터 분리한 수성 HCl의 농도는 전체적으로 시스템의 조작 방식, 즉 화학양론적 방식, 화학양론적 과량 방식 및 화학양론적 소량 미만인 방식에 따라 다양할 수 있다. 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼의 하부로부터 분리한 수성 HCl은 수성 HCl을 공비 농도 미만으로 함유하는 스트림, 바람직하게는 수성 HCl을 공비 농도의 0 내지 50%로 함유하는 스트림, 더욱 바람직하게는 수성 HCl을 공비 농도의 0 내지 25%, 또는 0.1 내지 25%로 함유하는 스트림일 수 있다. 컬럼(B)에 첨가되는 물은 시스템에 가해지는 유일한 공급원일 수 있으며 염화물을 함유하지 않는다. 컬럼(B)에 가해지는 실질적으로 염화물을 함유하지 않는 물은 컬럼(B)에 가해지는 유일한 물일 수 있다.
도 1은 본 발명의 공정을 수행하는데 사용되는 장치 및 물질의 일반적 유동 패턴을 기능적으로 도시한 것이다. 도 1에서 볼 수 있는 바와 같이, 공정 장치는 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A), 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B), 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)에 열을 가하기 위한 열교환기(C), 및 더욱 농축된 액체 서브 공비 산으로서 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)으로 재순환되고 덜 농축된 증기 스트림으로서 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)으로 재순환되는 서브 공비 수성 HCl을 함유하는 스트림의 일부를 증발시키는 열교환기(D)를 포함한다. 열교환기(D)는, 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)의 바닥으로부터 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)으로, 다시 제2 컬럼(B)으로, 또는 외부로 유동되거나 일부가 유동되도록 장착된다. 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)이 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)으로 물을 도입시키기 위한 유입구를 포함하지 않음을 인지하여야 한다. 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)에서 수행되는 가수분해 반응에 필요한 물은, 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)으로부터 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)으로 재순환되는 서브 공비 수성 HCl 스트림으로부터 공급되거나, 1 내지 36%의 수성 HCl의 외부 스트림으로부터 공급될 수 있다.
본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위하여 다음의 실시예들을 나타내었다.
실시예 1
디메틸디클로로실란 및 서브 공비 염산을 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)에 각각 질량 유속 F 및 0.17F로 가하였다. 디메틸디클로로실란을 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)에 존재하는 물과 반응시켜 사이클로실록산, 클로로실록산, 포화 수성 염산 및 염화수소 기체를 형성시켰다. 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)를 10 내지 12psig 및 약 -3℃ 내지 22℃에서 조작하였다. 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)의 사이클로실록산/클로로실록산 생성물을 0 내지 3psig 및 약 100℃ 내지 110℃에서 질량 유속 0.57F로 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)에 가하였다. 새로운 염화물을 함유하지 않는 물을 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)에 0.14F의 유속으로 가하였다. 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)에 가해진 클로로실록산을 염화물을 함유하지 않는 물로 세척하여 실질적으로 염화물을 함유하지 않는 실록산을 생성하고, 생성된 염산을 5% 수성 HCl 함유 스트림으로서 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)으로부터 제거하였다. 5% 수성 HCl 함유 스트림을 열교환기(D)에서 가열시키고, 일부를 10 내지 20%의 수성 HCl로서 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)에 0.17F의 유속으로 가하여 디메틸디클로로실란을 가수분해하였다. 5%의 수성 HCl의 잔여 분획을 열교환기(D)에서 증발시키고 5% 미만의 수성 HCl 증기로서 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)의 하부로 재순환시켰다. 열교환기(C)를 포함한 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)을 가열하여 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼(A)의 상부에 존재하는 HCl 기체를 증발시켰다. 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼(B)에 존재하는 세척된 실록산을 동시에 D3 내지 D5, 즉, 헥사메틸사이클로트리실록산(D3), 옥타메틸사이클로테트라실록산(D4) 및 데카메틸사이클로펜타실록산(D5)을 95% 함유하고 실질적으로 염화물을 함유하지 않는 사이클로실록산 스트림 및 실질적으로 염화물을 함유하지 않는 실록산 스트림으로 분리하였다. 비휘발성 스트림을 최종 생성물로서 회수하거나, 또는 상기한 바와 같이, 촉매의 존재하에 헥사메틸디실록산과 같은 적합한 말단차단제와 추가로 반응시켜 저점도 및 중점도 트리메틸실록시 말단화 폴리디메틸실록산을 수득하였다.
본 발명의 필수적 특징을 벗어나지 않고, 본원에 기재된 화합물, 조성물 및 방법에 대한 기타 변형이 가능하다. 본원에서 구체적으로 설명된 본 발명의 양태는 단지 예시용일 뿐이며 첨부된 청구의 범위에 정의된 것을 제외하고는 이들의 범위를 제한하지 않는다.

Claims (19)

  1. 하나 이상의 클로로실란을 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼에 공급하고, 사이클로실록산 및 선형 클로로실록산을 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼으로부터 분리하는 단계(i);
    염화물 5ppm 미만을 함유하는 물을 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼에 공급하는 단계(ii);
    HCl 기체를 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼의 상부로부터 분리하는 단계(iii);
    포화 수성 HCl을 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼의 하부로부터 분리하고 이를 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼의 상부로 재순환시키는 단계(iv);
    사이클로실록산 및 선형 클로로실록산을 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼으로부터 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼으로 공급하는 단계(v);
    염화물 5ppm 미만을 함유하는 사이클로실록산을 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼의 상부로부터 분리하고 염화물 5ppm 미만을 함유하는 비휘발성 실록산을 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼의 하부로부터 분리하는 단계(vi); 및
    수성 HCl을 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼의 하부로부터 분리하고 이를 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼으로 재순환시키는 단계(vii)를 포함하는, 클로로실란의 가수분해방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼 중의 휘발성 및 비휘발성 사이클로실록산과 선형 클로로실록산을 각각의 비점 이하의 온도 및 압력에서 분리하는 단계 및 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼의 하부로부터 분리한 수성 HCl을 부분적으로 증발시키고, 가열된 수성 HCl의 제1 액체 분획을 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼으로 재순환시시키고, 제2 증기 분획을 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼의 하부로 재순환시키는 단계를 추가로 포함하고, 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼에 공급된, 염화물 5ppm 미만을 함유하는 물이 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼에 공급된 클로로실란의 양에 대해 요구되는 화학양론적 양 미만인 양 내지 당해 화학양론적 양을 초과하는 양으로 공급되는, 클로로실란의 가수분해방법.
  3. 제1항에 있어서, 외부 공급원으로부터의 수성 HCl 1 내지 36%를 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼으로 공급하고, 상기 외부 공급원으로부터의 수성 HCl을 상기 제1 슈퍼 공비 염산 증류 컬럼의 상부로부터 HCl 기체로서 회수하는 단계를 추가로 포함하고, 상기 제2 서브 공비 염산 증류 컬럼의 하부로부터 분리한 수성 HCl이 수성 HCl을 공비 농도 미만으로 함유하는 스트림인, 클로로실란의 가수분해방법.
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