KR101175508B1 - 구금세정방법 및 도포장치 - Google Patents

Abstract

<과제> 폭방향으로 길게 선단에서 개구하고 있는 슬릿(7)이 내부에 형성되어 있는 구금(3)에 있어서, 종래에서는 진동파(진동파에 근거한 캐비테이션)의 전파가 충분히 이루어지지 않아 남아 있던 고착물을 떠오르게 하는 것이 가능하게 되어, 단시간에 소망의 세정결과를 얻는다.
<해결수단> 세정조(11) 내의 진동파를 부여한 세정액(L)에 구금 선단(9)을 침지시키고, 슬릿(7)을 통해서 당해 세정액(L)을 구금 내부로 유입시킨다. 이 상태로부터 슬릿(7)을 통해서 구금 내부에 기체를 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시킨다. 이 후, 구금 선단(9)을 세정조(11) 내의 진동파를 부여한 세정액(L)에 침지시키고, 슬릿(7)을 통해서 당해 세정액(L)을 구금 내부로 유입시킨다.

Description

구금세정방법 및 도포장치 {METHOD FOR CLEANING COATING DIE AND COATING APPARATUS}

본 발명은 기판에 대해서 도포액을 토출하는 구금(口金)을 세정하는 구금세정방법 및 이 세정방법을 실행할 수 있는 도포장치에 관한 것이다.

액정디스플레이 등의 플랫패널 디스플레이, 태양전지패널 등에는 화소, 회로패턴 등이 형성된 기판이 이용되고 있고, 이와 같은 기판은, 예를 들면 레지스트액(도포액)을 도포하여 행하는 포토리소그래피 기술이 이용됨으로써, 제작되고 있다.

그리고, 기판에 대해서 도포액을 도포하는 장치로서, 폭방향으로 긴 슬릿이 내부에 형성되어 있는 구금을 가진 도포장치가 알려져 있다. 이 도포장치에 의하면, 기판에 대해서 구금을 수평이동시키면서, 슬릿으로부터 도포액을 토출함으로써, 기판 표면에 도포액의 막을 형성할 수 있다.

이 도포장치에 의한 도포작업이 장시간 계속해서 행해지고 있으면, 슬릿, 슬릿이 개구하고 있는 구금 선단 및 구금 선단의 외측면 등에 도포액의 고화물(固化物)이나 도포액에 혼입한 이물이라고 하는 고착물이 고착하는 경우가 있으며, 이들 고착물은 도포액의 토출에 영향을 주어 도포 결함이 발생할 우려가 있다.

그래서, 예를 들면 특허문헌 1에 개시되어 있는 구금을 세정하는 세정장치가 제안되고 있다.

이 세정장치는 세정액이 저장되어 이 세정액에 구금 선단을 침지(浸漬)하는 세정조와, 세정액을 구금(슬릿)에 흘리기 위한 유로를 구비하고 있다. 또한, 이 유로의 도중에 세정액에 초음파 진동을 부여하는 초음파 발진기(發振器)가 마련되어 있고, 이 초음파 진동에 의해 구금 내부에 부착하고 있는 고착물을 떠오르게 하여 세정효과를 높이도록 하고 있다.

[특허문헌 1] 일본국 특개2007-253093호 공보(도 1, 도 2, 도 3 참조)

그러나, 특허문헌 1에 기재한 세정장치의 경우, 세정액에 초음파 진동을 부여하는 위치는 세정액을 흘리는 유로의 도중으로서 구금(슬릿)으로부터 떨어져 있기 때문에, 초음파의 진동에너지가 감쇠하여, 구금의 세정효과를 높이는 것은 그다지 기대할 수 없다.

그래서, 세정액에 대해서 초음파 진동을 부여하는 위치가 구금 선단의 근처가 되도록, 예를 들면, 세정액을 저장하고 있음과 아울러 이 세정액에 구금 선단을 침지시키는 세정조의 바닥부에 진동자를 마련하고, 이 진동자에 의해서 세정액에 진동파(초음파 진동)를 부여하여, 구금의 세정을 행하는 것을 생각할 수 있다.

그러나, 이와 같이, 세정액에 침지한 구금 선단의 근처에 마련한 진동자에 의해서, 세정액에 진동파(초음파 진동)를 부여하는 것만으로는, 슬릿이 개구하고 있는 구금 선단 및 구금 선단의 외측면은 세정할 수 있지만, 개구 폭이 매우 좁은 슬릿(특히 구금 선단으로부터 떨어지는 슬릿 안쪽 부분)에는 세정액에 부여한 진동파(진동파에 근거한 캐비테이션(cavitation))가 도달하지 않아, 슬릿의 고착물을 세정할 수 없다.

그래서, 세정액에 부여한 진동파(진동파에 근거한 캐비테이션)를 구금의 슬릿(슬릿 안쪽 부분)까지 도달시키기 위해서, 진동파(초음파 진동)가 부여된 세정액을 구금 선단으로부터 흡인하는 방법을 생각할 수 있다.

그러나, 고착물이 고착하고 있는 영역은 고착물의 저항에 의해 세정액이 흐르기 어렵기 때문에, 단순히 캐비테이션을 포함하는 세정액을 구금으로부터 흡인하는 것만으로는, 세정액은 고착물을 회피하여 흘러 버려, 캐비테이션이 고착물에 도달하지 않아, 고착물을 효율 좋게 세정할 수 없다고 하는 문제가 있다.

즉, 종래에서는, 세정 작용이 약해서, 폭방향으로 긴 슬릿(구금)의 전체에 걸쳐서 균일한 소망의 세정결과를 얻는 것이 곤란하고, 또, 소망의 세정결과를 얻기 위해서는, 세정을 반복해서 행할 필요가 있어, 세정시간이 많이 걸린다. 이 때문에, 도포작업을 재개할 때까지의 시간을 필요로 하여, 생산 효율의 향상의 방해가 되고 있다.

그래서, 본 발명의 목적은, 종래에서는 진동파(진동파에 근거한 캐비테이션)의 전파가 충분하게 이루어지지 않아 남아 있던 고착물을 떠오르게 하는 것이 가능하게 되어, 단시간에 균일한 소망의 세정결과를 효율 좋게 얻을 수 있는 구금의 세정방법 및 이 세정방법을 실행할 수 있는 도포장치를 제공한다.

본 발명의 구금의 세정방법은, 폭방향으로 길게 선단에서 개구하고 있는 슬릿이 내부에 형성되어 있는 구금의 세정방법으로서, 세정조 내의 진동파를 부여한 세정액에 구금 선단을 침지시키고, 상기 슬릿을 통해서 당해 세정액을 구금 내부로 유입시키는 제1 유입공정과, 상기 제1 유입공정에서 세정액을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터 상기 슬릿을 통해서 상기 구금 내부에 기체를 당해 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시키는 기체유입공정과, 상기 기체유입공정 후, 상기 구금 선단을 상기 세정조 내의 진동파를 부여한 세정액에 침지시키고, 상기 슬릿을 통해서 당해 세정액을 상기 구금 내부로 유입시키는 제2 유입공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 구금의 세정방법.

본 발명에 의하면, 제1 유입공정에서 진동파를 부여한 세정액을 구금 내부로 유입시킴으로써, 구금 내부에 고착하고 있던 고착물을 떠오르게 하는 것이 가능하다. 그리고, 세정액을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터 슬릿을 통해서 구금 내부에 기체를 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시킴으로써, 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 기체와 세정액과의 기액계면(氣液界面)을 일제히 이동시킬 수 있다. 이 결과, 구금 내부에서 고착물을 벗겨내는 효과를 줌과 아울러, 제2 유입공정에서 다시 진동파를 부여한 세정액을 구금 내부로 유입시킬 때에, 진동파(진동파에 근거한 캐비테이션)가 전파하는 형태(경로)가 제1 유입공정으로부터 개선되어, 진동파의 전파가 충분히 이루어지지 않아 남아 있던 고착물을 떠오르게 하는 것이 가능하게 된다. 이 결과, 단시간에 소망의 세정결과를 얻을 수 있다.

또, 상기 기체유입공정에서는 상기 구금 선단과 상기 세정액의 액면을 떼어 놓음으로써, 상기 슬릿을 통해서 상기 구금 내부에 기체를 상기 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시키는 것이 바람직하다.

이 경우, 세정조 내의 세정액에 구금 선단을 침지시키고 있던 상태로부터 이 구금 선단과 세정액의 액면을 떼어 놓는 조작을 행하면 되어, 간단하게, 슬릿을 통해서 구금 내부에 기체를 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시킬 수 있다.

제1 유입공정으로부터 기체유입공정으로 이행했을 때에 구금 내부 측으로 흐른 세정액에는 기체가 많이 포함되기 때문에, 세정액 중에 기체가 용존(溶存)하므로, 이 세정액을 그대로 세정조로 되돌려, 후에 제1 유입공정(또는 제2 유입공정)을 행하는 경우, 용존기체량이 증가한 세정액에 대해서 진동파가 부여되게 된다. 이 경우, 용존기체에 의해서 세정액 중의 진동파에 의한 캐비테이션의 발생이 저해되어, 캐비테이션에 의해서 고착물을 떠오르게 하는 효과가 약해질 우려가 있다.

그래서, 상기 구금의 세정방법은 상기 제1 유입공정 및 상기 제2 유입공정에서 상기 슬릿으로부터 유입시킨 세정액으로 채워지는 유로를 통해서 세정액을 상기 세정조로 되돌림과 아울러, 상기 유로로부터, 상기 기체유입공정으로 유입한 기체를, 상기 슬릿과는 다른 배출유로를 통해서 배출하는 기체배출공정을 더 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 「세정조로 되돌리는 세정액」은 제1 유입공정 및 제2 유입공정에서 슬릿으로부터 유입시킨 세정액이라도 되고, 또는, 새로운 세정액이라도 된다. 슬릿으로부터 유입시킨 세정액을 되돌리는 경우, 당해 세정액에 포함되어 있는 기체를 배출유로를 통해서 배출한다. 새로운 세정액의 경우, 슬릿으로부터 유입시킨 세정액에 포함되어 있는 기체를, 당해 세정액과 함께, 배출유로를 통해서 배출하고, 이 세정액 대신에 새로운 세정액을 세정조로 되돌린다.

이 경우, 세정액을 세정조로 되돌려도 세정조 내의 세정액의 용존기체량이 증가하는 것을 억제할 수 있어, 후에 제1 유입공정(또는 제2 유입공정)을 행하여도 진동파에 의해서 고착물을 떠오르게 하는 효과가 약해지는 것을 막을 수 있다.

또, 세정액에 진동파를 부여함으로써 세정조 내에서 이물이 부유하고 있는 경우, 제1 유입공정 및 제2 유입공정의 한쪽 또는 쌍방에 의하면, 그 세정조 내의 부유이물이 세정액과 함께 구금 내부 측으로 빨려 들여갈 우려가 있다.

그래서, 상기 구금의 세정방법은 상기 구금 선단을 상기 세정조의 세정액에 침지시킨 상태에서 상기 제1 유입공정 및 상기 제2 유입공정의 한쪽 또는 쌍방에서 상기 구금 내부 측으로 세정액을 유입시킨 후, (슬릿으로부터 유입시킨 또는 새로운) 세정액을 상기 슬릿으로부터 당해 세정조로 토출하는 마무리 공정을 더 포함하고, 이 마무리 공정에서는 상기 세정조의 세정액에 진동파를 부여한 채로, 당해 세정조의 세정액에 침지시키고 있던 상기 구금 선단을 당해 세정액의 액면으로부터 떼어 놓는 것이 바람직하다.

이 경우, 세정조 내의 부유이물이 세정액과 함께, 구금 내부 측으로 빨려 들여가 구금 내부의 접액면(接液面)에 부착하고 있어도, 마무리 공정에 의하면, (슬릿으로부터 유입시킨 또는 새로운) 세정액을 세정조로 토출함으로써, 구금 내부의 접액면에 부착한 세정조 내의 이물을 진동파에 의해 떠오르게 하여 구금 내부로부터 토출할 수 있다. 게다가, 세정조의 세정액에 진동파를 부여한 채로, 세정조의 세정액에 침지시키고 있던 구금 선단을 당해 세정액의 액면으로부터 떼어 놓으므로, 상기 세정조 내를 부유하고 있는 이물이 구금 내부와 구금 선단에 재부착하는 것을 막을 수 있다. 그 결과, 세정작업이 완료한 후, 사람 손을 통하지 않고, 신속하게 도포작업으로 이행하는 것이 가능하게 된다.

또, 세정조 내에서 부유하는 이물이 진동파에 의해서 슬릿 내를 부유하여 구금 내부로 침입하기 쉬운 형태(비중, 크기 등)를 가지고 있는 경우는 특히, 제1 유입공정 및 제2 유입공정의 한쪽 또는 쌍방에 의하면, 그 세정조 내의 부유이물이 세정액과 함께 구금 내부 측으로 빨려 들여가기 쉬워진다.

이 경우, 상기 구금의 세정방법은 상기 구금 선단을 상기 세정조의 세정액에 침지시킨 상태에서, 상기 제1 유입공정 및 상기 제2 유입공정의 한쪽 또는 쌍방에서 상기 구금 내부 측으로 세정액을 유입시킨 후, (슬릿으로부터 유입시킨 또는 새로운) 세정액을 상기 슬릿으로부터 당해 세정조로 토출하는 마무리 공정을 더 포함하고, 이 마무리 공정에서는 세정액을 상기 세정조로 토출하고 있는 도중에 당해 세정조 내의 세정액으로의 진동파의 부여를 정지하는 것이 바람직하다.

이 경우, 세정조 내의 부유이물이 세정액과 함께, 구금 내부 측으로 빨려 들여가고 있어도, 이 마무리 공정에 의하면, 세정조 내의 세정액에 진동파를 부여하고 있는 동안에, (슬릿으로부터 유입시킨 또는 새로운) 세정액을 세정조로 토출함으로써, 구금 내부로 빨려 들여간 세정조 내의 부유이물을 간단하게 구금 내부로부터 토출할 수 있다. 또한, 이 때, 초음파 부여에 의해 구금 선단에 이물이 부착하는 것을 회피할 수 있다. 게다가, 세정액을 세정조로 토출하고 있는 도중에, 세정조 내의 세정액으로의 진동파의 부여를 정지함으로써, 세정조 내의 이물이 침강(沈降)하고, 진동파에 의해서 세정조 내를 부유하는 것을 막을 수 있어, 구금 선단에 이물이 부착하는 것을 회피할 수 있다. 그 결과, 세정작업이 완료한 후, 사람 손을 통하지 않고, 신속하게 도포작업으로 이행하는 것이 가능하게 된다.

또, 상기 구금의 세정방법은 초음파 진동자를 저진동수로 진동시키는 것에 의해서 상기 진동파를 발생시켜 행한 상기 제1 유입공정 및 상기 제2 유입공정의 후로서, 다시 상기 제1 유입공정을 행하는 경우에, 당해 제1 유입공정을 다시 행하기 전에, 상기 세정조의 세정액을 적어도 일부 바꿔 넣는 교체공정을 더 포함하는 것이 바람직하다.

이 경우, 초음파 진동자를 저진동수로 진동시키는 것에 의해서 진동파를 발생시켜 제1 유입공정 및 제2 유입공정을 행함으로써, 구금의 세정효과를 보다 한층 높이는 것이 가능하게 된다. 또한, 저진동수로서는 20㎑ 이상이며 40㎑ 이하이다. 그러나, 이와 같은 저진동수의 경우, 세정액의 온도가 상승하기 쉬워, 다시 제1 유입공정을 행함으로써, 이와 같은 세정액을 구금 내부 측으로 유입시키면, 구금의 온도도 상승한다. 이 경우, 구금이 열팽창하여 슬릿의 치수가 변화하며, 이 구금을 이용하여 곧바로 도포작업을 행하면, 도포품질에 영향을 줄 우려가 있다. 이 때문에, 세정액의 온도가 소정의 온도로 저하할 때까지 작업을 휴지할 필요가 있어, 시간의 로스가 된다. 그래서, 이와 같은 경우에는, 상기 교체공정에 의해서, 세정조의 세정액을 적어도 일부 바꿔 넣고, 온도가 상승한 세정액에 의해서 다시 제1 유입공정이 행해지는 것을 막을 수 있다.

또, 상기 구금의 세정방법은 초음파 진동자를 저진동수로 진동시키는 것에 의해서 상기 진동파를 발생시키고 있는 동안, 상기 세정조의 세정액을 적어도 일부 바꿔 넣는 연속적 교체공정을 더 포함하는 것이 바람직하다.

이 경우, 초음파 진동자를 저진동수(20㎑ 이상이며 40㎑ 이하)로 진동시키는 것에 의해서 진동파를 발생시킴으로써, 구금의 세정효과를 보다 한층 높이는 것이 가능하게 되지만, 이와 같은 저진동수의 경우, 세정액의 온도가 상승하기 쉬워, 후에, 이와 같은 세정액을 구금 내부 측으로 유입시키면, 구금의 온도도 상승한다. 이 경우, 구금이 열팽창하여 슬릿의 치수가 변화하며, 이 구금을 이용하여 곧바로 도포작업을 행하면, 도포품질에 영향을 줄 우려가 있다. 이 때문에, 세정액의 온도가 소정의 온도로 저하할 때까지 작업을 휴지할 필요가 있어, 시간의 로스가 된다. 그래서, 이와 같은 경우에는, 상기 연속적 교체공정에 의해서, 세정조의 세정액을 적어도 일부 바꿔 넣고, 온도가 상승한 세정액을 사용하지 않도록 할 수 있다.

또, 본 발명의 도포장치는 폭방향으로 길게 선단에서 개구하고 있는 슬릿이 내부에 형성되어 있는 구금을 가지고, 당해 슬릿으로부터 기판에 대해서 도포액을 토출하여 도포하는 장치 본체와, 상기 구금을 세정하는 세정기구를 구비하고, 상기 세정기구는 세정액을 저장하는 세정조와, 상기 세정조 내의 상기 세정액에 진동파를 부여하는 발진장치와, 상기 세정조 내의 진동파를 부여한 세정액에 구금 선단을 침지시킨 상태에서, 상기 슬릿을 통해서 당해 세정액을 구금 내부로 유입시키는 송액(送液)수단과, 상기 송액수단에 의해서 세정액을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터 상기 슬릿을 통해서 상기 구금 내부에 기체를 당해 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시키는 제어를 행하는 제어장치를 가지고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 진동파를 부여한 세정액을 구금 내부로 유입시킴으로써, 구금 내부에 부착하고 있던 고착물을 떠오르게 하는 것이 가능하다. 그리고, 세정액을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터 슬릿을 통해서 구금 내부에 기체를 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시킴으로써, 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 기체와 세정액과의 기액계면을 일제히 이동시킬 수 있다. 이 결과, 구금 내부에서 고착물을 벗겨내는 효과를 줌과 아울러, 다시 진동파를 부여한 세정액을 구금 내부로 유입시키는 경우에, 세정액의 흐름에 따라서 진동파(진동파에 근거한 캐비테이션)가 전파하는 형태(경로)가 개선되어, 종래에서는 진동파의 전파가 충분히 이루어지지 않아 남아 있던 고착물을 떠오르게 하는 것이 가능하게 된다. 이 결과, 단시간에 소망의 세정결과를 얻을 수 있다.

또, 상기 도포장치는 상기 세정조 내의 세정액의 액면과, 상기 구금 선단과의 높이방향에 대해서의 상대위치를 변경하는 위치변경수단을 더 구비하고, 상기 제어장치는 상기 위치변경수단을 제어하여, 상기 구금 선단과 상기 세정액의 액면을 높이방향에 대해서 떼어 놓음으로써, 상기 슬릿을 통해서 상기 구금 내부에 기체를 상기 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시키는 것이 바람직하다.

이 경우, 구금 선단을 세정조 내의 진동파를 부여한 세정액에 침지시키고 있던 상태로부터, 위치변경수단에 의해서, 이 구금 선단과 세정액의 액면을 높이방향에 대해서 떼어 놓음으로써, 간단하게, 슬릿을 통해서 구금 내부에 기체를 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시킬 수 있다.

또, 상기 송액수단에 의해서, 구금 내부 측으로 흐른 세정액에는 기체가 많이 포함되기 때문에, 이 세정액을 그대로 세정조로 되돌려, 후에, 세정조 내의 진동파를 부여한 세정액에 구금 선단을 침지시킨 상태에서, 슬릿을 통해서 세정액을 구금 내부로 유입시키는 경우, 용존기체량이 증가한 세정액에 대해서 진동파가 부여되게 된다. 이 경우, 용존기체에 의해서 세정액 중의 진동파에 의한 캐비테이션의 발생이 저해되어, 캐비테이션에 의해서 고착물을 떠오르게 하는 효과가 약해질 우려가 있다.

그래서, 상기 도포장치는 상기 송액수단에 의해서 상기 슬릿으로부터 유입시킨 세정액으로 채워지는 유로를 통해서 (슬릿으로부터 유입시킨 또는 새로운) 세정액을 상기 세정조로 되돌리는 세정액 반환부와, 상기 슬릿으로부터 유입시킨 기체를 상기 세정조 이외의 영역에 배출하는 배출유로를 더 구비하고 있는 것이 바람직하다.

이 경우, 세정액을 세정조로 되돌려도, 세정조 내의 세정액의 용존기체량이 증가하는 것을 억제할 수 있어, 진동파에 의해서 고착물을 떠오르게 하는 효과가 약해지는 것을 막을 수 있다.

본 발명에 의하면, 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 기체와 세정액과의 기액계면을 일제히 이동시키는 것에 의해서, 구금 내부에서 고착물을 벗겨내는 효과를 줌과 아울러, 다시 진동파를 부여한 세정액을 구금 내부로 유입시킬 때에, 진동파(진동파에 근거한 캐비테이션)가 전파하는 형태(경로)가 개선되어, 종래에서는 진동파의 전파가 충분히 이루어지지 않아 남아 있던 고착물을 떠오르게 하는 것이 가능하게 되어, 단시간에 소망의 세정결과를 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명의 도포장치의 실시의 한 형태를 나타내는 개략도이다.
도 2는 구금 및 세정기구의 설명도이다.
도 3은 세정방법을 설명하는 플로우도이다.
도 4는 세정방법에 포함되는 공정의 설명도이다.
도 5는 구금 및 세정조의 설명도이며, (A)는 제1 유입공정, (B)는 기체유입공정, (C)와 (D)는 제2 유입공정을 나타내고 있다.
도 6은 마무리 공정을 설명하기 위한 구금 및 세정조의 설명도이다.
도 7은 기체유입수단의 다른 예를 설명하는 설명도이다.

이하, 본 발명의 실시의 형태를 도면에 근거하여 설명한다.

[도포장치의 구성에 대해서]

도 1은 본 발명의 도포장치(1)의 실시의 한 형태를 나타내는 개략도이다. 이 도포장치(1)는 기판(직사각형의 매엽(枚葉)부재)(W)을 재치(載置) 가능한 스테이지(2)와, 슬릿(7)이 내부에 형성되어 있는 구금(3)과, 이 구금(3)을 탑재해 스테이지(2)상의 기판(W)에 대해서 당해 구금(3)을 수평이동(X방향이동)시키는 구동장치(4)를 구비하고 있다. 이들에 의해 장치 본체(8)가 구성되어 있고, 이 장치 본체(8)에 의하면, 구동장치(4)가 구금(3)을 수평이동시키면서, 슬릿(7)으로부터 기판(W)에 대해서 도포액을 토출하여 도포함으로써, 기판(W)상에 도포액에 의한 막(도막(塗膜))(M)을 형성할 수 있다. 이 때문에, 구금(3)의 이동방향이 도포방향(X방향)이 된다. 또한, 도포장치(1)는 구금(3)을 세정하는 세정기구(6)를 구비하고 있다. 또, 이 도포장치(1)는 장치 본체(8) 및 세정기구(6)의 동작을 제어하는 제어장치(5)를 구비하고 있으며, 제어장치(5)는 도포액을 기판(W)으로 토출하는 도포동작의 제어 및 세정기구(6)에 의한 구금(3)의 세정동작의 제어를 행한다.

구금(3)의 내부에 형성되어 있는 슬릿(7)은 구금(3)의 폭방향으로 길고, 구금 선단(구금 하단)(9)에서 개구하고 있다. 구금(3)의 폭방향은 도포방향(X방향)과 직교하는 수평방향(Y방향)이다. 슬릿(7)은 도포방향으로 얇고, 또, 구금(3)의 내부에 형성되어 있는 매니폴드(10)와 연결되어 있으며, 매니폴드(10) 및 슬릿(7)을 통해서 도포액이 구금 선단(9)으로부터 토출된다. 또한, 매니폴드(10)도, 슬릿(7)과 마찬가지로, 폭방향으로 길게 형성되어 있다. 슬릿(7)이 개구하고 있는 구금 선단(9)(슬릿(7)의 개구단)은 수평이며, 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 직선적으로 형성되어 있다.

세정기구(6)는 구금(3)을 세정하는 세정액(L)이 저장되어 있는 세정조(11)를 구비하고 있고, 이 세정조(11)는 스테이지(2)의 근방에 설치되어 있다. 도포동작을 끝낸 후, 구동장치(4)가 구금(3)을 수평이동시킴으로써, 구금(3)을 세정조(11)의 위쪽에 위치시킬 수 있다. 구동장치(4)는 구금(3)을 상하이동시키는 기능도 가지고 있으며, 구금(3)을 강하시킴으로써, 구금 선단(9)을 세정조(11) 내의 세정액에 침지시킬 수 있다.

도 2는 구금(3) 및 세정기구(6)의 설명도이다. 세정기구(6)는 세정액(L)을 저장하고 있는 상기 세정조(11) 외에, 세정조(11) 내의 세정액(L)에 진동파를 부여하는 발진장치(12)와, 구금(3)과 배관(P1)을 통하여 연결되어 있는 펌프(13)를 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태의 세정기구(6)는 구금(3)과 배관(P2)을 통하여 연결되어 있는 폐액부(廢液部)(폐액보틀)(14)와, 세정조(11) 내의 세정액(L)을 빨아내는 펌프(15a)를 포함하여 빨아낸 세정액(L)을 세정조(11)로 되돌리는 유로를 구성하고 있는 순환유로(15)와, 순환유로(15)의 도중에 마련되어 세정액(L)으로부터 탈기(脫氣)를 행하는 탈기모듈(16)과, 순환유로(15)의 도중에 마련되어 세정액을 냉각하는 열교환기(17)를 구비하고 있다. 또, 순환유로(15)에는 탱크(24), 필터(18a, 18b) 및 삼방(三方)밸브(19a, 19b)가 마련되어 있다. 또, 세정기구(6)는 세정조(11)를 승강시키는 승강장치(20)를 구비하고 있다.

펌프(13)는 세정조(11) 내의 세정액(L)에 구금 선단(9)을 침지시킨 상태에서, 당해 구금 선단(9)에서 개구하고 있는 슬릿(7)을 통해서, 세정조(11) 내의 세정액(L)을 구금 내부로 유입시킬 수 있고, 흡인한 세정액을 일시적으로 저장할 수 있다.

또, 세정기구(6)는 펌프(13)에 의해서 구금 내부 측으로 유입시킨 세정액을 역류시켜 세정조(11)로 되돌리는 세정액 반환부를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 펌프(13)가 이 세정액 반환부의 기능을 겸하여 구비되어 있다. 즉, 펌프(13)는 세정액(L)을 정역의 양방향으로 보낼 수 있는 송액수단이며, 운전상태를 전환함으로써, 자신에 의해서 구금 내부 측으로 유입시킨 세정액을 역류시켜 세정조(11)로 되돌릴 수 있다. 또한, 펌프(13)를, 도포운전의 동작시에, 도포액을 구금(3)에 공급하는 공급펌프로서 겸용하는 것도 가능하다. 이 경우, 도시하지 않은 도포액 저장탱크와, 이 도포액 저장탱크로부터 펌프(13)를 연결하는 도포액의 공급로가 다른 회로로서 펌프(13)에 접속되어 있다.

또한, 본 실시형태에서는 송액수단으로서 펌프(13)를 사용하는 예에 대해서 나타내고 있지만, 송액수단으로서 탱크(도시생략)를 접속하고, 이 탱크 내의 압력을 제어하는 것이라도 된다. 즉, 펌프(13) 대신에 탱크를 접속하고, 이 탱크와 진공원(眞空源)과 가압원(加壓源)을 연결시킨다. 그리고, 진공원을 제어함으로써 구금 내부에 세정액을 유입시키고, 가압원을 제어함으로써 구금 내부의 세정액을 역류시킨다.

또, 세정기구(6)는 이 펌프(세정액 반환부)(13)의 기능에 의해서 역류하는 세정액이 흐르는 유로로부터 분기하고 있음과 아울러, 이 역류하는 세정액에 포함되어 있는 기체를 세정조(11) 이외의 영역으로 배출하는 배출유로를 더 구비하고 있다.

본 실시형태에서는, 상기의 「역류하는 세정액이 흐르는 유로」란, 도 4의 (C)에 나타내고 있는 바와 같이, 펌프(13)로부터 구금 내부의 매니폴드(10) 및 슬릿(7)을 거쳐 세정조(11)의 세정액(L)에 이를 때까지의 유로(21)이다. 그리고, 상기의 배출유로(22)는 매니폴드(10)로부터 분기하여 구금(3)의 외부의 폐액부(폐액보틀)(14)로 통하는 유로이며, 이 유로의 도중에 밸브(에어 벤트(vent) 밸브)(22a)가 마련되어 있다. 또한, 도 2에 의하면, 상기 배관(P2)이 배출유로(22)의 일부를 구성하고 있다.

도 2에서, 발진장치(12)는 진동자(초음파 진동자)(12a)와, 이 진동자(12a)의 진동수(발진주파수)를 제어하는 콘트롤러(12b)를 가지고 있다. 이 콘트롤러(12b)는 제어장치(5)와 연계하여 기능한다. 발진장치(12)는 진동자(12a)를 진동시킴으로써 세정조(11) 내의 세정액(L)에 대해서 진동파를 부여한다. 본 실시형태에서는, 진동파로서 초음파 진동을 부여한다. 특히, 진동자를 저진동수(20㎑ ~ 40㎑)로 진동시키는 것에 의해서, 초음파를 부여한다. 여기서, 20㎑보다 낮은 진동수나 40㎑보다 높은 진동수에서는 특히 강고하게 고착하고 있는 고착물을 단시간에 박리시키는데 필요한 캐비테이션 효과의 발현이 곤란하기 때문에, 20㎑ ~ 40㎑가 바람직하다.

본 실시형태의 세정조(11)는 2층식이며, 진동자(12a)의 진동파를 전파시키는 용매(S)가 저장되어 있는 용매조(11a)와, 이 용매조(11a) 내에 설치되어 세정액(L)을 저장하고 있는 본(本)세정조(11b)를 가지고 있다. 진동자(12a)가 진동하면, 그 초음파(진동파)는 용매(S)에 전파되어 본세정조(11b)를 통하여 세정액(L)에 전파된다. 그리고, 이 세정액(L)에 구금 선단(9)을 침지시킨 상태에서, 진동자(12a)가 진동하고, 당해 세정액(L)에 초음파 진동이 부여되며, 당해 세정액(L)을 구금(3)의 내부로 유입시킬 수 있다. 초음파 진동에 의해 격렬하게 흔들린 세정액(L) 중에서는 정부(正負)의 압력이 교대로 작용하며, 세정액(L) 중에서 부압이 작용한 장소에 진공의 공동(거품)이 발생하고, 이 공동(거품)이 정(正)의 압력에 의해 소멸하는 현상이 일어난다(캐비테이션). 이 공동(거품)이 소멸할 때에 충격파가 발생하여 발현하는 캐비테이션 효과에 의해, 구금(3)의 내부의 표면 및 구금 선단(9)의 외측면으로부터 고착물(오물)을 떠오르게 하는 것이 가능하게 된다.

또한, 세정조(11)는 2층식이며, 상기 순환유로(15)는 본세정조(11b) 내의 세정액(L)이 펌프(15a)에 의해서 빨아내지며, 빨아내진 세정액(L)이 본세정조(11b)로 되돌리는 유로가 된다. 또, 세정액(L)의 냉각효과를 보다 한층 높이기 위해서, 용매조(11a)의 용매(S)에 대해서도, 용매조(11a) 내와 용매조(11a) 외의 사이를 순환시켜도 되고, 이 경우, 본세정조(11b) 및 용매조(11a)의 쌍방에서 세정액(L) 및 용매(S)를 순환시키게 된다.

세정조(11)는 1층식이라도 되고, 이 경우, 세정액(L)이 저장되어 있는 세정조(11)에 진동자(12a)가 마련되어 있다.

탈기모듈(16)은 세정조(11)에 공급하는 세정액을 미리 탈기하는 기능을 가지며, 세정액(L) 중에 용존하는 기체를 감소시킬 수 있다. 세정액(L) 중에 용존하는 기체가 많이 포함되어 있으면, 용존기체에 의해서 세정액(L) 중에서의 캐비테이션의 발생이 저해되기 때문에, 세정조(11)에서 세정효과가 저감되어 버린다.

[구금의 세정방법에 대해서]

이상의 구성을 구비한 도포장치(1)에 의해서 실행되는 구금(3)의 세정방법을 설명한다. 도 3은 세정방법을 설명하는 플로우도이며, 도 4는 세정방법에 포함되는 공정의 설명도이다.

[세정준비공정 및 세정동작공정]

구금(3)에 의한 도포동작을 끝내고, 이 구금(3)의 세정을 행하기 위해서, 제어장치(5)의 지령신호에 근거하여 구동장치(4)(도 1 참조)가 구금(3)을 세정조(11)의 위쪽으로 이동시키고, 그 후, 구금(3)을 강하시켜, 구금 선단(9)을 그 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 세정조(11)(본세정조(11b))의 세정액(L)에 침지시킨다(도 4의 (A) 참조 : 도 3의 세정준비공정(S1)).

여기서, 도포동작을 끝낸 후의 구금(3)은 구금 내부가 도포액으로 채워져 있는 상태라도 되고, 도포액을 배출하여 빈 상태라도 된다. 또한, 구금 내부가 도포액으로 채워져 있는 경우는, 세정조(11) 내의 세정액(L)이 더러워지기 쉬워진다. 또, 구금 내부가 빈 상태인 경우는, 구금 내부에 잔존하고 있는 도포액이 건조하여 새로운 고착물이 발생해 버린다. 이 때문에, 구금 내부는 세정액을 채운 상태인 것이 바람직하다.

그리고, 진동자(12a)에 의해서 세정액(L)에 초음파 진동(진동파)을 부여하고, 펌프(13)가 흡인동작을 개시해, 슬릿(7)의 길이방향 전체 길이에 걸쳐서 슬릿(7)을 통해서 세정액(L)을 구금 내부로 유입시킨다(도 3의 제1 유입공정(S2)). 즉, 세정액(L)에 초음파 진동을 부여하면서 당해 세정액(L)을 구금 내부로 흡인시킨다. 이 제1 유입공정(S2)는 소정 시간 계속해서 행해진다.

이 제1 유입공정(S2)에 의하면, 도 5의 (A)에 나타내고 있는 바와 같이, 초음파 진동(진동파)을 부여한 세정액(L)에 의해, 구금 내부(특히 슬릿(7))에 부착하고 있던 고착물(F)을 떠오르게 하는 것이 가능하다. 그리고, 이 떠오르게 한 고착물(F)을 세정액(L)과 함께 펌프(13) 측으로 흡입시킨다. 또한, 이 제1 유입공정(S2)에서는, 슬릿(7)에서, 초음파 진동에 의한 미세한 거품(캐비테이션)이 많이 충돌한 영역에서는 고착물(F)을 떠오르게 하여 펌프(13) 측으로 흡입할 수 있지만, 미세한 거품(캐비테이션)의 충돌이 약한 영역에서는 고착물(F)은 잔류하고 있다.

이와 같이 영역의 차이가 발생하는 것은, 세정액(L)의 흐름의 형태(경로) 및 초음파 진동(초음파에 근거한 캐비테이션)이 전파하는 형태에 기인하고 있으며, 어느 영역을 향해 초음파 진동에 의한 미세한 거품(캐비테이션)이 발생하면, 그 미세한 거품은 그 영역을 향해 효율 좋게 계속 발생하지만, 미세한 거품의 발생 효율이 나쁜 영역에서는 그 상태가 계속하는 것에 근거한다. 특히, 매우 얇은 형상인 슬릿(7)에 큰 고착물(F)이 존재하고 있는 경우, 그 고착물(F)은 초음파 진동으로 완전하게 떠오르지 못하고 잔류한다. 이와 같이 슬릿(7)에 고착물(F)이 잔류하면, 잔류한 고착물(F)의 저항에 의해 세정액(L)이 흐르기 어려워지기 때문에, 세정액(L)은 고착물(F)을 회피하여 흘러 버린다. 그 결과, 이 세정액(L)이 회피하는 영역이 미세한 거품의 충돌(캐비테이션)이 약한 영역(세정효과가 낮은 영역)이 되고, 고착물(F)이 계속 잔류한다.

그리고, 이 제1 유입공정(S2)에서, 펌프(13)에 의해 세정액(L)을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터, 제어장치(5)의 지령신호에 근거하여 구동장치(4)가 구금(3)을 상승시킴으로써, 슬릿(7)이 개구하고 있는 구금 선단(9)과, 세정액(L)의 액면을 떼어 놓는다. 이것에 의해, 구금 내부를 대기개방상태로 하고, 펌프(13)에 의해 세정액(L)을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터, 슬릿(7)을 통해서 구금 내부에 기체(대기)를 유입시킨다(도 4의 (B) 참조 : 도 3의 기체유입공정(S3)). 즉, 본 실시형태에서는, 구동장치(4)가 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 기체를 유입시키는 기체유입수단이 된다.

슬릿(7)이 개구하고 있는 구금 선단(9)(슬릿(7)의 개구단)은 수평이며, 직선적으로 형성되어 있기 때문에, 세정액(L)을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터 구금(3)이 상승하여 구금 선단(9)과 세정액(L)의 액면이 떨어지면, 기체는 구금 선단(9)으로부터 슬릿(7)을 통해서 구금 내부로 슬릿(7)의 폭방향(길이방향) 전체 길이에 걸쳐서 유입한다.

또한, 본 실시형태에서는 기체로서 대기를 사용하고 있지만, 질소 등이라도 되고, 기체이면 특별히 한정되지 않는다.

이와 같이, 세정액(L)을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터, 슬릿(7)을 통해서 구금 내부에 기체를 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시킴으로써, 도 5의 (B)에 나타내고 있는 바와 같이, 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서, 기체(a)와 세정액(L)과의 기액계면(B1)(세정액(L)으로부터 기체(a)로 바뀌는 계면)을 일제히 또한 똑같이 매니폴드(10) 측으로 이동시킬 수 있다.

또한, 이 기체유입공정(S3)은 상기 기액계면(B1)이 슬릿(7)의 개구단으로부터 시작되어, 기체(a)에 의한 폭방향으로 긴 띠 모양의 공간이 형성되고, 이 띠 모양의 기체(a)(공간)가 슬릿(7)을 통과할 수 있는 시간 동안, 행해지면 되고, 이 시간은 몇 초(2 ~ 3초) 정도로 충분히 만족하며, 이 시간에 대해서 구금 선단(9)을 세정액(L)의 액면으로부터 떼어 놓으면 된다.

이 기체유입공정(S3)은 구금 선단(9)을 액면으로부터 일시적으로 떼어 놓는 공정이다.

그리고, 기체유입공정(S3) 후, 제어장치(5)의 지령신호에 근거하여 구동장치(4)가 구금(3)을 강하시킴으로써, 구금 선단(9)을 세정조(11) 내의 초음파 진동을 부여한 세정액(L)에 다시 침지시키고, 슬릿(7)의 길이방향 전체 길이에 걸쳐서 당해 슬릿(7)을 통해서 세정액(L)을 구금 내부로 유입시킨다(도 4의 (A) 참조 : 도 3의 제2 유입공정(S4)). 이 제2 유입공정(S4)은 소정 시간 계속해서 행해진다.

이와 같이, 다시 슬릿(7)을 통해서 세정액(L)을 구금 내부로 유입시킴으로써, 도 5의 (C)로부터 도 5의 (D)에 나타내고 있는 바와 같이, 초음파 진동을 부여하고 있는 세정액(L)이 흡인되기 시작하고, 초음파(초음파에 근거한 캐비테이션)를 전파시키고 있는 세정액(L)의, 슬릿(7)을 흐르는 형태가 제1 유입공정(S2)일 때와 비교해서 변화한다. 즉, 기체(a)로부터 세정액(L)으로 바뀌는 기액계면(B2)(도 5의 (C) 참조)의 이동에 수반하는 흔들거림 효과에 의해, 고착물(F)이 완전하게 떠오르거나, 혹은 고착물(F)의 일부가 떠오르는 것으로 고착물(F)이 축소한다. 이 때문에, 세정액(L)의 슬릿(7)을 흐르는 형태가 제1 유입공정일 때와 비교해서 변화한다. 이 결과, 제1 유입공정(S2)에서는 미세한 거품(캐비테이션)의 충돌이 약했던 영역이 제2 유입공정(S4)에서는 미세한 거품(캐비테이션)이 많이 충돌하는 영역으로 변화하는 것이 기대된다.

이상의 제1 유입공정(S2), 기체유입공정(S3) 및 제2 유입공정(S4)에 의하면, 초음파 진동을 부여한 세정액에 의해, 구금 내부에 부착하고 있던 고착물(F)을 재빠르고 효율적으로 떠오르게 하는 것이 가능하다. 그리고, 제1 유입공정(S2)에서 세정액(L)을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터, 슬릿(7)을 통해서 구금 내부에 기체(a)(도 5의 (B) 참조)를 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시킴으로써(기체유입공정(S3)), 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 기체(a)와 세정액(L)과의 기액계면(B1)을 일제히 또한 똑같이 이동시킬 수 있다. 또한, 슬릿(7)을 통해서 구금 내부에 세정액(L)을, 다시, 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시킴으로써(도 5의 (C)와 (D) 참조 : 제2 유입공정(S4)), 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 기체(a)와 세정액(L)과의 기액계면(B2)을 일제히 또한 똑같이 이동시킬 수 있다.

이 결과, 구금 내부에서 고착물(F)을 벗겨내는 효과를 줌과 아울러, 제2 유입공정(S4)에서 다시 진동파를 부여한 세정액(L)을 구금 내부로 유입시킬 때에, 이 세정액(L)의 흐름의 형태(경로) 및 초음파(초음파에 근거한 캐비테이션)가 전파하는 형태(경로)가 개선되어, 종래에서는 진동파의 전파가 충분히 이루어지지 않아 남아 있던 고착물을 떠오르게 하는 것이 가능하게 된다.

또, 제1 유입공정(S2)으로부터 기체유입공정(S3)으로 이행했을 때에 구금 내부 측으로 흐른 세정액에는 기체가 많이 포함되기 때문에, 이 세정액을 그대로 세정조(11)로 되돌렸을 경우, 후에 다시 제1 유입공정(S2)을 행하면, 용존기체량이 증가한 세정액(L)에 대해서 진동파가 부여되게 된다. 이 경우, 용존기체에 의해서 세정액(L) 중에서의 캐비테이션의 발생이 저해되며, 초음파 진동에 의해서 고착물(F)을 떠오르게 하는 효과가 약해질 우려가 있다.

그래서, 상기 제2 유입공정(S4)을 끝내면, 제어장치(5)에 의해서 펌프(13)의 운전상태가 전환되고, 제1 유입공정(S2) 및 제2 유입공정(S4)에서 구금 내부 측에 유입시킨 세정액을 역류시킨다(도 4의 (C) 참조). 이 때, 상기 밸브(에어 벤트 밸브(22a))를 열림 상태로 전환하고, 역류에 의해서 세정액을 세정조(11)로 되돌리는 유로(21)의 도중으로부터, 당해 세정액에 포함되어 있는 기체를, 슬릿(7)과는 다른 배출유로(22)를 통해서 배출한다(도 3의 기체배출공정(S5)). 또한, 밸브(22a)를 열림 상태로 하는 것은 이 기체배출공정(S5)뿐이며, 다른 공정에서는 닫힘 상태로 한다.

이 기체배출공정(S5)은 펌프(13)가 흡입한 세정액을 모두 토출할 때까지 실행된다. 펌프(13)로부터 토출된 세정액은 일부가 배출유로(22)를 거쳐, 폐액부(14)로 흐른다.

상기 유로(21)에 포함되는 슬릿(7)은 매우 얇은 것에 대해, 배출유로(22)의 유로단면은 훨씬 크며, 슬릿(7)을 통해서 세정조(11)로 역류하는 세정액의 저항은 배출유로(22)를 흐르는 세정액의 저항보다도 크다. 또, 매니폴드(10)에서의 배출유로(22)의 분기부는 당해 매니폴드(10)의 상부에 위치하고 있다. 이 때문에, 역류하는 세정액 중에 포함되는 기체는 매니폴드(10)에서 포착되고, 포착된 기체가 세정액의 일부에 이끌려 배출유로(22)로 흐를 수 있다. 그리고, 이 기체가 밸브(22a)를 통해서 밖으로 배출된다.

이 기체배출공정(S5)에 의하면, 펌프(13)의 흡인에 의해서 구금 내부 측으로 흐른 세정액을 역류시켜 세정조(11)로 되돌려도, 세정조(11) 내의 세정액(L)의 용존기체량이 증가하는 것을 억제할 수 있어, 후에 제1 유입공정(S2)을 행하여도, 초음파 진동에 의해서 고착물(F)을 떠오르게 하는 효과가 약해지는 것을 막을 수 있다.

이상, 제1 유입공정(S2)으로부터 기체배출공정(S5)까지가 1사이클의 세정동작공정이며, 이 세정동작공정은 복수 사이클 반복 실행되어도 된다. 즉, 제어장치(5)에는 이 세정동작공정을 실행하는 회수가 설정되어 있고, 이 회수에 도달할 때까지 세정동작공정을 반복 실행한다(도 3의 판정공정(S6)의 '아니오'인 경우). 설정회수에 대해서 실행을 끝내면(판정공정(S6)의 '예'인 경우), 마무리 공정(S7)으로 진행된다.

[마무리 공정(그의 1)]

도 1의 도포장치(1)는 클린룸에 설치되어 있지만, 예를 들면 구동장치(4) 등이 구동함으로써 미세한 금속가루가 발생하고, 이들이 클린룸 중(대기중)에 흩날려, 세정조(11)(본세정조(11b))에 낙하하는 경우가 있다. 그러면, 이와 같은 금속가루는 세정조(11)에 이물(R)로서 세정액(L) 중에 존재한다. 이와 같이, 세정조(11)에 이물(R)이 존재하고 있는 경우, 제1 유입공정 및 제2 유입공정에 의하면, 진동파를 부여함으로써 세정조(11) 내를 이물(R)이 부유하기 때문에, 그 이물(R)이 세정액(L)과 함께 구금 내부 측으로 빨려 들여간다. 그래서, 이와 같은 이물(R)을 구금 내부 측으로부터 배출하는 마무리 공정(S7)이 행해진다.

도 6의 (A)에 나타내고 있는 바와 같이, 구금 선단(9)을 세정조(11)의 세정액(L)에 침지시킨 상태에서, 제1 유입공정(S2) 및 제2 유입공정(S4)에서 구금 내부 측으로 유입시킨 세정액을 펌프(13)에 의해서 역류시킴으로써 세정조(11)로 토출한다(도 3의 마무리 공정(S7)). 이 때, 밸브(22a)는 닫힘 상태이다.

그리고, 이 마무리 공정(S7)에서는, 발진장치(12)에 의해서, 세정조(11)의 세정액(L)에 초음파 진동을 부여한 채로, 공정의 도중부터 제어장치(5)의 지령신호에 근거하여 구동장치(4)가 구금(3)을 상승시킴으로써, 세정조(11)의 세정액(L)에 침지시키고 있던 구금 선단(9)을 세정액(L)의 액면으로부터 떼어 놓는다(도 6의 (B) 참조). 또한, 세정액(L)의 액면으로부터 구금 선단(9)을 떼어 놓는 동작 중에는, 구금 내부 측의 세정액을 토출시킨 상태로 하고 있다.

이 경우, 세정조(11)에 존재하고 있던 이물(R)이 제1 유입공정 및 제2 유입공정에 의해서, 세정액(L)과 함께, 구금 내부 측으로 빨려 들여가고 있어도, 그 세정액(L)을 세정조(11)에 토출함으로써, 이물(R)을 구금 내부로부터 토출할 수 있다. 게다가, 세정조(11)의 세정액(L)에 초음파 진동을 부여한 채로, 세정조(11)의 세정액에 침지시키고 있던 구금 선단(9)을 세정액(L)의 액면으로부터 떼어 놓으므로, 일단, 토출한 이물(R)이 구금 선단(9)에 재부착하는 것을 막을 수 있다.

또, 이 공정(S7)은 세정액(L)에 초음파 진동을 부여한 상태로 행해지므로, 구금 내부에 막혀 있는 이물(R)을 초음파 진동에 의해서 떠오르게 하여 슬릿(7)의 내벽면과의 마찰저항을 줄이고, 이 상태에서, 세정액을 토출함으로써, 상기 이물(R)이 구금 내부에 부착하지 않게 효과적으로 배출할 수 있다.

[마무리 공정(그의 2)]

마무리 공정(S7)의 다른 예를 설명한다. 세정조(11)에 존재하고 있는 이물(R)이 초음파 진동에 의해서 슬릿(7) 내를 부유하여 구금 내부로 침입하기 쉬운 형태(비중, 크기 등)를 가지고 있는 경우, 제1 유입공정 및 제2 유입공정에 의하면, 그 이물(R)이 세정액과 함께 구금 내부 측으로 빨려 들여가기 쉬워진다. 이 경우, 다음과 같은 마무리 공정(S7)으로 하는 것이 바람직하다.

도 6의 (A)에 나타내고 있는 바와 같이, 구금 선단(9)을 세정조(11)의 세정액(L)에 침지시킨 상태에서, 제1 유입공정(S2) 및 제2 유입공정(S4)에서 구금 내부 측에 유입시킨 세정액을 펌프(13)에 의해서 역류시킴으로써 세정조(11)로 토출한다(도 3의 마무리 공정(S7)). 이 때, 밸브(22a)는 닫힘 상태이다.

그리고, 이 마무리 공정(S7)에서는, 세정액을 역류시킴으로써 세정조(11)로 토출하고 있는 도중에, 세정조(11) 내의 세정액(L)에의 초음파 진동의 부여를 정지한다(도 6의 (C) 참조.).

이 경우, 세정조(11)에 존재하고 있던 이물(R)이 제1 유입공정 및 제2 유입공정에 의해서, 세정액(L)과 함께, 구금 내부 측으로 빨려 들여가도, 그 세정액(L)을 세정조(11)로 토출함으로써, 이물(R)을 구금 내부로부터 토출할 수 있다. 게다가, 세정액(L)을 역류시킴으로써 세정조(11)로 토출하고 있는 도중에, 세정조(11) 내의 세정액(L)으로의 초음파 진동(진동파)의 부여를 정지하므로, 이물(R)이 초음파 진동에 의해서 세정조(11) 내를 부유하여 구금 내부로 침입하는 것을 막을 수 있다.

이상의 마무리 공정(그의 1 또는 그의 2)이 종료되면, 제어장치(5)의 지령신호에 근거하여 구동장치(4)(도 1 참조)가 구금(3)을 장치 본체(8) 측으로 이동시키고, 스테이지(2)상에 유지되어 있는 기판(W)에 대해서 도포액을 토출하여 도포하는 도포동작을 개시할 준비를 행한다(도포준비공정(S8)). 또한, 상기 마무리 공정(그의 1 또는 그의 2)에서는, 세정액을 세정조(11)로 토출시키고 있지만, 이 세정액은 구금 내부 측으로 빨아 들인 세정액뿐만이 아니라, 구금(3)으로 공급한 새로운 세정액이라도 된다.

또, 상기의 각 공정에서, 발진장치(12)에 의한 진동자(12a)의 진동수는 높은 세정효과를 얻을 수 있는 캐비테이션을 발생시킬 수 있는 낮은 대역(20㎑ ~ 40㎑)이다. 이 저진동수에 근거한 초음파 진동을 발생시켜 제1 유입공정(S2) 및 제2 유입공정(S4)을 행함으로써, 이 대역 이외의 진동수로 행하는 경우에 비해, 구금 선단(9)의 세정효과를 보다 한층 높이는 것이 가능하게 된다.

그러나, 이와 같은 진동자(12a)를 저진동수로 진동시키는 것에 의해서 초음파 진동을 발생시켜 제1 유입공정(S2) 및 제2 유입공정(S4)을 행한 경우, 세정액(L)의 온도가 상승하기 쉽다. 그리고, 도 3의 판정공정(S6)에 근거하여(판정공정(S6)에서 아니오), 다시, 제1 유입공정(S2)이 행해져, 온도가 상승한 세정액(L)을 구금 내부 측에 유입시키면, 구금(3)의 온도도 상승한다. 이 경우, 구금(3)이 열팽창하여 슬릿(7)의 치수가 변화하고, 이 구금(3)을 이용하여 곧바로 도포작업을 행하면, 도포품질에 영향을 줄 우려가 있다. 이 때문에, 세정조(11)의 세정액(L)의 온도가 소정의 온도로 저하할 때까지 작업을 휴지할 필요가 있어, 시간의 로스가 된다.

그래서, 다시, 제1 유입공정(S2)을 행하기 전에, 세정조(11)의 세정액(L)을 적어도 일부 바꿔 넣는 교체공정(S9)(도 3 참조)을 행하는 것이 바람직하다. 이 공정(S9)에 의하면, 온도가 상승한 세정액(L)에 의해서 다시 제1 유입공정(S2)이 행해지는 것을 막을 수 있다. 교체공정(S9)의 구체적인 예를 설명한다. 제1 방법으로서는, 도 2에서, 펌프(15a)에 의해서 빨아낸 세정액을 삼방밸브(19a)에 의해서 폐액으로서 탱크(23)로 회수한다. 그리고, 폐액으로 하는 세정액에 대신하는 새로운 세정액을 삼방밸브(19b)를 통해서 공급한다. 또한, 본 실시형태에서는 새로운 세정액은 탈기모듈(16)을 거치고 나서 세정조(11)에 공급된다. 이상에 의해, 세정조(11)의 사용이 끝난 세정액(L)의 일부를 새로운 세정액으로 바꾸어 넣을 수 있어, 세정조(11)의 세정액(L)의 온도가 높아지는 것을 막을 수 있다.

제2 방법으로서는, 펌프(15a)에 의해서 빨아낸 세정액은 삼방밸브(19a)를 통해서 열교환기(17)로 보내져 냉각된다. 냉각된 세정액은 순환유로(15)를 통해서 세정조(11)로 되돌려진다. 또한, 본 실시형태에서는 순환하는 세정액은 탈기모듈(16)을 거치고 나서 세정조(11)로 되돌려진다. 이상에 의해, 세정조(11)의 사용이 끝난 세정액(L)의 일부를 순환시키고, 그 도중에 열교환이 행해져, 세정조(11)에서는 차가워진 세정액(L)으로 바꾸어 넣을 수 있다.

또, 이와 같은 세정액(L)의 교체를 제1 유입공정(S2), 기체유입공정(S3) 및 제2 유입공정(S4)의 각 공정 중에 또는 각 공정 후에 실행해도 된다. 각 공정 중에 실행하는 경우는, 초음파 진동자(12a)를 저진동수(20㎑ ~ 40㎑)로 진동시키는 것에 의해서 초음파를 발생시키고 있는 동안, 세정조(11)의 세정액(L)을 적어도 일부 바꿔 넣는 공정(연속적 교체공정)이 포함되어 있는 구금의 세정방법이 된다.

이상, 본 실시형태에 관한 구금의 세정방법에 의하면, 도 5의 (B)에 나타내고 있는 바와 같이, 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 기체(a)와 세정액(L)과의 기액계면(B1)을 일제히 위로 이동시키고, 또, 도 5의 (C)에 나타내고 있는 바와 같이, 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 기체(a)와 세정액(L)과의 기액계면(B2)을 일제히 위로 이동시키는 것에 의해서, 구금 내부에서 고착물(F)을 벗겨내는 효과를 준다. 그리고, 초음파 진동을 부여한 세정액(L)을 다시 구금 내부로 유입시킬 때에, 세정액(L)의 흐름의 형태(경로) 및 초음파(초음파에 근거한 캐비테이션)가 전파하는 형태(경로)가 개선된다. 이 때문에, 종래에서는 초음파 진동의 전파가 충분히 이루어지지 않아 남아 있던 고착물을 떠오르게 하는 것이 가능하게 된다. 그리고, 초음파 진동을 부여한 세정액(L)을 다시 구금 내부로 유입시킴으로써, 종래에서는 잔류하고 있었을 것인 고착물을 세정할 수 있다. 이 결과, 단시간에 소망의 세정결과를 얻을 수 있다.

또, 세정시간이 단시간으로 되기 때문에, 초음파 진동을 세정액(L)에 부여하는 시간도 짧게 끝나, 초음파 진동에 의한 구금(3)의 발열을 억제할 수 있어, 신속히 도포작업을 개시하는 것이 가능하게 된다.

또, 진동자(12a)를 중공의 부재로 구성하고, 내부에 냉매를 통과시켜도 된다. 중공의 진동자(12a)에 냉매(예를 들면 질소가스)를 공급하는 접속구(接續口)를 마련하고, 이 접속구를 통해서 진동자(12a) 내에 냉매를 흘려, 진동자(12a) 및 세정액(L)에 열을 축적할 수 없게 하는 것이 바람직하다.

또, 본 발명의 도포장치 및 구금의 세정방법은 도시하는 형태에 한정하지 않고 본 발명의 범위 내에서 다른 형태의 것이라도 된다.

상기 실시형태에서는, 기체유입공정에서, 세정조(11)의 세정액(L)의 액면과 구금 선단(9)을 떼어 놓기 위해서, 당해 액면과 당해 구금 선단(9)과의 높이방향에 대해서의 상대위치를 변경하는 위치변경수단을, 구금(3)을 상하이동시키는 구동장치(4)로서 설명했지만, 이것 이외라도 되고, 위치변경수단을, 세정조(11)를 승강시키는 승강장치(20)(도 2 참조)로 하여도 된다. 또는, 구금 선단(9)과 세정조(11)와의 높이방향의 상대위치는 변화하지 않지만, 기체유입공정시에, 세정액(L)의 액면의 높이를 저하시키고, 그 후, 그 액면을 상승시켜도 된다. 이것은 세정조(11)에 대한 세정액(L)의 배출·공급을 행하는 것으로 실현된다.

또, 기체유입공정에서, 펌프(13)에 의해서 세정조(11) 내의 세정액(L)을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터 슬릿(7)을 통해서 구금 내부에 기체를 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시키기 위해서, 상기 실시형태에서는 세정액(L)의 액면에 대한 구금 선단(9)의 높이를 변경함으로써 실현되는 경우를 설명했지만, 이것 이외라도 된다. 예를 들면, 도 7의 (A)에 나타내는 바와 같이, 본세정조(11b) 내에 구금 선단(9)과 접속 가능하게 되는 접속포트(50a)를 가진 기체공급부(50)가 마련되어 있어, 이 기체공급부(50)에는 세정조(11) 밖으로부터 기체가 공급되고 있다. 구동장치(4)(도 1 참조)에 의해서, 도 7의 (B)에 나타내는 바와 같이, 구금(3)을 강하시킴으로써, 구금 선단(9)이 접속포트(50a)와 접속되고, 기체공급부(50)로부터 슬릿(7)을 통해서 구금 내부로 기체를 유입시킨다. 도 7의 (C)에 나타내는 바와 같이, 접속포트(50a)는 슬릿(7)(구금 선단(9))의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 마련되어 있어, 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 기체를 유입시킬 수 있다.

이상에 의해, 세정액(L)을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태(도 7의 (A))으로부터 슬릿(7)을 통해서 구금 내부에 기체를 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시키기 위해서(도 7의 (B)), 구동장치(4)에 의해서 구금(3)을 강하시키면 되고, 이 강하는 제어장치(5)의 제어에 의해서 실행된다. 이 경우, 구동장치(4) 및 기체공급부(50)가 구금 내부에 기체를 슬릿(7)의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시키는 기체유입수단이 된다.

또, 상기 실시형태에서는, 기체배출공정, 마무리 공정에서, 구금 내부로 유입시킨 세정조(11)의 세정액(L)을 역류시켜 세정조(11)로 되돌리는 예에 대해서 설명했지만, 구금 내부에 세정액(L)을 유입시킨 후, 새로운 세정액을 세정조(11)로 되돌려도 된다.

예를 들면, 도 2에 나타내는 바와 같이, 배관(P1)(구금(3)과 펌프(13)와의 사이)에 밸브(25)를 마련하고, 펌프(13)와 세정액 공급탱크(28)와의 사이에 삼방밸브(27)를 마련하며, 이 삼방밸브(27)의 출력포트의 하나는 폐액탱크(23)와 접속되어 있다. 또, 삼방밸브(27)와 펌프(13)와의 사이에는 밸브(26)가 마련되어 있다. 이 구성에 의해서도, 세정액(L)에 포함되는 기체(기체유입공정에서 슬릿(7)으로부터 빨아들인 기체)가 세정조(11)로 되돌아 가는 것을 억제할 수 있다.

즉, 밸브(25)를 열림, 밸브(26)를 닫힘 상태로 하여 펌프(13)를 흡인동작시킴으로써, 구금 내부의 기체를 포함하는 세정액이 배관(P1)을 통과하여 펌프(13) 내로 흡입된다. 그리고, 밸브(25)를 닫고, 밸브(26)를 열며, 삼방밸브(27)를 펌프(13) 측으로부터 탱크(23)에 연결되는 루트(도 2에서는 C1 루트)로 하여, 펌프(13)를 토출동작시킴으로써, 펌프(13)의 세정액이 탱크(23)로 배출된다. 즉, 슬릿(7)으로부터 펌프(13)로 유입시킨 세정액으로 채워지는 유로(슬릿(7)으로부터 펌프(13)까지의 유로)로부터, 기체유입공정에서 유입한 기체를, 당해 세정액과 함께, 펌프(13)로부터 탱크(23)까지의 유로(배출유로)를 통해서, 당해 탱크(23)로 배출할 수 있다.

그리고, 밸브(25)를 닫고, 밸브(26)를 열며, 삼방밸브(27)를 세정액 공급탱크(28)로부터 펌프(13) 측으로 연결되는 루트(도 2에서는 C2 루트)로 전환하고, 펌프(13)를 흡인동작시킴으로써, 세정액 공급탱크(28) 내의 새로운 세정액이 펌프(13)로 흡입된다. 그리고, 밸브(25)를 열고, 밸브(26)를 닫음으로 하여 펌프(13)를 토출동작시킴으로써, 펌프(13)에 흡입되고 있던 새로운 세정액이 배관(P1)을 통해서 구금 내부에 공급된다. 또한, 펌프(13)를 계속 작동킴으로써 슬릿(7)을 통해서 새로운 세정액이 세정조(11)로 되돌려진다. 이것에 의해, 기체유입공정에 의해 세정액에 취입(取入)된 기체를 세정조(11)로 되돌리는 것을 억제할 수 있어, 용존기체에 의해서 세정조(11) 내의 세정액 중에서의 진동파의 전파가 저해되어, 진동파에 의해서 고착물을 떠오르게 하는 효과가 약해지는 것을 억제할 수 있다. 이 경우에도, 세정액 공급탱크(28)와 펌프(13)와의 사이에 탈기모듈(16)을 구비해 두는 것이 바람직하다.

또, 상기 실시형태에서는, 세정액의 교체공정은 제1 유입공정 및 제2 유입공정의 후로서, 다시 제1 유입공정을 행하는 경우에, 이 제1 유입공정을 다시 행하기 전에, 세정조(11)의 세정액(L)을 적어도 일부 바꿔 넣는 예에 대해서 설명했지만, 어느 공정에서도 교체공정이 연속적으로 행해져도 된다. 구체적으로는, 각 공정에서, 초음파 진동자(12a)를 저진동으로 진동시켜 진동파를 발생시키고 있는 동안, 상시, 교체공정을 행한다. 이 경우, 세정액을 상시 순환시킬 수 있다.

세정액의 온도에 의해서는 세정액에 구금(3)을 침지시키고 있는 것만으로 구금(3)의 온도가 상승하는 경우가 있다. 이 경우, 구금(3)이 열팽창하여 슬릿(7)의 치수가 변화함으로써 도포품질에 영향을 줄 우려가 있다. 그래서, 초음파 진동자(12a)를 저진동수로 작동시키고 있을 때에, 세정액을 상시 순환시킴으로써, 세정액을 항상 냉각시킨다. 이것에 의해, 세정액의 온도상승을 억제할 수 있어, 구금(3)의 온도상승을 억제하여, 도포품질로의 영향을 억제하는 것이 가능하게 된다.

구금의 세정방법에 관하여, 참고발명을 설명한다.

이 참고발명의 과제는 세정액에 대해서 초음파 진동을 부여하는 위치가 구금 선단의 근처가 되도록, 예를 들면, 세정액을 저장하고 있음과 아울러 이 세정액에 구금 선단을 침지시키는 세정조의 바닥부에 진동자를 마련하고, 이 진동자에 의해서 세정액에 진동파(초음파 진동)를 부여하며, 구금의 세정을 행하는 것을 생각할 수 있지만, 세정조 내의 세정액에 대해서 진동파를 부여함으로써, 이 세정조 내에서 이물이 부유하여, 구금의 세정중에 그 부유하고 있는 이물이 구금 내부로 침입할 우려가 있다는 점이다.

그래서, 참고발명은 폭방향으로 길게 선단에서 개구하고 있는 슬릿이 내부에 형성되어 있는 구금의 세정방법으로서,

세정조 내의 진동파를 부여한 세정액에 구금 선단을 침지시키고, 상기 슬릿을 통해서 세정액을 흘려 구금 내부의 세정을 실시하는 세정공정과,

상기 구금 선단을 상기 세정조의 세정액에 침지시킨 상태에서, 상기 세정공정에서 상기 구금 내부의 세정을 행한 후, 세정액을 상기 슬릿으로부터 당해 세정조로 토출하는 마무리 공정을 더 포함하며,

이 마무리 공정에서는 상기 세정조의 세정액에 진동파를 부여한 채로, 당해 세정조의 세정액에 침지시키고 있던 상기 구금 선단을 당해 세정액의 액면으로부터 떼어 놓는 세정방법이다.

이 참고발명에 의하면, 세정공정에서, 세정조 내에서 부유하고 있는 이물이 구금 내부로 침입하고, 구금 내부의 접액면에 부착하고 있어도, 마무리 공정에 의하면, 세정액을 세정조로 토출함으로써, 구금 내부의 접액면에 부착한 이물을 진동파에 의해 떠오르게 하여, 구금 내부로부터 토출할 수 있다. 게다가, 세정조의 세정액에 진동파를 부여한 채로, 세정조의 세정액에 침지시키고 있던 구금 선단을 당해 세정액의 액면으로부터 떼어 놓으므로, 세정조 내를 부유하고 있는 이물이 구금 내부와 구금 선단에 재부착하는 것을 막을 수 있다. 이것에 의해, 세정공정으로부터 재빠르게 도포운전으로 이행하는 것이 가능하게 된다.

또, 구금의 세정방법에 관해서, 다른 참고발명을 설명한다.

이 참고발명의 과제는, 세정액에 대해서 초음파 진동을 부여하는 위치가 구금 선단의 근처가 되도록, 예를 들면, 세정액을 저장하고 있음과 아울러 이 세정액에 구금 선단을 침지시키는 세정조의 바닥부에 진동자를 마련하고, 이 진동자에 의해서 세정액에 진동파(초음파 진동)를 부여하여, 구금의 세정을 행하는 것을 생각할 수 있지만, 세정조 내에서 부유하는 이물이 진동파에 의해서 슬릿 내를 부유하여 구금 내부로 침입하기 쉬운 형태(비중, 크기 등)를 가지고 있는 경우는 특히, 그 세정조 내에서 부유하고 있는 이물이 구금 내부 측에 침입해 부착할 우려가 있다는 점이다.

그래서, 참고발명은 폭방향으로 길게 선단에서 개구하고 있는 슬릿이 내부에 형성되어 있는 구금의 세정방법으로서,

세정조 내의 진동파를 부여한 세정액에 구금 선단을 침지시키고, 상기 슬릿을 통해서 세정액을 흘려 구금 내부의 세정을 행하는 세정공정과,

상기 구금 선단을 상기 세정조의 세정액에 침지시킨 상태에서, 상기 세정공정에서 상기 구금 내부의 세정을 행한 후, 세정액을 상기 슬릿으로부터 당해 세정조로 토출하는 마무리 공정을 더 포함하고,

이 마무리 공정에서는 세정액을 상기 세정조로 토출하고 있는 도중에, 당해 세정조 내의 세정액으로의 진동파의 부여를 정지하는 세정방법이다.

이 참고발명에 의하면, 세정공정에서, 세정조 내에서 부유하고 있는 이물이 구금 내부 측으로 침입하고 있어도, 마무리 공정에 의하면, 세정액을 세정조로 토출함으로써, 상기 이물을 간단하게 구금 내부로부터 토출할 수 있다. 또한, 이 때, 초음파 부여에 의해 구금 선단에 이물이 부착하는 것을 회피할 수 있다. 게다가, 세정액을 세정조로 토출하고 있는 도중에, 세정조 내의 세정액으로의 진동파의 부여를 정지하므로, 세정조 내의 이물이 진동파에 의해서 세정조 내를 부유하는 것을 막을 수 있어, 구금 선단으로 이물이 부착하는 것을 회피할 수 있다. 이것에 의해, 세정공정으로부터 재빠르게 도포운전으로 이행하는 것이 가능하게 된다.

또한, 이들 참고발명 각각에서의 세정공정은 상기 실시형태에서 설명한 제1 유입공정, 기체유입공정 및 상기 제2 유입공정을 포함하는 상기 세정동작공정과 같고, 또, 참고발명 각각에서의 세정공정 및 마무리 공정에 대해서 상기 각 실시형태의 구금의 세정방법에서 설명한 세정동작공정 및 마무리 공정의 각 사항을 적용할 수 있다.

1 : 도포장치 3 : 구금
4 : 구동장치(위치변경수단) 5 : 제어장치
6 : 세정기구 7 : 슬릿
8 : 장치 본체 9 : 구금 선단
11 : 세정조 12a : 진동자
13 : 펌프(세정액 반환부) 21 : 유로
22 : 배출유로 a : 기체
B1, B2 : 기액계면 F : 고착물
L : 세정액 R : 이물
W : 기판

Claims (10)

1. 폭방향으로 길게 선단에서 개구하고 있는 슬릿이 내부에 형성되어 있는 구금(口金)의 세정방법으로서,
   세정조 내의 진동파를 부여한 세정액에 구금 선단을 침지(浸漬)시키고, 상기 슬릿을 통해서 당해 세정액을 구금 내부로 유입시키는 제1 유입공정과,
   상기 제1 유입공정에서 세정액을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터 상기 슬릿을 통해서 상기 구금 내부에 기체를 당해 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시키는 기체유입공정과,
   상기 기체유입공정 후, 상기 구금 선단을 상기 세정조 내의 진동파를 부여한 세정액에 침지시키고, 상기 슬릿을 통해서 당해 세정액을 상기 구금 내부로 유입시키는 제2 유입공정을 포함하고,
   상기 기체유입공정에서는 상기 구금 선단과 상기 세정액의 액면을 떼어 놓음으로써, 상기 슬릿을 통해서 상기 구금 내부에 기체를 상기 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시키는 구금의 세정방법.
2. 삭제
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 제1 유입공정 및 상기 제2 유입공정에서 상기 슬릿으로부터 유입시킨 세정액으로 채워지는 유로를 통해서 세정액을 상기 세정조로 되돌림과 아울러, 상기 유로로부터 상기 기체유입공정으로 유입한 기체를 상기 슬릿과는 다른 배출유로를 통해서 배출하는 기체배출공정을 더 포함하는 구금의 세정방법.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 구금 선단을 상기 세정조의 세정액에 침지시킨 상태에서, 상기 제1 유입공정 및 상기 제2 유입공정의 한쪽 또는 쌍방에서 상기 구금 내부 측으로 세정액을 유입시킨 후, 세정액을 상기 슬릿으로부터 당해 세정조로 토출하는 마무리 공정을 더 포함하고,
   이 마무리 공정에서는 상기 세정조의 세정액에 진동파를 부여한 채로, 당해 세정조의 세정액에 침지시키고 있던 상기 구금 선단을 당해 세정액의 액면으로부터 떼어 놓는 구금의 세정방법.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 구금 선단을 상기 세정조의 세정액에 침지시킨 상태에서, 상기 제1 유입공정 및 상기 제2 유입공정의 한쪽 또는 쌍방에서 상기 구금 내부 측으로 세정액을 유입시킨 후, 세정액을 상기 슬릿으로부터 당해 세정조로 토출하는 마무리 공정을 더 포함하고,
   이 마무리 공정에서는, 세정액을 상기 세정조로 토출하고 있는 도중에, 당해 세정조 내의 세정액으로의 진동파의 부여를 정지하는 구금의 세정방법.
6. 청구항 1에 있어서,
   초음파 진동자를 저진동수로 진동시키는 것에 의해서 상기 진동파를 발생시키는 상기 제1 유입공정 및 상기 제2 유입공정 후로서, 다시 상기 제1 유입공정을 실시하는 경우에, 당해 제1 유입공정을 다시 실시하기 전에, 상기 세정조의 세정액을 적어도 일부 바꿔 넣는 교체공정을 더 포함하는 구금의 세정방법.
7. 청구항 1에 있어서,
   초음파 진동자를 저진동수로 진동시키는 것에 의해서 상기 진동파를 발생시키고 있는 동안, 상기 세정조의 세정액을 적어도 일부 바꿔 넣는 연속적 교체공정을 더 포함하는 구금의 세정방법.
8. 폭방향으로 길게 선단에서 개구하고 있는 슬릿이 내부에 형성되어 있는 구금을 가지고, 당해 슬릿으로부터 기판에 대해서 도포액을 토출하여 도포하는 장치 본체와,
   상기 구금을 세정하는 세정기구를 구비하며,
   상기 세정기구는,
   세정액을 저장하는 세정조와,
   상기 세정조 내의 상기 세정액에 진동파를 부여하는 발진(發振)장치와,
   상기 세정조 내의 진동파를 부여한 세정액에 구금 선단을 침지시킨 상태에서, 상기 슬릿을 통해서 당해 세정액을 구금 내부로 유입시키는 송액(送液)수단과,
   상기 송액수단에 의해서 세정액을 구금 내부로 유입시키고 있는 상태로부터 상기 슬릿을 통해서 상기 구금 내부에 기체를 당해 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시키는 제어를 행하는 제어장치를 가지고 있고,
   상기 세정조 내의 세정액의 액면과, 상기 구금 선단과의 높이방향에 대해서의 상대위치를 변경하는 위치변경수단을 더 구비하고,
   상기 제어장치는 상기 위치변경수단을 제어하여, 상기 구금 선단과 상기 세정액의 액면을 높이방향에 대해서 떼어 놓음으로써, 상기 슬릿을 통해서 상기 구금 내부에 기체를 상기 슬릿의 폭방향 전체 길이에 걸쳐서 유입시키는 도포장치.
9. 삭제
10. 청구항 8에 있어서,
    상기 송액수단에 의해서 상기 슬릿으로부터 유입시킨 세정액으로 채워지는 유로를 통해서 세정액을 상기 세정조로 되돌리는 세정액 반환부와,
    상기 슬릿으로부터 유입시킨 기체를 상기 세정조 이외의 영역에 배출하는 배출유로를 더 구비하고 있는 도포장치.

Images