JP3374043B2 - 超音波による液体噴射式洗浄機 - Google Patents
超音波による液体噴射式洗浄機Info
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- JP3374043B2 JP3374043B2 JP13041097A JP13041097A JP3374043B2 JP 3374043 B2 JP3374043 B2 JP 3374043B2 JP 13041097 A JP13041097 A JP 13041097A JP 13041097 A JP13041097 A JP 13041097A JP 3374043 B2 JP3374043 B2 JP 3374043B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液体噴射式洗浄
機、詳しくは液体中に超音波を伝搬させて、そのエネル
ギーによって液体を噴射させて洗浄する装置に属する。 【０００２】 【従来の技術】液体に超音波エネルギーを与えて液体を
加速する技術が、加湿器、洗浄機などに利用されてい
る。これは、液体を超音波振動子と接触させ、液体中に
超音波を伝搬させることによって行われる。 【０００３】例えば、液体噴射式洗浄機は、電子部品や
精密器械などの洗浄に用いられるもので、図２に示すよ
うに重力方向の下向きに固定されたノズル１と、ノズル
１の噴射口１１と対向する閉塞部に装着された振動子２
と、ノズル１の側面に接続されて液体を供給する供給配
管３とを備える。そして、供給配管３からノズル１内に
供給された洗浄液を振動子２の励振とともに重力以上に
加速して対象物に向かって噴射する。従って、洗浄機の
場合、液体に超音波を有効に作用させ洗浄能力を十分に
発揮させるためには、励振時に振動子２の接液面２ａが
常に液体に接していなければならない。もし、接液面２
ａが液体に接しない状態で振動子を励振させると、洗浄
能力が不十分となるばかりか、振動子が空炊き状態とな
ってその寿命を縮める。空炊きを続けると、振動子が破
損する。 【０００４】しかし、現実にはノズル１や供給配管３内
に残留していた空気や、液体中に発生した気泡は、液体
が十分に供給されていても噴射口１１から完全には抜け
ずに接液面に溜まる。通常、ノズル１は噴射口１１を下
向きにして使用され、噴射口１１や供給配管接続口１０
よりも振動子２のほうが高い位置にあるから、ノズル１
内に気泡が溜まると、その気泡は逃げることができずに
接液面と接触し続ける。 【０００５】そこで、従来の液体噴射式洗浄機にあって
は、振動子２の空炊きを防止するために、振動子２の励
振を止めて噴射口１１を上に向けて気泡を抜かなければ
ならなかった。この場合、気泡が多量に溜まってから気
泡を抜いていては空炊きを防止するには遅すぎるので、
少量の段階で小刻みに抜く必要がある。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかし、少量の気泡を
検出するのは困難であるし、かといって定期的に頻繁に
振動子の励振を止めて抜いていては噴射効率が悪い。ま
た、洗浄方法によっては、フッ酸やアンモニア等の薬剤
を混合することが要請されることもあるが、薬剤の混合
時に気泡が発生しやすいので、従来の液体噴射式洗浄機
を薬液に使用することはできなかった。それ故、この発
明の目的は、気泡が発生し難く、万一発生しても振動子
の励振を止めずに気泡を除去することができる液体噴射
式洗浄機を提供することにある。 【０００７】 【課題を解決するための手段】その目的を達成するため
に、この発明の液体噴射式洗浄機は、重力方向下向きに
固定されたノズルと、ノズルの噴射口と対向する閉塞部
に装着された振動子と、ノズル内に液体を供給する供給
配管を接続するためにノズルの側面に設けられた接続口
とを備え、供給配管より供給された液体中に振動子から
超音波を伝搬させて液体を噴射させる液体噴射式洗浄機
において、ノズルの供給配管接続口と対向する側面に液
体の過多量又は液中の気泡を排出する排出口を設け、 そ
の排出口の位置を振動子の接液面と同じ又はそれより高
くし、上記気泡が浮力によって排出口より排出されるよ
うにしたことを特徴とする。 【０００８】この特徴を備えることにより、供給配管よ
り供給された液体のうち噴射に必要な大部分は噴射口よ
り噴射され、残部が排出口より排出される。そして、ノ
ズル内の気泡は排出口より流出する液体によって押し出
される。 【０００９】しかも、その排出口の位置を、振動子の接
液面と同じ又はそれより高くし、上記気泡が浮力によっ
て排出口より排出されるようにしたので、気泡が出やす
くなる。 【００１０】 【発明の実施の形態】この発明の好ましい実施形態の液
体噴射装置を図面に基づいて説明する。図１は、液体噴
射装置を示す断面図である。 【００１１】この液体噴射装置は、ノズル１と、ノズル
１の噴射口１１と対向する閉塞部に装着された振動子２
と、ノズル１の側面に接続されてノズル内に液体を供給
するた供給配管３とを備える超音波洗浄機である。この
装置は、図面のように噴射口１１を下向きにし、その下
方に洗浄対象物９を固定し、供給配管３より供給された
液体中に振動子２から超音波を伝搬させて噴射口１１よ
り対象物に向かって液体を噴射させる。 【００１２】そして、ノズル１の供給配管接続口１０と
対向する側面に液体の過多量又は液中の気泡を排出する
排出口１２が設けられている。排出口１２に排出配管４
が接続されている。振動子２は、ノズル１の後端面７よ
りカラー６によって適当な距離を保って固定されてい
る。また、振動子２とカラー６との間に介在するパッキ
ン５によって液体が振動子２の後方に漏れないようにさ
れている。液体が振動子２の後ろに漏れるとカラー６で
囲まれる空間内でリード８が短絡するからである。更
に、振動子２と排出口１２との位置関係は、接液面２ａ
を含む仮想上の平面が排出口１２と交差するように設定
されている。従って、図面のように噴射口１１が下向き
になっているときは、排出口１２の上端縁のほうが振動
子の接液面２ａよりも若干上位にある。 【００１３】この装置においては、噴射口１１より液体
が噴射されている間、供給された液体の一部が常時排出
口１２より排出される。従って、ノズル１内の気泡は発
生直後に排出口１２より流出する液体によって押し出さ
れる。しかも、排出口１２の上端縁の位置が接液面２ａ
より高いので、気泡は自らの浮力も協力して容易に排出
口１２から脱出する。よって、ノズル１内に気泡が滞留
することはない。 【００１４】 【発明の効果】この発明の液体噴射式洗浄機は、気泡が
発生し難く、万一発生しても振動子の励振を止めずに気
泡を素早く除去することができるので、振動子を長持ち
させることができる。また、 洗浄効率に優れ 、薬液
の使用が可能である等、有益である。
機、詳しくは液体中に超音波を伝搬させて、そのエネル
ギーによって液体を噴射させて洗浄する装置に属する。 【０００２】 【従来の技術】液体に超音波エネルギーを与えて液体を
加速する技術が、加湿器、洗浄機などに利用されてい
る。これは、液体を超音波振動子と接触させ、液体中に
超音波を伝搬させることによって行われる。 【０００３】例えば、液体噴射式洗浄機は、電子部品や
精密器械などの洗浄に用いられるもので、図２に示すよ
うに重力方向の下向きに固定されたノズル１と、ノズル
１の噴射口１１と対向する閉塞部に装着された振動子２
と、ノズル１の側面に接続されて液体を供給する供給配
管３とを備える。そして、供給配管３からノズル１内に
供給された洗浄液を振動子２の励振とともに重力以上に
加速して対象物に向かって噴射する。従って、洗浄機の
場合、液体に超音波を有効に作用させ洗浄能力を十分に
発揮させるためには、励振時に振動子２の接液面２ａが
常に液体に接していなければならない。もし、接液面２
ａが液体に接しない状態で振動子を励振させると、洗浄
能力が不十分となるばかりか、振動子が空炊き状態とな
ってその寿命を縮める。空炊きを続けると、振動子が破
損する。 【０００４】しかし、現実にはノズル１や供給配管３内
に残留していた空気や、液体中に発生した気泡は、液体
が十分に供給されていても噴射口１１から完全には抜け
ずに接液面に溜まる。通常、ノズル１は噴射口１１を下
向きにして使用され、噴射口１１や供給配管接続口１０
よりも振動子２のほうが高い位置にあるから、ノズル１
内に気泡が溜まると、その気泡は逃げることができずに
接液面と接触し続ける。 【０００５】そこで、従来の液体噴射式洗浄機にあって
は、振動子２の空炊きを防止するために、振動子２の励
振を止めて噴射口１１を上に向けて気泡を抜かなければ
ならなかった。この場合、気泡が多量に溜まってから気
泡を抜いていては空炊きを防止するには遅すぎるので、
少量の段階で小刻みに抜く必要がある。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかし、少量の気泡を
検出するのは困難であるし、かといって定期的に頻繁に
振動子の励振を止めて抜いていては噴射効率が悪い。ま
た、洗浄方法によっては、フッ酸やアンモニア等の薬剤
を混合することが要請されることもあるが、薬剤の混合
時に気泡が発生しやすいので、従来の液体噴射式洗浄機
を薬液に使用することはできなかった。それ故、この発
明の目的は、気泡が発生し難く、万一発生しても振動子
の励振を止めずに気泡を除去することができる液体噴射
式洗浄機を提供することにある。 【０００７】 【課題を解決するための手段】その目的を達成するため
に、この発明の液体噴射式洗浄機は、重力方向下向きに
固定されたノズルと、ノズルの噴射口と対向する閉塞部
に装着された振動子と、ノズル内に液体を供給する供給
配管を接続するためにノズルの側面に設けられた接続口
とを備え、供給配管より供給された液体中に振動子から
超音波を伝搬させて液体を噴射させる液体噴射式洗浄機
において、ノズルの供給配管接続口と対向する側面に液
体の過多量又は液中の気泡を排出する排出口を設け、 そ
の排出口の位置を振動子の接液面と同じ又はそれより高
くし、上記気泡が浮力によって排出口より排出されるよ
うにしたことを特徴とする。 【０００８】この特徴を備えることにより、供給配管よ
り供給された液体のうち噴射に必要な大部分は噴射口よ
り噴射され、残部が排出口より排出される。そして、ノ
ズル内の気泡は排出口より流出する液体によって押し出
される。 【０００９】しかも、その排出口の位置を、振動子の接
液面と同じ又はそれより高くし、上記気泡が浮力によっ
て排出口より排出されるようにしたので、気泡が出やす
くなる。 【００１０】 【発明の実施の形態】この発明の好ましい実施形態の液
体噴射装置を図面に基づいて説明する。図１は、液体噴
射装置を示す断面図である。 【００１１】この液体噴射装置は、ノズル１と、ノズル
１の噴射口１１と対向する閉塞部に装着された振動子２
と、ノズル１の側面に接続されてノズル内に液体を供給
するた供給配管３とを備える超音波洗浄機である。この
装置は、図面のように噴射口１１を下向きにし、その下
方に洗浄対象物９を固定し、供給配管３より供給された
液体中に振動子２から超音波を伝搬させて噴射口１１よ
り対象物に向かって液体を噴射させる。 【００１２】そして、ノズル１の供給配管接続口１０と
対向する側面に液体の過多量又は液中の気泡を排出する
排出口１２が設けられている。排出口１２に排出配管４
が接続されている。振動子２は、ノズル１の後端面７よ
りカラー６によって適当な距離を保って固定されてい
る。また、振動子２とカラー６との間に介在するパッキ
ン５によって液体が振動子２の後方に漏れないようにさ
れている。液体が振動子２の後ろに漏れるとカラー６で
囲まれる空間内でリード８が短絡するからである。更
に、振動子２と排出口１２との位置関係は、接液面２ａ
を含む仮想上の平面が排出口１２と交差するように設定
されている。従って、図面のように噴射口１１が下向き
になっているときは、排出口１２の上端縁のほうが振動
子の接液面２ａよりも若干上位にある。 【００１３】この装置においては、噴射口１１より液体
が噴射されている間、供給された液体の一部が常時排出
口１２より排出される。従って、ノズル１内の気泡は発
生直後に排出口１２より流出する液体によって押し出さ
れる。しかも、排出口１２の上端縁の位置が接液面２ａ
より高いので、気泡は自らの浮力も協力して容易に排出
口１２から脱出する。よって、ノズル１内に気泡が滞留
することはない。 【００１４】 【発明の効果】この発明の液体噴射式洗浄機は、気泡が
発生し難く、万一発生しても振動子の励振を止めずに気
泡を素早く除去することができるので、振動子を長持ち
させることができる。また、 洗浄効率に優れ 、薬液
の使用が可能である等、有益である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施形態の液体噴射式洗浄機を示す断面図で
ある。 【図２】 従来の液体噴射式洗浄機を示す断面図であ
る。 【符号の説明】 １ ノズル ２ 振動子 ３ 供給配管 ４ 排出配管 ２ａ 接液面 ９ 洗浄対象物
ある。 【図２】 従来の液体噴射式洗浄機を示す断面図であ
る。 【符号の説明】 １ ノズル ２ 振動子 ３ 供給配管 ４ 排出配管 ２ａ 接液面 ９ 洗浄対象物
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 重力方向下向きに固定されたノズルと、
ノズルの噴射口と対向する閉塞部に装着された振動子
と、ノズル内に液体を供給する供給配管を接続するため
にノズルの側面に設けられた接続口とを備え、供給配管
より供給された液体中に振動子から超音波を伝搬させて
液体を噴射させる液体噴射式洗浄機において、 ノズルの供給配管接続口と対向する側面に液体の過多量
又は液中の気泡を排出する排出口を設け、 その排出口の位置を振動子の接液面と同じ又はそれより
高くし、上記気泡が浮力によって排出口より排出される
ようにし たことを特徴とする液体噴射式洗浄機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13041097A JP3374043B2 (ja) | 1997-05-02 | 1997-05-02 | 超音波による液体噴射式洗浄機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13041097A JP3374043B2 (ja) | 1997-05-02 | 1997-05-02 | 超音波による液体噴射式洗浄機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10305248A JPH10305248A (ja) | 1998-11-17 |
| JP3374043B2 true JP3374043B2 (ja) | 2003-02-04 |
Family
ID=15033611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13041097A Expired - Fee Related JP3374043B2 (ja) | 1997-05-02 | 1997-05-02 | 超音波による液体噴射式洗浄機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3374043B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6223996B1 (en) | 1999-09-23 | 2001-05-01 | Excel Engineering Co., Ltd. | Ultrasonic liquid injection device |
| KR100521624B1 (ko) * | 2003-12-09 | 2005-10-12 | 웅진코웨이주식회사 | 초음파 세척기의 노즐부 |
| US8956463B2 (en) | 2008-10-08 | 2015-02-17 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for cleaning photomask-related substrate, cleaning method, and cleaning fluid supplying apparatus |
| JP5236418B2 (ja) * | 2008-10-08 | 2013-07-17 | 信越化学工業株式会社 | 洗浄方法および洗浄液供給装置 |
| JP5367188B2 (ja) * | 2013-02-25 | 2013-12-11 | 信越化学工業株式会社 | 洗浄方法および洗浄液供給装置 |
| JP5610360B1 (ja) * | 2013-09-26 | 2014-10-22 | ヤマトテクノス有限会社 | 超音波による液体噴射式洗浄機 |
| CN112941826A (zh) * | 2019-11-26 | 2021-06-11 | 青岛海尔滚筒洗衣机有限公司 | 衣物处理设备的喷雾组件及其喷雾控制方法 |
-
1997
- 1997-05-02 JP JP13041097A patent/JP3374043B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10305248A (ja) | 1998-11-17 |
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