JP3117417B2 - 高周波洗浄用ノズル - Google Patents
高周波洗浄用ノズルInfo
- Publication number
- JP3117417B2 JP3117417B2 JP09134985A JP13498597A JP3117417B2 JP 3117417 B2 JP3117417 B2 JP 3117417B2 JP 09134985 A JP09134985 A JP 09134985A JP 13498597 A JP13498597 A JP 13498597A JP 3117417 B2 JP3117417 B2 JP 3117417B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- injection chamber
- cleaning liquid
- nozzle
- frequency
- passages
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Nozzles (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スプレー式高周波
洗浄装置に使用され、半導体ウエハ、磁気ディスク、光
学レンズ、ガラス基板などの被洗浄物を高周波洗浄する
ための高周波洗浄用ノズルに関する。
洗浄装置に使用され、半導体ウエハ、磁気ディスク、光
学レンズ、ガラス基板などの被洗浄物を高周波洗浄する
ための高周波洗浄用ノズルに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハ、磁気ディスク、光学レン
ズ、ガラス基板等の表面を綺麗に洗浄するため、数１０
０ｋＨｚ以上の高周波が与えられた洗浄液を噴射すると
効果的であることは知られており、この種のスプレー式
高周波洗浄装置では高周波洗浄用ノズルを通じて被洗浄
物に洗浄液を噴射するようになっている。
ズ、ガラス基板等の表面を綺麗に洗浄するため、数１０
０ｋＨｚ以上の高周波が与えられた洗浄液を噴射すると
効果的であることは知られており、この種のスプレー式
高周波洗浄装置では高周波洗浄用ノズルを通じて被洗浄
物に洗浄液を噴射するようになっている。
【０００３】この種の高周波洗浄用ノズルは、図４に示
す通り、ノズルボディ３１に吐出口体３２を取付け、こ
れらノズルボディ３１と吐出口体３２とで噴射室３３を
構成してある。この噴射室３３の下端には上記吐出口体
３２に形成した吐出口３４が連通している。また噴射室
３３の一側は、上記ノズルボディ３１の側壁に突設した
洗浄液導入筒３５の導入通路３６が連通している。ノズ
ルボディ３１の上端には、シール材３９を介して振動板
３７が取付けられており、この振動板３７の下面は上記
噴射室３３に臨んでいる。振動板３７には高周波振動子
３８が取付けられており、この振動子３８は図示しない
外部の高周波発振器により高周波振動するように駆動さ
れる。
す通り、ノズルボディ３１に吐出口体３２を取付け、こ
れらノズルボディ３１と吐出口体３２とで噴射室３３を
構成してある。この噴射室３３の下端には上記吐出口体
３２に形成した吐出口３４が連通している。また噴射室
３３の一側は、上記ノズルボディ３１の側壁に突設した
洗浄液導入筒３５の導入通路３６が連通している。ノズ
ルボディ３１の上端には、シール材３９を介して振動板
３７が取付けられており、この振動板３７の下面は上記
噴射室３３に臨んでいる。振動板３７には高周波振動子
３８が取付けられており、この振動子３８は図示しない
外部の高周波発振器により高周波振動するように駆動さ
れる。
【０００４】図示しない洗浄液供給装置より洗浄液導入
筒３５に洗浄液が送られてくると、この洗浄液は噴射室
３３内に流れ込み、吐出口３４より噴射される。この場
合、振動板３７が高周波振動して噴射室３３内の洗浄液
に高周波振動を付与する。この高周波エネルギーは洗浄
液中を伝播して吐出口３４から噴射される洗浄液を伝わ
って被洗浄物に伝えられる。したがって、被洗浄物は上
記洗浄用ノズルから噴射された洗浄液の噴射圧に加え
て、洗浄液中を伝播される高周波エネルギーを受けるこ
とにより付着物や汚染物が除去される。
筒３５に洗浄液が送られてくると、この洗浄液は噴射室
３３内に流れ込み、吐出口３４より噴射される。この場
合、振動板３７が高周波振動して噴射室３３内の洗浄液
に高周波振動を付与する。この高周波エネルギーは洗浄
液中を伝播して吐出口３４から噴射される洗浄液を伝わ
って被洗浄物に伝えられる。したがって、被洗浄物は上
記洗浄用ノズルから噴射された洗浄液の噴射圧に加え
て、洗浄液中を伝播される高周波エネルギーを受けるこ
とにより付着物や汚染物が除去される。
【０００５】ところで、一般にこの種の高周波洗浄用ノ
ズルは、被洗浄物の上方に設置されて吐出口３４を下向
きにした姿勢で使用するようになっている。このため、
高周波洗浄装置の使用開始時には噴射室３３内に空気が
残り易く、気泡として滞留することがある。
ズルは、被洗浄物の上方に設置されて吐出口３４を下向
きにした姿勢で使用するようになっている。このため、
高周波洗浄装置の使用開始時には噴射室３３内に空気が
残り易く、気泡として滞留することがある。
【０００６】噴射室３３内に空気や気泡が残留する理由
は、振動板３７よりも低い位置で導入通路３６が噴射室
３３に連通しているから噴射室３３の天井近く、つまり
振動板３７に近いところに空気が残留すること、および
導入通路３６から噴射室３３に流れ込む洗浄液の流れに
は偏心流が発生し易く、噴射室３３内で旋回流が生じる
などの理由が考えられる。
は、振動板３７よりも低い位置で導入通路３６が噴射室
３３に連通しているから噴射室３３の天井近く、つまり
振動板３７に近いところに空気が残留すること、および
導入通路３６から噴射室３３に流れ込む洗浄液の流れに
は偏心流が発生し易く、噴射室３３内で旋回流が生じる
などの理由が考えられる。
【０００７】上記噴射室３３に空気や気泡が残留する
と、気泡と洗浄液の音響インピーダンスの違いにより振
動板３７から供給される高周波振動が気泡で反射されて
しまい、高周波振動子３８が空運転するようになった
り、また高周波の伝播不良が生じ、洗浄液による高周波
伝播が行われなくなり、洗浄性能が著しく低下する不具
合がある。
と、気泡と洗浄液の音響インピーダンスの違いにより振
動板３７から供給される高周波振動が気泡で反射されて
しまい、高周波振動子３８が空運転するようになった
り、また高周波の伝播不良が生じ、洗浄液による高周波
伝播が行われなくなり、洗浄性能が著しく低下する不具
合がある。
【０００８】ノズルの噴射室３３に空気が残留するのを
防止するため、従来、高周波洗浄装置の起動時に多量の
洗浄液を供給して噴射室３３の空気を洗浄液とともに吐
出口３４から強制的に押し出したり、洗浄液が気泡を巻
き込んだ状態で高周波振動子３８を運転し、洗浄液とと
もに気泡を吐出口３４から排出したり、または振動板３
７よりも高い位置にオーバーフロー口を設け、洗浄液の
供給によりこのオーバーフロー口から空気を追い出すな
どの手段がとられていた。
防止するため、従来、高周波洗浄装置の起動時に多量の
洗浄液を供給して噴射室３３の空気を洗浄液とともに吐
出口３４から強制的に押し出したり、洗浄液が気泡を巻
き込んだ状態で高周波振動子３８を運転し、洗浄液とと
もに気泡を吐出口３４から排出したり、または振動板３
７よりも高い位置にオーバーフロー口を設け、洗浄液の
供給によりこのオーバーフロー口から空気を追い出すな
どの手段がとられていた。
【０００９】しかしながら、これら従来の空気排出手段
は、空気を追い出すために多量の洗浄液を消費し、しか
も空気の排出に長い時間を要する不具合がある。また、
洗浄液に気泡を巻き込んだ状態で高周波振動子３８を運
転して排出する方法は、高周波振動子３８を軽負荷状態
で運転するので空運転に近い状態で運転することにな
り、高価な高周波振動子３８の寿命が短くなる。さら
に、オーバーフロー口を形成したものは、構造が複雑に
なり、このオーバーフロー口の開閉操作も面倒であり、
さらに洗浄液に消費も大きい等の欠点がある。
は、空気を追い出すために多量の洗浄液を消費し、しか
も空気の排出に長い時間を要する不具合がある。また、
洗浄液に気泡を巻き込んだ状態で高周波振動子３８を運
転して排出する方法は、高周波振動子３８を軽負荷状態
で運転するので空運転に近い状態で運転することにな
り、高価な高周波振動子３８の寿命が短くなる。さら
に、オーバーフロー口を形成したものは、構造が複雑に
なり、このオーバーフロー口の開閉操作も面倒であり、
さらに洗浄液に消費も大きい等の欠点がある。
【００１０】また、噴射室に気泡が残留、滞留するの
は、使用開始時ばかりでなく、洗浄液供給装置から洗浄
液導入筒３５に送られてくる洗浄液が発泡性をもってい
たり、気泡を含んだ状態で送られてくることもあり、こ
のような場合は高周波洗浄装置の運転中に気泡を排除す
ることができず、装置を止めて空気を排出する作業が必
要であった。
は、使用開始時ばかりでなく、洗浄液供給装置から洗浄
液導入筒３５に送られてくる洗浄液が発泡性をもってい
たり、気泡を含んだ状態で送られてくることもあり、こ
のような場合は高周波洗浄装置の運転中に気泡を排除す
ることができず、装置を止めて空気を排出する作業が必
要であった。
【００１１】一方、特開平５−３１４６９号公報および
特開平５−１２９２６６号公報にはノズル口がスリット
状である、いわゆるバー型の超音波洗浄用ノズル装置が
開示されている。このノズル装置は、ノズル口がスリッ
ト状に形成されたノズル本体と、このノズル本体に上記
ノズル口と対向して設けられた超音波振動する振動体
と、この振動体を超音波振動させる発振器と、上記ノズ
ル口に洗浄液を供給するスリット状の洗浄液流通部とを
具備した構造を有する。また、上記洗浄液流通部の一端
部は上記振動体に向かって傾斜している。
特開平５−１２９２６６号公報にはノズル口がスリット
状である、いわゆるバー型の超音波洗浄用ノズル装置が
開示されている。このノズル装置は、ノズル口がスリッ
ト状に形成されたノズル本体と、このノズル本体に上記
ノズル口と対向して設けられた超音波振動する振動体
と、この振動体を超音波振動させる発振器と、上記ノズ
ル口に洗浄液を供給するスリット状の洗浄液流通部とを
具備した構造を有する。また、上記洗浄液流通部の一端
部は上記振動体に向かって傾斜している。
【００１２】しかしながら、前述したバー型の超音波洗
浄用ノズル装置では細長状のノズル本体の貯液部にスリ
ット状の洗浄液流通部を通して洗浄液を直接供給するた
め、前記貯液部の長手方向の箇所において洗浄液の流速
にばらつきが生じる。その結果、前記貯液部内の空気の
残留に起因して細長状の振動板表面に気泡が発生した場
合、前記振動板の表面全体の気泡を除去することが困難
になる。
浄用ノズル装置では細長状のノズル本体の貯液部にスリ
ット状の洗浄液流通部を通して洗浄液を直接供給するた
め、前記貯液部の長手方向の箇所において洗浄液の流速
にばらつきが生じる。その結果、前記貯液部内の空気の
残留に起因して細長状の振動板表面に気泡が発生した場
合、前記振動板の表面全体の気泡を除去することが困難
になる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、常に
噴射室に残留する空気を迅速にかつ確実に排出すること
ができる高周波洗浄用ノズルを提供しようとするもので
ある。
噴射室に残留する空気を迅速にかつ確実に排出すること
ができる高周波洗浄用ノズルを提供しようとするもので
ある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る高周波洗浄用ノズルは、内部に噴射室を
長手方向に有し、かつこの噴射室と連通したスリット状
の吐出口を長手方向に開口した長尺形状のノズルボディ
と、上記吐出口と対向する上記ノズルボディに取り付け
られた振動板と、上記噴射室を挟んでその両側の上記ノ
ズルボディにそのボディの長手方向に沿ってそれぞれ設
けられた上記噴射室に洗浄液を供給するための一対の導
入通路と、上記ノズルボディに上記各導入通路の複数箇
所と上記噴射室の複数箇所とをそれぞれ連通するように
設けられた複数の整流通路と、上記振動板を高周波振動
させる高周波駆動手段とを備え、複数の上記整流通路
は、これら整流通路より噴射された洗浄液が上記噴射室
内上部の上記振動板の中心線上で合流する方向に向けて
形成されていることを特徴とするものである。
に本発明に係る高周波洗浄用ノズルは、内部に噴射室を
長手方向に有し、かつこの噴射室と連通したスリット状
の吐出口を長手方向に開口した長尺形状のノズルボディ
と、上記吐出口と対向する上記ノズルボディに取り付け
られた振動板と、上記噴射室を挟んでその両側の上記ノ
ズルボディにそのボディの長手方向に沿ってそれぞれ設
けられた上記噴射室に洗浄液を供給するための一対の導
入通路と、上記ノズルボディに上記各導入通路の複数箇
所と上記噴射室の複数箇所とをそれぞれ連通するように
設けられた複数の整流通路と、上記振動板を高周波振動
させる高周波駆動手段とを備え、複数の上記整流通路
は、これら整流通路より噴射された洗浄液が上記噴射室
内上部の上記振動板の中心線上で合流する方向に向けて
形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】本発明に係る高周波洗浄ノズルにおいて、
上記複数の整流通路は上記導入通路に沿って等間隔に形
成されていることが好ましい。
上記複数の整流通路は上記導入通路に沿って等間隔に形
成されていることが好ましい。
【００１６】
【００１７】
【００１８】本発明によれば、一対の導入通路から導入
された洗浄液が複数の整流通路を通じて噴射室内上部の
振動板の中心線上で合流するため、圧力分布のバランス
がよくなるとともにジェット噴射が合流することにより
噴射室内の洗浄液および空気を吐出口に向けて押し出す
働きが効果的になされ、上記振動板に滞留し勝ちな空気
や気泡を押し出して吐出口から排除することができる。
また、上記噴射室内の気泡を砕いて微細化し、洗浄液と
一緒に運ばれ易くなり、しかも上記中心線上で下向きに
反射されるようになるから、空気や気泡を洗浄液と一緒
に効果的に排出することができる。よって、噴射室内に
空気や気泡が滞留するのを防止することができる。
された洗浄液が複数の整流通路を通じて噴射室内上部の
振動板の中心線上で合流するため、圧力分布のバランス
がよくなるとともにジェット噴射が合流することにより
噴射室内の洗浄液および空気を吐出口に向けて押し出す
働きが効果的になされ、上記振動板に滞留し勝ちな空気
や気泡を押し出して吐出口から排除することができる。
また、上記噴射室内の気泡を砕いて微細化し、洗浄液と
一緒に運ばれ易くなり、しかも上記中心線上で下向きに
反射されるようになるから、空気や気泡を洗浄液と一緒
に効果的に排出することができる。よって、噴射室内に
空気や気泡が滞留するのを防止することができる。
【００１９】複数の整流通路を導入通路に沿って等間隔
に形成することによって、洗浄液を上記導入通路から前
記整流通路を通して噴射室内に噴射した時に発生するジ
ェット噴射の分布を等間隔にすることができ、広い範囲
に分散する方向から噴射室上部の振動板に滞留しようと
する空気を押し出すようになるから、空気や気泡が滞留
するデッドスペースを作る割合を少なくすることができ
る。
に形成することによって、洗浄液を上記導入通路から前
記整流通路を通して噴射室内に噴射した時に発生するジ
ェット噴射の分布を等間隔にすることができ、広い範囲
に分散する方向から噴射室上部の振動板に滞留しようと
する空気を押し出すようになるから、空気や気泡が滞留
するデッドスペースを作る割合を少なくすることができ
る。
【００２０】
【００２１】
【００２２】
【００２３】
【００２４】
【００２５】
【００２６】
【００２７】
【００２８】
【００２９】
【００３０】
【００３１】
【００３２】
【００３３】
【００３４】
【００３５】
【００３６】
【実施例】 以下、本発明について図面に示す実施例にも
とづき詳細に説明する。 （第１の実施例）図１および図２は、この第１の実施例に係るバー形の高
周波洗浄用ノズルを示す図である。
とづき詳細に説明する。 （第１の実施例）図１および図２は、この第１の実施例に係るバー形の高
周波洗浄用ノズルを示す図である。
【００３７】図１および図２の第１の実施例では、長尺
形状のノズルボディ２１内に、長手方向に沿って長形の
噴射室２３が形成されており、この噴射室２３の下端に
は長いスリット状の吐出口２４が形成されている。噴射
室２３の上端は振動板２７により閉塞されており、この
振動板２７には高周波振動子２８が取付けられている。
形状のノズルボディ２１内に、長手方向に沿って長形の
噴射室２３が形成されており、この噴射室２３の下端に
は長いスリット状の吐出口２４が形成されている。噴射
室２３の上端は振動板２７により閉塞されており、この
振動板２７には高周波振動子２８が取付けられている。
【００３８】そして、ノズルボディ２１には、図２に示
すように、噴射室２３を挟んで左右に位置して一対の導
入通路２５ａ、２５ｂが形成されており、これら導入通
路２５ａ、２５ｂは図示しない洗浄液供給装置に連結さ
れるようになっている。そして、これら導入通路２５
ａ、２５ｂと、噴射室２３はそれぞれ多数の整流通路２
６ａ、２６ｂにより連通されている。各整流通路２６
ａ、２６ｂは噴射室２３の左右内面にそれぞれ長手方向
に等間隔を存して配置されており、互いに向かい合う側
面では整流通路２６ａと２６ｂが対向している。そし
て、これら各整流通路２６ａ、２６ｂは噴射室２３の図
２における中心線Ｏ−Ｏに向かって形成されており、本
実施例の場合も振動板２７の中央下面に合流するように
形成されている。
すように、噴射室２３を挟んで左右に位置して一対の導
入通路２５ａ、２５ｂが形成されており、これら導入通
路２５ａ、２５ｂは図示しない洗浄液供給装置に連結さ
れるようになっている。そして、これら導入通路２５
ａ、２５ｂと、噴射室２３はそれぞれ多数の整流通路２
６ａ、２６ｂにより連通されている。各整流通路２６
ａ、２６ｂは噴射室２３の左右内面にそれぞれ長手方向
に等間隔を存して配置されており、互いに向かい合う側
面では整流通路２６ａと２６ｂが対向している。そし
て、これら各整流通路２６ａ、２６ｂは噴射室２３の図
２における中心線Ｏ−Ｏに向かって形成されており、本
実施例の場合も振動板２７の中央下面に合流するように
形成されている。
【００３９】このような構成のバー形の高周波洗浄用ノ
ズルの場合は、図示しない洗浄液供給装置より洗浄液が
２本の導入通路２５ａ、２５ｂに供給され、これら導入
通路２５ａ、２５ｂからそれぞれ複数の整流通路２６
ａ、２６ｂを通じて噴射室２３に送り込まれる。噴射室
２３内では、左右それぞれの側面に等間隔で開口した整
流通路２６ａ、２６ｂから洗浄液が送り込まれるので長
手方向の圧力分布がほぼ均等になり、しかも各整流通路
２６ａ、２６ｂから流速の早いジェット噴流が発せられ
て中心線Ｏ−Ｏに合流するので、空気や気泡が中心に集
められ、洗浄液と一緒に吐出口２４から噴射されるよう
になる。
ズルの場合は、図示しない洗浄液供給装置より洗浄液が
２本の導入通路２５ａ、２５ｂに供給され、これら導入
通路２５ａ、２５ｂからそれぞれ複数の整流通路２６
ａ、２６ｂを通じて噴射室２３に送り込まれる。噴射室
２３内では、左右それぞれの側面に等間隔で開口した整
流通路２６ａ、２６ｂから洗浄液が送り込まれるので長
手方向の圧力分布がほぼ均等になり、しかも各整流通路
２６ａ、２６ｂから流速の早いジェット噴流が発せられ
て中心線Ｏ−Ｏに合流するので、空気や気泡が中心に集
められ、洗浄液と一緒に吐出口２４から噴射されるよう
になる。
【００４０】この場合も、整流通路２６ａ、２６ｂを噴
射室２３の上部の中心点に向けて形成すると、各整流通
路２６ａ、２６ｂから噴射された洗浄液は、振動板２７
の下面で反射されるから反射によって流速が一層早くな
り、吐出口２４から効率よく噴出される。したがって、
噴射室２３内に空気や気泡が残留するのを防止すること
ができる。
射室２３の上部の中心点に向けて形成すると、各整流通
路２６ａ、２６ｂから噴射された洗浄液は、振動板２７
の下面で反射されるから反射によって流速が一層早くな
り、吐出口２４から効率よく噴出される。したがって、
噴射室２３内に空気や気泡が残留するのを防止すること
ができる。
【００４１】（第２の実施例） 本発明は、図３に示す第２の実施例の構造であってもよ
い。この第２の実施例はバー形の高周波洗浄用ノズルに
適用した場合であり、図１および図２の例では整流通路
２６ａ、２６ｂを、噴射室２３の左右の内側面にそれぞ
れ等間隔で形成したが、図３の例は噴射室２３のいずれ
か一方の内側面に、複数個の整流通路２６（図では１個
のみ図示されている）を等間隔で形成してあり、これら
整流通路２６は導入通路２５に連通している。
い。この第２の実施例はバー形の高周波洗浄用ノズルに
適用した場合であり、図１および図２の例では整流通路
２６ａ、２６ｂを、噴射室２３の左右の内側面にそれぞ
れ等間隔で形成したが、図３の例は噴射室２３のいずれ
か一方の内側面に、複数個の整流通路２６（図では１個
のみ図示されている）を等間隔で形成してあり、これら
整流通路２６は導入通路２５に連通している。
【００４２】そして、この場合も、各複数個の整流通路
２６は噴射室２３の上部に向けて開口しており、よって
ジェット噴射を噴射室２３の天井部に向けて噴射する。
このため洗浄液の流れが複数のジェット噴射に分かれ、
これら複数のジェット噴射により複数の方向から噴射室
２３内の洗浄液および空気が押し出される。しかも、こ
れらジェット噴射は噴射室２３内の上部に向かうから、
噴射室２３の上部（天井近傍）に滞留し勝ちな空気や気
泡を押し出して吐出口２４より排除することができる。
２６は噴射室２３の上部に向けて開口しており、よって
ジェット噴射を噴射室２３の天井部に向けて噴射する。
このため洗浄液の流れが複数のジェット噴射に分かれ、
これら複数のジェット噴射により複数の方向から噴射室
２３内の洗浄液および空気が押し出される。しかも、こ
れらジェット噴射は噴射室２３内の上部に向かうから、
噴射室２３の上部（天井近傍）に滞留し勝ちな空気や気
泡を押し出して吐出口２４より排除することができる。
【００４３】
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によると、導
入通路から導入された洗浄液が複数の整流通路を通じて
噴射室に送り込まれるので、洗浄液の流れが複数のジェ
ット噴射に分かれるようになり、複数の方向から噴射室
内の洗浄液および空気を押し出すようになる。しかも、
これらジェット噴射は噴射室内の上部に向かうから噴射
室上部の圧力を高めることができ、噴射室内の上部（天
井近傍）に滞留し勝ちな空気や気泡を押し出して吐出口
から排除するようになる。よって、噴射室内に空気や気
泡が滞留するのを防止することができ、常に噴射室の空
気を迅速にかつ確実に排出することができる。このこと
から高周波振動子の空運転を防止して長寿命を保ち、ま
た、高周波の伝播不良を防止して洗浄性能を高く維持す
ることができる。
入通路から導入された洗浄液が複数の整流通路を通じて
噴射室に送り込まれるので、洗浄液の流れが複数のジェ
ット噴射に分かれるようになり、複数の方向から噴射室
内の洗浄液および空気を押し出すようになる。しかも、
これらジェット噴射は噴射室内の上部に向かうから噴射
室上部の圧力を高めることができ、噴射室内の上部（天
井近傍）に滞留し勝ちな空気や気泡を押し出して吐出口
から排除するようになる。よって、噴射室内に空気や気
泡が滞留するのを防止することができ、常に噴射室の空
気を迅速にかつ確実に排出することができる。このこと
から高周波振動子の空運転を防止して長寿命を保ち、ま
た、高周波の伝播不良を防止して洗浄性能を高く維持す
ることができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示すバー形の高周波洗
浄用ノズルの断面図。
浄用ノズルの断面図。
【図２】同実施例の図１におけるII−II線に沿う断面
図。
図。
【図３】本発明の第２の実施例を示すバー形の高周波洗
浄用ノズルの断面図。
浄用ノズルの断面図。
【図４】従来のリング形の高周波洗浄用ノズルの断面
図。
図。
２１…ノズルボディ、２３…噴射室、２４…吐出口、２
５ａ、２５ｂ…導入通路、２７…振動板、２８…高周波
振動子、２６，２６ａ，２６ｂ…整流通路。
５ａ、２５ｂ…導入通路、２７…振動板、２８…高周波
振動子、２６，２６ａ，２６ｂ…整流通路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−124499（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−31469（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−129266（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B05B 1/00 B05B 17/06
Claims (2)
- 【請求項１】 内部に噴射室を長手方向に有し、かつこ
の噴射室と連通したスリット状の吐出口を長手方向に開
口した長尺形状のノズルボディと、 上記吐出口と対向する上記ノズルボディに取り付けられ
た振動板と、 上記噴射室を挟んでその両側の上記ノズルボディにその
ボディの長手方向に沿ってそれぞれ設けられた上記噴射
室に洗浄液を供給するための一対の導入通路と、 上記ノズルボディに上記各導入通路の複数箇所と上記噴
射室の複数箇所とをそれぞれ連通するように設けられた
複数の整流通路と、 上記振動板を高周波振動させる高周波駆動手段とを備
え、 複数の上記整流通路は、これら整流通路より噴射された
洗浄液が上記噴射室内上部の上記振動板の中心線上で合
流する方向に向けて形成されていることを特徴とする高
周波洗浄用ノズル。 - 【請求項２】 上記複数の整流通路は、上記導入通路に
沿って等間隔に形成されていることを特徴とする請求項
１記載の高周波洗浄用ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09134985A JP3117417B2 (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 高周波洗浄用ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09134985A JP3117417B2 (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 高周波洗浄用ノズル |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27424293A Division JPH0811202B2 (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | 高周波洗浄用ノズル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1052653A JPH1052653A (ja) | 1998-02-24 |
| JP3117417B2 true JP3117417B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=15141237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09134985A Expired - Lifetime JP3117417B2 (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 高周波洗浄用ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3117417B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2788706B1 (fr) * | 1999-01-27 | 2001-03-09 | Air Refreshing Control | Dispositif de pulverisation de gouttelettes d'eau et buse pour un tel dispositif |
| CN109013544A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-12-18 | 咸威 | 一种喷淋式高频超声波清洗装置 |
-
1997
- 1997-05-26 JP JP09134985A patent/JP3117417B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1052653A (ja) | 1998-02-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN210497445U (zh) | 超声波洗净装置及超声波洗净系统 | |
| KR101175508B1 (ko) | 구금세정방법 및 도포장치 | |
| JP2018530453A (ja) | 超音波保守キャップ | |
| JP3117417B2 (ja) | 高周波洗浄用ノズル | |
| JP4036815B2 (ja) | 洗浄装置 | |
| US7591900B2 (en) | Nozzle for supplying treatment liquid and substrate treating apparatus | |
| JP2007061733A (ja) | 超音波洗浄用ノズルおよびその設計方法並びに超音波洗浄方法 | |
| JPH0811202B2 (ja) | 高周波洗浄用ノズル | |
| JP3374043B2 (ja) | 超音波による液体噴射式洗浄機 | |
| JPH08196965A (ja) | 超音波霧化器 | |
| JP2549735B2 (ja) | 流液式超音波洗浄装置 | |
| JP2862458B2 (ja) | 被洗浄基板の洗浄方法およびその装置 | |
| JP2004167377A (ja) | 超音波洗浄機 | |
| JPH09327671A (ja) | 超音波洗浄機 | |
| JPH06105083B2 (ja) | 流体発振素子 | |
| JP2759127B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2887114B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2001259550A (ja) | 洗浄用ノズル | |
| KR20070077100A (ko) | 초음파 세정장치 및 초음파 세정방법 | |
| JP2001062350A (ja) | 液体噴射装置 | |
| JP3017979B1 (ja) | 高周波洗浄装置 | |
| JPH1133507A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP3808951B2 (ja) | 超音波振動装置およびそれを用いた超音波洗浄装置 | |
| JP2000334403A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP3865999B2 (ja) | 超音波洗浄装置、及び洗浄方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081006 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081006 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091006 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091006 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101006 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111006 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121006 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131006 Year of fee payment: 13 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |