JPH09327671A - 超音波洗浄機 - Google Patents
超音波洗浄機Info
- Publication number
- JPH09327671A JPH09327671A JP15081196A JP15081196A JPH09327671A JP H09327671 A JPH09327671 A JP H09327671A JP 15081196 A JP15081196 A JP 15081196A JP 15081196 A JP15081196 A JP 15081196A JP H09327671 A JPH09327671 A JP H09327671A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- shower
- cleaning
- cleaning liquid
- nozzle
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 超音波シャワーによる超音波洗浄機のコスト
を下げる。 【解決手段】 超音波シャワー１とノズル型シャワー２
が基板４をはさんで対向して設けられている。基板４が
超音波シャワー１の下を通過するとき、超音波シャワー
１とノズル型シャワー２からそれぞれ基板４の表面、裏
面に向けて洗浄液が噴出される。このとき、超音波シャ
ワー１から発せられた超音波は基板４を透過してノズル
型シャワー２に達するため、裏面にも超音波による洗浄
効果があらわれる。
を下げる。 【解決手段】 超音波シャワー１とノズル型シャワー２
が基板４をはさんで対向して設けられている。基板４が
超音波シャワー１の下を通過するとき、超音波シャワー
１とノズル型シャワー２からそれぞれ基板４の表面、裏
面に向けて洗浄液が噴出される。このとき、超音波シャ
ワー１から発せられた超音波は基板４を透過してノズル
型シャワー２に達するため、裏面にも超音波による洗浄
効果があらわれる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波シャワーに
よりシリコンウエーハ、液晶ガラス基板等の被洗浄物の
両面洗浄を行なう超音波洗浄機に関する。
よりシリコンウエーハ、液晶ガラス基板等の被洗浄物の
両面洗浄を行なう超音波洗浄機に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２はこの種の超音波洗浄機の従来例の
構成図である。
構成図である。
【０００３】超音波発振器１ａと超音波信号ケーブル１
ｂと洗浄液供給パイプ１ｃと洗浄液噴出ノズル１ｄを有
する超音波シャワー１と、同様に超音波発振器５ａと超
音波信号ケーブル５ｂと洗浄液供給パイプ５ｃと洗浄液
噴出ノズル５ｄを有する超音波シャワー５が、搬送ロー
ラ３で搬送される基板４をはさんで対向するように設置
されている。
ｂと洗浄液供給パイプ１ｃと洗浄液噴出ノズル１ｄを有
する超音波シャワー１と、同様に超音波発振器５ａと超
音波信号ケーブル５ｂと洗浄液供給パイプ５ｃと洗浄液
噴出ノズル５ｄを有する超音波シャワー５が、搬送ロー
ラ３で搬送される基板４をはさんで対向するように設置
されている。
【０００４】超音波供給パイプ１ｃから供給された洗浄
液は、超音波発振器１ａで発生し、超音波信号ケーブル
１ｂで伝えられた超音波とともに洗浄液噴出ノズル１ｄ
から基板４の表面に向けて噴出され、基板４の表面が洗
浄される。同様にして、基板４の裏面が超音波シャワー
５で洗浄される。
液は、超音波発振器１ａで発生し、超音波信号ケーブル
１ｂで伝えられた超音波とともに洗浄液噴出ノズル１ｄ
から基板４の表面に向けて噴出され、基板４の表面が洗
浄される。同様にして、基板４の裏面が超音波シャワー
５で洗浄される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の超音波
洗浄機は、基板等の被洗浄物の両面を洗浄するのに超音
波シャワーを２台用いており、コスト高になっていた。
洗浄機は、基板等の被洗浄物の両面を洗浄するのに超音
波シャワーを２台用いており、コスト高になっていた。
【０００６】本発明の目的は、超音波シャワーが１台の
超音波洗浄機を提供することにある。
超音波洗浄機を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の超音波洗浄機
は、搬送される薄板状の被洗浄物の一方の面に洗浄液を
噴出する超音波シャワーと、超音波シャワーと対向し、
被洗浄物の他方の面に洗浄液を噴射するノズル型シャワ
ーを有する。
は、搬送される薄板状の被洗浄物の一方の面に洗浄液を
噴出する超音波シャワーと、超音波シャワーと対向し、
被洗浄物の他方の面に洗浄液を噴射するノズル型シャワ
ーを有する。
【０００８】超音波シャワーから発せられた超音波は、
被洗浄物を透過してノズル型シャワーに達するため、被
洗浄物の他方の面にも超音波による洗浄効果が得られ
る。超音波シャワーが１台で済むため、従来よりもコス
ト的に有利になる。
被洗浄物を透過してノズル型シャワーに達するため、被
洗浄物の他方の面にも超音波による洗浄効果が得られ
る。超音波シャワーが１台で済むため、従来よりもコス
ト的に有利になる。
【０００９】本発明の実施態様によれば、超音波シャワ
ーの洗浄液噴出ノズルとノズル型シャワーの洗浄液噴出
ノズルが互いに対向するように超音波シャワーとノズル
型シャワーが設置されている。
ーの洗浄液噴出ノズルとノズル型シャワーの洗浄液噴出
ノズルが互いに対向するように超音波シャワーとノズル
型シャワーが設置されている。
【００１０】これにより、超音波シャワーを２台設置し
た場合の洗浄効果に近い最も高い洗浄効果が得られる。
た場合の洗浄効果に近い最も高い洗浄効果が得られる。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
説明する。
説明する。
【００１２】図１は本発明の一実施形態の基板洗浄機の
構成図である。
構成図である。
【００１３】本実施形態の基板洗浄機は、従来の超音波
洗浄機（図２）の超音波シャワー５に代って、洗浄液供
給パイプ２ａと洗浄液噴出ノズル２ｂを有するノズル型
シャワー２を備えている。この場合、超音波シャワー１
の洗浄液噴出ノズル１ｄとノズル型シャワー２の洗浄液
噴出ノズル２ｂは互いに対向している。
洗浄機（図２）の超音波シャワー５に代って、洗浄液供
給パイプ２ａと洗浄液噴出ノズル２ｂを有するノズル型
シャワー２を備えている。この場合、超音波シャワー１
の洗浄液噴出ノズル１ｄとノズル型シャワー２の洗浄液
噴出ノズル２ｂは互いに対向している。
【００１４】被洗浄物である基板４が超音波シャワー１
の下を通過するとき、超音波シャワー１とノズル型シャ
ワー２からそれぞれ基板４の表面、裏面に向けて洗浄液
が噴出される。このとき、超音波シャワー１から発せら
れた超音波は基板４を透過してノズル型シャワー２に達
するため、表面にも超音波による洗浄効果があらわれ
る。
の下を通過するとき、超音波シャワー１とノズル型シャ
ワー２からそれぞれ基板４の表面、裏面に向けて洗浄液
が噴出される。このとき、超音波シャワー１から発せら
れた超音波は基板４を透過してノズル型シャワー２に達
するため、表面にも超音波による洗浄効果があらわれ
る。
【００１５】ここで、洗浄効果を除去率＝｛（洗浄前の
ゴミの数−洗浄後のゴミの数）／（洗浄前のゴミの
数）｝×１００（％）で表わすと、従来のように、超音
波シャワーを２台備えた場合、除去率は約９０％である
のに対し、本実施形態のように、超音波シャワーを上方
にのみ備え、かつ超音波シャワー１の洗浄液噴出ノズル
１ｄとノズル型シャワー２の洗浄液噴出ノズル２ｂを互
いに対向させた場合、除去率は約８０％であり、従来の
洗浄効果に近い洗浄効果が得られた。なお、洗浄液噴出
ノズル１ｄに対して洗浄液噴出ノズル２ｂを横方向にず
らしてもよいが、その場合ずれの度合いが大きくなる程
洗浄効果が小さくなっていくのは勿論である。なお、超
音波シャワー１で基板４の裏面、ノズル型シャワー２で
基板４の表面を洗浄するようにしてもよい。また、本実
施形態では、洗浄物が基板４であるが、基板以外の薄板
状のものにも本発明が適用できることは言うまでもな
い。
ゴミの数−洗浄後のゴミの数）／（洗浄前のゴミの
数）｝×１００（％）で表わすと、従来のように、超音
波シャワーを２台備えた場合、除去率は約９０％である
のに対し、本実施形態のように、超音波シャワーを上方
にのみ備え、かつ超音波シャワー１の洗浄液噴出ノズル
１ｄとノズル型シャワー２の洗浄液噴出ノズル２ｂを互
いに対向させた場合、除去率は約８０％であり、従来の
洗浄効果に近い洗浄効果が得られた。なお、洗浄液噴出
ノズル１ｄに対して洗浄液噴出ノズル２ｂを横方向にず
らしてもよいが、その場合ずれの度合いが大きくなる程
洗浄効果が小さくなっていくのは勿論である。なお、超
音波シャワー１で基板４の裏面、ノズル型シャワー２で
基板４の表面を洗浄するようにしてもよい。また、本実
施形態では、洗浄物が基板４であるが、基板以外の薄板
状のものにも本発明が適用できることは言うまでもな
い。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、超音波
シャワーとノズル型シャワーを組み合わせることによ
り、低コストで、超音波シャワーを２台備えた場合の洗
浄効果に近い洗浄効果が得られる効果がある。
シャワーとノズル型シャワーを組み合わせることによ
り、低コストで、超音波シャワーを２台備えた場合の洗
浄効果に近い洗浄効果が得られる効果がある。
【図１】本発明の一実施形態の超音波洗浄機の構成図で
ある。
ある。
【図２】超音波洗浄機の従来例の構成図である。
１ 超音波シャワー １ａ 超音波発振器 １ｂ 超音波信号ケーブル １ｃ 洗浄液供給パイプ １ｄ 洗浄液噴出ノズル ２ ノズル型シャワー ２ａ 洗浄液供給パイプ ２ｂ 洗浄液噴出ノズル ３ 搬送ローラ ４ 基板
Claims (2)
- 【請求項１】 搬送される薄板状の被洗浄物の一方の面
に洗浄液を噴出する超音波シャワーと、該超音波シャワ
ーと対向し、前記被洗浄物の他方の面に洗浄液を噴出す
るノズル型シャワーを有する超音波洗浄機。 - 【請求項２】 前記超音波シャワーの洗浄液噴出ノズル
と前記ノズル型シャワーの洗浄液噴出ノズルが互いに対
向するように前記超音波シャワーと前記ノズル型シャワ
ーが設置されている、請求項１記載の超音波洗浄機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15081196A JPH09327671A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 超音波洗浄機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15081196A JPH09327671A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 超音波洗浄機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09327671A true JPH09327671A (ja) | 1997-12-22 |
Family
ID=15504943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15081196A Pending JPH09327671A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 超音波洗浄機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09327671A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT408930B (de) * | 1999-01-13 | 2002-04-25 | Thallner Erich | Vorrichtung zur chemischen behandlung von wafern |
| US6619301B2 (en) * | 1999-12-17 | 2003-09-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ultrasonic processing device and electronic parts fabrication method using the same |
| WO2004016808A1 (fr) * | 2002-08-16 | 2004-02-26 | Tsinghua University | Procede et appareil permettant de laver un substrat solide a l'aide d'une onde ultrasonore apres une reaction d'hybridation |
| US6810548B2 (en) | 2000-03-08 | 2004-11-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Cleaning apparatus |
| KR20150049190A (ko) * | 2013-10-29 | 2015-05-08 | 세메스 주식회사 | 기판처리장치 |
| CN107282517A (zh) * | 2017-08-17 | 2017-10-24 | 苏州元江工业清洗设备有限公司 | 喷淋式特高频超声波清洗装置 |
| CN108817012A (zh) * | 2018-08-01 | 2018-11-16 | 王玲 | 一种高效玻璃双面清洗装置 |
-
1996
- 1996-06-12 JP JP15081196A patent/JPH09327671A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT408930B (de) * | 1999-01-13 | 2002-04-25 | Thallner Erich | Vorrichtung zur chemischen behandlung von wafern |
| US6416579B1 (en) | 1999-01-13 | 2002-07-09 | Erich Thallner | Apparatus for treating silicon wafers |
| US6619301B2 (en) * | 1999-12-17 | 2003-09-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ultrasonic processing device and electronic parts fabrication method using the same |
| US6810548B2 (en) | 2000-03-08 | 2004-11-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Cleaning apparatus |
| KR100458211B1 (ko) * | 2000-03-08 | 2004-11-26 | 샤프 가부시키가이샤 | 세정장치 |
| WO2004016808A1 (fr) * | 2002-08-16 | 2004-02-26 | Tsinghua University | Procede et appareil permettant de laver un substrat solide a l'aide d'une onde ultrasonore apres une reaction d'hybridation |
| KR20150049190A (ko) * | 2013-10-29 | 2015-05-08 | 세메스 주식회사 | 기판처리장치 |
| CN107282517A (zh) * | 2017-08-17 | 2017-10-24 | 苏州元江工业清洗设备有限公司 | 喷淋式特高频超声波清洗装置 |
| CN108817012A (zh) * | 2018-08-01 | 2018-11-16 | 王玲 | 一种高效玻璃双面清洗装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040317 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040512 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040512 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041117 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050706 |