JPH09330896A - 超音波洗浄機 - Google Patents

超音波洗浄機

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Publication number
JPH09330896A
JPH09330896A JP15081096A JP15081096A JPH09330896A JP H09330896 A JPH09330896 A JP H09330896A JP 15081096 A JP15081096 A JP 15081096A JP 15081096 A JP15081096 A JP 15081096A JP H09330896 A JPH09330896 A JP H09330896A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flat bar
substrate
cleaned
ultrasonic
cleaning liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15081096A
Other languages
English (en)
Inventor
Norihisa Takahashi
典久 高橋
Katsuichi Okano
勝一 岡野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kaijo Corp
Original Assignee
Kaijo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kaijo Corp filed Critical Kaijo Corp
Priority to JP15081096A priority Critical patent/JPH09330896A/ja
Publication of JPH09330896A publication Critical patent/JPH09330896A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波洗浄機の洗浄効率を高める。 【解決手段】 超音波洗浄機1は、搬送中の基板3との
間でわずかな間隙を形成するように、洗浄液噴出ノズル
1eの端部から基板3の搬送方向および該方向と反対方
向に基板3と平行に延び、洗浄液噴出ノズル1eの長さ
と概ね同じ幅を有するフラットバー1fを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェハ
ー、液晶ガラス基板を洗浄する超音波洗浄機に関する。
【0002】
【従来の技術】図4(1),(2)はこの種の超音波洗
浄機の従来例の正面図と側面図である。
【0003】超音波洗浄機4は、搬送ローラ2で搬送さ
れる基板3の表面を洗浄するもので、超音波発振器4a
と、超音波信号ケーブル4bと、洗浄液供給パイプ4
c、洗浄機本体4dと、基板3の搬送方向と直交な方向
に延びる洗浄液噴出ノズル4eで構成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の超音波
洗浄機は、洗浄液噴出ノズルが細く絞り込まれた形状と
なっているため、その下を通過する被洗浄物をその細い
先端部のみでしか洗浄できず、洗浄効果がよくなかっ
た。
【0005】よって、洗浄効果を上げるためには、超音
波洗浄機を、図5に示すように、被洗浄物の搬送方向に
複数台並べて使用するしか方法がなかった。
【0006】本発明の目的は、1台で洗浄効果の高い超
音波洗浄機を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の超音波洗浄機
は、搬送中の被洗浄物との間でわずかな間隙を形成する
ように、洗浄液噴出ノズルの端部から被洗浄物の搬送方
向および該方向の反対方向に被洗浄物と平行に延び、洗
浄液噴出ノズルの長さと概ね同じ幅を有するフラットバ
ーを備えている。
【0008】ノズル下部に被洗浄物がない場合は洗浄液
はそのまま下部に落ちるが、下を被洗浄物が通過する際
には、フラットバーと被洗浄物との間に水の膜ができ、
そこを超音波が伝達するため、フラットバー全面で被洗
浄物を洗浄できる。
【0009】なお、フラットバーは強度的な問題(ソ
リ、うねり)がなければ、大きい程よい。
【0010】本発明の実施態様によれば、フラットバー
の搬送方向の両端が被洗浄物と反対側に折り返されてい
る。
【0011】したがって、洗浄後の液がフラットバーの
上面にかかって被洗浄物が再び汚れるのが防止される。
【0012】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
【0013】図(1),(2)はそれぞれ本発明の一実
施形態の超音波洗浄機の正面図、側面図、図2は図1の
部分拡大断面図である。
【0014】本実施形態の超音波洗浄機1は、従来と同
じ超音波発振器1aと超音波信号ケーブル1bと洗浄液
供給パイプ1cと洗浄機本体1dと洗浄液噴出ノズル1
eに加えて、フラットバー1fを新たに備えている。
【0015】このフラットバー1fは搬送中の基板3と
の間でわずかな間隙を形成するように、洗浄液噴出ノズ
ル1eの端部から基板3の搬送方向および該方向と反対
方向に基板3と平行に延び、洗浄液噴出ノズル1eの長
さと概ね同じ幅を有している。
【0016】ノズル下部に被洗浄物である基板3がない
場合は洗浄液はそのまま下部に落ちるが、下を被洗浄物
である基板3が通過する際には、図2に示すように、フ
ラットバー1fと基板3との間に水の膜ができ、そこ
を、超音波が反射しながら伝達するため、フラットバー
全面で基板3を洗浄できる。
【0017】図3はフラットバー1fの他の例を示す断
面図である。このフラットバー1fは基板3の搬送方向
の両端が上方に折り返され、これにより洗浄後の液がフ
ラットバー1fの上面にかかって基板3が再び汚れるの
が防止される。
【0018】なお、本実施形態の超音波洗浄機を基板3
の裏側にも設けて基板の裏面の洗浄を行うことができ
る。ただし、この場合、フラットバーは搬送ローラ間に
入らなければならず、表側を洗浄する場合よりも長さが
短くなる。
【0019】また、以上の実施形態は、フラットバー1
fは洗浄液噴出ノズル1eと一体になっているが、洗浄
液噴出ノズル1eに適宜な手段で後から取り付けられる
ようにしてもよい。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、洗浄液噴
出ノズルの先端に、被洗浄物と平行に、かつ被洗浄物と
わずかな間隙をもってフラットバー備えることにより、
フラットバーと被洗浄物の間で水膜を作り、超音波を被
洗浄物に効果的に伝達して被洗浄物を洗浄することが可
能となり、洗浄効率が向上する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の超音波洗浄機の正面図
(図1(1))と側面図(図1(2))である。
【図2】図1のフラットバーの拡大断面図である。
【図3】フラットバーの他の例の拡大断面図である。
【図4】超音波洗浄機の従来例の正面図(図4(1))
と側面図(図4(2))である。
【図5】従来の超音波洗浄機を複数台設置して洗浄を行
う例を示す図である。
【符号の説明】
1 超音波洗浄機 1a 超音波発振器 1b 超音波信号ケーブル 1c 洗浄液供給パイプ 1d 洗浄機本体 1e 洗浄機噴出ノズル 1f フラットバー 2 搬送ローラ 3 基板

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 搬送される薄板状の被洗浄物の搬送方向
    と直角な方向に延びる洗浄液噴出ノズルを備え、前記被
    洗浄物の対向する面を洗浄する超音波洗浄機において、 搬送中の被洗浄物との間でわずかな間隙を形成するよう
    に、前記洗浄液噴出ノズルの端部から前記搬送方向およ
    び該方向の反対方向に前記被洗浄物と平行に延び、前記
    洗浄液噴出ノズルの長さと概ね同じ幅を有するフラット
    バーを備えていることを特徴とする超音波洗浄機。
  2. 【請求項2】 前記フラットバーの搬送方向の両端が被
    洗浄物と反対側に折り返されている、請求項1記載の超
    音波洗浄機。
JP15081096A 1996-06-12 1996-06-12 超音波洗浄機 Pending JPH09330896A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15081096A JPH09330896A (ja) 1996-06-12 1996-06-12 超音波洗浄機

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JP15081096A JPH09330896A (ja) 1996-06-12 1996-06-12 超音波洗浄機

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JPH09330896A true JPH09330896A (ja) 1997-12-22

Family

ID=15504924

Family Applications (1)

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JP15081096A Pending JPH09330896A (ja) 1996-06-12 1996-06-12 超音波洗浄機

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JP (1) JPH09330896A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6983756B2 (en) * 1999-12-24 2006-01-10 M - Fsi Ltd. Substrate treatment process and apparatus
JP2011000571A (ja) * 2009-06-22 2011-01-06 Hitachi Plant Technologies Ltd フィルムの洗浄ノズル装置
US8539969B2 (en) * 2010-07-30 2013-09-24 Sematech, Inc. Gigasonic brush for cleaning surfaces
CN110153097A (zh) * 2019-05-17 2019-08-23 深圳市华星光电技术有限公司 设备清洗方法、装置及显影设备

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