JPH09330896A - 超音波洗浄機 - Google Patents
超音波洗浄機Info
- Publication number
- JPH09330896A JPH09330896A JP15081096A JP15081096A JPH09330896A JP H09330896 A JPH09330896 A JP H09330896A JP 15081096 A JP15081096 A JP 15081096A JP 15081096 A JP15081096 A JP 15081096A JP H09330896 A JPH09330896 A JP H09330896A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flat bar
- substrate
- cleaned
- ultrasonic
- cleaning liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
間でわずかな間隙を形成するように、洗浄液噴出ノズル
1eの端部から基板3の搬送方向および該方向と反対方
向に基板3と平行に延び、洗浄液噴出ノズル1eの長さ
と概ね同じ幅を有するフラットバー1fを備えている。
Description
ー、液晶ガラス基板を洗浄する超音波洗浄機に関する。
浄機の従来例の正面図と側面図である。
れる基板3の表面を洗浄するもので、超音波発振器4a
と、超音波信号ケーブル4bと、洗浄液供給パイプ4
c、洗浄機本体4dと、基板3の搬送方向と直交な方向
に延びる洗浄液噴出ノズル4eで構成されている。
洗浄機は、洗浄液噴出ノズルが細く絞り込まれた形状と
なっているため、その下を通過する被洗浄物をその細い
先端部のみでしか洗浄できず、洗浄効果がよくなかっ
た。
波洗浄機を、図5に示すように、被洗浄物の搬送方向に
複数台並べて使用するしか方法がなかった。
音波洗浄機を提供することにある。
は、搬送中の被洗浄物との間でわずかな間隙を形成する
ように、洗浄液噴出ノズルの端部から被洗浄物の搬送方
向および該方向の反対方向に被洗浄物と平行に延び、洗
浄液噴出ノズルの長さと概ね同じ幅を有するフラットバ
ーを備えている。
はそのまま下部に落ちるが、下を被洗浄物が通過する際
には、フラットバーと被洗浄物との間に水の膜ができ、
そこを超音波が伝達するため、フラットバー全面で被洗
浄物を洗浄できる。
リ、うねり)がなければ、大きい程よい。
の搬送方向の両端が被洗浄物と反対側に折り返されてい
る。
上面にかかって被洗浄物が再び汚れるのが防止される。
図面を参照して説明する。
施形態の超音波洗浄機の正面図、側面図、図2は図1の
部分拡大断面図である。
じ超音波発振器1aと超音波信号ケーブル1bと洗浄液
供給パイプ1cと洗浄機本体1dと洗浄液噴出ノズル1
eに加えて、フラットバー1fを新たに備えている。
の間でわずかな間隙を形成するように、洗浄液噴出ノズ
ル1eの端部から基板3の搬送方向および該方向と反対
方向に基板3と平行に延び、洗浄液噴出ノズル1eの長
さと概ね同じ幅を有している。
場合は洗浄液はそのまま下部に落ちるが、下を被洗浄物
である基板3が通過する際には、図2に示すように、フ
ラットバー1fと基板3との間に水の膜ができ、そこ
を、超音波が反射しながら伝達するため、フラットバー
全面で基板3を洗浄できる。
面図である。このフラットバー1fは基板3の搬送方向
の両端が上方に折り返され、これにより洗浄後の液がフ
ラットバー1fの上面にかかって基板3が再び汚れるの
が防止される。
の裏側にも設けて基板の裏面の洗浄を行うことができ
る。ただし、この場合、フラットバーは搬送ローラ間に
入らなければならず、表側を洗浄する場合よりも長さが
短くなる。
fは洗浄液噴出ノズル1eと一体になっているが、洗浄
液噴出ノズル1eに適宜な手段で後から取り付けられる
ようにしてもよい。
出ノズルの先端に、被洗浄物と平行に、かつ被洗浄物と
わずかな間隙をもってフラットバー備えることにより、
フラットバーと被洗浄物の間で水膜を作り、超音波を被
洗浄物に効果的に伝達して被洗浄物を洗浄することが可
能となり、洗浄効率が向上する効果がある。
(図1(1))と側面図(図1(2))である。
と側面図(図4(2))である。
う例を示す図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 搬送される薄板状の被洗浄物の搬送方向
と直角な方向に延びる洗浄液噴出ノズルを備え、前記被
洗浄物の対向する面を洗浄する超音波洗浄機において、 搬送中の被洗浄物との間でわずかな間隙を形成するよう
に、前記洗浄液噴出ノズルの端部から前記搬送方向およ
び該方向の反対方向に前記被洗浄物と平行に延び、前記
洗浄液噴出ノズルの長さと概ね同じ幅を有するフラット
バーを備えていることを特徴とする超音波洗浄機。 - 【請求項2】 前記フラットバーの搬送方向の両端が被
洗浄物と反対側に折り返されている、請求項1記載の超
音波洗浄機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15081096A JPH09330896A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 超音波洗浄機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15081096A JPH09330896A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 超音波洗浄機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09330896A true JPH09330896A (ja) | 1997-12-22 |
Family
ID=15504924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15081096A Pending JPH09330896A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 超音波洗浄機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09330896A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6983756B2 (en) * | 1999-12-24 | 2006-01-10 | M - Fsi Ltd. | Substrate treatment process and apparatus |
JP2011000571A (ja) * | 2009-06-22 | 2011-01-06 | Hitachi Plant Technologies Ltd | フィルムの洗浄ノズル装置 |
US8539969B2 (en) * | 2010-07-30 | 2013-09-24 | Sematech, Inc. | Gigasonic brush for cleaning surfaces |
CN110153097A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-08-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 设备清洗方法、装置及显影设备 |
-
1996
- 1996-06-12 JP JP15081096A patent/JPH09330896A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6983756B2 (en) * | 1999-12-24 | 2006-01-10 | M - Fsi Ltd. | Substrate treatment process and apparatus |
JP2011000571A (ja) * | 2009-06-22 | 2011-01-06 | Hitachi Plant Technologies Ltd | フィルムの洗浄ノズル装置 |
US8539969B2 (en) * | 2010-07-30 | 2013-09-24 | Sematech, Inc. | Gigasonic brush for cleaning surfaces |
CN110153097A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-08-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 设备清洗方法、装置及显影设备 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040623 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040819 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Effective date: 20040819 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040929 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050216 |