JP2759127B2 - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
- Publication number
- JP2759127B2 JP2759127B2 JP63164570A JP16457088A JP2759127B2 JP 2759127 B2 JP2759127 B2 JP 2759127B2 JP 63164570 A JP63164570 A JP 63164570A JP 16457088 A JP16457088 A JP 16457088A JP 2759127 B2 JP2759127 B2 JP 2759127B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- liquid
- passage
- housing
- wraparound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、超音波振動子の前面の液体の通路に気泡が
残留しないように構成した超音波洗浄装置に関する。
残留しないように構成した超音波洗浄装置に関する。
［従来技術］ この種の超音波洗浄装置として、第７図に示すように
筐体１にレンズ２及び超音波発生装置３を設け、また筐
体１のレンズ２の対向面に噴出口1aを設け、筐体１の側
面に液体注入口1bを設け、被洗浄物４に筐体１の噴出口
1aから超音波と液体とを噴出して洗浄するようにした装
置を本発明者が提案した（特願昭62−247153号参照）。
筐体１にレンズ２及び超音波発生装置３を設け、また筐
体１のレンズ２の対向面に噴出口1aを設け、筐体１の側
面に液体注入口1bを設け、被洗浄物４に筐体１の噴出口
1aから超音波と液体とを噴出して洗浄するようにした装
置を本発明者が提案した（特願昭62−247153号参照）。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、この従来の超音波洗浄装置では、液体
注入口1bから注入された液体が筐体１の側面に拡散して
上下に分流するために、超音波振動によって液体中に発
生した気泡が筐体１の噴出口1aから抜けないで筐体の隅
に残るため、間欠的に超音波が発生したとき、気泡によ
って超音波の圧力が相殺されてしまい、超音波及び液体
が噴出口１から勢いよく噴出されないという問題があっ
た。
注入口1bから注入された液体が筐体１の側面に拡散して
上下に分流するために、超音波振動によって液体中に発
生した気泡が筐体１の噴出口1aから抜けないで筐体の隅
に残るため、間欠的に超音波が発生したとき、気泡によ
って超音波の圧力が相殺されてしまい、超音波及び液体
が噴出口１から勢いよく噴出されないという問題があっ
た。
本発明は、超音波振動子の前面の液体の通路に気泡が
残留せず、噴出口から勢いよく液体及び超音波が噴出さ
れ、洗浄効率のよい超音波洗浄装置を提供することを目
的とするものである。
残留せず、噴出口から勢いよく液体及び超音波が噴出さ
れ、洗浄効率のよい超音波洗浄装置を提供することを目
的とするものである。
［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するために、本発明の超音波洗浄装置
では、筐体に長方形の超音波振動子を装着し、該超音波
振動子の背部に励振手段を装着し、前記超音波振動子の
超音波の放射面にレンズを装着し、前記超音波振動子の
超音波の放射面に対抗する筐体に細長い噴出口を形成
し、前記超音波振動子を駆動することによって発生した
超音波を前記レンズで前記噴出口の外側に焦点を結ん
で、前記噴出口の前面の被洗浄物を前記超音波振動子に
よって発生した超音波と液体により洗浄する超音波洗浄
装置において、前記筐体の上部の励振手段の側部に液体
注入口を形成し、該液体注入口の下部の筐体に液体拡散
部を形成し、該液体拡散部の側部に回り込み通路を形成
し前記液体拡散部の下部に前記回り込み通路と連接する
前記超音波振動子の放射面と平行な水平通路を形成し、
該水平通路を前記噴出口に連接するよう形成した超音波
洗浄装置であって、前記注入口から注入された前記液体
が前記液体拡散部にぶつかって拡散し、前記回り込み通
路を通って前記水平通路に流れることにより、前記液体
が前記水平通路で全体に等圧力となり、前記液体が前記
超音波振動子の放射面近傍に発生した気泡を前記噴出口
より押し出して、前記超音波振動子の近傍に気泡が残留
しないようにするものである。
では、筐体に長方形の超音波振動子を装着し、該超音波
振動子の背部に励振手段を装着し、前記超音波振動子の
超音波の放射面にレンズを装着し、前記超音波振動子の
超音波の放射面に対抗する筐体に細長い噴出口を形成
し、前記超音波振動子を駆動することによって発生した
超音波を前記レンズで前記噴出口の外側に焦点を結ん
で、前記噴出口の前面の被洗浄物を前記超音波振動子に
よって発生した超音波と液体により洗浄する超音波洗浄
装置において、前記筐体の上部の励振手段の側部に液体
注入口を形成し、該液体注入口の下部の筐体に液体拡散
部を形成し、該液体拡散部の側部に回り込み通路を形成
し前記液体拡散部の下部に前記回り込み通路と連接する
前記超音波振動子の放射面と平行な水平通路を形成し、
該水平通路を前記噴出口に連接するよう形成した超音波
洗浄装置であって、前記注入口から注入された前記液体
が前記液体拡散部にぶつかって拡散し、前記回り込み通
路を通って前記水平通路に流れることにより、前記液体
が前記水平通路で全体に等圧力となり、前記液体が前記
超音波振動子の放射面近傍に発生した気泡を前記噴出口
より押し出して、前記超音波振動子の近傍に気泡が残留
しないようにするものである。
［作用］ 本発明の超音波洗浄装置では、超音波振動子から発生
した超音波はレンズによって噴出口の外側に焦点がむす
ばれていることにより、超音波は噴出口より噴出される
が、注入口から注入された液体が液体拡散部材にぶつか
って拡散され、そして、液体拡散部材の側部の回り込み
通路を通り、液体拡散部材の下部の水平通路に流れるこ
とにより、液体が水平通路で全体に等圧となって噴出口
から流出することにより、超音波によって液体中に発生
した気泡は、水平方向に流れる液体により押されて噴出
口より排出されるので、気泡が超音波振動子の近傍の筐
体の中に残留することがなく、さらに、発生する超音波
及び液体の圧力は変化することなく、液体及び超音波を
効率よく噴出口より噴出することができる。
した超音波はレンズによって噴出口の外側に焦点がむす
ばれていることにより、超音波は噴出口より噴出される
が、注入口から注入された液体が液体拡散部材にぶつか
って拡散され、そして、液体拡散部材の側部の回り込み
通路を通り、液体拡散部材の下部の水平通路に流れるこ
とにより、液体が水平通路で全体に等圧となって噴出口
から流出することにより、超音波によって液体中に発生
した気泡は、水平方向に流れる液体により押されて噴出
口より排出されるので、気泡が超音波振動子の近傍の筐
体の中に残留することがなく、さらに、発生する超音波
及び液体の圧力は変化することなく、液体及び超音波を
効率よく噴出口より噴出することができる。
［実施例］ 第１図、第２図及び第３図を参照すると、本発明の超
音波洗浄装置では、筐体５に液体の注入口６及び内側が
傾斜した細長い噴出口７が設けられ、注入口６と噴出口
７を接続する通路８は注入口６の下部に液体拡散部8aが
形成され、この液体拡散部8aの側部の回り込み通路8bに
接続され、この回り込み通路8bから水平通路8cを通って
噴出口７に接続されている。そして、噴出口７の対向部
分にレンズ10を設けた長方形の超音波振動子11が設けら
れ、超音波振動子11の背部の筐体５に直方体の励振装置
９が装着され、通路８の水平通路8cは超音波振動子11の
超音波放射面に平行に形成されている。
音波洗浄装置では、筐体５に液体の注入口６及び内側が
傾斜した細長い噴出口７が設けられ、注入口６と噴出口
７を接続する通路８は注入口６の下部に液体拡散部8aが
形成され、この液体拡散部8aの側部の回り込み通路8bに
接続され、この回り込み通路8bから水平通路8cを通って
噴出口７に接続されている。そして、噴出口７の対向部
分にレンズ10を設けた長方形の超音波振動子11が設けら
れ、超音波振動子11の背部の筐体５に直方体の励振装置
９が装着され、通路８の水平通路8cは超音波振動子11の
超音波放射面に平行に形成されている。
このように構成した本実施例の超音波洗浄装置では、
筐体５の注入口６から注入された液体は液体拡散部8aに
ぶつかって拡散され、そして、通路８の液体拡散部8aか
ら液体拡散部8aの側部の回り込み通路8bを通り、水平通
路8cに送られることにより、水平通路8cで液体は全体に
等圧となって噴出口７から噴出され。また、励振装置９
を駆動することによって超音波振動子11から発生した超
音波は液体中に照射されるが、レンズ10が超音波の焦点
を噴出口７の外側に結ぶように構成しているので、液体
中に照射された超音波は噴出口から液体と共に噴出され
る。
筐体５の注入口６から注入された液体は液体拡散部8aに
ぶつかって拡散され、そして、通路８の液体拡散部8aか
ら液体拡散部8aの側部の回り込み通路8bを通り、水平通
路8cに送られることにより、水平通路8cで液体は全体に
等圧となって噴出口７から噴出され。また、励振装置９
を駆動することによって超音波振動子11から発生した超
音波は液体中に照射されるが、レンズ10が超音波の焦点
を噴出口７の外側に結ぶように構成しているので、液体
中に照射された超音波は噴出口から液体と共に噴出され
る。
ここで、超音波によって発生した気泡は、注入口６か
ら注入された液体が液体拡散部にぶつかって拡散し、通
路８の回り込み通路を通って水平通路8cに流れることに
より、全体に等圧力になるので、この液体によって噴出
口７より残留することなく排出される。
ら注入された液体が液体拡散部にぶつかって拡散し、通
路８の回り込み通路を通って水平通路8cに流れることに
より、全体に等圧力になるので、この液体によって噴出
口７より残留することなく排出される。
第４図は、本発明の他の実施例の超音波洗浄装置の構
成図で、筐体５に液体の注入口６及び液体拡散部8b、回
り込み通路8b、水平通路8c、噴出口７、励振装置９、レ
ンズ10、超音波振動子11の構成は上記実施例と同じであ
るが、本実施例では、噴出口７の一部7aを水晶とし、さ
らにレンズ10を水晶で構成する。
成図で、筐体５に液体の注入口６及び液体拡散部8b、回
り込み通路8b、水平通路8c、噴出口７、励振装置９、レ
ンズ10、超音波振動子11の構成は上記実施例と同じであ
るが、本実施例では、噴出口７の一部7aを水晶とし、さ
らにレンズ10を水晶で構成する。
また、第５図及び第６図を参照すると、本発明の実施
例の励振装置９では、超音波振動子11にステンレス、タ
ンタルまたは水晶のような部材からなるレンズ12が固着
され、超音波振動子11には電極11a、回り込み電極11b、
モニター電極11cが設けられ、平板レンズ12の放射面の
側部に傾斜した傾斜面13が設けられている。
例の励振装置９では、超音波振動子11にステンレス、タ
ンタルまたは水晶のような部材からなるレンズ12が固着
され、超音波振動子11には電極11a、回り込み電極11b、
モニター電極11cが設けられ、平板レンズ12の放射面の
側部に傾斜した傾斜面13が設けられている。
［発明の効果］ 本発明は、以上のように構成されているので、注入口
から注入された液体は液体拡散部で拡散され、液体拡散
部の側部の回り込み通路を通って水平通路に流れること
により、水平通路を流れる液体が全体に等圧になるの
で、超音波振動子からの超音波により発生した気泡は水
平通路を流れる液体によって筐体の通路に空気が残留す
ることなく排出され、超音波振動子から発生された超音
波及び液体を効率よく排出することができるという利点
がある。
から注入された液体は液体拡散部で拡散され、液体拡散
部の側部の回り込み通路を通って水平通路に流れること
により、水平通路を流れる液体が全体に等圧になるの
で、超音波振動子からの超音波により発生した気泡は水
平通路を流れる液体によって筐体の通路に空気が残留す
ることなく排出され、超音波振動子から発生された超音
波及び液体を効率よく排出することができるという利点
がある。
第１図は本考案の１実施例の超音波洗浄装置の平面図、
第２図は第１図の装置のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図
の裏面図、第４図は本考案の他の実施例の超音波洗浄装
置の平面図、第５図は本発明の他の実施例の励振装置の
一部の側面図及び平面図、第６図は第５図の実施例の励
振装置の側面図及び背面図、第７図は従来の超音波洗浄
装置の側面断面図である。 ５……筐体、６……注入口、７……噴出口、８……経
路、8a……液体拡散部、8b……回り込み通路、8c……水
平通路、９……励振装置、10……レンズ、11……超音波
振動子、12……平板のレンズ、13……傾斜面。
第２図は第１図の装置のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図
の裏面図、第４図は本考案の他の実施例の超音波洗浄装
置の平面図、第５図は本発明の他の実施例の励振装置の
一部の側面図及び平面図、第６図は第５図の実施例の励
振装置の側面図及び背面図、第７図は従来の超音波洗浄
装置の側面断面図である。 ５……筐体、６……注入口、７……噴出口、８……経
路、8a……液体拡散部、8b……回り込み通路、8c……水
平通路、９……励振装置、10……レンズ、11……超音波
振動子、12……平板のレンズ、13……傾斜面。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−46824（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−65370（ＪＰ，Ａ) 実開 昭54−110175（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭51−162675（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭35−12421（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭35−11567（ＪＰ，Ｂ１) 実公 昭41−128（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭56−33510（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭52−21932（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭57−32459（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭61−25899（ＪＰ，Ｙ２)
Claims (1)
- 【請求項１】筐体に長方形の超音波振動子を装着し、該
超音波振動子の背部に励振手段を装着し、前記超音波振
動子の超音波の放射面にレンズを装着し、前記超音波振
動子の超音波の放射面に対抗する筐体に細長い噴出口を
形成し、前記超音波振動子を駆動することによって発生
した超音波を前記レンズで前記噴出口の外側に焦点を結
んで、前記噴出口の前面の被洗浄物を前記超音波振動子
によつて発生した超音波と液体により洗浄する超音波洗
浄装置において、前記筐体の上部の励振手段の側部に液
体注入口を形成し、該液体注入口の下部の筐体に液体拡
散部を形成し、該液体拡散部の側部に回り込み通路を形
成し、前記液体拡散部の下部に前記回り込み通路と連接
する前記超音波振動子の放射面と平行な水平通路を形成
し、該水平通路を前記噴出口に連接するよう形成した超
音波洗浄装置であって、前記注入口から注入された前記
液体が前記液体拡散部にぶつかって拡散し、前記回り込
み通路を通って前記水平通路に流れることにより、前記
液体が前記水平通路で全体に等圧力となり、前記液体が
前記超音波振動子の放射面近傍に発生した気泡を前記噴
出口より押し出して、前記超音波振動子の近傍に気泡が
残留しないようにすることを特徴とする超音波洗浄装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164570A JP2759127B2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164570A JP2759127B2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 超音波洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0212202A JPH0212202A (ja) | 1990-01-17 |
| JP2759127B2 true JP2759127B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=15795681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63164570A Expired - Fee Related JP2759127B2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2759127B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09192618A (ja) * | 1996-01-17 | 1997-07-29 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 超音波洗浄装置 |
| JP2010005582A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Toray Eng Co Ltd | マイクロ流路の閉塞防止装置及び閉塞防止方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS41128Y1 (ja) * | 1964-06-29 | 1966-01-07 | ||
| JPS51162675U (ja) * | 1975-06-18 | 1976-12-24 | ||
| JPS54110175U (ja) * | 1978-01-23 | 1979-08-02 | ||
| JPS5946824A (ja) * | 1982-09-11 | 1984-03-16 | Agency Of Ind Science & Technol | 表面弾性波の音速測定法 |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP63164570A patent/JP2759127B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0212202A (ja) | 1990-01-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7828901B2 (en) | Method and apparatus to detect nanometer particles in ultra pure liquids using acoustic microcavitation | |
| US20070175502A1 (en) | Apparatus and method for delivering acoustic energy through a liquid stream to a target object for disruptive surface cleaning or treating effects | |
| JP2759127B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPS61141955A (ja) | 液体噴射装置 | |
| JPH10305248A (ja) | 超音波による液体噴射装置 | |
| JP3288313B2 (ja) | 超音波洗浄装置およびこれを用いた洗浄乾燥装置 | |
| JPH08117711A (ja) | 洗浄装置 | |
| JP3299830B2 (ja) | 振動ウォータジェット噴射装置およびその振動増幅子 | |
| JPS6258784B2 (ja) | ||
| JP2000085149A (ja) | マイクロホン、振動検知装置およびノズル詰まり検知装置 | |
| JP2566125B2 (ja) | 流液式超音波洗浄装置 | |
| JP2000334403A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2003181394A (ja) | 超音波洗浄方法及びその装置 | |
| JPH0811202B2 (ja) | 高周波洗浄用ノズル | |
| JP2521730B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2909631B2 (ja) | 小型噴水装置 | |
| JPH08281230A (ja) | 超音波反射面が抛物面である超音波洗浄機 | |
| JPH05200370A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPH0969506A (ja) | 超音波洗浄システム | |
| JPH08267028A (ja) | 基板の超音波洗浄機およびそれを用いた超音波洗浄装置 | |
| JPH0373343B2 (ja) | ||
| JPS59179357A (ja) | インクジエツト記録装置 | |
| JP2521730C (ja) | ||
| JPH0556285U (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPH06181955A (ja) | 気泡発生装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |