JP2001191500A

JP2001191500A - 超音波キャビテーションにもとづくクリーニング方法と装置

Info

Publication number: JP2001191500A
Application number: JP2000042021A
Authority: JP
Inventors: Okie Tani; 興衞谷
Original assignee: Tani Denkikogyo Co Ltd
Current assignee: Tani Denkikogyo Co Ltd
Priority date: 2000-01-16
Filing date: 2000-01-16
Publication date: 2001-07-17

Abstract

(57)【要約】【目的】高密度・精細・高集積の高度な印刷を意図して印刷時の
スクリーン版のクリーニングに関する方法と装置の提供
と且つその実現をスクリーン版に対する超音波キャビテ
ーションの発生にもとづき実現することにある。【構成】上記目的達成のため、本発明は、洗浄対象物
を上下２槽の容器を一対とするユニットを上下に配して
水密に狭持・漏液を回避し、ユニットに洗浄液を供給
し、洗浄対象物を対象に超音波キャビテーションを発生
可能に構成し、超音波キャビテーションの発生による超
音波洗浄手段で洗浄対象物をクリーニングする構成であ
り、主に、スクリーン版の印刷面を狭持可能に２槽一対
のユニットを版上下に構成し、ユニット洗浄液に超音波
キャビテーション発生に必要な条件を構成して、超音波
洗浄手段によりクリーニングする構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、洗浄対象物を容器で狭
持し洗浄可能な分野、例えばスクリーン印刷、充填・厚
膜塗布等に用いる装置のスクリーン版のクリーニングに
関する。主にプリント回路基板やウエハー等に電子部品
を装着する前に所定位置に印刷材・ペースト等を載着さ
せる等、スクリーン印刷で印刷材・ペースト等を対象物
に充填する電子部品・プリント基板の表面実装・ウエハ
ー等の導電端子の形成又厚膜塗布または、鏡面印刷によ
る加工等の産業分野である。

【０００２】

【従来の技術】通常・電子回路基板・導電端子板等のス
クリーン印刷に用いられる印刷装置のスクリーン版の印
刷時、又は印刷後のクリーニングは、概ね、１．クリー
ニング溶液の噴霧による散布、２．その後の布紙等によ
る清拭、３．両者の併用、４．別の装置内で溶剤に浸漬
して行われる。５．液をスポンジ・布等に浸して超音波
を付加する方式、この場合の超音波洗浄は超音波振動・
水の分子の加速度による洗浄であり、６．スクリーン版
のクリーニング溶剤の浸漬による清拭は印刷装置から使
用中のスクリーン版を取り外し、印刷装置外で別に設け
られた溶液によるクリーニング装置で行われている。
７．これらの選択的併用等であり、特に高精細・高密度
印刷は、スクリーン版を取り外しクリーニング溶剤によ
る版のクリーニングを印刷装置外で行う。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】課題は、高度精細な
ファインピッチのパターン印刷や導電端子形成のような
微小な印刷の要因で印刷不能をきたし、連続印刷を困難にする要因
であり、要因の回避にある。該、除去手段として超音
波洗浄技術をスクリーン版の洗浄に如何にして利用・可
能にするか。従来は超音波振動・水の分子の加速度によ
る洗浄であって、本考案は、超音波キャビテーション・
洗浄液の質・液体の純度と溶存空気・溶存酸素に着目し
超音波のキャビテーション・衝撃力を有効に活用して、
スクリーン版の印刷装置でのクリーニングを意図するも
のである。ニング精度の向上と３．スクリーン面のクリーニングを
良好にし、連続長時間の印刷による待出来る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段はスクリーン版のクリーニングに際して、まず、公知の超音波キャビテーションにもとづく洗浄、所
謂、キャビテーションによる強化システムは、超音波に
よって、液中に発生するキャビテーション（空洞崩壊現
象）による衝撃力、または、吸引爆発による吸引力を応
用する洗浄技術であり、スクリーン印刷装置のスクリー
ン版の印ションを印刷装置に作り出すことが可能か否か。可能
な場合のキャビテーションによる洗浄手段についてであ
る。斯様に、印刷装置でのスクリーン版でのキャビテー
ション活用によ段は、プリント基板を対象とするキャビテーションにも
とづく・洗浄対象物であるスクリーン版を対象にキャビ
テーションの発生をコントロールし、発生したキャビテ
ーションの衝撃力により洗浄し、超音波キャビテーショ
ンにもとづくスクリーン版の洗浄を課題とする。本考案
のスクリーン版クリーニングは、スクリーン版を印刷装
置内のスクリーン版を２０ｋヘルツ〜２００ｋヘルツの
周波数・超音波を持った粗密波によって生成した空洞・
キャビティーが崩壊するとき発生する衝撃力・マイクロ
ジェットを手段として利用して洗浄する方式であり、発
生した空洞崩壊現象・キャビテーションの衝撃力を利用
するものである。中核は、その液体を主成分とする気体
である。

【０００５】本考案は、上記スクリーン版以外に水密構
成可能な洗浄対象物、例えば、鉄板の一部、溶接部分の
みの洗浄等特定の範囲を限定して洗浄するものを対象可
能である。容器で狭持して水密構成可能な洗浄対象物を
容器で水蜜に包含して洗浄し、漏液を回避可能に構成
し、上下２槽の容器を一対とするユニットを上下に構成
し、ユニットに洗浄液を供給し、ユニットに洗浄対象物
を対象に超音波キャビテーション発生に必要な機構を具
備・構成して、超音波キャビテーションの発生による超
音波洗浄手段により洗浄対象物をクリーニングする構成
を特徴とする。以下、プリント基板を主に記述する。

【０００６】スクリーン版を使用して印刷するスクリー
ン版のクリーニングで、スクリーン版の印刷面を狭持可
能に支持部で支持されえる上下２槽の容器を一対とする
ユニットをスクリーン版上下に構成し、ユニットに洗浄
液をキャビテーション可能に供給し、ユニットに装置支
持部で支持されるスクリーン版に超音波キャビテーショ
ン発生に必要な条件、超音波振動子の発振周波数、洗浄
液のＤＯ値、洗浄液の種類、濃度、ユニットの形状等諸
事項を具備可能に構成して、超音波キャビテーションの
発生による超音波洗浄手段によりスクリーン版をクリー
ニングする構成を特徴とする。また、スクリーン版を使
用して印刷するスクリーン版のクリーニングに際し、印
刷装置のスクリーン版に移動可能に上・下各々の容器か
らなる一対の容器によりスクリーン版を挟持可能に構成
し、該スクリーン版を挟持する容器を一対として容器内
にスクリーン版洗浄水乃至は洗浄液又はリンス（以下、
これらを総称して洗浄液と称する。）等をクリーニング
の段階に応じて注入して、洗浄液注入時に上下からなる
一対の容器内のスクリーン版を対象に超音波キャビテー
ションを発生、自在にコントロール可能に構成して、超
音波によって発生するキャビテーションによってスクリ
ーン版をクリーニングする構成である。上記におけるス
クリーン版を挟持する上下各々の容器とスクリーン版を
水密に構成して、洗浄対象物外への洗浄液の漏出を防止
し、また、機密性を高めて一対の容器を減圧可能に構成
する。また、水密に構成する一対の容器の上部容器を洗
浄容器として使用可能に上部を開放する構成であり、上
部容器を開放型にするか否かは洗浄対象のスクリーン版
の洗浄内容により選択する。

【０００７】また、上下各々の容器に設けられるキャビ
テーション起因の超音波振動子は、洗浄対象により自在
に容器内又は外部に単数又は複数個を設け、また、単一
波長又は異なる波長の超音波振動子を設け、又これらを
自在に組み合わせて、超音波キャビテーションの発生・
制御可能に構成する。

【０００８】強化キャビテーション発生と安定したキャ
ビテーション維持の必要から一対の容器内洗浄液の空気
溶存量・酸素溶存量・ＤＯ値を所定量に維持する必要に
より、容器内のスクリーン版洗浄液を脱気可能にエアー
エクゼクターを設ける構成である。脱気装置の付設は、
洗浄液の循環経路に設け、乃至は回路から独立して洗浄
液を脱気する構成も可能であり、または併設も可能であ
る。また、回路中の脱気は、容器を耐圧可能に構成し、
またスクリーン版と水密耐圧に狭持可能に構成して容器
を減圧可能に構成し、容器での脱気にエアーエクゼクタ
ーを付設し、ＤＯ値の維持可能に構成する。

【０００９】キャビテーション発生を要する条件に必要
なＤＯ値に対応可能に使用洗浄液を脱気して、スクリー
ン版にキャビテーションを発生すべく狭持する容器又は
洗浄液供給槽を減圧乃至真空可能に減圧乃至真空装置を
併設する構成である。

【００１０】上記キャビテーション発生に対応した洗浄
液温度の維持継続に、スクリーン版を狭持する容器、洗
浄液供給槽、経路等の洗浄液を温度調節可能に加温冷却
装置を併設する構成である。

【００１１】また、スクリーン版をクリーニングする上
下各々の容器からなる一対の容器内に上下又は何れか一
方にキャビテーション発生を考慮して超音波反射板を設
ける構成である。また、洗浄剤並びにリンスの回路を独
立して個別に構成し、または一部回路をバルブで制御し
て併用する構成である。

【００１２】また、キャビテーションに必要なＤＯ値の
維持から洗浄液の空気との接触回避に容器に給排出する
洗浄液、リンス等の開口部を通過する経路を給排出可能
な循環手段により循環可能に、スクリーン版に洗浄液を
循環させる構成である。また、ＤＯ値の維持と省資源化
に使用洗浄液をろ過可能に、洗浄容器または容器開口部
等を通過する経路にろ過処理装置を付設する構成であ
る。また、液洗浄後にスクリーン版の乾燥の必要から、
クリーニング後スクリーン版の乾燥可能な温風、熱線、
減圧、超音波等乾燥手段により乾燥する構成である。

【００１３】また、キャビテーション維持の必要からク
リーニング洗浄液の溶存酸素量・ＤＯ値を計測する計測
装置を付設し、または計測値により脱気・エアーエグジ
ェクターを連動可能に構成し、洗浄液のＤＯ値制御を可
能に構成する。

【００１４】キャビテーションによるスクリーン版の洗
浄効果を上げるために、クリーニング洗浄液に砥粒、例
えば、ＧＣ＃２０００、また、スクリーン版を考慮して
酸性、アルカリ性剤により洗浄液のペーハーを調整可能
等の補助材を混入して洗浄液を構成する。また、クリー
ニング時にクリーニング状況が把握可能なように壁面の
全部、又は一部を透明にして、観察容易な構成にする。

【００１５】

【作用】上記のように構成されたクリーニングでは、
容器を２槽一対で構成する事により、スクリーン版を印
刷装置で狭持可能になり、装置内キャビテーションの発
生を可能とし強化キャビテーションにもとづく洗浄を可
能にする作用。キャビテーション効果によりスクリー
ン碍を回避する作用。容器が水蜜に構成可能であること
から容易に印刷装置に本装置を付設可能であり、また、
洗浄対象物を容器で包含して洗浄可能であり漏液障碍を
回避する作用。回路・経路にろ過装置を付設することによる再利用・省
資源作用。キャビテーション作用の洗浄・リンスを複
数回選択可能にする作用とクリーン度を容易に向上可能
にする作用。

【００１６】

【実施例】以下、上記課題を解決するために本発明の要
旨と構成について、クリーニング装置の実施例に基づき
図面を参照しながら説明する。図１は，スクリーン版を
印刷装置に装着した状態でマスクをクリーニングする図
示であるが、該図のスクリーン版に代えて、容器で狭持
して水密構成可能な洗浄対象物を水蜜に包含して洗浄す
る漏液を回避可能する構成は、スクリーン版に対し対象
物、例へば、溶接鉄板であれば該鉄板を配設する構成で
ある。上下２槽の容器を一対とするユニットを上下に構
成し、ユニットに洗浄液を供給し、ユニットに洗浄対象
物の鉄板を対象に超音波キャビテーション発生可能に機
構を具備・構成して、超音波キャビテーションの発生に
よる超音波洗浄手段により洗浄対象物をクリーニングす
ることを特徴とする構成である。

【００１７】スクリーン版印刷装置のクリーナ架台１の
上部に上面用容器懸架部に上面用容器駆動シリンジを付
設し、該シリンジ懸架部に上面用容器４を設け、容器に
超音波振動子８を容器内（図２の８‘）、又は外部図
（１の８）に単数、または複数個を発振波長自在に選択
可能に構成して、供給口１６と排出口１８とスクリーン
版に対し水蜜可能に容器のスクリーン版接面部にパッキ
ン１５を設け、受台３で支持されるスクリーン版２にク
リーニング時、スクリーン版２に駆動シリンジ１０によ
り、クリーニング指定位置に上記構成の容器（以下、上
記構成の容器をユニット装置、又はユニットと称す
る。）を移動して水蜜に載置する。他方スクリーン版下
面は上記上面構成とほぼ同様の構成であり、クリーナ架
台１の下面に下面用容器支持部を付設した下面用容器駆
動シリンジ１１を付設し、該シリンジ支持部に下面用容
器５と容器５に超音波振動子８と供給口１７と排出口１
９とスクリーン版に水蜜可能に容器のスクリーン版接面
部にパッキン１５とを設け、上面容器スクリーン版接面
のパッキン部と共に下面パッキン部で水密に、上下の該
構成の容器、ユニットにより版を両面から挟持する構成
である。

【００１８】また、時に、一対の容器に取り付け口１６
‘を設け、該開口部からスクリーン版表面に向かって超
音波スプレーの吐出部を設けてスクリーン版面に対し上
下両方向からまたは選択の一方向から液体スプレーの中
に超音波を乗せてスプレーで洗い流しながら超音波洗浄
可能に構成する（スプレー部機構及び端末部は、図示省
略する。）。

【００１９】また、開口部１６‘上部は、また、減圧対
応容器に構成し、上下容器２８，２９と減圧・真空ポン
プ４０、減圧経路３９による脱気の排出口であり、ま
た、スクリーン版を乾燥する減圧に際しての下部容器１
６’は上部容器の１６‘と共に排気口として機能する。

【００２０】上記上下の容器の供給・排出口は、破線の
経路並びに調節切り替えバルブ２０，２１、２２、２
３、でキャビテーション発生に必要な諸機構を連結し循
環可能に構成する。経路中に還流部２７に内蔵するろ過
処理装置４２、排出タンク４３、脱気装置・強化モジュ
ウール・エアーエグジェクター４４、また、還流部に洗
浄液タンク３２、リンスタンク３３にバルブ３４，３５
を介して連結して洗浄液を補充可能に構成し、温度調節
装置４４等を設けて連結し、供給・循環ポンプ２４、ポ
ンプ吐出口２５、ポンプ吸入口２６により循環可能に、
また、洗浄液排出ポンプ４１を循環経路に設け、循環ポ
ンプの機能と切り替えバルブ４５により洗浄液を、時に
循環路外に排出する構成である。また、時に、超音波ス
プレー可能に高圧噴射可能に高圧ポンプ４６を設ける。

【００２１】上記構成でクリーニング時、受台３で支持
されるスクリーン版２面に駆動シリンジ１０、１１によ
りユニットを洗浄所定位置に移動し水蜜に載置する。ユ
ニットを水密にして各容器の供給口１６、１７により洗
浄液を供給し、容器の任意の供給量時に停止して（充填
量の上面位置は任意である。）ユニット内スクリーン版
２を洗浄液で浸し、容器４，５を超音波振動子８（周波
数の波長制御は、任意であり所要キャビテーション発生
の周波数を選択し、概ね２０Ｈｚ〜２００Ｈｚ。）で超
音波を発振し、キャビテーションを発生可能に超音波振
動をコントロールして、任意の時間でキャビテーション
を停止し、洗浄液を排出し、排出後リンス液を同様に供
給し、スクリーン版を容器内でリンスし、または、リン
ス液を充填して超音波をコントロールしてキャビテーシ
ョンを発生しリンスする。または、リンス液を注入しつ
つリンス後排出、また該洗浄工程を適宜に１次乃至数次
行いクリーニングする。キャビテーション発生とかかる
洗浄・リンス工程の組み合わせは任意である。かくして
クリーニング後にユニットをスクリーン版から工程に従
い所定位置に復帰する構成である（図示省略）。斯様
に、本クリーニングは、供給排出可能な開口部１６，１
６’、１７，１８，１９を有する容器４と５、該２槽１
対の構成からなる容器による超音波キャビテーションの
発生と発生のコントロールによる、超音波振動子８によ
るキャビテーション発生による超音波洗浄手段にて印刷領域外への除去を行う。

【００２２】また、図３は、超音波発振子８‘を容器内
に設けた例である。また、キャビテーションの発生を所
定局所に可能に反射板４９を設けた構成である。

【００２３】また、ユニット、スクリーン版の上部容器
の上蓋部を開放型に構成し、オープンにキャビテーショ
ンクリーニングを行う構成を示す。スクリーン版のクリ
ーニング度の必要により、ユニットは開放乃至密閉に選
択可能に構成する。開放型では、エアーエクゼクターを
ユニットに連結し、または、洗浄液経路又は容器とは個
別に洗浄液を脱気する。

【００２４】スクリーン版の超音波キャビテーションに
よる洗浄・制御には、スクリーン版を洗浄する溶液のＤ
Ｏ値に大きく依存することから減圧乃至真空可能に減圧
乃至真空装置４０、乃至強化モジュウール等により、Ｄ
Ｏ値をコントロールする。また、温度も同様であり洗浄
液を冷却する必要から温度調節可能に加温冷却装置４４
を設ける。また、洗浄液は図示の例のようにほぼ単一循
環経路により工程を構成しても、また、別個に構成して
も可能であり、図示省略する。

【００２５】クリーニング後にスクリーン版の乾燥を行
う必要があり、温風、熱線、減圧、超音波等何らかの乾
燥手段により乾燥する構成である。特に乾燥手段を特定
する必要は無く適宜選択して行う。図１−２は、エアー
による単一の送出、排出によるエアー乾燥の例である。

【００２６】キャビテーションの必要条件であるクリー
ニング溶液の溶存酸素量・ＤＯ値を計測する計測装置を
経路、ユニット等に併設（図示省略す。）し、または計
測値により脱気エアーエグジェクター２７、真空減圧装
置４０をコントロール可能に構成し、洗浄液のＤＯ値を
制御する構成である。

【００２７】また、スクリーン版のクリーニングのキャ
ビテーション効果向上に、洗浄液に砥粒５０、ペーハー
調整剤５１等の補助材を混入して洗浄液を構成する。

【００２８】また、クリーニング状況が監視可能にユニ
ット壁側面を透明に目視可能にする等を特徴とする構成
である。

【００２９】の泡の超音波を遮断する効果の対策と、洗浄液・溶剤
は、優れた空気の吸収効果を持っており、液面、再生時
エアーと接触していることから急速に空気の溶解を促進
し、飽和状態を保つ傾向にあり、ＤＯ値をキャビテーシ
ョン発生に必要な０．５ｐｐｍ前後で維持し、状況によ
り０．５ｐｐｍから２００ｐｐｍに調節可能にコントロ
ールし、エアー溶解度を考慮して脱気を２７、４０等で
行い、超音波によるキャビテーション発生により洗浄す
る構成図である。

【００３０】破線、洗浄液流通回路、循環経路６０中に
設けられるバルブ類の２０，２１，２２，２３、３４，
３５、４５等は、超音波キャビテーション発生による洗
浄可能に、洗浄内容と洗浄の仕様等、洗浄の目的と洗浄
の条件と洗浄工程にもとづき各自在に制御可能に構成
し、コントロールして洗浄する構成を特徴とする。

【００３１】図４は、従来例のキャビテーション発生に
よる洗浄手段の一般的な構成図を示す。洗浄液５１を注
入充填した容器に懸垂部１に付設した架台に籠上容器に
洗浄対象物２を投入し、下面超音波部８で超音波キャビ
テーションを発生して籠内の洗浄物をクリーニングする
構成であり、クリーニング層に浸漬して超音波を発生さ
せ、キャビテーションによる超音波洗浄手段により洗浄
する。該容器に脱気槽５５にエアーエグジェクターを設
けて脱気し、洗浄液をクリーニング槽に供給し、洗浄液
を循環しクリーニングする構成である

【００３２】本実施例は、その趣旨に従い可変可能で限
定したものではなく、その本旨内にあって自在に機構を設けるなど機能付加可能である。スプレー洗浄
は、ユニット内取り付け口に脱着、方式等、任意に構成
可能である。

【００３３】

【発明の効果】本発明は、以上の説明から容易に理解さ
れるように、印刷に於いて下記のような効果を有する。

【００３４】上記のように構成されたクリーニングで
は、１，２槽にもとづく構成であることから印刷面のク
リーニングをキャビテーションによる超音波洗浄のクリ
ーニング効果が期待できる。２，反復的に洗浄、リンス
が可能であることから高いクリーニングレベルが期待で
きる。３，微細開口部の密集部分のクリーニングを可能
にする。４，安定した高度のクリーニングレベルを反復
維持可能である。５，非接触クリーニングであり、クリ
ーニングによる２次障碍を回避可能である。６、ユニッ
トの活用による高度クリーニングの簡便化の効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】スクリーン版の印刷装置装着時クリーニングを
示す断面要部構成図

【図１−２】スクリーン版のクリーニング時の乾燥例の
断面要部構成図

【図２】スクリーン版の印刷装置装着時クリーニングを
示す断面要部構成図

【図３】スクリーン版の印刷装置装着時クリーニングを
示す断面要部構成図

【図４】従来例のキャビテーション洗浄の構成概図

【符号の説明】

１．クリーナ架台、装置支持部２．印刷マスク３．マスク受け台４．上面用容器５．下面用容器８．８‘ 超音波振動子・単数または複数９．超音波振動子・単数または複数による洗浄液の超音
波高圧噴射口１０．上面用容器駆動シリンダー１１．下面用容器駆動シリンダー１３．吸入口１４．吐出口、１５．容器用パッキン１６．１６‘ 上面溶剤注入口、排出口、噴射口・耐圧
噴射口（多用途口）１７．下面溶剤注入口１８．上面溶剤排出口１９．下面溶剤排出口、排出口、噴射口・耐圧噴射口
（多用途口）２０．上面溶剤注入用流量調節バルブ２１．下面溶剤注入用流量調節バルブ２２．上面溶剤排出用流量調節バルブ２３．下面溶剤排出用流量調節バルブ２４．溶剤循環用ポンプ２５．ポンプ吐出口２６．ポンプ吸入口２７．還流部・エアーエクジェクター２８．耐圧容器部２９．耐圧容器部３１．廃液排出口３２．洗剤タンク３３．リンスタンク３４．流量調節バルブ３５．流量調節バルブ３６．乾燥装置エアー送排口（移動端部）３７．乾燥エアー排気送出口３８．乾燥エアー送出口３９．減圧対応経路３９‘ 減圧対応経路、吐出口４０．真空・減圧ポンプ、脱気強化モジュウール（脱気
装置）４１．排出ポンプ４２．ろ過処理装置４３．排出タンク４４．加温・冷却装置・温度コントローラー４５．切り替え・流量調節バルブ４６．高圧噴射ポンプ４７．透明側壁部４８．透明側壁部４９．超音波反射板５０．砥粒または混入液５１．洗浄液、洗浄液・リンス液・水・純水など５２．密閉型脱気槽５３．洗浄容器５４．洗浄液給排補助容器５５．循環経路５６．吊り下げ籠５７．排気口５８．発生キャビテーション５９．液面部６０．破線、洗浄液流通回路、循環経路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】洗浄対象物を容器で狭持して水密可能に構
成して洗浄し、または、上下２槽の容器を一対とするユ
ニットに洗浄液を供給し、ユニットの洗浄対象物を対象
に超音波キャビテーションを発生可能に構成して、超音
波キャビテーションの発生による超音波洗浄手段により
洗浄対象物をクリーニングすることを特徴とする対象物
のクリーニング方法と装置。
【請求項２】スクリーン版を使用して印刷するスクリー
ン版のクリーニングに関して、スクリーン版の印刷面を
スクリーン版を狭持可能に上下２槽の容器を一対とする
ユニットを版上下に構成し、ユニットに洗浄液を供給
し、ユニットにスクリーン版を対象に超音波キャビテー
ション発生に機構を具備可能に構成して、超音波キャビ
テーションの発生による超音波洗浄手段によりスクリー
ン版をクリーニングすることを特徴とするスクリーン版
のクリーニング方法と装置。
【請求項３】スクリーン版を使用して印刷するスクリー
ン版のクリーニングに関して、上下各々の容器からなる
一対の容器内にスクリーン版を挟持可能に構成し、スク
リーン版を挟持する容器内にスクリーン版洗浄水乃至は
洗浄液又はリンス（以下、共に洗浄液と称する。）等を
注入して、上下一対の容器内のスクリーン版に超音波キ
ャビテーションを発生、制御可能に構成して超音波によ
って発生するキャビテーションによってスクリーン版を
クリーニングすることを特徴とするスクリーン版のクリ
ーニング方法と装置。
【請求項４】スクリーン版を使用して印刷するスクリー
ン版のクリーニングに関して、上下各々の容器からなる
一対の容器内にスクリーン版を水密に挟持可能に構成
し、または、洗浄対象物外への洗浄液の漏出を防止し、
スクリーン版を挟持する容器内にスクリーン版洗浄液を
注入して、容器に超音波振動子を付設して、上下一対の
容器内洗浄液に超音波キャビテーションを発生、制御可
能に構成して超音波によって発生するキャビテーション
によってスクリーン版をクリーニングすることを特徴と
するスクリーン版のクリーニング方法と装置。
【請求項５】スクリーン版を使用して印刷するスクリー
ン版のクリーニングを上下各々の容器からなる一対の容
器をスクリーン版に水密に挟持可能に構成し、スクリー
ン版を挟持する容器内にスクリーン版洗浄液を注入し
て、容器に超音波振動子を付設して、上下一対の容器内
洗浄液に超音波キャビテーションを発生、制御可能に構
成して超音波によって発生するキャビテーションによる
スクリーン版のクリーニングに関して、上下の一対の容
器をスクリーン版に水密に容器上部を開放して構成し、
または上下をスクリーン版に水密に溶液を密封する構成
としてクリーニングすることを特徴とするスクリーン版
のクリーニング方法と装置。
【請求項６】スクリーン版を使用して印刷するスクリー
ン版のクリーニングに関して、上下各々の容器からなる
一対の容器内にスクリーン版を水密に挟持可能に構成
し、スクリーン版を挟持する容器内にスクリーン版洗浄
液を注入して、容器内又は外部に単数又は複数の波長の
単一又は異なる超音波振動子を設け、又これらを組み合
わせて、超音波キャビテーションの発生・制御可能に構
成して超音波によって発生するキャビテーションによっ
てスクリーン版をクリーニングすることを特徴とするス
クリーン版のクリーニング方法と装置。
【請求項７】スクリーン版を使用して印刷するスクリー
ン版をクリーニングする上下各々の容器からなる一対の
容器内にスクリーン版を水密に挟持可能に構成する容器
内のスクリーン版洗浄液を脱気可能にエアーエクゼクタ
ーを設けることを特徴とするスクリーン版のクリーニン
グ方法と装置。
【請求項８】スクリーン版を使用して印刷するスクリー
ン版をクリーニングにする上下各々の容器からなる一対
の容器内にスクリーン版を水密に挟持可能に構成し、ス
クリーン版を包含する容器内に超音波振動子を設けて、
超音波制御にもとづくキャビテーションによる洗浄に関
して、容器内のスクリーン版洗浄液のキャビテーション
可能に洗浄液経路又は個別に洗浄液容器に付設し、或い
は併設してエアーエクゼクターを設けることを特徴とす
るスクリーン版のクリーニング方法と装置。
【請求項９】スクリーン版を使用して印刷するスクリー
ン版をクリーニングする上下各々の容器からなる一対の
容器内にスクリーン版を水密に挟持可能に構成し、スク
リーン版の超音波キャビテーションによる洗浄・制御に
関して、スクリーン版を狭持する容器内又は洗浄液供給
槽内を減圧乃至真空可能に減圧乃至真空装置を併設する
ことを特徴とするスクリーン版のクリーニング方法と装
置。
【請求項１０】スクリーン版を使用して印刷するスクリ
ーン版をクリーニングする上下各々の容器からなる一対
の容器内にスクリーン版を水密に挟持可能に構成し、ス
クリーン版の超音波キャビテーションによる洗浄・制御
に関して、スクリーン版を狭持する容器内又は洗浄液供
給槽内又は途中経路に温度調節可能に加温冷却装置を併
設することを特徴とするスクリーン版のクリーニング方
法と装置。
【請求項１１】上記何れか一項の請求項のクリーニング
に関し、スクリーン版をクリーニングする上下各々の容
器からなる一対の容器内に上下又は何れか一方に超音波
反射板を設けることを特徴とするスクリーン版のクリー
ニング方法と装置。
【請求項１２】上記何れか一項の請求項のクリーニング
に関し、洗浄液並びにリンス等の工程を個別に構成する
ことを特徴とするスクリーン版のクリーニング方法と装
置。
【請求項１３】上記請求項の何れか１項のスクリーン版
を使用して印刷するスクリーン版のクリーニングの容器
に給排出する洗浄液に関し、ユニット開口部を通過する
経路にもとづく給排出可能な循環手段により循環可能
に、スクリーン版に洗浄液を循環させることを特徴とす
るスクリーン版のクリーニング方法と装置。
【請求項１４】上記請求項の何れか１項のスクリーン版
を使用して印刷するスクリーン版のクリーニングの容器
に給排出する洗浄液に関し、開口部を通過する経路に洗
浄液等のろ過処理装置を付設し、スクリーン版の洗浄液
をろ過させることを特徴とするスクリーン版のクリーニ
ング方法と装置。
【請求項１５】上記請求項の何れか１項のスクリーン版
を使用して印刷するスクリーン版のクリーニングに関し
て、クリーニング後スクリーン版の乾燥を行う温風、熱
線、減圧、超音波等乾燥手段により乾燥することを特徴
とするスクリーン版のクリーニング方法と装置。
【請求項１６】上記請求項の何れか１項のスクリーン版
を使用して印刷するスクリーン版のクリーニングに関し
て、クリーニング溶液の溶存酸素量・ＤＯ値を計測する
計測装置を付設し、または計測値による連動可能に脱気
エアーエグジェクター、または、減圧真空装置等を構成
し、洗浄液のＤＯ値を制御可能に構成することを特徴と
するスクリーン版のクリーニング方法と装置。
【請求項１７】上記請求項の何れか１項のスクリーン版
を使用して印刷するスクリーン版のクリーニングに関し
て、クリーニング溶液に砥粒、洗浄液のペーハー調整剤
等の補助材を混入して洗浄液を構成することを特徴とす
るスクリーン版のクリーニング方法と装置。
【請求項１８】上記請求項の何れか１項のスクリーン版
を使用して印刷するスクリーン版のクリーニングに関し
て、クリーニング時にクリーニング状況が把握可能なよ
うに壁面の全部、又は一部を透明にして、観察容易な構
成にすることを特徴とするスクリーン版のクリーニング
方法と装置。