JP2004358286A

JP2004358286A - フィルタの超音波洗浄方法

Info

Publication number: JP2004358286A
Application number: JP2003156095A
Authority: JP
Inventors: Miyuki Shibano; 美雪柴野
Original assignee: STAR CLUSTER KK
Current assignee: STAR CLUSTER KK
Priority date: 2003-06-02
Filing date: 2003-06-02
Publication date: 2004-12-24

Abstract

【課題】各種フィルタを超音波洗浄するに際し、洗浄力を高めると同時に、効率的に洗浄出来るようにする。
【解決手段】洗浄液を抜いた洗浄槽１内にフィルタＦを投入し、洗浄槽１内を０．０９Ｍｐａ以下の負圧（ゲージ圧）に真空引きするとともに、洗浄槽１内に脱気した洗浄液（溶存酸素量３ｍｇ／ｌ以下）を導入する。その後、洗浄槽１内を大気圧状態に戻し、洗浄槽１内の洗浄液をフィルタＦの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら循環させて洗浄液中の気体を脱気すると同時に、液中に超音波を放射して超音波洗浄する。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば金属メッシュや多孔質樹脂や不織布や焼結金属等の各種材料からなるフィルタを超音波洗浄する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、塵埃や異物等を除去するフィルタを超音波で洗浄する技術として、例えばフィルタと超音波振動子との相対距離を調整可能な移動手段を設け、この移動手段によってフィルタの厚み方向の相対距離を移動させながらフィルタに向けて超音波を放射する技術（例えば、特許文献１参照）や、フィルタの汚れ度合いに応じて洗浄方法を選択するようにし、汚れの多いものについては、洗剤等を混入した下地液等にフィルタを浸けて下地処理した後、超音波洗浄し、汚れの少ないものは下地処理を施さないで超音波洗浄するような技術（例えば、特許文献２参照）等が知られている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−１８８３２２号公報
【特許文献２】
特開２００１−１７８０９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記のような技術は、いずれも空気を多量に含むフィルタを超音波洗浄するにあたり、空気を抜かないでそのまま超音波をかけるようにしているため、洗浄液中に気泡が混入して超音波のキャビテーションの衝撃力が弱くなり、洗浄効果を高めることが出来ないという問題がある。
また、前者のようにフィルタと超音波振動子の相対位置を移動させながら超音波を放射する方法は、フィルタが超音波を透過する場合、発振波と反射波の山と山を重なり合わせてキャビテーションの衝撃力を高めるような効果はあまり期待できなず、このため、洗浄効果に限界があるという問題がある。
また、後者のようにフィルタの汚れの程度を判断して洗浄方法を選択する技術は、多数のフィルタを洗浄処理するような場合には手間がかかると同時に、洗浄効率が悪いという問題がある。
【０００５】
そこで本発明は、各種フィルタを超音波洗浄するに際し、洗浄力を高めると同時に、効率的に洗浄出来るようにすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明は、洗浄槽内の脱気された洗浄液でフィルタを超音波洗浄する方法において、前記洗浄槽内の洗浄液から脱気するとともに、洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させ、同時に液中に超音波を放射して超音波洗浄するようにした。
【０００７】
ここで、洗浄液中に超音波を放射すると、液中に微小な真空核のキャビテーションが発生し、このキャビテーションの生成時と爆発時に衝撃が発生するが、洗浄液を脱気することにより、キャビテーションの衝撃力が強まり、また超音波の伝播特性が向上することが知られている。このため、超音波洗浄中、洗浄槽内の洗浄液を脱気することにより洗浄効果を高めるようにする。また、フィルタの濾過面に付着する異物等は、洗浄液を逆洗方向に流動させることにより除去作用が高まるため、超音波洗浄と組み合わせることにより、強力な洗浄効果を得ることができる。
ここで、洗浄液を逆洗方向に流動させる方法としては、例えば洗浄槽内の洗浄液を循環させながら脱気する場合、洗浄液の循環流が逆洗方向に一致するようにしても良く、フィルタに付着するゴミ等が多量である場合等においては、洗浄液を逆洗方向に流動させつつ、多量のゴミ等が含まれる洗浄液を排水しながら洗浄するようにしても良い。
ここで、フィルタの種類や形状や材質等は任意である。
【０００８】
また本発明では、洗浄液を抜いた洗浄槽内にフィルタを投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きし、この洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入するとともに、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻し、洗浄槽内の洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら液中に超音波を放射して超音波洗浄するようにした。
【０００９】
このように、洗浄液を抜いた洗浄槽にフィルタを投入し、洗浄槽内を真空引きした後、脱気した洗浄液を導入して超音波洗浄するようにすれば、フィルタ内に含まれるの多量の空気を事前に除去することが出来、洗浄液に気泡が混入して超音波による洗浄力が低下するような不具合がない。
また、上記のような手順を踏み、これを繰り返すことにより、大量のフィルタの洗浄作業でも効率良く且つ円滑に行うことができる。
更に、洗浄する際、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻すことにより、キャビティの衝撃力をより高めることが出来る。これに対して、洗浄槽内を真空状態に保ったまま超音波洗浄すると、例えば、キャビティが消滅する際（周囲の液体を吸収する吸収爆発）の衝撃力が弱まる等によって、洗浄効果をあまり高めることが出来ない。
尚、洗浄液中の洗浄液を循環させて脱気する場合、循環流が逆洗方向に一致するようにすれば好適である。
【００１０】
また本発明では、前記洗浄槽を真空引きする際の洗浄槽内の真空度を０．０９Ｍｐａ以下の負圧（ゲージ圧）にするようにした。
ここで、真空度０．０９Ｍｐａ以下の負圧（ゲージ圧）とは、大気圧より０．０９Ｍｐａ以上低い圧力であり、真空度は低ければ低いほど効果的であるが、実用上、大気圧より０．０９Ｍｐａ（ゲージ圧）低い負圧であれば問題は生じない。これに対して、真空度がこのレベルまで達しないと、その後、洗浄液を導入した際、ワークの形状等によって空気溜まりが生じたりする等によって、洗浄効果が低下したり、洗浄時間が長くなったりする等の不具合が生じる。
【００１１】
また本発明では、前記超音波を放射する際、フィルタの濾過面上流側から放射するようにした。
ここで、浄化用流体をフィルタで濾過する場合、異物等はフィルタの濾過面上流側に付着、堆積するのが一般的である。このため、超音波の放射方向をフィルタの濾過面上流側から放射するようにすれば、異物等の剥離、除去作用が高まる。
【００１２】
また本発明では、前記洗浄槽内の洗浄液の脱気度を、溶存酸素量３ｍｇ／ｌ以下とするようにした。
このように、洗浄液の脱気度を、溶存酸素量を３ｍｇ／ｌ以下にすれば、キャビテーションの衝撃力を高めるのに有効である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について添付した図面に基づき説明する。
ここで図１は本発明に係る洗浄方法を実施するための装置構成の一例を示す説明図、図２は図１の装置に適用されるフィルタの説明図、図３は他のフィルタに適用される他の装置構成の説明図、図４は同フィルタの説明図である。
【００１４】
本発明に係るフィルタの超音波洗浄方法は、例えば各種目的で使用されるフィルタを再使用するための洗浄技術に関し、洗浄槽内の洗浄液を循環させて脱気する際、フィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら循環させ、これと同時に超音波洗浄することを特徴としている。
【００１５】
このようなフィルタの種類や形状や材質等は任意であるが、その一例を説明すると、図２に示すようなフィルタＦは碁盤型のディスク形状をしており、中央部に浄化用の流体を流通させるための流入口ｈを備えるとともに、その周囲の内側部分には微細なメッシュａが配設され、その外側周囲を目の粗いメッシュｂで覆って構成している。そして、例えばこのようなフィルタＦを筒内等に数段積み重ねて上下に圧縮することにより、各フィルタＦの流入口ｈを上下方向に連通させ、例えば最下段のフィルタＦの流入口ｈから浄化用の流体を導入して、各メッシュａ、ｂを通して濾過するようにしている。
そして、このような形態のフィルタＦでは、微細なメッシュａの内側付近が濾過面上流側Ｆｘとなり、この部分Ｆｘに異物等が付着、堆積することになる。
【００１６】
上記のような形態のフィルタＦを洗浄する装置構成の一例は図１の通りであり、この装置では、フィルタＦを超音波洗浄する洗浄槽１と、この洗浄槽１との間で洗浄液をやりとりする貯留タンク２と、洗浄槽１内を真空引きする真空引き手段３と、洗浄槽１内の洗浄液を循環させて脱気するための循環・脱気手段４と、洗浄槽１内にフィルタＦを保持して位置決めするワーク保持手段５を備えている。
【００１７】
前記洗浄槽１は、超音波振動子６が配設される洗浄室７の隣にオーバーフロー室８を備えており、また、洗浄槽１の上部にはパッキン１０を介して蓋部１１が開閉自在に設けられている。そして、この蓋部１１には、洗浄槽１内を大気圧に開放するための大気開放ライン２８が接続され、バルブによって開閉自在にされている。
【００１８】
前記貯留タンク２は、洗浄槽１の下方に配置されており、また前記洗浄槽１と貯留タンク２との間には、洗浄液をやりとりするための洗浄液流通ライン１２が設けられ、この洗浄液流通ライン１２は、洗浄槽１側で複数の分岐ライン１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄとなって洗浄槽１に接続されている。
また、この貯留タンク２には、図示を省略した循環・脱気回路が接続され、貯留タンク２の洗浄液を循環させて液中に含まれる気体を脱気するようにされている。
【００１９】
前記真空引き手段３は、洗浄槽１に接続される真空引きライン１３と、このライン１３の途中に配設されるトラップ筒１４と、真空引きライン１３の延出端部が接続される真空ポンプ１５を備えており、この真空ポンプ１５を作動させることにより、洗浄槽１内を真空引きできるようにされている。
【００２０】
前記ワーク保持手段５は、前記蓋部１１に対して上下に摺動自在なスライド部材１６と、このスライド部材１６に対して独立に上下動自在な水平部材１７を備えており、この水平部材１７の先端部には、中空筒状のパイプ部材１８が固着され、このパイプ部材１８の下端部には、中心部に穴を有する上面押え部材２０が取り付けられるとともに、前記スライド部材１６の下端側は、Ｌ字型に折れ曲がってその延出端部に下面受け部材２１が取り付けられている。
【００２１】
そして、スライド部材１６の所定箇所には、スライド部材１６が所定ストローク上昇した時点で、蓋部１１に係合して蓋部１１を共に上昇させるための係合部材（不図示）が設けられており、スライド部材１６と蓋部１１を所定位置まで上昇させた状態で、水平部材１７だけを更に上昇させ、下面受け部材２１上にフィルタＦを載せ、次いで、水平部材１７を降下させることにより、上面押え部材２０と下面受け部材２１でフィルタＦの上下面を挟み込んで保持するようにしている。
またこの際、上面押え部材２０の中心部の穴を通して、フィルタＦの中央の流入口ｈがパイプ部材１８の筒内に連通するようにしている。
【００２２】
前記循環・脱気手段４は、前記洗浄液流通ライン１２の途中に接続される第１引出しライン２２と、前記パイプ部材１８の上端部に接続される第２引出しライン２３と、第１引出しライン２２の延出端部に接続される脱気筒２４と、この脱気筒２４に接続されるバキュームポンプ２５を備えており、脱気筒２４には、脱気した洗浄液を洗浄槽１に戻すための戻しライン２６が接続され、この戻しライン２６の途中には、循環ポンプ２７を設けている。
【００２３】
そして、前記第２引出しライン２３の延出端部は、第１引出しライン２２の途中に接続されており、洗浄槽１から引出した洗浄液と、パイプ部材１８から引出した洗浄液を合流させて脱気筒２４に送り込み、洗浄液中に含まれる気体を脱気した後、循環ポンプ２７により洗浄液を洗浄槽１内に戻すようにしている。
尚、第２引出しライン２３の途中には、ストレーナ３０を設けている。
【００２４】
以上のような装置構成によるフィルタＦの洗浄方法について説明する。
まず、洗浄槽１内の洗浄液を抜いて貯留タンク２内に移送し、貯留タンク２内の洗浄液を、図示を省略した循環・脱気回路に送り込んで循環させ、洗浄液中に含まれる気体を脱気する。この時の脱気度は、溶存酸素量３ｍｇ／ｌ以下としている。
因みに、この時の洗浄槽１内の洗浄液は、サイクルタイムの短縮を図るため完全に全量を抜かないで、超音波振動子６の上面付近が液面になるような量を残し、このとき洗浄槽１内に残った洗浄液は、第１引出しライン２２を通して循環・脱気手段４を循環させ、洗浄液に含まれる気体を脱気する。この時の脱気度も、溶存酸素量３ｍｇ／ｌ以下である。
【００２５】
その状態で、ワーク保持手段５のスライド部材１６を上昇させ、水平部材１７を更に上昇させた状態にして、下面受け部材２１上にフィルタＦを載置し、その後、水平部材１７を降下させて上面押え部材２０でフィルタＦを押え付ける。するとフィルタＦは上面押え部材２０と下面受け部材２１で挟まれた状態で保持される。
そして、フィルタＦを保持したままスライド部材１６を降下させることにより、途中から蓋部１１も降下して洗浄槽１に蓋がされる。
【００２６】
次いで、真空引き手段３の真空ポンプ１５を作動させ、洗浄槽１内を真空引きすると、蓋部１１のパッキン１０が密着して洗浄槽１内が真空状態にされ、ゲージ圧で−０．０９Ｍｐａ以下の真空度が得られると、洗浄液流通ライン１２の各分岐ライン１２ａ〜１２ｄのバルブを開く。すると、貯留タンク２内の洗浄液は自動的に負圧の洗浄槽１内に吸引され、フィルタＦが洗浄液中に浸漬した状態にされる。
このとき、洗浄槽１内の洗浄液は、継続して第１引出しライン２２を通して循環・脱気手段４に送り込まれ、脱気された洗浄液が戻しライン２６から戻るよう循環しており、洗浄液の脱気度は、溶存酸素量３ｍｇ／ｌ以下が維持されている。
【００２７】
次に、蓋部１１の大気開放ライン２８のバルブを開いて洗浄槽１内が大気圧に戻される。
そして、循環・脱気手段４の第１引出しライン２２のバルブが閉じられるとともに、第２引出しライン２３のバルブが開かれ、洗浄液はパイプ部材１８を通して引き出されるようになり、これと同時に超音波振動子６の作動が開始される。すると、パイプ部材１８や第２引出しライン２３を通して引出された洗浄液は、脱気筒２４に送り込まれて脱気された後、戻しライン２６から戻され、これが循環することになるが、この洗浄液の流動方向は、フィルタＦの濾過面に対して逆洗方向となり、これに超音波のキャビテーションが付加されて、フィルタＦの濾過面に付着、堆積する異物等を効果的に除去出来る。
【００２８】
また、当初の洗浄槽１内の真空度が、ゲージ圧で−０．０９Ｍｐａ以下であるため、洗浄液を導入した際に、気泡が混入するような不具合がなく、洗浄効果が高まると同時に、洗浄液中の溶存酸素量が３ｍｇ／ｌ以下であるため、キャビテーションの衝撃力が強く、また超音波の伝播特性も良好である。
【００２９】
そして、フィルタＦの超音波洗浄が終えると、洗浄液流通ライン１２の各分岐ライン１２ａ〜１２ｄのバルブを開き、洗浄槽１内の洗浄液を自重で貯留タンク２に戻す。
以上のような操作を繰り返すことにより、大量のフィルタＦでも効率的且つ円滑に洗浄することが出来る。
【００３０】
次に、別のタイプのフィルタＦの洗浄例について、図３及び図４に基づき説明する。このフィルタＦは、図４に示すように、ケースＣの内部に折りひだを有する濾材ｅが設けられ、ケースＣ内に浄化用の流体を導入して、濾材ｅを通して濾過するようなタイプのものであり、濾材ｅの濾過面上流側Ｆｘに異物等が付着、堆積する。
【００３１】
このような装置構成の一例は図３の通りであり、洗浄槽１の洗浄室７以外の部分は前記例と同様であるため、以下、洗浄室７部分だけについて説明する。
この洗浄室７は、フィルタＦの周縁部を載置する載置台３１と、この載置台３１上に設けられるシール部材３２を備えており、フィルタＦを載置台３１上に載置すると、シール部材３２によってフィルタＦと載置台３１の間が液密状にシールされるようにしている。
【００３２】
そして、このフィルタＦの下方には、超音波振動子６が配設されるとともに、洗浄室７の上部側には、脱気した洗浄液を戻す戻しライン２６が接続され、また載置台３１より下方の洗浄室７には、洗浄液を引出して脱気筒２４に向けて送り出すための引出しライン３３が接続されている。
【００３３】
以上のような洗浄室７において、フィルタＦの濾過面上流側Ｆｘを下方に向けて載置台３１に載置し、周縁下端部を液密状にシールした後、洗浄槽１内に洗浄液を導入し、脱気のための洗浄液を引出しライン３３から吸引するとともに、脱気した洗浄液を戻しライン２６から戻すように循環させると、洗浄液の流動方向は、フィルタＦの濾過面に対して逆洗方向となる。そして超音波振動子６を作動させれば、フィルタＦの濾過面に付着、堆積する異物等を効果的に除去出来る。
【００３４】
また、超音波の放射方向がフィルタＦの濾過面上流側Ｆｘからであるため、フィルタＦに付着、堆積する異物等を剥離、除去する作用が一層効果的に行われる。
因みに、洗浄した後のフィルタＦの乾燥においては、洗浄液を洗浄液流通ライン１２から貯留タンク２に排出した後、戻しライン２６から熱風を導入して引出しライン３３から熱風を排出するようにすれば、フィルタＦの乾燥も同時に行うことが出来る。
尚、このような乾燥については、図１に示す装置構成のフィルタＦの場合でも適用可能である。
【００３５】
尚、本発明は以上のような実施形態に限定されるものではない。本発明の特許請求の範囲に記載した事項と実質的に同一の構成を有し、同一の作用効果を奏するものは本発明の技術的範囲に属する。
例えば、洗浄装置の回路構成等は一例であり、また、フィルタＦの形状や材質等も任意である。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように本発明に係るフィルタの超音波洗浄方法は、洗浄槽内の脱気された洗浄液でフィルタを超音波洗浄する際、洗浄槽内の洗浄液から脱気するとともに、洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させ、同時に液中に超音波を放射して超音波洗浄するようにしたため、濾過面に付着する異物等の除去作用が高まって強力な洗浄効果を得ることができる。
また、洗浄液を抜いた洗浄槽内にフィルタを投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きし、この洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入するとともに、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻し、洗浄槽内の洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら液中に超音波を放射して超音波洗浄するようにすれば、事前の真空引き操作によってフィルタに含まれる多量の空気を排出することができ、超音波洗浄時に液中に気泡が発生しにくくなって洗浄効果を高めることが出来る。また、上記手順を踏むことで、大量のフィルタを洗浄するときでも、洗浄作業を効率良く行うことができる。
この際、洗浄槽内に洗浄液を導入する前の洗浄槽内の真空度を０．０９Ｍｐａ以下の負圧（ゲージ圧）にすれば、洗浄効果が低下するような不具合がなく、また、洗浄槽内の洗浄液の脱気度を、所定値以下にすることで、キャビテーションの衝撃力を高めるのに有効であり、洗浄効果を高めることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る洗浄方法を実施するための装置構成の一例を示す説明図
【図２】図１の装置に適用されるフィルタの説明図
【図３】他のフィルタに適用される他の装置構成の説明図
【図４】同フィルタの説明図
【符号の説明】
１…洗浄槽、２…貯留タンク、３…真空引き手段、４…循環・脱気手段、５…ワーク保持手段、６…超音波振動子、Ｆ…フィルタ、Ｆｘ…濾過面上流側。

【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため本発明は、洗浄槽内の脱気された洗浄液でフィルタを超音波洗浄する方法において、前記洗浄槽内の洗浄液を循環させて脱気するとともに、循環流によって生じる洗浄液の流動方向をフィルタの濾過面に対して逆洗方向とし、同時に液中に超音波を放射して超音波洗浄するようにした。

【０００７】
ここで、洗浄液中に超音波を放射すると、液中に微小な真空核のキャビテーションが発生し、このキャビテーションの生成時と爆発時に衝撃が発生するが、洗浄液を脱気することにより、キャビテーションの衝撃力が強まり、また超音波の伝播特性が向上することが知られている。このため、超音波洗浄中、洗浄槽内の洗浄液を脱気することにより洗浄効果を高めるようにする。また、フィルタの濾過面に付着する異物等は、洗浄液を逆洗方向に流動させることにより除去作用が高まるため、超音波洗浄と組み合わせることにより、強力な洗浄効果を得ることができる。
ここで、洗浄液を逆洗方向に流動させる方法としては、洗浄槽内の洗浄液を循環させながら脱気するようにし、洗浄液の循環流が逆洗方向に一致するようにする。
ここで、フィルタの種類や形状や材質等は任意である。

【０００８】
また本発明では、洗浄液を抜いた洗浄槽内にフィルタを投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きし、この洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入するとともに、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻し、洗浄槽内の洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら循環させて循環液から脱気し、洗浄槽内の液中に超音波を放射して超音波洗浄するようにした。

【０００９】
このように、洗浄液を抜いた洗浄槽にフィルタを投入し、洗浄槽内を真空引きした後、脱気した洗浄液を導入して超音波洗浄するようにすれば、フィルタ内に含まれるの多量の空気を事前に除去することが出来、洗浄液に気泡が混入して超音波による洗浄力が低下するような不具合がない。
また、上記のような手順を踏み、これを繰り返すことにより、大量のフィルタの洗浄作業でも効率良く且つ円滑に行うことができる。
更に、洗浄する際、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻すことにより、キャビティの衝撃力をより高めることが出来る。これに対して、洗浄槽内を真空状態に保ったまま超音波洗浄すると、例えば、キャビティが消滅する際（周囲の液体を吸収する吸収爆発）の衝撃力が弱まる等によって、洗浄効果をあまり高めることが出来ない。
尚、洗浄液中の洗浄液を循環させて脱気する場合、循環流が逆洗方向に一致するようにする。

【００３６】
【発明の効果】
以上のように本発明に係るフィルタの超音波洗浄方法は、洗浄槽内の脱気された洗浄液でフィルタを超音波洗浄する際、洗浄槽内の洗浄液を循環させて脱気するとともに、循環流によって生じる洗浄液の流動方向をフィルタの濾過面に対して逆洗方向とし、同時に液中に超音波を放射して超音波洗浄するようにしたため、濾過面に付着する異物等の除去作用が高まって強力な洗浄効果を得ることができる。
また、洗浄液を抜いた洗浄槽内にフィルタを投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きし、この洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入するとともに、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻し、洗浄槽内の洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら循環させて循環液から脱気し、洗浄槽内の液中に超音波を放射して超音波洗浄するようにすれば、事前の真空引き操作によってフィルタに含まれる多量の空気を排出することができ、超音波洗浄時に液中に気泡が発生しにくくなって洗浄効果を高めることが出来る。また、上記手順を踏むことで、大量のフィルタを洗浄するときでも、洗浄作業を効率良く行うことができる。
この際、洗浄槽内に洗浄液を導入する前の洗浄槽内の真空度を０．０９Ｍｐａ以下の負圧（ゲージ圧）にすれば、洗浄効果が低下するような不具合がなく、また、洗浄槽内の洗浄液の脱気度を、所定値以下にすることで、キャビテーションの衝撃力を高めるのに有効であり、洗浄効果を高めることが出来る。

【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明は、洗浄液を抜いた洗浄槽内にフィルタを投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きし、この洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入するとともに、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻し、洗浄槽内の洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら循環させて循環液から脱気し、洗浄槽内の液中に超音波を放射して超音波洗浄するようにした。

【０００７】
ここで、洗浄液中に超音波を放射すると、液中に微小な真空核のキャビテーションが発生し、このキャビテーションの生成時と爆発時に衝撃が発生するが、洗浄液を脱気することにより、キャビテーションの衝撃力が強まり、また超音波の伝播特性が向上することが知られている。このため、超音波洗浄中、洗浄槽内の洗浄液を脱気することにより洗浄効果を高めるようにする。また、フィルタの濾過面に付着する異物等は、洗浄液を逆洗方向に流動させることにより除去作用が高まるため、超音波洗浄と組み合わせることにより、強力な洗浄効果を得ることができる。

【０００８】
ここで、洗浄液を逆洗方向に流動させる方法としては、洗浄槽内の洗浄液を循環させながら脱気するようにし、洗浄液の循環流が逆洗方向に一致するようにする。
ここで、フィルタの種類や形状や材質等は任意である。

【０００９】
また、洗浄液を抜いた洗浄槽にフィルタを投入し、洗浄槽内を真空引きした後、脱気した洗浄液を導入して超音波洗浄するようにすれば、フィルタ内に含まれるの多量の空気を事前に除去することが出来、洗浄液に気泡が混入して超音波による洗浄力が低下するような不具合がない。
また、上記のような手順を踏み、これを繰り返すことにより、大量のフィルタの洗浄作業でも効率良く且つ円滑に行うことができる。
更に、洗浄する際、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻すことにより、キャビティの衝撃力をより高めることが出来る。これに対して、洗浄槽内を真空状態に保ったまま超音波洗浄すると、例えば、キャビティが消滅する際（周囲の液体を吸収する吸収爆発）の衝撃力が弱まる等によって、洗浄効果をあまり高めることが出来ない。
尚、洗浄液中の洗浄液を循環させて脱気する場合、循環流が逆洗方向に一致するようにする。

【００３６】
【発明の効果】
以上のように本発明に係るフィルタの超音波洗浄方法は、洗浄液を抜いた洗浄槽内にフィルタを投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きし、この洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入するとともに、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻し、洗浄槽内の洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら循環させて循環液から脱気し、洗浄槽内の液中に超音波を放射して超音波洗浄するようにすれば、事前の真空引き操作によってフィルタに含まれる多量の空気を排出することができ、超音波洗浄時に液中に気泡が発生しにくくなって洗浄効果を高めることが出来る。また、上記手順を踏むことで、大量のフィルタを洗浄するときでも、洗浄作業を効率良く行うことができる。
この際、洗浄槽内に洗浄液を導入する前の洗浄槽内の真空度を０．０９Ｍｐａ以下の負圧（ゲージ圧）にすれば、洗浄効果が低下するような不具合がなく、また、洗浄槽内の洗浄液の脱気度を、所定値以下にすることで、キャビテーションの衝撃力を高めるのに有効であり、洗浄効果を高めることが出来る。

Claims

洗浄槽内の脱気された洗浄液でフィルタを超音波洗浄する方法であって、前記洗浄槽内の洗浄液から脱気するととともに、洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させ、同時に液中に超音波を放射して超音波洗浄することを特徴とするフィルタの超音波洗浄方法。
洗浄液を抜いた洗浄槽内にフィルタを投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きする工程と、この洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入する工程と、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻す工程と、洗浄槽内の洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら液中に超音波を放射して超音波洗浄する工程を備えたことを特徴とするフィルタの超音波洗浄方法。
前記洗浄槽を真空引きする際の洗浄槽内の真空度を０．０９Ｍｐａ以下の負圧（ゲージ圧）にすることを特徴とする請求項２に記載のフィルタの超音波洗浄方法。
前記超音波を放射する際、フィルタの濾過面上流側から放射することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のフィルタの超音波洗浄方法。
前記洗浄槽内の洗浄液の脱気度を、溶存酸素量３ｍｇ／ｌ以下とすることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のフィルタの洗浄方法。