JP3223340B2 - 液体の脱気方法 - Google Patents

液体の脱気方法

Info

Publication number
JP3223340B2
JP3223340B2 JP33521194A JP33521194A JP3223340B2 JP 3223340 B2 JP3223340 B2 JP 3223340B2 JP 33521194 A JP33521194 A JP 33521194A JP 33521194 A JP33521194 A JP 33521194A JP 3223340 B2 JP3223340 B2 JP 3223340B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
processed
aspirator
treated
tank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP33521194A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0871304A (ja
Inventor
忠 平野
健至 白井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ULTRASONIC ENGINEERING CO., LTD.
Original Assignee
ULTRASONIC ENGINEERING CO., LTD.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ULTRASONIC ENGINEERING CO., LTD. filed Critical ULTRASONIC ENGINEERING CO., LTD.
Priority to JP33521194A priority Critical patent/JP3223340B2/ja
Publication of JPH0871304A publication Critical patent/JPH0871304A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3223340B2 publication Critical patent/JP3223340B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】液体の脱気方法および装置は、工
業分野において多くの工業用品・民生用品・食品・薬品
等の製品品質の向上・製造技術の改善・価格の低減等に
多様な用途を有するのみでなく、学術研究その他の分野
においても多く利用される。
【0002】
【従来技術】
【0003】液体を脱気するために従来用いられた方法
には、液体を加熱する方法、容器内に密封して減圧する
方法、気液分離膜を介して減圧する方法、あるいは密閉
容器内で遠心力を作用させて薄層状態とし容器内を減圧
する方法、その他があった。
【0004】しかし従来技術による液体の脱気方法が大
容量の加熱装置、大型真空ポンプ、中空糸膜モジュール
あるいは高速回転機構等を必要とする結果として、脱気
装置は大型化、複雑化、および高価格化する傾向があっ
た。
【0005】また従来技術において液体を密閉容器内で
減圧する方法にあっては、液体を供給あるいは排出しつ
つ、同時に減圧することが困難であるため、液体を供給
あるいは排出する手段とこれを減圧する手段とを、個別
かつ逐次に作動させることを必要とする結果として、脱
気装置は複雑化および高価格化する傾向があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、従来技術に伴う前記不利益に鑑み、液体の
脱気装置を大型化・複雑化・高価格化させる要因を削除
するための脱気方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】課題を解決するため、減
圧脱気法の利点を活かすとともに、その欠点を新たな着
想により補うことによって、前記特長を具えた新しい液
体の脱気方法を開発することとした。
【0008】而して、前記目的を果たすため、本発明の
脱気方法において、排気ポンプを使用するものは、被処
理液槽とポンプとアスピレータとが直列された循環管路
において、被処理槽内の被処理液を循環させ、該アスピ
レータの作用により、密閉容器の中腹部からアスピレー
タに至る排液管を介して密封容器を吸引するとともに、
密閉容器の頂部から排気管および排気ポンプを経ての排
気を行うことで密封容器内を減圧し、この減圧により被
処理液槽から密閉容器に至る給液管を介して被処理液を
継続的に密閉容器内に吸入させるとともに、密閉容器内
の被処理液から溶存気体を析出させる。
【0009】ただし排気に伴い被処理液が前記排気ポン
プ内に侵入することを防ぐため、密閉容器内における被
処理液の水位にもとづき排気を制御する。
【0010】而して、密閉容器内の被処理液から析出す
る溶存気体を前記排気管および排気ポンプを経て排気さ
せるとともに、脱気された被処理液を前記排液管および
アスピレータを経て継続的に被処理液槽内に還流させる
ことを特徴とするものである。
【0011】また、前記目的を果たすため、本発明の脱
気方法において、排気ポンプを使用しないものは、被処
理液槽とポンプとアスピレータとが直列された循環管路
において、被処理槽内の被処理液を循環させ、該アスピ
レータの作用により、密閉容器の中腹部からアスピレー
タに至る排液管を介して密封容器を吸引することで、密
封容器内を減圧し、この減圧により、被処理液槽から密
閉容器に至る給液管を介して被処理液を継続的に密閉容
器内に吸入させるとともに、密閉容器内の被処理液から
溶存気体を析出させ、これを密閉容器内に蓄積させるこ
とにより、脱気された被処理液を排液管およびアスピレ
ータを経て継続的に被処理液槽内に還流させる。
【0012】而して、密閉容器内に蓄積される気体の体
積が増加し、被処理液の水位が排液管の開口の高さまで
低下すると、該気体もまた前記排液管およびアスピレー
タを経て被処理液槽内に還流されるため、該被処理液槽
内に設けたじゃま板等によりこれを隔離して浮上させ、
大気中に放散させることを特徴とするものである。
【0013】
【作用】
【0014】本発明の脱気方法において、排気ポンプを
使用するものは下記の如く作用する。すなわち、被処理
液槽内の被処理液をポンプにより循環させ、循環管路に
設けたアスピレータを駆動して密閉容器の中腹部から排
液管を経て吸引させるとともに、排気ポンプにより密閉
容器の頂部から排気管を経て排気させることによって、
密閉容器内を減圧し、被処理液槽内の被処理液を給液管
を経て継続的に該密閉容器内に吸入させる。
【0015】ただし排気に伴い被処理液が前記排気ポン
プ内に侵入することを防ぐため、密閉容器内における被
処理液の水位にもとづき排気を制御する。
【0016】而して、密閉容器内の被処理液から析出す
る溶存気体を前記排気管および排気ポンプを経て排気さ
せるとともに、脱気された被処理液を前記排液管および
アスピレータを経て継続的に被処理液槽内に還流させ
る。
【0017】本発明の脱気方法において、排気ポンプを
使用しないものは下記の如く作用する。すなわち、被処
理液槽内の被処理液をポンプにより循環させ、循環管路
に設けたアスピレータを駆動して密閉容器の中腹部から
排液管を経て吸引させることによって、密閉容器内を減
圧し、被処理液槽内の被処理液を給液管を経て継続的に
該密閉容器内に吸入させ、吸入された被処理液から析出
する溶存気体を密閉容器内に蓄積させるとともに、脱気
された被処理液を前記排液管およびアスピレータを経て
継続的に被処理液槽内に還流させる。
【0018】而して、密閉容器内に蓄積される気体の体
積が増加し、被処理液の水位が排液管の開口の高さまで
低下すると、該気体もまた前記排液管およびアスピレー
タを経て被処理液槽内に還流されるため、該被処理液槽
内に設けたじゃま板等によりこれを隔離して浮上させ、
大気中に放散させる。
【0019】
【実施例】図1、図2は本発明の脱気方法につき説明す
るための図であり、図3は本発明の脱気方法の応用例に
つき説明するための図である。
【0020】図1は本発明の脱気方法において、排気ポ
ンプを使用するものにつき説明するため、その方法を用
いた脱気装置の構造を示す概念図であり、以下にその構
造と作用とを説明する。
【0021】密閉容器(3)は頂部に排気管(5)、中
腹部に排液管(7)をそれぞれ開口させるほか、給液管
(6)と水位検出器(8)とを備え、排気管(5)は排
気ポンプ(9)に、給液管(6)は絞り弁(10)に、
排液管(7)はアスピレータ(13)の吸引口(14)
にそれぞれ接続されている。被処理液槽(1)は、被処
理液(2)を貯蔵するとともに、給液管(6)が液中に
開口し、循環ポンプ(12)とアスピレータ(13)と
を含む被処理液循環管路(11)への流出口(15)が
底面に、該循環管路(11)からの流入口(16)が側
面にそれぞれ設けられているほか、還流する被処理液中
に混在する気泡を隔離するために、じゃま板群(17)
が設けられている。
【0022】排気ポンプ(9)と循環ポンプ(12)と
を運転し、絞り弁(10)の開度を適度に設定すると、
排気管(5)と排液管(7)とを介して密閉容器(3)
内が減圧され、被処理液(2)が給液管(6)を経て密
閉容器(3)内に継続的に吸入される。而して、被処理
液(2)に含まれる溶存気体は微細気泡として析出して
浮上し、排気ポンプ(9)により排出され、また脱気さ
れた被処理液は排液管(7)を経てアスピレータ(1
3)の吸引口(14)に達し、循環管路(11)を流れ
る被処理液に合流して継続的に被処理液槽(1)に還流
する。而して、還流液中に混在する気泡はじゃま板群
(17)により隔離され、浮上して大気中に放散させら
れる。また密閉容器(3)からの排液量とこれへの給液
量との間の不均衡が密閉容器(3)内の水位に変化をも
たらし、水位検出器(8)が該水位の異常な上昇を検出
した場合には、液体が排気ポンプ(9)内に吸入される
ことを防ぐために、図示しない別途手段により排気管
(5)を自動的に閉塞させる。
【0023】図2は本発明の脱気方法において、排気ポ
ンプを使用しないものにつき説明するため、その方法を
用いた脱気装置の構造を示す概念図であり、以下にその
構造と作用とを説明する。
【0024】密閉容器(3)は中腹部に排液管(7)を
開口させるほか、給液管(6)を備え、給液管(6)は
絞り弁(10)に、排液管(7)はアスピレータ(1
3)の吸引口(14)にそれぞれ接続されている。被処
理液槽(1)は、被処理液(2)を貯蔵するとともに、
給液管(6)が液中に開口し、循環ポンプ(12)とア
スピレータ(13)とを含む被処理液循環管路(11)
への流出口(15)が底面に、該循環管路(11)から
の流入口(16)が側面にそれぞれ設けられているほ
か、還流する被処理液中に混在する気泡を隔離するため
に、じゃま板群(17)が設けられている。
【0025】循環ポンプ(12)を運転し、絞り弁(1
0)の開度を適度に設定すると、排液管(7)を介して
密閉容器(3)内が減圧され、被処理液(2)が給液管
(6)を経て密閉容器(3)内に継続的に吸入される。
而して被処理液(2)に含まれる溶存気体は微細気泡と
して析出して浮上し、液面上方に蓄積され、また脱気さ
れた被処理液は、排液管(7)を経てアスピレータ(1
3)の吸引口(14)に達し、循環管路(11)を流れ
る被処理液に合流して継続的に被処理液槽(1)に還流
する。而して、密閉容器(3)内に蓄積される気体の体
積が増加し、被処理液の水位が排液管(7)の開口の高
さまで低下すると、該気体もまた排液管(7)を経てア
スピレータ(13)の吸引口(14)に達し、循環管路
(11)を流れる被処理液に混入して被処理液槽(1)
に還流するため、被処理液槽(1)内に設けたじゃま板
群(17)により隔離され、浮上して大気中に放散させ
られる。
【0026】図3は本発明の脱気方法において、排気ポ
ンプを使用するものを応用した炭化水素系溶剤用2槽式
超音波洗浄機における、洗浄槽周辺部の構造を示す概念
図である。
【0027】空気溶解度が大きい炭化水素系溶剤を洗浄
液として用いる超音波洗浄機にあっては、超音波槽内の
洗浄液を継続的に脱気することにより、洗浄効果を高め
ることが望まれる。本例はこれを目的として実施された
もので、以下その構造と作用につき説明する。
【0028】本超音波洗浄機は超音波槽(20)とすす
ぎ槽(21)とを有し、各槽はそれぞれ洗浄液濾過循環
管路(22)・(23)を備え、各濾過循環管路はそれ
ぞれアスピレータ(13)・(26)を備える。密閉容
器(3)は頂部に排気管(5)、中腹部に排液管(7)
をそれぞれ開口させるほか、給液管(6)と水位検出器
(8)とを備え、排気管(5)はアスピレータ(26)
の吸引口(27)に、排液管(7)はアスピレータ(1
3)の吸引口(14)にそれぞれ接続され、給液管
(6)は絞り弁(10)を介して超音波槽(20)内に
開口する。
【0029】各槽の濾過装置を運転し、絞り弁(10)
の開度を適度に設定すると、排気管(5)と排液管
(7)を介して密閉容器(3)内が減圧され、給液管
(6)を経て超音波槽(20)内の洗浄液が密閉容器
(3)内に継続的に吸入される。而して、洗浄液に含ま
れる溶存気体は微細気泡として析出して浮上し、排気管
(5)を経てアスピレータ(26)の吸引口(27)に
達し、濾過循環管路(23)を流れる洗浄液に混入して
すすぎ槽(21)内に流入し、浮上して大気中に放散さ
せられる。また脱気された洗浄液は、排液管(7)を経
てアスピレータ(13)の吸引口(14)に達し、濾過
循環管路(22)を流れる洗浄液に合流して超音波槽
(20)内に還流する。
【0030】アスピレータ(13)・(26)の吸引力
の間の不均衡が密閉容器(3)内の水位に変化をもたら
し、水位検出器(8)が該水位の異常な上昇を検出した
場合には洗浄液がアスピレータ(26)内に吸入される
ことを防ぐために、図示しない別途手段により排気管
(5)を自動的に閉塞させる。
【0031】
【発明の効果】本発明は以上の如く構成されているの
で、以下に記載する如き効果を奏する。
【0032】本発明の脱気方法を用いることにより、液
体の継続的脱気を簡単に実現できる。
【0033】本発明の脱気方法を用いることにより、脱
気装置の構造を簡略化、小型化でき、その価格を安くで
きる。
【0034】本発明の脱気方法は、目的・形態・規模等
が異なる多種の脱気装置に応用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】‥‥排気ポンプを使用する脱気方法の応用例
【図2】‥‥排気ポンプを使用しない脱気方法の応用例
【図3】‥‥脱気方法を応用した2槽式超音波洗浄機の
構造例
【符号の説明】
1‥‥被処理液槽 2‥‥被処理液 3‥‥密閉容器 4‥‥超音波振動
子 5‥‥排気管 6‥‥給液管 7‥‥排液管 8‥‥水位検出器 9‥‥排気ポンプ 10‥‥絞り弁 11‥‥被処理液循環管路 12‥‥循環ポン
プ 13‥‥アスピレータ 14‥‥吸引口 15‥‥流出口 16‥‥流入口 17‥‥じゃま板群 20‥‥超音波槽 21‥‥すすぎ槽 22‥‥超音波槽用濾過循環管路 23‥‥すすぎ槽
用濾過循環管路 24‥‥濾過用ポンプ 25‥‥フィルタ 26‥‥アスピレータ 27‥‥吸引口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−130107(JP,A) 特開 昭61−50608(JP,A) 特開 平6−218360(JP,A) 特開 昭59−92003(JP,A) 特開 平4−21339(JP,A) 特開 平3−258303(JP,A) 実開 平6−72602(JP,U) 特公 昭51−5295(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B01D 19/00 B01D 19/00 101

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被処理液槽とポンプとアスピレータとが直
    列された循環管路において、被処理槽内の被処理液を循
    環させ、該アスピレータの作用により、密閉容器の中腹
    部からアスピレータに至る排液管を介して密封容器を吸
    引するとともに、密閉容器の頂部から排気管および排気
    ポンプをを経ての排気を、被処理液が排気ポンプ内へ侵
    入しないように密閉容器内における被処理液の水位に基
    づきつつ行うことで、密封容器内を減圧し、この減圧に
    より被処理液槽から密閉容器に至る給液管を介して被処
    理液を継続的に密閉容器内に吸入させるとともに、密閉
    容器内の被処理液から溶存気体を析出させ、これを排気
    管および排気ポンプを経て排気させることにより、脱気
    された被処理液を排液管およびアスピレータを経て継続
    的に被処理液槽内に還流させることを特徴とする液体の
    脱気方法。
  2. 【請求項2】被処理液槽とポンプとアスピレータとが直
    列された循環管路において、被処理槽内の被処理液を循
    環させ、該アスピレータの作用により、密閉容器の中腹
    部からアスピレータに至る排液管を介して密封容器を吸
    引することで、密封容器内を減圧し、この減圧により、
    被処理液槽から密閉容器に至る給液管を介して被処理液
    を継続的に密閉容器内に吸入させるとともに、密閉容器
    内の被処理液から溶存気体を析出させ、これを密閉容器
    内に蓄積させることにより、脱気された被処理液を排液
    管およびアスピレータを経て継続的に被処理液槽内に還
    流させ、ここで、密閉容器内に蓄積される気体の体積が
    増加し、被処理液の水位が排液管の開口の高さまで低下
    することで、気体が排液管およびアスピレータを経て被
    処理液槽内に還流されると、被処理液槽内に設けたじゃ
    ま板等によりこれを隔離して浮上させ、大気中に放散さ
    せることを特徴とする液体の脱気方法。
JP33521194A 1994-07-08 1994-12-08 液体の脱気方法 Expired - Fee Related JP3223340B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33521194A JP3223340B2 (ja) 1994-07-08 1994-12-08 液体の脱気方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6-189804 1994-07-08
JP18980494 1994-07-08
JP33521194A JP3223340B2 (ja) 1994-07-08 1994-12-08 液体の脱気方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0871304A JPH0871304A (ja) 1996-03-19
JP3223340B2 true JP3223340B2 (ja) 2001-10-29

Family

ID=26505700

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33521194A Expired - Fee Related JP3223340B2 (ja) 1994-07-08 1994-12-08 液体の脱気方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3223340B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4945923B2 (ja) * 2005-05-06 2012-06-06 東京電力株式会社 ガス圧入装置及びガス圧入方法
DE102010019238A1 (de) * 2010-05-03 2011-11-24 Joh. Heinr. Bornemann Gmbh Sammelbehälter, System aus Sammelbehälter und Multiphasenpumpen und Verfahren zum Separieren und Aufteilen eines Multiphasengemisches
CN111432906A (zh) * 2017-12-04 2020-07-17 株式会社岛津制作所 细微泡除去方法及细微泡除去装置、以及气泡径分布测定方法及气泡径分布测定装置
CN114421090B (zh) * 2022-01-14 2024-09-06 深圳市美宝昕新材料有限公司 一种基于振动结构的胶体排气装置和排气方法
CN117756123B (zh) * 2023-12-25 2024-07-19 联瑞新材(连云港)有限公司 一种降低硅微粉中放射性元素的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0871304A (ja) 1996-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MX2007006451A (es) Sistema de filtros para agua y aguas residuales.
US5997743A (en) Water treatment method using hollow fiber membrane and apparatus therefor
JP3223340B2 (ja) 液体の脱気方法
JP3118701B2 (ja) 半導体ウェーハウェットエッチング処理装置
JP3480049B2 (ja) 浸漬型膜分離装置
US4378978A (en) Degassing of liquid mixtures
JP2012061432A (ja) 散気装置及び膜分離装置の運転方法
JPH02237693A (ja) 汚水処理装置
JP4038365B2 (ja) 油水分離装置
JP3659833B2 (ja) 多段積み浸漬型膜分離装置の運転方法
JP3516175B2 (ja) 脱気方法
JP6411051B2 (ja) 浸漬型膜分離装置及びその運転方法
JPH08108005A (ja) 脱気装置
JP3898257B2 (ja) ウエハ洗浄装置及びウエハ洗浄方法
CN207713601U (zh) 一种集成式污水处理设备
JPS59147900A (ja) 液体吸排装置
JP3124174B2 (ja) 水処理装置
JPH0822370B2 (ja) 膜濾過装置
JP3282445B2 (ja) 生物処理装置
JP4107819B2 (ja) 多段積み浸漬型膜分離装置
JPH0839062A (ja) 浸漬型膜分離装置
JPS5829122B2 (ja) 排水処理装置
JP3667475B2 (ja) 濾過装置の逆洗方法
JP3517134B2 (ja) 基板処理装置
JPH0985242A (ja) 浸漬型膜分離装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080824

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090824

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100824

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100824

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110824

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110824

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120824

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130824

Year of fee payment: 12

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees