JP2004141778A - 部品類の洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】フェルール類をはじめ微細な貫通孔を有する精密部品の効率的な洗浄が可能になる部品類の洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、洗浄液の循環ライン中に組み入れられた洗浄容器内の被洗浄物を、洗浄容器内を強制流通する洗浄液により洗浄する装置において、被洗浄物の微細な貫通孔の貫通方向が前記洗浄液の液流方向と同方向又はそれに近い方向となるように保持する被洗浄物の保持手段を備え、高圧洗浄液流が貫通孔内を通過するように構成される。また、洗浄方法は、超音波洗浄と、被洗浄物の貫通孔内を高圧洗浄液流を通過させる高圧洗浄とを交互に繰り返したり、超音波洗浄と高圧洗浄とを同時に行う。
【選択図】 図１
【解決手段】洗浄装置は、洗浄液の循環ライン中に組み入れられた洗浄容器内の被洗浄物を、洗浄容器内を強制流通する洗浄液により洗浄する装置において、被洗浄物の微細な貫通孔の貫通方向が前記洗浄液の液流方向と同方向又はそれに近い方向となるように保持する被洗浄物の保持手段を備え、高圧洗浄液流が貫通孔内を通過するように構成される。また、洗浄方法は、超音波洗浄と、被洗浄物の貫通孔内を高圧洗浄液流を通過させる高圧洗浄とを交互に繰り返したり、超音波洗浄と高圧洗浄とを同時に行う。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックやガラスや金属等で形成された精密部品の洗浄方法及び洗浄装置に関する。更に詳しくは、フェルールや割りスリーブ（以下、フェルール類という）をはじめとする精密加工部品の研削工程後の表面や貫通孔内部の砥粒やパーティクルやバリを洗浄液により除去するための洗浄方法及び洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光コネクターのフェルール類、エンジンのオイル噴射ノズル、注射針等の精密加工部品を製造する場合には、多数の研削工程が必要となり、各研削工程毎に研削油の脱脂洗浄、砥粒、パーティクル類の除去が必要となる。これは各研削工程で用いられる研削油や砥粒の種類が異なるため、次工程に研削油成分や砥粒を持ち込むと、例えば、異種砥粒の混在による研削加工不良や、砥粒の焼け付きによる砥粒の除去不能や、研削油の混合により脱脂洗浄が困難になる等の不具合が発生するからである。
【０００３】
従来、多くのメーカーで採用されているフェルール類の洗浄方法は、専用冶具にフェルール類をセットした状態で、またはフェルール類を専用冶具から取り出して洗浄籠等にバラで入れた状態で、超音波洗浄装置やブラシ式洗浄装置や高圧シャワー洗浄装置などで洗浄するものである（例えば、特許公報１参照）。
【０００４】
超音波洗浄装置では、一度に多量のフェルール類を処理できるが、被洗浄物の構造上、洗浄液が貫通孔内部まで浸透し難く、また、キャビテーション効果によって気泡が発生しやすくなり、フェルール類のテーパー部分に溜まった気泡は除去できないために超音波が伝わらず洗浄できなくなる。また、ブラシ式洗浄装置は、ワイヤーの破片がフェルール類に突き刺さることもあり、洗浄方法自体に問題がある。また、高圧シャワー方式ではある程度の洗浄性を確保できるが、生産性の問題や、洗浄液ミストの問題などがある。このように従来の洗浄装置はいずれも洗浄性や生産性等の面で満足できるものではなかった。
【０００５】
また、現在、洗浄装置に一般的に使用されるアルカリ系洗浄剤は、フロンや塩素系溶剤とは異なり、オゾン層破壊等の心配がないことから部品の洗浄に広く用いられているが、洗浄性の面で劣るので、高温、高濃度で比較的長時間の洗浄されることが多く、作業者の安全性、廃液の中和処理などの作業性、安定化ジルコニア等の部品侵食など様々な問題がある
更に、微細な貫通孔を有するフェルール類にあっては、貫通孔内に砥粒や研削液やバリ等が溜まり易いうえ、孔径が小さくなるほど貫通孔内に洗浄液やすすぎ液が浸透し難くなり、洗浄が非常に困難になる。特に、表面張力の大きい水（純水）やアルカリ洗浄剤等の水系洗浄剤を用いたときには、この傾向が顕著になり、洗浄のみならず、すすぎや乾操にも長時間を要することになる。
【０００６】
特開平１１―４７７０５号公報（全頁、第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであって、フェルール類をはじめ微細な貫通孔を有する精密部品の効率的な洗浄が可能になる部品類の洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の部品類の洗浄装置及びその洗浄方法を提供する。
【０００９】
部品類の洗浄装置は、洗浄液の循環ライン中に組み入れられた洗浄容器内の被洗浄物を、前記洗浄容器内を強制流通する洗浄液により洗浄する装置において、微細な貫通孔を有する被洗浄物を該貫通孔の貫通方向が前記洗浄液の液流方向と同方向又はそれに近い方向となるように保持する保持手段を備え、被洗浄物の貫通孔内を高圧洗浄液流が通過するように構成したことを特徴とする。
【００１０】
また、前記保持手段によって前記洗浄容器内を上室と下室とに仕切り、前記上室に流入する前記洗浄液は主として被洗浄物の貫通孔を通って前記下室に至るように構成するのが望ましい。
【００１１】
また、前記保持手段は、被洗浄物が遊嵌される複数の保持用凹所と、該保持用凹所の底部に設けられる該保持用凹所よりも小径の流通孔とを備え、前記保持用凹所に遊嵌された前記被洗浄物の貫通孔と前記流通孔とが連通するように構成されるのが望ましい。
【００１２】
また、被洗浄物を超音波により洗浄する超音波洗浄手段を備えるのが望ましい。
【００１３】
そして、超音波洗浄手段を備えた装置を用いて部品類を洗浄する方法は、超音波洗浄と、被洗浄物の貫通孔内を高圧洗浄液流を通過させる高圧洗浄とを交互に繰り返したり、超音波洗浄と高圧洗浄とを同時に行うことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１に概略的に示す全体のフロー図からも明らかなように、部品類の洗浄装置は、洗浄液１が貯えられた液タンク２と、液タンク２の液出口２ａと液戻り口２ｂとの間で洗浄液１を循環させる循環ライン３と、循環ライン３の途中に設置されて被洗浄物が収容される洗浄容器４及び強制循環用の送液ポンプ５とを備えており、これにより洗浄容器４内において洗浄液１を縦方向に流通させて被洗浄物を洗浄する方法（以下、直通式洗浄法という）が可能になる。なお、直通式洗浄法としてはダイレクトパス洗浄装置（荒川化学工業（株）、商品名、特許第２６２１８００号）を用いたダイレクトパス洗浄法が好適である。
【００１６】
洗浄容器４の縦方向の中間部の内壁面には全周にわたって治具受け１２が設けられ、該治具受け１２に後述するセット冶具（保持手段）１１を載せることにより、洗浄容器４は上室４ａと下室４ｂとに区割りされるようになっている。セット治具１１の外周部は全周にわたって治具受け１２に接触するものであり、また、該接触部分に図外のシール部を設ければ、洗浄容器４の上室４ａの洗浄液１が前記接触部分を通って下室４ｂに漏れ落ちるのを防止できる。また、図３のように洗浄容器４には洗浄液１の流入口４ｃ及び流出口４ｄが設けられている。
【００１７】
洗浄容器４の上室４ａの流入口４ｃには排気（真空）ライン６に接続され、下室４ｂの流出口４ｄには洗浄液１を液タンク２に戻すための返送ライン１０に接続されている。排気（真空）ライン６には図外の真空ポンプが設けられ、洗浄容器４の手前の循環ライン３からはバイパスライン７が分岐され、循環ライン３中には図外のフィルターが設けられ、該フィルターにより洗浄液１は全量ろ過されるようになっている。
【００１８】
循環ライン３、バイパスライン７、排気（真空）ライン６及び返送ライン１０にはバルブＶ１〜Ｖ４が設けられ、これらのバルブＶ１〜Ｖ４の開閉操作により循環ライン３と排気（真空）ライン６の切り替えが行われ、また、洗浄液１をバイパスライン７を用いて液タンク２に直接戻す流量調節することにより、洗浄容器４の内圧を制御して送液ポンプ５による洗浄容器４の内圧の急激な上昇を防ぐようになっている。なお、洗浄容器４は耐圧構造であり、洗浄容器４の上端は蓋８で閉塞され、該蓋８には洗浄容器４の内圧を監視するための圧力計９が装着されている。
【００１９】
また、洗浄装置には、図示しないリンス液の液タンク、リンス液の循環ライン、液切り用のコンプレッサー、乾燥用のブロワー及びヒータ、送風ラインなどが備わり、循環ライン及び送風ラインは洗浄容器４に接続されている。そして、セット治具１１にセットされた被洗浄物を洗浄した後は、同じ洗浄容器４内ですすぎ、液切り及び乾燥が行えるようになっている。
【００２０】
図２のようにセット治具１１は、板状であって、フェルール（被洗浄物の一例）Ａを遊嵌するための複数の保持用凹所１１ａが形成され、各保持用凹所１１ａの下端部はテーパ状に形成され、該下端部は保持用凹所１１ａよりも小径の流通孔１１ｂと連通している。また、治具本体１１ｃの両側部には逆Ｕ字状の取っ手１１ｃが立設されている。
【００２１】
なお、後述のように洗浄液１が主としてフェルールＡの貫通孔Ａ１を通って洗浄容器４の下室４ｂに至るような構成のものであれば、保持用凹所１１ａ及び流通孔１１ｂの形状や位置等は限定されず、例えば、一つの保持用凹所１１ａに複数のフェルールＡを遊嵌できるようにしても良い。
【００２２】
そして、微細な貫通孔Ａ１を有するフェルールＡをセット治具１１の保持用凹所１１ａに嵌め込むことによりフェルールＡが立設保持されると共にフェルールＡの貫通孔Ａ１とセット治具１１の流通孔１１ｂとが連通する。セット治具１１は、送液ポンプ５により送液される洗浄液１により生じる洗浄容器４の上室４ａと下室４ｂとの差圧に耐えられるものであれば、その材質や構造は特に限定されるものではない。
【００２３】
また、セット冶具１１は治具受け１２によって支持されるが、治具受け１２との接触面積が小さく、セット冶具１１の剛性が低いと、高圧の洗浄液１によってセット冶具１１が破損や変形をする恐れがある。そこで、フェルールＡの貫通孔Ａ１を通過する洗浄液流を妨げないように補強材を用いてセット治具１１を補強したり、冶具受け１２の支持面積を大きくすることも可能である。
【００２４】
セット治具１１は、図３に示す操作手段２０によって洗浄容器４内に収納され、洗浄後は洗浄容器４から取り出されるようになっている。操作手段２０は、外側を向いた一対のフック２０ａと、一対のフック２０ａの間隔を矢印のように拡縮可能に保持するフック保持体２０ｂと、該フック保持体２０ｂを矢印のように昇降及び水平方向に移動させる図外の移動手段とを備えている。この操作手段２０を用いれば、フック２０ａの間隔を拡げてセット治具１１の取っ手１１ｄを引っ掛け、この状態でフック保持体２０ｂを降下させることにより、セット治具１１を洗浄容器４の治具受け１２に載置することができる。また、洗浄が完了すれば、間隔が狭まった一対のフック２０ａを、蓋８が開いた洗浄容器４内に降下させ、次にフック２０ａの間隔を拡げてセット治具１１の取っ手１１ｄを引っ掛けた状態でフック２０ａを上昇させる。これにより、セット治具１１を洗浄容器４から取り出すことができる。
【００２５】
次に、フェルールＡの貫通孔Ａ１の洗浄方法について説明する。セット冶具１１の保持用凹所１１ａにフェルールＡを嵌め込み、該セット治具１１を洗浄容器４の治具受け１２に載置し、洗浄容器４の蓋８を閉じる。次に、バルブＶ３を開き、他のバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ４を閉じ、真空ポンプを作動させて洗浄容器４内を減圧する。次に、バルブＶ３を閉じ、バルブＶ４のみを開いて洗浄液１を引き上げた後、バルブＶ１，Ｖ２を開いて送液ポンプ５を作動させる。そして、送液ポンプ５が定常運転状態になってのちにバルブＶ２を徐々に閉め、圧力計８が所定圧力を示した時点でバルブＶ２の閉め動作を停止して該状態を保持する。なお、洗浄容器４内の圧力調整は、インバータを用いて送液ポンプ５のモータの回転数を制御することによっても行うことができる。
【００２６】
これにより、洗浄液１は循環ライン３内を強制循環し、洗浄容器４では洗浄液１は上室４ａからフェルールＡの貫通孔Ａ１及びセット治具１１の流通孔１１ｂを通過して下室４ｂに至る。このとき、洗浄液１は、セット冶具１１及び洗浄容器４の治具受け１２の間や、フェルールＡ及びセット治具１１の保持用凹所１１ａの間をほとんど通過することがない。
【００２７】
このように洗浄液１は主としてフェルールＡの微細な貫通孔Ａ１を通過して洗浄容器４の下室４ｂに至るので、洗浄液１は貫通孔Ａ１内を高圧洗浄液流となって通過して貫通孔Ａ１の孔壁に付着した油分や砥粒等の異物を押し流すことができる。
【００２８】
所定時間が経過してフェルールＡの貫通孔Ａ１が洗浄された後は、バイパスバルブＶ２を開き、洗浄容器４の内圧が低下した後に送液ポンプ５を停止する。
【００２９】
また、図３のように洗浄容器４には超音波を発振させる超音波振動子２１が設され、直通式洗浄法と超音波洗浄法とを併用できるようになっている。超音波振動子２１は、一般に洗浄容器４の側壁や底部に設けられ、超音波振動子２１には超音波発振器が接続されている。超音波振動子２１としては、磁歪型振動子、電歪型振動子のような公知のものを採用できる。超音波洗浄は、バルブＶ３，Ｖ４を閉じ、バルブＶ１，Ｖ２を開き、送液ポンプ５を作動させて洗浄容器４内に洗浄液１を充満させた状態で行われ、超音波洗浄の時期は洗浄液１を強制循環させる前後である。
【００３０】
このように同一の洗浄容器４を用いた直通式洗浄法及び超音波洗浄法を併用し、両洗浄法を交互に繰り返して実施すれば、洗浄効率が向上し、短時間で洗浄度の高い洗浄を行うことができる。特に、貫通孔Ａ１の孔壁に微粒子等の異物が付着している被洗浄物には有効である。例えば、貫通孔Ａ１の孔壁に刺さっている砥粒を洗浄する場合には、超音波によって砥粒を孔壁から引き離した後に、貫通孔Ａ１内に漂う該砥粒を高圧洗浄液流によって洗い流す。これにより、短時間洗浄が可能になり、また、超音波洗浄専用のスペースを確保する必要がなくなる。なお、両洗浄法を同時に実施する場合には、高圧洗浄液流と超音波とで同時に貫通孔Ａ１を洗浄することになるので、高圧洗浄液によっても超音波による洗浄能力が低下しない超音波洗浄手段を採用する。
【００３１】
図４〜図６は、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂを用いてセット治具１１を洗浄容器４に収容する実施形態を示している。
【００３２】
図４に示すバスケット１３は板状に形成され、バスケット１３の上面側にはセット治具１１が嵌め込まれる凹部１３ａが設けられ、該凹部１３ａの底面部にはセット治具１１の流通孔１１ｂに対応する通液孔１３ｂが設けられ、凹部１３ａにセット治具１１をはめ込んだときには各通液孔１３ｂとセット治具１１の各流通孔１１ｂとが連通する。また、バスケット１３の両側部には逆Ｕ字状の取っ手１３ｃが立設されている。なお、取っ手１３ｃ付きのバスケット１３，１３Ａ，１３Ｂを使用する場合には、セット治具１１に取っ手１１ｄを設けなくても良い。
【００３３】
図５に示すバスケット１３Ａは有底筒状に形成され、バスケット１３Ａの底部には通液孔１３ｂが設けられ、胴部１３ｄには通液孔が設けられておらず、バスケット１３Ａの上端に形成された外鍔１３ｅには取っ手１３ｃが立設されている。そして、セット治具１１が収められたバスケット１３Ａを洗浄容器４内にセットするときには、その外鍔１３ｅを洗浄容器４の治具受け１２に載置する。
【００３４】
図６に示すバスケット１３Ｂは、被洗浄物の処理量を増やすために、セット冶具１１を多段式に収容できるように構成され、筒状本体１３ｄの一側面には開口部１３ｅが設けられ、該開口部１３ｅの両側にはガイド溝１３ｆが形成され、開口部１３ｅを開閉する蓋体１３ｉの両縁部がガイド溝１３ｆに摺動自在にはめ込まれ、本体１３ｄの両側板には上下に適宜間隔で複数の治具受け１３ｇが設けられ、本体１３ｄの上端には外鍔１３ｈが形成され、該外鍔１３ｈには取っ手１３ｃが取り付けられている。そして、横蓋１３ｆを引き上げ、セット治具１１を開口部１３ｅから挿入して各治具受け１３ｇに載置した後、蓋体１３ｉで開口部１３ｅを閉塞し、バスケット１３Ｂの外鍔１３ｈを洗浄容器４の治具受け１２に引っ掛けることにより、バスケット１３Ｂを洗浄容器４内にセットする。
【００３５】
また、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂ及びセット冶具１１の接触部分、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂ及び洗浄容器４の接触部分に、図外のシール部を設けることにより、該接触部分から洗浄液１の漏れを防止しても良い。なお、セット冶具１１の大きさや形状に適応できれば、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂの大きさや形状は特に限定されない。
【００３６】
図７は、直通式洗浄専用の洗浄容器４と超音波洗浄専用の洗浄容器４１とを交互に配設し、これらの洗浄容器４，４１を用いて同時に複数のセット治具１１を制御して直通式洗浄と超音波洗浄とを交互に行う装置を示している。また、該装置には液切り用のコンプレッサー（図示省略）及び乾燥容器４２が備わり、該乾燥容器４２にはヒーター４２ａ及びブロワー４２ｂによって温風が供給される。洗浄容器４には超音波振動子２１はなく、洗浄容器４内に収められたセット治具１１のフェルールＡは、循環する洗浄液１の高圧洗浄液流によってその貫通孔が洗浄される。また、洗浄容器４１は図外の真空ポンプによる減圧によって洗浄液１を吸い上げる。
【００３７】
図８のように洗浄容器４１の内の中間部分には治具受け４１ｃが設けられ、治具受け４１ｃに載置されるセット治具１１によって洗浄容器４１は上室４１ｂと下室４１ｂとに分けられ、洗浄容器４１の下部には超音波振動子２１が設けられている。また、洗浄容器４１の上室４１ｂには流出口４１ｄが開口し、下室４１ｃの底部には流入口４１ｅが開口し、洗浄容器４１の上端は蓋４１ｆで閉塞されている。
【００３８】
図９は、図７に示す装置を用いた洗浄工程を示している。なお、この洗浄工程では、連設された複数の操作手段２０を用いてセット治具１１をタクト式に搬送する。
【００３９】
そして、複数のセット治具１１のそれぞれに被洗浄物をセットした後、これら複数のセット治具１１を洗浄容器４，４１に入れて被洗浄物を洗浄した後、矢印のように隣の洗浄容器４，４１に次々と移し替えて直通式洗浄と超音波洗浄とを交互に行い、最後に乾燥容器４２に移し替えて被洗浄物を乾燥する。なお、被洗浄物の貫通孔に付着した洗浄液ついては、次工程の直通式洗浄の前に液切りを行って該次工程での洗浄効率を高めるようにする。
【００４０】
なお、超音波洗浄専用の洗浄容器４１として、図１０のように上部及び下部に超音波振動子２１を設けたものや、図１１のように左右両側部に超音波振動子２１を設けたものを用いても良い。
【００４１】
以上の洗浄装置及び洗浄方法に使用される洗浄液１としては、純水や工業用水の他に、炭化水素系溶剤、グリコールエーテル系化合物若しくはアルコール系化合物の洗浄剤、又はこれらと各種界面活性剤及び水等との混合物からなる洗浄剤や、前記混合物からなるエマルジョン系洗浄剤、その他カチオン性、アニオン性、ノニオン性の洗浄剤など各種洗浄剤を使用できる。かかる洗浄剤の洗浄力を高める目的で適宜にヒーターを用いて暖めて使用しても良い。
【００４２】
この洗浄工程で使用される洗浄剤は、洗浄物の材質により異なるが、セラミック製フェルールＡには、実際に使用する液のｐＨが８〜１４のアルカリ系洗浄剤が好ましい。
【００４３】
また、すすぎ液は、純水を使用するのが好ましいが、要求される製品の清浄度によりイオン交換水や市水を用いても良い。また、乾燥効率を上げるため、すすぎ工程後にアルコール類や揮発性の高い溶剤成分などを含む水切り剤を使用しても良い。
【００４４】
なお、被洗浄物はフェルールＡに限られるものではない。
【００４５】
【実施例】
セット冶具１は、縦寸法×横寸法×厚み寸法が８０ｍｍ×８０ｍｍ×５ｍｍ、フェルール（外径が２．５ｍｍ、貫通孔の内径が０．１２５ｍｍ、長さが１０ｍｍ）を１００個搭載可能である。
【００４６】
図１に示す装置を用い、研削工程が終了した１００個のフェルールがセットされたセット治具１１を洗浄容器４の治具受けに載置し、洗浄剤として荒川化学工業（株）製パインアルファＳＴ−８８０の３％水溶液を用い、すすぎ水として純水を用いて、表１に記載の通りに洗浄実験を行った。なお、洗浄容器４には超音波振動子２１が設けられている。洗浄液１は主としてフェルールの微細な貫通孔Ａ１を通過して下室４ｂに流入するので、洗浄容器４の上室の内圧が５ｋｇ／ｃｍ２に達する高圧ダイレクトパスとなった。
【００４７】
比較例は、次の洗浄装置により、表１に記載の通りに洗浄実験を行った。比較例の洗浄装置は、図１２のように底部に多数の通液孔１００が設けれたバスケット１０１を備え、該バスケット１０１を洗浄容器１０２内の受け部１０３に載置して洗浄容器１０２が上室１０４と下室１０５とに分けられるようになっている。そして、１００個のフェルールをセット治具１１を用いることなくバケット１０１内の直に投入し、実施例と同様に、循環ライン中の送液ポンプを作動させてダイレクトパス洗浄を行った。このとき、洗浄容器の上室の内圧は上昇しなかった。
【００４８】
実験の結果は表１に示す通り、比較例では合格率が５０％以下にとどまったが、実施例１では８３％に達してかなりの洗浄効果が得られ、また、実施例２のように超音波洗浄の後にダイレクトパス洗浄を行ったり、実施例３のようにまず超音波洗浄を行い、且つダイレクトパス洗浄と超音波洗浄とを交互に行うことにより、合格率が更に向上した。この結果、実施例１から３は、フェルールＡの微細な貫通孔Ａ１の洗浄に適することが判明した。
【００４９】
【表１】
【００５０】
【発明の効果】
本発明の部品類の洗浄装置及び洗浄方法によれば、高圧の洗浄液が被洗浄物の貫通孔を集中的に流れ込み、洗浄効果を高めることができるので、洗浄が困難な微細な貫通孔を有する光コネクターのフェルール類等の精密部品の洗浄効果を高め、短時間での洗浄が可能になる。また、従来、高圧シャワー洗浄により被洗浄物を１個づつ狙い打ちして洗浄するのに較べ、例えば数百個単位での洗浄が可能になり、量産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る洗浄装置を示す概略図である。
【図２】（ａ）は同装置のセット治具の平面図、（ｂ）は同セット治具の断面図、（ｃ）は同セット治具の拡大断面図である。
【図３】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図４】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図５】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図６】同装置のセット治具のバスケットを示す斜視図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る洗浄装置を示す概略図である。
【図８】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図９】同装置の洗浄工程を示す図である。
【図１０】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図１１】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図１２】比較例に係る洗浄装置を示す概略図である。
【符号の説明】
Ａ フェルール類（部品類）
Ａ１ フェルール類の貫通孔
１ 洗浄液
２ 液タンク
４ 洗浄容器
１１ セット治具（保持手段）
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックやガラスや金属等で形成された精密部品の洗浄方法及び洗浄装置に関する。更に詳しくは、フェルールや割りスリーブ（以下、フェルール類という）をはじめとする精密加工部品の研削工程後の表面や貫通孔内部の砥粒やパーティクルやバリを洗浄液により除去するための洗浄方法及び洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光コネクターのフェルール類、エンジンのオイル噴射ノズル、注射針等の精密加工部品を製造する場合には、多数の研削工程が必要となり、各研削工程毎に研削油の脱脂洗浄、砥粒、パーティクル類の除去が必要となる。これは各研削工程で用いられる研削油や砥粒の種類が異なるため、次工程に研削油成分や砥粒を持ち込むと、例えば、異種砥粒の混在による研削加工不良や、砥粒の焼け付きによる砥粒の除去不能や、研削油の混合により脱脂洗浄が困難になる等の不具合が発生するからである。
【０００３】
従来、多くのメーカーで採用されているフェルール類の洗浄方法は、専用冶具にフェルール類をセットした状態で、またはフェルール類を専用冶具から取り出して洗浄籠等にバラで入れた状態で、超音波洗浄装置やブラシ式洗浄装置や高圧シャワー洗浄装置などで洗浄するものである（例えば、特許公報１参照）。
【０００４】
超音波洗浄装置では、一度に多量のフェルール類を処理できるが、被洗浄物の構造上、洗浄液が貫通孔内部まで浸透し難く、また、キャビテーション効果によって気泡が発生しやすくなり、フェルール類のテーパー部分に溜まった気泡は除去できないために超音波が伝わらず洗浄できなくなる。また、ブラシ式洗浄装置は、ワイヤーの破片がフェルール類に突き刺さることもあり、洗浄方法自体に問題がある。また、高圧シャワー方式ではある程度の洗浄性を確保できるが、生産性の問題や、洗浄液ミストの問題などがある。このように従来の洗浄装置はいずれも洗浄性や生産性等の面で満足できるものではなかった。
【０００５】
また、現在、洗浄装置に一般的に使用されるアルカリ系洗浄剤は、フロンや塩素系溶剤とは異なり、オゾン層破壊等の心配がないことから部品の洗浄に広く用いられているが、洗浄性の面で劣るので、高温、高濃度で比較的長時間の洗浄されることが多く、作業者の安全性、廃液の中和処理などの作業性、安定化ジルコニア等の部品侵食など様々な問題がある
更に、微細な貫通孔を有するフェルール類にあっては、貫通孔内に砥粒や研削液やバリ等が溜まり易いうえ、孔径が小さくなるほど貫通孔内に洗浄液やすすぎ液が浸透し難くなり、洗浄が非常に困難になる。特に、表面張力の大きい水（純水）やアルカリ洗浄剤等の水系洗浄剤を用いたときには、この傾向が顕著になり、洗浄のみならず、すすぎや乾操にも長時間を要することになる。
【０００６】
特開平１１―４７７０５号公報（全頁、第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであって、フェルール類をはじめ微細な貫通孔を有する精密部品の効率的な洗浄が可能になる部品類の洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の部品類の洗浄装置及びその洗浄方法を提供する。
【０００９】
部品類の洗浄装置は、洗浄液の循環ライン中に組み入れられた洗浄容器内の被洗浄物を、前記洗浄容器内を強制流通する洗浄液により洗浄する装置において、微細な貫通孔を有する被洗浄物を該貫通孔の貫通方向が前記洗浄液の液流方向と同方向又はそれに近い方向となるように保持する保持手段を備え、被洗浄物の貫通孔内を高圧洗浄液流が通過するように構成したことを特徴とする。
【００１０】
また、前記保持手段によって前記洗浄容器内を上室と下室とに仕切り、前記上室に流入する前記洗浄液は主として被洗浄物の貫通孔を通って前記下室に至るように構成するのが望ましい。
【００１１】
また、前記保持手段は、被洗浄物が遊嵌される複数の保持用凹所と、該保持用凹所の底部に設けられる該保持用凹所よりも小径の流通孔とを備え、前記保持用凹所に遊嵌された前記被洗浄物の貫通孔と前記流通孔とが連通するように構成されるのが望ましい。
【００１２】
また、被洗浄物を超音波により洗浄する超音波洗浄手段を備えるのが望ましい。
【００１３】
そして、超音波洗浄手段を備えた装置を用いて部品類を洗浄する方法は、超音波洗浄と、被洗浄物の貫通孔内を高圧洗浄液流を通過させる高圧洗浄とを交互に繰り返したり、超音波洗浄と高圧洗浄とを同時に行うことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１に概略的に示す全体のフロー図からも明らかなように、部品類の洗浄装置は、洗浄液１が貯えられた液タンク２と、液タンク２の液出口２ａと液戻り口２ｂとの間で洗浄液１を循環させる循環ライン３と、循環ライン３の途中に設置されて被洗浄物が収容される洗浄容器４及び強制循環用の送液ポンプ５とを備えており、これにより洗浄容器４内において洗浄液１を縦方向に流通させて被洗浄物を洗浄する方法（以下、直通式洗浄法という）が可能になる。なお、直通式洗浄法としてはダイレクトパス洗浄装置（荒川化学工業（株）、商品名、特許第２６２１８００号）を用いたダイレクトパス洗浄法が好適である。
【００１６】
洗浄容器４の縦方向の中間部の内壁面には全周にわたって治具受け１２が設けられ、該治具受け１２に後述するセット冶具（保持手段）１１を載せることにより、洗浄容器４は上室４ａと下室４ｂとに区割りされるようになっている。セット治具１１の外周部は全周にわたって治具受け１２に接触するものであり、また、該接触部分に図外のシール部を設ければ、洗浄容器４の上室４ａの洗浄液１が前記接触部分を通って下室４ｂに漏れ落ちるのを防止できる。また、図３のように洗浄容器４には洗浄液１の流入口４ｃ及び流出口４ｄが設けられている。
【００１７】
洗浄容器４の上室４ａの流入口４ｃには排気（真空）ライン６に接続され、下室４ｂの流出口４ｄには洗浄液１を液タンク２に戻すための返送ライン１０に接続されている。排気（真空）ライン６には図外の真空ポンプが設けられ、洗浄容器４の手前の循環ライン３からはバイパスライン７が分岐され、循環ライン３中には図外のフィルターが設けられ、該フィルターにより洗浄液１は全量ろ過されるようになっている。
【００１８】
循環ライン３、バイパスライン７、排気（真空）ライン６及び返送ライン１０にはバルブＶ１〜Ｖ４が設けられ、これらのバルブＶ１〜Ｖ４の開閉操作により循環ライン３と排気（真空）ライン６の切り替えが行われ、また、洗浄液１をバイパスライン７を用いて液タンク２に直接戻す流量調節することにより、洗浄容器４の内圧を制御して送液ポンプ５による洗浄容器４の内圧の急激な上昇を防ぐようになっている。なお、洗浄容器４は耐圧構造であり、洗浄容器４の上端は蓋８で閉塞され、該蓋８には洗浄容器４の内圧を監視するための圧力計９が装着されている。
【００１９】
また、洗浄装置には、図示しないリンス液の液タンク、リンス液の循環ライン、液切り用のコンプレッサー、乾燥用のブロワー及びヒータ、送風ラインなどが備わり、循環ライン及び送風ラインは洗浄容器４に接続されている。そして、セット治具１１にセットされた被洗浄物を洗浄した後は、同じ洗浄容器４内ですすぎ、液切り及び乾燥が行えるようになっている。
【００２０】
図２のようにセット治具１１は、板状であって、フェルール（被洗浄物の一例）Ａを遊嵌するための複数の保持用凹所１１ａが形成され、各保持用凹所１１ａの下端部はテーパ状に形成され、該下端部は保持用凹所１１ａよりも小径の流通孔１１ｂと連通している。また、治具本体１１ｃの両側部には逆Ｕ字状の取っ手１１ｃが立設されている。
【００２１】
なお、後述のように洗浄液１が主としてフェルールＡの貫通孔Ａ１を通って洗浄容器４の下室４ｂに至るような構成のものであれば、保持用凹所１１ａ及び流通孔１１ｂの形状や位置等は限定されず、例えば、一つの保持用凹所１１ａに複数のフェルールＡを遊嵌できるようにしても良い。
【００２２】
そして、微細な貫通孔Ａ１を有するフェルールＡをセット治具１１の保持用凹所１１ａに嵌め込むことによりフェルールＡが立設保持されると共にフェルールＡの貫通孔Ａ１とセット治具１１の流通孔１１ｂとが連通する。セット治具１１は、送液ポンプ５により送液される洗浄液１により生じる洗浄容器４の上室４ａと下室４ｂとの差圧に耐えられるものであれば、その材質や構造は特に限定されるものではない。
【００２３】
また、セット冶具１１は治具受け１２によって支持されるが、治具受け１２との接触面積が小さく、セット冶具１１の剛性が低いと、高圧の洗浄液１によってセット冶具１１が破損や変形をする恐れがある。そこで、フェルールＡの貫通孔Ａ１を通過する洗浄液流を妨げないように補強材を用いてセット治具１１を補強したり、冶具受け１２の支持面積を大きくすることも可能である。
【００２４】
セット治具１１は、図３に示す操作手段２０によって洗浄容器４内に収納され、洗浄後は洗浄容器４から取り出されるようになっている。操作手段２０は、外側を向いた一対のフック２０ａと、一対のフック２０ａの間隔を矢印のように拡縮可能に保持するフック保持体２０ｂと、該フック保持体２０ｂを矢印のように昇降及び水平方向に移動させる図外の移動手段とを備えている。この操作手段２０を用いれば、フック２０ａの間隔を拡げてセット治具１１の取っ手１１ｄを引っ掛け、この状態でフック保持体２０ｂを降下させることにより、セット治具１１を洗浄容器４の治具受け１２に載置することができる。また、洗浄が完了すれば、間隔が狭まった一対のフック２０ａを、蓋８が開いた洗浄容器４内に降下させ、次にフック２０ａの間隔を拡げてセット治具１１の取っ手１１ｄを引っ掛けた状態でフック２０ａを上昇させる。これにより、セット治具１１を洗浄容器４から取り出すことができる。
【００２５】
次に、フェルールＡの貫通孔Ａ１の洗浄方法について説明する。セット冶具１１の保持用凹所１１ａにフェルールＡを嵌め込み、該セット治具１１を洗浄容器４の治具受け１２に載置し、洗浄容器４の蓋８を閉じる。次に、バルブＶ３を開き、他のバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ４を閉じ、真空ポンプを作動させて洗浄容器４内を減圧する。次に、バルブＶ３を閉じ、バルブＶ４のみを開いて洗浄液１を引き上げた後、バルブＶ１，Ｖ２を開いて送液ポンプ５を作動させる。そして、送液ポンプ５が定常運転状態になってのちにバルブＶ２を徐々に閉め、圧力計８が所定圧力を示した時点でバルブＶ２の閉め動作を停止して該状態を保持する。なお、洗浄容器４内の圧力調整は、インバータを用いて送液ポンプ５のモータの回転数を制御することによっても行うことができる。
【００２６】
これにより、洗浄液１は循環ライン３内を強制循環し、洗浄容器４では洗浄液１は上室４ａからフェルールＡの貫通孔Ａ１及びセット治具１１の流通孔１１ｂを通過して下室４ｂに至る。このとき、洗浄液１は、セット冶具１１及び洗浄容器４の治具受け１２の間や、フェルールＡ及びセット治具１１の保持用凹所１１ａの間をほとんど通過することがない。
【００２７】
このように洗浄液１は主としてフェルールＡの微細な貫通孔Ａ１を通過して洗浄容器４の下室４ｂに至るので、洗浄液１は貫通孔Ａ１内を高圧洗浄液流となって通過して貫通孔Ａ１の孔壁に付着した油分や砥粒等の異物を押し流すことができる。
【００２８】
所定時間が経過してフェルールＡの貫通孔Ａ１が洗浄された後は、バイパスバルブＶ２を開き、洗浄容器４の内圧が低下した後に送液ポンプ５を停止する。
【００２９】
また、図３のように洗浄容器４には超音波を発振させる超音波振動子２１が設され、直通式洗浄法と超音波洗浄法とを併用できるようになっている。超音波振動子２１は、一般に洗浄容器４の側壁や底部に設けられ、超音波振動子２１には超音波発振器が接続されている。超音波振動子２１としては、磁歪型振動子、電歪型振動子のような公知のものを採用できる。超音波洗浄は、バルブＶ３，Ｖ４を閉じ、バルブＶ１，Ｖ２を開き、送液ポンプ５を作動させて洗浄容器４内に洗浄液１を充満させた状態で行われ、超音波洗浄の時期は洗浄液１を強制循環させる前後である。
【００３０】
このように同一の洗浄容器４を用いた直通式洗浄法及び超音波洗浄法を併用し、両洗浄法を交互に繰り返して実施すれば、洗浄効率が向上し、短時間で洗浄度の高い洗浄を行うことができる。特に、貫通孔Ａ１の孔壁に微粒子等の異物が付着している被洗浄物には有効である。例えば、貫通孔Ａ１の孔壁に刺さっている砥粒を洗浄する場合には、超音波によって砥粒を孔壁から引き離した後に、貫通孔Ａ１内に漂う該砥粒を高圧洗浄液流によって洗い流す。これにより、短時間洗浄が可能になり、また、超音波洗浄専用のスペースを確保する必要がなくなる。なお、両洗浄法を同時に実施する場合には、高圧洗浄液流と超音波とで同時に貫通孔Ａ１を洗浄することになるので、高圧洗浄液によっても超音波による洗浄能力が低下しない超音波洗浄手段を採用する。
【００３１】
図４〜図６は、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂを用いてセット治具１１を洗浄容器４に収容する実施形態を示している。
【００３２】
図４に示すバスケット１３は板状に形成され、バスケット１３の上面側にはセット治具１１が嵌め込まれる凹部１３ａが設けられ、該凹部１３ａの底面部にはセット治具１１の流通孔１１ｂに対応する通液孔１３ｂが設けられ、凹部１３ａにセット治具１１をはめ込んだときには各通液孔１３ｂとセット治具１１の各流通孔１１ｂとが連通する。また、バスケット１３の両側部には逆Ｕ字状の取っ手１３ｃが立設されている。なお、取っ手１３ｃ付きのバスケット１３，１３Ａ，１３Ｂを使用する場合には、セット治具１１に取っ手１１ｄを設けなくても良い。
【００３３】
図５に示すバスケット１３Ａは有底筒状に形成され、バスケット１３Ａの底部には通液孔１３ｂが設けられ、胴部１３ｄには通液孔が設けられておらず、バスケット１３Ａの上端に形成された外鍔１３ｅには取っ手１３ｃが立設されている。そして、セット治具１１が収められたバスケット１３Ａを洗浄容器４内にセットするときには、その外鍔１３ｅを洗浄容器４の治具受け１２に載置する。
【００３４】
図６に示すバスケット１３Ｂは、被洗浄物の処理量を増やすために、セット冶具１１を多段式に収容できるように構成され、筒状本体１３ｄの一側面には開口部１３ｅが設けられ、該開口部１３ｅの両側にはガイド溝１３ｆが形成され、開口部１３ｅを開閉する蓋体１３ｉの両縁部がガイド溝１３ｆに摺動自在にはめ込まれ、本体１３ｄの両側板には上下に適宜間隔で複数の治具受け１３ｇが設けられ、本体１３ｄの上端には外鍔１３ｈが形成され、該外鍔１３ｈには取っ手１３ｃが取り付けられている。そして、横蓋１３ｆを引き上げ、セット治具１１を開口部１３ｅから挿入して各治具受け１３ｇに載置した後、蓋体１３ｉで開口部１３ｅを閉塞し、バスケット１３Ｂの外鍔１３ｈを洗浄容器４の治具受け１２に引っ掛けることにより、バスケット１３Ｂを洗浄容器４内にセットする。
【００３５】
また、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂ及びセット冶具１１の接触部分、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂ及び洗浄容器４の接触部分に、図外のシール部を設けることにより、該接触部分から洗浄液１の漏れを防止しても良い。なお、セット冶具１１の大きさや形状に適応できれば、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂの大きさや形状は特に限定されない。
【００３６】
図７は、直通式洗浄専用の洗浄容器４と超音波洗浄専用の洗浄容器４１とを交互に配設し、これらの洗浄容器４，４１を用いて同時に複数のセット治具１１を制御して直通式洗浄と超音波洗浄とを交互に行う装置を示している。また、該装置には液切り用のコンプレッサー（図示省略）及び乾燥容器４２が備わり、該乾燥容器４２にはヒーター４２ａ及びブロワー４２ｂによって温風が供給される。洗浄容器４には超音波振動子２１はなく、洗浄容器４内に収められたセット治具１１のフェルールＡは、循環する洗浄液１の高圧洗浄液流によってその貫通孔が洗浄される。また、洗浄容器４１は図外の真空ポンプによる減圧によって洗浄液１を吸い上げる。
【００３７】
図８のように洗浄容器４１の内の中間部分には治具受け４１ｃが設けられ、治具受け４１ｃに載置されるセット治具１１によって洗浄容器４１は上室４１ｂと下室４１ｂとに分けられ、洗浄容器４１の下部には超音波振動子２１が設けられている。また、洗浄容器４１の上室４１ｂには流出口４１ｄが開口し、下室４１ｃの底部には流入口４１ｅが開口し、洗浄容器４１の上端は蓋４１ｆで閉塞されている。
【００３８】
図９は、図７に示す装置を用いた洗浄工程を示している。なお、この洗浄工程では、連設された複数の操作手段２０を用いてセット治具１１をタクト式に搬送する。
【００３９】
そして、複数のセット治具１１のそれぞれに被洗浄物をセットした後、これら複数のセット治具１１を洗浄容器４，４１に入れて被洗浄物を洗浄した後、矢印のように隣の洗浄容器４，４１に次々と移し替えて直通式洗浄と超音波洗浄とを交互に行い、最後に乾燥容器４２に移し替えて被洗浄物を乾燥する。なお、被洗浄物の貫通孔に付着した洗浄液ついては、次工程の直通式洗浄の前に液切りを行って該次工程での洗浄効率を高めるようにする。
【００４０】
なお、超音波洗浄専用の洗浄容器４１として、図１０のように上部及び下部に超音波振動子２１を設けたものや、図１１のように左右両側部に超音波振動子２１を設けたものを用いても良い。
【００４１】
以上の洗浄装置及び洗浄方法に使用される洗浄液１としては、純水や工業用水の他に、炭化水素系溶剤、グリコールエーテル系化合物若しくはアルコール系化合物の洗浄剤、又はこれらと各種界面活性剤及び水等との混合物からなる洗浄剤や、前記混合物からなるエマルジョン系洗浄剤、その他カチオン性、アニオン性、ノニオン性の洗浄剤など各種洗浄剤を使用できる。かかる洗浄剤の洗浄力を高める目的で適宜にヒーターを用いて暖めて使用しても良い。
【００４２】
この洗浄工程で使用される洗浄剤は、洗浄物の材質により異なるが、セラミック製フェルールＡには、実際に使用する液のｐＨが８〜１４のアルカリ系洗浄剤が好ましい。
【００４３】
また、すすぎ液は、純水を使用するのが好ましいが、要求される製品の清浄度によりイオン交換水や市水を用いても良い。また、乾燥効率を上げるため、すすぎ工程後にアルコール類や揮発性の高い溶剤成分などを含む水切り剤を使用しても良い。
【００４４】
なお、被洗浄物はフェルールＡに限られるものではない。
【００４５】
【実施例】
セット冶具１は、縦寸法×横寸法×厚み寸法が８０ｍｍ×８０ｍｍ×５ｍｍ、フェルール（外径が２．５ｍｍ、貫通孔の内径が０．１２５ｍｍ、長さが１０ｍｍ）を１００個搭載可能である。
【００４６】
図１に示す装置を用い、研削工程が終了した１００個のフェルールがセットされたセット治具１１を洗浄容器４の治具受けに載置し、洗浄剤として荒川化学工業（株）製パインアルファＳＴ−８８０の３％水溶液を用い、すすぎ水として純水を用いて、表１に記載の通りに洗浄実験を行った。なお、洗浄容器４には超音波振動子２１が設けられている。洗浄液１は主としてフェルールの微細な貫通孔Ａ１を通過して下室４ｂに流入するので、洗浄容器４の上室の内圧が５ｋｇ／ｃｍ２に達する高圧ダイレクトパスとなった。
【００４７】
比較例は、次の洗浄装置により、表１に記載の通りに洗浄実験を行った。比較例の洗浄装置は、図１２のように底部に多数の通液孔１００が設けれたバスケット１０１を備え、該バスケット１０１を洗浄容器１０２内の受け部１０３に載置して洗浄容器１０２が上室１０４と下室１０５とに分けられるようになっている。そして、１００個のフェルールをセット治具１１を用いることなくバケット１０１内の直に投入し、実施例と同様に、循環ライン中の送液ポンプを作動させてダイレクトパス洗浄を行った。このとき、洗浄容器の上室の内圧は上昇しなかった。
【００４８】
実験の結果は表１に示す通り、比較例では合格率が５０％以下にとどまったが、実施例１では８３％に達してかなりの洗浄効果が得られ、また、実施例２のように超音波洗浄の後にダイレクトパス洗浄を行ったり、実施例３のようにまず超音波洗浄を行い、且つダイレクトパス洗浄と超音波洗浄とを交互に行うことにより、合格率が更に向上した。この結果、実施例１から３は、フェルールＡの微細な貫通孔Ａ１の洗浄に適することが判明した。
【００４９】
【表１】
【発明の効果】
本発明の部品類の洗浄装置及び洗浄方法によれば、高圧の洗浄液が被洗浄物の貫通孔を集中的に流れ込み、洗浄効果を高めることができるので、洗浄が困難な微細な貫通孔を有する光コネクターのフェルール類等の精密部品の洗浄効果を高め、短時間での洗浄が可能になる。また、従来、高圧シャワー洗浄により被洗浄物を１個づつ狙い打ちして洗浄するのに較べ、例えば数百個単位での洗浄が可能になり、量産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る洗浄装置を示す概略図である。
【図２】（ａ）は同装置のセット治具の平面図、（ｂ）は同セット治具の断面図、（ｃ）は同セット治具の拡大断面図である。
【図３】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図４】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図５】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図６】同装置のセット治具のバスケットを示す斜視図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る洗浄装置を示す概略図である。
【図８】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図９】同装置の洗浄工程を示す図である。
【図１０】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図１１】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図１２】比較例に係る洗浄装置を示す概略図である。
【符号の説明】
Ａ フェルール類（部品類）
Ａ１ フェルール類の貫通孔
１ 洗浄液
２ 液タンク
４ 洗浄容器
１１ セット治具（保持手段）
Claims (6)
- 洗浄液の循環ライン中に組み入れられた洗浄容器内の被洗浄物を、前記洗浄容器内を強制流通する洗浄液により洗浄する装置において、
微細な貫通孔を有する被洗浄物を該貫通孔の貫通方向が前記洗浄液の液流方向と同方向又はそれに近い方向となるように保持する保持手段を備え、
被洗浄物の貫通孔内を高圧洗浄液流が通過するように構成したことを特徴とする部品類の洗浄装置。 - 前記保持手段によって前記洗浄容器内を上室と下室とに仕切り、前記上室に流入する前記洗浄液は主として被洗浄物の貫通孔を通って前記下室に至るように構成したことを特徴とする請求項１に記載の部品類の洗浄装置。
- 前記保持手段は、被洗浄物が遊嵌される複数の保持用凹所と、該保持用凹所の底部に設けられる該保持用凹所よりも小径の流通孔とを備え、前記保持用凹所に遊嵌された前記被洗浄物の貫通孔と前記流通孔とが連通するように構成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の部品類の洗浄装置。
- 被洗浄物を超音波により洗浄する超音波洗浄手段を備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の部品類の洗浄装置。
- 請求項４に記載の洗浄装置により、超音波洗浄と、被洗浄物の貫通孔内を高圧洗浄液流を通過させる高圧洗浄とを交互に繰り返すことを特徴とする部品類の洗浄方法。
- 請求項４に記載の洗浄装置により、超音波洗浄と、被洗浄物の貫通孔内を高圧洗浄液流を通過させる高圧洗浄とを同時に行うことを特徴とする部品類の洗浄方法。
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