JP3988320B2 - 物品の洗浄方法および洗浄装置 - Google Patents
物品の洗浄方法および洗浄装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3988320B2 JP3988320B2 JP17180799A JP17180799A JP3988320B2 JP 3988320 B2 JP3988320 B2 JP 3988320B2 JP 17180799 A JP17180799 A JP 17180799A JP 17180799 A JP17180799 A JP 17180799A JP 3988320 B2 JP3988320 B2 JP 3988320B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- vertical container
- cleaning agent
- liquid
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物品の洗浄方法および洗浄装置に関する。詳しくは、特定の洗浄装置を用いて、洗浄剤により、物品の表面や内部に付着している汚れを有効に洗浄除去する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、各種の工業用物品の洗浄には超音波式洗浄装置等が用いられてきた。しかし、超音波は被洗浄物品への当たり方に強弱が生じるため、被洗浄物品に付着している汚れをむらなく短時間に洗浄することは困難であり、特に被洗浄物品を多量に積み重ねて洗浄する場合には、一つ一つの部品が小さいために物品間の遮蔽が起こる。そのため、超音波が、被洗浄物品を積み重ねた層の表面で吸収されてしまって中心部では超音波が弱くなってしまい、洗浄むらが著しく、一度の洗浄により処理できる量に限界があった。
【０００３】
そこで、本発明者らは、短時間にかつ大量に物品の汚れを洗浄処理できる装置として、洗浄塔内に特定の縦形容筒を設けた洗浄装置を開発し、かかる洗浄装置を既に特許出願している（特願平６−１３２９７８号）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、かかる本発明者らの開発した洗浄装置であっても、短時間に汚れを洗浄処理することが困難な場合もあった。たとえば、ハンダボール等の微粒子状の汚れを有する物品または粗粒子状の汚れを有する物品、様々な角度に袋穴または貫通孔を有する物品、板上に平面を有する物品等の洗浄においては、被洗浄物の洗浄度が必ずしも十分とはいえない場合があった。すなわち、本発明は、特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置をより効果的に活用し、各種物品に付着している汚れを効率よく洗浄除去する方法を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、前記問題を解決すべく、特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置を用いた物品の洗浄方法について鋭意検討を重ねた結果、洗浄塔内に設置された、胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する当該特願平６−１３２９７８号に記載の洗浄方法において、（１）該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する際に、該縦形容筒内を流通する液流れと同じ方向に、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込む方法、（２）該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する前および／または強制流通した後に、該縦形容筒内を洗浄剤で充満している状態で、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込む方法、またはこれらの方法を組み合わせることにより、被洗浄物に、洗浄剤の強制流通による洗浄に加えて、洗浄剤の衝撃による洗浄が加わり、各種物品に付着している汚れを効率よく洗浄除去できることを見出し本発明を完成するに至った。
【０００６】
すなわち、本発明は、洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔内に遊挿状態で収容設置されており胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒に、汚れが付着している物品を収納した後、該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通して、物品から汚れを洗浄除去する方法において、該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する際に、該縦形容筒内を流通する液流れと同じ方向に、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込むことを特徴とする物品の洗浄方法；洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔内に遊挿状態で収容設置されており胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒に、汚れが付着している物品を収納した後、該容筒内に洗浄剤を強制流通して、物品から汚れを洗浄除去する方法において、該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する前および／または強制流通した後に、該縦形容筒内を洗浄剤で充満している状態で、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込むことを特徴とする物品の洗浄方法；さらには、前記洗浄方法に用いられる、洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔内に、胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒を遊挿状態で収容設置してなり、かつ該縦形容筒内に収容される被洗浄物を強制流通する洗浄剤により洗浄する手段および該縦形容筒内にエアーを強制的、かつ断続的に吹き込む手段を有する洗浄装置、に関する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
まず、本発明の洗浄方法を適用する基本的な洗浄装置、即ち特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置について、その構造を添付図面に基づいて説明する。
【０００８】
特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置は、図１に概略的に示す全体のフロー図から明らかなように、液槽１内に貯えられた洗浄剤２を液出口１ａと液戻り口１ｂとの間で循環させる液循環ライン３を備え、該液循環ライン３の途中に洗浄塔４と、液強制循環用の送液ポンプ５とが設置されており、かつ、被洗浄物ａ（本発明の汚れの付着した物品をいう、以下同様）の洗浄に引き続き、液切りおよび乾燥を行うことを可能とするために、液循環ライン３の往路３ａの途中から分岐する風又は熱風供給ライン１１と、復路３ｂの途中から分岐する同排気ライン１２、さらには風又は熱風供給ライン１１に送風機１３とヒーター１４とを備えている。
【０００９】
かかる液循環ライン３のうち、往路３ａは液出口１ａを出発点として洗浄塔４の上室４ａに接続し、また復路３ｂは下室４ｂの上端部を出発点として液戻り口１ｂに接続している。一方、洗浄に引き続き行う液切りの場合は送風機１３のみを使用し、乾燥を行う場合には送風機１３およびヒーター１４を使用する。また、送風機１３は図１に示すようにヒーター１４より前のライン１１中に設けてもよくライン１２または気液分離装置１５の後に設けてもよい。
【００１０】
なお、上記ライン１１，１２と液循環ライン３の往復路３ａ，３ｂには、バルブＶ１〜Ｖ４が備えられ、これらバルブＶ１〜Ｖ４の開閉操作により液循環ライン３と乾燥ラインとの切り換えを行う。
【００１１】
図示の例では、洗浄塔４は該洗浄塔４内の洗浄残液をヘッド差を利用して返送ライン６を通じ液槽１内に戻すために液槽１の上方に設置されているが、ポンプを用いて返送するようにすれば、上方設置は特に必要としない。返送ライン６にはバルブＶ５が備えられている。
【００１２】
また、当該洗浄装置の前記洗浄塔４内には、被洗浄物ａを収容するために、胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒７が遊挿状態に収納設置されている。
【００１３】
縦形容筒７は、無蓋有底の筒型（図示せず）であって、底部７ａはパンチングメタルまたは金網などの多孔部材から構成され、而して軸方向に通液可能であり、また胴部７ｂは無孔部材から構成され、胴部７ｂからは液は流出しないものである。なお、筒の断面形状は特に限定されず、円形でもよく多角形でもよいが、一般的には円形のものがよい。また、縦形容筒７の中は仕切り板等により当該容筒中が複数に仕切られている構造のものでもよい。
【００１４】
また、縦形容筒７は、比較的小さな断面積で数多くの被洗浄物ａの収容を可能とするためにできるだけ縦長であることが好ましいが、あまり縦長になりすぎると装置の設計面に無理が生ずるので、直径と高さの比は、前者１に対し後者１〜１０、好ましくは２〜５程度の範囲に設定される。縦形容筒７の直径は特に限定されず、被洗浄物品の種類により、適宜に決定すればよいが、通常は１ｃｍ〜１ｍ程度とされる。好ましくは５ｃｍ〜５０ｃｍ、より好ましくは８ｃｍ〜３０ｃｍである。また、洗浄塔４内に挿入設置される縦型容筒７の本数は任意であり、図１に示すように１本の場合と、複数本の場合（図示せず）とがある。
【００１５】
かかる縦形容筒７を、遊挿、且つ懸吊状態に収納設置するために、縦形容筒７の上端には、通常、フランジ部８が備えられ、該フランジ部８は上記洗浄塔４の内周面の上端から内方に突出している環状部材９上に係架されている。またフランジ部８と環状部材９との重合部は３６０°全範囲に亘って間隙なしに面接触シール部１０を構成し、該シール部１０を境として洗浄塔４内は上室４ａと下室４ｂとに区割されている。
【００１６】
本発明の洗浄方法は、基本的には、このような洗浄装置を用いて被洗浄物ａを洗浄するものであり、以下、かかる基本的な洗浄方法について説明する。すなわち、図１に示す状態で、送液ポンプ５を作動させて液槽１内の洗浄剤２を液循環ライン３内を強制循環させることにより、洗浄剤２は往路３ａから洗浄塔４の上室４ａを経て縦形容筒７内に入り、該縦形容筒７内を軸方向に強制流通せしめられる間に被洗浄物ａの洗浄が行われる。被洗浄物ａの洗浄を行った洗浄剤２は、縦形容筒７の下端から洗浄塔４の下室４ｂの下部に入り、さらに下室４ｂ内を上昇しつつ復路３ｂを経て液槽１内に戻り、循環使用される。なお、この洗浄操作の間は、バルブＶ１，Ｖ２は開状態、Ｖ３〜Ｖ５は閉状態に保持される。
【００１７】
こうした洗浄装置を用いた洗浄方法において、縦形容筒７は縦長で断面積が比較的小さいことに加え、胴部７ｂに通液孔がなく従って通液不能であり、底部７ａにのみ通液孔を有し、上端から下端に向かって通過するので、洗浄剤２は比較的早い流速で、且つ効果的に被洗浄物ａと接触し、油脂類および微粉末の洗浄を効率よく行うことができる。また、被洗浄物ａの積み重ね高さが比較的大きい場合であっても、洗浄剤２は全量が縦型容筒７内を通過するので洗浄剤２の縦型容筒７内での流速は上端から下端間でほぼ一定となり、被洗浄物ａの全体を均一に洗浄することができるため、一度に多くの被洗浄物ａの洗浄処理をすることができる。
【００１８】
縦形容筒７を強制流通する洗浄剤２の流速は、上端から下端までほぼ一定であるので、流速をあげることにより洗浄効率をあげることができるが、洗浄時間や洗浄温度、物品の種類や収納量、付着している汚れの種類などにより適宜に調整すればよい。通常、洗浄剤の流速は、３〜２００ｃｍ／ｓ程度にするのがよく、また洗浄時間は３０秒〜１２０分程度である。また、洗浄温度は、１０〜９０℃程度である。乾燥時間短縮のため、使用可能温度範囲内では、できるだけ高温の方が望ましい。
【００１９】
なお、縦型容筒７の底部７ａと胴部７ｂとに通液孔を備えた場合は、洗浄剤２は縦型容筒７内を通過中、その一部が胴部の通液孔を通って縦型容筒７外に流出していくので、縦型容筒７内における洗浄剤２の流速は下方に至るに従い漸進的に低下し、縦型容筒７内での平均流速は、胴部の開閉率にもよるが本発明に比してかなり低下することになる。さらに縦型容筒の胴部の通液孔を通って外部に流出した洗浄剤２は再び被洗浄物ａと接触することはないので、被洗浄物ａと接触する洗浄剤２の液量も少なくなり、洗浄剤２の全量が被洗浄物ａと接触する本発明に比し接触効率が低下してしまう。
【００２０】
なお、液循環ライン３の復路３ｂは、洗浄塔４の下室４ｂの底部と液槽１の液戻り口１ｂとの間に設けるようにしてもよい。この場合、復路３ｂは洗浄残液の返送ライン６を兼用することができる。
【００２１】
また、図２に示すように、液循環ライン３の往路３ａを洗浄塔４の下室４ｂの底部に、また復路３ｂは上室４ａに接続してもよい。この場合、洗浄剤２は縦型容筒７内を下端から上方に向けて通過し、この間、被洗浄物ａを流動させるので洗浄性が向上する。この場合には、縦型容筒７の上端部に被洗浄物ａの流出防止及び該縦型容筒７の浮き上がり防止を目的として網上部材１８を備えることができる。
【００２２】
また、図３に示すように、ラインを組むことにより、縦形容筒７内へ洗浄剤２を強制流通する方向を、上下方向から下上方向へ、または下上方向から上下方向へ、循環ラインを１回切り替えることもできる。すなわち、図３は、前記図１の液循環ライン３の、往路３ａおよび復路３ｂに、さらに液循環ライン３として往路３ｃおよび復路３ｄを加えたものである。また、往路３ｃにはバルブＶ８が、復路３ｄにはバルブＶ９が設けられている。ここで往路３ａおよび復路３ｂは、該縦形容筒７内へ洗浄剤２を上下方向に強制流通する場合に、往路３ｃおよび復路３ｄは該縦形容筒７内へ洗浄剤２を下上方向に強制流通する場合に用いられる。
【００２３】
図３に示す装置による洗浄は、まずバルブＶ１、バルブＶ２およびバルブＶ１０を開き、その他のバルブを閉じて送液ポンプ５を作動させることにより、図１に記載されていると同様の洗浄、すなわち上下方向の洗浄を行う。かかる上下方向の洗浄の後には、バルブＶ１およびバルブＶ２を閉じ、バルブＶ８およびバルブＶ９を開いて図２に記載されていると同様の洗浄、すなわち下上方向の洗浄を行う。また、図３では、往路３ｃが、下室４ｂの上部に接続されているが、図２のように、往路３ｃを下室４ｂの底部に接続してもよい。なお、このような洗浄剤２を強制流通する方向の切り替えは、上下方向から下上方向、または下上方向から上下方向のいずれでもよい。
【００２４】
このような、洗浄剤の強制流通方向の切り替えを、少なくとも１回行う洗浄方法によれば、洗浄剤２を単に一方向からのみ強制流通する場合に比べて、被洗浄物ａへの洗浄剤２の接触が多面に及び、洗浄効率が向上し、短時間で洗浄度の高い洗浄に有効である。特に、被洗浄物ａのある面が平面同士で重なり合って塞がっているような物品の場合には、僅かな隙間間距離の差により、逆方向からも洗浄することができ有効である。また、被洗浄物ａの種類によっては、洗浄剤２を下上方向に流通させる洗浄時に浮遊して、洗浄効率が向上するものもある。切り替えの回数は特に制限されず、少なくとも１回行うが、通常は、２〜４回程度行うのが好ましい。また、切り替えの時間は、通常、１〜１０分程度の間隔である。
【００２５】
また、前記洗浄塔４には、複数組の洗浄液の循環系を備えることができる（図示せず）。たとえば、３つの循環系では、個別に液槽１Ａ，１Ｂ，１Ｃと循環ライン３Ａ，３Ｂ，３Ｃを備えており、順次に切り替えて、洗浄に供することもできる。また、このような複数の循環系は、異種の洗浄剤による洗浄の他に、洗浄、予備すすぎ、本すすぎなどを順次に行う場合にも便利である。
【００２６】
以上は、基本的に、特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置を用いた場合の洗浄方法について説明したものである。かかる洗浄装置によれば、被洗浄物から汚れを効率よく洗浄除去することができる。本発明の洗浄方法は、このような洗浄方法を応用して、洗浄効率をさらに向上させるものである。したがって、本発明の洗浄方法においては、基本的には特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置を用いた場合の洗浄方法をそのまま応用できる。
【００２７】
本発明の洗浄方法は、前記記載の洗浄方法に、さらに、（１）縦形容筒７内に洗浄剤２を強制流通する際に、該縦形容筒内を流通する液流れと同じ方向に、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込む方法、または（２）縦形容筒７内に洗浄剤を強制流通する前および／または強制流通した後に、該縦形容筒７内を洗浄剤２で充満している状態で、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込む方法を、新たに組み入れる。かかる方法により被洗浄物に、洗浄剤の衝撃による洗浄が加わり、また、かかる方法により、流速が向上することで、被洗浄物の洗浄性がさらに高まる。
【００２８】
以下、本発明の洗浄方法の特徴的なところを添付図面に基づいて説明する。図１、図２および図３に示すように、洗浄装置には、縦形容筒７内にエアーを強制的に吹き込むために、液循環ライン３の往路３ａ（または往路３ｃ）の途中から分岐するエアー供給ライン２１が設けられており、エアー供給ライン２１にはエアータンク１９とコンプレッサー２０とを備えている。また、エアー供給ライン２１にはバルブＶ７（およびバルブ１１：図３のみ）が設けられている。
【００２９】
前記（１）の方法による縦形容筒７内への強制的、かつ断続的なエアーの吹き込みは、液循環ライン３を流通する洗浄剤２の強制流通により、縦形容筒７内に洗浄剤２を強制流通させる際に、バルブＶ７を所定の時間間隔で開き、縦形容筒７内にエアーを強制的、かつ断続的に吹き込むことにより行う。
【００３０】
前記（１）の方法による、エアーの強制的、かつ断続的な吹き込みは、縦形容筒７内を流通する液流れと同じ方向で行うため、図１のように、縦形容筒７内へ洗浄剤２を強制流通する方向を、上下方向に行う場合には、エアー供給ライン２１は、洗浄塔４の上室４ａに接続されている。図２のように、縦形容筒７内へ洗浄剤２を強制流通する方向を、下上方向に行う場合には、エアー供給ライン２１は、洗浄塔４の下室４ｂに接続されている。また、図３のように、縦形容筒７内へ洗浄剤２を強制流通する方向を、適宜に変更しうる場合には、エアー供給ライン２１の接続位置を洗浄塔４の上室４ａまたは下室４ｂに適宜に変更可能なように、バルブ７およびバルブ１１を備えたエアー供給ライン２１が洗浄塔４に接続されている。なお、図３で、エアーの強制的、かつ断続的な吹き込みを上下方向に行う場合には、バルブ７を開、バルブ１１を閉とし、下上方向に行う場合には、バルブ７を閉、バルブ１１を開とする。
【００３１】
また、縦形容筒７内への強制的、かつ断続的なエアーの吹き込みは、前記（２）の方法のように、縦形容筒７内に洗浄剤２を強制流通する前および／または強制流通した後に、該縦形容筒７内を洗浄剤２で充満している状態で、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込む方法によっても行うことができる。
【００３２】
洗浄剤２が縦形容筒７内に充満している状態とは、たとえば、図１および図２において、洗浄剤２を強制流通する前とは、バルブＶ１およびバルブＶ２を開き、バルブＶ５を閉じて、送液ポンプ５を作動させて、縦形容筒７内に洗浄剤２を充満させた状態をいい、洗浄剤２を強制流通した後とは、洗浄剤２を強制流通した後に、送液ポンプ５の作動を止めた状態をいう。このようにして、縦形容筒７内は、洗浄剤２が充満している状態となる。縦形容筒７内に強制的にエアーを吹き込む際には、バルブＶ２を開として、エアー抜きを可能にしておく。図３に示す洗浄装置の場合にも、図１、図２に記載の洗浄装置と同様にして、縦形容筒７内に洗浄剤２を充満させ、縦形容筒７内に強制的にエアーを吹き込む際には、適宜にバルブを開として、エアー抜きを可能にしておく。
【００３３】
なお、洗浄剤２が縦形容筒７内に充満している状態で、縦形容筒７内に、強制的、かつ断続的にエアーを吹き込む場合には、エアーの吹き込みは、上下方向、下上方向のいずれでもよく、また縦形容筒７内を強制流通する、洗浄剤２の液流れと同じである必要もない。また、図３に示すように、エアー供給ライン２１を組むことにより、バルブ１１の開閉により、エアーの吹き込み方向を、上下方向から下上方向、または下上方向から上下方向に適宜に切り替えて行うこともできる。バルブ１１の開閉により、エアーの吹き込み方向を切り替える場合には、バルブ２、バルブ５、バルブ７およびバルブ９をエアーの吹き込み方向に応じて開閉を切り替える。
【００３４】
また、縦形容筒７内に、強制的にエアーの吹き込む方法として、前記（１）および（２）のいずれの方法を採用する場合にも、強制的なエアーの吹き込みは、断続的に繰り返し行う。エアーの吹き込みを断続的に行う場合、エアーの吹き込み時間は、０．５〜１０秒程度、エアーの吹き込み間隔は、５〜１８０秒程度とするのが好ましい。
【００３５】
なお、縦形容筒７内への強制的、かつ断続的なエアーの吹き込みのため、エアータンク１９は、０．０５〜１ＭＰａ（ゲージ圧）程度、好ましくは０．２〜０．６ＭＰａ（ゲージ圧）の加圧状態としておくのが好ましい。
【００３６】
このように、縦形容筒７内に強制的、かつ断続的にエアーを吹き込むことにより、洗浄剤２の強制流通のみでは、十分に除去できなかったような汚れに対しても、強制的なエアーの吹き込みにより洗浄剤の洗浄効率が向上し、洗浄度の高い洗浄を完了できる。特に、被洗浄物ａがハンダボール等の微粒子等の汚れが付着している物品等の場合には、洗浄剤２の衝撃による洗浄が効果的である。また、被洗浄物ａが様々な角度に袋穴または貫通孔を有する物品等の場合にも、洗浄剤２の衝撃により、当該袋穴または貫通孔の奥を効果的に洗浄できる。
【００３７】
前記洗浄装置（図１、図２）において、前記のような所定の洗浄および強制的なエアーの流通を終えた後は、ポンプ５が作動している場合には、ポンプ５の作動を停止して、洗浄剤２の循環を止め、さらにＶ１、Ｖ２を閉じる一方、バルブＶ３〜Ｖ５を開く。バルブＶ３〜Ｖ５の開により、洗浄塔４及び縦形容筒７の洗浄残液は返送ライン６を通じ液槽１内に戻される。一方、外気を液切り及び乾燥側のライン１１、１２を通じて、縦形容筒７及び洗浄塔４内に入れ、洗浄残液の回収を終えた後はバルブＶ５を閉じる。図３のような洗浄装置も同様に、バルブを適宜に開閉し、風又は熱風の供給により液切り及び乾燥を可能とする。
【００３８】
次いで送風機１３の作動をして、風又は熱風の供給により液切り及び乾燥を行う。乾燥時には外気がヒーター１４で加熱され、ライン１１を通じて洗浄塔４の上室４ａから縦形容筒７内に送られ、被洗浄物ａの液切り及び乾燥と付着洗浄剤の剥離を行う。
【００３９】
被洗浄物ａより剥離した付着液は流下ないし滴下して洗浄塔４の下室４ｂの底部に溜まり、底部に溜まった付着液は乾燥操作の終了後にバルブＶ５の開閉により返送ライン６を通じ液槽１に戻される。一方、風または熱風は縦形容筒７の下端から洗浄塔４の下室４ｂの下部に入り、洗浄剤２を下室４ｂの底部に残したまま下室４ｂの上部に向いつつ排気ライン１２を通じ大気中に放出させる。また、排気ライン１２に気液分離装置１５を備え、分離液は返送ライン１６を通じ、バルブＶ６の開閉により液槽１に戻すようにしてもよい。さらに、必要により、洗浄物ａは、すすぎ処理された後に、乾燥される。なお、すすぎ処理剤としては、水等があげられる。
【００４０】
被洗浄物ａの液切り及び乾燥を終えた後は、送風機１３の作動が停止され、さらにＶ３、Ｖ４が閉じられる。
【００４１】
なお、一連の洗浄と乾燥の操作が終了した場合には、洗浄塔４の上蓋１７を開いて縦形容筒７が次の縦形容筒７と取り換えられ、次ぎの操作を順次に行うことができる。
【００４２】
以上説明した、本発明の▲１▼、▲２▼の操作を採用した洗浄方法は、それぞれを組み合わせて行うこともできる。また、かかる本発明の洗浄方法は、リンス工程においても同様に適用できる。
【００４３】
本発明の洗浄方法における被洗浄物である物品とは、電子部品、金属部品、精密部品等の汚れが付着している各種の物品があげられる。具体的には電子部品としては、ヒ−トシンク等の金属板、液晶表示板等のガラス板、ＢＧＡ（ball grid array ）、ＰＧＡ（pin grid array）、またＢＧＡ等の製造工程において、ＢＧＡ基板等にルーター加工、メッキ処理等を施したもの等のＢＧＡ等の構成部品、またＢＧＡを実装したシステムボード、プリント基板材料等があげられ、金属部品としては、ボールベアリング、フェライトコア、金属焼結体部品、自動車エンジン部品、スピンドルモーターのハブ、ブランケット等の各種の部品等があげられ、精密部品としては、ガラス基板、シリコンウエハー、ハードディスク部品、時計等の各種の部品等があげられる。なお、ＢＧＡ等の被洗浄物ａを、容筒７内に収納するにあたっては、パッケージパレットや、マガジン等を使用することができる。
【００４４】
また、物品に付着している「汚れ」とは、油脂類、ハンダボール、フラックス、液晶、ホコリ、指紋、切粉、研磨粉、等であるが特にこれら限定されるものではない。
【００４５】
また、本発明の洗浄方法で用いる洗浄剤は、洗浄剤として用いられているものであれば特に限定されるものではないが、環境特性、臭気、引火性等の要求性能をある程度満足しうる工業用脱脂洗浄剤を使用するのが好ましい。かかる洗浄剤としては、水を単独で使用できる他、水系アルカリ性洗浄剤や、非イオン性界面活性剤、イオン性の界面活性剤およびグリコールエーテル系化合物から選ばれるいずれか少なくとも１種を含有してなる洗浄剤があげられる。また、引火性の点からこれら洗浄剤中に水を少なくとも５重量％含有しているのが好ましい。
【００４６】
水系アルカリ性洗浄剤は、ｐＨ８以上であれば特に限定されず、一般的には、アルカリ金属等の無機塩、アミン類等を含有してなる水溶液があげられる。
【００４７】
無機塩としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、ホウ酸ナトリウム等があげられる。アミン類としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルカノールアミン類が一般的である。
【００４８】
非イオン性界面活性剤の具体例としては、ポリオキシアルキレンアルキル（アルキル基の炭素数６以上）エーテル、ポリオキシアルキレンフェノールエーテル、ポリオキシアルキレンアルキルフェノールエーテルなどのポリアルキレングリコールエーテル型非イオン性界面活性剤；ポリアルキレングリコールモノエステル、ポリアルキレングリコールジエステルなどのポリアルキレングリコールエステル型非イオン性界面活性剤；脂肪酸アミドのアルキレンオキサイド付加物；ソルビタン脂肪酸エステル、ショ糖脂肪酸エステルなどの多価アルコール型非イオン性界面活性剤；脂肪酸アルカノールアミド、ポリオキシアルキレンアルキルアミンなどをあげることができる。これら非イオン性界面活性剤は１種を単独でまたは２種以上を適宜に選択して組み合わせて使用できる。なお、前記アルキレンとは、エチレン、プロピレンまたはブチレンをいい、ポリオキシアルキレンとはポリオキシエチレン、ポリオキシプロピレン、ポリオキシブチレンまたはこれらが共重合したものをいう。これら非イオン性界面活性剤のうち、洗浄力の点からポリエチレングリコールエーテル型非イオン性界面活性剤が好ましい。より好ましいものとしては一般式（１）：Ｒ１−Ｏ−（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍ−Ｈ（式中、Ｒ１は炭素数６〜２０の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、フェニル基、または炭素数７〜１２の直鎖もしくは分岐鎖アルキル基で置換されたフェニル基を、ｍは２〜２０の整数を示す。）で表されるポリオキシエチレンアルキルエーテルである。特にＲ１ は炭素数８〜１６のアルキル基であり、ｍは３〜１６の整数のポリオキシエチレンアルキルエーテルが好ましい。
【００４９】
イオン性の界面活性剤としては、高級アルコールの硫酸エステル塩、アルキル硫酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキル硫酸エステル塩などの各種公知の硫酸エステル系アニオン性界面活性剤；アルキルスルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩などの各種公知のスルホン酸塩系アニオン性界面活性剤；アルキルリン酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルフェニルリン酸エステル塩などのリン酸エステル系アニオン性界面活性剤；アルキル化アンモニウム塩、４級アンモニウム塩などのカチオン性界面活性剤；アミノ酸型、ベタイン型両性界面活性剤などの両性界面活性剤があげられる。
【００５０】
また、グリコールエーテル系化合物としては、一般式（２）：Ｒ２Ｏ−（ＣＨ２（Ｒ４）ＣＨＯ）ｎ−Ｒ３（式中、Ｒ２は水素原子または炭素数１〜５の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基を、Ｒ３は炭素数１〜５の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、Ｒ４は水素原子またはメチル基を、ｎは２〜４の整数を示す）で表される。グリコールエーテル系化合物の具体例としては、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールエチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルブチルエーテル、ジエチレングリコールエチルブチルエーテル、ジエチレングリコールプロピルブチルエーテル、ジエチレングリコールモノペンチルエーテル、ジエチレングリコールジペンチルエーテル、ジエチレングリコールメチルペンチルエーテル、ジエチレングリコールエチルペンチルエーテル、ジエチレングリコールプロピルペンチルエーテル、ジエチレングリコールブチルペンチルエーテル；これらに対応するトリ−もしくはテトラエチレングリコールエーテル類；これらに対応するジ−、トリ−もしくはテトラプロピレングリコールエーテル類を例示できる。これらグリコールエーテル系化合物は単独でまたは２種以上を適宜組み合せて使用できる。
【００５１】
また、これら非イオン性界面活性剤、イオン性界面活性剤およびグリコールエーテル系化合物から選ばれるいずれか少なくとも１種、並びに水を含有してなる工業用脱脂洗浄剤を、水系アルカリ性工業用洗浄剤中に含有させてもよい。その場合でもｐＨは８以上であることが望ましい。
【００５２】
【発明の効果】
本発明の洗浄方法によれば、各種物品に付着している汚れを洗浄でき、良好な洗浄度の物品が得られる。特に、本発明の洗浄方法は、従来の洗浄方法では、洗浄が困難であった、バンプ形成後に基板上に残存するハンダボールやハードディスクのスピンドルモーター等に用いられるハブやブランケット等の袋穴や貫通孔を有する物品の洗浄に有効である。
【００５３】
【実施例】
以下に、実施例をあげて本発明の物品の洗浄方法について、詳細に説明するが、本発明の洗浄方法は、これら各例に限定されるものでない。
【００５４】
比較例１
ハンダボールの残存する基板（バンプ形成後：９４ｍｍ×９４ｍｍ×１ｍｍ）９枚を、図１に示す洗浄装置を備えた縦形容筒７（５４ｍｍ×９５ｍｍ×２５０ｍｍ）に収納した。次いで、洗浄剤Ａを、縦形容筒７内へ流速３２．５ｃｍ／ｓで強制流通し、８０℃で１０分間、洗浄処理を行った。洗浄後、縦形容筒７を、液槽１にリンス液（純水）の入った洗浄装置（図１同様）の洗浄塔に移し、縦形容筒７内へ流速３２．５ｃｍ／ｓで強制流通し、５０℃で１０分間、リンス処理を行った。次いで、熱風ラインに切り替えて、ヒーターによる熱風乾燥を、８０℃で５分間行った。なお、洗浄剤Ａは、グリコールエーテル系洗浄剤（商品名パインアルファＳＴ−１００ＳＸ，荒川化学工業株式会社製）を用いた。
【００５５】
比較例２〜３
比較例１において、洗浄処理における、温度、時間、流量を表１に示すように変えた他は比較例１と同様の操作を行った。
【００５６】
実施例１〜３
比較例１において、洗浄処理における、温度、時間、流速を表１に示すように変え、かつ洗浄処理とともに、縦形容筒７内へのエアーの吹き込み（ゲージ圧：０．５ＭＰａ）を、表１に示す時間、所定の時間間隔で断続的に行った他は比較例１と同様の操作を行った。
【００５７】
比較例１〜３および実施例１〜３で洗浄された、基板表面のハンダボール数を、６０倍顕微鏡により観察し、以下の基準で示した。◎：０個。○：５個未満。×：５個以上。結果を表１に示す。
【００５８】
【表１】
【００５９】
比較例４
袋穴を有し、当該袋穴の中に切粉の付着しているスピンドルモーターのハブ（直径３３ｍｍ×高さ１８ｍｍ）２０個を冶具に収め、図１に示す洗浄装置を備えた縦形容筒７（５４ｍｍ×９５ｍｍ×２５０ｍｍ）に収納した。次いで、洗浄剤Ｂを、縦形容筒７内へ流速３２．５ｃｍ／ｓで強制流通し、７０℃で１０分間、洗浄処理を行った。洗浄後、縦形容筒７を、液槽１にリンス液（純水）の入った洗浄装置（図１同様）の洗浄塔に移し、縦形容筒７内へ流速３２．５ｃｍ／ｓで強制流通し、５０℃で１０分間、リンス処理を行った。次いで、熱風ラインに切り替えて、ヒーターによる熱風乾燥を、７０℃で７分間行った。なお、洗浄剤Ｂは、希釈型水系洗浄剤（商品名パインアルファＳＴ−６５０，荒川化学工業株式会社製）を用いた。
【００６０】
比較例５〜６
比較例４において、洗浄処理における、温度、時間、流速を表２に示すように変えた他は比較例４と同様の操作を行った。
【００６１】
実施例４〜５
比較例４において、洗浄処理における、温度、時間、流速を表２に示すように変え、かつ洗浄処理とともに、縦形容筒７内へのエアーの吹き込み（ゲージ圧：０．５ＭＰａ）を、表１に示す時間、所定の時間間隔で断続的に行った他は比較例４と同様の操作を行った。
【００６２】
比較例４〜６および実施例４〜５で洗浄された、スピンドルモーターのハブの袋穴の切粉の除去の度合いを、６０倍顕微鏡により観察し、以下の基準で示した。○：完全除去。×：残存あり。結果を表２に示す。
【００６３】
【表２】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の洗浄方法を実施するための洗浄装置に係る基本的なフロー図である。
【図２】液循環ラインの変更例を示すフロー図である。
【図３】液循環ラインの変更例を示すフロー図である。
【符号の説明】
１ 液槽
２ 洗浄剤
３ 液循環ライン
４ 洗浄塔
５ 送液ポンプ
６ 返送ライン
７ 縦型容筒
８ フランジ部
９ 環状部材
１０ シール部
１１ 風または熱風供給ライン
１２ 排風ライン
１３ 送風機
１４ ヒーター
１５ 気液分離機
１６ 返送ライン
１７ 上蓋
１８ 網状部材
１９ エアータンク
２０ コンプレッサー
２１ エアー供給ライン
【発明の属する技術分野】
本発明は、物品の洗浄方法および洗浄装置に関する。詳しくは、特定の洗浄装置を用いて、洗浄剤により、物品の表面や内部に付着している汚れを有効に洗浄除去する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、各種の工業用物品の洗浄には超音波式洗浄装置等が用いられてきた。しかし、超音波は被洗浄物品への当たり方に強弱が生じるため、被洗浄物品に付着している汚れをむらなく短時間に洗浄することは困難であり、特に被洗浄物品を多量に積み重ねて洗浄する場合には、一つ一つの部品が小さいために物品間の遮蔽が起こる。そのため、超音波が、被洗浄物品を積み重ねた層の表面で吸収されてしまって中心部では超音波が弱くなってしまい、洗浄むらが著しく、一度の洗浄により処理できる量に限界があった。
【０００３】
そこで、本発明者らは、短時間にかつ大量に物品の汚れを洗浄処理できる装置として、洗浄塔内に特定の縦形容筒を設けた洗浄装置を開発し、かかる洗浄装置を既に特許出願している（特願平６−１３２９７８号）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、かかる本発明者らの開発した洗浄装置であっても、短時間に汚れを洗浄処理することが困難な場合もあった。たとえば、ハンダボール等の微粒子状の汚れを有する物品または粗粒子状の汚れを有する物品、様々な角度に袋穴または貫通孔を有する物品、板上に平面を有する物品等の洗浄においては、被洗浄物の洗浄度が必ずしも十分とはいえない場合があった。すなわち、本発明は、特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置をより効果的に活用し、各種物品に付着している汚れを効率よく洗浄除去する方法を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、前記問題を解決すべく、特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置を用いた物品の洗浄方法について鋭意検討を重ねた結果、洗浄塔内に設置された、胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する当該特願平６−１３２９７８号に記載の洗浄方法において、（１）該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する際に、該縦形容筒内を流通する液流れと同じ方向に、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込む方法、（２）該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する前および／または強制流通した後に、該縦形容筒内を洗浄剤で充満している状態で、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込む方法、またはこれらの方法を組み合わせることにより、被洗浄物に、洗浄剤の強制流通による洗浄に加えて、洗浄剤の衝撃による洗浄が加わり、各種物品に付着している汚れを効率よく洗浄除去できることを見出し本発明を完成するに至った。
【０００６】
すなわち、本発明は、洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔内に遊挿状態で収容設置されており胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒に、汚れが付着している物品を収納した後、該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通して、物品から汚れを洗浄除去する方法において、該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する際に、該縦形容筒内を流通する液流れと同じ方向に、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込むことを特徴とする物品の洗浄方法；洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔内に遊挿状態で収容設置されており胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒に、汚れが付着している物品を収納した後、該容筒内に洗浄剤を強制流通して、物品から汚れを洗浄除去する方法において、該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する前および／または強制流通した後に、該縦形容筒内を洗浄剤で充満している状態で、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込むことを特徴とする物品の洗浄方法；さらには、前記洗浄方法に用いられる、洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔内に、胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒を遊挿状態で収容設置してなり、かつ該縦形容筒内に収容される被洗浄物を強制流通する洗浄剤により洗浄する手段および該縦形容筒内にエアーを強制的、かつ断続的に吹き込む手段を有する洗浄装置、に関する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
まず、本発明の洗浄方法を適用する基本的な洗浄装置、即ち特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置について、その構造を添付図面に基づいて説明する。
【０００８】
特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置は、図１に概略的に示す全体のフロー図から明らかなように、液槽１内に貯えられた洗浄剤２を液出口１ａと液戻り口１ｂとの間で循環させる液循環ライン３を備え、該液循環ライン３の途中に洗浄塔４と、液強制循環用の送液ポンプ５とが設置されており、かつ、被洗浄物ａ（本発明の汚れの付着した物品をいう、以下同様）の洗浄に引き続き、液切りおよび乾燥を行うことを可能とするために、液循環ライン３の往路３ａの途中から分岐する風又は熱風供給ライン１１と、復路３ｂの途中から分岐する同排気ライン１２、さらには風又は熱風供給ライン１１に送風機１３とヒーター１４とを備えている。
【０００９】
かかる液循環ライン３のうち、往路３ａは液出口１ａを出発点として洗浄塔４の上室４ａに接続し、また復路３ｂは下室４ｂの上端部を出発点として液戻り口１ｂに接続している。一方、洗浄に引き続き行う液切りの場合は送風機１３のみを使用し、乾燥を行う場合には送風機１３およびヒーター１４を使用する。また、送風機１３は図１に示すようにヒーター１４より前のライン１１中に設けてもよくライン１２または気液分離装置１５の後に設けてもよい。
【００１０】
なお、上記ライン１１，１２と液循環ライン３の往復路３ａ，３ｂには、バルブＶ１〜Ｖ４が備えられ、これらバルブＶ１〜Ｖ４の開閉操作により液循環ライン３と乾燥ラインとの切り換えを行う。
【００１１】
図示の例では、洗浄塔４は該洗浄塔４内の洗浄残液をヘッド差を利用して返送ライン６を通じ液槽１内に戻すために液槽１の上方に設置されているが、ポンプを用いて返送するようにすれば、上方設置は特に必要としない。返送ライン６にはバルブＶ５が備えられている。
【００１２】
また、当該洗浄装置の前記洗浄塔４内には、被洗浄物ａを収容するために、胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒７が遊挿状態に収納設置されている。
【００１３】
縦形容筒７は、無蓋有底の筒型（図示せず）であって、底部７ａはパンチングメタルまたは金網などの多孔部材から構成され、而して軸方向に通液可能であり、また胴部７ｂは無孔部材から構成され、胴部７ｂからは液は流出しないものである。なお、筒の断面形状は特に限定されず、円形でもよく多角形でもよいが、一般的には円形のものがよい。また、縦形容筒７の中は仕切り板等により当該容筒中が複数に仕切られている構造のものでもよい。
【００１４】
また、縦形容筒７は、比較的小さな断面積で数多くの被洗浄物ａの収容を可能とするためにできるだけ縦長であることが好ましいが、あまり縦長になりすぎると装置の設計面に無理が生ずるので、直径と高さの比は、前者１に対し後者１〜１０、好ましくは２〜５程度の範囲に設定される。縦形容筒７の直径は特に限定されず、被洗浄物品の種類により、適宜に決定すればよいが、通常は１ｃｍ〜１ｍ程度とされる。好ましくは５ｃｍ〜５０ｃｍ、より好ましくは８ｃｍ〜３０ｃｍである。また、洗浄塔４内に挿入設置される縦型容筒７の本数は任意であり、図１に示すように１本の場合と、複数本の場合（図示せず）とがある。
【００１５】
かかる縦形容筒７を、遊挿、且つ懸吊状態に収納設置するために、縦形容筒７の上端には、通常、フランジ部８が備えられ、該フランジ部８は上記洗浄塔４の内周面の上端から内方に突出している環状部材９上に係架されている。またフランジ部８と環状部材９との重合部は３６０°全範囲に亘って間隙なしに面接触シール部１０を構成し、該シール部１０を境として洗浄塔４内は上室４ａと下室４ｂとに区割されている。
【００１６】
本発明の洗浄方法は、基本的には、このような洗浄装置を用いて被洗浄物ａを洗浄するものであり、以下、かかる基本的な洗浄方法について説明する。すなわち、図１に示す状態で、送液ポンプ５を作動させて液槽１内の洗浄剤２を液循環ライン３内を強制循環させることにより、洗浄剤２は往路３ａから洗浄塔４の上室４ａを経て縦形容筒７内に入り、該縦形容筒７内を軸方向に強制流通せしめられる間に被洗浄物ａの洗浄が行われる。被洗浄物ａの洗浄を行った洗浄剤２は、縦形容筒７の下端から洗浄塔４の下室４ｂの下部に入り、さらに下室４ｂ内を上昇しつつ復路３ｂを経て液槽１内に戻り、循環使用される。なお、この洗浄操作の間は、バルブＶ１，Ｖ２は開状態、Ｖ３〜Ｖ５は閉状態に保持される。
【００１７】
こうした洗浄装置を用いた洗浄方法において、縦形容筒７は縦長で断面積が比較的小さいことに加え、胴部７ｂに通液孔がなく従って通液不能であり、底部７ａにのみ通液孔を有し、上端から下端に向かって通過するので、洗浄剤２は比較的早い流速で、且つ効果的に被洗浄物ａと接触し、油脂類および微粉末の洗浄を効率よく行うことができる。また、被洗浄物ａの積み重ね高さが比較的大きい場合であっても、洗浄剤２は全量が縦型容筒７内を通過するので洗浄剤２の縦型容筒７内での流速は上端から下端間でほぼ一定となり、被洗浄物ａの全体を均一に洗浄することができるため、一度に多くの被洗浄物ａの洗浄処理をすることができる。
【００１８】
縦形容筒７を強制流通する洗浄剤２の流速は、上端から下端までほぼ一定であるので、流速をあげることにより洗浄効率をあげることができるが、洗浄時間や洗浄温度、物品の種類や収納量、付着している汚れの種類などにより適宜に調整すればよい。通常、洗浄剤の流速は、３〜２００ｃｍ／ｓ程度にするのがよく、また洗浄時間は３０秒〜１２０分程度である。また、洗浄温度は、１０〜９０℃程度である。乾燥時間短縮のため、使用可能温度範囲内では、できるだけ高温の方が望ましい。
【００１９】
なお、縦型容筒７の底部７ａと胴部７ｂとに通液孔を備えた場合は、洗浄剤２は縦型容筒７内を通過中、その一部が胴部の通液孔を通って縦型容筒７外に流出していくので、縦型容筒７内における洗浄剤２の流速は下方に至るに従い漸進的に低下し、縦型容筒７内での平均流速は、胴部の開閉率にもよるが本発明に比してかなり低下することになる。さらに縦型容筒の胴部の通液孔を通って外部に流出した洗浄剤２は再び被洗浄物ａと接触することはないので、被洗浄物ａと接触する洗浄剤２の液量も少なくなり、洗浄剤２の全量が被洗浄物ａと接触する本発明に比し接触効率が低下してしまう。
【００２０】
なお、液循環ライン３の復路３ｂは、洗浄塔４の下室４ｂの底部と液槽１の液戻り口１ｂとの間に設けるようにしてもよい。この場合、復路３ｂは洗浄残液の返送ライン６を兼用することができる。
【００２１】
また、図２に示すように、液循環ライン３の往路３ａを洗浄塔４の下室４ｂの底部に、また復路３ｂは上室４ａに接続してもよい。この場合、洗浄剤２は縦型容筒７内を下端から上方に向けて通過し、この間、被洗浄物ａを流動させるので洗浄性が向上する。この場合には、縦型容筒７の上端部に被洗浄物ａの流出防止及び該縦型容筒７の浮き上がり防止を目的として網上部材１８を備えることができる。
【００２２】
また、図３に示すように、ラインを組むことにより、縦形容筒７内へ洗浄剤２を強制流通する方向を、上下方向から下上方向へ、または下上方向から上下方向へ、循環ラインを１回切り替えることもできる。すなわち、図３は、前記図１の液循環ライン３の、往路３ａおよび復路３ｂに、さらに液循環ライン３として往路３ｃおよび復路３ｄを加えたものである。また、往路３ｃにはバルブＶ８が、復路３ｄにはバルブＶ９が設けられている。ここで往路３ａおよび復路３ｂは、該縦形容筒７内へ洗浄剤２を上下方向に強制流通する場合に、往路３ｃおよび復路３ｄは該縦形容筒７内へ洗浄剤２を下上方向に強制流通する場合に用いられる。
【００２３】
図３に示す装置による洗浄は、まずバルブＶ１、バルブＶ２およびバルブＶ１０を開き、その他のバルブを閉じて送液ポンプ５を作動させることにより、図１に記載されていると同様の洗浄、すなわち上下方向の洗浄を行う。かかる上下方向の洗浄の後には、バルブＶ１およびバルブＶ２を閉じ、バルブＶ８およびバルブＶ９を開いて図２に記載されていると同様の洗浄、すなわち下上方向の洗浄を行う。また、図３では、往路３ｃが、下室４ｂの上部に接続されているが、図２のように、往路３ｃを下室４ｂの底部に接続してもよい。なお、このような洗浄剤２を強制流通する方向の切り替えは、上下方向から下上方向、または下上方向から上下方向のいずれでもよい。
【００２４】
このような、洗浄剤の強制流通方向の切り替えを、少なくとも１回行う洗浄方法によれば、洗浄剤２を単に一方向からのみ強制流通する場合に比べて、被洗浄物ａへの洗浄剤２の接触が多面に及び、洗浄効率が向上し、短時間で洗浄度の高い洗浄に有効である。特に、被洗浄物ａのある面が平面同士で重なり合って塞がっているような物品の場合には、僅かな隙間間距離の差により、逆方向からも洗浄することができ有効である。また、被洗浄物ａの種類によっては、洗浄剤２を下上方向に流通させる洗浄時に浮遊して、洗浄効率が向上するものもある。切り替えの回数は特に制限されず、少なくとも１回行うが、通常は、２〜４回程度行うのが好ましい。また、切り替えの時間は、通常、１〜１０分程度の間隔である。
【００２５】
また、前記洗浄塔４には、複数組の洗浄液の循環系を備えることができる（図示せず）。たとえば、３つの循環系では、個別に液槽１Ａ，１Ｂ，１Ｃと循環ライン３Ａ，３Ｂ，３Ｃを備えており、順次に切り替えて、洗浄に供することもできる。また、このような複数の循環系は、異種の洗浄剤による洗浄の他に、洗浄、予備すすぎ、本すすぎなどを順次に行う場合にも便利である。
【００２６】
以上は、基本的に、特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置を用いた場合の洗浄方法について説明したものである。かかる洗浄装置によれば、被洗浄物から汚れを効率よく洗浄除去することができる。本発明の洗浄方法は、このような洗浄方法を応用して、洗浄効率をさらに向上させるものである。したがって、本発明の洗浄方法においては、基本的には特願平６−１３２９７８号に記載されている洗浄装置を用いた場合の洗浄方法をそのまま応用できる。
【００２７】
本発明の洗浄方法は、前記記載の洗浄方法に、さらに、（１）縦形容筒７内に洗浄剤２を強制流通する際に、該縦形容筒内を流通する液流れと同じ方向に、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込む方法、または（２）縦形容筒７内に洗浄剤を強制流通する前および／または強制流通した後に、該縦形容筒７内を洗浄剤２で充満している状態で、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込む方法を、新たに組み入れる。かかる方法により被洗浄物に、洗浄剤の衝撃による洗浄が加わり、また、かかる方法により、流速が向上することで、被洗浄物の洗浄性がさらに高まる。
【００２８】
以下、本発明の洗浄方法の特徴的なところを添付図面に基づいて説明する。図１、図２および図３に示すように、洗浄装置には、縦形容筒７内にエアーを強制的に吹き込むために、液循環ライン３の往路３ａ（または往路３ｃ）の途中から分岐するエアー供給ライン２１が設けられており、エアー供給ライン２１にはエアータンク１９とコンプレッサー２０とを備えている。また、エアー供給ライン２１にはバルブＶ７（およびバルブ１１：図３のみ）が設けられている。
【００２９】
前記（１）の方法による縦形容筒７内への強制的、かつ断続的なエアーの吹き込みは、液循環ライン３を流通する洗浄剤２の強制流通により、縦形容筒７内に洗浄剤２を強制流通させる際に、バルブＶ７を所定の時間間隔で開き、縦形容筒７内にエアーを強制的、かつ断続的に吹き込むことにより行う。
【００３０】
前記（１）の方法による、エアーの強制的、かつ断続的な吹き込みは、縦形容筒７内を流通する液流れと同じ方向で行うため、図１のように、縦形容筒７内へ洗浄剤２を強制流通する方向を、上下方向に行う場合には、エアー供給ライン２１は、洗浄塔４の上室４ａに接続されている。図２のように、縦形容筒７内へ洗浄剤２を強制流通する方向を、下上方向に行う場合には、エアー供給ライン２１は、洗浄塔４の下室４ｂに接続されている。また、図３のように、縦形容筒７内へ洗浄剤２を強制流通する方向を、適宜に変更しうる場合には、エアー供給ライン２１の接続位置を洗浄塔４の上室４ａまたは下室４ｂに適宜に変更可能なように、バルブ７およびバルブ１１を備えたエアー供給ライン２１が洗浄塔４に接続されている。なお、図３で、エアーの強制的、かつ断続的な吹き込みを上下方向に行う場合には、バルブ７を開、バルブ１１を閉とし、下上方向に行う場合には、バルブ７を閉、バルブ１１を開とする。
【００３１】
また、縦形容筒７内への強制的、かつ断続的なエアーの吹き込みは、前記（２）の方法のように、縦形容筒７内に洗浄剤２を強制流通する前および／または強制流通した後に、該縦形容筒７内を洗浄剤２で充満している状態で、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込む方法によっても行うことができる。
【００３２】
洗浄剤２が縦形容筒７内に充満している状態とは、たとえば、図１および図２において、洗浄剤２を強制流通する前とは、バルブＶ１およびバルブＶ２を開き、バルブＶ５を閉じて、送液ポンプ５を作動させて、縦形容筒７内に洗浄剤２を充満させた状態をいい、洗浄剤２を強制流通した後とは、洗浄剤２を強制流通した後に、送液ポンプ５の作動を止めた状態をいう。このようにして、縦形容筒７内は、洗浄剤２が充満している状態となる。縦形容筒７内に強制的にエアーを吹き込む際には、バルブＶ２を開として、エアー抜きを可能にしておく。図３に示す洗浄装置の場合にも、図１、図２に記載の洗浄装置と同様にして、縦形容筒７内に洗浄剤２を充満させ、縦形容筒７内に強制的にエアーを吹き込む際には、適宜にバルブを開として、エアー抜きを可能にしておく。
【００３３】
なお、洗浄剤２が縦形容筒７内に充満している状態で、縦形容筒７内に、強制的、かつ断続的にエアーを吹き込む場合には、エアーの吹き込みは、上下方向、下上方向のいずれでもよく、また縦形容筒７内を強制流通する、洗浄剤２の液流れと同じである必要もない。また、図３に示すように、エアー供給ライン２１を組むことにより、バルブ１１の開閉により、エアーの吹き込み方向を、上下方向から下上方向、または下上方向から上下方向に適宜に切り替えて行うこともできる。バルブ１１の開閉により、エアーの吹き込み方向を切り替える場合には、バルブ２、バルブ５、バルブ７およびバルブ９をエアーの吹き込み方向に応じて開閉を切り替える。
【００３４】
また、縦形容筒７内に、強制的にエアーの吹き込む方法として、前記（１）および（２）のいずれの方法を採用する場合にも、強制的なエアーの吹き込みは、断続的に繰り返し行う。エアーの吹き込みを断続的に行う場合、エアーの吹き込み時間は、０．５〜１０秒程度、エアーの吹き込み間隔は、５〜１８０秒程度とするのが好ましい。
【００３５】
なお、縦形容筒７内への強制的、かつ断続的なエアーの吹き込みのため、エアータンク１９は、０．０５〜１ＭＰａ（ゲージ圧）程度、好ましくは０．２〜０．６ＭＰａ（ゲージ圧）の加圧状態としておくのが好ましい。
【００３６】
このように、縦形容筒７内に強制的、かつ断続的にエアーを吹き込むことにより、洗浄剤２の強制流通のみでは、十分に除去できなかったような汚れに対しても、強制的なエアーの吹き込みにより洗浄剤の洗浄効率が向上し、洗浄度の高い洗浄を完了できる。特に、被洗浄物ａがハンダボール等の微粒子等の汚れが付着している物品等の場合には、洗浄剤２の衝撃による洗浄が効果的である。また、被洗浄物ａが様々な角度に袋穴または貫通孔を有する物品等の場合にも、洗浄剤２の衝撃により、当該袋穴または貫通孔の奥を効果的に洗浄できる。
【００３７】
前記洗浄装置（図１、図２）において、前記のような所定の洗浄および強制的なエアーの流通を終えた後は、ポンプ５が作動している場合には、ポンプ５の作動を停止して、洗浄剤２の循環を止め、さらにＶ１、Ｖ２を閉じる一方、バルブＶ３〜Ｖ５を開く。バルブＶ３〜Ｖ５の開により、洗浄塔４及び縦形容筒７の洗浄残液は返送ライン６を通じ液槽１内に戻される。一方、外気を液切り及び乾燥側のライン１１、１２を通じて、縦形容筒７及び洗浄塔４内に入れ、洗浄残液の回収を終えた後はバルブＶ５を閉じる。図３のような洗浄装置も同様に、バルブを適宜に開閉し、風又は熱風の供給により液切り及び乾燥を可能とする。
【００３８】
次いで送風機１３の作動をして、風又は熱風の供給により液切り及び乾燥を行う。乾燥時には外気がヒーター１４で加熱され、ライン１１を通じて洗浄塔４の上室４ａから縦形容筒７内に送られ、被洗浄物ａの液切り及び乾燥と付着洗浄剤の剥離を行う。
【００３９】
被洗浄物ａより剥離した付着液は流下ないし滴下して洗浄塔４の下室４ｂの底部に溜まり、底部に溜まった付着液は乾燥操作の終了後にバルブＶ５の開閉により返送ライン６を通じ液槽１に戻される。一方、風または熱風は縦形容筒７の下端から洗浄塔４の下室４ｂの下部に入り、洗浄剤２を下室４ｂの底部に残したまま下室４ｂの上部に向いつつ排気ライン１２を通じ大気中に放出させる。また、排気ライン１２に気液分離装置１５を備え、分離液は返送ライン１６を通じ、バルブＶ６の開閉により液槽１に戻すようにしてもよい。さらに、必要により、洗浄物ａは、すすぎ処理された後に、乾燥される。なお、すすぎ処理剤としては、水等があげられる。
【００４０】
被洗浄物ａの液切り及び乾燥を終えた後は、送風機１３の作動が停止され、さらにＶ３、Ｖ４が閉じられる。
【００４１】
なお、一連の洗浄と乾燥の操作が終了した場合には、洗浄塔４の上蓋１７を開いて縦形容筒７が次の縦形容筒７と取り換えられ、次ぎの操作を順次に行うことができる。
【００４２】
以上説明した、本発明の▲１▼、▲２▼の操作を採用した洗浄方法は、それぞれを組み合わせて行うこともできる。また、かかる本発明の洗浄方法は、リンス工程においても同様に適用できる。
【００４３】
本発明の洗浄方法における被洗浄物である物品とは、電子部品、金属部品、精密部品等の汚れが付着している各種の物品があげられる。具体的には電子部品としては、ヒ−トシンク等の金属板、液晶表示板等のガラス板、ＢＧＡ（ball grid array ）、ＰＧＡ（pin grid array）、またＢＧＡ等の製造工程において、ＢＧＡ基板等にルーター加工、メッキ処理等を施したもの等のＢＧＡ等の構成部品、またＢＧＡを実装したシステムボード、プリント基板材料等があげられ、金属部品としては、ボールベアリング、フェライトコア、金属焼結体部品、自動車エンジン部品、スピンドルモーターのハブ、ブランケット等の各種の部品等があげられ、精密部品としては、ガラス基板、シリコンウエハー、ハードディスク部品、時計等の各種の部品等があげられる。なお、ＢＧＡ等の被洗浄物ａを、容筒７内に収納するにあたっては、パッケージパレットや、マガジン等を使用することができる。
【００４４】
また、物品に付着している「汚れ」とは、油脂類、ハンダボール、フラックス、液晶、ホコリ、指紋、切粉、研磨粉、等であるが特にこれら限定されるものではない。
【００４５】
また、本発明の洗浄方法で用いる洗浄剤は、洗浄剤として用いられているものであれば特に限定されるものではないが、環境特性、臭気、引火性等の要求性能をある程度満足しうる工業用脱脂洗浄剤を使用するのが好ましい。かかる洗浄剤としては、水を単独で使用できる他、水系アルカリ性洗浄剤や、非イオン性界面活性剤、イオン性の界面活性剤およびグリコールエーテル系化合物から選ばれるいずれか少なくとも１種を含有してなる洗浄剤があげられる。また、引火性の点からこれら洗浄剤中に水を少なくとも５重量％含有しているのが好ましい。
【００４６】
水系アルカリ性洗浄剤は、ｐＨ８以上であれば特に限定されず、一般的には、アルカリ金属等の無機塩、アミン類等を含有してなる水溶液があげられる。
【００４７】
無機塩としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、ホウ酸ナトリウム等があげられる。アミン類としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルカノールアミン類が一般的である。
【００４８】
非イオン性界面活性剤の具体例としては、ポリオキシアルキレンアルキル（アルキル基の炭素数６以上）エーテル、ポリオキシアルキレンフェノールエーテル、ポリオキシアルキレンアルキルフェノールエーテルなどのポリアルキレングリコールエーテル型非イオン性界面活性剤；ポリアルキレングリコールモノエステル、ポリアルキレングリコールジエステルなどのポリアルキレングリコールエステル型非イオン性界面活性剤；脂肪酸アミドのアルキレンオキサイド付加物；ソルビタン脂肪酸エステル、ショ糖脂肪酸エステルなどの多価アルコール型非イオン性界面活性剤；脂肪酸アルカノールアミド、ポリオキシアルキレンアルキルアミンなどをあげることができる。これら非イオン性界面活性剤は１種を単独でまたは２種以上を適宜に選択して組み合わせて使用できる。なお、前記アルキレンとは、エチレン、プロピレンまたはブチレンをいい、ポリオキシアルキレンとはポリオキシエチレン、ポリオキシプロピレン、ポリオキシブチレンまたはこれらが共重合したものをいう。これら非イオン性界面活性剤のうち、洗浄力の点からポリエチレングリコールエーテル型非イオン性界面活性剤が好ましい。より好ましいものとしては一般式（１）：Ｒ１−Ｏ−（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍ−Ｈ（式中、Ｒ１は炭素数６〜２０の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、フェニル基、または炭素数７〜１２の直鎖もしくは分岐鎖アルキル基で置換されたフェニル基を、ｍは２〜２０の整数を示す。）で表されるポリオキシエチレンアルキルエーテルである。特にＲ１ は炭素数８〜１６のアルキル基であり、ｍは３〜１６の整数のポリオキシエチレンアルキルエーテルが好ましい。
【００４９】
イオン性の界面活性剤としては、高級アルコールの硫酸エステル塩、アルキル硫酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキル硫酸エステル塩などの各種公知の硫酸エステル系アニオン性界面活性剤；アルキルスルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩などの各種公知のスルホン酸塩系アニオン性界面活性剤；アルキルリン酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルフェニルリン酸エステル塩などのリン酸エステル系アニオン性界面活性剤；アルキル化アンモニウム塩、４級アンモニウム塩などのカチオン性界面活性剤；アミノ酸型、ベタイン型両性界面活性剤などの両性界面活性剤があげられる。
【００５０】
また、グリコールエーテル系化合物としては、一般式（２）：Ｒ２Ｏ−（ＣＨ２（Ｒ４）ＣＨＯ）ｎ−Ｒ３（式中、Ｒ２は水素原子または炭素数１〜５の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基を、Ｒ３は炭素数１〜５の直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、Ｒ４は水素原子またはメチル基を、ｎは２〜４の整数を示す）で表される。グリコールエーテル系化合物の具体例としては、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールエチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルブチルエーテル、ジエチレングリコールエチルブチルエーテル、ジエチレングリコールプロピルブチルエーテル、ジエチレングリコールモノペンチルエーテル、ジエチレングリコールジペンチルエーテル、ジエチレングリコールメチルペンチルエーテル、ジエチレングリコールエチルペンチルエーテル、ジエチレングリコールプロピルペンチルエーテル、ジエチレングリコールブチルペンチルエーテル；これらに対応するトリ−もしくはテトラエチレングリコールエーテル類；これらに対応するジ−、トリ−もしくはテトラプロピレングリコールエーテル類を例示できる。これらグリコールエーテル系化合物は単独でまたは２種以上を適宜組み合せて使用できる。
【００５１】
また、これら非イオン性界面活性剤、イオン性界面活性剤およびグリコールエーテル系化合物から選ばれるいずれか少なくとも１種、並びに水を含有してなる工業用脱脂洗浄剤を、水系アルカリ性工業用洗浄剤中に含有させてもよい。その場合でもｐＨは８以上であることが望ましい。
【００５２】
【発明の効果】
本発明の洗浄方法によれば、各種物品に付着している汚れを洗浄でき、良好な洗浄度の物品が得られる。特に、本発明の洗浄方法は、従来の洗浄方法では、洗浄が困難であった、バンプ形成後に基板上に残存するハンダボールやハードディスクのスピンドルモーター等に用いられるハブやブランケット等の袋穴や貫通孔を有する物品の洗浄に有効である。
【００５３】
【実施例】
以下に、実施例をあげて本発明の物品の洗浄方法について、詳細に説明するが、本発明の洗浄方法は、これら各例に限定されるものでない。
【００５４】
比較例１
ハンダボールの残存する基板（バンプ形成後：９４ｍｍ×９４ｍｍ×１ｍｍ）９枚を、図１に示す洗浄装置を備えた縦形容筒７（５４ｍｍ×９５ｍｍ×２５０ｍｍ）に収納した。次いで、洗浄剤Ａを、縦形容筒７内へ流速３２．５ｃｍ／ｓで強制流通し、８０℃で１０分間、洗浄処理を行った。洗浄後、縦形容筒７を、液槽１にリンス液（純水）の入った洗浄装置（図１同様）の洗浄塔に移し、縦形容筒７内へ流速３２．５ｃｍ／ｓで強制流通し、５０℃で１０分間、リンス処理を行った。次いで、熱風ラインに切り替えて、ヒーターによる熱風乾燥を、８０℃で５分間行った。なお、洗浄剤Ａは、グリコールエーテル系洗浄剤（商品名パインアルファＳＴ−１００ＳＸ，荒川化学工業株式会社製）を用いた。
【００５５】
比較例２〜３
比較例１において、洗浄処理における、温度、時間、流量を表１に示すように変えた他は比較例１と同様の操作を行った。
【００５６】
実施例１〜３
比較例１において、洗浄処理における、温度、時間、流速を表１に示すように変え、かつ洗浄処理とともに、縦形容筒７内へのエアーの吹き込み（ゲージ圧：０．５ＭＰａ）を、表１に示す時間、所定の時間間隔で断続的に行った他は比較例１と同様の操作を行った。
【００５７】
比較例１〜３および実施例１〜３で洗浄された、基板表面のハンダボール数を、６０倍顕微鏡により観察し、以下の基準で示した。◎：０個。○：５個未満。×：５個以上。結果を表１に示す。
【００５８】
【表１】
比較例４
袋穴を有し、当該袋穴の中に切粉の付着しているスピンドルモーターのハブ（直径３３ｍｍ×高さ１８ｍｍ）２０個を冶具に収め、図１に示す洗浄装置を備えた縦形容筒７（５４ｍｍ×９５ｍｍ×２５０ｍｍ）に収納した。次いで、洗浄剤Ｂを、縦形容筒７内へ流速３２．５ｃｍ／ｓで強制流通し、７０℃で１０分間、洗浄処理を行った。洗浄後、縦形容筒７を、液槽１にリンス液（純水）の入った洗浄装置（図１同様）の洗浄塔に移し、縦形容筒７内へ流速３２．５ｃｍ／ｓで強制流通し、５０℃で１０分間、リンス処理を行った。次いで、熱風ラインに切り替えて、ヒーターによる熱風乾燥を、７０℃で７分間行った。なお、洗浄剤Ｂは、希釈型水系洗浄剤（商品名パインアルファＳＴ−６５０，荒川化学工業株式会社製）を用いた。
【００６０】
比較例５〜６
比較例４において、洗浄処理における、温度、時間、流速を表２に示すように変えた他は比較例４と同様の操作を行った。
【００６１】
実施例４〜５
比較例４において、洗浄処理における、温度、時間、流速を表２に示すように変え、かつ洗浄処理とともに、縦形容筒７内へのエアーの吹き込み（ゲージ圧：０．５ＭＰａ）を、表１に示す時間、所定の時間間隔で断続的に行った他は比較例４と同様の操作を行った。
【００６２】
比較例４〜６および実施例４〜５で洗浄された、スピンドルモーターのハブの袋穴の切粉の除去の度合いを、６０倍顕微鏡により観察し、以下の基準で示した。○：完全除去。×：残存あり。結果を表２に示す。
【００６３】
【表２】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の洗浄方法を実施するための洗浄装置に係る基本的なフロー図である。
【図２】液循環ラインの変更例を示すフロー図である。
【図３】液循環ラインの変更例を示すフロー図である。
【符号の説明】
１ 液槽
２ 洗浄剤
３ 液循環ライン
４ 洗浄塔
５ 送液ポンプ
６ 返送ライン
７ 縦型容筒
８ フランジ部
９ 環状部材
１０ シール部
１１ 風または熱風供給ライン
１２ 排風ライン
１３ 送風機
１４ ヒーター
１５ 気液分離機
１６ 返送ライン
１７ 上蓋
１８ 網状部材
１９ エアータンク
２０ コンプレッサー
２１ エアー供給ライン
Claims (9)
- 洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔内に遊挿状態で収容設置されており胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒に、汚れが付着している物品を収納した後、該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通して、物品から汚れを洗浄除去する方法において、該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する際に、該縦形容筒内を流通する液流れと同じ方向に、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込むことを特徴とする物品の洗浄方法。
- 洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔内に遊挿状態で収容設置されており胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒に、汚れが付着している物品を収納した後、該容筒内に洗浄剤を強制流通して、物品から汚れを洗浄除去する方法において、該縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する前および／または強制流通した後に、該縦形容筒内を洗浄剤で充満している状態で、エアーを強制的、かつ断続的に吹き込むことを特徴とする物品の洗浄方法。
- 縦形容筒内に洗浄剤を強制流通する方向を、上下方向から下上方向または下上方向から上下方向へ、循環ラインを少なくとも１回切り替えることを特徴とする請求項１または２記載の洗浄方法。
- 縦形容筒が縦長であって、直径と高さの比が前者１に対し後者１〜１０であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の洗浄方法。
- 洗浄塔に、洗浄剤の循環ラインと切り替え可能に、風または熱風の供給ラインおよび排出ラインが備えられており、洗浄除去後にラインを切り替えて乾燥することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の洗浄方法。
- 縦形容筒への、風または熱風の供給の方向を、上下方向から下上方向または下上方向から上下方向へ、供給ラインおよび排出ラインを少なくとも１回切り替えることを特徴とする請求項５記載の洗浄方法。
- 縦形容筒が洗浄塔内に懸吊状態に収納設置され且つ洗浄塔内が上室と下室とに区画され、上記容筒は上端側で上室内に、下端側で下室の下部にそれぞれ連通し、洗浄液が、上室、縦形容筒、下室下部次いで下室上部の順に通過する構成とされ、さらに下室下部には、洗浄残液の排出ラインが備えられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の洗浄方法。
- 洗浄塔の上室に風または熱風の供給ラインが、下室上部には同排出ラインが、それぞれ洗浄液の循環ラインと切り替え可能に備えられていることを特徴とする請求項７記載の洗浄方法。
- 洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔内に、胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の縦形容筒を遊挿状態で収容設置してなり、かつ該縦形容筒内に収容される被洗浄物を強制流通する洗浄剤により洗浄する手段および該縦形容筒内にエアーを強制的、かつ断続的に吹き込む手段を有する洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17180799A JP3988320B2 (ja) | 1999-06-18 | 1999-06-18 | 物品の洗浄方法および洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17180799A JP3988320B2 (ja) | 1999-06-18 | 1999-06-18 | 物品の洗浄方法および洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001000932A JP2001000932A (ja) | 2001-01-09 |
| JP3988320B2 true JP3988320B2 (ja) | 2007-10-10 |
Family
ID=15930098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17180799A Expired - Lifetime JP3988320B2 (ja) | 1999-06-18 | 1999-06-18 | 物品の洗浄方法および洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3988320B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3846584B2 (ja) * | 2002-10-24 | 2006-11-15 | 荒川化学工業株式会社 | 部品類の洗浄装置及び洗浄方法 |
| GB2436331A (en) * | 2006-03-24 | 2007-09-26 | Mecwash Systems Ltd | An aqueous washing system and method for engineering components. |
| GB2436453A (en) * | 2006-03-24 | 2007-09-26 | Mecwash Systems Ltd | An aqueous washing system and method |
| CN112620232A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-04-09 | 华菱安赛乐米塔尔汽车板有限公司 | 一种降低酸再生氯化亚铁洗涤塔填料结垢的工艺方法 |
-
1999
- 1999-06-18 JP JP17180799A patent/JP3988320B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001000932A (ja) | 2001-01-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI388659B (zh) | Detergent composition | |
| USRE46454E1 (en) | Particle removal method using an aqueous polyphosphate solution | |
| US8765653B2 (en) | Formulations and method for post-CMP cleaning | |
| US8636848B2 (en) | Vacuumable gel for decontaminating surfaces and use thereof | |
| JP4013207B2 (ja) | 洗浄システム及び洗浄方法 | |
| CN108384645B (zh) | 工件用脱脂剂、制备方法及工件表面喷淋式前处理方法 | |
| KR100989542B1 (ko) | 반도체 기판용 세정액 | |
| US20010039251A1 (en) | Removal of screening paste residue with quaternary ammonium hydroxide-based aqueous cleaning compositions | |
| US5223162A (en) | Washing composition for inhibiting stress cracking in poly(alkylene terephthalate) articles and methods of use therefor | |
| CN101255386B (zh) | 半导体硅片化学机械抛光用清洗液 | |
| JP3988320B2 (ja) | 物品の洗浄方法および洗浄装置 | |
| CN101289641A (zh) | 晶圆抛光用清洗剂 | |
| US5230824A (en) | Aqueous tertiary thiol ethoxylate cleaning composition | |
| JP3376800B2 (ja) | 物品の洗浄方法 | |
| JP3399708B2 (ja) | 油脂類および微粉末の付着した小物部品の洗浄方法 | |
| JPS61118499A (ja) | スプレ−洗浄用洗浄剤 | |
| JP3341539B2 (ja) | 洗浄方法 | |
| JP3674655B2 (ja) | フリップチップ実装物の洗浄処理方法および当該洗浄処理方法に用いる調整水溶液 | |
| JPH1046198A (ja) | フリップチップ実装物のフラックス除去用洗浄剤およびフリップチップ実装物の洗浄方法 | |
| JPH09132800A (ja) | 洗浄剤組成物及び洗浄方法 | |
| US5875801A (en) | Aqueous cleaning of blade stack | |
| JP2001131582A (ja) | 硬質表面液体洗浄剤組成物および硬質表面洗浄方法 | |
| KR101317252B1 (ko) | 웨이퍼 세정시스템 | |
| JPH02203979A (ja) | 物品の洗滌方法および洗滌装置 | |
| JP2014088537A (ja) | ハードディスク基板用洗浄剤、ハードディスク基板用洗浄液及びハードディスク基板の洗浄方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040520 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061127 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061211 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070122 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070626 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070709 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3988320 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130727 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |