CN1132045C - 一种用于液晶装置的清洁装置,清洁方法和制造方法 - Google Patents

一种用于液晶装置的清洁装置,清洁方法和制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明目的是提供一个可以通过简化的处理系统,可以不使用诸如碳氟化合物的有害液体安全和有效地去除污垢的清洁装置,它包括:用于保存清洁用水的清洁容器;用于保存由所述清洁容器流出的污水的集中容器;用于收集由所述集中容器流出的污水以将该污水分离为过滤后的水和浓缩后的污水的超滤薄膜;和用于将浓缩后的污水返回所述集中容器的水管道。该超滤薄膜配置有一个用于去除污垢废物的逆流过滤系统。

Description

一种用于液晶装置的清洁装置,清洁方法和制造方法
本发明涉及一种用于为待清洁商品去除污垢的清洁装置,更具体地,它涉及一种用于制造液晶装置的具有清洁过程的方法。
在各种工业领域,当制造一个客观产品时,污垢可以会附着在产品,具有该产品的装置,用于制造该产品的夹具等上,污垢必须在适当时刻从该产品等等上去除。
例如,当考虑到液晶装置的制造过程,该液晶装置是用于通过将液晶用作光调制元件来显示诸如字符,数字和图案的信息,不需要的液晶可能会作为污垢而附着在完成的液晶板,具有液晶板的液晶装置,在制造过程中使用的夹具等等上。要求在适当时刻去除这种污垢。
作为用于去除污垢的清洁装置,使用碳氟化合物溶剂的超声波波清洁装置是已知的。在清洁装置中,将要被清洁的商品被浸入保存由碳氟化合物的保存容器中,其中超声波振荡被用于从待清洁商品中去除污垢。
然而,上述传统的清洁装置带来的问题是,由于碳氟化合物等等,使得要求为防止空气污染而特殊设计的昂贵复杂处理装置,还需要为防止被去除的污垢作为污水流出而特殊设计的昂贵复杂的处理装置。
同时,当清洁液晶装置时,可以采用诸如在日本未审查的专利申请公开No.7-13115中公开的装置的清洁装置。在该装置中,液晶可容易地通过超滤薄膜由混合有液晶的清洁液体中分离和去除。使用超滤薄膜的清洁装置包括包含有由水溶剂制成的清洁液体的清洁容器和安置在清洁容器底部由振荡器激发的振动器,其中诸如其上粘附有液晶的玻璃基片的待清洁商品被浸入清洁容器的清洁液体中。
粘附在浸入液体中的玻璃基片的表面上的液晶被由振动器激发而产生的超声波波以及清洁液体的去污性清洁出基片。其中混合有液晶的清洁液体溢出到附于清洁容器上表面的一个环形槽中,并经由管系统传输到液晶集中容器。集中容器中的溶剂通过泵的驱动而压向超滤薄膜,从而被分离为在溶剂中的乳化状的液晶成分和基本纯净的清洁液体。因为分离出来的基本纯净的清洁液体再循环到清洁容器中,所以可以实现清洁液体的再使用和液晶的回收。
然而,在该清洁方法和清洁容器中,在通过利用超滤薄膜将清洁液体分离为溶剂和基本纯净的清洁液体来重复使用清洁液体的过程中,逐渐沉积在超滤薄膜内表面上的污垢废物会降低对过滤后的水的分离性能。由于降低的分离性能,清洁液体在包含诸如液晶的污垢的状态中循环,使得在清洁容器中的清洁液体不能有效地实现清洁。还有,清洁装置的结构不足以进行该清洁过程。
有鉴于上述问题,提出了本发明,它的一个目的是提供一个可以安全和有效地从通过不使用诸如碳氟化合物的有害液体的长时间再循环,并通过简化的处理系统来重复使用的清洁液体中去除污垢的清洁装置,使得可以使用经由少量污垢的最新清洁液体来有效地清洁待清洁商品。
(1)为了实现上述目的,在用于从待清洁商品中去除污垢的清洁装置中,根据本发明的一个清洁装置包含用于保存用于清洁待清洁商品的清洁用水的清洁容器;用于保存由清洁容器中流出的污水的集中容器;一个用于收集由所述集中容器流出的污水以将所述污水分离为过滤后的水和浓缩后的污水的超滤薄膜;一个用于将由超滤薄膜流出的浓缩后的污水返回所述集中容器的水管道;一个用液体从过滤水一端向污水一端反向冲刷所述超滤薄膜的逆流过滤系统。
在上述结构中,待清洁商品可以是任意商品,例如,一个用于通过将液晶用作光调制元件来显示字符,数字,和图案的液晶装置;一个形成液晶装置主体部分的液晶板;和一个在制造液晶装置过程中使用的夹具。
污垢可以是各种物质;例如,粘附在液晶装置和夹具等的外表面上的不需要的液晶。液晶是一种未经许可不能倾倒在任意地方的物质。
在根据本发明的清洁装置中,使用水而不使用诸如碳氟化合物或特殊去污剂的有害液体来进行清洁,使得无需忧虑对外部环境的污染。因为由过滤装置流出的浓缩污水被返回集中容器,所以诸如不需要的液晶的污垢不能流到外面,此外还可以减少一定数量的废水。
此外,因为逆流过滤系统被用于超滤薄膜,在重复使用的循环清洁液体中的污垢可以长期地由此有效和安全地去除。从而,可以随时使用基本纯净的水来清洁待清洁商品。还有,一个待清洁商品可以使用具有少量污垢的最新清洁液体来有效地清洁。
(2)在用于从待清洁商品中去除污垢的清洁装置中,根据本发明的另一种清洁装置包含一个用于保存用于清洁待清洁商品的清洁用水的清洁容器;一个用于保存由所述清洁容器流出的污水的集中容器;一个用于收集由所述集中容器流出的污水以将所述污水分离为过滤后的水和浓缩后的污水的超滤薄膜;一个用于将由超滤薄膜流出的浓缩后的污水返回所述集中容器的水管道;其中多个超滤薄膜由所述集中容器开始相互平行地排列在水管道中。
根据该清洁装置,用于过滤污水的处理能力可增大如多重超滤薄膜所提供的一样多。
(3)在用于从待清洁商品中去除污垢的清洁装置中,根据本发明的再另一个清洁装置包括第一清洁单元;和第二清洁单元,其中所述第一清洁单元是根据由(1)所述的清洁装置而形成的,而所述第二清洁单元是根据由(2)所述的清洁装置而形成的。
根据该清洁装置的结构,基本的清洁过程在具有逆流过滤系统的第一清洁单元中进行,而漂洗过程可以在具有多重超滤薄膜的第二清洁单元中进行,使得因此实现极其有效的清洁。
(4)在一种用于为待清洁商品去除污垢的清洁方法,根据本发明的所述方法包括:在一个清洁容器中清洁待清洁商品;将由所述清洁容器流出的污水保存在一个集中容器中;利用一个超滤薄膜将由所述集中容器流出的污水分离为过滤后的水和浓缩后的污水;将由超滤薄膜流出的浓缩后的污水返回所述集中容器;通过一个逆流过滤系统用液体由过滤水一端向污水一端反向冲刷所述超滤薄膜。
(5)在一种用于为待清洁商品去除污垢的清洁方法,所述方法包括:在一个清洁容器中清洁待清洁商品;将由所述清洁容器流出的污水保存在一个集中容器中;利用一个超滤薄膜将由所述集中容器流出的污水分离为过滤后的水和浓缩后的污水;将由超滤薄膜流出的浓缩后的污水返回所述集中容器;其中多个超滤薄膜由所述集中容器开始相互平行地排列在水管道中。
(6)根据本发明的再另一个清洁方法包括根据如(4)所述的方法来清洁待清洁商品;和根据如(5)所述的方法来清洁待清洁商品。
(7)根据本发明的用于制造液晶的方法包括一个采用(4)到(6)中任何一项的清洁方法来清洁待清洁商品的步骤,其中待清洁商品是一个液晶屏或液晶装置。
下面将结合附图对本发明进行详细描述。
图1是根据本发明的一个实施例的清洁装置。
图2是在图1所示清洁装置中使用的过滤装置的实例的部分剖视图。
其中
1a      第一清洁单元
1b      第二清洁单元
2a      第一清洁容器
2b      第二清洁容器
3a,3b  集中容器
4       超滤器(过滤装置)
6       超声波振动器
7       溢出水回收单元
9       过滤容器
11      超滤薄膜
12      第一排水口
13      第二排水口
14      待清洁商品
16      加热器
17      进水口
B1到B10    电磁阀
P1到P10    泵
L1到L16    水管道
W1    清洁用水
W2    污水
W3    过滤后的水
W4    水
W5    浓缩的污水
图1显示了根据本发明的一种清洁装置的实施例。附图所示的清洁装置包括一个用于基本清洁的第一清洁单元1a和一个用于漂洗的第二清洁单元1b。第一清洁单元1a包括用于保存清洁用水″W1″的第一清洁容器2a,用于保存溢出的污水″W2″的集中容器3a,一个作为过滤装置的超滤薄膜,和一个用于保存过滤后的水″W3″的过滤容器。
在第一清洁容器2a和供水管道″11″之间连接有一个包含电磁阀(通常为关闭)″B1″的水管道现″L15″。当电磁阀″B1″打开时,水″W4″由供水管道“L1”提供并通过电磁阀“B1”流入第一清洁容器2a。虽然水“W4”是没有污垢的干净纯水(热水),一个待清洁商品14在第一清洁容器2a中被清洁,使得清洁用水“W1”包含污垢。因此,保存在第一清洁容器2a中的清洁用水“W1”一般为包含污垢的污水。
为第一清洁容器2a配置有一个超声波振动器6和一个用于收集由第一清洁容器流出的清洁用水(包含污垢的污水)的溢出水回收单元7。还有,用于加热清洁用水“W1”的加热器16被配置在第一清洁容器2a内部。
集中容器3a连接到由溢出水回收单元7延伸出的水管道“L2”以收集由第一清洁容器2a溢出的清洁用水,以将它保存其中,该清洁用水是包含污垢的污水“W2”。集中容器3a配置有一个抽水部分8。一个泵“P1”安装在由抽水部分8延伸出的水管道“L3”中。另外,水管道“L3”连接到超滤薄膜4的一个入口17。还有,电磁阀(通常关闭)“B10”与泵“P1”并联安装。
如图2所示,例如,超滤薄膜包括多个捆在一起的超滤薄膜11,每一薄膜形成为窄麦杆状。超滤薄膜11安装在污水“W2”的水管道中。当污水“W2”流过超滤薄膜11时,水由在预定压力下流动的污水“W2”过滤通过超滤薄膜11的薄膜壁。以此方式过滤后的“W3”由第一排水口12取出。另一方面,因为过滤后的水“W3”由此取出,而具有增大的污垢浓度的污水,即,浓缩的污水“W5”由第二排水口13取出。
在图1中,超滤器4的第二排水口13经水管道“L4”连接到集中容器3a。从而,由第二排水口排出的浓缩后的污水“W5”经水管道“L4”返回集中容器3a,这导致包含在集中容器3a中的污水“W2”中的污垢浓度的逐渐增加。
另一方面,超滤器4的第一排水口12经水管道“L5”连接到过滤容器9。从而,由第一排水口12排出的过滤后的水“W3”经过一个电磁阀(通常打开)“B2”保存在过滤容器9中。也即,在过滤容器9中,保存有完全或基本没有污垢的过滤后的水“W3”。
过滤管9通过一个水管道“L6”连接到第一清洁容器2a。在水管道“L6”的中点处安装了一个电磁阀(通常关闭)“B3”和一个泵“P2”。当电磁阀“B3”打开而泵“ P2”工作时,在过滤容器9中的过滤后的水返回第一清洁容器2a。从而,第一清洁容器2a可以保持预定的水位而无需经常由水管道“L1”供水。
用于向外将过滤后的水排入容器的废水管道“L7”经电磁阀(通常关闭)“B7”连接到过滤容器9。因为过滤后的水“W3”完全或基本不包含污垢,所以废水管道“L7”的排放目的地可以是任意地点。还有,废水管道“L8”经一个电磁阀(通常关闭)“B8”和泵“P5”来连接到集中容器3a。因为包含在集中容器3a中的污水“W2”中的污垢可能对环境有害,所以来自废水管道“L8”的废物作为工业废物而被适当地处置。
在第一清洁单元1a中,在由过滤容器9延伸出的废水管道“L7”和由超滤器4的第一排水口12延伸到过滤容器9的水管道“L5”之间配置有一个用于逆流操作的水管道“L9”,用以清除沉积在超滤薄膜11的内表面上的污垢废物。在水管道“L9”的中点,安装有一个电磁阀(通常关闭)“B4”和泵“P3”。
在图1中,用于漂洗的第二清洁单元1b包括用于保存清洁用水“W1”的第二清洁容器2b,用于保存污水“W2”的集中容器3b,和两个相互平行放置的作为过滤装置的超滤器4。
一个包括电磁阀(通常打开)“B5”的水管道“L16”连接在第二清洁容器2b和供水管道“L1”之间。由供水管道“L1”所提供的水“W4”经电磁阀“B5”流入第二清洁容器2b。虽然水“W4”是不含污垢的干净纯水(热水),待清洁商品14在第二清洁容器2b中清洁,使得清洁用水“W1”不含污垢。因此,保存在第二清洁容器2b中的清洁用水“W1”一般为有污垢的污水。第二清洁容器2b配置有一个超声波振动器6和一个用于收集由此溢出的清洁用水的溢出水回收单元7。然而,在此未配置加热器。
集中容器3b连接到一个由溢出水回收单元7延伸出的水管道“L10”以收集由第二清洁容器2b溢出的清洁用水,用以将它保存于此,该清洁用水是不含污垢的污水“W2”。集中容器3b配置有一个抽水部分8。一个泵“P4”安装在由抽水部分8延伸出的水管道“L11”中。另外,水管道“L11”还连接到两个平行放置,用以增大过滤效率(性能)的超滤器4上。
这些超滤器4与图2所示的超滤器结构一样,所以在此省略对它们的描述。超滤器4的第二排水口13经水管道“L12”连接到集中容器3b。从而,由第二排水口13排出的浓缩后的污水“W5”经水管道“L12”返回到集中容器3b中,这导致了包含在集中容器3b中的污水中的污垢浓度的逐渐增加
另一方面,超滤器4的第一排水口12通过一个包括一个电磁阀(通常打开)“B6”的水管道“L13”直接连接到废水管道“L7”。还有,集中容器3b通过一个包括一个电磁阀(通常关闭)“B9”和泵“P6”的水管道“L14”连接到废水管道“L8”。
下面将要描述具有上述结构的清洁装置的操作过程和清洁方法。
在图1中,通过打开附于在第一清洁单元1a中的第一清洁容器2a上的电磁阀“B1”来将水“W4”引入第一清洁容器2a,使得第一清洁容器2a充满清洁用水“W1”。还有,由第一清洁容器2a溢出的过多水被引入集中容器3a中。通过操作在第一清洁容器2a中的加热器16来将清洁用水“W1”加热到预定温度,例如约40℃。
另一方面,通过将水“W4”经附于第二清洁容器2b上的电磁阀“B5”引入第二清洁容器2b来使在第二清洁单元1b中的第二清洁容器2b充满清洁用水“W1”。还有,由第二清洁容器2b溢出的过多水被引入集中容器3b。在第二清洁容器2b中的清洁用水保持在室温而无需加热。
在这一状态中,诸如形成液晶板的基片,通过基片的沉积而形成的液晶板或充满液晶的液晶板,作为具有液晶板的液晶装置,或用于生产液晶装置的夹具的待清洁商品14被沉入第一清洁容器2a中的清洁用水“W1”中,以清洁该商品。因为清洁过程是使用约40℃的热水来进行的,所以粘附在待清洁商品14上的污垢被显著和有效地去除。
然后,待清洁商品14被抬出第一清洁容器2a中以进一步传输到第二清洁单元1b,其中该商品被沉入在第二清洁容器2b中的清洁用水“W1”来再次清洁。从而,待清洁商品14被漂洗以将污垢基本完全去除,从而实现所期望的清洁。
当待清洁商品14在第一清洁单元1a中的第一清洁容器2a清洁时,污垢分散在清洁用水“W1”中。包含污垢的清洁用水“ W1”满溢并由第一清洁容器2a溢出而流入来自溢出水回收单元7的水管道“L2”以作为污水“W2”而回收入集中容器3a中。
以此方式收集的污水“W2”经抽水部分8由泵“P1”引入水管道“L3”以经进水口17进一步供给超滤器4。在超滤器4中,不含污垢的过滤后的水“W3”利用超滤薄膜11的功能由污水“W2”中分离出。
过滤后的水“W3”经水管道“L5”由第一排水口12排出并流入过滤容器9以收集于此。另一方面,在对过滤后的水“W3”的分离之后的残留的过滤水,即浓缩的污水“W5”经水管道“L4”返回集中容器3a。
在集中容器3a中污水“W2”的污垢浓度通过连续重复上述的处理过程而逐渐增加。而在过滤容器9中的过滤后的水量也逐渐增加。
当在集中容器3a中的污水“W2”的污垢浓度达到预定值时,在废水管道“L8”中的电磁阀“B8”打开而泵“P5”随后工作,使得在集中容器3a中的污水“W2”经废水管道“L8”向外排出来作为工业废物而以预述方式处理。当在过滤容器9的过滤后的水“W3”还达到预定量时,在水管道“L6”中的电磁阀“B3”打开而泵“P2”随后工作使得在过滤容器9中的过滤后的水“W3”返回第一清洁容器2a而作为清洁用水“W1”被再使用。
另一方面,当待清洁商品14在第二清洁单元1b的第二清洁容器2b中清洁时,污垢扩散入清洁用水“W1”中。水“W4”通常经水管道“L16”提供给第二清洁容器2b,使得包含污垢的污水“W2”相应地由第二清洁容器2b溢出而流入来自溢出水回收单元7的水管道“L10”中,从而被收集到集中容器3b中。此时,在污水“W2”中的污垢浓度相比在第一清洁单元1a中的污水“W2”的污垢浓度而言极其小。
以此方式收集的污水“W2”经由抽水部分8而由泵“P4”引入水管道“L11”,从而进一步分别提供给两个超滤器4。在超滤器4中,包含污垢的过滤后的水通过超滤薄膜的功能而由污水“W2”中分离出来。因为过滤后的水“W3”基本不包含污垢,所以它经废水管道“L7”向外排出。第二清洁单元1b配置有两个超滤器4,使得其过滤性能大到足够在短时间内处理大量的污水“W2”。
在过滤后的水“W3”的分离之后的残留污水,即浓缩的污水“W5”经水管道“L12”返回集中容器3b。在集中容器3b中的污水“W2”的污垢浓度在连续对待清洁商品14进行清洁的过程中逐渐增大。当污垢浓度达到预定值时,在水管道“L14”中的电磁阀“B9”打开而泵“P6”随后工作,使得在集中容器3b中的污水“W2”经废水管道“L8”向外排放,以预述方式作为工业废物处理。
如上所述,根据本实施例的清洁装置,清洁过程是利用水而不是使用诸如碳氟化合物或特殊去污剂的有害液体来进行的,使得无需忧虑对外部环境的污染。因为由诸如超滤器的过滤装置流出的浓缩污水“W5”被返回集中容器3a和3b,所以诸如液晶的污垢不能流到外面,此外还可以减少一定数量的废水。
另外,当在第一清洁单元1a中重复进行清洁操作,污垢废物可能残留在超滤器4的超滤薄膜11的内表面,从而降低对过滤后的水的分离性能。为解决这一问题,将进行下面的逆流过滤操作。
也即:用于将过滤后的水吸收入过滤槽一端的电磁阀“B2”关闭;用于排出过滤后的水的电磁阀“B7”关闭;在集中容器3a的抽水部分附近与泵“P1”并联安置的电磁阀“B10”打开;在水管道“L9”中用于逆流过滤的电磁阀“B4”进一步打开;接着在过滤容器9中的过滤后的水“W3”通过操作泵“P3”而被引入水管道“L9”。
所引入的过滤后的水“W3”在水管道“L5”中由超滤器4的第一排水口12反向流动进入过滤薄膜11的内部分;从而,沉积在薄膜内表面的污垢废物通过超滤器4的第二排水口13和进水口17而被冲刷出去,从而清洁了过滤薄膜11。另外,在此实施例中,使用水管道“L9”的逆流过滤系统仅配置了第一清洁单元1a;然而,它还可以配置第二清洁单元1b。
上面以实例方式根据优选实施例来描述了本发明;但本发明并不限于该实施例,可以在所附权利要求所述的本发明范围内进行各种变更。
例如,在图1所示的实施例中,使用了第一和第二两个清洁单元1a和1b;然而,只使用它们中的任何一个的情形也包含在本发明中。
用于由污水分离过滤后的水的过滤装置不限于图2所示的超滤器的结构;还可以使用另一种结构;此外,除了超滤器,还可以使用任意类型的过滤器。
还有,在图1所示的第一清洁单元1a中,过滤容器9被配置在超滤器4的第一排水口12处;过滤后的水可以由未配置过滤容器9超滤器4直接返回第一清洁容器2a。
根据本发明,使用水而不使用诸如碳氟化合物或特殊去污剂的有害液体来进行清洁,使得无需忧虑对外部环境的污染。在重复使用的循环清洁液体中的污垢可以长期地由此有效和安全地去除。从而,可以随时使用基本纯净的水来清洁待清洁商品。还有,一个待清洁商品可以使用具有少量污垢的最新清洁液体来有效地清洁。

Claims (8)

1.一种用于为液晶屏去除污垢的清洁装置,其特征在于包括:
一个用于保存用于清洁所述液晶屏的清洁用水的清洁容器;
一个用于保存由所述清洁容器流出的污水的集中容器;
一个用于收集由所述集中容器流出的污水以将所述污水分离为过滤后的水和浓缩后的污水的超滤薄膜;
一个用于将由所述超滤薄膜流出的浓缩后的污水返回所述集中容器的水管道;
一个使所述过滤水对所述超滤薄膜逆流的逆流过滤系统。
2.一种用于为液晶屏去除污垢的清洁装置,其特征在于包括:
一个用于保存用于清洁所述液晶屏的清洁用水的清洁容器;
一个用于保存由所述清洁容器流出的污水的集中容器;
一个用于收集由所述集中容器流出的污水以将所述污水分离为过滤后的水和浓缩后的污水的超滤薄膜;
一个用于将由所述超滤薄膜流出的浓缩后的污水返回所述集中容器的水管道;
所述超滤薄膜多个并列设置在出自所述集中容器的水管道中。
3.一种将来自水管道的清洁用水分别供给一个第一清洁单元和一个第二清洁单元的清洁装置,其特征在于:
所述第一和第二清洁单元分别包括:
保存所述清洁用水的清洁容器;
保存由所述清洁容器流出的污水的集中容器;
将所述污水分离为过滤后的水和浓缩后的污水的超滤薄膜;和
将所述浓缩后的污水返回所述集中容器的水管道;
上述第一清洁单元还具有使所述过滤后的水对于所述超滤薄膜逆流的逆流过滤系统;
上述第二清洁单元在所述集中容器和所述水管道之间设置多个所述超滤薄膜。
4.一种用于为液晶屏去除污垢的液晶屏清洁方法,其特征在于包括以下工序:
在一个清洁容器中清洁所述液晶屏;
将由所述清洁容器流出的污水保存在一个集中容器中;
利用一个超滤薄膜将由所述集中容器流出的污水分离为过滤后的水和浓缩后的污水;
将由所述超滤薄膜流出的浓缩后的污水返回所述集中容器;
通过一个逆流过滤系统将过滤水对所述超滤薄膜逆流。
5.一种用于为液晶屏去除污垢的液晶屏清洁方法,其特征在于包括以下工序:
在一个清洁容器中清洁所述液晶屏;
将由所述清洁容器流出的污水保存在一个集中容器中;
利用一个超滤薄膜将由所述集中容器流出的污水分离为过滤后的水和浓缩后的污水;
将由所述超滤薄膜流出的浓缩后的污水返回所述集中容器;
所述超滤薄膜多个并列设置在出自所述集中容器的水管道中。
6.一种液晶屏清洗方法,其中液晶屏的清洁具有由第一清洁单元进行的第一清洁工序,和由第二清洁单元进行的第二清洁工序,其特征在于:
所述第一和第二清洁工序分别具有从给水道供给清洁用水的清洁容器,保存由所述清洁容器流出的污水的集中容器,分离所述污水的超滤薄膜,和水管道;
所述第一和第二清洁工序分别包括以下工序:
在所述清洁容器中清洁所述液晶屏;
将所述污水保存在所述集中容器中;
采用所述超滤薄膜来将所述污水分离为过滤后的水和浓缩后的污水;和
由所述水管道将所述浓缩后的污水返回所述集中容器;
在上述第一清洁工序中,利用逆流过滤系统使得所述过滤后的水对于所述超滤薄膜逆流;
在上述第二清洁工序中,利用多个所述超滤薄膜进行所述污水的分离。
7.一种液晶屏的制造方法,其特征在于使用权利要求4到6中任何一项所述的液晶屏清洁方法。
8.一种液晶装置,具有由权利要求7中所述的液晶屏的制造方法所制造的液晶屏。
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