KR101159007B1 - 프로브 및 프로브의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 저비용으로 제조할 수 있는 스프링 기능을 갖는 프로브를 제공하는 것을 과제로 한다.
전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브로서, 이 프로브는, 일단으로부터, 상기 전극 단자와 접촉하는 선단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 상기 스프링부를 둘러싸기 위한 하우징부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 있는 형상의 1장의 금속판을 절곡함으로써 형성되며, 상기 선단부가 되는 영역에 의해 형성되는 선단부와, 상기 사행 형상으로 형성된 상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 형성되는 스프링부와, 상기 스프링부를 둘러싸도록 절곡함으로써 형성되는 하우징부를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브를 제공함으로써 상기 과제를 해결한다.

Description

프로브 및 프로브의 제조 방법{PROBE AND METHOD OF MANUFACTURING PROBE}

본 발명은 프로브 및 프로브의 제조 방법에 관한 것이다.

반도체 집적 회로 등을 제조할 때에는, 웨이퍼에 형성되어 있는 반도체 집적 회로의 전기적인 특성을 측정하기 위한 측정 기기가 이용되고 있다. 이러한 측정 기기는, 웨이퍼에 형성되어 있는 전극 패드 또는 전극 단자에 직접 전기적으로 접속하기 위한 프로브를 접촉시켜, 전기적으로 접속하여, 전기적인 측정을 행하는 것이다.

이러한 프로브로서는, 일반적으로, 코일 스프링 프로브라고 칭해지는 프로브가 이용되고 있다. 이 프로브는, 통형의 통체 내에 코일 스프링을 내장하고 있으며, 코일 스프링의 한쪽의 단부는, 프로브의 접촉 단자로 되어 있고, 웨이퍼 등에 형성되어 있는 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하는 것이며, 다른쪽의 단부는, 계측 기기에 전기적으로 접속하고 있다. 코일 스프링 프로브에서는, 통체 내에 코일 스프링을 마련함으로써, 프로브의 접촉 단자가 신축 가능하며, 전극 패드 또는 전극 단자와의 전기적인 접촉을 확실하게 행할 수 있다.

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2007-24664호 공보 특허문헌 2: 일본 특허 공개 제2007-71699호 공보

그런데, 전술한 코일 스프링 프로브는, 일반적으로, 프로브의 접촉 부분, 코일 스프링 및 통체를 갖는 구조이기 때문에, 각각 별개의 부품으로서 제작하고, 이들 부품을 조립함으로써 제조된다. 이 때문에, 제조 공정도 복잡한 것이 되며, 제조 비용도 고가로 되어 버린다.

본 발명은 상기한 바를 감안하여 이루어진 것으로, 단시간에 저비용으로 제조하는 것이 가능한 스프링 기능을 갖는 전기 접속용의 프로브를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

본 발명은 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브로서, 상기 프로브는, 일단으로부터, 상기 전극 단자와 접촉하는 선단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 상기 스프링부를 둘러싸기 위한 하우징부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 있는 형상의 1장의 금속판을 절곡함으로써 형성되며, 상기 선단부가 되는 영역에 의해 형성되는 선단부와, 상기 사행 형상으로 형성된 상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 형성되는 스프링부와, 상기 스프링부를 둘러싸도록 절곡함으로써 형성되는 하우징부를 갖는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 하우징부가 되는 영역은, 사행 형상으로 형성된 하우징 스프링부가 되는 영역을 갖고 있고, 상기 사행 형상으로 형성된 상기 하우징 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 형성되는 하우징 스프링부를 갖는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 선단부와 접속되는 하우징 접속부가 마련되어 있고, 상기 선단부에서 얻어진 전기 신호는, 상기 하우징 접속부를 통하여, 상기 하우징부에 전달되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브로서, 상기 프로브는, 일단으로부터, 상기 전극 단자와 접촉하는 한쪽의 단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 다른쪽의 단부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 형성되어 있고, 상기 스프링부를 둘러싸도록 상기 스프링부가 되는 영역의 길이 방향을 따른 하우징부가 되는 영역이, 상기 스프링부가 되는 영역에 접속되어 있는 형상의 1장의 금속판을 절곡함으로써 형성되며, 상기 한쪽의 단부가 되는 영역에 의해 형성되는 한쪽의 단부와, 상기 사행 형상으로 형성된 상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 형성되는 스프링부와, 상기 다른쪽의 단부가 되는 영역에 의해 형성되는 다른쪽의 단부와, 상기 스프링부를 둘러싸도록 절곡함으로써 형성되는 하우징부를 갖는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브로서, 상기 프로브는, 일단으로부터, 상기 전극 단자와 접촉하는 선단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 상기 스프링부를 둘러싸기 위한 하우징부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 있는 형상의 1장의 금속판을 절곡함으로써 형성되며, 상기 선단부가 되는 영역에 의해 형성되는 선단부와, 상기 사행 형상으로 형성된 상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 형성되는 스프링부와, 상기 스프링부를 둘러싸도록 절곡되어 형성되는 하우징부를 갖고, 상기 스프링부에는 상기 하우징부를 향하여 돌출된 형상의 볼록부가 형성되어 있으며, 상기 볼록부는, 상기 하우징부와 접촉하고 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 볼록부는, 절곡된 상기 스프링부의 일측과 타측에 각각 형성되어 있고, 상기 일측에 마련된 볼록부와 상기 타측에 마련된 볼록부는 대칭이 되는 위치에 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 볼록부는, 상기 스프링부에 있어서, 상기 선단부에 가까운 측에 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 하우징부에서의 단면(斷面) 형상은, 대략 정사각형인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브의 제조 방법으로서, 금속판을 미리 정해진 형상으로 형성하는 금속판 형성 공정과, 상기 미리 정해진 형상으로 형성된 상기 금속판의 표면에 도금을 실시하는 도금 공정과, 상기 도금이 실시된 상기 금속판을 절곡하는 절곡 공정을 포함하고, 상기 미리 정해진 형상은, 본체부가 되는 일단으로부터, 상기 전극 단자와 접촉하는 선단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 상기 스프링부를 둘러싸기 위한 하우징부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 있는 형상인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브의 제조 방법으로서, 금속판을 미리 정해진 형상으로 형성하는 금속판 형성 공정과, 상기 미리 정해진 형상으로 형성된 상기 금속판의 표면에 도금을 실시하는 도금 공정과, 상기 도금이 실시된 상기 금속판을 절곡하는 절곡 공정을 포함하고, 상기 미리 정해진 형상은, 본체부가 되는 일단으로부터, 상기 전극 단자와 접촉하는 한쪽의 단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 다른쪽의 단부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 형성되며, 상기 스프링부를 둘러싸기 위해 상기 스프링부가 되는 영역의 길이 방향을 따른 하우징부가 되는 영역이, 상기 스프링부가 되는 영역에 접속되어 있는 형상인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 절곡 공정은, 상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 스프링부를 형성하는 제1 절곡 공정과, 상기 제1 절곡 공정 후, 상기 하우징부가 되는 영역과 상기 스프링부의 경계 부분을 대략 180°절곡하는 제2 절곡 공정과, 상기 제2 절곡 공정 후, 상기 스프링부를 상기 하우징부에 의해 둘러싸도록, 상기 하우징부가 되는 영역을 절곡하는 제3 절곡 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 미리 정해진 형상은, 상기 본체부의 주위를 둘러싸도록 형성되고, 상기 본체부와 접속된 제조 보조부를 더 포함하고, 상기 절곡 공정은, 상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 스프링부를 형성하는 제1 절곡 공정과, 상기 제1 절곡 공정 후, 상기 하우징부가 되는 영역과 상기 스프링부의 경계 부분 및 상기 경계 부분의 연장선 상의 제조 보조부를 대략 180°절곡하는 제2 절곡 공정과, 상기 제2 절곡 공정 후, 상기 스프링부를 상기 하우징부에 의해 둘러싸도록, 상기 하우징부가 되는 영역을 절곡되는 제3 절곡 공정을 포함하고, 상기 절곡 공정 후, 상기 본체부와 상기 제조 보조부를 절단하는 제조 보조부 절단 공정을 행하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 하우징부가 되는 영역은, 하우징 스프링부가 되는 영역을 포함하며, 상기 절곡 공정은, 상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 스프링부를 형성하는 제1 절곡 공정과, 상기 제1 절곡 공정 후, 상기 하우징부가 되는 영역과 상기 스프링부의 경계 부분을 대략 180°절곡하는 제2 절곡 공정과, 상기 제2 절곡 공정 후, 상기 스프링부를 상기 하우징부에 의해 둘러싸도록, 상기 하우징부가 되는 영역 및 하우징 스프링부가 되는 영역을 절곡하는 제3 절곡 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 제1 절곡 공정에서, 상기 선단부가 되는 영역을 상기 스프링부가 되는 영역과 동시에 절곡하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 선단부와 상기 스프링부의 사이에는, 하우징 접속부가 마련되어 있고, 상기 제3 절곡 공정을 행하였을 때에, 상기 하우징 접속부와, 상기 하우징부의 내측이 접촉하도록 상기 하우징 접속부가 구부러져 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브의 제조 방법으로서, 시효 경화형 합금으로 이루어지는 금속판을 미리 정해진 형상으로 형성하는 금속판 형성 공정과, 상기 미리 정해진 형상으로 형성된 상기 금속판을 절곡하는 절곡 공정과, 상기 절곡 공정 후, 열처리를 행하는 열처리 공정과, 상기 열처리 공정 후, 도금을 실시하는 도금 공정을 포함하고, 상기 미리 정해진 형상은, 본체부가 되는 일단으로부터, 상기 전극 단자와 접촉하는 선단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 상기 스프링부를 둘러싸기 위한 하우징부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 있는 형상인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 전극 단자와 접촉하는 선단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역의 사이에는, 하우징 접속부가 마련되어 있고, 상기 하우징부에는 개구부가 마련되고 있으며, 상기 하우징 접속부가 상기 하우징부와 접촉하는 부분은, 상기 개구부에 위치하고 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 프로브는 절연체 외부 프레임에 설치되는 것으로서, 상기 절연체 외부 프레임에 설치된 상태에서의 상기 프로브는, 상기 하우징 접속부와 상기 하우징부가 접촉하고 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 절곡 공정은, 상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 스프링부를 형성하는 제1 절곡 공정과, 상기 제1 절곡 공정 후, 상기 하우징부가 되는 영역과 상기 스프링부의 경계 부분을 대략 180°절곡하는 제2 절곡 공정과, 상기 제2 절곡 공정 후, 상기 스프링부를 상기 하우징부에 의해 둘러싸도록, 상기 하우징부가 되는 영역을 절곡하는 제3 절곡 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 하우징부의 단면 형상은 대략 정사각형이 되도록 절곡하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 금속판의 두께는, 30 ㎛～150 ㎛인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 금속판 형성 공정에서 형성되는 미리 정해진 형상은, 금속판을 프레스 가공함으로써 형성되는 것이나, 금속판의 상기 미리 정해진 형상이 되는 영역 이외의 영역을 에칭함으로써 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 1장의 금속판을 가공함으로써 제조할 수 있기 때문에, 조립 공정 등을 필요로 하지 않고, 단시간에 저비용으로 제조하는 것이 가능한 스프링 기능을 갖는 전기 접속용의 프로브를 제공할 수 있다.

도 1은 제1 실시형태에서의 프로브의 외관의 사시도이다.
도 2는 제1 실시형태에서의 프로브의 내부 구조의 사시도이다.
도 3은 제1 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 흐름도이다.
도 4는 제1 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 설명도(1)이다.
도 5는 제1 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 설명도(2)이다.
도 6은 제1 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 도중 단계에서의 측면도이다.
도 7은 제1 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 도중 단계에서의 평면도이다.
도 8은 제1 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 도중 단계에서의 정면도이다.
도 9는 제2 실시형태에서의 프로브의 외관의 사시도이다.
도 10은 제2 실시형태에서의 프로브의 내부 구조의 사시도이다.
도 11은 제3 실시형태에서의 프로브의 외관의 사시도이다.
도 12는 제3 실시형태에서의 프로브의 내부 구조의 사시도이다.
도 13은 제4 실시형태에서의 프로브의 선단부의 사시도이다.
도 14는 제5 실시형태에서의 프로브의 외관의 사시도이다.
도 15는 제5 실시형태에서의 프로브의 내부 구조의 사시도이다.
도 16은 제5 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 흐름도이다.
도 17은 제5 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 설명도이다.
도 18은 제5 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 도중 단계에서의 측면도이다.
도 19는 제5 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 도중 단계에서의 평면도이다.
도 20은 제5 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 도중 단계에서의 정면도이다.
도 21은 제5 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 도중 단계에서의 사시도(1)이다.
도 22는 제5 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 도중 단계에서의 사시도(2)이다.
도 23은 제5 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 단계 210에서의 투과 사시도이다.
도 24는 도 23에서의 프로브의 주요부 확대도이다.
도 25는 제5 실시형태에서의 다른 프로브의 외관의 사시도이다.
도 26은 제6 실시형태에서의 프로브의 외관의 사시도이다.
도 27은 제6 실시형태에서의 프로브의 내부 구조의 사시도이다.
도 28은 제6 실시형태에서의 프로브의 사용 상태를 나타내는 사시도이다.
도 29는 제6 실시형태에서의 다른 프로브의 외관의 사시도이다.
도 30은 제6 실시형태에서의 다른 프로브의 내부 구조의 사시도이다.
도 31은 제6 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 흐름도이다.
도 32는 제6 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 설명도이다.
도 33은 제6 실시형태에서의 다른 프로브의 제조 방법의 설명도이다.
도 34는 제7 실시형태에서의 프로브의 외관의 사시도이다.
도 35는 제7 실시형태에서의 프로브의 외관의 평면도이다.
도 36은 제7 실시형태에서의 프로브의 외관의 좌측면도이다.
도 37은 제7 실시형태에서의 프로브의 외관의 저면(底面)도이다.
도 38은 제7 실시형태에서의 프로브의 외관의 우측면도이다.
도 39는 제7 실시형태에서의 프로브의 외관의 전면(全面)도이다.
도 40은 제7 실시형태에서의 프로브의 외관의 주요부 확대도(1)이다.
도 41은 제7 실시형태에서의 프로브의 외관의 주요부 확대도(2)이다.
도 42는 제7 실시형태에서의 프로브의 외관의 주요부 확대도(3)이다.
도 43은 제7 실시형태에서의 프로브의 사용 상태를 나타내는 사시도이다.
도 44는 제7 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 흐름도이다.
도 45는 제7 실시형태에서의 프로브의 제조 방법의 설명도이다.
도 46은 제8 실시형태에서의 프로브의 외관의 사시도이다.
도 47은 제8 실시형태에서의 프로브의 외관의 평면도이다.
도 48은 제8 실시형태에서의 프로브의 외관의 좌측면도이다.
도 49는 제8 실시형태에서의 프로브의 외관의 저면도이다.
도 50은 제8 실시형태에서의 프로브의 외관의 우측면도이다.
도 51은 제8 실시형태에서의 프로브의 외관의 전면도이다.
도 52는 제8 실시형태에서의 프로브의 설명도이다.
도 53은 제8 실시형태에서의 프로브의 설명을 위한 주요부 확대도이다.
도 54는 제8 실시형태에서의 프로브의 사용 상태를 나타내는 설명도이다.

본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서, 이하에 설명한다.

〔제1 실시형태〕

(프로브의 구조)

제1 실시형태에서의 프로브에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 전자 부품이나 전기 회로 등의 검사를 행하기 위해 이용되는 것이며, 전자 부품이나 전기 회로 등에 형성된 전극 패드 또는 전극 단자 등(전극 패드 또는 전극 단자 등을 단순히 「전극 단자」 또는 「전극 단자 등」이라고 칭하는 경우도 있음)과 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 구체적으로는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서의 프로브는, 1장의 금속판, 예컨대, 구리 또는 구리를 포함하는 합금으로 이루어지는 금속판을 펀칭한 것을 절곡함으로써 형성한 것이다. 따라서, 본 실시형태에서의 프로브는, 일체화되어 있고, 전체가 연결된 구조로 되어 있다.

본 실시형태에서의 프로브는, 선단부(10), 스프링부(20), 하우징부(30), 하우징 접속부(40)에 의해 형성되어 있다.

선단부(10)는, 웨이퍼 등에 형성된 전기 회로 및 전자 부품 등의 전극 패드 또는 전극 단자 등과 접촉시켜 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 선단부(10)의 단부는, L자형으로 구부러져 있으며, 단자 접촉부(11)를 형성하고 있다. 이 단자 접촉부(11)는, 검사의 대상이 되는 전기 회로 또는 전자 부품 등에서의 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 전기적으로 접속되는 부분이다. 또한, 선단부(10)의 양측의 측부는 선단부(10)의 길이 방향을 따라 L자형으로 구부러져 있으며, 선단 보강부(12)를 형성하고 있다. 이와 같이 선단부(10)의 양측의 측부를 L자형으로 구부림으로써, 선단부(10)를 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉시켰을 때에, 힘이 가해진 경우에도, 선단부(10)가 변형되는 일 없이, 확실하게 단자 접촉부(11)와 전극 패드 및 전극 단자를 접촉시킬 수 있다. 또한, 본 실시형태의 설명에서는, 선단부(10)의 양측의 측부를 L자형으로 구부림으로써, コ자형의 형상으로 형성한 것에 대해서 설명하지만, 중앙분을 구부림으로써 V자형의 형상으로 형성한 것이나, 곡면을 형성함으로써 U자형 또는 반원형으로 형성한 것이어도 좋다.

스프링부(20)는, 평판형으로서 양측이 U자형으로 굽은 사행 형상의 것을 대략 중심 부분에서, 길이 방향을 따라 コ자 형상으로 절곡한 구조의 것이며, 절곡된 일측(21)과, 타측(22)은 대략 평행이 되도록 절곡되어 있다. 본 실시형태에서는, コ자형으로 절곡된 구조의 것을 나타내고 있지만, U자형 등으로 절곡된 구조의 것이어도 좋다. 스프링부(20)에서는, 양측을 U자형으로 굽은 사행 형상으로 함으로써, 탄성을 갖게 되어, 스프링으로서의 기능을 발휘시킬 수 있다.

하우징부(30)는, 스프링부(20)의 전체를 둘러싸도록 하우징부(30)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 형성되어 있다. 구체적으로는, 하우징부(30)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 측면부(31)와 상면부(32)를 형성하고, 또한, 선단부(10) 근방에서는, 선단부(10)에서의 선단 보강부(12)의 일부를 둘러싸도록, 절곡함으로써 측면부(33) 및 상면부(34)를 형성한다. 이때, 측면부(31) 및 측면부(33)를 절곡함으로써 저면부(35)도 동시에 형성되기 때문에, 스프링부(20) 전체를 대략 사각 형상의 하우징부(30)에 의해 둘러쌀 수 있다. 또한, 하우징부(30)와 스프링부(20)는 경계가 되는 굴곡부(36)에서, 약 180°절곡되어져 있고, 스프링부(20)의 하우징부(30) 내에 수납된 구조로 되어 있다. 또한, 이 굴곡부(36)는, 프로버 등의 측정 기기와 전기적으로 접속되는 것이며, 단자 접촉부(11)에서 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 얻어진 전극 신호는, 굴곡부(36)를 통하여, 측정 기기에 전달된다.

하우징 접속부(40)는, 하우징부(30)의 측면부(31)의 내측과 접촉하고 있으며, 하우징 접속부(40)와 하우징부(30)가 전기적으로 접속되어 있다. 구체적으로는, 하우징 접속부(40)와 하우징부(30)가 전기적으로 접속됨으로써, 전기 신호는 단자 접촉부(11)로부터 선단부(10), 하우징 접속부(40), 하우징부(30)를 통하여, 굴곡부(36)에 전달된다. 하우징부(30)는 전기 신호가 흐르는 영역에서의 단면적이 넓기 때문에, 단자 접촉부(11)로부터 굴곡부(36)까지의 전기 저항을 낮게 할 수 있다. 따라서, 단자 접촉부(11)에서 검출한 전기 신호를 굴곡부(36)까지 저저항으로 전달할 수 있다.

(프로브의 제조 방법)

다음에, 도 3에 기초하여 본 실시형태에서의 프로브의 제조 방법에 대해서 설명한다.

먼저, 단계 102(S102)에서, 본 실시형태에서의 프로브를 제작하기 위해, 미리 정해진 형상으로 금속판을 형성한다(금속판 형성 공정). 형성 방법은, 금속판을 프레스 가공 등에 의해 펀칭 형성하는 방법, 또는, 금속판 상에 미리 정해진 형상의 마스크를 형성하고, 마스크가 형성되어 있지 않은 영역을 에칭하는 방법에 의해 형성한다. 또한, 이 금속판은, 구리 또는 구리를 포함하는 합금에 의해 형성되어 있고, 두께는, 30 ㎛～150 ㎛이다. 또한, 본 실시형태에서는, 두께 60 ㎛의 구리판을 이용하여, 프레스 가공에 의해 미리 정해진 형상의 금속판을 형성하였다.

도 4에, 미리 정해진 형상으로 형성된 금속판을 나타낸다. 이 금속판은, 프로브를 형성하기 위한 본체부(1)와 제조 보조부(2)에 의해 형성되어 있다. 본체부(1)는, 구부러져 있지 않은 상태의 선단부(10), 스프링부(20), 하우징부(30), 하우징 접속부(40)가 형성되어 있다. 또한, 구부러져 있지 않은 상태의 선단부(10), 스프링부(20), 하우징부(30), 하우징 접속부(40)를 각각 선단부(10)가 되는 영역, 스프링부(20)가 되는 영역, 하우징부(30)가 되는 영역, 하우징 접속부(40)가 되는 영역으로도 칭한다. 제조 보조부(2)는, 본체부(1)의 전체를 둘러싸도록 형성되어 있고, 선단부(10)와 접속되어 있는 보강 선단부(51)와, 본체부(1)의 길이 방향을 따라 양측에 형성되는 측부(52)와, 하우징부(30)의 단부와 접속되는 보강 주부(主部)(53)에 의해 형성되어 있다. 또한, 도 5에는, 프레스 등에 의해 펀칭된 상태의 본체부(1)를 나타낸다. 본체부(1)는, 일단부로부터, 선단부(10)가 되는 영역, 하우징 접속부(40)가 되는 영역, 스프링부(20)가 되는 영역, 하우징부(30)가 되는 영역의 순서대로 접속되어 형성되어 있다. 본체부(1)는 본 실시형태에서의 프로브를 형성하는 영역이며, 본 실시형태에서의 프로브는, 본체부(1)를 절곡함으로써 제작된다.

다음에, 단계 104(S104)에서, 본체부(1)에 도금 가공을 실시한다(도금 공정). 또한, 제조 보조부(2)는 본체부(1)와 접속되어 있기 때문에, 본체부(1)에 도금 가공을 실시할 때에, 동시에 도금 가공이 실시된다. 이 도금 가공은, Ni, Pd, Au, 혹은 Ni, Au의 도금을 순서대로 행함으로써 행해진다.

다음에, 단계 106(S106)에서, 스프링부(20)가 되는 영역을 절곡한다(제1 절곡 공정). 구체적으로는, 도 5에 나타내는 파선(A1-A2)을 따라 90°절곡하고, 동일한 방향으로 파선(A3-A4)을 따라 90°절곡한다. 이에 따라, 스프링부(20)가 되는 영역은 コ자형으로 절곡된다.

도 6～도 8에 단계 106에서 절곡된 상태에서의 본체부(1)를 나타낸다. 또한, 도 6은 측면도, 도 7은 평면도, 도 8은 정면도를 나타낸다. 스프링부(20)가 되는 영역이 コ자형으로 절곡됨으로써, 스프링부(20)의 일측(21)이 형성되는 면과 타측(22)이 형성되는 면은 대략 평행이 된다. 이때, 동시에 선단부(10)에서의 측부도 양측이 90°구부러져, 선단 보강부(12)가 형성되며, 하우징 접속부(40)가 되는 영역도 스프링부(20)에서의 일측(21) 및 타측(22)을 따른 구조가 된다. 또한, 도 5에 나타내는 파선(A5-A6)을 따라 90°절곡함으로써, 단자 접촉부(11)가 형성된다. 또한, 이 단계에서, 하우징부(30)가 되는 영역의 양측의 측부를 스프링부(20)에서 구부러진 방향과 역방향으로 90°절곡함으로써, 상면부(32) 및 상면부(34)가 되는 영역을 형성하고, 또한, 후술하는 바와 같이, 하우징 접속부(40)와 하우징부(30)의 내측이 접촉하도록 하우징 접속부(40)를 약간 외측으로 더 구부린다.

다음에, 단계 108(S108)에서, 본체부(1)를 절곡한다(제2 절곡 공정). 구체적으로는, 도 5에 나타내는 파선(B1-B2)을 따라, 스프링부(20)가 구부러져 있는 측으로 180°절곡한다. 파선(B1-B2)에서 절곡된 부분은 굴곡부(36)가 되며, 본 실시형태에서의 프로브가 계측 기기 등과 접속할 때의 접속 단자가 된다. 이때, 제조 보조부(2)도 동시에 절곡된다. 구체적으로는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 본체부(1)가 파선(B1-B2)을 따라 절곡될 때에, 동시에, 제조 보조부(2)가 파선(B3-B4) 및 파선(B5-B6)을 따라 절곡된다. 또한, 파선(B3-B4) 및 파선(B5-B6)은, 파선(B1-B2)의 연장선 상에 존재하고 있다. 이와 같이, 본체부(1)와 제조 보조부(2)를 동시에 절곡함으로써, 본체부(1)를 파선(B1-B2)에서 정밀도 좋게 확실하게 절곡할 수 있고, 또한, 본체부(1)가 파선(B1-B2)을 따라 절곡된 형상을 유지할 수 있다.

다음에, 단계 110(S110)에서, 하우징부(30)가 되는 영역을 절곡한다(제3 절곡 공정). 구체적으로는, 스프링부(20)가 구부러져 있는 방향과 동일한 방향으로, 도 5에 나타내는 파선(C1-C2)을 따라 90°절곡하고, 파선(C3-C4)을 따라 90°절곡하며, 하우징부(30)의 측면부(31) 및 측면부(33)를 형성한다. 이때, 저면부(35)도 동시에 형성되기 때문에, 스프링부(20)의 전체가 하우징부(30)에 둘러싸인 구조가 된다. 또한, 하우징부(30)의 측면부(31)의 내벽과, 하우징 접속부(40)가 접촉하여, 전기적으로 접속된다.

다음에, 단계 112(S112)에서, 본체부(1)와 제조 보조부(2)를 절단한다(제조 보조부 절단 공정). 구체적으로는, 도 4에 나타내는 파선(D1-D2), 파선(D3-D4) 및 파선(D5-D6)에서 본체부(1)와 제조 보조부(2)를 절단한다. 이에 따라, 본 실시형태에서의 프로브를 제조할 수 있다.

이상으로부터, 본 실시형태에서의 프로브는, 1장의 금속판을 가공함으로써 제조할 수 있다. 따라서, 스프링 기능을 갖는 프로브에서, 복수의 부품을 조립할 필요가 없어, 조립 공정이 불필요하다. 또한, 제조 공정이, 금속판의 프레스 가공 등의 가공 공정과, 도금 공정과, 절곡 공정과, 절단 공정만으로 이루어지기 때문에, 간단한 제조 장치로 제조할 수 있으며, 또한, 제조 공정도 단순하여, 저비용이면서 대량으로 단시간에 제조할 수 있다. 따라서, 매우 저비용으로, 스프링 기능을 갖는 프로브를 제조할 수 있다.

〔제2 실시형태〕

다음에, 제2 실시형태에 대해서 설명한다. 본 실시형태는, 제1 실시형태와 동일한 방법으로 제조되는 것이며, 하우징부의 단면이 대략 정사각형으로 형성된 것이다. 하우징부에서의 단면의 형상을 대략 정사각형으로 형성함으로써, 측정 기기 등의 프로버에 프로브를 2차원적으로 배열시킨 경우에, 등간격으로 배열시킬 수 있기 때문에, 고밀도로 프로브를 배열시킬 수 있다.

도 9 및 도 10에 기초하여 본 실시형태에서의 프로브에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 제1 실시형태에서의 프로브와 마찬가지로, 1장의 금속판, 예컨대, 구리 또는 구리를 포함하는 합금으로 이루어지는 금속판을 펀칭한 것을 절곡함으로써 형성한 것이다. 따라서, 본 실시형태에서의 프로브는, 일체화되어 있으며, 전체가 연결된 구조로 되어 있다.

본 실시형태에서의 프로브는, 선단부(110), 스프링부(120), 하우징부(130), 하우징 접속부(140)에 의해 형성되어 있다.

선단부(110)는, 웨이퍼 등에 형성된 전기 회로 및 전자 부품 등의 전극 패드 또는 전극 단자 등과 접촉시켜 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 선단부(110)의 단부는, L자형으로 구부러져 있고, 단자 접촉부(111)를 형성하고 있다. 이 단자 접촉부(111)는, 검사의 대상이 되는 전기 회로 또는 전자 부품 등에서의 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 전기적으로 접속되는 부분이다. 또한, 선단부(110)의 양측의 측부는 선단부(110)의 길이 방향을 따라 L자형으로 구부러져 있고, 선단 보강부(112)를 형성하고 있다. 이와 같이 선단부(110)의 양측의 측부를 L자형으로 구부림으로써, 선단부(110)를 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉시켰을 때에, 힘이 가해진 경우에도, 선단부(110)가 변형되는 일 없이, 단자 접촉부(112)와 전극 패드 및 전극 단자를 확실하게 접촉시킬 수 있다. 또한, 본 실시형태의 설명에서는, 선단부(110)의 양측의 측부를 L자형으로 구부림으로써, コ자형의 형상으로 형성한 것에 대해서 설명하지만, 중앙부를 구부림으로써 V자형의 형상으로 형성한 것이나, 곡면을 형성함으로써 U자형 또는 반원형으로 형성한 것이라도 좋다.

스프링부(120)는, 평판형으로서 양측이 U자형으로 굽은 사행 형상의 것을 대략 중심 부분에서 コ자 형상으로 절곡한 구조의 것이며, 절곡된 일측(121)과, 타측(122)은 대략 평행이 되도록 절곡되어 있다. 본 실시형태에서는, コ자형으로 절곡한 구조의 것을 나타내고 있지만, U자형 등으로 절곡한 구조의 것이어도 좋다. 스프링부(120)에서는, 양측을 U자형으로 굽은 사행 형상으로 함으로써, 탄성을 갖게 되어, 스프링으로서의 기능을 발휘시킬 수 있다.

하우징부(130)는, 스프링부(120)의 전체를 둘러싸도록 하우징부(130)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 형성되어 있다. 구체적으로는, 하우징부(130)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 측면부(131)와 상면부(132)를 형성하고, 또한, 선단부(110)측에는, 선단부의 선단 보강부(112)의 일부를 둘러싸도록, 절곡함으로써 측면부(133) 및 상면부(134)를 형성한다. 이때, 측면부(131) 및 측면부(133)를 절곡함으로써 저면부(135)도 동시에 형성되기 때문에, 스프링부(120) 전체를 대략 정사각 형상의 하우징부(130)에 의해 둘러쌀 수 있다. 또한, 하우징부(130)와 스프링부(120)는 경계가 되는 굴곡부(136)에서 약 180°절곡되어, 스프링부(120)의 하우징부(130) 내에 수납되는 구조로 되어 있다. 또한, 이 굴곡부(136)는, 프로버 등의 측정 기기와 전기적으로 접속되는 것이며, 단자 접촉부(111)에서 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 얻어진 전극 신호는, 굴곡부(136)를 통하여, 측정 기기에 전달된다.

하우징 접속부(140)는, 하우징부(130)의 측면부(131)의 내측과 접촉하고 있으며, 하우징 접속부(140)와 하우징부(130)가 전기적으로 접속된다. 구체적으로는, 하우징 접속부(140)와 하우징부(130)가 전기적으로 접속됨으로써, 전기 신호는 단자 접촉부(111)로부터 선단부(110), 하우징 접속부(140), 하우징부(130)를 통하여, 굴곡부(136)에 전달된다. 하우징부(130)는 전기 신호가 흐르는 영역에서의 단면적이 넓기 때문에, 단자 접촉부(111)로부터 굴곡부(136)까지의 전기 저항을 낮게 할 수 있다. 따라서, 단자 접촉부(111)에서 검출한 전기 신호를 굴곡부(136)까지 저저항으로 전달할 수 있다.

본 실시형태에서의 프로브는, 하우징부(130)의 단면 형상이 대략 정사각형으로 형성되어 있다. 즉, 도 9에서의 하우징부(130)의 폭(E)과 높이(F)는 대략 동일한 길이가 되도록 형성되어 있다. 이에 따라, 본 실시형태에서의 프로브는 2차원적으로 등간격으로 배열시킬 수 있다. 또한, 굴곡부(136)는, 프로버 등의 측정 기기에 전기적으로 접속된다. 또한, 본 실시형태에서의 프로브의 제조 방법은, 제1 실시형태와 동일하다.

〔제3 실시형태〕

다음에, 제3 실시형태에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 제1 및 제2 실시형태와는 달리, 스프링부가 되는 부분이 절곡되어 있지 않은 프로브이다.

도 11 및 도 12에 기초하여 본 실시형태에서의 프로브에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 선단부(210), 스프링부(220), 하우징부(230)에 의해 형성되어 있다.

선단부(210)는, 웨이퍼 등에 형성된 전기 회로 및 전자 부품 등의 전극 패드 또는 전극 단자 등과 접촉하여 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 선단부(210)의 단부가 절곡되어 있으며 단자 접촉부(211)를 형성하고 있다.

스프링부(220)는, 사행 형상의 것이며, 탄성을 가지고 있고 스프링으로서의 기능을 가지며, 선단부(210)의 신장 방향으로 신축한다.

하우징부(230)는, 스프링부(220)의 측면을 덮도록 형성되어 있고, 2개의 측면부(231)와 상면부(232) 및 저면부(233)에 의해 형성되어 있다. 또한, 2개의 측면부(231)와 상면부(232) 및 저면부(233)는 1장의 금속판을 절곡함으로써 형성된다.

〔제4 실시형태〕

다음에, 제4 실시형태에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 단자 접촉부의 형상이 제1 내지 제3 실시형태와 다른 형상이 것이다. 구체적으로는, 제1 내지 제3 실시형태에서는, 단자 접촉부(11, 111, 211)가 금속판을 구부림으로써 형성되어 있지만, 본 실시형태에서는, 단자 접촉부가 금속판을 구부리지 않고 형성된 것이다.

도 13에 본 실시형태에서의 프로브의 선단부(310)를 나타낸다. 본 실시형태에서의 프로브의 선단부(310)의 단자 접촉부(311)는, 단자 접촉부(311)의 선단에 산형상을 갖는 산형상부(311a)를 형성한 것이다. 산형상부(311a)는 나타내는 바와 같이 복수의 산을 가질 수도 있다. 이러한 산형상부(311a)는, 제1 실시형태에서의 금속판 형성 공정에서, 예컨대, 프레스 가공에 의해 금속판을 형성할 때에 동시에 형성된다. 본 실시형태에서는, 단자 접촉부를 형성하기 위해 금속판을 절곡할 필요가 없기 때문에, 보다 공정수가 적어, 단시간으로 프로브를 제조할 수 있다. 따라서, 보다 저비용으로 스프링 기능을 갖는 프로브를 제조할 수 있다.

또한, 단자 접촉부(311) 이외의 구조에 대해서는, 제1 내지 제3 실시형태에 기재된 것과 동일하다.

〔제5 실시형태〕

(프로브의 구조)

다음에, 제5 실시형태에서의 프로브에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 제1 실시형태에서의 프로브와 마찬가지로, 전자 부품이나 전기 회로 등의 검사를 행하기 위해 이용되는 것이며, 전자 부품이나 전기 회로 등에 형성된 전극 패드 또는 전극 단자 등과 전기적으로 접속하기 위한 것이다.

구체적으로는, 도 14 및 도 15에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서의 프로브는, 1장의 금속판, 예컨대, 구리 또는 구리를 포함하는 합금으로 이루어지는 금속판을 펀칭한 것을 절곡함으로써 형성한 것이다. 따라서, 본 실시형태에서의 프로브는, 일체화되어 있고, 전체가 연결된 구조로 되어 있다.

본 실시형태에서의 프로브는, 한쪽의 단자부(410), 스프링부(420 및 423), 하우징부(430), 다른쪽의 단자부(440)에 의해 형성되어 있다.

한쪽의 단자부(410)는, 웨이퍼 등에 형성된 전기 회로 및 전자 부품 등의 전극 패드 또는 전극 단자 등과 접촉시켜 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 구체적으로는, 한쪽의 단자부(410)의 선단부(411)에서, 검사의 대상이 되는 전기 회로 또는 전자 부품 등에서의 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 전기적으로 접속된다. 또한, 한쪽의 단자부(410)의 양측의 측부는 한쪽의 단자부(410)의 길이 방향을 따라 L자형으로 구부러져 있으며, 단자 보강부(412)를 형성하고 있다. 이와 같이 한쪽의 단자부(410)의 양측의 측부를 L자형으로 구부림으로써, 한쪽의 단자부(410)의 선단부(411)가 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하였을 때에, 힘이 가해진 경우에도, 한쪽의 단자부(410)가 변형되는 일 없이, 확실하게 한쪽의 단자부(410)의 선단부(411)와 전극 패드 및 전극 단자를 접촉시킬 수 있다.

스프링부(420 및 423)는, 평판형으로서 양측이 U자형으로 굽은 사행 형상의 것을 대략 중심 부분에서, 길이 방향을 따라 コ자 형상으로 절곡한 구조의 것으로, 절곡된 일측(421 및 424)과, 타측(422 및 425)은 대략 평행이 되도록 절곡되어 있다. 본 실시형태에서는, コ자형으로 절곡된 구조의 것을 나타내고 있지만, U자형 등으로 절곡된 구조의 것이어도 좋다. 스프링부(420 및 423)에서는, 양측을 U자형으로 굽은 사행 형상으로 함으로써, 탄성을 갖게 되어, 스프링으로서의 기능을 발휘시킬 수 있다.

하우징부(430)는, 스프링부(420 및 423)의 전체를 둘러싸도록 하우징부(430)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 형성되어 있다. 구체적으로는, 하우징부(430)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 측면부(431)와 상면부(432)를 형성한다. 이때, 측면부(431)를 절곡함으로써 저면부(435)도 동시에 형성되기 때문에, 스프링부(420 및 423) 전체를 대략 사각 형상의 하우징부(430)에 의해 둘러쌀 수 있다. 또한, 하우징부(430)와 스프링부(420 및 423)는 경계가 되는 중앙부(436)에서 약 180°절곡되어, 스프링부(420 및 423)의 하우징부(430) 내에 수납된 구조로 되어 있다.

다른쪽의 단자부(440)는, 프로버 등의 측정 기기와 전기적으로 접속하기 위한 것이며, 한쪽의 단자부(410)에서 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 얻어진 전극 신호가, 다른쪽의 단자부(440)를 통하여, 측정 기기에 전달된다. 구체적으로는, 다른쪽의 단자부(440)의 선단부(441)에서, 프로버 등의 측정 기기와 전기적으로 접속하기 위한 전극 단자 등과 접촉하여 전기적으로 접속된다. 또한, 다른쪽의 단자부(440)의 양측의 측부는 다른쪽의 단자부(440)의 길이 방향을 따라 L자형으로 구부러져 있으며, 단자 보강부(442)를 형성하고 있다. 이와 같이 다른쪽의 단자부(440)의 양측의 측부를 L자형으로 구부림으로써, 다른쪽의 단자부(440)의 선단부(441)가 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하였을 때에, 힘이 가해진 경우에도, 다른쪽의 단자부(440)가 변형되는 일 없이, 확실하게 다른쪽의 단자부(440)의 선단부(441)와 전극 단자 등을 접촉시킬 수 있다. 또한, 본 실시형태의 설명에서는, 한쪽의 단자부(410) 및 다른쪽의 단자부(440)에서의 양측의 측부를 L자형으로 구부림으로써, コ자형의 형상으로 형성한 것에 대해서 설명하지만, 중앙 부분을 구부림으로써 V자형의 형상으로 형성한 것이나, 곡면을 형성함으로써 U자형 또는 반원형으로 형성한 것이어도 좋다.

또한, 한쪽의 단자부(410)의 근방에 마련된 하우징 접속부(413)는, 하우징부(430)의 측면부(431)의 내측과 접촉하고 있어, 하우징 접속부(413)와 하우징부(430)가 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 다른쪽의 단자부(440)의 근방에 마련된 하우징 접속부(443)는, 하우징부(430)의 측면부(431)의 내측과 접촉하고 있어, 하우징 접속부(443)와 하우징부(430)가 전기적으로 접속되어 있다. 이와 같이, 하우징 접속부(413)와 하우징부(430)가 전기적으로 접속되며, 하우징 접속부(443)와 하우징부(430)가 전기적으로 접속됨으로써, 전기 신호는 한쪽의 단자부(410)의 선단부(411)로부터, 하우징 접속부(413), 하우징부(430), 하우징 접속부(443)를 통하여, 다른쪽의 단자부(440)의 선단부(441)에 전달된다. 하우징부(430)는 전기 신호가 흐르는 영역에서의 단면적이 넓기 때문에, 한쪽의 단자부(410)로부터 다른쪽의 단자부(440)까지의 전기 저항을 낮게 할 수 있다. 따라서, 한쪽의 단자부(410)에서 검출한 전기 신호를 저저항으로 다른쪽의 단자부(440)까지 전달할 수 있다.

본 실시형태에서의 프로브는, 한쪽의 단자부(410)와 접속되는 스프링부(420)와, 다른쪽의 단자부(440)와 접속되는 스프링부(423)를 가지고 있고, 한쪽의 단자부(410) 및 다른쪽의 단자부(440)의 쌍방에서 신축 가능하다. 또한, 본 실시형태에서의 프로브는, 중앙부(436)에서 하우징부(430)에 스프링부(420 및 423)가 물리적으로 접속되며 고정되어 있다.

따라서, 한쪽의 단자부(410)의 선단과 전극 패드 및 전극 단자의 접촉과, 다른쪽의 단자부(440)의 선단과 전극 단자 등의 접촉을 확실하게 행할 수 있다.

(프로브의 제조 방법)

다음에, 도 16에 기초하여 본 실시형태에서의 프로브의 제조 방법에 대해서 설명한다.

먼저, 단계 202(S202)에서, 본 실시형태에서의 프로브를 제작하기 위해, 미리 정해진 형상으로 금속판을 형성한다(금속판 형성 공정). 형성 방법은, 금속판을 프레스 가공 등에 의해 펀칭 형성하는 방법이나, 금속판 상에 미리 정해진 형상의 마스크를 형성하고, 마스크가 형성되어 있지 않은 영역을 에칭하는 방법에 의해 형성한다. 또한, 이 금속판은, 구리 또는 구리를 포함하는 합금에 의해 형성되어 있고, 두께는, 30 ㎛～150 ㎛이다. 또한, 본 실시형태에서는, 두께 60 ㎛의 구리판을 이용하여, 프레스 가공에 의해 미리 정해진 형상의 금속판을 형성하였다.

도 17에, 미리 정해진 형상으로 형성된 금속판을 나타낸다. 이 금속판은, 프로브를 형성하기 위한 본체부가 되는 것으로, 구부러져 있지 않은 상태의 한쪽의 단자부(410), 스프링부(420 및 423), 하우징부(430), 다른쪽의 단자부(440)가 형성되어 있다. 또한, 구부러져 있지 않은 상태의 한쪽의 단자부(410), 스프링부(420 및 423), 하우징부(430), 다른쪽의 단자부(440)를 각각 한쪽의 단자부(410)가 되는 영역, 스프링부(420 및 423)가 되는 영역, 하우징부(430)가 되는 영역, 다른쪽의 단자부(440)가 되는 영역이라고도 칭한다. 이 본체부는, 일단으로부터, 한쪽의 단자부(410)가 되는 영역과, 스프링부(420 및 423)가 되는 영역과, 다른쪽의 단자부(440)가 되는 영역의 순서대로 접속되어 형성되어 있고, 하우징부(430)가 되는 영역은, 스프링부(420 및 423)가 되는 영역의 길이 방향을 따라 형성되어 있으며 중앙부(436)에서 접속되어 있다. 또한, 본 실시형태에서의 프로브는, 이 본체부를 절곡함으로써 제작된다.

다음에, 단계 204(S204)에서, 본체부에 도금 가공을 실시한다(도금 공정). 이 도금 가공은, Ni, Pd, Au, 혹은 Ni, Au의 도금을 순서대로 행하는 것에 의해 행해진다.

다음에, 단계 206(S206)에서, 스프링부(420 및 423)가 되는 영역을 절곡한다(제1 절곡 공정). 구체적으로는, 도 17에 나타내는 파선(G1-G2)을 따라 90°절곡하고, 동일한 방향으로 파선(G3-G4)을 따라 90°절곡한다. 이에 따라, 스프링부(420 및 423)가 되는 영역은 コ자형으로 절곡된다.

스프링부(420 및 423)가 되는 영역이 コ자형으로 절곡됨으로써, 스프링부(420)의 일측(421)이 형성되는 면과 타측(422)이 형성되는 면은 대략 평행이 되고, 또한, 스프링부(423)의 일측(424)이 형성되는 면과 타측(425)이 형성되는 면은 대략 평행이 된다. 이때, 동시에 한쪽의 단자부(410)에서의 측부도 양측이 90°구부러져 선단 보강부(412)가 형성되며, 하우징 접속부(413)가 되는 영역도 스프링부(423)에서의 일측(424) 및 타측(425)을 따른 구조가 된다. 마찬가지로 다른쪽의 단자부(440)에서의 측부도 양측이 90°구부러져 선단 보강부(442)가 형성되며, 하우징 접속부(443)가 되는 영역도 스프링부(420)에서의 일측(421) 및 타측(422)을 따른 구조가 된다.

다음에, 단계 208(S208)에서, 본체부를 절곡한다(제2 절곡 공정). 구체적으로는, 도 17에 나타나는 중앙부(436)에서의 파선(H1-H2)을 따라, 스프링부(420 및 423)가 구부러져 있는 측으로 180°절곡한다. 이에 따라, 스프링부(420 및 423)의 배면측에 하우징부(430)가 배치된다. 또한, 이 단계에서, 하우징부(430)가 되는 영역의 양측의 측부를 파선(I1-I2), 파선(I3-I4)을 따라, 스프링부(420 및 423)가 구부러진 방향으로 90°절곡함으로써, 상면부(432)가 되는 영역을 형성하고, 또한, 후술하는 바와 같이, 하우징 접속부(413 및 443)와 하우징부(430)의 내측이 접촉하도록 하우징 접속부(413 및 443)를 약간 외측으로 구부린다.

도 18～도 21에 단계 208에서 절곡된 상태에서의 본체부를 나타낸다. 또한, 도 18은 측면도, 도 19는 평면도, 도 20은 정면도, 도 21 및 도 22는 사시도이다.

다음에, 단계 210(S210)에서, 하우징부(430)가 되는 영역을 절곡한다(제3 절곡 공정). 구체적으로는, 스프링부(420 및 423)가 구부러져 있는 방향과 동일한 방향으로, 도 17에 나타내는 파선(J1-J2)을 따라 90°절곡하고, 파선(J3-J4)을 따라 90°절곡하여, 하우징부(430)의 측면부(431)를 형성한다. 이때, 저면부(435)도 동시에 형성되기 때문에, 스프링부(420)의 전체가 하우징부(430)에 둘러싸인 구조가 된다. 또한, 하우징부(430)의 측면부(431)의 내벽과, 하우징 접속부(413)가 접촉하여, 전기적으로 접속되며, 하우징부(430)의 측면부(431)의 내벽과, 하우징 접속부(443)가 접촉하여, 전기적으로 접속된다. 도 23은 단계 210에서 절곡된 상태에서의 본체부의 투과 사시도를 나타낸다. 도 24는 도 23에 나타내는 투과 사시도에서의 중앙부(436) 근방의 주요부 확대도이다.

다음에, 단계 212(S212)에서, 중앙부(436)를 절곡한다(중앙부 처리). 구체적으로는, 도 23 및 도 24에 나타내는 중앙부(436)를 하우징부(430)의 측면을 따르도록 절곡한다. 이에 따라, 하우징부(430)와, 스프링부(420 및 423)가, 중앙부(436)에서 접속되어 있는 도 15에 나타내는 본 실시형태에서의 프로브를 제조할 수 있다. 또한, 본 실시형태에서의 프로브는, 하우징 접속부(413)에서, 하우징부(430)와 한쪽의 단자부(410)가 접촉하고 있고, 하우징 접속부(443)에서, 하우징부(430)와 다른쪽의 단자부(440)가 접촉하고 있다.

또한, 단계 212에서, 도 25에 나타내는 바와 같이, 도 23 및 도 24에 나타내는 중앙부(436)를 절단함으로써, 하우징부(430)와, 스프링부(420 및 423)가, 물리적으로는 접속되어 있지 않지만, 하우징부(430)와 하우징 접속부(413 및 443)에서 접촉하고 있는 상태의 프로브를 제조할 수 있다.

이상으로부터, 본 실시형태에서의 프로브는, 1장의 금속판을 가공함으로써 제조할 수 있다. 따라서, 스프링 기능을 갖는 프로브에서, 복수의 부품을 조립할 필요가 없어, 조립 공정이 불필요하다. 또한, 제조 공정이, 금속판의 프레스 가공 등의 가공 공정과, 도금 공정과, 절곡 공정과, 필요에 따라 행해지는 절단 공정만으로 이루어지기 때문에, 간단한 제조 장치로 제조할 수 있고, 또한, 제조 공정도 단순하기 때문에, 저비용으로 대량으로 단시간에 제조할 수 있다. 따라서, 매우 저비용으로, 양단에 스프링 기능을 갖는 프로브를 제조할 수 있다.

〔제6 실시형태〕

(프로브의 구조)

제6 실시형태에서의 프로브에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 전자 부품이나 전기 회로 등의 검사를 행하기 위해 이용되는 것이며, 전자 부품이나 전기 회로 등에 형성된 전극 패드 또는 전극 단자 등과 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 구체적으로는, 도 26 및 도 27에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서의 프로브는, 1장의 금속판, 예컨대, 구리 또는 구리를 포함하는 합금으로 이루어지는 금속판을 펀칭한 것을 절곡함으로써 형성한 것이다. 따라서, 본 실시형태에서의 프로브는, 일체화되어 있고, 전체가 연결된 구조로 되어 있다.

본 실시형태에서의 프로브는, 선단부(510), 스프링부(520), 하우징부(530), 하우징 접속부(540)에 의해 형성되어 있다.

선단부(510)는, 웨이퍼 등에 형성된 전기 회로 및 전자 부품 등의 전극 패드 또는 전극 단자 등과 접촉시켜 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 선단부(510)의 단부는, 단자 접촉부(511)를 형성하고 있다. 이 단자 접촉부(511)는, 검사의 대상이 되는 전기 회로 또는 전자 부품 등에서의 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 전기적으로 접속되는 부분이다. 또한, 선단부(510)의 양측의 측부는 선단부(510)의 길이 방향을 따라 L자형으로 구부러져 있고, 선단 보강부(512)를 형성하고 있다. 이와 같이 선단부(510)의 양측의 측부를 L자형으로 구부림으로써, 선단부(510)를 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉시켰을 때에, 힘이 가해진 경우에도, 선단부(510)가 변형되는 일 없이, 확실하게 단자 접촉부(511)와 전극 패드 및 전극 단자를 접촉시킬 수 있다. 또한, 본 실시형태의 설명에서는, 선단부(510)의 양측의 측부를 L자형으로 구부림으로써, コ자형의 형상으로 형성한 것에 대해서 설명하지만, 중앙 부분을 구부림으로써 V자형의 형상으로 형성한 것이나, 곡면을 형성함으로써 U자형 또는 반원형으로 형성한 것이어도 좋다.

스프링부(520)는, 평판형으로서 양측이 U자형으로 굽은 사행 형상의 것을 대략 중심 부분에서, 길이 방향을 따라 コ자 형상으로 절곡한 구조의 것으로, 절곡된 일측(521)과, 타측(522)은 대략 평행이 되도록 절곡되어 있다. 본 실시형태에서는, コ자형으로 절곡된 구조의 것을 나타내고 있지만, U자형 등으로 절곡된 구조의 것이어도 좋다. 스프링부(520)에서는, 양측을 U자형으로 굽은 사행 형상으로 함으로써, 탄성을 갖게 되어, 스프링으로서의 기능을 발휘시킬 수 있다.

하우징부(530)는, 스프링부(520)의 전체를 둘러싸도록 하우징부(530)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 형성되어 있다. 구체적으로는, 하우징부(530)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 측면부(531)와 상면부(532)를 형성한다. 또한, 선단부(510) 근방에서는, 양측이 U자형으로 굽은 사행 형상의 하우징 스프링부(537)를 갖고 있다. 이 하우징 스프링부(537)는, 평판형으로서 양측이 U자형으로 굽은 사행 형상의 것을, 하우징부(530)의 측면부(531)를 형성할 때에 구부러지는 절곡선의 연장선 상의 절곡선을 따라, コ자 형상으로 절곡된 구조의 것으로, 절곡된 일측(538)과, 타측(539)은 대략 평행이 되도록 절곡되어 있다. 하우징 스프링부(537)에서는, 양측이 U자형으로 굽은 사행 형상으로 됨으로써, 탄성을 갖는 되어, 스프링으로서의 기능을 발휘시킬 수 있다.

하우징부(530)는, 하우징부(530)가 되는 영역의 측부를 절곡함으로써 상면부(532)를 형성하고, 또한, 측면부(531)를 절곡함으로써 저면부(535)도 동시에 형성되기 때문에, 스프링부(520) 전체를 대략 사각 형상의 하우징부(530)에 의해 둘러쌀 수 있다. 이와 같이 형성된 하우징부(530)에 있어서의 선단부(510)가 마련되어 있는 측의 단부는 하우징 전방부(533)이며, 굴곡부(536)가 마련되는 측의 단부가 하우징 후방부(534)이다. 또한, 하우징부(530)와 스프링부(520)는 경계가 되는 굴곡부(536)에서 약 180°절곡되어, 스프링부(520)가 하우징부(530) 내에 수납된 구조로 되어 있다. 또한, 이 굴곡부(536)는, 프로버 등의 측정 기기와 전기적으로 접속되는 것으로, 단자 접촉부(511)에서 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 얻어진 전극 신호는, 굴곡부(536)를 통하여 측정 기기에 전달된다.

하우징 접속부(540)는, 하우징부(530)의 측면부(531)의 내측과 접촉하고 있고, 하우징 접속부(540)와 하우징부(530)가 전기적으로 접속되어 있다. 구체적으로는, 하우징 접속부(540)와 하우징부(530)가 전기적으로 접속됨으로써, 전기 신호는 단자 접촉부(511)로부터 선단부(510), 하우징 접속부(540), 하우징부(530)를 통하여, 굴곡부(536)에 전달된다. 하우징부(530)는 전기 신호가 흐르는 영역에서의 단면적이 넓기 때문에, 단자 접촉부(511)로부터 굴곡부(536)까지의 전기 저항을 낮게 할 수 있다. 따라서, 단자 접촉부(511)에서 검출한 전기 신호를 굴곡부(536)까지 저저항으로 전달할 수 있다. 즉, 본 실시형태에서의 프로브에서는, 프로브 내에서, 전기적으로 접촉하는 부분은, 하우징부(530)와 하우징 접속부(540)의 1부분만이며, 접촉 저항을 적게 할 수 있다.

다음에, 본 실시형태에서의 프로브의 사용 방법에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 절연체 외부 프레임(560 및 570)에, 2차원적으로 대략 등간격으로 배열되어 있다. 구체적으로는, 본 실시형태에서의 프로브에서는, 도 26 및 도 27에 나타내는 바와 같이, 선단부(510)에 접속되어 있는 스프링부(520)와, 하우징부(530)에 접속되어 있는 하우징 스프링부(537)의 2개의 스프링부를 갖고 있다. 따라서, 도 28에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서의 복수의 프로브를 2차원적으로 절연체 외부 프레임(560 및 570)에 수납할 때에, 본 실시형태에서의 프로브의 하우징 전방부(533)와 절연체 외부 프레임(560)의 압박부(561)가 접촉하고, 하우징 후방부(534)와 절연체 외부 프레임(570)의 압박부(571)가 접촉하며, 절연체 외부 프레임(560)과 절연체 외부 프레임(570)을 접합시킴으로써, 압박부(561) 및 압박부(571)를 통하여, 하우징 전방부(533)와 하우징 후방부(534)가 압축되는 방향, 즉 프로브의 하우징부(530)가 줄어드는 방향으로 힘이 가해진다. 하우징 스프링부(537)는 스프링성을 가지고 있기 때문에, 이 힘에 의해, 본 실시형태에서의 프로브는, 절연체 외부 프레임(560 및 570)에 고정된다. 이 상태에서, 스프링부(520)는 프로브의 고정에는 기여하고 있지 않다. 따라서, 프로브의 선단부(510)에서의 단자 접촉부(511)가, 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하였을 때에, 스프링성을 가지고 접촉하는 것이 가능하다. 또한, 굴곡부(536)는, 절연체 외부 프레임(570)에 마련된 개구부(572)로부터 외부에 돌출된 상태로 되어 있으며, 굴곡부(536)와 전극 단자를 전기적으로 접속하는 것이 가능하다.

본 실시형태에서의 프로브에서는, 굴곡부(536)측에 기판을 고정한 경우, 하우징 스프링부(537)에서의 스프링에 의해, 기판에 대하여 접촉력을 발생시킬 수 있다. 이에 따라, 단자 접촉부(511)측이 변위함으로써 발생하는 굴곡부(536)측의 접촉력과는 관계 없이, 하우징 스프링부(537)에 의해 기판과의 접촉력을 발생시킬 수 있다.

전술한 프로브는, 하우징 스프링부(537)를 선단부(510)가 마련되어 있는 측, 즉 하우징 전방부(533)의 근방에 마련한 구성의 것이지만, 도 29 및 도 30에 나타내는 바와 같이 하우징 스프링부(537)를 굴곡부(536)가 마련되어 있는 측, 즉 하우징 후방부(534)의 근방에 마련한 구성의 것이어도 좋다. 또한, 도 29 및 도 30에서의 부호는, 도 26 및 도 27에 나타내는 부호가 가르키는 부재와 동일한 기능을 갖는 부재를 나타낸다.

(프로브의 제조 방법)

다음에, 도 31에 기초하여 본 실시형태에서의 프로브의 제조 방법에 대해서 설명한다.

먼저, 단계 302(S302)에서, 본 실시형태에서의 프로브를 제작하기 위해, 미리 정해진 형상으로 금속판을 형성한다(금속판 형성 공정). 형성 방법은, 금속판을 프레스 가공 등에 의해 펀칭 형성하는 방법이나, 금속판 상에 미리 정해진 형상의 마스크를 형성하고, 마스크가 형성되어 있지 않은 영역을 에칭하는 방법에 의해 형성한다. 또한, 이 금속판은, 구리 또는 구리를 포함하는 합금에 의해 형성되어 있고, 두께는, 30 ㎛～150 ㎛이다. 또한, 본 실시형태에서는, 두께 60 ㎛의 구리판을 이용하여, 프레스 가공에 의해 미리 정해진 형상의 금속판을 형성하였다.

도 32에, 미리 정해진 형상으로 형성된 금속판을 나타낸다. 이 금속판은, 본체부를 구성하는 것이며, 본체부는, 구부러져 있지 않은 상태의 선단부(510), 스프링부(520), 하우징부(530), 하우징 접속부(540)가 형성되어 있다. 또한, 구부러져 있지 않은 상태의 선단부(510), 스프링부(520), 하우징부(530), 하우징 접속부(540)를 각각 선단부(510)가 되는 영역, 스프링부(520)가 되는 영역, 하우징부(530)가 되는 영역, 하우징 접속부(540)가 되는 영역이라고도 칭한다. 또한, 도 32에는, 프레스 등에 의해 펀칭된 상태의 본체부를 나타낸다. 본체부는, 일단부로부터, 선단부(510)가 되는 영역과, 하우징 접속부(540)가 되는 영역과, 스프링부(520)가 되는 영역과, 하우징부(530)가 되는 영역의 순서대로 접속되어 형성되어 있다. 본체부는 본 실시형태에서의 프로브를 형성하는 영역이며, 본 실시형태에서의 프로브는, 본체부를 절곡함으로써 제작된다.

다음에, 단계 304(S304)에서, 본체부에 도금 가공을 실시한다(도금 공정). 또한, 이 도금 가공은, Ni, Pd, Au, 혹은 Ni, Au의 도금을 순서대로 행함으로써 행해진다.

다음에, 단계 306(S306)에서, 스프링부(520)가 되는 영역을 절곡한다(제1 절곡 공정). 구체적으로는, 도 32에 나타내는 파선(K1-K2)을 따라 90°절곡하고, 동일한 방향으로 파선(K3-K4)을 따라 90°절곡한다. 이에 따라, 스프링부(520)가 되는 영역은 コ자형으로 절곡된다.

스프링부(520)가 되는 영역이 コ자형으로 절곡됨으로써, 스프링부(520)의 일측(521)이 형성되는 면과 타측(522)이 형성되는 면은 대략 평행이 된다. 이때, 동시에 선단부(510)에서의 측부도 양측이 90°구부러져 선단 보강부(512)가 형성되며, 하우징 접속부(540)가 되는 영역도 스프링부(520)에서의 일측(521) 및 타측(522)을 따른 구조가 된다. 또한, 이 단계에서, 하우징부(530)가 되는 영역의 양측의 측부를 파선(L1-L2), 파선(L3-L4)을 따라, 스프링부(520)가 구부러진 방향과 역방향으로 90°절곡함으로써, 상면부(532)가 되는 영역을 형성하고, 또한, 후술하는 바와 같이, 하우징 접속부(540)와 하우징부(530)의 내측이 접촉하도록 하우징 접속부(540)를 약간 외측으로 구부린다.

다음에, 단계 308(S308)에서, 본체부를 절곡한다(제2 절곡 공정). 구체적으로는, 도 32에 나타내는 파선(M1-M2)을 따라, 스프링부(520)가 구부러져 있는 측으로 180°절곡한다. 파선(M1-M2)에서 절곡된 부분은 굴곡부(536)가 되며, 본 실시형태에서의 프로브가 계측 기기 등과 접속할 때의 접속 단자로서의 기능을 갖는다.

다음에, 단계 310(S310)에서, 하우징부(530)가 되는 영역을 절곡한다(제3 절곡 공정). 구체적으로는, 스프링부(520)가 구부러져 있는 방향과 동일한 방향으로, 도 32에 나타내는 파선(N1-N2)을 따라 90°절곡하고, 파선(N3-N4)을 따라 90°절곡하여, 하우징부(530)의 측면부(531)를 형성한다. 이때, 저면부(535)도 동시에 형성되기 때문에, 스프링부(520)의 전체가 하우징부(530)에 둘러싸인 구조가 된다. 또한, 하우징 스프링부(537)가 되도록 コ자형으로 절곡된다. 이에 따라, 하우징 스프링부(537)의 일측(538)이 형성되는 면과, 타측(539)이 형성되는 면은 대략 평행이 된다. 또한, 하우징부(530)의 측면부(531)의 내벽과, 하우징 접속부(540)가 접촉하여, 전기적으로 접속된다.

이상으로부터, 본 실시형태에서의 프로브는, 1장의 금속판을 가공함으로써 제조할 수 있다. 따라서, 스프링 기능을 갖는 프로브에서, 복수의 부품을 조립할 필요가 없어, 조립 공정이 불필요하다. 또한, 제조 공정이, 금속판의 프레스 가공 등의 가공 공정과, 도금 공정과, 절곡 공정만으로 이루어지기 때문에, 간단한 제조 장치로 제조할 수 있고, 또한, 제조 공정도 단순하기 때문에, 저비용이며 대량으로 단시간에 제조할 수 있다. 따라서, 매우 저비용으로, 양단에 스프링 기능을 가지며 프로브 내에서의 접촉 저항이 낮은 프로브를 제조할 수 있다.

또한, 도 29 및 도 30에 나타내는 프로브에 대해서는, 도 33에 나타내는 금속판을 절곡함으로써 동일하게 제조할 수 있다. 즉, 전술한 프로브의 제조 방법에서, 단계 302에서 도 33에 나타내는 금속판을 형성하고, 단계 306부터 단계 310의 절곡 공정을 행함으로써, 도 29 및 도 30에 나타내는 프로브를 제조할 수 있다. 또한, 도 33에서는, 단계 306부터 단계 310에서 대응하여 절곡하는 절곡선을 표시하고 있다.

〔제7 실시형태〕

제7 실시형태에서의 프로브에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 전자 부품이나 전기 회로 등의 검사를 행하기 위해 이용되는 것이며, 전자 부품이나 전기 회로 등에 형성된 전극 패드 또는 전극 단자 등과 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 구체적으로는, 도 34 내지 도 42에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서의 프로브는, 1장의 금속판, 구체적으로는, 시효 경화형 합금인 베릴륨 구리를 포함하는 금속판을 펀칭한 것을 절곡함으로써 형성한 것이다. 따라서, 본 실시형태에서의 프로브는 일체화되어 있고, 전체가 연결된 구조로 되어 있다.

본 실시형태에서의 프로브는, 선단부(610), 스프링부(620), 하우징부(630), 하우징 접속부(640), 굴곡부(650)에 의해 형성되어 있다. 또한, 도 34는 본 실시형태에서의 프로브의 사시도이며, 도 35는 평면도이고, 도 36은 좌측면도이며, 도 37은 저면도이고, 도 38은 우측면도이며, 도 39는 정면도이다. 또한, 도 40은 도 34에서의 파선으로 둘러싸인 영역(34A)의 확대도이며, 도 41은 도 35에서의 파선으로 둘러싸인 영역(35A)의 확대도이고, 도 42는 도 36에서의 파선으로 둘러싸인 영역(36A)의 확대도이다.

선단부(610)는, 웨이퍼 등에 형성된 전기 회로 및 전자 부품 등의 전극 패드 또는 전극 단자 등과 접촉시켜 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 선단부(610)의 단부는, 단자 접촉부(611)를 형성하고 있다. 이 단자 접촉부(611)는, 검사의 대상이 되는 전기 회로 또는 전자 부품 등에서의 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 전기적으로 접속되는 부분이다.

스프링부(620)는, 평판형으로서 양측이 U자형으로 굽은 사행 형상의 것을 대략 중심 부분에서, 길이 방향을 따라 コ자 형상으로 절곡한 구조의 것으로, 절곡된 일측과, 타측은 대략 평행이 되도록 절곡되어 있다. 본 실시형태에서는, コ자형으로 절곡한 구조의 것을 나타내고 있지만, U자형 등으로 절곡한 구조의 것이어도 좋다. 스프링부(620)에서는, 양측을 U자형으로 굽은 사행 형상으로 함으로써, 탄성을 갖게 되어, 스프링으로서의 기능을 발휘시킬 수 있다.

하우징부(630)는, 스프링부(620)의 전체를 둘러싸도록 하우징부(630)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 형성되어 있다. 구체적으로는, 하우징부(630)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 측면부(631)와 상면부(632)를 형성한다.

하우징부(630)는, 하우징부(630)가 되는 영역의 측부를 절곡함으로써 상면부(632)를 형성하고, 또한, 측면부(631)를 절곡함으로써 저면부(635)도 동시에 형성되기 때문에, 스프링부(620) 전체를 대략 사각 형상의 하우징부(630)에 의해 둘러쌀 수 있다.

또한, 하우징부(630)에는 개구부(636)가 마련되어 있고, 본 실시형태에서의 프로브에 힘이 가해지지 않은 상태에서는, 후술하는 접촉부(641)가 개구부(636)에 위치하도록 형성되어 있다.

또한, 하우징부(630)와 스프링부(620)는 경계가 되는 굴곡부(650)에서, 약 180°절곡되어, 스프링부(620)가 하우징부(630) 내에 수납된 구조로 되어 있다. 또한, 이 굴곡부(650)는, 프로버 등의 측정 기기와 전기적으로 접속되는 것으로, 단자 접촉부(611)에서 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 얻어진 전극 신호는, 굴곡부(650)를 통하여, 측정 기기에 전달된다. 이를 위해, 굴곡부(650)는 절곡되는 절곡부(651)와 전극 단자와 접촉하는 전극 접촉부(652)를 구비하고 있고, 전극 신호는, 전극 접촉부(652)를 통하여, 측정 기기에 전달된다.

하우징 접속부(640)는, 도 43에 나타내는 바와 같은 절연체 외부 프레임(660 및 670)에 설치된 상태에서, 하우징 접속부(640)와 하우징부(630)의 측면부(631)의 내측이 접촉하는 접촉부(641)를 가지고 있다. 즉, 도 40에 나타내는 바와 같이, 접촉부(641)는, 하우징부(630)측으로 뾰족한 형상이 되도록, ヘ자형으로 구부러져 형성되어 있으며 스프링성을 갖고 있다. 따라서, 절연체 외부 프레임(660 및 670)에 설치됨으로써, 접촉부(641)를 통하여 하우징 접속부(640)와 하우징부(630)가 전기적으로 접속된다.

이와 같이, 접촉부(641)를 통하여 하우징 접속부(640)와 하우징부(630)가 전기적으로 접속됨으로써, 전기 신호는 단자 접촉부(611)로부터 선단부(610), 하우징 접속부(640), 하우징부(630)를 통하여, 굴곡부(650)에 전달된다. 하우징부(630)는 전기 신호가 흐르는 영역에서의 단면적이 넓기 때문에, 단자 접촉부(611)로부터 굴곡부(650)까지의 전기 저항을 낮게 할 수 있다. 따라서, 단자 접촉부(611)에서 검출한 전기 신호를 굴곡부(650)까지 저저항으로 전달할 수 있다. 즉, 본 실시형태에서의 프로브에서는, 프로브 내에서, 전기적으로 접촉하는 부분이, 하우징부(630)와 하우징 접속부(640)의 접촉부(641)의 1부분만이므로, 접촉 저항을 적게 할 수 있다.

다음에, 본 실시형태에서의 프로브의 사용 방법에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 절연체 외부 프레임(660 및 670)에 설치되는 것으로, 2차원적으로 대략 등간격으로 배열되어 있다. 구체적으로는, 본 실시형태에서의 프로브에는, 선단부(610)가 마련되어 있는 측에 있어서, 선단부(610)와 스프링부(620)의 사이에, 접속 전방부(633)가 마련되어 있고, 하우징부(630)에 있어서 굴곡부(650)가 마련되는 측의 단부에는 접속 후방부(634)가 마련되어 있다.

따라서, 도 43에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서의 복수의 프로브를 2차원적으로 절연체 외부 프레임(660 및 670)에 설치할 때에, 본 실시형태에서의 프로브의 접속 전방부(633)와 절연체 외부 프레임(660)의 압박부(661)가 접촉하고, 접속 후방부(634)와 절연체 외부 프레임(670)의 압박부(671)가 접촉하며, 절연체 외부 프레임(660)과 절연체 외부 프레임(670)을 접합시킨다. 이에 따라, 압박부(661) 및 압박부(671)를 통하여, 접속 전방부(633)와 접속 후방부(634)가 압축되는 방향, 즉 프로브의 스프링부(620)가 줄어드는 방향으로 힘이 가해진다. 스프링부(620)는 스프링성을 가지고 있기 때문에, 이 힘에 의해, 본 실시형태에서의 프로브는, 절연체 외부 프레임(660 및 670)에 고정된다. 또한, 이 상태에서는, 프로브의 선단부(610)에서의 단자 접촉부(611)가, 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하였을 때에, 스프링부(620)에서의 스프링성을 가지고 접촉시키는 것이 가능하다. 또한, 굴곡부(650)는, 절연체 외부 프레임(670)에 마련된 개구부(672)로부터 외부에 돌출한 상태로 되어 있어, 굴곡부(650)에서의 전극 접촉부(652)와 전극 단자를 전기적으로 접속하는 것이 가능하다.

본 실시형태에서의 프로브에 있어서는, 절연체 외부 프레임(660 및 670)에 설치되어 있지 않은 상태, 즉 접촉 전방부(633)에 힘이 가해지고 있지 않은 상태에서, 하우징 접속부(640)의 접촉부(641)가, 하우징부(630)에서의 개구부(636)에 위치하고 있으며, 하우징부(630)와 하우징 접속부(640)의 접촉부(641)는 접촉하고 있지 않다. 이것은, 후술하는 바와 같이, 본 실시형태에서의 프로브의 제조 방법을 고려한 것이다. 이 상태에서는, ヘ자형의 접촉부(641)는 개구부(636)측에 돌출된 상태로 되어 있다.

또한, 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서의 프로브가 절연체 외부 프레임(660 및 670)에 설치된 상태에서는, 하우징부(630)와 하우징 접속부(640)의 접촉부(641)가 접촉한다. 즉, 본 실시형태에서의 프로브에 있어서는, 절연체 외부 프레임(660 및 670)에 설치된 상태에서, 도 42에 나타내는 바와 같이, 절연체 외부 프레임(660)의 압박부(661)에 의해, 접속 전방부(633)가 화살표 A로 나타내는 방향으로 압박된다. 이에 따라, 스프링부(620)는 수축되고, 접속 전방부(633)는, 하우징부(630)측으로 압박되기 때문에, 하우징 접속부(640)는 개구부(636)로부터 하우징부(630)의 안쪽으로 들어가도록 이동하여, 하우징 접속부(640)의 접촉부(641)가 하우징부(630)와 접촉한다.

(프로브의 제조 방법)

다음에, 도 44에 기초하여 본 실시형태에서의 프로브의 제조 방법에 대해서 설명한다.

먼저, 단계 402(S402)에서, 본 실시형태에서의 프로브를 제작하기 위해, 미리 정해진 형상으로 금속판을 형성한다(금속판 형성 공정). 형성 방법은, 금속판을 프레스 가공 등에 의해 펀칭 형성하는 방법 등에 따라 형성한다. 또한, 이 금속판은, 베릴륨 구리 또는 베릴륨 구리를 포함하는 재료에 의해 형성되어 있고, 두께는, 30 ㎛～150 ㎛이다. 또한, 본 실시형태에서는, 두께 60 ㎛의 베릴륨 구리로 이루어지는 금속판을 이용하여, 프레스 가공에 의해 미리 정해진 형상의 금속판을 형성한다.

도 45에, 미리 정해진 형상으로 형성된 금속판(680)을 나타낸다. 이 금속판(680)은 프레스 가공된 상태의 것으로, 구부러져 있지 않은 상태의 선단부(610), 스프링부(620), 하우징부(630), 하우징 접속부(640), 굴곡부(650)가 형성되어 있다. 본 실시형태에서의 프로브는, 이와 같이 프레스 가공된 금속판(680)을 절곡함으로써 제작된다.

다음에, 단계 404(S404)에서, 금속판(680)의 절곡 가공을 행한다. 구체적으로는, 제1 실시형태 등에 기재되어 있는 방법과 동일한 방법에 따라, 금속판(680)의 절곡 가공을 행한다. 이와 같이 절곡 가공을 행함으로써, 금속판(680)은 도 34 내지 도 42에 나타내는 형상이 된다.

다음에, 단계 406(S406)에서, 열처리를 행한다(열처리 공정). 구체적으로는, 270℃의 온도에서 약 2시간의 열처리를 행한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 시효 경화형 합금인 베릴륨 구리에 의해 형성되어 있다. 시효 경화형 합금인 베릴륨 구리는, 열처리를 행함으로써 경화시킬 수 있고, 이에 따라 강도가 높은 프로브를 얻을 수 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 절곡 가공 후에 열처리를 행한다. 그 이유는, 열처리 전이면, 베릴륨 구리로 이루어지는 금속판이 부드러워져 가공하기 쉬운데 비하여, 열처리 후에는, 베릴륨 구리로 이루어지는 금속판이 딱딱해져 가공하는 것이 곤란해지기 때문이다. 또한, 열처리 온도 및 열처리 시간은, 시효 경화형 합금의 종류나 조성에 따라 최적의 온도 및 시간으로 행해지지만, 열처리 온도는, 바람직하게는 250℃ 내지 400℃이며, 보다 바람직하게는 250℃ 내지 315℃이다. 또한, 열처리 시간은, 바람직하게는, 1시간 내지 5시간이며, 보다 바람직하게는 1시간 내지 3시간이다.

다음에, 단계 408(S408)에서, 도금 가공을 실시한다(도금 공정). 이 도금 가공은, Ni, Pd, Au, 혹은 Ni, Au의 도금을 순서대로 행함으로써 행해진다.

또한, 단계 404에서 절곡 가공된 금속판은, 하우징 접속부(640)의 접촉부(641)가 하우징부(630)의 개구부(636)에 위치하고 있는 상태로 형성된다.

베릴륨 구리로 이루어지는 금속판(680)은, 열처리를 행함으로써, 형상이 고정되어 버리는 성질을 갖고 있다. 즉, 베릴륨 구리는 열처리를 행함으로써, 스프링성은 유지되지만, 열처리가 행해진 상태에서 형상이 고정되어 버리는 성질을 갖고 있다. 이 때문에, 하우징부(630)와 하우징 접속부(640)의 접촉부(641)가 접촉하고 있는 상태에서 열처리를 행하면, 그 상태로 형상이 고정되어 버려, 하우징 접속부(640)가 스프링성을 가지고 하우징부(630)와 접촉부(641)에서 접촉할 수 없게 되어 버린다. 또한, 하우징 접속부(640)의 접촉부(641)와 하우징부(630)가 접촉하고 있는 상태에서 도금 가공을 행하면, 도금에 의해 접촉부(641)와 하우징부(630)가 고착하여 버려, 하우징부(630)에 대하여 선단부(610)가 상대적으로 움직이지 않게 되어 버린다.

이 때문에, 본 실시형태에서의 프로브에 있어서는, 외부로부터 힘이 가해지지 않는 상태에서, 접촉부(641)가 개구부(636)에 위치하고 있는 것이 바람직하고, 또한, 절곡 가공의 후에, 열처리 및 도금 가공이 행해지는 것이 바람직하다.

이상으로부터, 본 실시형태에서의 프로브는, 1장의 베릴륨 구리로 이루어지는 금속판을 가공함으로써 제조할 수 있다. 따라서, 스프링 기능을 갖는 프로브에서, 복수의 부품을 조립할 필요가 없어, 조립 공정이 불필요하다. 또한, 제조 공정이, 금속판의 프레스 가공 등의 가공 공정과, 도금 공정과, 절곡 공정과, 열처리 공정만으로 이루어지기 때문에, 간단한 제조 장치로 제조할 수 있고, 또한, 제조 공정도 단순하기 때문에, 저비용이며 대량으로 단시간에 제조할 수 있다. 따라서, 매우 저비용으로, 양단에 스프링 기능을 가지며, 프로브 내에서의 접촉 저항이 낮은 프로브를 제조할 수 있다.

〔제8 실시형태〕

다음에, 제8 실시형태에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 전자 부품이나 전기 회로 등의 검사를 행하기 위해 이용되는 것으로, 전자 부품이나 전기 회로 등에 형성된 전극 패드 또는 전극 단자 등과 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 구체적으로는, 도 46 내지 도 53에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서의 프로브는, 1장의 금속판을 절곡함으로써 형성한 것이다. 따라서, 본 실시형태에서의 프로브는 일체화되어 있고, 전체가 연결된 구조로 되어 있다.

본 실시형태에서의 프로브는, 선단부(710), 스프링부(720), 하우징부(730), 굴곡부(750)를 갖고 있다. 또한, 도 46은 본 실시형태에서의 프로브의 사시도이며, 도 47은 평면도이고, 도 48은 좌측면도이며, 도 49는 저면도이고, 도 50은 우측면도이며, 도 51은 정면도이다. 또한, 도 52는 하우징부(730)를 절곡하기 전의 상태의 프로브를 나타내는 것으로, 도 53은 도 52에서의 파선으로 둘러싸인 영역(52A)의 확대도이다.

선단부(710)는, 웨이퍼 등에 형성된 전기 회로 및 전자 부품 등의 전극 패드 또는 전극 단자 등과 접촉시켜 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 선단부(710)의 단부는, 단자 접촉부(711)를 형성하고 있다. 이 단자 접촉부(711)는, 검사의 대상이 되는 전기 회로 또는 전자 부품 등에서의 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 전기적으로 접속되는 부분이다.

스프링부(720)는, 평판형으로서 양측이 U자형으로 굽은 사행 형상의 것을 대략 중심 부분에서, 길이 방향을 따라 コ자 형상으로 절곡한 구조의 것으로, 절곡된 일측과, 타측은 대략 평행이 되도록 절곡되어 있다. 본 실시형태에서는, コ자형으로 절곡한 구조의 것을 나타내고 있지만, U자형 등으로 절곡한 구조의 것이어도 좋다. 스프링부(720)에서는, 양측을 U자형으로 굽은 사행 형상으로 함으로써, 탄성을 갖게 되어, 스프링으로서의 기능을 발휘시킬 수 있다.

하우징부(730)는, 스프링부(720)의 전체를 둘러싸도록 하우징부(730)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 형성되어 있다. 구체적으로는, 하우징부(730)가 되는 영역의 금속판을 절곡함으로써 측면부(731)와 상면부(732)를 형성한다.

하우징부(730)는, 하우징부(730)가 되는 영역의 측부를 절곡함으로써 상면부(732)를 형성하고, 또한, 측면부(731)를 절곡함으로써 저면부(735)도 동시에 형성되기 때문에, 스프링부(720) 전체를 대략 사각 형상의 하우징부(730)에 의해 둘러쌀 수 있다.

또한, 하우징부(730)와 스프링부(720)는 경계가 되는 굴곡부(750)에서 약 180°절곡되어, 스프링부(720)가 하우징부(730) 내에 수납된 구조로 되어 있다. 또한, 이 굴곡부(750)는, 프로버 등의 측정 기기와 전기적으로 접속되는 것으로, 단자 접촉부(711)에서 전극 패드 또는 전극 단자와 접촉하여 얻어진 전극 신호는, 굴곡부(750)를 통하여, 측정 기기에 전달된다. 이를 위해, 굴곡부(750)는 절곡되는 절곡부(751)와 전극 단자와 접촉하는 전극 접촉부(752)를 구비하고 있고, 전극 신호는, 전극 접촉부(752)를 통하여, 측정 기기에 전달된다.

본 실시형태에서는, 스프링부(740)에서의 선단부(710)측에, 하우징부(730)측을 향하여 돌출된 형상의 볼록부(740)가 마련되어 있다. 볼록부(740)는, 스프링부(720)의 미리 정해진 위치에서 내측으로부터 외측을 향하여 힘을 가함으로써 형성되어 있다. 볼록부(740)는, 도 52에 나타내는 바와 같은 상태로부터 도 46에 나타내는 상태로 하우징부(730)를 절곡하였을 때, 하우징부(730)의 측면부(731)의 내측과 볼록부(740)가 접촉하도록 형성되어 있다. 이에 따라, 하우징부(730)의 내측과 볼록부(740)가 접촉하여 전기적으로 접속된다.

이와 같이, 하우징부(730)의 내측과 볼록부(740)가 전기적으로 접속됨으로써, 전기 신호는 선단부(710)의 단자 접촉부(711)로부터, 스프링부(720)의 측면에 마련된 볼록부(740), 하우징부(730)를 통하여, 굴곡부(750)에 전달된다. 하우징부(730)에서는, 전기 신호가 흐르는 영역의 단면적이 넓기 때문에, 단자 접촉부(711)로부터 굴곡부(750)까지의 전기 저항을 낮게 할 수 있다. 따라서, 단자 접촉부(711)에서 검출된 전기 신호를 굴곡부(750)까지 저저항으로 전달하는 것이 가능해진다. 즉, 본 실시형태에서의 프로브에서는, 프로브 내에서 전기적으로 접속되는 부분이, 하우징부(730)의 측면부(731)의 내측과, 스프링부(720)에 마련된 볼록부(740)의 1부분만이기 때문에, 접촉 저항도 적고 저저항인 프로브가 된다.

또한, 볼록부(740)는, 스프링부(720)의 선단부(710)측에 마련하는 것이 바람직하다. 하우징부(730)는 전기 신호가 흐르는 영역의 단면적이 넓고, 저저항으로 전류를 흐르게 할 수 있기 때문에, 접촉 단자부(711)에서 검출된 전기 신호를 가능한 한 하우징부(730) 통하여 전달하는 것이, 저저항으로 전달하는 면에서 바람직하다. 또한, 볼록부(740)는, 절곡된 스프링부(720)의 양측에 마련하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 절곡된 상태의 스프링부(720)의 일측과 타측에 각각 볼록부(740)를 마련하고, 스프링부(720)의 일측에 마련된 볼록부(740)와, 하우징부(730)의 측면부(731)의 일측의 내측을 접촉시키고, 스프링부(720)의 타측에 마련된 볼록부(740)와, 하우징부(730)의 측면부(731)의 타측의 내측을 접촉시킨다. 그 이유는, 이와 같이 볼록부(740)를 양측에 마련함으로써, 하우징부(730)와의 접촉을 보다 확실하게 할 수 있기 때문이다. 이때, 도 53에 나타내는 바와 같이, 볼록부(740)는, 스프링부(720)에서 대칭이 되는 위치에 마련되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 위치에 마련함으로써, 볼록부(740)와 하우징부(730)의 측면부(731)의 내측의 접촉을 더욱 확실한 것으로 할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서의 프로브에서는, 스프링부(720)가 절곡되기 전의 상태가 판형이기 때문에, 스프링부(720)를 형성할 때, 절곡된 방향에 대해서도 스프링성을 갖고 있다. 따라서, 스프링부(720)를 형성할 때에 미리 정해진 형상으로 절곡함으로써, 볼록부(740)에 있어서 하우징부(720)의 측면부(731)의 내측에 힘이 가해진 상태에서 확실하게 접촉시킬 수 있다. 이 때문에, 선단부(710)에서의 단자 접촉부(711)가 기판 등에 마련된 단자와 접촉한 경우에도, 볼록부(740)와 하우징부(730)의 측면부(731)의 내측의 접촉이 유지된 상태 그대로 스프링부(720)를 신축시킬 수 있다.

본 실시형태에서의 프로브는, 볼록부(740)에 있어서 하우징부(730)의 측면부(731)의 내측과 접촉하는 구조의 것이기 때문에, 보다 한층 더 소형화하는 것이 가능하다.

다음에, 본 실시형태에서의 프로브의 사용 방법에 대해서 도 54에 기초하여 설명한다. 본 실시형태에서의 프로브는, 절연체 외부 프레임(760 및 770)에 설치되어 이용된다. 구체적으로는, 본 실시형태에서의 프로브의 하우징부(730)에는 접속 후방부(734)가 마련되어 있고, 선단부(710)와 스프링부(720)의 사이에는, 접속 전방부(733)가 마련되어 있다. 본 실시형태에서의 프로브를 절연체 외부 프레임(760 및 770)에 설치할 때에는, 절연체 외부 프레임(770)에서의 내부의 면과 접속 후방부(734)을 접촉시키고, 절연체 외부 프레임(760)에서의 내부의 면과 접속 전방부(733)를 접촉시키며, 절연체 외부 프레임(770)과 절연체 외부 프레임(760)을 접속하는 등에 의해, 본 실시형태에서의 프로브는, 절연체 외부 프레임(760 및 770)에 설치된다.

또한, 제1 내지 제8 실시형태에서는, 하우징부의 단면 형상이 대략 사각 형태인 경우에 대해서 설명하였지만, 곡면으로 절곡함으로써, 단면 형상을 대략 원형, 대략 타원형, 대략 삼각형 등의 다각형 등으로 하는 것도 가능하다.

또한, 본 실시형태에서의 프로브는, 메모리 테스터, 액정 패널의 검사, 기판 검사용 프로브 등에서 이용할 수 있고, 포고 핀(pogo pin)이라고도 칭해지는 프로브 핀의 대체로서 이용할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시에 따른 형태에 대해서 설명하였지만, 상기 내용은, 발명의 내용을 한정하는 것이 아니다.

1 본체부
2 제조 보강부
10 선단부
11 단자 접촉부
12 선단 보강부
20 스프링부
21 일측
22 타측
30 하우징부
31 측면부
32 상면부
33 측면부
34 상면부
35 저면부(底面部)
36 굴곡부
40 하우징 접속부

Claims (22)

1. 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브로서,
   상기 프로브는, 상기 전극 단자와 접촉하는 선단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 상기 스프링부를 둘러싸는 하우징부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 있는 형상의 1장의 금속판을 절곡함으로써 형성되며,
   상기 선단부가 되는 영역에 형성되는 선단부와,
   상기 사행 형상으로 형성된 상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 형성되는 스프링부와,
   상기 스프링부를 둘러싸도록 절곡함으로써 형성되는 하우징부와,
   상기 스프링부와 상기 하우징부의 사이를 절곡하여 형성되고, 상기 하우징부로부터 돌출되는 굴곡부
   를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브.
2. 제1항에 있어서, 상기 하우징부가 되는 영역은, 사행 형상으로 형성된 하우징 스프링부가 되는 영역을 갖고 있고,
   상기 프로브는, 상기 사행 형상으로 형성된 상기 하우징 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 형성되는 하우징 스프링부를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 선단부와 접속되고 상기 선단부로부터의 전기 신호를 상기 하우징부에 전달하는 하우징 접속부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브.
4. 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브로서,
   상기 프로브는, 일단으로부터, 상기 전극 단자와 접촉하는 한쪽의 단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 다른쪽의 단부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 형성되어 있고, 상기 스프링부를 둘러싸도록 상기 스프링부가 되는 영역의 길이 방향을 따른 하우징부가 되는 영역이, 상기 스프링부가 되는 영역에 접속되어 있는 형상의 1장의 금속판을 절곡함으로써 형성되며,
   상기 한쪽의 단부가 되는 영역에 의해 형성되는 한쪽의 단부와,
   상기 사행 형상으로 형성된 상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 형성되는 스프링부와,
   상기 다른쪽의 단부가 되는 영역에 의해 형성되는 다른쪽의 단부와,
   상기 스프링부를 둘러싸도록 절곡함으로써 형성되는 하우징부를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브.
5. 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브로서,
   상기 프로브는, 일단으로부터, 상기 전극 단자와 접촉하는 선단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 상기 스프링부를 둘러싸기 위한 하우징부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 있는 형상의 1장의 금속판을 절곡함으로써 형성되며,
   상기 선단부가 되는 영역에 의해 형성되는 선단부와,
   상기 사행 형상으로 형성된 상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 형성되는 스프링부와,
   상기 스프링부를 둘러싸도록 절곡함으로써 형성되는 하우징부를 갖고,
   상기 스프링부에는 상기 하우징부를 향하여 돌출된 형상의 볼록부가 형성되어 있으며, 상기 볼록부는 상기 하우징부와 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
6. 제5항에 있어서, 상기 볼록부는, 절곡된 상기 스프링부의 일측과 타측에 각각 형성되어 있고, 상기 일측에 마련된 볼록부와 상기 타측에 마련된 볼록부는 대칭이 되는 위치에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 볼록부는, 상기 스프링부에 있어서 상기 선단부에 가까운 측에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
8. 제1항, 제2항, 제4항, 제5항 또는 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 하우징부에서의 단면(斷面) 형상은, 정사각형인 것을 특징으로 하는 프로브.
9. 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브의 제조 방법으로서,
   금속판을 상기 전극 단자와 접촉하는 선단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 상기 스프링부를 둘러싸는 하우징부가 되는 영역이 순서대로 접속된 형상으로 형성하는 금속판 형성 공정과,
   상기 형상으로 형성된 상기 금속판의 표면에 도금을 실시하는 도금 공정과,
   상기 스프링부가 되는 영역을 절곡하여 상기 스프링부를 형성하는 제1 절곡 공정과,
   상기 하우징부가 되는 영역과 상기 스프링부의 사이를 절곡하는 제2 절곡 공정과,
   상기 스프링부를 상기 하우징부에 의해 둘러싸도록 상기 하우징부가 되는 영역을 절곡하는 제3 절곡 공정
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
10. 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브의 제조 방법으로서,
    금속판을 미리 정해진 형상으로 형성하는 금속판 형성 공정과,
    상기 미리 정해진 형상으로 형성된 상기 금속판의 표면에 도금을 실시하는 도금 공정과,
    상기 도금이 실시된 상기 금속판을 절곡하는 절곡 공정을 포함하고,
    상기 미리 정해진 형상은, 본체부가 되는 일단으로부터, 상기 전극 단자와 접촉하는 한쪽의 단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 다른쪽의 단부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 형성되어 있으며, 상기 스프링부를 둘러싸기 위해 상기 스프링부가 되는 영역의 길이 방향을 따른 하우징부가 되는 영역이, 상기 스프링부가 되는 영역에 접속되어 있는 형상인 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
11. 제9항에 있어서,
    상기 제2 절곡 공정에서는, 상기 하우징부가 되는 영역과 상기 스프링부의 사이를 180°절곡하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
12. 제11항에 있어서, 상기 형상은, 상기 선단부가 되는 영역, 상기 스프링부가 되는 영역 및 상기 하우징부가 되는 영역을 포함하는 본체부의 주위를 둘러싸도록 형성되고, 상기 본체부와 접속되는 제조 보조부를 더 포함하고,
    상기 제2 절곡 공정에서는, 상기 하우징부가 되는 영역과 상기 스프링부의 경계 부분 및 상기 경계 부분의 연장선 상의 제조 보조부를 180°절곡하고,
    상기 제3 절곡 공정 후, 상기 본체부와 상기 제조 보조부를 절단하는 제조 보조부 절단 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
13. 제11항에 있어서, 상기 하우징부가 되는 영역은, 하우징 스프링부가 되는 영역을 포함하며,
    상기 제3 절곡 공정에서는, 상기 스프링부를 상기 하우징부에 의해 둘러싸도록, 상기 하우징부가 되는 영역 및 하우징 스프링부가 되는 영역을 절곡하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
14. 제11항에 있어서, 상기 제1 절곡 공정에서, 상기 선단부가 되는 영역과 상기 스프링부가 되는 영역을 동시에 절곡하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
15. 제11항에 있어서, 상기 선단부와 상기 스프링부의 사이에는 하우징 접속부가 마련되어 있고, 상기 제3 절곡 공정에서는, 상기 하우징 접속부와 상기 하우징부의 내측이 접촉하도록 상기 하우징 접속부가 구부러지는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
16. 전기 회로 또는 전자 부품에서의 전극 단자와 접촉하여 전기적 측정을 행하기 위해 이용되는 프로브의 제조 방법으로서,
    시효 경화형 합금으로 이루어지는 금속판을, 상기 전극 단자와 접촉하는 선단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역과, 상기 스프링부를 둘러싸는 하우징부가 되는 영역이 순서대로 접속되어 있는 형상으로 형성하는 금속판 형성 공정과,
    상기 형상으로 형성된 상기 금속판을 절곡하는 절곡 공정과,
    상기 절곡 공정 후, 상기 금속판에 열처리를 행하는 열처리 공정과,
    상기 열처리 공정 후, 상기 금속판에 도금을 실시하는 도금 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
17. 제16항에 있어서, 상기 전극 단자와 접촉하는 선단부가 되는 영역과, 사행 형상으로 형성된 스프링부가 되는 영역의 사이에는, 하우징 접속부가 마련되어 있고,
    상기 하우징부에는 개구부가 마련되어 있으며,
    상기 하우징 접속부가 상기 하우징부와 접촉하는 부분은, 상기 개구부에 위치하도록 형성하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
18. 제17항에 있어서, 상기 프로브는 절연체 외부 프레임에 설치되는 것으로서,
    상기 절연체 외부 프레임에 설치된 상태에서의 상기 프로브는, 상기 하우징 접속부와 상기 하우징부가 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
19. 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 절곡 공정은,
    상기 스프링부가 되는 영역을 절곡함으로써 스프링부를 형성하는 제1 절곡 공정과,
    상기 제1 절곡 공정 후, 상기 하우징부가 되는 영역과 상기 스프링부의 경계 부분을 180°절곡하는 제2 절곡 공정과,
    상기 제2 절곡 공정 후, 상기 스프링부를 상기 하우징부에 의해 둘러싸도록, 상기 하우징부가 되는 영역을 절곡하는 제3 절곡 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
20. 제9항, 제10항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 하우징부의 단면 형상이 정사각형이 되도록 절곡하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
21. 제9항, 제10항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속판의 두께는, 30 ㎛～150 ㎛인 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.
22. 제9항, 제10항 및 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속판 형성 공정에서는, 금속판을 프레스 가공 또는 금속판을 에칭하는 것을 특징으로 하는 프로브의 제조 방법.

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