KR101141120B1 - 흡착 유지 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 복수개의 피가공물을 각각 독립적으로 유지할 수 있는 흡착 유지 장치를 제공한다.

복수개의 피가공물을 피가공물마다 흡착하는 복수개의 흡착부(121, 122), 각 흡착부(121, 122)와 독립적으로 연통하는 복수개의 배기 경로를 가지는 테이블부(120), 및 테이블부(120)를 회전시키는 회전 구동부(130)를 구비하는 흡착 유지 장치(30)에 있어서, 직경이 상이한 복수개의 원통 배기관(161, 162)이, 회전 구동부(130)를 관통하는 관통 구멍(131) 내에, 테이블부(120)의 회전축을 중심으로 하는 동심원상에 이격 배치됨으로써, 대직경의 원통 배기관(162)의 내측과 인접하는 소직경의 원통 배기관(161)의 외측 사이에 독립된 경로를 형성하여, 복수개의 배기 경로로 구분되고, 각 원통 배기관(161, 162)에 의해 구분된 복수개의 배기 경로와 테이블부(120)의 각 배기 경로가 각각 연통됨으로써, 각 흡착부(121, 122)와 외부의 흡입 수단이 각각 독립적으로 연통된다.

흡착부, 배기 경로, 테이블부, 회전 구동부, 흡착 유지 장치, 원통 배기관, 관통 구멍.

Description

흡착 유지 장치{SUCKING AND HOLDING DEVICE}

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 절삭 장치를 나타낸 개략 사시도이다.

도 2는 상기 실시예에 따른 흡착 유지 장치의 구성을 개략적으로 설명하기 위한 설명도이다.

도 3은 상기 실시예에 따른 흡착 유지 장치에 있어서, 원통 배기관과 테이블부를 분해한 상태를 나타낸 분해도이다.

도 4는 상기 실시예에 따른 흡착 유지 장치의 단면도이다.

도 5는 도 4의 원통 배기관과 테이블부를 결합시킨 상태를 나타낸 단면도이다.

도 6은 회전 구동부에 삽입되는, 한 다발로 되어 있는 상태의 복수개의 원통 배기관을 나타낸 설명도이다.

* 도면의 주요부에 대한 부호의 간단한 설명 *

20: 절삭 수단 30: 흡착 유지 장치

100: CSP 기판 120: 테이블부

121, 122: 흡착부 130: 회전 구동부

131: 관통 구멍 161, 162: 원통 배기관

일본국 특개 2001-85449호 공보

일본국 특개평 10-321562호 공보

본 발명은 흡착 유지 장치에 관한 것으로서, 특히, 복수개의 피가공물을 독립적으로 유지하는 흡착 유지 장치에 관한 것이다.

휴대 전화기 및 노트북형 퍼스널 컴퓨터와 같은 소형 전자 장치에 이용하기에 적합한 반도체 디바이스로서, CSP(Chip Size Package)가 실용적으로 제공되어 있다. 이러한 CSP는, 통상적으로, 예를 들면 합성 수지 기판과 같은 기판 상에, 격자형으로 배열된 절삭 스트리트에 의해 복수개의 직사각형 영역을 형성하고, 이러한 각 직사각형 영역에 대하여 IC, LSI 등의 칩을 배치함으로써 형성된다. 이와 같이, 복수개의 CSP가 형성된 기판을 CSP 기판이라 한다. 이러한 CSP 기판은 절삭 스트리트를 따라 절삭함으로써 각각의 CSP로 분리된다.

CSP 기판을 절삭하기 위해, 예를 들면, 양쪽 위치 사이를 왕복 이동하는 지그(jig) 테이블, 및 지그 테이블 상에 지그를 통하여 유지되는 CSP 기판을 절삭하는 절삭 수단을 가지는 절삭 장치가 이용된다. 절삭 수단은, 예를 들면 다이아몬드 입자를 함유한 원판 모양의 회전 절삭날, 및 냉각액을 분사하기 위한 냉각액 분사 수단을 구비한다. 지그 테이블이 왕복 이동할 때에, 회전 절삭날이 지그 테이블 위의 CSP 기판에 작용하여, CSP 기판이 절삭된다.

CSP 기판은, 항상 양호한 정밀도로 형성되지 않고, 기판 자체가 휘어져 있는 경우가 있다. 통상적으로, 지그 테이블에서, CSP 기판을 유지하기 위해 진공 흡착을 하지만, 기판이 휘어져 있으면 기판과 지그의 흡착면이 밀착되지 않기 때문에, 틈새로부터 공기가 진공 흡착용 배기 배관 계통에 유입된다. 따라서, 진공도가 저하되고, 기판을 지그 상에 유지할 수 없게 되는 문제가 있었다.

이러한 문제를 해결하기 위해, 기판의 휘어진 상태를 수정하거나, 지그 테이블의 진공 흡착을 위한 배기력을 강화하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 기판의 휘어진 상태를 수정하는 데에는, 별도의 장치 또는 기구가 필요하고 시간도 걸린다. 따라서, 지그 테이블의 진공 흡착을 위한 배기력을 강화하는 것을 검토하였다.

지그 테이블의 진공 흡착을 위한 배기력을 강화하는데, 예를 들면, 진공 펌프의 배기력을 강화하는 것이 고려되지만, 그 경우에는 진공 펌프가 커진다. 따라서, 배관의 개수를 증가, 즉 배관의 단면적을 증가시킴으로써 배기력을 강화하는 것을 생각했다.

종래로부터, 진공 펌프와 지그 테이블을 연결하는 배관에 수지로 된 호스를 이용하고 있었다. 그러나, 수지로 된 호스는 두껍기 때문에, 예를 들면, 도 6에 나타낸 바와 같이, 복수개를 묶어서 한 다발로 배치한 경우에는 효율적으로 단면적을 증가시킬 수 없다.

지그 테이블에, 지그 테이블을 회전시키기 위한 구동 장치가 내장되어 있고, 그 구동 장치에, 배관을 연통시키기 위한 관통 구멍이 형성되어 있다. 그런데, 기 존의 장치를 개량하는 경우에, 이 관통 구멍의 크기를 용이하게 확대할 수 없다. 또한, 지그 테이블은 회전하기 때문에, 도 6에 나타낸 바와 같이, 복수개의 호스(60)를 묶어서 한 다발로 배치하면, 지그 테이블을 회전시킬 때 저항이 커지게 되고, 튜브가 이음새로부터 빠져, 튜브들끼리 또는 튜브와 회전 기구 사이에 마찰이 생겨서 튜브가 손상될 가능성이 있다.

따라서, 가능한 한 효율적으로 배관의 단면적을 증가시키기 위해, 종래의 배관과 비교하여 직경이 큰 배관을 1개 배치하는 것이 바람직하다고 생각하였다.

지그 테이블 상에 하나의 CSP 기판만 배치하는 경우에는 문제가 없지만, CSP 기판의 크기에 따라, 지그 테이블 상에 복수개의 CSP 기판을 탑재하여, 효율적으로 절삭할 필요성이 증가되어 왔다. 이 경우에, 1개의 배관을 분기시켜 복수개의 CSP 기판을 유지하는 것은 가능하지만, 예를 들면, 피가공물의 일부가 흩어져 흡착부 및 배관 등이 파손되어, 공기 유출이 생길 경우에, 지그 테이블에 탑재된 모든 피가공물의 흡착력이 저하되어, 모든 피가공물을 가공할 수 없게 된다.

이와 같은 문제 때문에, 예를 들면 2개의 CSP 기판을 지그 테이블 상에서 유지하는 경우에, 진공 펌프와 지그 테이블을 연결하는 배관을, 개별 배관 경로로 하여, 한쪽의 배관에 공기 유출이 생길 경우에도, 다른 쪽의 배관에 의해 1개의 CSP 기판은 문제없이 절삭 가능하도록 하는 고장-안전(fail-safe) 기구가 필요하게 되었다.

따라서, 본 발명은, 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은 복수개의 피가공물을 각각 독립적으로 유지할 수 있는 새롭고 개량된 흡착 유지 장치를 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일면에 의하면, 복수개의 피가공물을 피가공물마다 흡착하는 복수개의 흡착부, 복수개의 흡착부와 독립적으로 연통하는 복수개의 배기 경로를 가지는 테이블부, 및 테이블부를 회전시키는 회전 구동부를 구비하는 흡착 유지 장치에 있어서, 직경이 상이한 복수개의 원통 배기관이, 회전 구동부를 관통하는 관통 구멍 내에, 테이블부의 회전축을 중심으로 하는 동심원 상에 이격 배치됨으로써, 큰 직경의 원통 배기관의 내측과 인접하는 작은 직경의 원통 배기관의 외측 사이에 독립된 경로를 형성하여, 큰 직경의 원통 배기관의 내측이 복수개의 배기 경로로 구분되고, 복수개의 원통 배기관에 의해 구분된 복수개의 배기 경로와 테이블부의 복수개의 배기 경로가 각각 연통됨으로써, 복수개의 흡착부와 외부의 흡입 수단이 각각 독립적으로 연통되는, 흡착 유지 장치가 제공된다.

이러한 구성에 의해, 회전 구동부에 형성된 관통 구멍의 한정된 공간에 있어서, 단지 복수개의 수지 호스를 묶어서 한 다발로 배치하는 경우와 비교하여, 배기 경로의 단면적을 크게 할 수 있다. 따라서, 절삭 장치의 다른 구조를 변경하지 않고도, 큰 흡입력을 얻을 수 있다. 각 배기 경로는 독립적으로 형성되어 있으므로, 예를 들면, 1개의 배기 경로에 있어서 공기 유출이 발생하여도, 다른 배기 경로는 정상적으로 작동할 수 있어, 절삭이 완전히 정지되지 않아, 흡착 유지 장치는 고장-안전(fail-safe) 기능을 가진다.

여기에서, 큰 직경의 원통 배기관의 내측을 구분하여 형성된 복수개의 배기 경로는, 예를 들면 실질적으로 동일한 단면적을 가지도록 형성할 수 있다. 이러한 구성에 의해, 복수개의 피가공물을 실질적으로 동일한 흡입력으로 유지하는 것이 용이하다.

또한, 원통 배기관은, 예를 들면 스테인레스 등의 금속 재료로 형성하는 것이 바람직하다. 따라서, 예를 들면, 수지 호스를 이용하는 것보다 원통 배기관의 두께를 얇게 할 수 있기 때문에, 배기 경로의 단면적을 더욱 크게 할 수 있어, 피가공물을 흡입하는 흡입력을 더욱 크게 할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 복수개의 피가공물을 각각 독립적으로 유지할 수 있는 흡착 유지 장치를 제공할 수 있다.

이하에서, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다. 본 명세서 및 도면에 있어서, 실질적으로 동일한 기능을 가지는 구성 요소에 대하여는, 동일한 부호를 부여함으로써 중복 설명을 생략한다.

(제1 실시예)

먼저, 본 발명의 제1 실시예에 따른 절삭 장치에 대하여 설명한다. 여기에서, 도 1은 본 실시예에 따른 절삭 장치를 나타낸 개략적인 사시도이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 절삭 장치(10)는, 피가공물로서 예를 들면 CSP 기판(100)을 절삭 가공하는 절삭 수단(20), CSP 기판(100)을 유지하는 흡착 유지 장치(30), 및 절삭 수단(20)을 가공하기에 적합하도록 이동시키는 절삭 수단 이동 기구(도시하지 않음)를 구비한다.

절삭 수단(20)은, 스핀들에 장착된 절삭 블레이드를 구비한다. 이러한 절삭 수단(20)은, 절삭 블레이드를 고속 회전시키면서 CSP 기판(100)으로 파고 들어가게 함으로써, CSP 기판(100)을 절삭하여, 절삭 라인을 따라 지극히 얇은 절삭 홈을 형성할 수 있다.

본 실시예에 따른 특징인 흡착 유지 장치(30)는, 예를 들면, 상면이 실질적으로 평탄하고 실질적으로 직사각형인 테이블부, 테이블부를 회전시키는 회전 구동부, 및 테이블부를 지지하는 지지 기대를 구비한다. 테이블부의 상면에는, 치구(治具)(11O)에 의해 유지되는 CSP 기판(100)이 탑재되어, 이러한 CSP 기판(100)을 흡착하여 안정적으로 유지한다. 흡착 유지 장치(30)는 회전 구동부에 의해 수평면상에서 회전 가능하게 지지된다. 회전 구동부가 탑재되는 지지 기대는 절삭 이송 수단에 의해 X축 방향으로 왕복 이동 가능하다. 이와 같이 지지 기대를 이동시킴으로써, CSP 기판(100)에 대해 절삭 블레이드의 날 끝을 직선적인 궤적으로 작용시킬 수 있다. 이러한 흡착 유지 장치(30)의 상세한 구조에 대해서는 후술한다.

절삭 수단 이동 기구(도시하지 않음)는 파고 들어가기 이송 수단 및 산출(算出) 이송 수단으로 구성되어, 절삭 수단(20)을 Y축 및 Z축 방향으로 이동시킨다. Y축 방향은, 절삭 방향(X축 방향)에 대해서 직교하는 수평 방향(산출 방향)이며, 예를 들면, 절삭 수단(20) 내에 설치된 스핀들의 축 방향이다. 이와 같이, Y축 방향으로 절삭 수단(20)을 절삭 라인 간격으로 송출함으로써, 절삭 블레이드의 날 끝을 CSP 기판(100)의 절삭 위치(절삭 라인)에 맞출 수 있다. 또한, Z축 방향(수직 방향)은 절삭 블레이드를 CSP 기판(100)으로 파고 들어가게 할 때의 파고 들어가는 방향이다. 이와 같이, Z축 방향으로 절삭 수단(20)을 이동시킴으로써, CSP 기판(100)에 대한 절삭 블레이드의 파고 들어가는 깊이를 조정할 수 있다.

이러한 구성을 가진 절삭 장치(10)는, 고속 회전하는 절삭 블레이드를 CSP 기판(100)으로 파고 들어가게 하면서 흡착 유지 장치(30)를 절삭 수단(20)에 대해서 X축 방향으로 상대 이동시킴으로써, CSP 기판(100)을 절삭 가공하여, 복수개의 칩으로 분할할 수 있다.

본 실시예의 절삭 장치(10)에서는, CSP 기판(100)의 사이즈에 의해, 복수개의 CSP 기판(100)을 치구(110)에 탑재하여, 효율적인 절삭을 행할 수 있다. 이 때, 예를 들면 한쪽의 CSP 기판의 일부가 흩어져, 흡착부나 배관이 파손되어 공기 유출이 생겨도, 다른 쪽의 CSP 기판의 흡착력에는 영향을 주지 않고 문제없이 가공할 수 있도록 하기 때문에, 각 CSP 기판(100)에 대하여 각각 독립된 배기 경로가 구성되는 점에 본원 발명의 특징이 있다.

이하, 테이블부에 탑재된 복수개의 CSP 기판(100)을, 각각 독립적인 배기 경로를 형성하여 흡착 유지하는 흡착 유지 장치(30)의 구성에 대하여, 도 2 내지 도 5에 기초하여 설명한다. 여기에서, 도 2는 본 실시예에 따른 흡착 유지 장치(30)의 구성을 개략적으로 설명하기 위한 설명도이다. 도 3은 본 실시예에 따른 흡착 유지 장치(30)에 있어서, 원통 배기관과 테이블부를 분해한 상태를 나타낸 분해도이다. 도 4는 본 실시예에 따른 흡착 유지 장치(30)의 단면도이다. 도 5는 도 4의 원통 배기관과 테이블부를 결합시킨 상태를 나타낸 단면도이다. 도 5에 있어서 회전 구동부의 내부 구조의 일부와 모터는 도시되어 있지 않다.

먼저, 도 2에 근거하여, 본 실시예에 따른 흡착 유지 장치(30)의 구성을 개략적으로 설명한다. 이러한 흡착 유지 장치(30)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 2개의 CSP 기판(101, 102)을 유지하는 치구(110)가 탑재되는 테이블부(120)과 테이블부(120)를 회전시키는 회전 구동부(130)와 테이블부(120)를 지지하는 지지 기대(140)를 구비한다.

치구(110)는, 예를 들면 2개의 CSP 기판(101, 102)을 유지하기 위한 2개의 유지 영역(111, 112)을 가지고 있다. 각 유지 영역(111, 112)에는 홈이 격자형으로 형성되고, 홈에 의해 복수개의 직사각형 영역이 구획된다. 이러한 직사각형 영역은 CSP 기판(101, 102)의 직사각형 영역에 각각 대응한다. CSP 기판(101, 102)에 형성된 직사각형 영역마다, 예를 들면 직경이 3~5 mm인 흡입 구멍(115)이 형성된다. 각 흡입 구멍(115)은, CSP 기판(101, 102)이 테이블부(120)에 탑재될 때, 테이블부(120)에 형성된 흡착부(121, 122)를 통하여, 테이블부(120)의 내부에 형성된 배기 경로와 연통한다. 테이블부(120)의 배기 경로는, 후술하는 바와 같이, 원통 배기관에 의해 구분된 배기 경로와 연통되어, 외부의 흡입 수단에 접속된다. 외부의 흡입 수단을 작동시켜 배기함으로써, CSP 기판(101, 102)이 흡입 유지된다.

테이블부(120)는 치구(110)에 유지된 CSP 기판(101, 102)를 흡착 유지하기 위한 흡착부(121, 122), 및 흡착부(121, 122)에 독립적으로 연통하는 복수개의 배기 경로를 구비한다. 흡착부(121, 122)는, 테이블부(120)의 상면(120a)에 치구(110)의 흡입 구멍(115)에 대응하는 위치에 형성되고, 흡착부(121, 122)와 흡입 구멍(115)가 연통하도록 형성된다. 흡착부(121, 122)의 형상은, 예를 들면 빗 모 양으로 할 수 있다. 테이블부(120)의 내부에 형성되는 배기 경로의 구조에 대하여는 후술한다.

회전 구동부(130)는, 예를 들면 모터에 의해 회전되어, 회전 구동부(130)에 접합되어 일체로 된 테이블부(120)를 회전시킨다. 이러한 회전 구동부(130)의 내부에는, 예를 들면 대략 원 형상의 관통 구멍이 형성되고, 관통 구멍의 내부에는, 복수개의 배기 경로를 형성하는 복수개의 원통 배기관이 삽입된다. 회전 구동부(130)의 내부 구조에 대하여는 후술한다.

지지 기대(140)는, 회전 구동부(130)를 지지하고 있고, 볼 나사(152)에 나사 결합하는 동시에 한 쌍의 가이드 레일(151, 151)에 지지된다. 지지 기대(140)는 볼 나사(152)에 연결되고, 모터(도시하지 않음)가 구동되어 볼 나사(152)가 회전함으로써, X축 방향으로 이동할 수 있는 구성으로 되어 있다.

이상, 본 실시예에 따른 흡착 유지 장치(30)의 구성을 개략적으로 설명한다. 다음에, 흡착 유지 수단(30)의 내부 구조에 대하여 설명한다.

먼저, 도 3에 근거하여, 복수개의 원통 배기관에 의해 형성되는 복수개의 배기 경로의 구성, 및 흡착 유지 장치(30)의 배기 경로의 구성에 대하여 설명한다. 본 실시예에 따른 흡착 유지 장치(30)의 배기 경로는, 테이블부(120)에 형성된 복수개의 배기 경로와 회전 구동부(130)의 내부에 삽입되는, 복수개의 원통 배기관에 의해 구분된 복수개의 배기 경로로 이루어지고, 이들을 연통시켜 형성된다.

복수개의 원통 배기관에 의해 형성되는 배기 경로는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 직경이 상이한 2개의 원통 배기관(161, 162)으로 형성되고, 대직경 의 원통 배기관(162)의 내부에, 소직경의 원통 배기관(161)이 동심원상에 이격되어 배치된다.

대직경의 원통 배기관(162)은, 그 일단(도 3의 위쪽) 테이블부(120)의 결합부(123)와 결합되고, 타단(도 3의 아래쪽)은 내부가 공동인 대략 직육면체의 배기부(163)와 연통하도록 결합된다. 이러한 배기부(163)의 한쪽 면에는, 예를 들면 원통형의 배기구(164)가 구비되고, 예를 들면 배관 호스(도시하지 않음)에 의해, 배기구(164)와 흡입 수단(도시하지 않음)을 연결할 수 있다.

소직경의 원통 배기관(161)은, 대직경의 원통 배기관(162)에 삽입되고, 대직경의 원통 배기관(162)과 연통하는 배기부(163)의 내부에서 대략 직각으로 굴곡되고, 배기부(163)의 한쪽 면으로부터 연장된다. 소직경의 원통 배기관(161)은, 그 일단(도 3의 위쪽)은 테이블부(120)의 결합부(123)와 결합되고, 배기부(163)의 한쪽 면으로부터 연장된 타단은, 배기구로서 예를 들면 배관 호스(도시하지 않음)에 의해 흡입 수단(도시하지 않음)과 연결된다. 이때, 소직경의 원통 배기관(161)의 타단과 배기구(164)는, 외부의 흡입 수단에의 접속을 용이하게 하기 위해 동일한 측면에 위치하게 된다.

소직경의 원통 배기관(161)의 일단(도 3의 위쪽)은, 예를 들면, 대직경의 원통 배기관(162)으로부터 연장된다. 소직경의 원통 배기관(161)의 일단 및 대직경의 원통 배기관(162)의 일단(모두 도 3의 위쪽 부분)은, 테이블부(120)의 결합부(123)와 결합하는 부분에 있어서, 본 실시예에 나타낸 구성에 한정되지 않고, 테이블부(120)의 결합부(123)의 형상에 맞추어, 예를 들면, 소직경의 원통 배기 관(161)을 대직경의 원통 배기관(162)으로부터 연장되지 않게 할 수도 있다.

이와 같이, 원통 배기관(161, 162)을, 대직경의 원통 배기관(162)의 내부에 소직경의 원통 배기관(161)이 삽입된 이중 구조로 함으로써, 대직경의 원통 배기관(162)의 내측과 소직경의 원통 배기관(161)의 외측 사이에 형성되는 공간과 소직경의 원통 배기관(161)의 내부 공간으로, 2개로 구분된 배기 경로가 형성된다. 이러한 구성에 의해, 원통 배기관(161, 162)이 삽입되는 관통 구멍의 제한된 공간 내에서, 예를 들면, 2개의 원통 배기관을 묶은 경우와 비교하여, 효율적으로 배기 경로의 단면적을 크게 할 수 있고, CSP 기판(101, 102)의 흡착력을 높일 수 있는 효과가 있다.

원통 배기관(161, 162)은, 예를 들면 스테인레스 등 금속 재료로부터 형성될 수 있다. 이것은, 원통 배기관(161, 162)을 수지로 형성하는 경우와 비교하여, 원통 배기관(161, 162)의 두께를 얇게 할 수 있고, 배기 경로를 더욱 넓게 할 수 있기 때문이다.

이와 같이, 이중 구조로 한 원통 배기관(161, 162)을 회전 구동부(130)의 관통 구멍에 삽입하면, 회전 구동부(130)의 관통 구멍으로부터 대직경의 결합 구멍(132)에, 소직경의 원통 배기관(161) 및 대직경의 원통 배기관(162)의 일부가 나타나는 상태로 된다(도 4 참조). 테이블부(120)의 배면(120b)에 형성된 결합부(123)와 이중 구조로 된 원통 배기관(161, 162)을 결합시켜 연통한다. 이와 같이 하여, 테이블부(120)의 배기 경로와 원통 배기관(161, 162)에 의해 구분되는 배기 경로가 연통하여, 2개의 독립된 배기 경로가 형성된다.

도 4에 기초하여, 회전 구동부(130)의 내부 구조와 테이블부(120)의 배기 경로의 구조에 대하여 설명한다. 회전 구동부(130)는, 도 3의 I-I에서 절단한 상태로 나타나 있다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 먼저, 배기 경로의 일부인 배기부(163)가 지지 기대(140)에 설치된다. 이때, 배기구(164)와 소직경의 원통 배기관(161)의 배기구 부분이 지지 기대(140)의 한쪽 면으로부터 연장된다. 이중 구조로 된 원통 배기관(161, 162)은 회전 구동부(130)의 관통 구멍(131)에 삽입된다. 이때, 원통 배기관(161, 162)은, 회전 구동부(130)의 회전에 따라 이동되지 않도록, 봉합 부재(163)로 고정된다. 이중 구조의 원통 배기관(161, 162)은 테이블부(120)의 회전축을 중심으로 하는 동심원형으로 배치된다.

회전 구동부(130)의 상부에는, 관통 구멍(131)보다 큰 직경의 결합 구멍(132)이 형성되고, 결합 구멍(132)에는 테이블부(120)의 결합부(123)가 삽입된다. 테이블부(120)를 결합 구멍(132)에 삽입한 뒤, 회전 구동부(130)와 테이블부(120)를 일체로 회전시키기 위해, 예를 들면 볼트에 의해 이들을 고정한다. 따라서, 회전 구동부(130)에는, 볼트 구멍(166)이 형성되어 있다. 지지 기대(140)에는, 회전 구동부(130)를 회전시키기 위한 모터(171)가 구비되어, 모터 축의 회전에 의해, 회전 구동부(130) 및 회전 구동부(130)에 고정된 테이블부(120)가 일체로 회전된다.

테이블부(120)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 흡착부(121)와 연통하는 배기 경로와 흡착부(122)와 연통하는 배기 경로의 2개의 배기 경로로 구분된다. 결합 구멍(123)의 내부에는, 원통 배기관(161, 162)과 결합되는 위치에 봉합 부재(124, 125)가 구비된다. 봉합 부재(124)는 소직경의 원통 배기관(161)과의 결합 부분을 밀폐시키고, 봉합 부재(125)는, 대직경의 원통 배기관(162)과의 결합 부분을 밀폐시킨다. 따라서, 각 원통 배기관(161, 162)과 결합부(123)가 각각 결합된 부분으로부터 외부로 공기가 유출되지 않도록 밀폐된다. 또한, 결합부(123)의 외주면에, 회전 구동부(130)와 결합하기 위한 볼트 구멍(126)이 회전 구동부(130)의 볼트 구멍(166)의 위치에 맞추어 형성된다.

다음에, 도 4의 테이블부(120)를 회전 구동부(130)에 삽입시킨 상태를 도 5에 나타낸다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 소직경의 원통 배기관(161)은 봉합 부재(124)에 의해 밀폐되어 흡착부(121)와 연통되고, 대직경의 원통 배기관(162)은 봉합 부재(125)에 의해 밀폐되어 흡착부(122)와 연통된다. 테이블부(120)를 회전 구동부(130)에 삽입함으로써 연통하는 볼트 구멍(162, 126)에, 볼트(173)를 나사 결합시킴으로써, 테이블부(120)와 회전 구동부(130)가 고정되어, 일체로 회전될 수 있다.

이와 같이 테이블부(120)와 회전 구동부(130)를 결합시킴으로써, 흡착부(121)와 연통하는 테이블부(120)의 배기 경로와 소직경의 원통 배기관(161)의 내부 공간에 의해 구성되는 배기 경로(A), 및 흡착부(122)와 연통하는 테이블부(120)의 배기 경로와 대직경의 원통 배기관(162)의 내측과 소직경의 원통 배기관(161)의 외측 사이에 형성되는 공간에 의해 구성되는 배기 경로(B)가 형성된다. 즉, 2개의 흡착부(121, 122)에 대해서, 각각 독립된 배기 경로(A, B)가 형성된다. 따라서, 흡착부(121)에 탑재된 CSP 기판(101)은 배기 경로(A)를 통하여 흡입 수단에 의해 배기됨으로써 흡착 유지된다. 흡착부(122)에 탑재된 CSP 기판(102)은 배기 경로(B)를 통하여 흡입 수단에 의해 배기됨으로써 흡착 유지된다.

도 2 내지 도 5에 따라 설명한 바와 같이, 본 실시예에 따른 흡착 유지 장치(30)에서, 2개의 CSP 기판(101, 102)을 독립적으로 흡입할 수 있다. 회전 구동부(130)에 형성된 관통 구멍(131)의 한정된 공간에 있어서, 절삭 장치(10)의 다른 구조를 변경하지 않고도 배기 경로(A, B)의 단면적을 효율적으로 크게 할 수 있고, 각 CSP 기판(101, 102)을 흡입하는 흡입력이 향상되는 효과가 있다. 각 CSP 기판(101, 102)을 각각 독립된 배기 경로(A, B)를 통하여 흡입함으로써, 한쪽의 CSP 기판에 있어서 공기 유출이 발생하여도, 다른 쪽의 CSP 기판의 흡착력에는 영향을 주지 않고, 정상적으로 작동된다. 이와 같이, 모든 절삭을 정지시키지 않고, 고장-안전 기능을 구비할 수 있다.

예를 들면, CSP 기판(100)이 휘어져 있는 경우에, 종래에는 CSP 기판(100)과 치구(110)의 틈새로부터 약간의 공기 유출이 발생하여, 진공도가 저하되어, CSP 기판을 유지할 수 없었다. 그러나, 본 실시예에 따른 흡착 유지 장치(30)에 따르면 종래와 비교하여 배기 경로의 배기력이 향상되어, 진공도의 저하를 10~20% 정도 억제할 수 있다. 따라서, 휘어진 CSP 기판(100)에 대해서 종래보다 강한 유지력이 작용하기 때문에, CSP 기판(100)의 휘어진 상태가 큰 경우에도 흡착 유지할 수 있다.

CSP 기판(100)이 휘어져 있지 않은 경우에도, 배기력을 향상시키기 위해, 진 공 흡착하기에 필요한 진공도를 얻기까지 필요한 시간을 단축시키는 효과를 기대할 수 있다. 이러한 원통 배기관(161, 162)을 이중 구조로 하고 있기 때문에, 종래와 같이 원통 배기관(161, 162)을 단지 묶었을 때에도, 테이블부(120)의 회전에 의해 원통 배기관(161, 162)이 비틀어지지 않는 효과가 있다.

원통 배기관(161, 162)에 의해 구분되어 형성되는 2개의 배기 경로에 대하여, 각 배기 경로의 단면적을 대략 동일하게 되도록 구성해도 된다. 이러한 구성에 의해, 예를 들면 동일한 외부의 흡입 수단을 이용하여, 각 흡착부(121, 122)에 탑재된 CSP 기판(101, 102)을 흡입하는 경우에, 이러한 CSP 기판(101, 102)을 흡입하는 흡입력을 용이하게 대략 동일하게 할 수 있다. 예를 들면 대직경의 원통 배기관(162)의 직경을 소직경의 원통 배기관(161)의 직경의 약 1.4배로 함으로써, 각 배기 경로의 단면적을 대략 동일한 크기로 할 수 있다.

이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 따른 예에 한정되지 않는 것은 물론이다. 당업자이면, 특허 청구의 범위에 기재된 범위 내에서, 여러 가지 변경예 또는 수정예를 생각할 수 있다는 것은 명백하고, 그것들 역시 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것으로 이해하여야 한다.

예를 들면, 상기 실시예에서, 흡착 유지하는 피가공물을 2개로 하였지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않고, 2개 이상의 피가공물을 각각 독립적으로 흡착 유지하는 것도 가능하다. 예를 들면, 테이블부(120)에 4개의 흡착부를 형성하여, 각각과 연통하는 배기 경로를 형성한다. 이에 대응하여 4개의 원통 배기관을 테이블부의 회전축을 중심으로 하는 동심원 상에 각각 이격 배치하고, 큰 직경의 원통 배기관의 내측과 작은 직경의 원통 배기관의 외측 사이에 각각 독립된 경로를 형성한다. 테이블부(120)의 결합부(123)와 복수개의 원통 배기관을 연결함으로써, 각 흡착부와 연통하는 독립된 배기 경로를 형성할 수 있다.

상기 실시예에서는, 대직경의 원통 배기관(162)과 연통하는 배기부(163)의 형상은 대략 직육면체이지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않고, 예를 들면 원기둥 형상 등으로 형성해도 된다.

본 발명의 흡착 유지 장치에 의하면, 복수개의 피가공물을 독립적으로 유지할 수 있다.

Claims (3)

1. 복수개의 CSP기판을 상기 CSP기판마다 흡착하는 복수개의 흡착부, 상기 복수개의 흡착부와 독립적으로 연통하는 복수개의 배기 경로를 가지는 테이블부, 및 상기 테이블부를 회전시키는 회전 구동부를 구비하는 흡착 유지 장치에 있어서,

   직경이 상이한 복수개의 원통 배기관이, 상기 회전 구동부를 관통하는 관통 구멍 내에, 상기 테이블부의 회전축을 중심으로 하는 동심원 상에 이격 배치됨으로써, 큰 직경의 상기 원통 배기관의 내측과 인접하는 작은 직경의 상기 원통 배기관의 외측 사이에 독립된 경로를 형성하여, 상기 큰 직경의 원통 배기관의 내측이 복수개의 배기 경로로 구분되어 있고,

   상기 복수개의 원통 배기관에 의해 구분된 상기 복수개의 배기 경로와 상기 테이블부의 상기 복수개의 배기 경로가 각각 연통됨으로써, 상기 복수개의 흡착부와 외부의 흡입 수단이 각각 독립적으로 연통되는 것을 특징으로 하는 흡착 유지 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 큰 직경의 원통 배기관의 내측을 구분하여 형성된 상기 복수개의 배기 경로는 동일한 단면적을 가지는 것을 특징으로 하는 흡착 유지 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 원통 배기관은 금속 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 흡착 유지 장치.

Images