KR101136158B1 - 현상처리방법 및 현상처리장치 - Google Patents

Abstract

평류방식의 반송로상에서 기판의 추돌사고를 일으키지 않고 기판반송속도를 최적화하는 것이다.
스텝①에서, 기판(G_i)은 반입부에서 반입을 위해 일시정지한다. 스텝②에서, 기판(G_i)은 반입부로부터 도입부를 지나 제 1 현상액공급부까지 고속으로 이동한다. 스텝③에서, 기판(G_i)은 제 1 현상액공급부에서 액을 바르는 시간만큼 일시정지한다. 스텝④에서, 기판(G_i)은 제 1 현상액공급부로부터 액공급중단/린스부까지 중간속도로 이동한다. 스텝⑤에서, 기판(G_i)은 액공급중단/린스부에서 액공급중단시간만큼 일시정지한다. 스텝⑥에서, 기판(G_i)은 액공급중단/린스부로부터 제 1 린스부까지 중간속도로 이동하여, 제 1 린스부를 통과할 때에 이동속도를 저속으로 바꾼다. 스텝⑦에서, 기판(G_i)은 제 2 린스부 및 건조부를 지나 송출부까지 저속으로 이동한다. 스텝⑧에서, 기판(G_i)은 송출부로부터 반출부까지 고속으로 이동한다. 스텝⑧에서, 기판(G_i)은 반출을 위해 일시정지하고 나서 외부로 반출된다.

Description

현상처리방법 및 현상처리장치{DEVELOPING METHOD AND DEVELOPING APPARATUS}

본 발명은, 평류(平流)방식으로 피처리기판에 현상처리 등의 처리를 실시하는 기판처리방법, 기판처리장치, 현상처리방법 및 현상처리장치에 관한 것이다.

종래로부터, LCD(액정표시 디스플레이)제조에 있어서의 레지스트도포현상처리시스템에서는, LCD 기판의 대형화에 유리하게 대응할 수 있는 현상방법 혹은 세정방법으로서, 반송롤러나 반송 벨트 등의 반송체를 수평방향으로 부설하여 이루어지는 반송로상에서 LCD 기판을 반송하면서 현상처리 혹은 세정처리를 하도록 한, 소위 평류방식이 알려져 있다.

일반적으로, 이러한 평류방식의 기판처리시스템에서는, 반송로상에서 상류측의 반입부에서 하류측의 반출부까지 1매의 피처리기판을 일정한 시간에 걸쳐 반송하여, 반송 도중에 반송로의 위쪽 또는 아래쪽 혹은 근방에 배치된 복수의 공정처리부가 이동중 또는 일시정지중인 기판에 대하여 각 단계의 공정처리를 실시하도록 하고 있다. 그리고, 파이프라인방식으로, 다수의 기판을 택트 타임의 시간간격으로 반입부로부터 반송로상에 차례차례로 반입하여, 각 공정처리부를 택트 타임의 시간간격으로 차례차례로 통과시켜, 각 처리부는 택트 타임의 시간간격으로 동일한 처리를 반복하여, 반출부에서 처리가 끝난 기판을 반송로로부터 택트 타임의 시간간격으로 차례차례로 반출하도록 하고 있다.

상기와 같은 평류방식의 기판처리 시스템에 있어서는, 처리내용이나 품질, 스루풋, 풋프린트 등의 여러가지 요구수단에 따라서 반송로상의 기판반송속도를 최적으로 제어하는 것이 요구되고 있다. 예를 들면, 처리내용이나 품질의 향상을 도모하고자 하면, 반송로상에서의 처리공정의 종류, 수, 처리시간 등이 증대하여, 반송로상에서 기판을 일시정지시키거나 반송속도를 변경하는 장면도 증가되는데, 반송속도의 설정을 잘못하면 정지중 또는 감속시의 기판에 뒤따라오는 기판이 추돌할 가능성이 발생한다. 또한, 스루풋향상을 위해 택트 타임을 짧게 하는 경우에도, 반송속도의 정확한 설정 내지 조정이 이루어지지 않으면, 역시 반송로상에서 기판의 추돌사고가 일어날 가능성은 높아진다. 기판의 추돌사고가 일어나면, 해당 기판은 파손하여 폐기할 수밖에 없어, 생산효율 또는 제품제품 비율이 저하한다.

본 발명은, 이러한 종래 기술의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 평류방식의 반송로상에서 기판의 추돌사고를 일으키지 않고서 기판반송속도를 최적화할 수 있도록 한 기판처리방법, 기판처리장치, 현상처리방법 및 현상처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은, 평류방식의 반송로상에서 기판의 반송속도의 감속을 효율적이고 또한 안전하게 할 수 있도록 한 기판처리방법, 기판처리장치, 현상처리방법 및 현상처리장치를 제공하는 것에 있다.

상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제 1 기판처리방법은, 반송로상에서 복수의 피처리기판을 원하는 택트 타임(T_t)으로 차례로 반송하여, 상기 반송로상의 상기 기판에 원하는 처리를 실시하는 기판처리방법으로서, 상기 택트 타임(T_t)과 상기 기판의 반송방향의 길이 사이즈(D)와 반송방향에서의 원하는 최소기판간격 (d)에 기초하여 상기 기판의 하한이동속도(V_low)를 결정하고, 상기 반송로상에서 상기 기판을 이동시키는 속도를 상기 하한이동속도(V_low) 이상의 속도로 설정한다.

또한, 본 발명의 제 1 기판처리장치는, 피처리기판을 거의 수평으로 실어 반송하기 위한 반송체를 수평방향으로 부설하여 이루어지는 반송로와, 상기 반송로상에서 상기 기판을 이동시키기 위해서 상기 반송체를 구동하는 반송구동수단과, 소정의 택트 타임(T_t)으로 상기 반송로상에 상기 기판을 반입하는 반입부와, 상기 반송로상의 상기 기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 처리부와, 상기 반송로상에서 처리가 끝난 상기 기판을 반출하는 반출부와, 상기 택트 타임(T_t)과 상기 기판의 반송방향의 길이 사이즈(D)와 반송방향에서의 원하는 최소기판간격(d)에 기초하여 상기 기판의 하한이동속도(V_low)를 구하는 하한이동속도연산수단과, 상기 반송로상에서 상기 기판을 이동시키는 속도를 상기 하한이동속도(V_low) 이상의 속도로 제어하는 이동속도 제어수단을 가진다.

상기 제 1 기판처리방법 또는 장치에 있어서는, 반송로상에서 기판을 연속이동으로 반송하는 경우에, 기판길이(D), 택트 타임(T_t), 최소기판간격(d)의 각 조건에 대하여 기판의 사양이나 스루풋, 풋프린트 등의 관점에서 원하는 값이 설정되면, 그들 설정치에 따른 하한이동속도(V_low) 이상의 안전속도로 기판을 이동시켜, 기판의 추돌사고를 확실하게 방지할 수 있다.

본 발명의 한 형태에 의하면, 하한이동속도(V_low)는, 하기의 식과 같이, 택트 타임(T_t)의 사이에 기판길이(D)의 거리만큼 이동하는 속도로서 부여된다.

V_low = (D+d)/T_t

본 발명의 제 2 기판처리방법은, 반송로상에서 복수의 피처리기판을 원하는 택트 타임(T_t)으로 적어도 1회의 일시정지를 포함해서 차례로 반송하고, 상기 반송로상에서 정지 또는 이동중인 상기 기판에 원하는 처리를 실시하는 기판처리방법으로서, 상기 택트 타임(T_t)과 상기 기판이 일시정지하는 최대의 정지시간(T_s)과 상기 기판의 반송방향의 길이 사이즈(D)와 반송방향에서의 원하는 최소기판간격(d)에 기초하여 상기 기판의 하한이동속도(V_low)를 결정하고, 상기 반송로상에서 상기 기판을 이동시키는 속도를 상기 하한이동속도(V_low) 이상의 속도로 설정한다.

또한, 본 발명의 제 2 기판처리장치는, 피처리기판을 거의 수평으로 실어 반송하기 위한 반송체를 수평방향으로 부설하여 이루어지는 반송로와, 상기 반송로상에서 상기 기판을 이동시키기 위해서 상기 반송체를 구동하는 반송구동수단과, 소정의 택트 타임(T_t)으로 상기 반송로상에 상기 기판을 반입하는 반입부와, 상기 반송로상의 상기 기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 처리부와, 상기 반송로상에서 처리가 끝난 상기 기판을 반출하는 반출부와, 상기 반송로상에 설정된 1개 또는 복수의 정지위치에서 상기 기판을 각각 소정의 정지시간만큼 일시정지시키는 정지수단과 상기 택트 타임(T_t)과 상기 기판이 일시정지하는 최대의 정지시간(T_s)과 상기 기판의 반송방향의 길이 사이즈(D)와 반송방향에서의 원하는 최소기판간격(d)에 기초하여 상기 기판의 하한이동속도(V_low)를 구하는 하한이동속도연산수단과, 상기 반송로상에서 상기 기판을 이동시키는 속도를 상기 하한이동속도(V_low) 이상의 속도로 제어하는 이동속도 제어수단을 가진다.

상기 제 2 기판처리방법 또는 장치에 있어서는, 반송로상에서 기판을 1회 또는 복수회의 일시정지를 포함해서 차례로 반송하는 경우에, 기판길이(D), 택트 타임(T_t), 최소기판간격(d), 최대정지시간(T_s)의 각 조건에 대하여 기판의 사양이나 처리내용, 스루풋, 풋프린트 등의 관점에서 원하는 값이 설정되면, 그들 설정치에 따른 하한이동속도(V_low) 이상의 안전속도로 기판을 이동시켜, 기판의 추돌사고를 확실하게 방지할 수 있다.

본 발명의 한 형태에 의하면, 하한이동속도(V_low)는, 하기의 식과 같이, 택트 타임(T_t)에서 정지시간(T_s)을 뺀 시간(T_t-T_s)의 사이에 기판길이(D)의 거리만큼 이동하는 속도로서 부여된다.

V_low = (D + d)/(T_t - T_s)

본 발명의 제 3 기판처리방법은, 반송로상에서 복수의 피처리기판을 원하는 택트 타임(T_t)으로 차례로 반송하여, 상기 반송로상의 상기 기판에 원하는 처리를 실시하는 기판처리방법으로서, 상기 반송로에 반송방향을 따라서 연속하는 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 구간을 이 순서로 설치하여, 각각의 상기 구간의 반송속도를 독립으로 설정 또는 제어가능하게 구성하여, 상기 제 1 구간의 반송속도를 제 1 속도로 설정하고, 상기 제 4 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도보다도 느린 제 2 속도로 설정하여, 상기 기판의 반송방향에서의 앞끝단이 상기 제 2 구간에 들어갔을 때부터 상기 기판의 반송방향에서의 뒤끝단이 상기 제 2 구간에 들어갔을 때까지의 사이에는 상기 제 2 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도로 제어하고, 상기 기판의 앞끝단이 상기 제 3 구간에 들어갔을 때부터 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 2 구간에 들어갔을 때까지의 사이에는 상기 제 3 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도로 제어하고, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 3 구간에 들어갔을 때 또는 그 직후에 상기 제 2 구간 및 상기 제 3 구간의 각각의 반송속도를 동시에 상기 제 1 속도로부터 상기 제 2 속도로 바꾸고, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 2 구간을 나간 후에 상기 제 2 구간의 반송속도를 상기 제 2 속도로부터 상기 제 1 속도로 바꾸고, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 3 구간을 빠져나간 후에 상기 제 3 구간의 반송속도를 상기 제 2 속도로부터 상기 제 1 속도로 바꾼다.

또한, 본 발명의 제 3 기판처리장치는, 피처리기판을 거의 수평으로 실어 반송하기 위한 반송체를 수평방향에 부설하여 이루어지며, 반송방향을 따라서 연속하는 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 구간을 가진 반송로와 상기 반송로상에서 상기 기판을 반송하기 위해서 상기 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 구간마다 독립하여 상기 반송체를 구동하는 반송구동수단과, 소정의 택트 타임(T_t)으로 상기 반송로상에 상기 기판을 반입하는 반입부와, 상기 반송로상의 상기 기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 처리부와, 상기 반송로상에서 처리가 끝난 상기 기판을 반출하는 반출부와, 상기 제 1 구간의 반송속도를 제 1 속도로 제어하는 제 1 속도 제어수단과, 상기 제 4 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도보다도 느린 제 2 속도로 제어하는 제 2 속도 제어수단과, 상기 기판의 반송방향에서의 앞끝단이 상기 제 2 구간에 들어갔을 때부터 상기 기판의 반송방향에서의 뒤끝단이 상기 제 2 구간에 들어갔을 때까지의 사이에는 상기 제 2 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도로 제어하는 제 3 속도 제어수단과, 상기 기판의 앞끝단이 상기 제 3 구간에 들어갔을 때부터 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 2 구간에 들어갔을 때까지의 사이에는 상기 제 3 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도로 제어하는 제 4 속도 제어수단과, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 3 구간에 들어갔을 때 또는 그 직후에 상기 제 2 구간 및 상기 제 3 구간의 각각의 반송속도를 동시에 상기 제 1 속도로부터 상기 제 2 속도로 바꾸는 제 1 속도전환수단과, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 2 구간을 나간 후에 상기 제 2 구간의 반송속도를 상기 제 2 속도로부터 상기 제 1 속도로 바꾸는 제 2 속도전환수단과, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 3 구간을 빠져나간 후에 상기 제 3 구간의 반송속도를 상기 제 2 속도로부터 상기 제 1 속도로 바꾸는 제 3 속도전환수단을 가진다.

상기 제 3 기판처리방법 또는 장치에 있어서는, 중간의 제 2 및 제 3 구간을 통과하는 도중에 효율적으로 안전하게 감속시킬 수 있다. 속도전환을 위한 반송 스페이스를 최소한으로 하기 위해서, 반송방향에서 제 2 구간과 제 3 구간을 서로 보충한 구간 사이즈를 기판의 길이 사이즈와 거의 같은 사이즈로 구성하는 것이 바람직하다. 또한, 반송로상의 제 1 구간내의 소정위치(예를 들면 정지위치)로부터 기판을 하한이동속도(V_low)로 반송한 경우에 택트 타임(T_t) 경과시에 기판의 뒤끝단이 제 2 구간과 제 3 구간과의 경계부근에 도달하도록 제 2 구간의 길이를 설정하여도 좋다.

본 발명의 제 1 현상처리방법은, 반송로상에서 복수의 피처리기판을 원하는 택트 타임(T_t)으로 적어도 1회의 일시정지를 포함해서 차례로 반송하여, 반송 도중에 상기 반송로상의 상기 기판에 현상처리를 실시하는 현상처리공정과, 상기 기판이 상기 반송로에 반입되는 택트 타임(T_t)과 상기 기판이 일시정지하는 정지시간중의 최대정지시간(T_s)과 상기 기판의 반송방향의 길이 사이즈(D)와 반송방향에서의 원하는 최소기판간격(d)에 기초하여 상기 기판의 하한이동속도(V_low)를 결정하는 하한이동속도결정공정과, 상기 반송로상에서 상기 기판을 이동시키는 속도를 상기 하한이동속도(V_low)보다도 빠른 속도로 설정하는 기판이동속도설정공정을 가진다.

또한, 본 발명의 제 1 현상처리장치는, 피처리기판을 거의 수평으로 실어 반송하기 위한 반송체를 수평방향으로 부설하여 이루어지는 반송로와, 상기 반송로상에서 상기 기판을 이동시키기 위해서 상기 반송체를 구동하는 반송구동수단과, 소정의 택트 타임(T_t)으로 상기 반송로상에 상기 기판을 반입하는 기판반입부와, 상기 반송로상의 상기 기판에 현상처리를 실시하기 위한 현상처리부와, 상기 반송로상에서 처리가 끝난 상기 기판을 반출하는 기판반출부와, 상기 반송로상에 설정된 1개 또는 복수의 정지위치에서 상기 기판을 각각 소정의 정지시간만큼 일시정지시키는 정지수단과, 상기 택트 타임(T_t)으로 상기 정지시간중의 최대정지시간(T_s)과 상기 기판의 반송방향의 길이 사이즈(D)와 반송방향에서의 원하는 최소기판간격(d)에 기초하여 상기 기판의 하한이동속도(V_low)를 구하는 하한이동속도연산수단과, 상기 반송로상에서 상기 기판을 이동시키는 속도를 상기 하한이동속도(V_low) 이상의 속도로 제어하는 이동속도 제어수단을 가진다.

상기 현상처리방법 또는 장치에 있어서는, 반송로상에서 기판을 1회 또는 복수회의 일시정지를 포함해서 차례로 반송하는 경우에, 기판길이(D), 택트 타임(T_t), 최소기판간격(d), 최대정지시간(T_s)의 각 조건에 대하여 기판의 수단이나 현상처리내용, 스루풋, 풋프린트 등의 관점에서 원하는 값이 설정되면, 그들 설정치에 따른 하한이동속도(V_low) 이상의 안전속도로 기판을 이동시켜, 기판의 추돌사고를 확실하게 방지할 수 있다.

본 발명의 한 형태에 의하면, 하한이동속도(V_low)는, 하기 식과 같이, 택트 타임(T_t)에서 정지시간(T_s)을 뺀 시간(T_t-T_s)의 사이에 기판길이(D)의 거리만큼 이동하는 속도로서 부여된다.

V_low = (D + d)/(T_t - T_s)

본 발명의 한 형태에 의하면, 현상처리공정이, 반송로상의 제 1 정지위치에서 기판을 일시정지시켜 기판에 현상액을 공급하는 현상액공급공정과, 반송로상에서 제 1 정지위치로부터 반송하류측에 소정의 거리만큼 떨어진 제 2 정지위치까지 기판을 제 1 속도로 이동시키는 기판반송공정과, 제 2 정지위치로 기판으로부터 현상액을 실질적으로 제거하여 현상을 정지하는 현상정지공정을 포함한다. 이 경우, 현상액공급공정의 한 형태로서, 제 1 정지위치에서 정지중인 기판에 대하여, 반송로를 따라 소정의 속도로 이동하는 제 1 노즐로부터 현상액을 공급할 수가 있다. 또한, 현상정지공정의 한 형태로서, 제 2 정지위치에서 기판을 경사지게 하여 기판으로부터 현상액을 중력으로 흘려 떨어뜨려도 좋다. 또한, 현상정지공정의 한 형태로서, 제 2 정지위치에서 정지중인 기판에 대하여, 반송로를 따라 소정의 속도로 이동하는 제 2 노즐로부터 린스액을 공급할 수도 있다.

본 발명의 한 형태에 의하면, 이동속도설정수단이, 반송로상의 제 1 정지위치에서 기판에 대한 현상액의 공급을 시작하고 나서 제 2 정지위치에서 현상을 정지하기까지의 현상시간(T_g)에 대하여 원하는 설정치를 부여하는 현상시간설정수단과, 반송로상의 제 1 정지위치에서 기판에 대한 현상액의 공급을 시작하고 나서 제 2 정지위치를 향한 기판의 이동을 시작하기까지의 현상액공급시간(T_a)에 대하여 원하는 설정치를 부여하는 현상액공급시간설정수단과, 현상시간설정치(T_g)와 현상액공급시간설정치(T_a)와 제 1 정지위치로부터 제 2 정지위치까지의 이동거리(L)에 기초하여 제 1 속도의 임시 설정치(V_D)를 구하는 속도임시설정치 연산수단과, 제 1 속도의 임시 설정치를 하한이동속도(V_low)와 비교하여, 하한이동속도(V_low) 이상인 경우에 정규의 설정치로 하는 속도설정치결정수단을 가진다. 이러한 구성에 있어서는, 기판의 추돌사고를 피할 수 있는 기판이동속도하에서 원하는 현상처리품질을 얻을 수 있다. 바람직한 한 형태에 의하면, 속도임시설정치 연산수단이 하기의 식을 연산하여 제 1 속도의 임시 설정치(V_D)를 구한다.

V_D = L/(T_g - T_a)

본 발명의 제 2 현상처리방법은, 상기 반송로에 반송방향을 따라 연속하는 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 구간을 이 순서대로 설치하여, 각각의 상기 구간의 반송속도를 독립으로 설정 또는 제어가능하게 구성하고, 상기 제 1 구간의 반송속도를 제 1 속도로 설정하고, 상기 제 4 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도보다도 느린 제 2 속도로 설정하고, 상기 기판의 반송방향에서의 앞끝단이 상기 제 2 구간에 들어갔을 때부터 상기 기판의 반송방향에서의 뒤끝단이 상기 제 2 구간에 들어갈 때까지의 사이에는 상기 제 2 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도로 제어하고, 상기 기판의 앞끝단이 상기 제 3 구간에 들어갔을 때부터 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 2 구간에 들어갈 때까지의 사이에는 상기 제 3 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도로 제어하고, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 3 구간에 들어갔을 때 또는 그 직후에 상기 제 2 구간 및 상기 제 3 구간의 각각의 반송속도를 동시에 상기 제 1 속도로부터 상기 제 2 속도로 바꾸고, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 2 구간을 나간 후에 상기 제 2 구간의 반송속도를 상기 제 2 속도로부터 상기 제 1 속도로 바꾸고, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 3 구간을 빠져나간 후에 상기 제 3 구간의 반송속도를 상기 제 2 속도로부터 상기 제 1 속도로 바꾼다.

본 발명의 제 3 현상처리장치는, 피처리기판을 거의 수평으로 실어 반송하기 위한 반송체를 수평방향으로 부설하여 이루어지며, 반송방향을 따라서 연속하는 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 구간을 가진 반송로와, 상기 반송로상에서 상기 기판을 반송하기 위해서 상기 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 구간마다 독립하여 상기 반송체를 구동하는 반송구동수단과, 소정의 택트 타임(T_t)으로 상기 반송로상에 상기 기판을 반입하는 기판반입부와, 상기 반송로상의 상기 기판에 현상처리를 실시하기 위한 현상처리부와, 상기 반송로상에서 처리가 끝난 상기 기판을 반출하는 기판반출부와, 상기 제 1 구간의 반송속도를 제 1 속도로 제어하는 제 1 속도 제어수단과, 상기 제 4 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도보다도 느린 제 2 속도로 제어하는 제 2 속도 제어수단과, 상기 기판의 반송방향에서의 앞끝단이 상기 제 2 구간에 들어갔을 때부터 상기 기판의 반송방향에서의 뒤끝단이 상기 제 2 구간에 들어갈 때까지의 사이에는 상기 제 2 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도로 제어하는 제 3 속도 제어수단과, 상기 기판의 앞끝단이 상기 제 3 구간에 들어갔을 때부터 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 2 구간에 들어갈 때까지의 사이에는 상기 제 3 구간의 반송속도를 상기 제 1 속도로 제어하는 제 4 속도 제어수단과, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 3 구간에 들어갔을 때 또는 그 직후에 상기 제 2 구간 및 상기 제 3 구간의 각각의 반송속도를 동시에 상기 제 1 속도로부터 상기 제 2 속도로 바꾸는 제 1 속도전환수단과, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 2 구간을 나간 후에 상기 제 2 구간의 반송속도를 상기 제 2 속도로부터 상기 제 1 속도로 바꾸는 제 2 속도전환수단과, 상기 기판의 뒤끝단이 상기 제 3 구간을 빠져나간 후에 상기 제 3 구간의 반송속도를 상기 제 2 속도로부터 상기 제 1 속도로 바꾸는 제 3 속도전환수단을 가진다.

상기 제 2 기판처리방법 또는 장치에 있어서는, 중간의 제 2 및 제 3 구간을 통과하는 중간에 효율적으로 안전하게 감속시킬 수 있다. 속도전환을 위한 반송 스페이스를 최소한으로 하기 위해서, 반송방향에서 제 2 구간과 제 3 구간을 합친 구간 사이즈를 기판의 길이 사이즈와 거의 같은 사이즈로 구성하는 것이 바람직하다. 또한, 반송로상의 제 1 구간내의 소정위치(예를 들면 정지위치)로부터 기판을 하한이동속도(V_low)로 반송한 경우에 택트 타임(T_t) 경과시에 기판의 뒤끝단이 제 2 구간과 제 3 구간과의 경계부근에 도달하도록 제 2 구간의 길이를 설정하여도 좋다.

또한, 바람직한 한 형태에 의하면, 제 1 구간내에서 현상정지부가 현상정지를 하여, 제 2 구간 및/또는 제 3 구간내에서 린스처리부가 기판에 린스액을 공급하여 린스처리를 하고, 제 4 구간내에서 건조처리부가 기판에 건조용의 기체류를 내뿜어 건조처리를 한다. 현상정지부는, 제 2 정지위치에서 기판을 경사지게 하여 기판으로부터 현상액을 중력으로 흘려 떨어뜨리는 기판경사수단이나, 제 2 정지위치에서 정지중인 기판에 대하여, 반송로를 따라 소정의 속도로 이동하면서 린스액을 공급하는 린스처리부를 가져도 좋다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 기판처리방법, 기판처리장치, 현상처리방법 또는 현상처리장치에 의하면, 평류방식의 반송로상에서 기판의 추돌사고를 일으키지 않고서 기판반송속도를 최적화할 수가 있으며, 더욱이 기판의 반송속도의 감속을 효율적이고 또한 안전하게 할 수도 있다.

도 1은 본 발명을 적용할 수 있는 도포현상처리 시스템의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2는 상기 도포현상처리 시스템에 있어서의 열적처리부의 구성을 나타내는 측면도이다.
도 3은 상기 도포현상처리 시스템에 있어서의 처리의 순서를 나타내는 플로우챠트이다.
도 4는 실시형태에 있어서의 현상유니트의 전체구성을 나타내는 정면도이다.
도 5는 실시형태에 있어서의 현상유니트의 전체구성을 나타내는 평면도이다.
도 6은 실시형태의 현상유니트에 있어서의 반송기구의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 실시형태의 현상유니트에 있어서 1매의 기판이 반송로상을 이동하는 궤적을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제 1 기본원칙을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 반송로상에서 서로 전후한 기판사이에 최소기판간격을 설정하는 예를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 제 2 기본원칙(일시정지후의 이동속도)을 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 제 2 기본원칙(일시정지전의 이동속도)을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 실시형태의 현상유니트에 있어서의 제어계의 시스템구성을 나타내는 평면도이다.
도 13은 실시형태의 현상유니트에 있어서의 각종설정조건의 설정예를 나타내는 도면이다.
도 14는 실시형태에 있어서의 감속의 속도전환제어를 설명하기 위한 도면이다.
도 15는 감속구간의 설정방법을 나타내는 도면이다.

이하에 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 설명한다.

도 1에, 본 발명의 현상방법 및 현상장치를 적용할 수 있는 한 구성예로서의 도포현상처리 시스템을 나타낸다. 이 도포현상처리 시스템(10)은, 크린룸내에 설치되어, 예를 들면 LCD 기판을 피처리기판으로 하여, LCD 제조 프로세스에 있어서 포토리소그래피공정중의 세정, 레지스트도포, 프리베이크, 현상 및 포스트베이크 등의 각 처리를 하는 것이다. 노광처리는, 이 시스템에 인접하여 설치되는 외부의 노광장치(12)로 이루어진다.

이 도포현상처리 시스템(10)은, 중심부에 가로 길이의 프로세스 스테이션 (P/S)(16)을 배치하고, 그 길이 방향(X방향) 양 끝단부에 카세트 스테이션 (C/ S) (14)과 인터페이스 스테이션(I/F)(18)을 배치하고 있다.

카세트 스테이션(C/S)(14)은, 시스템(10)의 카세트반출입 포트이고, 기판(G)을 다단으로 적층하도록 하여 복수매 수용할 수 있는 카세트(C)를 수평방향 예를 들면 Y방향으로 4개까지 나란히 얹어 놓을 수 있는 카세트 스테이지(20)와, 이 스테이지(20)상의 카세트(C)에 대하여 기판(G)을 출납시키는 반송기구(22)를 구비하고 있다. 반송기구(22)는, 기판(G)을 유지할 수 있는 수단 예를 들면 반송아암 (22a)을 가지며, X, Y, Z, θ의 4축으로 동작가능하며, 인접한 프로세스 스테이션 (P/S)(16)측과 기판(G)을 주고받을 수 있도록 되어 있다.

프로세스 스테이션(P/S)(16)은, 시스템길이 방향(X방향)으로 연재하는 평행하고 또한 역방향의 한 쌍의 라인(A, B)에 각 처리부를 프로세스 흐름 또는 공정의 순서대로 배치하고 있다. 보다 상세하게는, 카세트 스테이션(C/S)(14)측으로부터 인터페이스 스테이션(I/F)(18)측을 향하는 상류부의 프로세스라인(A)에는, 세정프로세스부(24)와, 제 1 열적처리부(26)와, 도포프로세스부(28)와, 제 2 열적처리부 (30)를 가로 일렬로 배치하고 있다. 한편, 인터페이스 스테이션(I/F)(18)측으로부터 카세트 스테이션(C/S)(14)측을 향하는 하류부의 프로세스라인(B)에는, 제 2 열적처리부(30)와, 현상 프로세스부(32)와, 탈색프로세스부(34)와, 제 3 열적처리부 (36)를 가로 일렬로 배치하고 있다. 이러한 라인형태에서는, 제 2 열적처리부(30)가, 상류측의 프로세스라인(A)의 최후미에 위치함과 동시에 하류측의 프로세스라인 (B)의 선두에 위치하고 있어, 양 라인(A, B) 사이에 걸쳐 있다.

양 프로세스라인(A, B)의 사이에는 보조반송공간(38)이 설치되어 있고, 기판 (G)을 1매 단위로 수평으로 얹어 놓을 수 있는 셔틀(40)이 도시하지 않은 구동기구에 의해서 라인방향(X방향)으로 쌍방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.

상류부의 프로세스라인(A)에서, 세정프로세스부(24)는, 스크러버세정유니트 (SCR)(42)를 포함하고 있고, 이 스크러버세정유니트(SCR)(42)내의 카세트 스테이션 (C/S)(14)과 인접하는 장소에 엑시머 UV 조사유니트(e-UV)(41)를 배치하고 있다. 스크러버세정유니트(SCR)(42)내의 세정부는, LCD 기판(G)을 롤러반송 또는 벨트반송에 의해 수평자세로 라인(A) 방향으로 반송하면서 기판(G)의 표면(피처리면)에 브러싱세정이나 블로우세정을 실시하도록 되어 있다.

세정 프로세스부(24)의 하류측에 인접하는 제 1 열적처리부(26)는, 프로세스라인(A)을 따라 중심부에 종형의 반송기구(46)를 설치하고, 그 전후 양측에 복수의 유니트를 다단으로 적층배치하고 있다. 예를 들면, 도 2에 도시한 바와 같이, 상류측의 다단유니트부(TB)(44)에는, 기판 주고 받음 용의 패스유니트(PASS)(50), 탈수베이크용의 가열유니트(DHP)(52, 54) 및 어드히젼유니트(AD)(56)가 아래에서부터 차례로 적층된다. 여기서, 패스유니트(PASS)(50)는, 스크러버세정유니트(SCR)(42)측과 기판(G)을 주고받기 위해서 사용된다. 또한, 하류측의 다단유니트부(TB)(48)에는, 기판 주고 받음 용의 패스유니트(PASS)(60), 냉각유니트(COL)(62, 64) 및 어드히젼유니트(AD)(66)가 아래에서부터 차례로 적층된다. 여기서, 패스유니트 (PASS)(60)는, 도포 프로세스부(28)측과 기판(G)을 주고 받기 위한 것이다.

도 2에 도시한 바와 같이, 반송기구(46)는, 연직방향으로 연재하는 가이드레일(68)을 따라 승강이동할 수 있는 승강반송체(70)와, 이 승강반송체(70)상에서 θ방향으로 회전 또는 선회할 수 있는 선회반송체(72)와, 이 선회반송체(72)상에서 기판(G)을 지지하면서 전후방향으로 전진후퇴 또는 신축가능한 반송아암 또는 핀셋 (74)을 가지고 있다. 승강반송체(70)를 승강구동하기 위한 구동부(76)가 수직가이드레일(68)의 기단측에 설치되고, 선회반송체(72)를 선회구동하기 위한 구동부 (78)가 승강반송체(70)에 부착되고, 반송아암(74)을 진퇴구동하기 위한 구동부(80)가 회전반송체(72)에 부착되어 있다. 각 구동부(76, 78, 80)는 예를 들면 전기모터 등으로 구성되어도 좋다.

상기한 바와 같이 구성된 반송기구(46)는, 고속으로 승강 내지 선회운동하여 양 인접한 다단유니트부(TB)(44, 48) 중의 임의의 유니트에 억세스가능하고, 보조반송공간(38)측의 셔틀(40)과도 기판(G)을 주고 받을 수 있도록 되어 있다.

제 1 열적처리부(26)의 하류측에 인접하는 도포 프로세스부(28)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 레지스트도포유니트(CT)(82), 감압건조유니트(VD)(84) 및 에지리무버?유니트(ER)(86)를 프로세스라인(A)을 따라 일렬로 배치하고 있다. 도시는 생략하지만, 도포프로세스부(28)내에는, 이들 3개의 유니트(CT)(82), (VD)(84), (ER)(86)에 기판(G)을 공정순으로 1매씩 반입?반출하기 위한 반송장치가 설치되어 있으며, 각 유니트((CT)(82), (VD)(84), (ER)(86)내에서는 기판 1매 단위로 각 처리가 이루어지도록 되어 있다.

도포프로세스부(28)의 하류측에 인접하는 제 2 열적처리부(30)는, 상기 제 1 열적처리부(26)와 같은 구성을 가지며, 양 프로세스라인(A, B)의 사이에 종형의 반송기구(90)를 설치하여, 프로세스라인(A)측(최후미)에 한쪽의 다단유니트부 (TB) (88)를 설치하고, 프로세스라인(B)측(선두)에 다른쪽의 다단유니트부(TB)(92)를 설치하고 있다.

도시는 생략하지만, 예를 들면, 프로세스라인(A)측의 다단유니트부(TB)(88)에는, 최하단에 기판주고 받음용의 패스유니트(PASS)가 놓여지고, 더욱 프리베이크용의 가열유니트(PREBAKE)가 예를 들면 3단으로 적층되어도 좋다. 또한, 프로세스라인(B)측의 다단유니트부(TB)(92)에는, 최하단에 기판주고 받음용의 패스유니트 (PASS)가 놓여지고, 그 위에 냉각유니트(COL)가 예를 들면 1단 포개어지고, 그 위에 프리베이크용의 가열유니트(PREBAKE)가 예를 들면 2단 적층되어도 좋다.

제 2 열적처리부(30)에 있어서의 반송기구(90)는, 양 다단유니트부(TB)(88, 92)의 각각의 패스유니트(PASS)를 통해 도포 프로세스부(28) 및 현상 프로세스부 (32)와 기판(G)을 1장 단위로 주고 받을 수 있을 뿐만 아니라, 보조반송공간(38)내의 셔틀(40)이나 후술하는 인터페이스 스테이션(I/F)(18)과도 기판(G)을 1장 단위로 주고 받을 수 있도록 되어 있다.

하류부의 프로세스라인(B)에서, 현상프로세스부(32)는, 기판(G)을 수평자세로 반송하면서 일련의 현상처리공정을 하는, 소위 평류방식의 현상유니트(DEV)(94)를 포함하고 있다.

현상프로세스부(32)의 하류측에는 탈색프로세스부(34)를 사이에 두고 제 3 열적처리부(36)가 배치된다. 탈색프로세스부(34)는, 기판(G)의 피처리면에 i선(파장 365nm)을 조사하여 탈색처리를 하기 위한 i선 UV 조사유니트(i-UV)(96)를 구비하고 있다.

제 3 열적처리부(36)는, 상기 제 1 열적처리부(26)나 제 2 열적처리부(30)와 같은 구성을 가지며, 프로세스라인(B)을 따라 종형의 반송기구(100)와 그 전후 양측에 한 쌍의 다단유니트부(TB)(98, 102)를 설치하고 있다.

도시는 생략하지만, 예를 들면, 상류측의 다단유니트부(TB)(98)에는, 최하단에 패스유니트(PASS)가 놓여지고, 그 위에 포스트베이킹용의 가열유니트(POBAKE)가 예를 들면 3단 적층되어도 좋다. 또한, 하류측의 다단유니트부(TB)(102)에는, 최하단에 포스트베이킹?유니트(P0BAKE)가 놓여지고, 그 위에 기판주고 받음 및 냉각용의 패스?쿨링유니트(PASS?COL)가 1단 포개지고, 그 위에 포스트베이킹용의 가열유니트(POBAKE)가 2단 적층되어도 좋다.

제 3 열적처리부(36)에 있어서의 반송기구(100)는, 양 다단유니트부(TB)(98, 102)의 패스유니트(PASS) 및 패스?쿨링유니트(PASS?COL)를 통해 각각 i선 UV 조사유니트(i-UV)(96) 및 카세트 스테이션(C/S)(14)과 기판(G)을 1매 단위로 주고 받을 수 있을 뿐만 아니라, 보조반송공간(38)내의 셔틀(40)과도 기판(G)을 1매 단위로 주고 받을 수 있도록 되어 있다.

인터페이스 스테이션(I/F)(18)은, 인접한 노광장치(12)와 기판(G)을 주고받기 위한 반송장치(104)를 가지며, 그 주위에 버퍼?스테이지(BUF)(106), 익스텐션?쿨링스테이지(EXT?COL)(108) 및 주변장치(110)를 배치하고 있다. 버퍼?스테이지(BUF)(106)에는 정치형의 버퍼카세트(도시하지 않음)가 놓여진다. 익스텐션?쿨링스테이지(EXT?COL)(108)는, 냉각기능을 구비한 기판 주고 받음용의 스테이지이고, 프로세스 스테이션(P/S)(16)측과 기판(G)을 주고 받기할 때에 사용된다. 주변장치(110)는, 예를 들면 타이틀러(TITLER)와 주변노광장치(EE)를 상하에 적층한 구성으로 하여도 좋다. 반송장치(104)는, 기판(G)을 유지할 수 있는 반송아암(104a)을 가지며, 인접한 노광장치(12)나 각 유니트(BUF)(106), (EXT?COL)(108), (TITLER/EE)(110)와 기판(G)을 주고받을 수 있도록 되어 있다.

도 3에, 이 도포현상처리 시스템에 있어서의 처리의 순서를 나타낸다. 우선, 카세트 스테이션(C/S)(14)에 있어서, 반송기구(22)가, 스테이지(20)상의 소정의 카세트(C)내에서 1개의 기판(G)을 꺼내어, 프로세스 스테이션(P/S)(16)의 세정 프로세스부(24)의 엑시머 UV 조사유니트(e-UV)(41)에 반입한다(스텝 S1).

엑시머 UV 조사유니트(e-UV)(41)내에서 기판(G)은 자외선조사에 의한 건식세정이 실시된다(스텝 S2). 이 자외선세정에서는 주로 기판표면의 유기물이 제거된다. 자외선세정이 종료된 후에, 기판(G)은, 카세트 스테이션(C/S)(14)의 반송기구 (22)에 의해서 세정 프로세스부(24)의 스크러버세정유니트(SCR)(42)로 옮겨진다.

스크러버세정유니트(SCR)(42)에서는, 상기한 바와 같이 기판(G)을 롤러반송 또는 벨트반송에 의해 수평자세로 프로세스라인(A) 방향으로 평류로 반송하면서 기판(G)의 표면(피처리면)에 브러싱세정이나 블로우세정을 함으로써, 기판표면에서 입자상태의 오염물을 제거한다(스텝 S3). 그리고, 세정후에도 기판(G)을 평류로 반송하면서 린스처리를 실시하고, 마지막에 에어 나이프 등을 사용하여 기판(G)을 건조시킨다.

스크러버세정유니트(SCR)(42)내에서 세정처리가 끝난 기판(G)은, 제 1 열적처리부(26)의 상류측 다단유니트부(TB)(44)내의 패스유니트(PASS)(50)에 반입된다.

제 1 열적처리부(26)에 있어서, 기판(G)은 반송기구(46)에 의해 소정의 시퀀스로 소정의 유니트를 돈다. 예를 들면, 기판(G)은, 제일 먼저 패스유니트 (PASS) (50)로부터 가열유니트(DHP)(52, 54)의 하나로 옮겨지고, 거기서 탈수처리를 받는다(스텝 S4). 다음에, 기판(G)은, 냉각유니트(COL)(62, 64)의 하나로 옮겨지고, 거기서 일정한 기판온도까지 냉각된다(스텝 S5). 이후, 기판(G)은 어드히젼유니트 (AD)(56)로 옮겨지고, 거기서 소수화처리를 받는다(스텝 S6). 이 소수화처리의 종료후에, 기판(G)은 냉각유니트(COL)(62, 64)의 하나로 일정한 기판온도까지 냉각된다(스텝 S7). 마지막으로, 기판(G)은 하류측 다단유니트부(TB)(48)에 속하는 패스유니트(PASS)(60)로 옮겨진다.

이와 같이, 제 1 열적처리부(26)내에서는, 기판(G)이, 반송기구(46)를 통해 상류측의 다단유니트부(TB)(44)와 하류측의 다단유니트부(TB)(48)의 사이에서 임의로 왕래할 수 있도록 되어 있다. 또, 제 2 및 제 3 열적처리부(30, 36)에서도 같은 기판반송동작을 할 수 있도록 되어 있다.

제 1 열적처리부(26)에서 상기와 같은 일련의 열적 또는 열계의 처리를 받은 기판(G)은, 하류측 다단유니트부(TB)(48)내의 패스유니트(PASS)(60)로부터 하류측에 인접한 도포프로세스부(28)의 레지스트도포유니트(CT)(82)로 옮겨진다.

기판(G)은 레지스트도포유니트(CT)(82)에서 예를 들면 스핀코트법에 의해 기판표면(피처리면)에 레지스트액이 도포되어, 직후에 하류측에 인접한 감압건조유니트(VD)(84)로 감압에 의한 건조처리를 받고, 이어서 하류측에 인접한 에지리무버?유니트(ER)(86)에서 기판둘레가장자리부의 여분(불필요)의 레지스트가 제거된다(스텝 S8).

상기와 같은 레지스트도포처리를 받은 기판(G)은, 에지리무버?유니트 (ER) (86)로부터 인접한 제 2 열적처리부(30)의 상류측 다단유니트부(TB)(88)에 속하는 패스유니트(PASS)로 받아 넘겨진다.

제 2 열적처리부(30)내에서, 기판(G)은, 반송기구(90)에 의해 소정의 시퀀스로 소정의 유니트를 돈다. 예를 들면, 기판(G)은, 제일 먼저 해당 패스유니트 (PASS)로부터 가열유니트(PREBAKE)의 하나로 옮겨지고, 거기서 레지스트도포후의 베이킹을 받는다(스텝 S9). 다음에, 기판(G)은, 냉각유니트(COL)의 하나로 옮겨지고, 거기서 일정한 기판온도까지 냉각된다(스텝 S10). 이후, 기판(G)은 하류측 다단유니트부(TB)(92)측의 패스유니트(PASS)를 경유하거나, 혹은 경유하지 않고서 인터페이스 스테이션(I/F)(18)측의 익스텐션?쿨링스테이지(EXT?COL)(108)로 받아 넘겨진다.

인터페이스 스테이션(I/F)(18)에 있어서, 기판(G)은, 익스텐션?쿨링스테이지(EXT?COL)(108)로부터 주변장치(110)의 주변노광장치(EE)에 반입되고, 거기서 기판(G)의 주변부에 부착하는 레지스트를 현상시에 제거하기 위한 노광을 받은 후에, 인접한 노광장치(12)로 보내진다(스텝 S11).

노광장치(12)에서는 기판(G) 상의 레지스트에 소정의 회로패턴이 노광된다. 그리고, 패턴노광이 끝난 기판(G)은, 노광장치(12)로부터 인터페이스 스테이션 (I/F)(18)으로 되돌아가면(스텝 S11), 우선 주변장치(110)의 타이틀러(TITLER)에 반입되고, 거기서 기판상의 소정의 부위에 소정의 정보가 기록된다(스텝 S12). 이후, 기판(G)은 익스텐션?쿨링스테이지(EXT?COL)(108)로 되돌아간다. 인터페이스 스테이션(I/F)(18)에 있어서의 기판(G)의 반송 및 노광장치(12)와의 기판(G)의 주고받음은 반송장치(104)에 의해서 이루어진다.

프로세스 스테이션(P/S)(16)에서는, 제 2 열적처리부(30)에 있어서 반송기구 (90)가 익스텐션?쿨링스테이지(EXT?COL)(108)로부터 노광이 끝난 기판(G)을 받아들여, 프로세스라인(B)측의 다단유니트부(TB)(92)내의 패스유니트(PASS)를 통해 현상 프로세스부(32)로 받아넘긴다.

현상프로세스부(32)에서는, 해당 다단유니트부(TB)(92)내의 패스유니트 (PASS)로부터 받아들인 기판(G)을 현상유니트(DEV)(94)에 반입한다. 현상유니트 (DEV)(94)에 있어서 기판(G)은 프로세스라인(B)의 하류를 향하여 평류방식으로 반송되어, 그 반송중에 현상, 린스, 건조의 일련의 현상처리공정이 이루어진다(스텝 S13).

현상 프로세스부(32)로 현상처리를 받은 기판(G)은 하류측에 인접한 탈색프로세스부(34)로 반입되고, 거기서 i선 조사에 의한 탈색처리를 받는 다(스텝 S14). 탈색처리가 끝난 기판(G)은, 제 3 열적처리부(36)의 상류측 다단유니트부(TB)(98)내의 패스유니트(PASS)에 받아 넘겨진다.

제 3 열적처리부(36)에 있어서, 기판(G)은, 제일 먼저 해당 패스유니트 (PASS)로부터 가열유니트(POBAKE)의 하나로 옮겨지고, 거기서 포스트베이킹을 받는다(스텝 S15)． 다음에, 기판(G)은, 하류측 다단유니트부(TB)(102)내의 패스쿨링?유니트(PASS?COL)로 옮겨지고, 거기서 소정의 기판온도로 냉각된다(스텝 S16). 제 3 열적처리부(36)에 있어서의 기판(G)의 반송은 반송기구(100)에 의해서 이루어진다.

카세트 스테이션(C/S)(14)측에서는, 반송기구(22)가, 제 3 열적처리부(36)의 패스쿨링?유니트(PASS?COL)에서 도포현상처리의 전체공정을 끝낸 기판(G)을 받아들이고, 받아들인 기판(G)을 어느 하나의 카세트(C)에 수용한다(스텝 S1).

이 도포현상처리 시스템(10)에 있어서는, 현상 프로세스부(32)의 현상유니트 (DEV)(94)에 본 발명을 적용할 수가 있다. 이하에 도 4～도 15를 참조하여 본 발명을 현상유니트(DEV)(94)에 적용한 일실시형태를 설명한다.

도 4 및 도 5에, 본 발명의 일실시형태에 의한 현상유니트(DEV)(94)내의 전체구성을 모식적으로 나타낸다. 이 현상유니트(DEV)(94)는, 프로세스라인(B)을 따라 수평방향(X방향)으로 연재하는 연속적인 반송로(112)를 형성하는 복수 예를 들면 10대의 모듈(M₁～M₁₀)을 일렬로 연속배치하여 이루어진다.

이들 모듈(M₁～M₁₀)중, 최상류단에 위치하는 1번째의 모듈(M₁)에는 반입부 (114)가 설치된다. 2번째의 모듈(M₂)은 도입부(116)를 구성하고 있다. 3번째, 4번째 및 5번째의 모듈(M₃, M₄, M₅)에는 현상부(118)가 설치된다. 6번째의 모듈(M₆)에는 제 1 린스부(120)가 설치되며, 7번째의 모듈(M₇)에는 제 2 린스부(122)가 설치된다. 8번째의 모듈(M₈)에는 건조부(124)가 설치된다. 9번째의 모듈(M₉)는 송출부 (126)를 구성하고 있다. 최후미의 10번째의 모듈(M₁₀)에는 반출부(128)가 설치된다.

반입부(114)는, 인접한 기판반송기구(도시하지 않음)로부터 건네진 기판(G)을 수평자세로 받아들여, 반송로(112)상으로 옮겨 싣기 위한 승강가능한 복수개의 리프트 핀(130)을 가지고 있다. 반출부(128)도, 기판(G)을 수평자세로 들어 올려 인접한 기판반송기구(도시하지 않음)로 건네주기 위한 승강가능한 복수개의 리프트 핀(132)을 가지고 있다.

도입부(116)는, 반입부(114)와 현상부(118)의 사이의 완충영역을 형성하고 있다. 반입부(114)로부터 각 기판(G_i)을 도입부(116)를 통해 현상부(118)까지 고속으로 한번에 반송함으로써, 미리 설정된 택트 타임(T_t)(예를 들면 60초)의 시간경과후에 반입부(114)에 반입되어 오는 후속의 기판(G_{i +1})의 사이에 충분한 공간적 거리(거리간격)를 확보할 수 있도록 되어 있다. 또한, 현상부(118)로부터 반송상류측에 현상액이 비산하더라도, 도입부(116)에서 멈추고, 반입부(114)에 도달하지 않도록(오염되지 않도록) 되어 있다.

현상부(118)는, 보다 상세하게는, 모듈(M₃, M₄)에 각각 제 1 현상액공급부 (134), 제 2 현상액공급부(136)를 설치하고, 모듈(M₅)에 액공급중단/린스부(138)를 설치하고 있다.

제 1 현상액공급부(134)는, 도입부(116)로부터 반송되어 온 기판(G)에 퍼들방식으로 현상액을 공급(액을 바름)하기 위한 것으로, 반송로(112)의 위쪽에 반송방향(X방향)으로 이동가능한 1개 또는 복수개의 현상액 노즐(140)을 구비하고 있다. 도시한 예에서는, 반송방향으로 연재하는 가이드레일(142)을 따라 이동할 수 있게 구성된 노즐반송체(144)에 현상액 노즐(140)을 부착하고, 구동기구(도시하지 않음)에 의해서 노즐반송체(144)를 반송방향으로 이동시키는 구성으로 하고 있다. 노즐반송체(144)에 현상액 노즐(140)을 승강이동시키기 위한 승강기구(도시하지 않음)를 부착시켜도 좋다.

제 2 현상액공급부(136)는, 반송중인 기판(G)에서 현상액이 넘쳐흘러 떨어지는 경우에 신규의 현상액을 추가공급 즉 보충하기 위한 것으로, 반송방향의 적당한 위치에서 반송로(112)의 위쪽에 정치형의 현상액 노즐(146)을 1개 또는 복수개 배치하고 있다.

각 부의 현상액 노즐(140, 146)은, 반송로(112)의 좌우폭방향(Y방향)에 있어서 기판(G)의 끝단에서 끝단까지 커버하도록 긴 형상의 노즐본체를 가지며, 해당 노즐본체에 형성된 무수한 구멍형상 토출구 혹은 1개 또는 수개의 슬릿형상 토출구로부터 반송로(112)상의 기판(G)을 향하여 현상액을 대략 띠형상 또는 스프레이형상으로 토출하도록 되어 있다. 또, 필요에 따라, 현상액 노즐(146)도 반송방향으로 이동할 수 있게 하여도 좋고, 혹은 제 2 현상액공급부(136)를 생략하는 것도 가능하다.

액공급중단/린스부(138)는, 기판(G)에서 현상액을 제거하여 현상을 정지하기 위한 것으로, 반송방향에서 기판(G)을 후향 또는 적극적으로 경사지게 하여 현상액을 중력으로 흘려 떨어뜨리기 위한 기판경사기구(도시하지 않음)와, 기판(G)에 린스액을 내뿜어 현상액을 씻어 내기 위한 1개 또는 복수의 린스액 노즐(148)을 구비하여도 좋다.

도시한 예에서는, 린스액 노즐(148)을 가동형으로 구성하고 있다. 보다 상세하게는, 반송로(112)의 위쪽으로 린스액 노즐(148)을 노즐반송체(150)에 부착하여, 구동기구(도시하지 않음)에 의해서 노즐반송체(150)를 반송방향으로 연재하는 가이드레일(152)을 따라 이동시키는 구성으로 하고 있다. 노즐반송체(150)에 린스액 노즐(148)을 승강이동시키기 위한 승강기구(도시하지 않음)를 부착하여도 좋다. 린스액 노즐(148)은, 반송로(112)의 좌우폭방향(Y방향)에 있어서 기판(G)의 끝단에서 끝단까지 커버하도록 하는 긴 형상의 노즐본체를 가지며, 해당 노즐본체에 형성된 무수한 구멍형상 토출구 혹은 1개 또는 수개의 슬릿형상 토출구로부터 반송로 (112)상의 기판(G)을 향하여 린스액을 대략 띠형상 또는 스프레이형상으로 토출하도록 되어 있다.

제 1 린스부(120) 및 제 2 린스부(122)는, 기판(G)에서 현상액이나 이물질?오염물 등을 완전하게 제거하기 위한 것으로, 각각 반송방향의 적당한 위치에 긴 형상의 린스액 노즐(154, 156)을 가로로 걸어 1개 또는 복수개 배치하고 있다. 바람직하게는, 기판(G)의 표면(디바이스형성면)뿐만 아니라 아랫면 또는 이면도 세정하도록, 반송로(112)를 사이에 두고 상하에 린스액 노즐(154, 156)을 배치하여도 좋다. 각 린스액 노즐(154, 156)의 구성은, 상기 린스액 노즐(148)과 동일하여도 좋고, 달라도 좋다.

건조부(124)는, 린스처리후의 기판(G)에 부착하고 있는 린스액을 기체류(예를 들면 에어)로 털어 기판표면을 건조시키기 위한 것으로, 반송로(112)를 따라 적당한 위치에 긴 형상의 에어 나이프(158)를 가로로 걸어 1개 또는 복수개 배치하고 있다. 에어 나이프(158)도, 기판(G)의 상하양면에 기체류가 닿도록, 반송로(112)의 상하에 배치되어도 좋다. 바람직하게는, 도 5에 도시한 바와 같이, 에어 나이프(158)는, 반송로(112)의 폭방향(Y방향)에서 적당한 각도만큼 비스듬하게 기울여 기판(G)의 끝단에서부터 끝단까지 커버하도록 배치된다. 이러한 에어 나이프(158)의 경사 배치에 의해, 기판(G)의 표면에 부착하고 있는 린스액을 기판뒤끝단측의 각모서리부에 모아 효율적으로 불어 날려버릴 수 있도록 되어 있다.

송출부(126)는, 건조부(124)와 반출부(128)의 사이의 완충영역을 형성하고 있다. 상기와 같은 일련의 현상처리를 받아 온 기판(G_i)을 송출부(126)로부터 반출부(128)까지 고속으로 한번에 반송함으로써, 반출부(128)에서 반출을 위해 반송방향에서 일시정지하는 해당 기판(G_i)과 택트 타임(T_t) 경과후에 현상처리를 끝내고 오는 후속의 기판(G_{i +1})과의 사이에 충분한 공간적 거리(거리간격)를 확보할 수 있도록 되어 있다.

도 4에 도시한 바와 같이, 현상부(118) 및 린스부(120, 122)에 있어서는, 반송로(112)의 아래에 떨어진 액을 받아 모으기 위한 팬(160, 162)이 각각 설치된다. 이들 팬(160, 162)의 바닥에 설치되어 있는 배액구에는 배액관(164, 166)이 각각 접속되어 있다. 현상부(118)측의 배액관(164)은 현상액 순환재이용시스템(도시하지 않음)으로 통하고 있다. 린스부(120, 122)측의 배액관(166)은 폐액처리부(도시하지 않음)으로 통하고 있다.

도시한 예에서는, 현상부(118)측의 팬(160)과 린스부(120, 122)측의 팬(162)과의 경계부가 현상부(118)의 액공급중단부/린스부(138)의 아래에 설정되어 있다. 이 경계부 부근에는, 액공급중단부/린스부(138)에서 경사자세의 기판(G)에서 떨어져 오는 현상액 또는 린스액을, 현상액은 팬(160)으로, 린스액은 팬(162)으로 각각 선택적으로 향하기 위한 배출액구분수단(도시하지 않음)이 설치된다.

도 6에, 이 현상유니트(DEV)(94)에 있어서의 평류 반송기구의 구성을 모식적으로 나타낸다. 반송로(112)에는, 기판(G)을 거의 수평으로 얹어 놓을 수 있는 반송롤러 또는 굴림대(170)가 프로세스라인(B)(도 4)을 따라 일정간격으로 부설되어 있다.

이 실시형태에서는, 반송로(112)상의 롤러(170)가, 예를 들면 각 모듈 (M₁ ～M₁₀)마다 복수의 구간으로 분할되어, 각 구간마다 독립하여 구동되도록 되어 있다. 보다 상세하게는, 각 모듈 M_n(n=1～10)의 구간에 속하는 롤러(170)는, 개별의 전동기구{172(n)}를 통해 개별의 반송구동부{174(n)}에 구동접속되어 있다. 각 반송구동부{174(n)}는 구동원으로서 예를 들면 전기모터를 가지고 있으며, 전기모터의 구동력에 의해 전동기구{172(n)}를 통해 롤러(170)를 회전운동시켜, 반송로 (112)상에서 거의 수평자세의 기판(G)을 롤러반송에 의해서 프로세스라인(B)의 방향으로 이동시키도록 되어 있다.

반송제어부(176)는, 예를 들면 마이크로컴퓨터로 이루어져, 반송로(112)상의 각 부 및 전체의 기판반송동작을 제어하기 위해서, 전구간의 반송구동부{174 (1) ～174(10)}에 개별의 반송제어신호를 부여한다. 반송제어의 정밀도를 높이기 위해서, 바람직하게는, 반송로(112)상의 기판(G)의 위치를 검출하기 위한 적어도 1개의 센서(도시하지 않음)가 설치되고, 각 센서의 출력이 반송제어부(176)에 접속되어 있다. 또한, 반송제어부(176)는 콘트롤러로서, 호스트 컴퓨터(180)(도 12) 등과도 접속되어 있다.

다음에, 이 현상유니트(DEV)(94)에 있어서 1매의 기판(G_i)에 대하여 행하여지는 일련의 처리공정을 공정순으로 설명한다.

[스텝①]

반입부(114)는, 인접한 기판반송기구(도시하지 않음)로부터 기판(G_i)을 거의 수평으로 리프트 핀(130)으로 받아들이고, 이어서 리프트 핀(130)을 내려 기판(G_i)을 반송로(112)상에, 즉 모듈(M₁)내의 롤러(170) 위에 옮겨 싣는다. 이렇게 반입동작하는 동안에, 기판(G_i)은 반송방향에서 일정위치{리프트핀(130)상}에 미리 설정된 소정시간 즉 반입시간(T₁)(예를 들면 15초)만큼 일시정지한다.

[스텝②]

반송로(112)상에 기판(G_i)이 옮겨 실리면, 모듈(M₁, M₂, M₃)의 반송기구에 의해, 즉시 기판(G_i)은 반송하류측으로 보내지고, 미리 설정된 제 1 이동속도(V₁)(예를 들면 200mm/s)로 도입부(116)를 통하여 현상부(118)로 반송된다. 그리고, 기판(G_i)이 현상부(118)의 제 1 현상액공급부(134)에 반입되면, 모듈(M₃)의 반송기구가 기판(G_i)의 반송을 정지한다.

[스텝③]

제 1 현상액공급부(134)에서는, 미리 설정된 소정의 정지시간 즉 액을 바르는 시간(T₂)(예를 들면 13.2초)의 사이에, 현상액 노즐(140)을 반송방향 또는 그 역방향으로 소정의 속도로 이동시키면서 현상액을 토출시켜, 기판(G_i)의 표면전체에 현상액을 도포한다(액을 바른다). 이 때, 기판(G_i)에서 넘쳐흐른 현상액은 반송로 (112)의 아래에 설치되어 있는 현상액 팬(160)에 받아 모은다. 또, 기판(G_i) 상에 현상액을 중복하여 도포하기 위해 현상액 노즐(140)을 1회 또는 복수회 왕복주사하여도 좋고, 레시피로 임의의 주사패턴을 설정할 수 있다.

[스텝④]

제 1 현상액공급부(134)에서 상기 액을 바르는 시간(T₂)이 경과하면, 모듈 (M₃, M₄, M₅)의 반송기구에 의해, 기판(G_i)은 바로 반송하류측으로 보내지고, 미리 설정된 제 2 이동속도(V₂)(예를 들면 50.5mm/s)로 액공급중단/린스부(138)까지 반송된다. 도중에, 제 2 현상액공급부(136)를 통과할 때에는, 현상액 노즐(146)로부터 이동중인 기판(G)에 현상액이 보급된다. 기판(G_i)이 액공급중단/린스부(138)에 반입되면, 모듈(M₅)의 반송기구가 기판(G_i)의 이동을 정지한다.

[스텝⑤]

액공급중단/린스부(138)에서는, 미리 설정된 소정의 정지시간 즉 액공급중단시간(T₃)(예를 들면 20.5초)의 사이에 현상정지처리가 행하여진다. 우선, 기판경사기구가 작동하여, 기판(G_i)을 수평자세로부터 경사자세로 변환하여, 기판(G_i) 상의 현상액을 중력으로 흘러 떨어뜨린다. 기판(G_i)에서 흘러내린 현상액은 상기 배액구분수단에 의해서 현상액팬(160)측으로 회수된다. 한편으로, 적당한 타이밍으로, 바람직하게는 기판(G_i)의 경사각도가 설정치에 도달하는 거의 동시에, 린스액 노즐(148)을 반송방향 또는 그 역방향으로 소정의 속도로 이동시키면서 경사상태의 기판(G_i)을 향하여 위에서 린스액을 공급하여, 기판(G_i) 상의 액을 린스액으로 치환한다. 이 때, 기판(G)에서 흘러 내린 린스액은 상기 배액구분수단에 의해서 린스액팬(162)측으로 회수된다. 마지막으로, 기판경사기구가 기판(G_i)을 경사자세로부터 수평자세로 되돌린다.

한편, 본 실시형태에서는, 제 1 현상액공급부(134)에서 기판(G_i) 상에 현상액을 바르고 나서 액공급중단/린스부(138)로 액공급중단을 시작하기까지의 시간을 현상시간(T_g)으로 하고, 이 현상시간(T_g)도 미리 설정하도록 되어 있다.

[스텝⑥]

액공급중단/린스부(138)에서 상기 액공급중단시간(T₃)이 경과하면, 모듈(M₅, M₆)의 반송기구에 의해, 기판(G_i)은 즉시 반송하류측으로 보내지고, 미리 설정된 제 3 이동속도(V₃)(예를 들면 50.5mm/s)로 인접한 제 1 린스부(120)로 반송된다. 이 실시형태에서는, 나중에 상술하는 바와 같이, 기판(G_i)이 제 1 린스부(120)를 통과하는 동안에 모듈(M₆)의 반송기구가 이동속도를 상기 제 3 이동속도(V₃)보다도 느린 미리 설정된 제 4 이동속도(V₄)(예를 들면 36.7mm/s)로 감속한다. 제 1 린스부 (120)에서는, 반송로(112)상을 이동하는 기판(G_i)의 상하양면에 린스액 노즐(154)로부터 린스액을 내뿜어, 기판(G_i)에 잔존 또는 부착하고 있는 현상액을 씻어 낸다. 이 때, 기판(G_i)에서 흘러내린 린스액은 린스액팬(162)에 받아 모은다.

[스텝⑦]

기판(G_i)이 모듈(M₆)을 나간 후에도, 모듈(M₇, M₈, M₉)의 반송기구에 의해, 기판(G_i)을 상기 제 4 이동속도(V₄)로 제 2 린스부(122)와 건조부(124)를 통과시켜 송출부(126)까지 반송한다. 제 2 린스부(122)에서도, 반송로(112)상을 이동하는 기판(G_i)에 대하여 상기와 같은 린스처리를 실시한다. 다만, 기판(G)의 이동속도(V₄)가 비교적 느리기 때문에, 제 1 린스부(120)보다도 세밀하게 마무리하여 세정을 할 수 있다. 건조부(124)에서는, 반송로(112)상을 이동하는 기판(G_i)의 상하양면에 에어 나이프(158)로부터 나이프형상의 예리한 기체류를 닿게 하는 것에 의해, 기판 (G_i)에 부착하고 있는 액(주로 린스액)을 기판후방으로 털어낸다. 역시, 기판 (G_i)의 이동속도(V₄)가 느리게 설정되어 있기 때문에, 기체류를 그만큼 다량으로 기판 (G_i)에 닿게 하여, 기판표면을 완전하게 건조할 수 있다.

[스텝⑧]

기판(G_i)이 송출부(126)까지 오면, 모듈(M₉, M₁₀)의 반송기구에 의해, 기판 (G_i)의 이동속도를 그때까지의 제 4 이동속도(V₄)로부터 미리 설정된 고속의 제 5 이동속도(V₅)(예를 들면 200mm/s)로 바꾸어, 인접한 반출부(128)까지 기판(G_i)을 한번에 보낸다.

[스텝⑨]

반출부(128)에서는, 기판(G_i)이 도착하면, 반송로(112)의 아래에 대기하고 있는 리프트 핀(132)을 위쪽으로 들어 올려 기판(G_i)을 수평자세로 들어 올리고, 인접한 기판반송기구(도시하지 않음)로 건네 준다. 이렇게 반출동작하는 동안에, 기판(G_i)은 반송방향의 일정위치{리프트 핀(132)상}에 미리 설정된 소정시간 즉 반출시간(T₄)(예를 들면 15초)만큼 체재하거나 또는 일시정지하게 된다.

이 현상유니트(DEV)(94)에서는, 상기와 같은 평류식의 일련의 처리공정이 파이프라인방식에 의해 택트 타임(T_t)의 시간간격으로 다수의 기판(G_i, G_{i +1}, G_{i +2}, …)에 대하여 반복된다. 여기서 구해지는 것은, 반송로(112)상에서 서로 전후하는 기판(G_i, G_{i +1}) 끼리의 충돌(추돌)을 일으키지 않고서, 각 단계의 공정처리부에서의 처리내용을 최적화하여, 또한 시스템전체의 스루풋을 최대한으로 향상시키는 것이다.

도 7에, 이 현상유니트(DEV)(94)에 있어서 1장의 기판(G_i)이 상기 일련의 처리공정(①～⑨)을 받는 것에 있어서 반송로(112)상을 이동하는 궤적을 기판(G_i)의 앞끝단위치와 뒤끝단위치로 나타낸다. 동 도면에는, 후속의 기판(G_{i +1})에 대해서도 같은 궤적을 점선으로 나타낸다. 또, 반입위치(시점)로부터 반출위치(종점위치)까지의 반송거리(J)도 소정의 값(예를 들면 16900 mm)으로 설정되어 있다.

상기한 바와 같이, 스텝①에서, 기판(G_i)은 반입부(114)에서 반입시간(T₁)(예를 들면 15초)만큼 반송방향에서 일시정지한다. 스텝②에서, 기판(G_i)은 반입부 (114)로부터 도입부(116)를 지나 제 1 현상액공급부(134)까지 고속의 제 1 이동속도(V₁)(예를 들면 200mm/s)로 이동한다. 스텝③에서, 기판(G_i)은 제 1 현상액공급부(134)에서 액을 바르는 시간(T₂)(예를 들면 13.2초)만큼 일시정지 또는 체재한다. 스텝④에서, 기판(G_i)은 제 1현상액공급부(134)로부터 액공급중단/린스부 (138)까지 중간속도의 제 2 이동속도(V₂)(예를 들면 50.5mm/s)로 이동한다. 스텝⑤에서, 기판 (G_i)은 액공급중단/린스부(138)로 액공급중단시간(T₃)(예를 들면 20.5초)만큼 일시정지 또는 체재한다. 스텝⑥에서, 기판(G_i)은 액공급중단/린스부(138)로부터 제 1 린스부(120)까지 중간속도의 제 3 이동속도(V₃)(예를 들면 50.5mm/s)로 이동하고, 제 1 린스부(120)를 통과할 때에 이동속도를 제 3 이동속도(V₃)로부터 저속의 제 4 이동속도(V₄)(예를 들면 36.7mm/s)로 변경한다. 스텝⑦에서, 기판(G_i)은 제 2 린스부(122) 및 건조부(124)를 지나 송출부(126)까지 제 4 이동속도(V₄)로 이동한다. 스텝⑧에서, 기판(G_i)은 송출부(126)로부터 반출부(128)까지 고속의 제 5 이동속도 (V₅)(예를 들면 200mm/s)로 이동한다. 마지막으로, 스텝⑧에서, 기판(G_i)은 반출부 (128)에서 반출시간(T₄)(예를 들면 15초)만큼 반송방향에서 일시정지하고 나서 현상유니트(DEV)(94)의 외부로 반출된다.

이 예의 반송 시퀀스에 있어서, 가장 긴 정지시간은 액공급중단/린스부(138)에 있어서의 액공급중단시간(T₃)(20.5초)이고, 가장 느린 이동속도는 제 1 린스부(120)로부터 송출부(126)에 걸쳐서의 제 4 이동속도(V₄)(36.7mm/s)이다.

이 실시형태에서는, 각 공정처리부의 처리내용에 따라서 반송로(112)상의 각 부분에서 기판(G_i)을 일시정지시키거나 반송속도를 변경하는 장면이 많이 있고, 비교적 복잡한 반송 시퀀스로 되어 있다. 여기서 문제가 되는 것은, 반송방향에서 이동속도에 대한 기판(G_i)의 길이 사이즈(예를 들면 1430mm)가 길기 때문에, 기판 (G_i)의 앞끝단위치와 뒤끝단위치의 사이에 상당한 이동시간차가 생기는(이동속도가 40mm/S의 경우는 35.8초) 것과, 같은 반송로(112)상에서 다른 기판(G_{i +1})이 택트 타임(T_t)의 시간간격(예를 들면 60초)을 두고 계속해서 뒤따르는 것이고, 반송속도의 설정을 잘못하면 정지중 또는 감속시의 기판(G_i)은 뒤에서 오는 기판(G_{i +1})이 추돌할 가능성이 있다.

도 7에 도시한 바와 같이, 이 실시형태의 예에서는, 제 1 린스부(120)에서 기판(G_i)의 이동속도를 중간속도의 제 3 이동속도(V₃)(예를 들면 50.5mm/s)로부터 가장 느린 제 4 이동속도(V₄)(36.7mm/s)로 바꾼 직후근방에, 기판(G_i)의 뒤끝단의 바로 뒤에 기판(G_{i +1})의 앞끝단이 접근해 나가지만, 본 발명에 따라서 반송속도가 안전권으로 제어되고 있기 때문에, 추돌할 때까지는 이르지 않는다.

여기서, 도 8～도 11에 대하여, 평류방식에 있어서의 기판의 반송속도에 관한 본 발명의 기본원칙을 설명한다.

[기본원칙 1]

기판(G)의 반송방향의 길이를 D, 반송로(112)상에 택트 타임(T_t)의 시간간격으로 기판(G)이 투입된다고 하면, 본 발명의 제 1 기본원칙에 의하면, 반송로(112)상에서 기판(G)을 한번도 멈추지 않고서 연속이동으로 반송하는 경우에 추돌을 피하기 위한 최저의 이동속도 즉 하한이동속도(V_low)는 하기의 식(1)로 주어진다.

V_low = D/T …(1)

도 8에 대하여, 제 1 기본원칙을 설명한다. 지금, 반송로(112)상에서 이동중인 기판(G_i)가 시점(t_a)에서 임의의 위치(P_a)에 위치하고 있다고 하면, 이 시점(t_a)에서 택트 타임(T_t)의 경과후의 시점(t_c)에는 후속의 기판(G_{i +1})이 이 위치(P_a)까지 이동하여 오기 때문에, 시점(t_a)에서 시점(t_c)의 사이에 기판(G_i)이 적어도 기판길이(D)의 거리만큼 전방으로 이동하면, 해당 위치(P_a)를 떠나 기판(G_{i +1})과의 추돌을 피할 수 있다. 따라서, 이 조건이 성립하기 위한 하한이동속도(V_low)는, 택트 타임(T_t)의 사이에 기판길이(D)의 거리만큼 이동하는 속도로서, 상기의 식(1)로 주어진다.

다만, 통상의 평류시스템에서는, 추돌의 가능성을 극력 피하기 위해서, 반송로(112)상에 적당한 최소기판간격(d)을 설정하여, 앞선 기판(G_i)에 뒤따르는 기판 (G_i+1)이 최소기판간격(d)보다도 접근하지 않도록 하고 있다. 이 경우는, 도 9에 도시한 바와 같이, 실제의 기판길이(D)에 최소기판간격(d)을 서로 보충한 길이 (D')(D+d)를 반송상의 기판길이로 간주하여도 좋고, 상기 식(1) 대신에 하기의 식(2)를 사용하여도 좋다.

V_low = (D+d)/T_t ‥‥‥ (2)

[기본원칙 2]

본 발명의 제 2 기본원칙에 의하면, 반송로(112)상에서 기판(G)을 임의의 시간(T_s)만큼 일시정지시키는 경우에 추돌을 피하기 위한 하한이동속도 (V_low)는 하기의 식(3)으로 주어진다.

V_low = (D + d)/(Tt - T_s)‥‥‥(3)

도 10에, 일시정지 후의 최저속도조건을 나타낸다. 한편, 설명을 간단히 하기 위해서, 최소기판간격(d)을 영(d=0)으로 한다. 지금, 반송로(112)상의 임의의 위치(P_a)에 시점(t_a)에서 기판(G_i)이 도착한 것으로 한다. 이 시점(t_a)으로부터 택트 타임(T_t)이 경과한 시점(t_c)에는 후속의 기판(G_{i +1})이 이 위치(P_a)까지 이동하여 오는 바, 시점(t_a)에서 정지시간(T_s) 후의 시점(t_b)까지 기판(G_i)은 해당 위치(P_a)에 멈추고 있기 때문에, 시점(t_b)로부터 시점(t_c)까지의 나머지의 시간(T_t-T_s)의 사이에 기판(G_i)이 적어도 기판길이(D)의 거리만큼 전방으로 이동하면, 해당 정지위치(P_a)를 떠나 후속기판(G_{i +1})과의 추돌을 피할 수 있다. 따라서, 이 조건이 성립하기 위한 하한이동속도(V_low)는, 택트 타임(T_t)에서 정지시간(T_s)을 뺀 시간(T_t-T_s)의 사이에 기판길이(D)의 거리만큼 이동하는 속도로서, 상기의 식(3)으로 주어진다.

도 11에, 일시정지 전의 최저속도조건을 나타낸다. 상기와 같이, 설명을 간단히 하기 위해서, 최소기판간격(d)을 영(d=O)으로 한다. 지금, 시점(t_a)에서, 반송로(112)상에서 이동중인 기판(G_i)이 정지위치(P_b)보다도 기판길이(D)만큼 앞선(상류측)의 위치(P_a)에 위치하고 있는 것으로 한다. 이 시점(t_a)에서 택트 타임(T_t)의 경과후의 시점(t_c)에 후속의 기판(G_{i +1})이 이 위치(P_a)에 도착하기 때문에, 이 때에 기판(G_i)이 적어도 해당 위치(P_a)보다 기판길이(D)의 거리만큼 전방의 위치 즉 정지위치(P_b)까지 이동하고 있으면, 추돌을 피할 수 있다. 그런데, 이 경우는, 기판 (G_i)이 정지위치(P_b)에서 시간(T_s)만큼 시간을 끌기(정지시키기) 때문에, 시점(t_a)에서 늦어도 정지개시의 시점(t_b)까지 정지위치(P_b)에 도착하지 않고 있으면 안된다. 따라서, 이 조건이 성립하기 위한 하한이동속도(V_low)는, 택트 타임(T_t)으로부터 정지시간(T_s)을 뺀 시간(T_t-T_s) 사이에 기판길이(D)의 거리만큼 이동하는 속도로서, 역시 상기의 식(3)으로 주어진다.

[기본원칙 3]

본 발명의 제 3 기본원칙에 의하면, 반송로(112)상에서 기판(G)을 일시정지하는 경우의 정지시간(T_s)은 택트 타임(T_t)보다도 짧지 않으면 안된다. 이 원칙은, 상기 식(3)으로부터도 유도된다. 즉, 정지시간(T_s)을 길게 할수록 하한이동속도 (V_low)가 증대하여, T_s가 T_t에 근접하면 V_low가 실현불가능한만큼 커지기 때문에, 자명한 원칙이다.

도 12에, 이 실시형태에 있어서의 제어계의 구성을 나타낸다. 입력부(178)는, 예를 들면 키보드나 디스플레이 등을 가진 조작반으로 이루어지며, 기판(G)의 속성(특히 사이즈)이나 처리조건에 관한 여러가지 설정치를 입력한다. 호스트 컴퓨터(180)는, 입력된 조건설정치 및 소정의 연산처리에 의해서 구한 조건설정치 기타 레시피정보를 내장의 메모리에 저장하고, 소정의 프로그램 및 조건설정치 내지 레시피정보에 따라서 현상유니트(DEV)(94)내의 각 공정처리부, 특히 반입부(114), 제 1 현상액공급부(134, ‥‥), 반출부(128)의 동작과 반송제어부(176)의 동작을 통괄제어한다. 도 13에, 이 실시형태에 있어서의 조건설정치의 예를 나타낸다.

이 실시형태의 평류시스템에서는, 상기한 바와 같이 반송로(112)상에서 기판(G)을 적어도 1회 이상 일시정지시키기 때문에, 본 발명의 제 2 기본원칙이 적용된다. 이 경우, 복수회의 일시정지 중인 가장 긴 정지시간(T_s)에서 구해지는 하한이동속도(V_low)가 시스템전체의 최저속도조건을 율칙(律則)한다. 상기의 예(도 13)에서는, 반입부(114), 제 1 현상액공급부(134), 액공급중단/린스부(138) 및 반출부 (128)의 4개소에서 일시정지가 행하여지며, 그 중에서 최대의 정지시간(T_s)은 액공급중단/린스부(138)에 있어서의 액을 바르는 시간(T₃)(20.5초)이다. 따라서, 상기 식(3)으로부터 하한이동속도(V_low)는 아래와 같이 하여 구해진다.

V_low = (D + d)/(T_t - T_s)

= (1430 + 20)/(60 - 20.5)

= 36.7(mm/s) ‥‥‥ (4)

이 하한이동속도(V_low)의 값(36.7mm/s)은 기판(G)을 제 1 린스부(120)로부터 송출부(126)까지 이동시킬 때의 제 4 이동속도(V₄)의 설정치와 같다. 즉, 제 4 이동속도(V₄)는 본 발명의 제 2 기본원칙의 요건을 겨우 클리어하고 있게 된다. 따라서, 상기한 바와 같이 제 1 린스부(120) 부근에서 기판(G_i)의 뒤끝단에 기판(G_{i +1})의 앞끝단이 접근하여 온다고 하더라도, 그 접근거리는 최소기판간격(d)(20mm/s)보다 작아지는 경우는 없다.

그런데, 이 현상유니트(DEV)(94)에 있어서의 처리조건중에서도, 현상시간 (T_g)은 현상처리의 수단 또는 품질에 가장 영향을 주는 조건이고, 또한 현상액의 종류나 리사이클회수 등에 따라 빈번하고 또한 광범위하게 변경되는 조건이기도 하다. 이러한 현상시간(T_g)은 상기 스텝⑤의 설명중에서 상술한 바와 같이, 예를 들면 제 1 현상액공급부(134)에서 기판(G_i) 상에 현상액의 바르기를 시작하고 나서 액공급중단/린스부(138)로 액공급중단을 시작하기까지의 시간으로 하여도 좋다. 따라서, 현상시간(T_g)의 설정치가 부여되면, 현상중의 이동속도 즉 제 2 이동속도(V₂)의 임시 설정치(V_D)가 하기의 식(s)으로부터 구해진다.

V_D = L/(T_g - T₂) ‥‥‥ (5)

여기서, T₂는 상기 액을 바르는 시간이고, L은 제 1 현상액공급부(134)의 액바름정지위치로부터 액공급중단/린스부(138)의 액공급중단정지위치까지 기판(G)이 이동하는 거리이다.

이 현상유니트(DEV)(94)에 있어서, 상기 이동거리(L)가 예를 들면 2868mm이라고 하면, 도 13의 설정예에서는, 현상시간(T_g)이 60초, 액바름시간(T₂)이 2초이기 때문에, 상기 식(5)로부터 구해지는 제 2 이동속도(V₂)의 임시 설정치(V_D)는 아래와 같다.

V_D = 2363/(60 - 13.2)

= 50.5mm/s ‥‥‥(6)

이 제 2 이동속도(V₂)의 임시 설정치(V_D)는, 하한이동속도(V_low)(36.7mm/s)보다도 빠르고, 본 발명의 제 2 기본원칙의 요건을 만족하고 있다. 따라서, 호스트 컴퓨터(180)에 있어서, 이 임시 설정치(V_D)를 정규의 설정치로서 등록하여, 실제의 반송제어에 사용하여도 좋다.

그런데, 현상시간(T_g)을 길게 하여, 예를 들면 78초로 설정하면, 상기 식(5)로부터 구해지는 제 2 이동속도(V₂)의 임시 설정치(V_D)는 36.5mm/s가 되고 하한이동속도(V_low)(36.7mm/s)보다도 느려져 버려, 본 발명의 제 2 기본원칙의 요건을 만족하지 않게 된다. 이 경우는, 호스트 컴퓨터(180)가, 디스플레이를 통하여 이 설정치(V_D)가 적당하지 않은 것을 경고하여 현상시간(T_g)의 재설정입력을 요구하거나, 혹은 하한이동속도(V_low)에 대응하는 현상시간(T_g) 즉 본 발명의 제 2 기본원칙의 조건을 만족하는 상한의 현상시간을 넘는 입력값은 접수하지 않도록 인터로크를 걸도록 하여도 좋다. 물론, 상한현상시간의 값을 표시출력하여도 좋다. 또한, 액을 바르는 시간(T₂)에 대해서도, 상기와 같은 설정입력처리를 할 수 있다.

상기한 바와 같이, 이 실시형태에서는, 반송로(112)상에서 복수의 피처리기판(‥‥, G_i, G_{i +1}, ‥‥)을 원하는 택트 타임(T_t)으로 적어도 1회 이상의 일시정지를 포함해서 차례로 반송하여, 반송로(112)상에서 정지 또는 이동중인 기판(G)에 대하여 일련의 현상처리공정을 하는 현상유니트(DEV)(94)에 있어서, 택트 타임(T_t)과 기판(G)이 일시정지하는 정지시간중의 최대정지시간(T_s)과 기판의 반송방향의 길이 사이즈(D)와 반송방향에서의 원하는 최소기판간격(d)에 기초하여 기판(G)의 하한이동속도(V_low)를 결정하여, 반송로(112)상에서 기판(G)을 이동시키는 속도를 하한이동속도(V_low)이상의 속도로 설정한다. 이러한 반송속도제한에 의하면, 기판길이(D), 택트 타임(T_t), 최소기판간격(d), 최대정지시간(T_s)의 각 조건에 대하여 워크(기판)의 사양이나 스루풋, 풋프린트 등의 관점에서 원하는 값이 설정되면, 그들 설정치에 따른 정확한 속도로 기판(G)을 이동시켜, 서로 전후한 기판(G_i, G_{i +1}) 사이의 추돌사고를 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 현상시간(T_g)과 액을 바르는 시간(T₂){현상액공급시간(T_a)}과 현상중의 이동거리(L)에 기초하여 현상중의 이동속도 즉 제 2 이동속도(V₂)의 임시 설정치 (V_D)를 구하고, 임시 설정치(V_D)가 하한이동속도(V_low)이상인 경우에 이것을 정규의 설정치로서 채용하도록 하고 있기 때문에, 기판의 추돌사고를 피할 수 있는 기판이동속도하에서 원하는 현상처리품질을 얻을 수 있다.

다음에, 이 실시형태에 있어서 기판(G)의 이동속도를 안전하고 또한 효율적으로 감속하기 위한 기구 및 반송제어방법을 설명한다. 상술한 바와 같이, 현상유니트(DEV)(94)에서는, 기판(G_i)이 제 1 린스부(120)를 통과하는 동안에 모듈(M₆)의 반송기구가 이동속도를 제 3 이동속도(V₃)(50.5mm/s)로부터 제 4 이동속도(V₄)(36.7 mm/s)로 감속한다. 그 때는, 해당 기판(G_i)에 후속의 기판(G_{i +1})이 추돌하는 것을 피할 뿐만 아니라, 양 기판(G_i, G_{i +1})에 각각의 이동위치에 따른 설정이동속도를 부여하지 않으면 안된다. 감속후의 이동속도(V₄)가 하한이동속도(V_low)부근까지 느려지고, 더구나 최소기판간격(d)이 작은 경우는, 양 기판(G_i, G_{i +1})이 근접하여 이동하기 때문에, 양 기판(G_i, G_{i +1})에 다른 설정이동속도를 동시에 부여하는 것은 매우 어려워진다. 이 실시형태에서는, 도 14 및 도 15에 도시한 바와 같이 하여 이 문제를 해결하고 있다.

도 14에 도시한 바와 같이, 감속의 속도전환을 하기 위해서, 제 1 린스부 (120)가 설정되는 모듈(M₆)의 반송구간이, 반송방향에서 앞끝단구간(M_6a)과 뒤끝단구간(M_6b)으로 2분할되어, 양 반송구간(M_6a,M_6b)에 속하는 롤러(170)는 도 6에 나타내는 기구로 각각 개별의 전동기구{172(6a), 172(6b)}를 통해 개별의 반송구동부 {174(6a), 174(6b)}에 접속되어 있다. 바람직하게는, 반송방향에서 양 반송구간 (M_6a, M_6b)을 서로 보충한 길이, 즉 모듈(M₆)의 구간길이가 기판길이(D)와 거의 같아도 된다. 각 반송구간(M_6a, M_6b)의 구간길이(E_a, E_b) 및 양 구간의 경계의 위치(H)에 대해서는 도 15에 대하여 나중에 상세하게 설명한다.

도 14에 대하여, 이 실시형태에 있어서의 감속을 위한 속도전환제어방법을 설명한다. 도 14의 (A)에 도시한 바와 같이, 반송로(112)상에서 기판(G_i)은 모듈 (M₅)의 구간내의 소정위치(액공급중단정지위치)(P₅)로부터 반송속도(V₃)로 모듈(M₆)의 구간으로 들어온다. 이 때, 모듈(M₆)의 앞끝단구간(M_6a) 및 뒤끝단구간(M_6b)의 반송기구는, 도 14의 (B)에 도시한 바와 같이, 각각의 구간(M_6a, M_6b)에 들어오는 기판(G_i)을 반송속도(V₃)로 차례로 맞이한다. 이렇게 해서, 기판(G_i)은 모듈(M₆)(M_6a, M_6b)의 구간내에 쑥 완전히 들어갈 때까지 반송속도(V₃)로 이동해 나간다. 그리고, 기판(G_i)의 전체가 모듈(M₆)(M_6a, M_6b)의 구간내에 쑥 완전히 들어가는 거의 동시에, 도 14의 (C)에 도시한 바와 같이, 양반송구간(M_6a, M_6b)의 반송기구가 반송속도를 그때까지의 반송속도(V₃)로부터 저속의 반송속도(V₄)로 동시에 전환한다. 한편, 모듈(M₇)의 구간에서는, 늦어도 이 때에는, 혹은 정상적으로 이 구간내의 반송속도를 반송속도(V₄)로 유지하고 있다. 이렇게 해서, 모듈{M₆(M_6a, M_6b), M₇}의 반송기구에 의해, 기판(G_i)은 모듈(M₆)(M_6a, M_6b) 중에서 반송속도(V₄)로 모듈(M₇)의 구간으로 보내진다.

그리고, 도 14의 (D)에 도시한 바와 같이, 기판(G_i)의 뒤끝단이 모듈 (M₆)의 앞끝단구간(M_6a)을 빠져 나오면, 이 시점 또는 직후에 앞끝단구간(M_6a)의 반송속도가 반송속도(V₄)로부터 반송속도(V₃)로 전환된다. 이에 따라, 도 14의 (E)에 도시한 바와 같이, 모듈(M₅)의 구간에서 모듈(M₆)의 앞끝단구간(M_6a)에 들어갈 때까지 후속의 기판(G_{i +1})을 앞선 기판(G_i)에 대한 것과 같은 반송속도(V₃)로 맞이할 수 있다. 한편, 기판(G_i)의 뒤끝단이 모듈(M₆)의 뒤끝단구간(M_6b)을 나가면, 이 시점 또는 직후에 뒤끝단구간(M_6b)의 반송속도가 제 4 반송속도(V₄)로부터 제 3 반송속도(V₃)로 전환된다. 이에 따라 도 14(E)에 도시한 바와 같이, 모듈(M₆)의 앞끝단구간(M_6a)에서부터 뒤끝단구간(M_6b)으로 들어가는 후속의 기판(G_{i +1})을 앞선 기판(G_i)에 대한 것과 같은 속도(V₄)로 맞이할 수 있다. 이후에도, 앞선 기판(G_i)에 대한 것과 같은 동작이 각 부에서 반복된다.

이와 같이, 이 실시형태에서는, 기판길이(D)와 거의 같은 구간길이로 설정된 모듈(M₆)의 반송구간을 반송방향에서 독립적으로 속도제한이 가능한 앞끝단구간 (M_6a)과 뒤끝단구간(M_6b)으로 2분할하여, 양 구간(M_6a, M_6b)의 반송속도를 각각 소정의 타이밍으로 제 3 반송속도(V₃) 또는 제 4 반송속도(V₄)중의 어느 하나로 선택적으로 전환함으로써, 최소한의 반송 스페이스에서 효율적으로 또한 추돌없이 기판의 반송속도를 하한이동속도(V_low) 이상의 원하는 값으로 감속시킬 수 있다.

이러한 감속의 속도제한에 있어서는, 양 구간(M_6a, M_6b) 중의 어느 하나{통상적으로는 앞끝단구간(M_6a)}로 앞선 기판(G_i)을 제 4 이동속도(V₄)로 보내고 있는 도중에 해당 구간내에 후속의 기판(G_{i +1})이 제 3 이동속도(V₃)로 들어오는, 소위 동시에 들어가는 사태를 피할 필요가 있다. 그러한 동시에 들어가는 사태가 생길 때는, 후속의 기판(G_{i +1})이 기판앞부분이 제 4 이동속도(V₄)로 반송되면서 동시에 기판뒷부분이 제 3 이동속도(V₃)로 반송되게 되어, 안정된 롤러반송은 할 수 없게 된다. 이 실시형태에서는, 모듈(M₆)에 있어서의 앞끝단구간(M_6a)과 뒤끝단구간(M_6b)의 사이의 경계위치(H)를 아래와 같이 하여 설정함으로써, 상기의 문제를 해결하고 있다.

즉, 도 15에 도시한 바와 같이, 기판(G_i)이 모듈(M₆)의 구간내에 쑥 완전히 들어간 상태로부터 제 4 이동속도(V₄)로 이동하여 그 기판뒤끝단이 모듈(M₆)의 앞끝단구간(M_6a)에서 나갈 때까지 후속의 기판(G_{i +1})이 아직 앞끝단구간(M_6a)에 들어와 있지 않으면 좋다. 이 조건이 성립하는 가장 엄격한 국면은, 감속후의 제 4 이동속도(V₄)가 하한이동속도(V_low)와 거의 같고, 더구나 감속전의 제 3 이동속도(V₃)가 제 4 이동속도(V₄)보다 약간 빠른 경우이다. 이 경우, 기판(G_i)의 뒤끝단이 제 4 이동속도(V₄)로 앞끝단구간(M_6a)에서 나가는 것과 동시에, 기판(G_{i +1})의 앞끝단이 최소기판간격(d)을 두고 제 3 이동속도(V₃)로 앞끝단구간(M_6a)에 들어오기 때문에, 이 순간에 앞끝단구간(M_6a)의 반송속도를 제 4 이동속도(V₄)로부터 제 3 이동속도(V₃)로 전환되면 된다. 이 때의 기판(G_i)의 뒤끝단위치는, 후속기판(G_{i +1})의 현재위치 즉 모듈(M₅)의 구간내의 기판정지위치(P₅)로부터 기판(G_i)이 근사적으로 하한이동속도 (V_low)와 같은 이동속도로 택트 타임(T_t)의 시간을 들여 이동한 시점에서의 기판(G_i)의 뒤끝단위치로서 구할 수 있어, 이 위치를 양 구간(M_6a, M_6b)의 경계위치(H)로 결정할 수가 있다. 상기의 설정예의 경우, 기판길이(D)=1250mm, 최소기판간격 (d)= 20mm, 택트 타임(T_t)=60초, 하한이동속도(V_low)=36.7mm/s이기 때문에, 모듈(M₆)의 앞끝단구간(M_6a) 및 뒤끝단구간(M_6b)의 각각의 구간길이(E_a, E_b)는 E_a=932mm, E_b=318mm로 결정된다.

상기한 실시형태의 현상유니트(DEV)(94)에 있어서의 각 부의 구성은 일례이고, 현상액공급부, 린스부, 건조부 등의 각 공정처리부에 있어서 여러가지 변형이 가능하다. 상기한 실시형태에서는 반송로(112)를 롤러반송형으로 구성하였지만, 일정한 간격을 비워두고 한 쌍의 벨트를 수평방향으로 부설하여 이루어지는 벨트반송형 등으로 구성하는 것도 가능하다.

상기한 실시형태는 현상유니트 또는 현상처리장치에 관한 것이었지만, 본 발명은 현상처리장치 이외의 기판처리장치에도 적용할 수 있고, 예를 들면 상기와 같은 도포현상처리 시스템에 있어서는 스크러버세정유니트(SCR)(42)의 수평장치에도 적용할 수 있다. 본 발명에 있어서의 피처리기판은 LCD기판에 한정되는 것이 아니라, 플랫 패널 디스플레이용의 각종기판이나, 반도체웨이퍼, CD기판, 유리기판, 포토마스크, 프린트기판 등도 가능하다.

10 : 도포현상처리 시스템 16(P/S) : 프로세스스테이션
94(DEV) : 현상유니트 114 : 반입부
116 : 도입부 118 : 현상부
120 : 제 1 린스부 122 : 제 2 린스부
124 : 건조부 126 : 송출부
128 : 반출부 134 : 제 1 현상액공급부
136 : 제 2 현상액공급부 138 : 액공급중단/린스부
140, 146 : 현상액 노즐 148, 154, 156 : 린스액 노즐
158 : 에어 나이프 170 : 롤러
172 : 전동기구 174 : 반송구동부
176 : 반송제어부 178 : 입력부
180 : 호스트 컴퓨터

Claims (12)

1. 반송로상에서 복수의 피처리기판을 원하는 택트 타임(T_t)으로 적어도 1회의 일시정지를 포함해서 차례로 반송하여, 반송 도중에 상기 반송로상의 상기 기판에 현상처리를 실시하는 현상처리방법으로서,
   상기 반송로상의 제 1 정지위치에서 상기 기판을 일시정지시켜 상기 기판에 현상액을 공급하는 현상액공급공정과,
   상기 반송로상에서 상기 제 1 정지위치로부터 반송하류측에 소정의 거리만큼 떨어진 제 2 정지위치까지 상기 기판을 제 1 속도로 이동시키는 기판반송공정과,
   상기 제 2 정지위치에서 상기 기판으로부터 상기 현상액을 실질적으로 제거하여 현상을 정지하는 현상정지공정과,
   상기 택트 타임(T_t)과 상기 기판이 일시정지하는 최대의 정지시간(T_s)과 상기 기판의 반송방향의 길이 사이즈(D)와 반송방향에서의 원하는 최소기판간격(d)에 기초하여 상기 기판의 하한이동속도(V_low)를 결정하는 하한이동속도 결정공정과,
   상기 반송로상의 상기 제 1 정지위치에서 상기 기판에 대한 현상액의 공급을 시작하고 나서 상기 제 2 정지위치에서 현상을 정지하기까지의 현상시간(T_g)에 대하여 원하는 설정치를 부여하는 현상시간설정공정과,
   상기 반송로상의 상기 제 1 정지위치에서 상기 기판에 대한 현상액의 공급을 시작하고 나서 상기 제 2 정지위치를 향한 상기 기판의 이동을 시작하기까지의 현상액공급시간(T_a)에 대하여 원하는 설정치를 부여하는 현상액공급시간설정공정과,
   상기 현상시간설정치(T_g)와 상기 현상액공급시간설정치(T_a)와 상기 제 1 정지위치로부터 상기 제 2 정지위치까지의 이동거리(L)에 기초하여 상기 제 1 속도의 임시 설정치(V_D)를 구하는 속도임시설정치 연산공정과,
   상기 제 1 속도의 임시 설정치를 상기 하한이동속도(V_low)와 비교하여, 상기 하한이동속도(V_low) 이상의 경우에 정규의 설정치로 하는 속도설정치 결정공정을 가진 현상처리방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 하한이동속도(V_low)가 하기의 식(7)으로 구해지는 현상처리방법.
   V_low = (D+d)/(T_t-T_s)‥‥‥ (7)
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 속도의 임시 설정치(V_D)가 하기의 식(8)으로 구해지는 현상처리방법.
   V_D = L/(T_g - T_a) ‥‥‥ (8)
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 현상액공급공정이, 상기 제 1 정지위치에서 정지중인 상기 기판에 대하여, 상기 반송로를 따라 소정의 속도로 이동하는 제 1 노즐로부터 현상액을 공급하는 공정을 포함하는 현상처리방법.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 현상정지공정이, 상기 제 2 정지위치에서 상기 기판을 경사지게 하여 상기 기판으로부터 상기 현상액을 중력으로 흘려 떨어뜨리는 기판경사공정을 포함하는 현상처리방법.
6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 현상정지공정이, 상기 제 2 정지위치에서 정지중인 상기 기판에 대하여, 상기 반송로를 따라 소정의 속도로 이동하는 제 2 노즐로부터 린스액을 공급하는 공정을 포함하는 현상처리방법.
7. 피처리기판을 수평으로 실어 반송하기 위한 반송체를 수평방향으로 부설하여 이루어지는 반송로와,
   상기 반송로상에서 상기 기판을 이동시키기 위해서 상기 반송체를 구동하는 반송구동수단과,
   소정의 택트 타임(T_t)으로 상기 반송로상에 상기 기판을 반입하는 기판반입부와,
   상기 반송로상의 제 1 정지위치에서 상기 기판을 일시정지시켜 상기 기판에 현상액을 공급하는 현상액공급부와,
   상기 반송로상에서 상기 제 1 정지위치로부터 반송하류측에 소정의 거리만큼 떨어진 제 2 정지위치까지 상기 기판을 제 1 속도로 이동시키는 기판반송부와,
   상기 제 2 정지위치에서 상기 기판으로부터 상기 현상액을 실질적으로 제거하여 현상을 정지하는 현상정지부와,
   상기 반송로상에서 처리가 끝난 상기 기판을 반출하는 기판반출부와,
   상기 반송로상에 설정된 1개 또는 복수의 정지위치에서 상기 기판을 각각 소정의 정지시간만큼 일시정지시키는 정지수단과,
   상기 택트 타임(T_t)과 상기 기판이 정지하는 최대의 정지시간(T_s)과 상기 기판의 반송방향의 길이 사이즈(D)와 반송방향에서의 원하는 최소기판간격(d)에 기초하여 상기 기판의 하한이동속도(V_low)를 구하는 하한이동속도연산수단과,
   상기 반송로상의 상기 제 1 정지위치에서 상기 기판에 대한 현상액의 공급을 시작하고 나서 상기 제 2 정지위치에서 현상을 정지하기까지의 현상시간(T_g)에 대하여 원하는 설정치를 부여하는 현상시간 설정수단과,
   상기 반송로상의 상기 제 1 정지위치에서 상기 기판에 대한 현상액의 공급을 시작하고 나서 상기 제 2 정지위치를 향한 상기 기판의 이동을 시작하기까지의 현상액공급시간(T_a)에 대하여 원하는 설정치를 부여하는 현상액공급시간 설정수단과,
   상기 현상시간설정치(T_g)와 상기 현상액공급시간설정치(T_a)와 상기 제 1 정지위치로부터 상기 제 2 정지위치까지의 이동거리(L)에 기초하여 상기 제 1 속도의 임시 설정치(V_D)를 구하는 속도임시 설정치 연산수단과,
   상기 제 1 속도의 임시 설정치를 상기 하한이동속도(V_low)와 비교하여, 상기 하한이동속도(V_low) 이상인 경우에 정규의 설정치로 하는 속도설정치 결정수단을 가진 현상처리장치.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 하한이동속도 연산수단이 하기의 식(9)을 연산하여 상기 하한이동속도(V_low)를 구하는 현상처리장치.
   V_low = (D+d)/(T_t-T_s)‥‥‥ (9)
9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 속도임시 설정치 연산수단이 하기의 식(10)을 연산하여 상기 제 1 속도의 임시 설정치(V_D)를 구하는 현상처리장치.
   V_D = L/(T_g - T_a) ‥‥‥(10)
10. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 현상액 공급부가, 상기 제 1 정지위치에서 정지중인 상기 기판에 대하여, 상기 반송로를 따라 소정의 속도로 이동하면서 현상액을 공급하는 제 1 노즐을 가진 현상처리장치.
11. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 현상정지부가, 상기 제 2 정지위치에서 상기 기판을 경사지게 하여 상기 기판으로부터 상기 현상액을 중력으로 흘려 떨어뜨리는 기판경사수단을 가지는 현상처리장치.
12. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 현상정지부가, 상기 제 2 정지위치에서 정지중인 상기 기판에 대하여, 상기 반송로를 따라 소정의 속도로 이동하면서 린스액을 공급하는 제 2 노즐을 가진 현상처리장치.

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