KR101126588B1 - 액체 재생 장치, 재생 시스템 및 재생 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 액체 재생 장치는, 처리 장치로부터 피처리 부재를 세정한 사용이 끝난 세정액(이하「사용 세정액」이라 한다) 을 회수하여 재생하고, 재생된 세정액(이하「재생 세정액」이라 한다」)을 다시 상기 처리장치로 공급하는 액체 재생 장치에 있어서, 상기 사용 세정액의 회수 및 재생, 및 재생 세정액의 공급을 실시하는 제1 및 제2 유닛을 포함하고, 각각의 유닛은, 상기 처리 장치에 접속하여 설치되며, 상기 사용 세정액을 회수하는 회수 수단; 상기 회수 수단에 접속하여 설치되며, 상기 회수 수단에 의해 회수된 상기 사용 세정액을 수용하여 재생하는 재생 수단; 상기 재생 수단에 접속하여 설치되며, 상기 재생 수단에 의해 재생된 상기 재생 세정액을 저장하는 저장 수단; 상기 저장 수단 및 상기 처리 장치에 접속하여 설치되며, 상기 재생 세정액을 상기 처리 장치로 공급하는 공급 수단을 포함하고, 상기 제1 유닛이 상기 사용 세정액을 회수하고 있을 때, 상기 제2 유닛이 미리 회수된 상기 사용 세정액을 재생할 수 있는 것을 특징으로 한다.
재생, 세정액

Description

액체 재생 장치, 재생 시스템 및 재생 방법{REGENERATING OF WASHING LIQUID APPARATUS, REGENERATING OF WASHING LIQUID SYSTEM AND METHOD OF REGENERATION}
본 출원은, 2006년 12월 27일자 PCT출원번호 PCT/JP2006/326079에 근거하여 그 우선권을 주장하며, 이전 출원의 전체 내용은 여기에 참조되며 본 출원에 편입된다.
본 발명은 액정이나 반도체 등에서 사용하는 세정액 및 그 외 액체에 대한 액체 재생 장치, 재생 시스템 및 재생 방법에 관한 것이다.
종래의 세정액 등은, 일단 사용된 후 그대로 폐기되거나, 폐기 탱크에 저장되고 별도 재생 처리되어 동일한 세정액 등으로, 혹은 다른 용도로 사용되어 왔다. 예를 들면, 슬릿 노즐로 도포를 실시하는 방법에서는, 도포 공정에서 기판의 도포가 불필요한 부분이나 장치의 세정 등에서 지금도 대량의 세정액이 사용되고 있으며, 이러한 사용이 끝난 세정액은 소정의 탱크에 모아 두고 별도의 처리를 하여왔다. 이러한 처리의 결과, 재생 세정액을 다음과 같은 경우에 사용하는 것이 가능하였다.
즉, 항상 표면을 청정하게 해 둘 필요가 있는 프라이밍 롤러는 다량의 세정액에 의해 세정되고 있지만, 미사용된 세정액 만으로 세정하면 다량의 세정액의 사용과 다량의 사용이 끝난 세정액의 폐기가 필요하므로 자원 절약에 반하는 것이었다. 그래서, 예를 들면, 특허문헌 1에서는 프라이밍 롤러의 세정에 한번 사용한 세정액(상술의 별도 재생 처리한 세정액)을 예비 세정에 사용하고, 마무리에 깨끗한 세정액(미사용 세정액)을 사용하는 등 가능한 한 사용하는 세정액을 절약하는 것이 도모되었다.
그렇지만, 예비 세정 및 마무리 세정에 각각 다른 세정액을 사용했다고 하더라도, 양쪽 세정액 모두 폐기되는 것이라면 결국 다량의 세정액이 필요하게 된다. 종래에는 사용이 끝난 세정액을 폐기하였지만, 환경보호나 세정액의 비용 절감을 목적으로 자사에서 대형 재생 장치를 갖추거나(특허문헌 2), 최근에는 리사이클 업자에게 위탁하여 재생 이용하는 것도 실행되고 있다. 만일, 사용이 끝난 세정액을 모아 두고, 별도의 정제 장치 등에 의하여 재이용하는 경우라 하더라도, 모아둘 정도의 다량의 세정액이 필요하게 된다. 또한, 수 리터의 사용이 끝난 세정액을 넣어 세트해 두면, 수 시간 후에 재생 세정액이 얻어지는 단체 세정액 리사이클 유닛도 시판되어 있다. 그렇지만, 이것은 소량의 세정액을 일괄적으로 처리할 수 있는 정도의 것으로, 도장 현장 등에서는 사용할 수 있을지 모르지만, 연속적으로 대량으로 세정액을 사용하는 공장 등의 사용에는 적합하지 않다.
특허문헌 1 : 특개2005-329340호 (일본)공보
특허문헌 2 : 특개평9-49093호 (일본)공보
본 발명의 적합한 실시 예를 레지스트 도포 장치를 이용하여, 이하, 도면에 기초하여 보다 자세하게 설명하지만, 이는 본 발명을 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 내용을 이하의 실시의 형태로 한정하는 것은 아니다. 또한, 동일 혹은 같은 종류의 요소에 대해서는 동일 혹은 관련성이 있는 부호를 사용하고, 중복되는 설명은 생략한다.
(실시 예1)
우선, 본 발명에 사용되는 프라이밍 롤러 세정 장치에 대해서 도 1을 이용하여 설명한다. 도 1은, 프라이밍 롤러 세정 장치의 일례를 나타내는 구성도이다. 도 1에 도시한 프라이밍 롤러 세정 장치(90)는, 슬릿 노즐(91), 피처리 부재인 프라이밍 롤러(92), 세정조(93), 노즐(94), (95), (96), 및 세정액 배출관(97)을 구비한다. 슬릿 노즐(91)에서 기판으로 도포를 실행하기 전에, 프라이밍 롤러 세정 장치(90)에서는 슬릿 노즐(91)에서 프라이밍 롤러(92)를 향하여 도포액(98)이 토출된다. 프라이밍 롤러(92)는 1 회전하는 동안에 표면을 깨끗하게 하여 다음의 더미 디스펜스에 대비할 필요가 있기 때문에, 프라이밍 롤러(92)의 도포 영역보다 아랫부분은 세정조(93)로 덮여 있다.
[세정 공정]
세정조(93) 안에서는 프라이밍 롤러(92)의 세정과 건조가 실행된다. 우선, 노즐(94)에서 미리 리사이클 해 둔 세정액을 프라이밍 롤러(92) 표면을 향하여 내뿜는다. 이때 세정액에 에어를 혼입시켜 강한 압력으로 세정액을 내뿜어도 되고, 또한, 세정액의 노즐(94)을 요동시키는 것도 효과적이다. 또한 프라이밍 롤러(92)의 회전 방향(D1)(도면 중, 시계회전 방향)에서 하류측이 되는 위치에 위치한 노즐(95)에서 미사용 세정액(사용하고 있지 않은 세정액)을 내뿜는다. 이때에도 제트식, 혹은 요동식이 효과적이다. 마지막으로 세정액을 말리는 목적으로 노즐(96)에서 질소(N2)가스의 분사를 실시한다. 이상의 동작으로 프라이밍 롤러(92)의 세정, 건조가 종료된다. 이때에 사용된 세정액(도포액과 세정액의 혼합액)은 세정조(93) 아래에 설치된 세정액 배출관(97)을 통하여 액체 재생 장치(세정액 재생 유닛)로 보내진다.
[액체 재생 장치의 구성]
다음으로, 액체 재생 장치에 대해서 설명한다. 도 2는, 액체 재생 장치의 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 회수부, 재생부, 저장부, 및 공급부로 하나의 유닛이 구성된다. 도 2에 도시된 액체 재생 장치는 두 개의 유닛이 있다. 제1 유닛에 대해서 서술하면, 회수부는 필요에 따라 구비하는 펌프(P1), 배관(11), 밸브(12a)로 이루어진다. 재생부는 재생 탱크A(13a), 히터(21a), 덕트(22a), 냉각탑(24)으로 이루어진다. 저장부는 밸브(25a), 배관(29a), 세정액 탱크(26a)로 이루어진다. 공급부는 세정액 탱크A(26a), 배관(35), (35a), (31a), 밸브(34a), 밸브(33a), 필터(36)로 이루어진다. 한편, 제2 유닛은, 회수부는 필요 따라 구비하는 펌프(P1), 배관(11), 밸브(12b)로 이루어진다. 재생부는 재생 탱크B(13b), 히터(21b), 덕트(22b), 냉각탑(24)으로 이루어진다. 저장부는 밸브(25b), 배관(29b), 세정액 탱크B(26b)로 이루어진다. 공급부는 세정액 탱크B(26b), 배관(35), (35b), (31b), 밸브(34b), 밸브(33b), 필터(36)로 이루어진다. 한쪽 유닛을 회수유닛으로서 이용할 때는, 다른 쪽 유닛이 재생 유닛으로서 이용된다. 또한, 도 2에 도시된 액체 재생 장치는, 배기부, 검출부, 제어부(미도시), 폐기부, 냉각수 공급부를 구비한다. 제1 유닛에 대하여 서술하면, 배기부는 밸브(28a), 배관(84), 펌프(P2)로 이루어진다. 검출부는 레벨 센서(61a), (62a), (61b), (62b)로 이루어진다. 제어부는 레벨 센서(61a), (61b), (62a), (62b), (66a), (65a), (66b), (65b), 밸브(12a) 및 (12b), 히터(21a), (21b), 밸브(25a), (25b)에 통신 가능하며 제어 가능하도록 전기적으로 접속된 컨트롤러(미도시)를 구비한다. 폐기부는 밸브(41a), 배관(86a), 폐수 탱크(42)로 이루어진다. 냉각수 공급부는 밸브(51), 밸브(52a), (52b), 배관(53a), (53b)으로 이루어진다.
액체 재생 장치의 회수부는, 프라이밍 롤러 세정 장치로부터 배출되는 도포액과 세정액이 섞인 혼합액(즉,「사용 세정액」)을 회수한다. 재생부는, 상기 사용 세정액으로부터 세정액 성분을 분리하여 재생 세정액으로서 재생시킨다. 사용 세정액으로부터 재생 세정액을 분리하는 공정에서는, 사용 세정액 안의 각 성분(예를 들면, 세정액 및 도포액의 성분)의 비점의 차이를 이용한다. 즉, 사용 세정액을 가열하여 증류함으로써 분리를 실시한다. 또한, 재생부의 재생 탱크A(13a) 및 재생 탱크B(13b)의 상부에 배기부의 배관(22a), (22b)을 접속하면, 가열 시에 탱크 안을 감압할 수 있다. 그 때문에, 비점을 내릴 수 있으므로 증발이 촉진되어 효과적이다. 저장부는, 세정액 탱크A(26a) 및 세정액 탱크B(26b)에서 증류?분류된 세정액 성분을, 냉각하여 리사이클된 재생 세정액으로서 일시 저장한다. 공급부는, 세정액 탱크A(26a) 및 세정액 탱크B(26b)에 저장된 재생 세정액을 에어 블로어(70) 등에 의해 각 탱크 안을 가압하여, 재생 세정액을 배관(35), (35a), (35b) 등을 통해 프라이밍 롤러 세정 장치(처리 장치)로 공급한다. 검출부는, 재생부 및 공급부의 각각의 탱크에서 사용 세정액 혹은 재생 세정액의 양을 검출한다. 제어부는, 검출부에 의해 검출된 사용 세정액 혹은 재생 세정액의 양에 근거하여 회수부, 재생부 및 공급부를 제어한다. 폐기부는, 사용 세정액에서 많은 휘발성 성분이 증발하여 분리된 잔존 사용 세정액(일부에 세정액 등의 휘발성 성분이 잔존한다)을 찌꺼기로서 폐기한다. 냉각수 공급부는 회수부, 재생부, 및 폐기부 등의 냉각이 필요한 곳에 냉각수를 공급한다. 프라이밍 롤러 세정 장치 및 액체 재생 장치의 사이는 통상의 배관 등에 의해 접속되며, 그 안을 사용 세정액 및 재생 세정액이 서로 이동한다.
또한, 도 2는 액체 재생 장치의 일례를 나타내는 것이며, 회수부, 재생부, 저장부, 공급부, 배기부, 검출부, 제어부, 폐기부, 및 냉각수 공급부의 각 기능을 실현하는 것이라면 구성이 차이가 나도 된다.
[재생 처리]
다음으로, 각 구성요소에 대해서, 도포액(레지스트액)과 세정액(시너)이 섞인 사용 세정액의 분리 스텝의 흐름에 따라 설명한다. 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)는, 배관(11) 및 회수 배관(미도시)을 통하여 도 1에 도시된 세정액 배출관(97)과 접속되어 있다. 프라이밍 롤러 세정 장치의 세정조(93)에서 배출되는 사용 세정액이 세정액 배출관(97) 및 배관(11)을 통하여 재생 탱크A 또는 B(13a, 13b)에 고인다. 여기서, 사용 세정액은 60초간 1회 100cc의 비율로 재생 탱크A 또는 B(13a, 13b)에 회수되며, 재생 탱크A 또는 B(13a, 13b)에는 소정량의 사용 세정액이 고여 있는 것을 전제로 해서 설명한다.
[회수 공정]
회수부가 프라이밍 롤러 세정 장치로부터 사용 세정액을 회수한다. 구체적으로는, 밸브(12a)(또는 밸브(12b))를 개방하여 재생 탱크A(13a)(또는 재생 탱크B(l3b))로 수시로 사용 세정액이 흘러들어가도록 한다. 여기에서는, 약 1분의1회의 비율로 비교적 단시간에 100cc의 사용 세정액이 재생 탱크A(13a)에 저장되며, 소정량(예를 들면, 5L)이 될 때까지 계속된다(예를 들면, 50분간 계속).
[재생 공정]
구체적으로는 소정량의 사용 세정액이 재생 탱크A(13a)에 모이면, 밸브(12a)가 닫히고 밸브(12b)가 열려서 사용 세정액은 재생 탱크B(13b)로 회수되어 흘러들어가도록 전환된다. 밸브(12a)가 닫히면 재생 탱크A(13a)에서는 히터(21a)에 의하여 가열이 개시된다. 히터(21a)에 의해 120도~140도까지 가열을 실시하여 사용 세정액이 설정 온도 근방에 달한 것이 검출되면, 그때까지 닫혀있었던 밸브(25a) 및 (28a)가 열려, 진공펌브(27)에 의해 세정액 탱크A(26a)의 기체 영역과 냉각탑(24)을 경유하여 재생 탱크A(13a) 내의 감압이 개시된다. 진공 펌프(27)의 작동에 의하여 재생 탱크A(13a)나 덕트(22a) 안은 기존의 공기 등이 배출되어 사용 세정액 안의 휘발성 성분의 증기로 채워진다. 이와 같이, 가열과 감압을 동시에 실시함으로서 사용 세정액의 휘발을 촉진한다. 사용 세정액 안에서는 세정액(시너) 쪽의 비점이 낮기 때문에 사용 세정액의 휘발성 성분이 먼저 증발하기 시작한다.
이때, 도포액의 모든 성분이 휘발성이어도 되지만, 일부에 불휘발성 혹은 고비점의 성분을 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 그러한 성분은 증발하지 않고 재생 탱크A(13a) 내에 머무른다. 일반적으로 세정액의 모든 성분은 휘발성이며, 여기서 증발하여 많은 부분이 재생 탱크A(13a)의 밖으로 나간다. 그렇지만, 세정액의 일부에 불휘발성 혹은 고비점의 성분을 포함하고 있어도 된다. 이러한 성분은 상술한 바와 같이 재생 탱크A(13a) 내에 머무른다.
[찌꺼기의 폐기]
재생 탱크A(13a) 내의 사용 세정액의 잔량이 소정량보다 적어졌다고 레벨 센서 등에 의해 판정되었을 경우(예를 들면, 최초 있던 사용 세정액 양의 약 20%가 되었을 때), 재생 처리를 종료한다. 이러한 재생 처리의 종료에 의하여, 밸브(25a) 및 (28a)는 닫히고 밸브(23a)가 열려서 재생 탱크A(13a) 내의 잔압 개방을 실시한다. 또한, 재생 탱크A(13a)의 저부에 접속된 밸브(41a)를 열어서, 재생 탱크A(13a) 내의 찌꺼기인 사용 세정액의 폐기를 실시한다.
[재생 세정액의 저장]
덕트(22a), (22b)의 도중에는 냉각탑(24)이 있어서 냉각수에 의한 냉각이 실시된다. 따라서, 사용 세정액으로부터 증발한 성분은 냉각되어 액화되고, 재생 세정액으로서 냉각탑(24)에서 배관(29a), (29b)을 통하여 세정액 탱크A(26a)(또는 세정액 탱크B(26b))로 낙하하여 저장된다.
[냉각수]
냉각수는, 밸브(51)를 열고 밸브(52a) 및 (52b)의 개폐를 조정함으로써, 배관(53a), (53b)을 통하여 냉각탑(24) 및 배액탱크(42)로 공급된다. 또한, 배관(54a), (54b)을 통하여 사용이 끝난 냉각수를 회수한다. 사용이 끝난 냉각수(냉각수 리턴)는 재생 세정액과의 열교환으로 고온이 되어 있으므로, 사용이 끝난 냉각수를 냉각하기 위한 칠러(냉각 장치)를 구비하고, 냉각한 냉각수를 다시 냉각수로서 공급하도록 하며, 냉각수 공급 수단을 서큘레이터(액체 순환 장치)로 하는 것이 바람직하다.
[공급 공정]
그리고, 밸브(33a) 및 (34a)가 자동으로 열려서, 리사이클된 세정액이 에어 블로어(70)에서 밸브(72)를 통하여 보내지는 에어에 의하여 배관(31)에서부터 필터(32)를 경유하여 배관(31a)을 통과하고, 밸브(34a)가 열린 공급관(35a)을 통하여 도 1의 프라이밍 롤러 세정 장치의 노즐(94)로 압송된다. 재생 탱크A(13a)에서의 사용 세정액의 재생 처리 중에는 세정액 탱크A(26a)에서 노즐(94)로 재생 세정액을 공급할 수 없다.
[드레인]
이상과 같은 장치에는, 제일 아래에 드레인 팬(74)이 배치되어, 부주의하게 흘러 넘친 세정액 등을 받아서 필요에 따라 모은 후, 레벨 센서(76)에 응하여 드레인 밸브(78)를 열어서 밖으로 폐기한다.
[정리]
이상에서 설명한 바와 같이, 회수?재생 탱크A 및 B(13a, 13b)의 유닛 기능을 전환하여 사용함으로써 연속적으로 사용 세정액의 회수와 세정액의 재생이 가능해지고, 세정액 탱크A 및 B(26a, 26b)를 전환하여 사용함으로써 프라이밍 세정 장치로의 연속적인 공급이 가능해진다. 여기에서는, 설명의 편의상 두 개의 재생 탱크의 예를 나타냈지만, 세 개의 재생 탱크, 혹은 그 이상의 재생 탱크가 있는 경우여도 된다. 세정액 탱크는 최저 두 개가 있으면 연속적인 공급이 가능해지지만, 마찬가지로 세 개 이상 있어도 된다. 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)와 세정액 탱크A 및 B(26a, 26b)에는 각각, 액면 높이를 검출하는 레벨 센서(61a), (61b), (62a), (62b), (66a), (66b), (65a), (65b)를 구비하는 것이 바람직하며, 액면 높이의 상한값, 하한값을 검출함으로써, 밸브(12a), (25a), (23a), (41a), (28a), (33a), (34a), (12b), (25b), (23b), (41b), (28b), (33b), (34b)의 개폐가 자동으로 실행되도록 제어해 둠으로써, 재생 탱크A 및 B(13a, 13b) 및 세정액 탱크A 및 B(26a, 26b)의 전환 등의 작업을 자동화하는 것이 가능하게 되어 모든 공정을 병행하여 실시할 수 있다.
예를 들면, 센서(62a)가 재생 탱크A(13a)의 액면 높이가 상한값에 도달한 것을 검출하면, 밸브(12a)를 닫고 밸브(12b)를 열어서 재생 탱크B(13b)로 사용 세정액의 회수가 개시되어, 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)의 전환의 자동화가 가능해진다. 또한, 재생 탱크A(13a)에서, 히터(21a)가 가열을 개시한 후, 센서(61a)가 회수?재생 탱크A(13a)의 액면 높이가 하한값에 도달한 것을 검출하면, 히터(21a)의 가열을 정지함과 동시에 밸브(25a) 및 (28a)가 닫히고 밸브(23a) 및 (4la)가 열려서, 회수?재생 탱크A(13a)에 남아 있는 재생 세정액을 분리한 찌꺼기인 사용 세정액이 배액 탱크(42)로 보내짐으로써, 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)에서 도포액을 폐기하는 스텝의 자동화가 가능해진다. 재생 탱크B(13b)도 상술과 같이 설정해 둔다.
실험의 결과, 사용 세정액으로부터 분리한 세정액은 50회의 재생에도 문제없이 사용할 수 있는 것이 판명되어, 세정액의 사용 절약에 크게 공헌할 수 있다고 생각된다. 이와 같이, 본 실시 예에 따른 액체 재생 장치를 이용함으로써, 프라이밍 롤러의 세정에 사용한 세정액의 약 8할이 재생되게 된다.
이와 같이, 상기에서 설명한 액체 재생 장치를 사용함으로써, 더미 디스펜스에서 발생한 도포액과 세정액의 혼합액(즉 「사용 세정액」)을 회수하고 증류하여 분리한 재생 세정액을 프라이밍 롤러의 세정에 재이용할 수 있다. 이에 의하여, 세정액의 사용량을 절약할 수 있기 때문에 자원의 유효 이용과 비용의 절감을 가능하게 한다.
[액체 재생 장치의 블록도]
도 3은, 회수 및 분리 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 상술과 같은 조작은 제어부(10c)에 의하여 제어된다. 구체적으로는, 재생 탱크A계(lOa)에서 레벨 센서(61a), (62a)로부터의 신호를 받은 제어부(10c)는, 후술하듯이 프로그램에 따라 밸브(12a)를 닫는다. 밸브(25a), (28a)는, 진공 펌프(27)의 동작에 대응하여 제어부(10c)로부터의 지령에 의해 개방된다. 분리 공정이 시작되면, 히터(21a) 및 밸브(41a)가 제어부(10c)로부터의 지령에 의하여 적절히 제어된다. 또한, 비상 제어부(10e)는 안전 장치로서 기능하며, 레벨 센서(61a)가 반응하지 않는 경우에는 히터(21a)의 스위치가 켜지지 않도록 하여 공취 방지가 되도록 되어 있다. 마찬가지로, 레벨 센서(62a)에서 재생 탱크A(13a)가 가득 찼을 때 밸브(12a)가 개방되지 않도록 하여 탱크의 오버 플로우를 방지하고 있다.
재생 탱크B계(lOb)에서도, 마찬가지로 밸브(12b), (25b), (28b), 및 히터(21b)가 제어되고, 또한, 비상 제어부(10f)가 안전 장치로서 레벨 센서(61b), (62b)에 의하여 기능한다. 이러한 제어 내용 등은, 표시부(10d)에 의하여 표시되어 오퍼레이터가 관찰할 수 있다.
[액체 재생 장치의 처리 플로우]
도 4 내지 도 6은, 도 2의 액체 재생 장치를 제어하는 프로그램의 일례를 나타내는 것이다. 재생 프로그램이 개시되면, 우선, 도 4에 도시된 메인 프로그램에서는 후술할 탱크를 모니터하는 공정(스텝(이하「S」)11)이 실행된다. 그리고, 병행하여, 후술할 프라이밍 롤러 세정 장치로부터의 공급 요구의 모니터가 실행된다(S11-1). 다음으로 재생 신호가 발생하고 있는지 아닌지를 체크한다(S12). 그리고 재생 신호가 발생하고 있지 않은 경우에는(S12, No), 재생 탱크A 또는 B의 어느 것을 사용할지를 결정하는 A/B신호 판정 스텝이 실행된다(S14). 한편, 재생 신호가 발생하고 있는 경우에는(S12, Yes) 재생 처리가 개시되고(S13), 처리는 다시 메인 스트림으로 돌아와서 A/B신호 판정 스텝으로 이행한다(S14).
A/B신호 판정 스텝에서, A신호가 발생되었다고 판단했을 경우(S14, A신호) 밸브(12a)를 연다(S15). 또한, A신호 및 B신호 양쪽 모두가 발생되는 경우에는 A신호를 우선시하도록 프로그램되어 있다. 또한, 밸브(12a)의 개방과 함께 재생 탱크A의 개시 신호를 발생하도록 해도 된다. 이에 의하여, 재생 탱크A의 택트 타임의 개시가 제어장치에 통지되어 여러 가지 공정의 시간관리에 활용할 수 있다. 레벨 센서(62a)의 신호에 근거하여, 수시로 재생 탱크A(13a)가 가득 차 있는지를 모니터 한다(S16). 모니터에서 가득 차 있지 않다고 판단되면(S16, No) 다시 모니터하는 루틴을 구성한다. 재생 탱크A(13a)가 가득 차 있다고 판단되면(S16, Yes) 재생 탱크B(13b)가 재생 모드인지 아닌지를 판단한다(S17). 재생 탱크B(13b)가 재생 모드인 경우, 즉, 재생 탱크B(13b)의 재생 신호가 OFF가 아닌 경우(S17, No), 회수하기 위한 재생 탱크A 및 B(13a, 13b) 양쪽 모두를 사용할 수 없기 때문에 이상 경보를 발생한다(S18). 재생 탱크B(13b)가 재생 모드가 아닌 경우, 즉, 재생 탱크B(13b)의 재생 신호가 OFF인 경우(S17, Yes) 밸브(12a)를 닫는다(S19). 다음으로, 수동 입력장치(예를 들면, 정지 버튼)로부터 종료 신호가 입력되고 있는지를 판단하여(S20), 입력되고 있는 경우에는(S20, Yes) 액체 재생 장치를 정지하는 일련의 처리를 실행한다(S21). 종료 신호가 입력되고 있지 않은 경우(S20, No), 사용 세정액의 회수?재생 사이클을 돌릴 수 있도록 처리를 탱크 모니터(S11)로 되돌린다.
A/B신호 판정 스텝(S14)에서 B신호가 발생하였다고 판단했을 경우(S14, B신호), 밸브(12b)를 연다(S35). 이하는 상술과 같으므로 간단하게 서술한다. 레벨 센서(62b) 등의 신호에 근거하여 수시로 재생 탱크B(13b)가 가득 차 있는지를 모니터 하여(S36), 가득 차 있지 않다고 판단되면(S36, No) 다시 모니터하는 루틴을 구성한다. 재생 탱크B(13b)가 가득 차 있다고 판단되면(S36, Yes), 재생 탱크A(13a)가 재생 모드인지 아닌지를 판단한다(S37). 재생 탱크A(13a)의 재생 신호가 OFF가 아닌 경우(S37, No) 이상 경보를 발생한다(S18). 재생 탱크A(13a)의 재생 신호가 OFF인 경우(S37, Yes) 밸브(12b)를 닫는다(S39). 다음으로, 수동 입력장치(예를 들면, 정지 버튼)로부터 종료 신호가 입력되고 있는지를 판단하여(S40), 입력되고 있는 경우에는(S40, Yes) 액체 재생 장치를 정지하는 일련의 처리를 실행한다(S21). 종료 신호가 입력되고 있지 않은 경우(S40, No), 세정액의 회수?재생 사이클을 돌리도록 처리를 탱크 모니터(S11)로 되돌린다.
[탱크 모니터]
도 5는, 탱크를 모니터하는 공정(S11)을 도시한다. 우선, 변수의 초기 값화가 실행된다(S111). 다음으로, 재생 탱크A(13a)가 사용 세정액을 받아들일 수 있는지 아닌지를 조사한다(S112). 재생 탱크A(13a)가 사용 세정액을 저장할 수 있는 경우(S112, Yes)에는 A신호를 발신한다(S121). 사용 세정액을 저장할 수 없는 경우(S112, No)에는 재생 탱크A(13a)가 사용 세정액으로 가득 차 있는지 아닌지를 레벨 센서(62a)에 의하여 판정한다(S112-1). 가득 차 있지 않은 경우에는(S112-1, No), 어떠한 이유에 의하여 재생 탱크A(13a)가 사용 세정액을 저장할 수 없기 때문에 이상 신호를 발신하고, 프로그램을 정지하도록 정지 신호를 발신한다(S115). 가득 찬 경우에는(S112-1, Yes), 재생 처리를 실시할 수 있는지를 검토하기 위하여 세정액 탱크A(26a)가 재생 세정액을 받아들일 수 있는지를 판정한다(S112-2). 받아들일 수 없는 경우(S112-2, No)에는, 사용 세정액을 재생할 수 없기 때문에 이상 신호를 발신하고 프로그램을 정지하도록 정지 신호를 발신한다(S115). 받아들일 수 있는 경우(S112-2, Yes)에는, 탱크A 재생 신호를 발신하고 저장하고 있는 사용 세정액을 재생할 수 있도록 한다(S113).
다음으로, A신호를 발신했을 경우(S121)의 플로우에 합류하여, 재생 탱크B(13b)가 사용 세정액을 받아들일 수 있는지 아닌지를 조사한다(S114). 재생 탱크B(13b)가 사용 세정액을 저장할 수 있는 경우(S114, Yes)에는, B신호를 발신하고(S124) 메인 프로그램으로 돌아온다. 사용 세정액을 저장할 수 없는 경우(S114, No)에는, 재생 탱크B(13b)가 사용 세정액으로 가득 차 있는지 아닌지를 레벨 센서(62b)에 의하여 판정한다(S114-1). 가득 차 있지 않은 경우에는(S114-1, No), 어떠한 이유에 의하여 재생 탱크B(13b)가 사용 세정액을 저장할 수 없기 때문에, 이상 신호를 발신하고 프로그램을 정지하도록 정지 신호를 발신한다(S115-2). 가득 찬 경우에는(S114-1, Yes), 재생 처리를 실시할 수 있는지를 검토하기 위하여 세정액 탱크B(26b)가 재생 세정액을 받아들일 수 있는지를 판정한다(S114-2). 재생 세정액을 받아들일 수 없는 경우(S114-2, No)에는, 사용 세정액을 재생할 수 없기 때문에, 이상 신호를 발신하고 프로그램을 정지하도록 정지 신호를 발신한다(S115-2). 재생 세정액을 받아들일 수 있는 경우(S114-2, Yes)에는, 탱크B 재생 신호를 발신하고 저장하고 있는 사용 세정액을 재생할 수 있도록 한다(S123). 그리고, 메인 프로그램으로 돌아온다.
[재생 처리]
도 6은, 재생 처리 공정(S13)을 도시한 플로우 차트이다. 재생 처리 공정에서는, 우선, 탱크 모니터하는 공정에서 발생된 재생 신호가 탱크A 재생 신호인지 탱크B 재생 신호인지를 판정한다(S201). 탱크A 재생 신호라고 판단되면(S201, A재생 신호), 밸브(12a)를 닫고(S202) 재생 탱크A(13a)의 히터(21a)를 ON하여 가열을 시작하고(S203), 사용 세정액이 설정 온도가 될 때까지 가열한다(S204). 사용 세정액이 설정 온도에 이른 것을 검지하면(S204, Yes) 밸브(25a), (28a)를 연다(S205). 그리고, 진공 펌프(27)를 ON하여(S206) 재생 탱크A(13a) 안 및 덕트(22 a) 내의 기존의 공기를 배출하여 감압한다. 감압에 의해 기존의 공기 등을 배출하여 거의 소정의 압력까지 내려간 상황에서 발생하는 증기가 냉각탑(24)의 콘덴서에서 액화되므로, 이 재생 세정액을 세정액 탱크A(26a)로 적하(또는 낙하)시킨다. 사용 세정액의 잔량이 소정의 양까지 내려간 것을 레벨 센서(61a)에서 검출하여(S207, Yes), 재생 탱크A의 히터를 OFF하고(S208), 밸브(25a), (28a)를 닫고(S209) 밸브(23a)를 열어서(S210) 잔압 개방한다.
EXH로 바깥 공기를 넣어서 재생 탱크A(13a) 안을 거의 대기압으로 하고(S211), 진공펌프(27)의 작동을 정지하고(S212) 밸브(41a)를 열어서(S213) 재생 탱크A(13a)에 남은 사용 세정액을 배출한다. 남은 사용 세정액은 밸브(41a)를 소정 시간 개방함으로써 배출된다(S214). 재생 탱크A(13a)의 레벨 센서(61a)가 상기 밸브(41a)의 개방 시간 내에 반응한 것을 확인하여(S215, Yes), 재생 탱크A(13a)의 재생 신호를 OFF하고(S216), 밸브(41a)를 닫고 다른 설정을 초기로 되돌리는 처리를 실행한다(S217). 이에 의하여, 재생 탱크A(13a)는, 회수되는 세정액 등의 사용 세정액을 다시 저장할 수 있게 된다. 그리고 처리를 재생 신호 대기로 되돌린다.
또한, 탱크A 재생 신호인지 또는 탱크B 재생 신호인지를 판정하는 스텝(S201)에서, 탱크B 재생 신호라고 판단되면(S201, B재생 신호) 밸브(12b)를 닫는다(S222). 그리고, 재생 탱크B(13b)의 히터(21b)를 ON하고(S223) 사용 세정액이 설정 온도에 이를 때까지 가열한다(S224). 사용 세정액이 설정 온도에 이른 것을 검출하면(S224, Yes) 밸브(25b), (28b)를 연다(S225). 그리고, 진공 펌프(27)를 ON하여(S226) 재생 탱크B(13b) 안 및 배관(22b) 내의 기존의 공기를 배출하여 감압한다. 기존의 공기 등을 배출하여 거의 소정의 압력까지 내려간 상태에서 발생하는 증기가 냉각탑(24)의 콘덴서에서 액화되므로, 이 재생 세정액을 세정액 탱크(26b)로 적하(또는 낙하) 시킨다.
재생 탱크B(13b)의 혼합 세정액의 잔량이 소정량까지 감소한 경우(S227, Yes), 재생 탱크B의 히터(21b)의 스위치를 꺼서 가열을 정지한다(S228). 그리고, 밸브(25b), (28b)를 닫고(S229) 밸브(23b)를 열어서(S230) EXH로 바깥 공기를 넣어 재생 탱크B(13b) 안을 거의 대기압으로 하고(S231) 진공 펌프(27)의 작동을 정지한다(S232). 그 후, 밸브(41b)를 열어서(S234) 재생 탱크B(13b)에 남은 사용 세정액을 배출한다. 남은 사용 세정액은 밸브(41b)를 소정 시간 개방함으로써 배출되고, 세정액 탱크B(26b)의 레벨 센서(65b)가 상기 밸브(41b)의 개방 시간 내에 반응한 것을 확인하여(S235, Yes), 재생 탱크B(13b)의 재생 신호를 OFF하고(S236) 다른 설정을 초기로 되돌리는 처리를 실행한다(S237). 이에 의하여, 재생 탱크B(13b)는, 회수되는 세정액 등의 사용 세정액을 다시 회수하여 저장할 수 있게 된다. 그리고 처리를 재생 신호 대기로 되돌린다.
[공급 요구 모니터]
도 7은, 재생 세정액을 배관(35), (35a), (35b) 등을 통하여 프라이밍 롤러 세정 장치(처리 장치)로 공급하는 공급 요구 모니터 프로그램의 일례를 나타내는 흐름도이다. 우선, 프라이밍 롤러 세정 장치에서 재생 세정액의 공급을 요구하고 있는지 아닌지를 판정한다(S502). 공급을 요구하고 있지 않은 경우(S502, No)에는, 종료 신호(예를 들면, 작업자에 의한 장치의 정지 버튼 조작)가 있는지 어떤지를 판정하여, 종료 신호가 있으면(S503, Yes) 프로그램을 종료하는 처리를 실행한다(S504). 한편, 종료 신호가 없으면(S503, No), 프로그램은 다시 재생 세정액의 공급을 요구하고 있는지 아닌지의 판정을 실행한다(S502). 공급 요구가 있으면(S502, Yes), 세정액 탱크A(26a)에서 재생 세정액을 공급할 수 있는지 아닌지를 판정한다(S505). 예를 들면, 레벨 센서(65a), (66a)의 검출 결과 재생 세정액이 충분하지 않다고 판정된 경우에는, 세정액 탱크A(26a)에서 재생 세정액을 공급할 수 없으므로(S505, No), 세정액 탱크B(26b)에서 재생 세정액을 공급할 수 있는지 아닌지의 판정공정(S515)으로 이행한다. 세정액 탱크A(26a)에서 재생 세정액을 공급할 수 있는 경우에는(S505, Yes), 각 밸브(72), (33a), (34a)를 열어서 세정액 탱크A(26a)의 기체 영역을 가압하고, 배관(35a)으로부터 재생 세정액을 밀어내서 배관(35), 필터(36)를 통하여 프라이밍 롤러 세정 장치로 공급한다(S506). 이 사이에, 수시로 세정액 탱크A(26a)가 재생 세정액을 공급할 수 있는지를 모니터하여, 공급할 수 없다고 판단된 경우에는(S507, No) 각 밸브(72), (33a), (34a)를 닫는다(S509). 세정액 탱크A(26a)가 재생 세정액을 공급할 수 있다고 판단되는 한(S507, Yes), 재생 세정액의 공급이 요구되고 있는지 아닌지를 확인하여, 공급이 요구되고 있는 경우에는(S508, Yes) 세정액 탱크A(26a)가 재생 세정액을 공급할 수 있는지 판정을 실시한다. 재생 세정액의 공급이 요구되고 있지 않은 경우에는(S508, No) 각 밸브(72), (33a), (34a)를 닫는다(S509). 그리고 다시 재생 세정액의 공급이 요구되고 있는지 아닌지를 판정한다(S502).
상술의 세정액 탱크B(26b)에서 재생 세정액을 공급할 수 있는지 아닌지를 판정하는 판정 공정(S515)에서는, 공급할 수 없다고 판정된 경우(S515, No), 세정액 탱크A(26a) 및 세정액 탱크B(26b)의 양자가 공급 불가능하기 때문에 이상 경보를 발신한다(S520). 공급이 가능하다고 판정된 경우(S515, Yes), 각 밸브(72), (33b), (34b)를 열어서 세정액 탱크B(26b)의 기체 영역을 가압하고, 배관(35b)으로부터 재생 세정액을 밀어내어, 배관(35), 필터(36)를 통하여 프라이밍 롤러 세정 장치로 공급한다(S516). 이 사이에, 수시로 세정액 탱크B(26b)가 재생 세정액을 공급할 수 있는지를 모니터하여, 공급할 수 없다고 판단된 경우에는(S517, No) 각 밸브(72), (33b), (34b)를 닫는다(S519). 세정액 탱크B(26b)가 재생 세정액을 공급할 수 있다고 판단되는 한(S517, Yes), 재생 세정액의 공급이 요구되고 있는지 아닌지를 확인하여, 공급이 요구되고 있는 경우에는(S518, Yes), 세정액 탱크B(26b)가 재생 세정액을 공급할 수 있는지 판정을 실시한다. 재생 세정액의 공급이 요구되고 있지 않은 경우에는(S518, No), 각 노즐(72), (33b), (34b)을 닫는다(S519). 그리고 다시 재생 세정액의 공급이 요구되고 있는지 아닌지를 판정한다(S502).
(실시예 2)
실시예 1에서는, 재생 탱크(13a 및 13b)를 두 개 구비하는 경우를 설명했지만, 재생 탱크는 세 개 이상이어도 되고, 각각의 탱크를 전환하여 사용 세정액을 저장하는 일도 가능하다. 재생 탱크를 세 개 이상으로 했을 경우, 프라이밍 롤러 (92)의 세정 회수가 많은 경우에는 사용 세정액의 발생이 증가하기 때문에, 사용 세정액의 분리속도가 사용 세정액의 발생속도를 따라가지 못하는 경우에 유효하다. 이하에 재생 탱크를 세 개 이상으로 했을 경우를 설명한다.
[장치 구성]
도 8은, 실시예 2에 따른 액체 재생 장치의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 2에 도시한 액체 재생 장치(2계통)와 달리, 실시예 2의 액체 재생 장치(200)는 4계통의 유닛이 병설되어 있다. 그렇지만, 부품의 접속 관계는 실질적으로 동일하기 때문에 공통되는 부품에는 같은 번호가 할당되어 있다. 실시예 2의 액체 재생 장치(200)의 제3 및 제4 유닛에 대해서는, 각 부품 번호에 「c」, 「d」를 붙인 번호가 할당되어 있다. 이들 각 유닛은, 각각 마찬가지로 회수부, 재생부, 저장부, 및 공급부를 구비하고 있다. 또한, 상기 액체 재생 장치(200)는, 배기부, 검출부, 제어부, 폐기부, 및 냉각수 공급부를 구비한다. 이들 각부로 이루어지는 구성은, 도 2에 도시한 것과 실질적으로 동일하므로 중복되는 설명을 생략한다. 또한 공급부에는 에어 블로어(70) 대신에 N2가스 공급부(71)가 설치되어 있다.
액체 재생 장치(200)는, 각 유닛이, 공통되는 부품인 냉각 탱크(24), 폐수 탱크(42), N2가스 공급부(71), 냉각수 공급부 등, 그리고, 혼합액인 사용 세정액을 회수하는 배관(11) 및 재생 세정액을 공급하는 배관(35)에 대해서 각각 병렬로 접속되어 있고, 필요에 따라 각 대응하는 밸브 등에 의해 구분되어 있다. 따라서, 도 2의 액체 재생 장치의 제1 및 제2 유닛에서 실시했던 것을, 액체 재생 장치(200)의 제1 내지 제4까지의 유닛에서 임의로 선택한 두 개의 유닛에 의하여 실시할 수 있다. 상기 액체 재생 장치(200)의 A부터 D까지에서 임의로 선택되는 두 개의 알파벳을 붙인 각각의 재생 탱크 및 세정액 탱크에 의하여, 회수 공정, 재생 공정, 저장 공정, 공급 공정을 실질적으로 연속적으로 실시할 수 있다.
또한 예를 들면, 네 개의 유닛(이하 유닛A, B, C, D라 한다)을 두 개의 그룹으로 나누어서, 예를 들면, 유닛A 및 B를 도 2의 제1 유닛으로서 기능 시키고, 유닛C 및 D를 도 2의 제2 유닛으로서 기능 시킬 수 있다. 이와 같이 분류하면, 프라이밍 롤러 세정 장치와 같은 처리 장치에서 사용하는 세정액의 시간당 양이 적은 경우 및 많은 경우에 대처하는 것이 용이해진다. 즉, 적은 경우에는, 유닛A와 유닛C에 의하여 회수?재생?저장?공급 사이클을 돌리면 되고, 한편, 많은 경우에는, 유닛A 및 B와 유닛C 및 D에 의하여 동일한 사이클을 돌리면 된다. 이론상으로는 이와 같이 함으로써 약 2배의 처리 능력이 된다.
그렇지만, 이 사이클에서는 처리하는 세정액의 양이 균형잡힌 것이 바람직하므로, 유닛A, B, C그룹과, 유닛D로 동일한 사이클을 돌리는 것은 그다지 바람직하지 않다. 전체 효율이 떨어지기 때문이다. 또한, 4계통의 것을 2계통과 같게 하여 사이클을 돌리는 예를 나타냈지만, 3계통 혹은 4계통으로 돌리는 것도 가능하다. 예를 들면, 2계통에서는 1/2사이클을 늦추어 유닛을 조작했지만, 4계통에서는 이것을 1/4 사이클마다 늦추어 조작할 수 있다. 이 경우, 공통 부품의 조작이 가능하도록 유의하여야 하며, 전환 시에 완충용으로 일시 저장 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 4를 넘는 수의 유닛을 이용하는 경우, 그 수가 짝수이면, 모든 유닛을 2개의 그룹으로 나누어, 상기 2계통의 경우와 마찬가지로 액체 재생 장치를 기능시킬 수 있다. 한편, 홀수인 경우에는, 1유닛을 예비 유닛으로서 어느 하나의 유닛에 고장 등이 발생했을 때에 교환하는 것으로 할 수 있다. 나머지를 상술한 짝수의 경우와 마찬가지로 2개의 그룹으로 나누어, 상기 2계통의 경우와 같이 액체 재생 장치를 기능시킬 수 있다.
[재생 프로그램]
도 9, 10, 11, 12, 13은, 본 발명의 실시예 2에 따른 액체 재생 장치를 이용한 세정액의 재생 프로그램의 예를 나타내는 플로우 차트이다. 도 9에는 메인 프로그램을 나타낸다. 여기에서는, 주로, 사용 세정액의 회수 및 회수된 사용 세정액의 저장에 대해서, 복수의 종류의 계통에 대응 가능하도록 프로그램되어있다. 프로그램이 시작되면, 우선, 탑재되는 각 유닛의 역할이 설정된다(S302). 그리고, 그 역할에 따라 각 탱크의 상황을 조사한다(S311). 동시에, 프라이밍 롤러 세정 장치로부터의 재생 세정액의 공급 요구가 있는지를 체크하여, 공급 요구가 있는 경우에는 재생 세정액을 프라이밍 롤러 세정 장치로 공급한다(S303).
[역할 설정 프로그램]
도 10은, 각 유닛의 역할을 설정하는 서브루틴이다. 프로그램은 맨 처음으로 운전 모드의 설정을 실시한다(S352). 구체적으로는, 오퍼레이터로부터의 2계통(라이트), 2계통(헤비), 3계통, 혹은 4계통의 선택 입력을 재촉한다. 다음으로, 사용하는 각 유닛의 상황을 체크한다(S354). 그리고, 각 유닛에 아무 문제가 없으면(S356, Yes), 각 유닛의 구동 개시 순서를 설정하여(S360) 프로그램을 메인 프로그램으로 되돌린다. 또한, 각 유닛에 무슨 문제가 있으면(S356, No), 각 유닛의 상황을 표시하여(S358) 운전 모드의 입력을 기다린다.
[탱크 모니터 프로그램]
도 11은, 네 개의 유닛을 사용하는 경우의 탱크 모니터 프로그램의 일례를 나타낸다. 불필요한 데이터를 사용하지 않는다면, 특별히 네 개의 유닛을 사용하는 경우에 한정하지 않고 두 개의 유닛을 사용하는 경우에도 이용할 수 있다. 맨 처음으로 초기값 클리어를 실행한다(S411). 다음으로, 재생 탱크A(13a)가, 회수되는 사용 세정액을 저장 가능할 수 있는지 아닌지를 체크한다(S412a). 저장 가능하다고 판정되면(S412a, Yes) A신호가 발생된다(S416a), 재생 탱크A(13a)에 저장할 수 있다는 것이 통지되고, 다음 재생 탱크B(13b)의 상황 체크로 이행한다. 또한, 재생 탱크A(13a)에 저장할 수 없다고 판정되면(S412a, No), 재생 탱크A(13a)가 사용 세정액으로 채워져 있는지를 체크한다(S413a). 채워져 있지 않다면(S413a, No) 정상인 상태에서의 저장 불가 판단이므로, 이상 신호를 발생하여(S417a) 프로그램을 안전하게 정지한다. 재생 탱크A(13a)가 사용 세정액으로 채워져 있으면(S413a, Yes), 재생 공정에 의하여 재생 세정액이 되야하므로 세정액 탱크A의 재생 신호를 발생한다(S415a). 그리고, 프로그램은 다음 재생 탱크B(13b)의 상황 체크로 이행한다.
여기에서는, 재생 탱크B(13b)가, 회수되는 사용 세정액을 저장할 수 있는지 아닌지를 체크한다(S412b). 저장 가능하다고 판정되면(S412b, Yes), B신호가 발생되어(S416b) 재생 탱크B(13b)에 저장할 수 있다는 것이 통지되고, 다음 재생 탱크C(13c)의 상황 체크로 이행한다. 또한, 재생 탱크B(13b)에 저장할 수 없다고 판정되면(S412b, No), 재생 탱크B(13b)가 사용 세정액으로 채워져 있는지를 체크한다(S413b). 채워져 있지 않다면(S413b, No), 정상인 상태에서의 저장 불가 판단이므로, 이상 신호를 발생하여(S417b) 프로그램을 안전하게 정지한다. 재생 탱크B(13b)가 사용 세정액으로 채워져 있으면(S413b, Yes), 재생 공정에 의하여 재생 세정액이 되야하므로 세정액 탱크B의 재생 신호를 발생한다(S415b). 그리고, 프로그램은 다음 재생 탱크C(13c)의 상황 체크로 이행한다.
다음으로, 재생 탱크C(13c)가 회수되는 사용 세정액을 저장할 수 있는지 아닌지를 체크한다(S412c). 저장 가능하다고 판정되면(S412c, Yes) C신호가 발생되어(S416c), 재생 탱크C(13c)에 저장할 수 있다는 것이 통지되고, 다음 재생 탱크D(13d)의 상황 체크로 이행한다. 또한, 재생 탱크C(13c)에 저장할 수 없다고 판정되면(S412c, No), 재생 탱크C(13c)가 사용 세정액으로 채워져 있는지를 체크한다(S413c). 채워져 있지 않다면(S413c, No) 정상인 상태에서의 저장 불가 판단이므로, 이상 신호를 발생하여(S417c) 프로그램을 안전하게 정지한다. 재생 탱크C(13c)가 사용 세정액으로 채워져 있으면(S413c, Yes), 재생 공정에 의하여 재생 세정액이 되야하므로 세정액 탱크C의 재생 신호를 발생한다(S415c). 그리고, 프로그램은 다음 재생 탱크D(13d)의 상황 체크로 이행한다.
다음으로, 재생 탱크D(13d)가 회수되는 사용 세정액을 저장할 수 있는지 아닌지를 체크한다(S412d). 저장 가능하다고 판정되면(S412d, Yes) D신호가 발생되어(S416d), 재생 탱크D(13d)에 저장할 수 있다는 것이 통지되고 메인 프로그램으로 돌아온다. 또한, 재생 탱크D(13d)에 저장할 수 없다고 판정되면(S412d, No), 재생 탱크D(13d)가 사용 세정액으로 채워져 있는지를 체크한다(S413d). 채워져 있지 않다면(S413d, No), 정상인 상태에서의 저장 불가 판단이므로 이상 신호를 발생하여(S417d) 프로그램을 안전하게 정지한다. 재생 탱크D(13d)가 사용 세정액으로 채워져 있으면(S413d, Yes), 재생 공정에 의하여 재생 세정액이 되야하므로 세정액 탱크D의 재생 신호를 발생한다(S415d). 그리고, 프로그램은 메인 프로그램으로 돌아온다.
[재생 세정액공급 프로그램]
탱크 모니터(S311)와 병행하여 재생 세정액의 공급 요구의 유무 체크 및 공급을 실시한다(S303). 도 12에 도시된 바와 같이, 우선, 프라이밍 롤러 세정 장치로부터의 재생 세정액의 공급 요구가 있는지를 조사하고(S552), 공급 요구가 없으면(S552, No) 종료 신호의 유무를 조사한다(S553). 종료 신호가 있으면(S553, Yes) 모니터를 종료한다(S554). 종료 신호가 없으면(S553, No) 재생 세정액의 공급 요구가 있는지를 다시 체크한다(S552). 재생 세정액의 공급 요구가 있으면(S552, Yes), 세정액 탱크A가 저장하고 있는 재생 세정액을 공급할 수 있는지를 체크하여(S505a), 공급할 수 없으면(S505a, No) 세정 탱크B에 대한 체크로 이행한다. 공급할 수 있으면(S505a, Yes) 세정액 탱크A로부터 재생 세정액을 공급하도록 이하의 절차를 실시한다. 각 유닛에서의 이러한 절차는 기본적으로는 도 7과 같다. 우선, N2가스 공급 장치(71)로부터 N2가스를 압송하기 위하여 밸브(72), (33a), (34a)를 연다(S506a). 이에 의하여 재생 세정액을 배관(35a, 35)을 통해 프라이밍 롤러 세정 장치로 압송한다. 이 동안에, 세정액 탱크A에 재생 세정액이 충분히 있는지, 무언가 이상은 없는지 등, 세정액 탱크A가 공급 가능한지를 모니터 하여(S507a), 공급 가능해진 경우에는(S507a, No) 밸브(72), (33a), (34a)를 닫는다(S509a). 또한, 공급 가능한 경우라도(S507a, Yes) 계속해서 재생 세정액의 공급 요구가 있는지를 모니터 하여(S508a), 공급 요구가 있으면(S508a, Yes) 재생 세정액의 공급을 계속하면서 다시 세정액 탱크A가 공급 가능한지를 모니터 한다(S507a). 공급 요구가 없으면(S508a, No), 밸브(72), (33a), (34a)를 닫고(S509a) 공급 요구 모니터 프로그램의 최초 스텝으로 프로그램을 되돌린다.
세정액 탱크A가 재생 세정액을 공급할 수 없는 경우(S505a, No), 세정 탱크B가 재생 세정액을 공급할 수 있는지 아닌지를 체크한다(S505b). 세정 탱크B가 공급할 수 없으면(S505b, No) 세정 탱크C에 대한 체크로 이행한다. 공급할 수 있으면(S505b, Yes) 세정액 탱크B에서 재생 세정액을 공급하도록 이하의 절차를 실시한다. 유닛B에서의 이러한 절차는 기본적으로는 유닛A에서의 절차와 같다. 우선, N2가스 공급 장치(71)로부터 N2가스를 압송하기 위하여 밸브(72), (33b), (34b)를 연다(S506b). 이에 의하여 재생 세정액을 배관(35b, 35)을 통하여 프라이밍 롤러 세정 장치로 압송한다. 이 동안에, 세정액 탱크B에 재생 세정액이 충분히 있는지, 무언가 이상은 없는지 등, 세정액 탱크B가 공급 가능한지를 모니터 하여(S507b), 공급 가능해진 경우에는(S507b, No) 밸브(72), (33b), (34b)를 닫는다(S509b). 또한, 공급 가능한 경우라도(S507b, Yes) 계속해서 재생 세정액의 공급 요구가 있는지를 모니터 하여(S508b), 공급 요구가 있으면(S508b, Yes), 재생 세정액의 공급을 계속하면서 다시 세정액 탱크B가 공급 가능한지를 모니터 한다(S507b). 공급 요구가 없으면(S508b, No), 밸브(72), (33b), (34b)를 닫고(S509b) 공급 요구 모니터 프로그램의 최초 스텝으로 프로그램을 되돌린다.
세정액 탱크B가 재생 세정액을 공급할 수 없는 경우(S505b, No), 세정 탱크C가 재생 세정액을 공급할 수 있는지 아닌지를 체크한다(S505c). 세정 탱크C가 공급할 수 없으면(S505c, No) 세정 탱크D에 대한 체크로 이행한다. 공급할 수 있으면(S505c, Yes) 세정액 탱크C에서 재생 세정액을 공급하도록 이하의 절차를 실시한다. 유닛C에서의 이러한 절차는 기본적으로는 유닛A에서의 절차와 같다. 우선, N2가스 공급 장치(71)로부터 N2가스를 압송하기 위하여 밸브(72), (33c), (34c)를 연다(S506c). 이에 의하여 재생 세정액을 배관(35c, 35)을 통하여 프라이밍 롤러 세정 장치로 압송한다. 이 동안에, 세정액 탱크C에 재생 세정액이 충분히 있는지, 무언가 이상은 없는지 등, 세정액 탱크C가 공급 가능한지를 모니터 하여(S507c), 공급 가능해진 경우에는(S507c, No) 밸브(72), (33c), (34c)를 닫는다(S509c). 또한, 공급 가능한 경우라도(S507c, Yes) 계속해서 재생 세정액의 공급 요구가 있는지를 모니터 하여(S508c), 공급 요구가 있으면(S508c, Yes), 재생 세정액의 공급을 계속하면서 다시 세정액 탱크C가 공급 가능한지를 모니터 한다(S507c). 공급 요구가 없으면(S508c, No), 밸브(72), (33c), (34c)를 닫고(S509c) 공급 요구 모니터 프로그램의 최초 스텝으로 프로그램을 되돌린다.
세정액 탱크C가 재생 세정액을 공급할 수 없는 경우(S505c, No), 세정 탱크D가 재생 세정액을 공급할 수 있는지 아닌지를 체크한다(S505d). 세정 탱크D가 공급할 수 없으면(S505d, No) 어떠한 세정액 탱크도 공급할 수 없는 것이므로 이상경보를 발신하고(S520) 장치를 안전하게 정지한다. 공급할 수 있으면(S505d, Yes) 세정액 탱크D에서 재생 세정액을 공급하도록 이하의 절차를 실시한다. 유닛D에서의 이러한 절차는 기본적으로는 유닛A에서의 절차와 같다. 우선, N2가스 공급 장치(71)로부터 N2가스를 압송하기 위하여 밸브(72), (33d), (34d)를 연다(S506d). 이에 의하여 재생 세정액을 배관(35d, 35)을 통하여 프라이밍 롤러 세정 장치로 압송한다. 이 동안에, 세정액 탱크D에 재생 세정액이 충분히 있는지, 무언가 이상은 없는지 등, 세정액 탱크D가 공급 가능한지를 모니터 하여(S507d), 공급 가능해진 경우에는(S507d, No) 밸브(72), (33d), (34d)를 닫는다(S509d). 또한, 공급 가능한 경우라도(S507d, Yes) 계속해서 재생 세정액의 공급 요구가 있는지를 모니터 하여(S508d), 공급 요구가 있으면(S508d, Yes), 재생 세정액의 공급을 계속하면서 다시 세정액 탱크D가 공급 가능한지를 모니터 한다(S507d). 공급 요구가 없으면(S508d, No), 밸브(72), (33d), (34d)를 닫고(S509d) 공급 요구 모니터 프로그램의 최초 스텝으로 프로그램을 되돌린다.
[사용 세정액 회수 프로그램]
다시 도 9로 돌아와서, 탱크 모니터(S311) 후의 공정을 설명한다. 탱크 모니터 프로그램에 의하여, 어느 하나의 세정액 탱크에 재생해야 할 사용 세정액이 저장되어있고, 재생되는 것을 기다리고 있다는 것을 검출해 왔다. 이 결과에 근거하여, 재생해야 한다는 재생 신호가 어느 쪽 탱크에 대해 발생했는지를 체크한다(S312). 재생 신호가 발생했으면, 재생 처리(S313)에 의하여 후술하는 재생 처리를 실시한다. 그리고, 재생 신호의 유무에 관계없이, 프로그램은 상기 유닛 역할 설정 공정(S302)에서 설정된 운전 모드에 근거하여 경우 분류를 실시한다(S312-1). 운전 모드가 2계통 라이트 모드(S312-2)인 경우에는, 유닛A 및 C를 이용하는 2계통의 재생 처리를 실시한다. 또한, 운전 모드가 2계통 헤비모드(S312-3)인 경우에는, 유닛A 및 B를 하나의 그룹으로 하고, 유닛C 및 D를 다른 그룹으로서 이용하여 2계통의 재생 처리를 한다. 또한, 운전 모드가 3계통 모드(S312-5)인 경우에는, 예를 들면, 유닛A, B, 및 C를 이용하는 3계통의 재생 처리를 한다. 또한, 운전 모드가 4계통 라이트 모드(S312-7)인 경우에는, 유닛A, B, C, 및 D를 이용하는 4계통의 재생 처리를 한다. 이러한 운전 모드 판정 공정에서는, 각 모드에 맞춘 택트 타임(takt time)의 설정 및 관리를 한다. 구체적으로는, 설정된 운전 모드에 가장 최적인 각 공정 및 이들 공정으로 이루어진 하나의 사이클의 바람직한 시간 간격 등을 설정하여, 그 간격 또는 클록으로 이하의 각 공정이 실행되도록 시간관리를 한다.
[2계통 라이트 모드]
운전 모드가 2계통 라이트 모드(S312-2)로 설정되면, 프로그램은 A/C 어느 쪽의 신호인지를 판정하는 공정(S314)으로 이행한다. 이 이후의 공정은, 도 4에 도시된 공정과 실질적으로 동일하므로 여기에서는 설명을 생략한다. 또한, 여기에서는 밸브(12a) 또는 밸브(12c)의 개방(S315 또는 S335)과 함께 재생 탱크A 또는 탱크C(13a 또는 13c)의 개시 신호를 발생하도록 하고 있다. 이에 의하여, 재생 탱크A 또는 탱크C의 택트 타임의 개시가 제어장치로 통지되어 여러 공정의 시간관리에 활용할 수 있다.
[2계통 헤비모드]
운전 모드가 2계통 헤비모드(S312-3)로 설정되면, 유닛A 및 B로 하나의 그룹을, 유닛C 및 D로 다른 그룹을 만든다(S312-4). 유닛A 및 B가 동시에 일체가 되어 가동하고, 유닛C 및 D도 일체가 되므로, 두 개의 그룹에서 상술한 2계통 라이트 모드의 A/C와 완전히 동일하게 작용한다. 그 때문에, 여기에서는 설명을 생략한다.
[3계통 모드]
운전 모드가 3계통 모드(S312-5)로 설정되면, 하나의 유닛(예를 들면, 유닛D)이 휴지하게 된다(S312-6). 이 모드에서는, 다음의 4계통 모드에서 하나의 유닛을 제외한 것에 해당하므로, 여기에서는 설명을 생략한다.
[4계통 모드]
운전 모드가 3계통 모드(S312-5)로 설정되면, 운전 모드 판정 공정(S312-1)에서 하나의 사이클을 구성하는 네 개 공정의 시간설정과 관리를 실시한다. 즉, 사전에 입력된 데이터에 근거하여, 혹은, 프라이밍 롤러 세정 장치와 맞추어 사용하는 과정에서 세정액의 유량을 모니터함으로써, 최적인 공정 시간설정 및 관리를 실시한다. 이 설정?관리는 회수, 저장, 재생, 공급의 각 공정, 및, 프라이밍 롤러 세정 장치에 의한 세정이라는 일련의 작업으로서의 최적화를 목적으로 한다. 구체적으로는, 각각 재생 탱크A, B, C, D를 구비하는 유닛A, B, C, D를 이용했을 때에, 상기 각 공정의 개시를 트리거하는 A신호의 발신 시간관리를 한다. 예를 들면, 회수 공정이 유닛A, B, C, D에 있어서 각각, T1, T2, T3, T4에서 개시되어야 한다면, 시각T1에서 A신호를 S312-1에서 S312-8로 송신하여 A신호에 의해 트리거되는 유닛A를 기동한다. 그리고, 시각T2, T3, T4에서 각각, B, C, D신호를 송신함으로써, 유닛B, C, D를 각각의 시각에 기동할 수 있다. 기동 후의 공정은, 도 4의 것, 또는, 2계통 라이트 모드의 것과 실질적으로 같으므로 자세한 설명은 생략한다. 여기서, 어느 하나의 재생 탱크에서 사용 세정액의 회수/저장을 실질적으로 개시하는 밸브(12a), (12b), (12c), (12d)의 개방과 함께, 그 재생 탱크의 개시 신호를 발생하도록 한다. 이에 의해, 해당 재생 탱크의 택트 타임의 개시가 제어장치로 통지되어 여러공정의 시간관리에 활용할 수 있다. 또한, 사용 세정액의 재생은, 도 6에 도시 된 바와 같이, 각각의 재생 신호(탱크 모니터에서 발생)에 의해 개시되어 자동으로 종료하도록 되어 있으므로, 특별한 조작은 불필요하다. 일반적으로 사용 세정액의 재생 처리에는 시간이 걸리기 쉬우므로, 이러한 재생 처리가 전체의 처리 속도를 결정하는 요인이 되기 쉽다. 또한, 프라이밍 롤러 세정 장치로의 재생 세정액의 공급도, 도 12의 플로우에 의하여 공급 요구 신호와 재생 세정액을 저장하는 각 탱크의 상태에 따라 자동으로 실행된다.
[사용 세정액 재생 프로그램]
도 13은, 재생 처리(S313) 프로그램을 도시한다. 재생 처리에서는, 우선 각 재생 탱크로부터 저장 개시가 이루어졌는지를 밸브(12a), (12b), (12c), (12d) 중 어느 하나의 최초 개방 조작에 의하여 검출한다(S601). 또한, 그 시각을 제어장치에 구비된 메모리에 기억하여 이후의 조작 타이밍을 조정한다. 여기에서는, 수신한 상기 개방 조작을 실시한 재생 탱크를 포함하는 각 유닛마다 나눠서 재생 처리의 각 공정을 실시한다. 이하는, 재생 탱크A를 포함하는 유닛A에 대해 설명하지만, 다른 재생 탱크를 포함하는 유닛에서도 동일한 공정이 실행된다.
재생 탱크A에 의하여 회수되는 사용 세정액의 저장이 시작되고 나서, 미리 정해진 시간이 경과한 상황에서(S602, Yes) 재생 탱크A의 히터(21a)의 스위치를 켠다(S603a). 이는, 히터의 가열에 의한 저장된 사용 세정액의 승온에는 시간이 걸리기 때문에 빠른 시기에 히터의 스위치를 켜는 것이다. 이 타이밍은, 저장량, 히터 용량, 그 외의 요소에 의하여 운전 모드의 입력 시점에서 결정할 수 있다. 히터(21a)의 스위치가 켜진 채로 저장이 계속되고, 탱크A 재생 신호의 입력을 기다린다(S604). 그리고, 재생 탱크A가 가득 차고(S413a), 세정액 탱크A(26a)가 재생되는 사용 세정액을 저장할 수 있는 경우(S416a), 탱크A 재생 신호가 발생되고(S415a), 이를 수신하여(S604a, Yes) 다음 공정(S605)으로 이행한다.
다음 공정에서는, 재생이 필요하고 재생되는 사용 세정액의 저장 탱크를 확보한 경우라도, 진공 펌프(27) 등 공통으로 이용되는 배관이나 밸브나 장치 등이 사용되고 있는지, 및 그 외의 개별적 사정 등을 체크한다(S605). 이에 의하여, 상기의 공통 설비 등을 사용하려면 조금 시간을 늦출 필요가 있는 등, 구체적인 사유를 조정하여 원활하게 재생 공정을 실시할 수 있는 경우에는, 이후의 공정에서 각각의 재생 탱크를 포함한 유닛에 개별적으로 밸브 조작 등의 지령을 송신한다. 예를 들면, 재생 탱크A(13a) 이외에 사용 세정액을 저장하는 탱크나 임시 저장 장치의 준비가 되어 있지 않은 경우 또는 진공 펌프(27)가 다른 유닛의 감압에 이용되고 있는 경우에는, 준비가 될 때까지, 또는 다른 유닛의 사용이 종료될 때까지 기다리거나, 세정 장치로부터의 사용 세정액의 배출을 정지하는 조작을 실시할 수 있다(S605). 준비가 되어 있고, 공통 설비도 사용할 수 있는 경우에는, 다음 공정으로 이행하여 밸브(12a)를 닫고(S606a) 밸브(25a), (28a)를 개방하여(S607a), 진공 펌프(27)를 ON한다(S608a). 그리고, 감압 하에 증류를 계속하여, 재생 탱크A 안의 사용 세정액이 예를 들면 20이하가 되는지를 체크한다(S609a). 20%이하가 되면(S609a, Yes), 히터를 OFF하고(S610a) 밸브(25a), (28a)를 닫는다(S611a). 이에 의하여, 재생 탱크A계통은, 진공 펌프(27)의 감압계로부터 격리되어 대기압으로 되돌아가도록 밸브(23a) 및 EXH 리크가 열리고 진공 펌프(27)가 OFF된다(S612a). 이어서, 재생 탱크A의 드레인 밸브에 해당하는 밸브(41a)가 열려서 사용 세정액으로부터 세정액을 재생한 나머지의 찌꺼기가 배출된다(S613a). 소정시간이 지나 찌꺼기 배출이 완료되면(S614a, Yes) 탱크A의 재생 신호를 OFF로 세트한다(S615a). 그리고, 일시적으로 이용되는 여러 가지의 변수를 초기값으로 재설정하여(S616a), 프로그램은 재생 처리 루틴의 톱으로 이행한다.
[2계통 타임 차트]
도 14는, 실시예 2의 장치를 가동시켰을 경우의 타임 차트를 사용 세정액의 회수 및 재생에 특히 주목하여 각 유닛마다 나타낸 것이다. 세로축에는 가동하는 유닛에 이용되는 재생 탱크의 종별을 나타내고, 가로축에는 시간을 나타낸다. 또한, 유닛의 편성, 시간은 설명을 위한 예시에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다. 병설된 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)에 회수된 사용이 끝난 세정액을 등분하여 저장한다. 도면 안에 회수라 되어있지만 각 재생 탱크에 있어서는 저장의 의미이다. 도 14에서, 회수를 시작하고 나서, 예를 들면 5분 후에 히터(21a), (21b)의 스위치를 켜서 가열을 개시한다. 다음으로 예를 들면 20분 후에 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)가 가득 차므로 밸브(12a), (12b)를 닫는다. 계속해서 회수되는 사용 세정액은, 배관(11)에 구비되는 보조기구인 임시 저장 장치(411)에 의해 저장된다. 대략 5분 후에, 마찬가지로 병설된 재생 탱크C 및 D(13c, 13d)가 저장 가능한 상태가 되며, 그때까지의 연결을 상기 임시 저장 장치(411)가 실시하여, 재생 탱크C 및 D(13c, 13d)의 준비가 갖추어지면, 즉시 임시로 저장된 재생 세정액을 재생 탱크C 및 D(13c, 13d)로 보낸다.
다시 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)로 돌아오면, 회수 개시부터 20분 후에는 사용이 끝난 세정액은 히터(21a), (21b)의 가열에 의하여 고온인 설정 온도에 도달하므로, 밸브(25a), (25b) 및 밸브(28a), (28b)를 개방하여 진공 펌프(27)를 작동시킨다. 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)로부터 차례차례 증발한 세정액이 냉각 탱크(24)에서 냉각되고, 액화된 세정액이 세정액 탱크A 및 B(26a, 26b) 안에 저장된다. 예를 들면, 20분 후에 재생 탱크A 및 B(13a, 13b) 안의 사용 세정액이 감압 증류 개시 시로부터 20%정도가 되면, 밸브(25a), (25b) 및 밸브(28a), (28b)를 닫아 진공 펌프(27)를 정지한다. 그리고, 밸브(23a), (23b)를 개방하고 진공 펌프(27)의 리크판에도 있는 밸브 EXH를 개방하여 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)를 대기압으로 한다. 그리고, 밸브(41a), (41b)를 약 10분간 개방하여 찌꺼기를 배액탱크(42)로 배출한다. 이에 의해, 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)의 배열도 동시에 실시한다. 그 후(개시부터 50분 후), 밸브(23a), (23b), (41a), (41b)를 닫아서 저장 재개가 가능해진 상태에서 밸브(12a), (12b)를 개방하여 저장을 재개한다. 이때, 임시 저장 장치(411)로부터 임시로 저장된 사용 세정액을 받는다.
개시부터 25분 후에 회수/저장을 시작한 재생 탱크C 및 D(13c, 13d)는, 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)와 동등한 공정을 실시하고, 마찬가지로 2번째 회수/저장을 75분 후에 시작한다. 이와 같이, 종료 신호가 발생되어, 도 9에 있는 종료 처리(S321)에 의해 종료될 때까지 연속해서 액체 재생 장치는 가동한다. 이상과 같이 재생 공정은, 각 유닛에서의 회수가 개시되면 일정한 택트로 실시된다. 그리고, 각 유닛에 포함되는 재생 탱크는 다음 회수 공정에 이용된다. 한편, 재생 세정액의 공급 공정은, 액체 재생 장치 측의 상황 및 세정 장치 측의 재생 세정액의 요구에 응하여 자동으로 실시되므로, 공통 설비의 충돌이나 탱크 등의 용량에 유의하는 것 외에, 특별히 제어를 실시할 필요는 없다.
여기에서는, 재생 탱크A 및 B(13a, 13b)의 용량을 동일하게 했지만, 용량을 크게하거나 작게 할 수도 있다. 이때 대응하는 각각의 재생 탱크C 및 D(13c, 13d)도 크게 하거나 작게 한다. 또한, 대응하는 세정액 탱크A, B, C, D도 각각 대응하는 용량이 되도록 한다. 이와 같이 하면, 소규모 세정 장치에 이용할 때는 소용량 유닛의 조합인 유닛B 및 D에 의한 회수, 저장, 재생, 공급을 실시하면 된다. 또한, 중규모 세정 장치에 이용할 때는 대용량 유닛의 조합인 유닛A 및 C에 의한 회수, 저장, 재생, 공급을 실시하면 된다. 또한, 대규모 세정 장치에 이용할 때는, 전체 유닛A, B, C, 및 D에 의한 회수, 저장, 재생, 공급을 실시하면 된다.
[3계통 타임 차트]
도 15는, 실시예 2의 장치를 가동시켰을 경우의 타임 차트를 사용 세정액의 회수 및 재생에 특히 주목하여 각 유닛마다 나타낸 것이다. 세로축에는 가동하는 유닛에 이용되는 재생 탱크의 종별을 나타내고, 가로축에는 시간을 나타낸다. 또한, 유닛의 편성, 시간은 설명을 위한 예시에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다. 여기에서는, 네 개의 유닛 중 유닛D를 휴지하고 다른 유닛이 사용된다. 병설된 재생 탱크A, B 및 C(13a, 13b, 13c) 중 재생 탱크A(13a)에, 회수된 사용이 끝난 세정액을 등분하여 저장한다. 도면 안에 회수라 되어있지만 각 재생 탱크에 있어서는 저장의 의미이다.
도 15에서, 회수를 시작하고 나서, 예를 들면 5분 후에 히터(21a)의 스위치를 켜서 가열을 개시한다. 다음으로 예를 들면 20분 후에 재생 탱크A(13a)는 소정양으로 가득 차지만, 재생 탱크B(13b)의 밸브(12b)가 개방되어 계속해서 회수되는 사용 세정액을 저장한다. 이 동안에는 양쪽 재생 탱크가 저장되어도 된다. 그리고 25분 후에 재생 탱크A(13a)의 밸브(12a)가 닫히고, 재생 탱크A(13a)에서는 감압 증류에 의한 재생이 개시된다. 또한, 상기 25분 후에 재생 탱크B(13b)의 히터(21b)가 ON된다.
그리고, 40분 후에 재생 탱크B(13b)는 소정량이 채워지며, 재생 탱크C(13c)의 밸브(12c)가 개방되어 계속해서 회수되는 사용 세정액을 저장한다. 이 동안에는 양쪽 재생 탱크가 저장되어도 된다. 그리고, 45분 후에 재생 탱크A(13a)의 밸브(25a), (28a)가 닫히고 밸브(23a)가 개방되며 EXH 리크 되어서 진공 펌프(27)가 OFF되고 재생 탱크A(13a)가 대기압이 된 상태에서 밸브(41a)가 개방되어 찌꺼기가 배출된다. 또한, 동일한 45분 후에 재생 탱크B(13b)의 밸브(12b)가 닫히고, 재생 탱크B(13b)에서는 감압 증류에 의한 재생이 개시된다. 또한, 동일한 45분 후에 재생 탱크C(13c)의 히터(21c)가 ON된다. 재생 탱크B에서 감압 증류에 의한 재생이 실행되어, 재생 탱크C에서 회수한 사용 세정액의 저장이 이루어지는 동안에, 55분 후에 재생 탱크A(13a)의 찌꺼기 배출이 종료되고, 밸브(41a)가 닫혀서 다시 회수된 사용 세정액의 저장이 가능한 상태가 된다.
여기서, 재생 탱크C(13c)에서는 60분 후에 사용 세정액에 의해 소정량이 저장되며, 재생 탱크A(13a)의 밸브(12a)가 개방되어 계속해서 회수되는 사용 세정액을 저장한다. 이 동안에는 양쪽 재생 탱크가 저장되어도 된다. 그리고 65분 후에 재생 탱크B(13b)의 밸브(25b), (28b)가 닫히고 밸브(23b)가 개방되며, EXH리크 되어서 진공 펌프(27)가 OFF되고 재생 탱크B(13b)가 대기압이 된 상태에서 밸브(41b)가 개방되어 찌꺼기가 배출된다. 또한, 동일한 65분 후에 재생 탱크C(13c)의 밸브(12c)가 닫히고, 재생 탱크C(13c)에서는 감압 증류에 의한 재생이 개시된다. 또한, 동일한 65분 후에 재생 탱크B(13b)의 히터(21b)가 ON된다.
이와 같이 하여, 재생 탱크A, B, 및 C(13a, 13b, 13c)를 각각 구비하는 유닛A, B, C를 순서대로 이용함으로써, 종료 신호가 발생되어 도 9에 있는 종료 처리(S321)에 의해 종료될 때까지 연속해서 액체 재생 장치는 가동한다. 이상과 같이 재생 공정은, 각 유닛에서의 회수가 개시되면 일정한 택트로 실시된다. 그리고, 각 유닛에 포함되는 재생 탱크는, 재생 후에 찌꺼기가 배기되면 다음 회수 공정에 이용된다. 한편, 재생 세정액의 공급 공정은, 액체 재생 장치 측의 상황 및 세정 장치 측의 재생 세정액의 요구에 응하여 자동으로 실시되므로, 공통 설비의 충돌이나 탱크 등의 용량에 유의하는 것 외에, 특별히 제어를 실시할 필요는 없다.
또한, 네 개의 유닛이 있으면서, 세 개의 유닛으로 회수, 저장, 재생, 공급을 실시할 수 있으므로, 어느 하나의 유닛이 고장나도 휴지시키고 있던 유닛을 가동시킴으로써 시스템 전체를 정지시키는 일 없이 연속해서 실시할 수 있다. 또한, 네 개의 유닛A, B, C, D를 하나씩 사이클마다 순서대로 휴지시키도록 로테이션을 짜는 일도 가능하다.
[다수의 유닛을 포함한 액체 재생 시스템]
다음으로, 도 16에 근거하여 다수의 유닛을 포함한 액체 재생 시스템에 대해서 설명한다. 액체 재생 시스템(300)은, 피처리 부재를 세정액으로 세정하는 프라이밍 롤러 세정 장치(90), 프라이밍 롤러 세정 장치(90)로부터의 사용이 끝난 세정액을 회수하여 재생하는 액체 재생장치(310), 이들 장치(90), (310)를 제어하는 제어장치(320)를 구비하며, 연속적으로 사용 세정액을 재생하고, 상기 재생 세정액을 공급할 수 있는 액체 재생 시스템이다.
액체 재생장치(310)는, 사용 세정액을 회수하는 회수부(312), 회수된 사용 세정액을 저장하는 재생 탱크를 포함하는 재생부(314), 재생된 세정액을 저장하는 저장부(316), 재생 세정액을 상기 프라이밍 롤러 세정 장치(90)로 공급하는 공급부(317)로 구성되는 유닛(318)을 복수 구비하고 있다.
프라이밍 롤러 세정 장치(90)는, 세정액 배출관(97)이 회수 배관(311)을 통하여 배관(11)에 연결됨으로써 액체 재생장치(310)와 접속되어 있다. 배관(11)은 각 유닛(318)에 접속되어 있다. 또한, 각 유닛(318)은 공급을 위한 배관(35)에 접속되고, 공급 배관(317)을 통하여 프라이밍 롤러 세정 장치(90)에 접속된다.
제어장치(320)는, 프라이밍 롤러 세정 장치(90) 및 액체 재생장치(310)를 제어할 수 있도록 접속되지만, 각 유닛(318)의 회수부(312), 재생부(314), 저장부(316), 및 공급부(317)는, 무선을 포함한 통신회선(322)을 통하여 제어할 수 있도록 접속되어 있다.
도시한 바와 같이 다수의 유닛을 직접 제어 가능하도록 이용하고 있으므로, 각 유닛의 편성에 의한 처리 세정액 용량의 변화에 용이하게 대응 가능하다. 예를 들면, 이들 복수의 유닛의 각 재생 탱크의 한 개당 용량을 V라 했을 경우, 두 개의 탱크로 이루어지는 유닛군의 용량은 2ⅩV, 세 개의 탱크로 이루어지는 유닛군의 용량은 3ⅩV가 된다. 이때, 이용되지 않았던 유닛은 휴지시켜두고, 가동 유닛의 고장 및 그 외 상태가 좋지 않은 경우에 예비 유닛으로서 이용할 수 있다. 또한, 하나의 사이클에서는 사용하지 않았던 유닛에 대하여, 다음 사이클에서는 전 사이클에서 사용한 유닛 대신에 사용함으로써, 사이클 간에 대기하는 유닛을 차례차례 순환시킬 수도 있다.
[정리]
상술한 바와 같이, 프라이밍 롤러 세정 장치와 같은 처리 장치의 사양과 액체 재생 장치의 사양을 잘 매칭 하면, 최적의 세정액의 사용/재생 시스템을 구축할 수 있다. 예를 들면, 프라이밍 롤러 세정 장치의 세정액의 전체 사용량, 사용량의 시간 변화, 재생 세정액의 재사용량, 및 재생 세정액의 재사용량의 시간 변화를 미리 예측해 두고, 스펙으로서 그 처리 장치에 관련하여 데이터 베이스에 기억해 둔다. 그리고, 액체 재생 장치로서 단위 시간당 재생 세정액의 통상 및 최대 생산량 등의 재생 처리 능력이나, 이를 위한 재생 탱크의 용량이나 개수, 재생 탱크의 전환시간 등의 스펙을 그 액체 재생 장치와 관련하여 데이터 베이스에 기억해 두면, 이들 프라이밍 롤러 세정 장치와 동일한 처리 장치 및 액체 재생 장치의 바람직한 선택이 가능해진다.
도 1은 프라이밍 롤러 세정 장치의 일례를 도시하는 구성도.
도 2는 액체 재생 장치의 일례를 도시하는 구성도.
도 3은 액체 재생 장치의 블록도.
도 4는 세정액의 재생 프로그램의 예를 도시하는 흐름도.
도 5는 탱크 모니터 프로그램의 예를 도시하는 흐름도.
도 6은 재생 처리 프로그램의 예를 도시하는 흐름도.
도 7은 재생 세정액의 공급 요구 모니터 프로그램의 예를 도시하는 흐름도
도 8은 액체 재생 장치의 또 다른 예를 도시하는 구성도.
도 9는 다른 예인 액체 재생 장치를 이용한 세정액의 재생 프로그램의 예를 도시하는 흐름도.
도 10은 도 9의 유닛 역할 설정 루틴을 도시하는 흐름도.
도 11은 도 9의 탱크 모니터?루틴을 도시하는 흐름도.
도 12는 도 9의 공급 요구 모니터?루틴을 도시하는 흐름도.
도 13은 도 9의 재생 처리 루틴을 도시하는 흐름도.
도 14는 2계통의 액체 처리 장치의 타임 차트를 도시하는 도면.
도 15는 3계통의 액체 처리 장치의 타임 차트를 도시하는 도면.
도 16은 액체 재생 시스템 구성의 일례를 도시하는 도면.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
10c 제어부
11, 31, 35 배관
12a, 12b, 12c, 12d, 23a, 23b, 23c, 23d, 25a, 25b, 25c, 25d, 28a, 28b, 28c, 28d, 33a, 33b, 33c, 33d, 34a, 34b, 34c, 34d, 41a, 41b, 41c, 41d 밸브
13a, 13b, 13c, 13d 재생 탱크
21a, 21b, 21c, 21d 히터
22a, 22b, 22c, 22d 덕트
24 냉각탑(냉각 탱크)
26a, 26b, 26c, 26d 세정액 탱크
27 진공 펌프
32, 36 필터
42 폐액 탱크
90 프라이밍 롤러 세정 장치
91 슬릿 노즐
92 프라이밍 롤러
93 세정조
94, 95, 96 노즐
97 세정액 배출관
99 재생 세정액 도입관
200 액체 재생 장치
300 액체 재생 시스템
311 회수 배관
317 공급 배관
318 유닛
320 제어장치
사용이 끝난 액체(세정액을 포함한다)를 회수하는 회수 수단, 상기 사용이 끝난 액체를 재생하여 재생 액체로 하는 재생 수단, 상기 재생 액체를 상기 처리 장치로 공급하는 공급 수단을 포함하는 액체 재생 장치를 제공한다. 구체적인 적용 예로서, 세정기능을 구비한 처리 장치에서, 세정에 사용한 결과 다른 종류의 화합물을 포함하는 사용이 끝난 세정액(이하 「사용 세정액」이라 한다) 을 회수하는 회수 수단, 사용 세정액을 재생하여 재생된 세정액(이하 「재생 세정액」이라 한다)을 생성하는 재생 수단, 상기 재생 세정액을 상기 처리 장치로 공급하는 공급 수단을 포함하는 액체 재생 장치를 제공할 수 있다. 통상, 하나의 처리 장치로부터 배출되는 세정액은 다른 성분을 많이 포함하고 있지 않다. 그 때문에, 복잡한 기능 은 필요 없으며, 각 처리 장치에 전용 액체 재생기로서 접속하여 사용할 수 있다.
이러한 액체 재생 장치는, 상기 사용 세정액을 회수하는 회수 수단, 상기 회수 수단이 회수한 사용 세정액을 증류 분리하여 재생 세정액을 생성하는 재생 수단, 상기 재생 세정액을 세정 등을 위하여 다시 처리 장치로 공급하는 공급 수단을 구비한다.
또한, 사용 세정액을 회수하는 공정, 사용 세정액을 재생하여 재생 세정액을 생성하는 공정, 상기 재생 세정액을 다시 처리 장치로 공급하는 공정을 포함하는 재생 방법을 실시의 한 형태로 할 수도 있다.
보다 구체적으로는, 이하와 같은 것을 제공할 수 있다.
(1) 처리 장치로부터 피처리 부재를 세정한 사용이 끝난 세정액(이하 「사용 세정액」이라 한다)을 회수하여 재생하고, 재생 세정액을 다시 처리 장치로 공급하는 액체 재생 장치에 있어서, 상기 사용 세정액의 회수 및 재생, 및 재생 세정액의 공급을 실시하는 제1 및 제2 유닛을 포함하고, 각각의 유닛은, 상기 처리 장치에 접속하여 설치되며 상기 사용 세정액을 회수하는 회수 수단과, 상기 회수 수단에 접속하여 설치되며 그 회수 수단에 의하여 회수된 상기 사용 세정액을 수용 재생하는 재생 수단과, 상기 재생 수단에 접속하여 설치되며 그 재생 수단에 의하여 재생된 세정액(이하 「재생 세정액」이라 한다)을 저장하는 저장 수단과, 상기 저장 수단 및 상기 처리 장치에 접속하여 설치되며 상기 재생 세정액을 상기 처리 장치로 공급하는 공급 수단을 포함하고, 상기 제1 유닛이 상기 사용 세정액을 회수하고 있을 때, 상기 제2 유닛이 미리 회수된 사용 세정액을 재생할 수 있는 액체 재생 장 치를 제공할 수 있다.
여기서 세정액은, 재생 수단에 의하여 사용 세정액에서 분리하여 재생 세정액으로서 재이용(리사이클)할 수 있는 것이면 좋다. 예를 들면, 이른바 용제나, 고체를 분산하는 분산매 등을 포함할 수 있다. 또한, 세정의 결과 혼입되는 오염 물질(또는 성분) 등을 포함할 수 있다. 세정액을 사용하는 처리 장치는 세정 수단을 포함하고, 상기 세정 수단은 세정액을 프라이밍 롤러로 분사할 수 있는 분사장치를 포함한다. 상기 분사 장치는 분사를 위한 노즐을 포함한다. 또한, 상기 회수 수단 및 상기 재생 수단은 이하의 설명에서 이용하는 회수부 및 재생부를 포함한다. 또한, 상기 회수부는 배관이나 밸브를 포함하고, 상기 재생부는 용기(예를 들면, 탱크 등)를 포함하며, 배관 등도 포함한다. 또한, 압축 혹은 감압 수단으로서의 펌프를 포함한다. 상기 공급 수단은 공급부를 포함하고, 상기 공급부는 재생 세정액의 저장이 가능한 탱크를 포함한다. 또한, 상기 재생 세정액을 압송하기 위한 펌프나 배관을 포함한다. 또한, 상기 제어 수단은 제어장치를 포함하고, 상기 제어장치는, 예를 들면, 마이크로 컴퓨터, 퍼스널 컴퓨터, 시퀀서 등 모든 기존의 프로세서를 포함한다. 용량 조정은, 상기 회수 수단, 상기 재생 수단, 및 상기 공급 수단의 각각에 있어서, 처리 대상이 되는 세정액(사용 세정액 및 재생 세정액을 포함한다)을 저장할 수 있는 용량, 상기 세정액의 처리 속도(단위시간당 처리 용량), 공급 가능한 공급 속도(단위시간당 공급량)를 각각 고려하여, 상기 회수 수단, 상기 재생 수단, 및 상기 공급 수단이 일체가 되어 가장 바람직한 세정액의 처리를 실시하도록, 상기 회수 수단, 상기 재생 수단, 및 상기 공급 수단의 처리 효율이나 가동률 등을 조정하는 것을 의미할 수 있다.
상기 제2 유닛은, 상기 제1 유닛과 그 구성이 동일하여도 되고, 기본 구성을 공통으로 하면서 세정액의 저장 용량이나 처리 속도 등이 다른 것이어도 된다. 상기 제1 또는 제2 유닛의 어느 한쪽만이라도, 처리 장치로부터 피처리 부재를 세정한 사용 세정액을 회수하여 재생하고, 재생 세정액을 다시 처리 장치로 공급할 수 있어도 된다. 또한, 상기 제1 및 제2 유닛은 각각 독립적으로 기능할 수 있어도 된다.
또한, 상기 재생 수단은, 사용 세정액의 이른바 증류 공정을 실시할 수 있는 증류 수단을 포함한다. 상기 증류 수단은, 회수한 사용이 끝난 액체의 특성에 응하여 최고 온도를 포함한 온도 조정이 가능하다. 또한, 상기 증류 수단은 히터 및 온도 조절 장치를 포함한다.
상기 저장 수단은 저장부를 포함하고, 상기 저장부는 탱크와 같은 용기를 포함한다. 또한, 상기 공급 수단은 공급부를 포함하고, 공급부는, 예를 들면, 블로어나 봄베 등으로 AIR(공기)나 N2가스와 같은 기체를 압송하여 공급한다.
(2) 상기 제1 및 상기 제2 유닛에 있어서, 상기 회수 수단, 상기 재생 수단, 상기 저장 수단, 및 상기 공급 수단을 제어하는 제어 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 상기 (1)에 기재된 액체 재생 장치를 제공할 수 있다.
상기 제어 수단은 제어부를 포함하며, 상기 제어부는 제어장치를 포함하는 것은 상술한 대로이다. 상기 제어장치는, 후술할 배기부, 검출부, 폐기부, 및 냉각 수 공급부를 제어할 수 있다. 제어부는, 처리 장치 및 상기 액체 재생 장치를 전자적 방법, 유압적 방법, 그 외 사람의 지각에 의해 인식할 수 없는 방법에 의하여 접속하는 수단을 포함한다. 제어부는, 상기 제1 및 제2 유닛을 각각 독립적으로 제어하는 것이 가능하다. 상기 제어부는, 후술할 검출부의 신호에 의하여 회수→재생→공급의 각 공정을 자동적으로 실행되도록 제어할 수 있다. 따라서, 회수에서 재생, 재생에서 공급으로의 변환을 자동으로 실행할 수 있다.
(3) 상기 제1 및 상기 제2 유닛에 있어서, 상기 재생 수단은, 회수한 상기 사용 세정액을 저장하는 재생 탱크와, 상기 재생 탱크에 설치되며 상기 사용 세정액을 가열할 수 있는 히터를 구비하는 것을 특징으로 하는 상기 (2)에 기재된 액체 재생 장치를 제공할 수 있다.
상기 재생 탱크는, 상기 히터를 그 안에 구비하여, 저장되는 사용 세정액을 직접적으로 혹은 간접적으로 가열한다. 상기 히터는, 상기 제어 수단에 의하여 스위치의 ON/OFF 및 출력 조정이 가능하며, 또한, 이상 신호에 대해 자동 정지하는 기능을 구비하고 있어도 된다.
(4) 상기 제1 및 상기 제2 유닛에 있어서, 상기 재생 탱크의 상부에 접속되며 배기 또는 감압을 위한 배기 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 상기 (3)에 기재된 액체 재생 장치를 제공할 수 있다.
배기 수단은 배기부를 포함한다. 배기부는, 진공 펌프 등과 같은 감압 수단을 포함한다. 감압을 위하여 상기 재생 탱크는 밀폐 구조를 갖는 것이 바람직하다.
(5) 상기 제1 및 상기 제2 유닛에 있어서, 상기 재생 수단 또는 상기 공급 수단 중 적어도 어느 하나는 저장액의 양을 검출할 수 있는 검출 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 상기 (2) 내지 (4)중 어느 하나에 기재된 액체 재생 장치를 제공할 수 있다.
검출 수단은 검출부를 포함한다. 상기 검출부는, 액체 재생 장치 및 처리 장치의 상태를 검출하는 센서(예를 들면, 온도센서, 액면 레벨 센서)를 포함한다. 검출부는, 제어부가 제어에 필요한 정보를 제공할 수 있다.
(6) 상기 제어 수단은, 상기 제1 및 상기 제2 유닛의 상기 검출 수단에 의해 검출된 상기 사용 세정액 또는 상기 재생 세정액 중 적어도 어느 하나의 양에 근거하여, 상기 회수 수단, 상기 재생 수단, 및 상기 공급 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 상기 (5)에 기재된 액체 재생 장치를 제공할 수 있다.
상기 검출 수단은, 세정액의 양 및 그 양의 경시 변화 및 경시 변화율을 검출할 수 있다. 이에 의하여, 저장 가능한 세정액의 양을 파악할 수 있고, 또한, 저장량의 증감을 예측하는 것이 가능해진다.
(7) 상기 제1 및 상기 제2 유닛에 있어서, 상기 재생 탱크 저부에 접속되며 상기 사용 세정액의 재생 후 찌꺼기를 뽑아내어 폐기하는 폐기 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 상기 (3) 또는 (4)에 기재된 액체 재생 장치를 제공할 수 있다.
상기 사용 세정액을 재생할 때, 사용 세정액으로부터 소정량의 재생 세정액이 분리된 경우에 재생 탱크 내에 남은 재생 찌꺼기를 뽑아낸다. 통상 세정액에 혼입되는 성분은 증기압이 낮으며 찌꺼기 안에 많이 포함되기 쉽다. 또한, 증류/분리 공정에서 고분자화 되는 성분도 이러한 찌꺼기에 많이 포함된다. 따라서, 이러한 찌꺼기를 폐기하기 위하여 폐기 수단을 상기 탱크의 저부에 구비하는 것은 유효하다.
(8) 상기 제1 및 상기 제2 유닛에서 상기 재생 수단은, 상기 사용 세정액의 증류분을 냉각하고 액화하여 상기 재생 세정액으로 하는 냉각 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 상기 (1)에 기재된 액체 재생 장치를 제공할 수 있다.
(9) 상기 제1 및 상기 제2 유닛의 상기 냉각 수단에 냉각수를 공급하는 냉각수 공급 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 상기 (7)에 기재된 액체 재생 장치를 제공할 수 있다.
여기서, 상기 냉각 수단은 냉각부를 포함한다. 상기 냉각부는, 이른바 콘덴서라 불리는 응축기를 포함한다. 상기 응축기는 외부로부터 도입되는 냉각 매체와의 열교환에 의해 증기를 응축하여 액화할 수 있다. 일반적으로는 냉각수를 냉각 매체로 이용하는 수냉 방식과 공냉 방식이 있다.
지금까지 서술한 제1 및 제2 유닛과 같이, 적어도 회수 수단, 재생 수단, 저장 수단, 및 공급 수단을 포함하는 제3 유닛을 구비하고, 상기 제어 수단은, 적어도 제1, 제2, 및 제3 유닛의 각각의 상기 회수 수단, 상기 재생 수단, 상기 저장 수단, 및 상기 공급 수단을 제어하여 리드 타임을 최소화하고, 상기 재생 세정액의 공급을 최대화하는 것을 특징으로 하는 상기 (2) 내지 (7)중 어느 하나에 기재된 액체 재생 장치를 제공할 수 있다.
상기 제3 유닛은, 상기 제1 유닛과 그 구성이 동일하여도 되고, 기본 구성을 공통으로 하면서 세정액의 저장 용량이나 처리 속도 등이 다른 것이어도 된다. 상기 제1, 제2, 또는 제3 유닛의 어느 하나 만이라도, 처리 장치로부터 피처리 부재를 세정한 사용 세정액을 회수하여 재생하고, 재생 세정액을 다시 처리 장치로 공급할 수 있어도 된다. 또한, 상기 제1, 제2, 그리고 제3 유닛은 각각 독립적으로 기능할 수 있어도 된다. 상기 제어 수단은 이들 유닛의 각 회수수단, 재생 수단, 저장 수단, 및 공급 수단을 제어하여, 각각의 유닛에서의 회수 공정, 재생 공정, 저장 공정, 및 공급 공정을 서로 다르게 실시시킬 수 있다. 각 유닛에서 상기 회수 공정, 상기 재생 공정, 상기 저장 공정, 및 상기 공급 공정을 그 순서로 실시시킴과 동시에, 세 개의 유닛이 각각 각 공정을 늦추면서 사용 세정액이나 재생 세정액을 효율적으로 처리할 수 있다. 이때, 각 유닛 간에 동일한 공정이 완전히 동시에 실시되지 않는 것이 바람직하다고 생각된다. 적어도 두 개의 유닛에서 처리시키는 사용 세정액을 동시에 필요로 하고, 또한, 결과적으로 얻어지는 재생 세정액을 동시에 생성하기 때문에, 처리액 수지에서 평활화가 충분히 행해지지 않을 우려가 있기 때문이다. 자세한 것은 후술한다.
또한, 여기서 말하는 리드 타임이란, 예를 들면, 재생 공정에서 히터의 스위치를 켰다 하더라도, 곧 바로는 사용 세정액이 소정의 처리 온도가 될 수 없기 때문에, 소정의 처리온도가 될 때까지의 시간이라 할 수 있다. 즉, 소정의 온도까지의 승온시간에는 사용 세정액의 회수도 할 수 없고, 또한, 충분한 증기도 올라오지 않기 때문에 실질적으로 재생도 실시할 수 없다. 이러한 시간은 단순한 아이들링 시간이 되기 때문에, 사이클 효율을 향상시키기 위해서 최소화하는 것이 바람직하 다. 또한, 재생 세정액의 공급을 최대화한다는 것은, 액체 재생 장치에 막대한 저장 수단을 구비하지 않고, 사용 세정액이 유입되고 나서 사용 세정액이 재생되어 재생 세정액으로서 공급될 때까지의 시간이 짧은 것이 바람직하다. 이와 같이 처리용 사용 세정액이 도입되고나서, 재생 세정액으로서 처리 장치로 공급될 때까지의 시간도 리드 타임이라 할 수 있다.
(10) 세정액을 사용하는 처리 장치의 사용 세정액을 회수하는 회수 수단과, 회수된 상기 사용 세정액을 재생하여 재생 세정액을 저장하는 재생 수단과, 상기 재생 세정액을 상기 처리 장치로 공급하는 공급 수단과, 상기 회수 수단, 재생 수단, 및 상기 공급 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하는 액체 재생 장치를 이용하는 세정액 재생 방법에 있어서, 상기 회수 수단에 의하여 사용 세정액을 상기 재생 수단으로 공급하는 공정과, 상기 재생 수단에 의하여 상기 사용 세정액을 재생 세정액으로 재생하는 공정과, 상기 공급 수단에 의하여 상기 재생 세정액을 상기 처리 장치로 공급하는 공정을 포함하며, 각 공정의 세정액 처리 상황을 파악하여, 이들 공정을 동시에 실시할 수 있도록 제어하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 방법을 제공할 수 있다.
여기서, 회수 공정, 재생 공정, 저장 공정, 및 공급 공정을 동시에 실시한다는 것은, 각 유닛이 어느 하나의 공정을 동시에 실시한다기보다는, 이들 공정을 서로 다르게 실시하는 것을 의미한다. 동일 공정은, 동일한 사용 세정액 등을 처리하여 동일한 재생 세정액을 생성하기 때문에, 이들 유닛에서 재료를 쟁탈하거나 생성물을 서로 억지로 떠맡기는 일이 발생할 수 있기 때문이다. 따라서, 예를 들면, 적 당히 제어되어 제1 유닛이 회수 공정을 실시하고 있을 때, 제2 유닛이 재생 공정(병행하여 저장 공정)을 실시하고, 제3 유닛이 공급 공정을 실시하고 있는 경우에는, 다음 택트에서는, 제1 유닛이 재생 공정을 실시하고, 제2 유닛이 공급 공정을 실시하고, 제3 유닛이 회수 공정을 실시한다면, 처리 장치로부터의 사용 세정액은 실질적으로 연속적으로 처리될 수 있다. 이와 같이 각 유닛의 각 공정의 처리 상황을 파악하여 각각의 공정을 효율적으로 기능 시키는 것을 특징으로 한다. 구체적으로는, 각각의 공정의 처리 속도를 감안하고 일시 저장 능력을 고려한 다음 세정액의 체적 밸런스를 조정한다. 예를 들면, 탱크 등의 저장 장치에서 저장 속도를 모니터(각 시간의 저장량을 측정하여, 시간당 저장 속도를 연산하는 등)할 수 있다.
(11) 처리 장치로부터 피처리 부재를 세정한 사용 세정액을 회수하여 재생하고, 재생 세정액을 다시 처리 장치로 공급하는 세정액 재생 방법에 있어서, 상기 사용 세정액의 회수 및 재생, 및 상기 재생 세정액의 공급을 실시하는 복수의 세정액 재생 처리 단계를 편성함으로써, 연속적으로 상기 사용 세정액을 회수하여 재생하고, 상기 재생 세정액을 다시 처리 장치로 공급하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 방법을 제공할 수 있다.
상술과 같은 복수의 유닛에서 각 공정을 서로 다르게 편성하는 것과 마찬가지로, 복수의 단계를 적당히 편성함으로써 전체적으로 고효율의 처리를 실시할 수 있다.
(12) 상기 복수의 세정액 재생 처리 단계는, 적어도 상기 사용 세정액의 회수 공정, 재생 공정, 및 상기 재생 세정액의 공급 공정으로 이루어지는 제1 단계, 상기 제1 단계에 동기하여, 상기 사용 세정액의 재생 공정, 상기 재생 세정액의 공급 공정, 및 상기 사용 세정액의 회수 공정으로 이루어지는 제2 단계, 상기 제1 단계에 동기하여, 상기 재생 세정액의 공급 공정, 상기 사용 세정액의 회수 공정 및 재생 공정으로 이루어지는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 (11)에 기재된 액체 재생 방법을 제공할 수 있다.
상술과 같은 단계의 수행에서는, 제1 단계에서 회수하고 있는 동안에 제2 단계에서는 사용 세정액을 재생하고, 제3 단계에서는 재생 세정액을 처리 장치로 공급한다. 즉, 이 처리 장치는, 사용 세정액을 배출함과 동시에 그에 알맞은 정도의 재생 세정액의 공급을 받을 수 있다. 따라서, 상기 액체 재생 방법에서는, 상기 처리 장치 내에 미사용된 세정액 혹은 재생 세정액을 많이 저장할 필요가 없다.
(13) 상기 제1, 제2, 및 제3 단계의 각 공정은, 그 대상 공정의 전후 공정이 다른 단계에 있어서의 상기 대상 공정에 대응하는 대응 공정의 전후 공정에 오버랩 가능하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 상기 (12)에 기재된 액체 재생 방법을 제공할 수 있다.
상술한 바와 같이, 예를 들면, 히터에 의한 사용 세정액의 가열에 시간이 걸리는 경우, 회수 공정을 종료하기 전에 재생 공정으로 전환하여 히터에 의한 가열을 동시에 실시할 수 있다. 일반적으로 각 공정의 오버랩은, 그 전후 공정의 실시를 곤란하게 하거나 효율을 저하시킬 가능성이 있어 피하는 것이 바람직하다. 그렇지만, 이러한 히터 가열의 조기 개시는, 사용 세정액의 온도가 충분히 높아져서 많은 증기가 발생하기 전이라면 재생 공정이나 회수 공정을 저해한다고는 생각하기 어렵다. 이와 같이 실시하여 각 공정의 저해 요인을 검토한 후에 공정의 오버랩을 실시하는 것이 바람직하다.
(14) 피처리 부재를 세정액으로 세정하는 처리 장치와, 상기 처리 장치로부터 사용 세정액을 회수하여 재생하는 액체 재생 장치를 구비하고, 상기 처리 장치 및 상기 액체 재생 장치의 사이에서 상기 사용 세정액 및 재생 세정액을 연속적으로 순환시키는 액체 재생 시스템에 있어서, 상기 액체 재생 장치는, 상기 사용 세정액의 회수 및 재생, 및 재생 세정액의 공급을 실시하는 제1 및 제2 유닛을 포함하고, 각각의 유닛은, 상기 처리 장치에 접속하여 설치되며 상기 사용 세정액을 회수하는 회수 수단과, 상기 회수 수단에 접속하여 설치되며 상기 사용 세정액을 재생하는 재생 수단과, 상기 재생 수단에 접속하여 설치되며 재생 세정액을 저장하는 저장 수단과, 상기 저장 수단 및 상기 처리 장치에 접속하여 설치되며 상기 재생 세정액을 상기 처리 장치로 공급하는 공급 수단을 포함하고, 상기 제1 유닛이 상기 사용 세정액을 회수하고 있을 때, 상기 제2 유닛이 미리 회수된 사용 세정액을 재생할 수 있는 액체 재생 시스템을 제공할 수 있다.
(15)와 같이 구성되는 제3 및 제4 유닛을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 상기 (14)에 기재된 액체 재생 시스템을 제공할 수 있다.
(16) 상기 처리 장치 및 상기 액체 재생 장치를 제어하는 제어 수단을 더욱 구비하며, 상기 제어 수단이 상기 처리 장치와 상기 액체 재생 장치의 사이에서 서로 통신을 실시하면서, 액체 재생 장치의 각 유닛에서의 상기 회수 공정, 상기 재생 공정, 상기 공급 공정을 제어하는 것을 특징으로 하는 상기 (14) 또는 (15)에 기재된 액체 재생 시스템을 제공할 수 있다.
이러한 액체 재생 시스템에서는, 세정액의 재생뿐만이 아니라 재생 세정액의 사용에 대해서도 동시에 제어할 수 있으므로, 장치 전체적으로 미처리 및 재생 세정액의 저장을 줄이면서 세정 등의 처리 효율을 높일 수 있다.
(17) 세정액을 사용하는 처리 장치의 사용이 끝난 세정액(이하 「사용 세정액」이라 한다)을 회수하는 회수 수단과, 회수된 상기 사용 세정액을 재생하는 재생 수단과, 상기 재생 수단에 의해 재생된 세정액을 상기 처리 장치로 공급하는 공급 수단과, 상기 회수 수단, 재생 수단, 및 상기 공급 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하는 액체 재생 장치를 제공할 수 있다.
(18) 상기 제어 수단이 상기 처리 장치로부터의 세정액 사용 예정 신호에 응하여, 상기 회수 수단, 상기 재생 수단, 및 상기 공급 수단 사이의 용량 조정을 실시하는 것을 특징으로 하는 상기 (17)에 기재된 액체 재생 장치를 제공할 수 있다.
자사 내에 대형 세정액 재생 장치를 갖추고 있는 경우, 또는 리사이클 업자가 재생을 실시하는 경우, 모든 공정에서 나오는 세정액을 회수하여 재생을 실시한다. 그 때문에, 세정액 외에 여러 종류의 처리액이 혼입되어 있으므로, 특허문헌 2와 같이, 저비점 오염 성분 및 고비점 오염 성분을 분리할 수 있도록 증발부 및 정류부를 구비하는 복잡한 구성을 이용할 필요가 있다. 자사에 대형 세정액 재생 장치를 갖추고 있지 않은 공장에서는 정기적으로 리사이클 업자가 사용한 세정액을 인수해가야 하므로, 사용한 세정액의 저장을 위한 공간을 확보해야하며, 재생까지 어느 정도 시간을 필요로 하기 때문에 상당량의 세정액을 준비해야 한다.
본 발명은, 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로, 처리 장치로부터 배출되는 사용이 끝난 세정액을 자동으로 즉시 재생 처리를 실시하고, 재생한 세정액을 다시 자동으로 처리 장치로 공급할 수 있는 장치나 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 의하면, 처리 장치로부터 배출된 사용이 끝난 세정액을 자동으로 그 자리에서 회수?재생?재이용 할 수 있기 때문에, 작업자에 의한 정기적인 교체 작업이 불필요하게 된다. 또한, 모든 재생에 관한 공정을 자동으로 실시하는 것 외에, 예를 들면, 프라이밍 세정에서는 미사용된 세정액도 자동으로 추가하기 때문에 상시 감시할 필요가 없다. 또한, 리사이클 업자에게 위탁하는 경우와 같이 대량의 세정액을 준비해 둘 필요도 없다. 본 발명은 하나의 처리 장치에 대해서 전용기로서 사용할 수 있기 때문에, 여러 종류의 처리 장치로부터 회수해 온 세정액의 재생 장치와 같이 복잡한 분리 기능을 필요로 하지 않는다(통상, 하나의 처리 장치에서 발생하는 사용이 끝난 세정액은 두 종류의 혼합액이다). 그 때문에, 가열 온도나 가열 시간, 폐기량 등의 설정을 바꾸면 모든 처리 장치에 사용할 수 있다. 공장 내에 대형의 세정액 리사이클 장치를 설치할 필요도 없고, 필요에 따라 각 처리 장치에 접속할 수 있기 때문에 사업 규모의 변경이나 레이아웃 변경 등에도 유연에 대응할 수 있다. 프라이밍 세정에 사용했을 경우, 프라이밍 세정 처리를 시행하면서 자동적으로 도포액이 섞인 세정액을 재이용할 수 있도록 재생하는 재생 장치를 제공하는 것이 가능해진다. 이에 의하여, 세정액의 비용을 절감하며 작업자가 신경쓰지 않아도 새로운 세정액의 추가나 재생 후 세정액의 공급, 폐수의 처리를 실시할 수 있다. 프라이밍 롤러의 세정액은 고가이기 때문에, 재이용하면 자원의 유효 이용이나 경비의 삭감이라는 바람직한 효과를 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 환경에 대해서도 바람직하다.

Claims (15)

  1. 처리 장치로부터 피처리 부재를 세정한 사용이 끝난 세정액(이하「사용 세정액」이라 한다) 을 회수하여 재생하고, 재생된 세정액(이하「재생 세정액」이라 한다」)을 다시 상기 처리장치로 공급하는 액체 재생 장치에 있어서,
    상기 사용 세정액의 회수 및 재생, 및 재생 세정액의 공급을 실시하는 제1 및 제2 유닛을 포함하고, 각각의 유닛은,
    상기 처리 장치에 접속하여 설치되며, 상기 사용 세정액을 회수하는 회수 수단;
    상기 회수 수단에 접속하여 설치되며, 상기 회수 수단에 의해 회수된 상기 사용 세정액을 수용하여 재생하는 재생 수단;
    상기 재생 수단에 접속하여 설치되며, 상기 재생 수단에 의해 재생된 상기 재생 세정액을 저장하는 저장 수단;
    상기 저장 수단 및 상기 처리 장치에 접속하여 설치되며, 상기 재생 세정액을 상기 처리 장치로 공급하는 공급 수단을 포함하고,
    상기 제1 유닛이 상기 사용 세정액을 회수하고 있을 때, 상기 제2 유닛이 미리 회수된 상기 사용 세정액을 재생할 수 있는 것을 특징으로 하는 액체 재생 장치.
  2. 청구항 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 및 상기 제2 유닛에서, 상기 회수 수단, 상기 재생 수단, 상기 저장 수단, 및 상기 공급 수단을 제어하는 제어수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 장치.
  3. 청구항 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 및 상기 제2 유닛에서 상기 재생 수단은, 회수한 상기 사용 세정액을 저장하는 재생 탱크와, 상기 재생 탱크에 설치되고 상기 사용 세정액을 가열할 수 있는 히터를 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 장치.
  4. 청구항 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 및 상기 제2 유닛에서, 상기 재생 탱크의 상부에 접속되어 배기 또는 감압하기 위한 배기 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 장치.
  5. 청구항 제 2 항 내지 청구항 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 및 상기 제2 유닛에서, 상기 재생 수단 또는 상기 공급 수단 중 적어도 어느 하나는, 저장액의 양을 검출할 수 있는 검출 수단을 구비하는 것을 특징 으로 하는 액체 재생 장치.
  6. 청구항 제 5 항에 있어서,
    상기 제어 수단은, 상기 제1 및 상기 제2 유닛의 상기 검출 수단에 의해 검출된 상기 사용 세정액 또는 상기 재생 세정액 중 적어도 어느 하나의 양에 근거하여, 상기 회수수단, 상기 재생 수단, 및 상기 공급 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 장치.
  7. 청구항 제 3 항 또는 청구항 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 및 상기 제2 유닛에서, 상기 재생 탱크 저부에 접속되어 상기 사용 세정액의 재생 후 찌꺼기를 뽑아내어 폐기하는 폐기 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 장치.
  8. 청구항 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 및 상기 제2 유닛에서 상기 재생 수단은, 상기 사용 세정액의 증류분을 냉각하고 액화하여 상기 재생 세정액으로 하는 냉각 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 장치.
  9. 청구항 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 및 상기 제2 유닛의 상기 냉각 수단에 냉각수를 공급하는 냉각수 공급 수단을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 장치.
  10. 삭제
  11. 처리 장치로부터 피처리 부재를 세정한 사용 세정액을 회수하여 재생하고, 재생 세정액을 다시 처리장치로 공급하는 액체 재생 방법에 있어서,
    상기 사용 세정액의 회수 및 재생, 및 상기 재생 세정액의 공급을 실시하는 세정액 재생 처리 단계를 복수로 수행하되,
    복수의 상기 세정액 재생 처리 단계는,
    상기 사용 세정액의 회수 공정, 재생 공정, 및 상기 재생 세정액의 공급 공정으로 이루어지는 제1 단계;
    상기 제1 단계에 동기하여, 상기 사용 세정액의 재생 공정, 상기 재생 세정액의 공급 공정, 및 상기 사용 세정액의 회수 공정으로 이루어지는 제2 단계;
    상기 제1 단계에 동기하여, 상기 재생 세정액의 공급 공정, 상기 사용 세정액의 회수공정 및 재생 공정으로 이루어지는 제3 단계를 적어도 포함함으로써, 연속적으로 상기 사용 세정액을 회수하여 재생하고, 상기 재생 세정액을 다시 처리장치로 공급하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 방법.
  12. 청구항 제 11 항에 있어서,
    상기 제1, 제2, 및 제3 단계의 각 공정은, 그 대상 공정의 전후 공정이 다른 단계에 있어서의 상기 대상 공정에 대응하는 대응 공정의 전후 공정에 오버랩 가능하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 방법.
  13. 피처리 부재를 세정액으로 세정하는 처리 장치와, 상기 처리 장치로부터의 사용 세정액을 회수하여 재생하는 액체 재생 장치를 구비하고, 상기 처리 장치 및 상기 액체 재생 장치의 사이에서 상기 사용 세정액 및 재생 세정액을 연속적으로 순환시키는 액체 재생 시스템에 있어서,
    상기 액체 재생 장치는, 상기 사용 재생액의 회수 및 재생, 및 재생 세정액의 공급을 실시하는 제1 및 제2 유닛을 포함하고, 각각의 유닛은,
    상기 처리 장치에 접속하여 설치되며, 상기 사용 세정액을 회수하는 회수 수단;
    상기 회수 수단에 접속하여 설치되며, 상기 회수 수단에 의해 회수된 상기 사용 세정액을 수용하여 재생하는 재생 수단;
    상기 재생 수단에 접속하여 설치되며, 상기 재생 수단에 의해 재생된 재생 세정액을 저장하는 저장 수단;
    상기 저장 수단 및 상기 처리 장치에 접속하여 설치되며, 상기 재생 세정액을 상기 처리 장치로 공급하는 공급 수단을 포함하고,
    상기 제1 유닛이 상기 사용 세정액을 회수하고 있을 때, 상기 제2 유닛이 미리 회수된 사용 세정액을 재생할 수 있는 액체 재생 시스템.
  14. 청구항 제 13 항에 있어서,
    같은 형태로 구성되는 제3 및 제4 유닛을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 시스템.
  15. 청구항 제 13 항 또는 청구항 제 14 항에 있어서,
    상기 처리 장치 및 상기 액체 재생 장치를 제어하는 제어 수단을 더욱 구비하고, 상기 제어수단이 상기 처리 장치와 상기 액체 재생 장치의 사이에서 서로 통신을 실시하면서, 액체 재생장치의 각 유닛에서의 상기 회수 공정, 상기 재생 공정, 상기 공급 공정을 제어하는 것을 특징으로 하는 액체 재생 시스템.
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