TWI373362B - Recycling device and method - Google Patents

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1373362 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本專利申請係依據2006年12月27曰提出之pcT專利申請 編號PCT/JP2006/326079，而主張其優先權，不過前述專 利申請之全部内容參照於此，而納入本專利申請。 本發明係關於在&晶及|導體等中使用d淨液及其他 液體的液體再生裝置及再生方法。 【先前技術】 先前，洗淨液等一旦已使用即逕行廢棄，或是貯存於廢 棄槽，另外進行再生處理，作為相同洗淨液等，或是使用 於另外之用途。如以細縫喷嘴進行塗佈之方法，在塗佈步 驟中，就基板不需要塗佈之部分及裝置的洗淨等，目前仍 係使用大量之洗淨液，而該已使用洗淨液係預先貯存於特 定之槽中實施另外處理。該處理結果，再生洗淨液可使用 於其次之情況。 亦即，經常需要預先保持表面潔淨之起動滾筒（priming roller)須藉由多量之洗淨液來洗淨，而僅以未使用之洗淨 液洗淨時，需要使用多量之洗淨液及廢棄多量之已使用洗 淨液，因而與節省資源相違背。因此，如專利文獻丨在起 動滾筒之洗淨時，係藉由使用—旦使用過之洗淨液（上述 之另外再生處理過的洗淨液）作為預備清洗，於加工時使 用乾淨之洗淨液（未使用之洗淨液）等，儘量謀求減少使用 之洗淨液。 但疋’即使預備清洗及加工清洗時分別使用不同之洗淨 128I07.doc iy/5362

液，右疋各洗淨液仍然廢棄，結果仍需要多量之洗淨液β 先則係廢棄已使用洗淨丨，而考慮s $或是基於減少洗淨 液成本之㈣，而本身么、司具備大型之再生裝置（專利文 獻2) ’最近亦有委託再循環業者進行再生利用。如即使預 先收集已使用之洗淨液，並藉由另外之淨化裝置等而再利 用時’預先彳t集之部分仍㈣要多量之洗淨液。此外，市 面上亦有販售單體之洗淨液再循環單元放人數公升之已 使用洗淨液加以靜置，數小時後獲得再生洗淨液。但是， 此=批次處理少量洗淨液之程度者，可能可使用在塗裝 現場等，但是不適合使用在連續性大量使用洗淨液之工廠 寻利文獻1:日本特開2005_329340號公報 專利文獻2:日本特開平9 49〇93號公報 【發明内容】 發明所欲解決之問題

聿= : = :備大型之洗淨液再生裝置時，或是再循環 風進仃再生肖，係、时從所有步驟輸出之洗淨液 二生裒因而，了洗淨液之外，還混入了數種處理： 利文獻2所*1要使用具備蒸發部 斤 =广分離低滞點污垢成分及高彿點污垢成分2 具備大型洗淨液再生裝置之工廠中，則 使用之洗淨液，定爱日+ 于匕 期由再循環業者取回，但是，因為以 一二子之二間’且耗費再生前之時間，所以須備有相 當ϊ:的洗淨液。 间’相 I28107.doc 本發明係鑑於此種情況而完成者，其目的為提供—種可 將從處理裝置排出之已使用洗淨液即時自動地進行再生處 並將再生後之洗淨液再度自動地供給至處理裝置的裝 置及方法。 & 解決問題之技術手段 為了解決上述問題，提供一種液體再生裝置，其包含： 回收機構，其係回收已使用液體（包含洗淨液）；再生機

構’其係再生該已使用液體作為再生液體；及供給機構， 其係將前述再生液體供，給至前述處理裝置。㈣之適用 例，係可在具備洗淨功能之處理裝4中，肖供一種液體再 生裝置，其係包含：回收機構，其係回收使用於洗淨之結 果’包含其他種類化合物之已使用洗淨液（以下稱為「使 用洗淨液」）；再生機構，其係再生使用洗淨液，而產生 再生之洗淨液(以下稱為「再生洗淨液」）；及供給機構， 其係將該再生洗淨液供給至前述處理裝置。通常從!個處

理裝置排出之洗淨液不致包含太多之不同成分。因而，不 需要複雜之功能’可作為專用之液體再生機，而連接於各 處理裝置來使用。 ' 該液體再生裝置包含：回收機構，其係回收前述使用洗 淨液，再线構，其係料述时機構时之使用洗淨液 予以蒸餾分離，而產生再生洗淨液；及供給機構其係為 了洗淨等，而將該再生洗淨液再度供給至處理裝置。 此外’ -種實施態樣之再生方法亦可包含以下步驟：回 收使用洗淨液；再生使用洗淨液，而產生再生洗淨液；及 128107.doc 1373362 將該再生洗淨液再度供給至處理裝置。 更具體而言，可提供以下所示者。 ⑴可提供—種液體再生裝置，其特徵為··其係從處理裝置 回收洗淨被處理構件之已使用洗淨液（以下稱為「使用洗 淨液」），進行再生，並再度將再生洗淨液供給至處理裝 置且包3第一及第二單元，其係進行前述使用洗淨液之 回收及再生，以及再生洗淨液之供給，各個單元包含：回 收機構、，其㈣接於前述處理裝置而設置，並回收前述使 用洗淨液，再生機構，其係連接於前述回收機構而設置， 並收容由該时機構所回收之前述使用洗淨液進行再生； 貯存機構’其係連接於前述再生機構而設置，並貯存由該 再生機構所再生之洗淨液(以下稱「再生洗淨液」）；及供 給機構’其係連接於前述貯存機構及前述處理裝置而設 置’並將前述再生洗淨液供給至前述處理裝置；於前述第 一單元回收前述使用洗淨液時’前述第二單元可再生預先 回收之使用洗淨液。 此處，洗淨液只要是藉由再生機構，作為再生洗淨液可 從使用洗淨液分離而再利用（再循環）者即可。如可包含所 謂溶劑及分散固體之分散劑。此外，亦可包含洗淨結果而 混入之巧垢物質(或成分)等。使用洗淨液之處理裝置可包 含洗淨機構，該洗淨機構可包含可將洗淨液喷射於起動滚 筒之噴射裝置。該噴射裝置可包含喷射用之噴嘴。此外， 前述回收機構及前述再生機構可包含以下說明中使用之回 收部及再生部。此外’該回收部可包含配管及閥門，前述 128107.doc 1373362 再生部可包含容器（如槽等），介 一…· ）亦可包含配管等。此外，壓 :減壓機構叮包3泵。前述供給機構可包含供給 供給部可包含可貯存再生洗淨液之槽。再者，可包該 該再生洗淨液用之泵及配管。此 _ 3 &运 此外，前述控制機構可办八 控制裝置，該控制裝置如可包含 匕3 考望……“ 匕3微电^、個人電腦、定序 态荨所有現有之處理器。容|噌敕 '汁 播拔…S 里調整可表示分別在前述回收 機構、刖述再生機構及前述供給 收 依:得考慮可貯 處理對象之洗淨液（可包含使 成為 …… 使用洗净液及再生洗淨液)的容 Ϊ，該洗淨液之處理速度（每單 ；的奋 平促呀間之處理容量）及矸也 給之供給速度（每單位時間之供給量）， 供 述再生機構及前述供給機構成為一體，以可進行最^之: :液的處理之方式’調整前述回收機構、前述再生機構^ 别述供給機構的處理效率及運轉率等。 前述第二單元亦可為其纟士 炎“甘 構與別述第一單元相同，亦可 為/、用基本結構，而洗淨& 土 B 之貯存谷®及處理速度等不同 者。即使僅前述第一或二 «： » π ..... 一 之任何一個，仍可從處理 裝置回收洗爭被處理構件 異Mm ώ 铸之使用心液，進行再生，而將 再生洗淨液再度供給至處 置分&裒置此外，前述第-及第二 早兀亦可分別獨立地發揮功能。 此外，前述再生機構可包含蒗餾 洗淨以^胃^1 冓-係可進行使用 …、餾^驟。该4餾機構可因應 液體的特性，進行w ㈣收之已使用 餾機槿度之溫度調整。此外，該蒸 :構可包3加熱器及溫度調節裝置。 前述貯存機構可包含貯存 'A砰存部可包含槽之容 J28107.doc 1373362 器。此外，前述供給機構可包含供給部，供給部如可從鼓 風機及高壓鋼瓶等壓送空氣（AIR)及氮氣（n2㈣之氣體而 供給。 (2)可提供上述（1)中記載之液體再生裝置其特徵 前㈣-及前述第二單元中，進—步包含控制機構其係 控制前述回故機構 '前述再生機構、前述貯存機構及前述 供給機構。

前述控制機構可包含控制部，該控制部可包含控制裝置 f如上述。該控制裝置可為可控制後述之排氣部、檢測 部、廢棄部及冷卻水供給部。控制部可包含藉由電磁式方 法、油壓式方法、其他人之感官無法辨識之方法而連接 處理裝置及前述液體再生裝置的機構。控制部可分別獨立 地控制前述第-及第二單元。該控制部可以藉由後述之檢 測部的訊號而自動地進行回收—再生—供給之各步驟的方

式來控制。因此，可自動地進行從回收切換至再生、從再 生切換至供給。 (3)可提供上述(2)中記載之液體再生襄置，其特徵為：前 述第一及前述第二單元中，前述再生機構包含：再生槽， 其係貯存回收之前述使用洗淨液；及加熱器，其係設於該 再生槽’可將前述使用洗淨液加熱。 前述再生槽將前述加熱器設於其中，可直接地或間接地 加熱貯存之使用洗淨液。前述加熱器可為可藉由前述控制 機構進行開關之接通/斷開（0N/0FF)及輸出調整，此=， 亦可具備異常訊號時自動停止之功能。 I28107.doc 丄川:5()2 (4) 可提供上述（3)中記載之液 述第—及前述第二單-由 生裝置，其特徵為：前 接於一進一步包含排氣機構，其係連 接於則述再生槽之上部，用於排氣、減愿。其係連 排氣機構^含排氣部。排氣 構。為/減壓，前述再生槽宜具有密閉構3造真Γ以減壓機 (5) 可提供上述（2)至⑷中任何_項纟 其特徵為:前述第一及前述第二單；中，前=及 /或前述供㈣w，W㈣存液Γ =測機射包含_部H料可包含檢測液體再生 裝置及處理裝置$ #能& 4 狀ι的感測器（如溫度感測器、液面位 态）。檢測部可提供控制部控制時需要之資訊。 ⑹可提供上述（5)中記載之液體再生裝置，其特徵為：前 椹控制機構依據由前述第-及前述第二單元之前述檢測機 :所檢測出的前述使用洗淨液及/或前述再生洗淨液之 量丄控制前述时機構 '前述再生機構及前述供給機構。 前述檢測機構可為可檢測洗淨液之量及其量之隨時間變 化及隨時間變化率。藉此，進一步可掌握可貯存之洗淨液 量，此外可預測貯存量之增減。 (7)可提供上述（3)或（4)中記載之液體再生裝置，其特徵 為：前述第-及前述第二單元中，進一步包含廢棄機構， 其係連接於前述再生槽底部，抽出前述使用洗淨液之再生 後殘渣而廢棄。 再生則述使用洗淨液時’從使用洗淨液分離了特定量之 再生洗淨液情況下，抽出殘留於再生槽内之再生殘渣。通 128107.doc 1373362 常混入洗淨液之成分於蒸汽壓愈低，殘渣中包含愈多。此 外，在蒸餾/分離步驟中，該殘渣中亦包含許多高分子化 之成分。因此，為了廢棄此等殘渣，宜將廢棄機構設於前 述槽之底部。 ()可提供上述（1)中記載之液體再生裝置，其特徵為：前 述第一及前述第二單元中，前述再生機構包含冷卻機構， 其係將前述使用洗淨液之蒸餾部分予以冷卻而液化作為 前述再生洗淨液。 ~ ⑼可提供上述⑺中記載之液體再生裝置，其特徵為：進 :步包含冷卻水供給機構，其係供給冷卻水於前述第一及 月'j述第一單元之前述冷卻機構中。 此處’前述冷卻機構可包含冷卻部。該冷卻部可包含稱 為C〇nden叫冷凝11。該冷凝ϋ可藉由與從外部導入之> 卻媒體的熱交換，Α .择％ * 7 、7凝蒸汽而液化。一般而言，有使用冷 部水作為冷㈣體之水冷方式與氣冷方式。 可提供上述（2)至中# 其特η反以（7)中任何-項記载之液體再生裝置， 具将徵為：至少具偌 元同樣地包含：回收:Γ二 前述第一及第二單 構，前述控制機構至 構、貯存機構及供給機 前述回收機構、前述再…Α 第二单70之各個 機構，將料_、Μ㈣存機似前述供給 洗淨液之供給予以日最^叫予以最小化，而將前述再生 月1J述第三單- 為基本結構共Γ，、可為其結構與前述第一單元相同，亦可 而洗淨液之貯存容量及處理速度等不同 I28107.doc -13- 1373362 者。即使僅前述第-、第二或第三單元之任何一個仍可 從處理裝置回收洗淨被處理構件之使用洗淨液進行再 生，而將再生洗淨液再度供給至處理裝置。此外，前述第 -、第二以及第三單元亦可分別獨立地發揮功能。前述控 制機構可控制此等單元之各回收機構、再生機構、貯存機 構及供給機構，而倍么個！g + 向便谷個早兀中之回收步驟、再生步驟、 貯存步驟及供給步驟相互不同地實施。各單元中可依序實 施前述回收步驟、前述再生步驟、前述貯存步驟及前述供 /驟ϋ且3個單疋分別錯開各步驟而有效地處理使 6先淨液及再生洗淨液。此時，考慮各單元間同一步驟不 宜全部同時實施。此因，同時需要至少由2個單元處理之 =用洗淨液，並同時產生結果獲得之再生洗淨液，可能在 -理液之收支中，無法充分保持平衡。詳細内容於後述。 卜此處所明别導時間，如在再生步驟中，因為即使 ^加熱器之開關’使用洗淨液不致立即到達特定之處理 =門=指其之前的時間。亦即，特定溫度之前的昇 /皿時間’亦無法回收 亦無法實質地進行再生。因’且產生充分之蒸汽’ , 再生因為此種時間僅成為空轉時間， ’為了提高猶環效率’宜予 再生洗淨液之“… 最小化。此外，所謂將 η大之目^ 予以最大化’係指液體再生裝置中不具 魔大之貝丁存機構 為再d a 制洗人後至再生該洗淨液 ==而供給為止的時間宜較短。如此，亦可將導 二里：之㈣洗淨液後’作為再生洗淨 之時間’稱為前導時間。 128107.doc 1373362

(i〇)y提供一種洗淨液再生方法，其係使用液體再生裝置 ,X液體再生裝置係包含：回收機構，其係回收使用洗 淨=之處理裝置的使用洗淨液；再生機構，其係再生回收 ⑴述使用（淨液’而貯存再生洗淨液；供給機構，其係 將别述再生洗淨液供給至前述處理裝置；及控制機構，其 係控制前述回收機構'再生機構及前述供給機構；其特徵 ^包3以下步驟：藉由前述回收機構將使用洗淨液供給至 則述再生機構；藉由前述再生機構將前述使用洗淨液再生 成再生洗淨液；及藉由前述供給機構將前述再生洗淨液供 給至刖述處理裝置；掌握各步驟之洗淨液的處理狀況，控 制成可同時進行此等步驟。 此处’所謂同時進行回收步驟、再生步驟、貯存步驟及 供給步驟，可表示相互不同地進行此等步驟，並非各單元 同時進行任何-個步驟。因為同—個步驟處理相同使用洗 淨液等，並產生相同再生洗淨液，所以可發生此等單元間 :材料的爭奪及產生物之相互推擠。因此，如適當地控 ⑺’進仃第-單S之回收步驟時’第二單元進行再生步驟 。日·進仃貯存步驟），第三單元進行供給步驟情況下，直 次…節桕(Uct)係第一單元進行再生步驟，第二單： 心供給步驟’ m進行回收步驟時，來自處理裝置 洗淨液’可實f地連續地處理。如此，將掌握各單 處:狀況，使各個步驟有效發揮功能作為特 ，斜酌各個步驟之處理速度， 力後’調整洗淨液之體積平衡。如在槽等之貯存裝置中 128107.doc 1373362 可監視貯存速度（測定各時間之貯存量，運算每單位時間 之貯存速度等）。 •⑴)可提供-種洗淨液再生方法’其特徵為：係從處理裝 ^线淨被處理構件之制洗料，進行W，並將再 • &洗淨液再度供給至處理裝置，且藉由組合進行前述使用 .《先淨液之回從及再生，以及前述再生洗淨液之供給的複數 洗淨液再生處理流程，而連續地回收前述使用洗淨液，進 # 行再生，並將前述再生洗淨液再度供給至處理裝置。 與相互不同地組合上述複數單元中之各步驟同樣地，藉 由適當地組合複數流程，全體可進行高效率之處理。曰 (12)可提供上述⑴)中記載之洗淨液再生方法，其特徵 複數洗淨液再生處理流程至少包含：第一流程， /、係“前述㈣洗淨液之时步驟、再生步驟 Γ淨液之供給步驟；第二流程，其係與前述第一流程同 v ’並包含.前述使用洗淨液之再生步驟' 前述再 ，液之供給步驟及前述使用洗淨液之回收步驟；及第三* 程，其係與前述第一流程同步糾 之供給步驟、前述使用… …-述再生洗淨液 Μ使用^液之回收步驟及再生步驟。 上述流程之組合，在以笛一，古 生使用洗淨液，第：汽程伟—將;回收甲，第二流程係再 置。亦即，料置可在^ 淨液供Μ處理裝 , 在排出使用洗淨液之同時，接受 與其相當程度之再生洗 又 方法無需在前述處理MW —因此，該洗淨液再生 淨液或再生洗淨液的=如此程度多地保持未使用之洗 f28I07.doc -16· 1373362 ⑴）可提供上述（12)中記載之洗淨液再生方*， 二：述第一、第二及第三流程之各步驟控制成其對象步 驟别後之步驟可重疊於對應於其他流程中之 的對應步騾前後之步驟。 象^驟 如上述，如藉由加熱器將使用洗淨液加熱花費時間情況 下’可在結束回收步驟之前，切換成再生步驟而同時進 行加熱器之加熱。一般而言’各步驟之重疊，其前後步驟 之實施困難，或是可能降低效率，❿宜避《。但是該加 熱器之加熱的早期開始，係使用洗淨液之溫度充分提高， 且發生許多蒸汽之前時，不容易阻礙再生步驟及回:步 驟。因而，宜在檢討各步驟之阻礙因素後，進行步驟之 疊。 (14)可提供一種液體再生系統，其係包含：處理裝置其 係以洗淨液洗淨被處理構件；及液體再生裝置，其係回收 來自該處理裝置之使用洗淨液進行再生；且使前述使用洗 • 淨液及再生洗淨液在該處理裝置及該液體再生裝置之間連 續性循環，且前述液體再生裝置包含進行前述使用洗淨液 之回收及再生，以及再生洗淨液之供給的第一及第二單 元，各個單元包含：回收機構，其係連接於前述處理裝置 . 而設置，並回收前述使用洗淨液；再生機構，其係連接於 前述回收機構而設置，並再生前述使用洗淨液；貯存機 構，其係連接於前述再生機構而設置，並貯存再生洗淨 液；及供給機構，其係連接於前述貯存機構及前述處理裝 置而設置，並將前述再生洗淨液供給至前述處理裝置；於 128107.doc 17 1373362 前述第-單元回收前述使用洗淨液時，前述第二單元 生預先回收之使用洗淨液。 ⑴）可提供上述（14)中記载之液體再生系统其特徵為 進一步包含同樣地構成之第三及第四單元。 (16)可提供上述（14)或（15)中記載之液體再生系統直特徵 為··進一步包含控制機構，其係控制前述處理裝置及前述 液體再生裝置’該控制機構在前述處理裝置與前述液體再 生^置之間相互進行通訊，並控制液體再生裝置在各單元 之前述回收步驟、前述再生步驟及前述供給步驟。 此種液體再生系統中，除了洗淨液之再生外，亦可同時 控制再生洗淨液之使用’因&，裝置全體可減少未處理及 再生洗淨液的貯存，且可提高洗淨等處理之效率。 ()可提供一種液體再生裝置，其包含：回收機構，其係 时使用洗淨液之處理t £的已使㈣淨液（以下稱為 「使用洗淨液」广再生機構，其係再生回收之前述使用 洗淨液；供給機構，其係將由前述再生機構所再生之洗淨 液供給至前述處理裝置；及控制機構，其係控制前述回收 機構、再生機構及前述供給機構。 =8)可提供上述（17)中記載之液體再生裝置其特徵為： 月J述控制機構按照來自前述處理裝置之洗淨液預定使用訊 號進行刖述回收機構、前述再生機構及前述供給機構間 之容量調整。 發明之效果 藉由本發明，因為可自動地在現場回收、再生、再利用 I28I07.doc -18- 1373362 自處理裝置排出之已使用洗淨液，所以不需要由作業者定 期實施更換作業。此外’除了自動進行關於全部再生之步 驟外，例如在起動洗淨中，㈣動追加未使用之洗淨液： 所以無需隨時監視。&夕卜，亦不需要如委託給再循環業者 之情況，要備有A量之洗淨&。因為本發明對⑽處理裝 置可用作專用機，所以不需要如從多種處理裝i回收之洗 淨液的再生裝置構成複雜之分離功能（通常從丨個處理裝置 產生之已使用洗淨液係2種混合液）。因而，改變加熱溫 度、加熱時間及廢棄量等之設定時，可使用於所有之處理 裝置。工廠内亦無需設置大型之洗淨液再循環裝置，因為 依需要可連接於各處理裝置，所以亦可彈性地對應於事業 規模之變更及佈局變更等。使用於起動洗淨時，可提供再 生裝置，其係進行起動洗淨處理，同時自動地再生成可再 矛J用塗佈液昆合之洗淨液。藉此，可減少洗淨液之費用， 亦不必麻煩作業者，而可進行新洗淨液之追加、再生後之 洗淨液的供給及廢液之處理。因為起動滾筒之洗淨液昂 貴，所以若再利用，除了可獲得資源之有效利用及經費之 減少的有利效果外，亦對環境有利。 【實施方式】 以下，使用抗蝕劑塗佈裝置’並依據圖式更詳細說明本 發明較佳之實施例，不過這是用於說明本發明者，本發明 之内容當然不限定於以下之實施形態。此外，關於同一或 同種要素，係使用同一或有關連性之符號，並省略重複之 說明。 •28l07.doc 1373362 (實施例1) 首先，使用圖1說明使用於本發明之起動滾筒洗淨裝 置。圖1係顯示一種起動滾筒洗淨裝置之結構圖。圖1所示 之.起動滚筒洗淨裝置90具備：細縫喷嘴91、被處理構件之 起動滚筒92、洗淨槽93、噴嘴94，95，96及洗淨液排出管 97。從細縫噴嘴91對基板進行塗佈之前，起動滚筒洗淨裝 置90係從細缝喷嘴91向起動滾筒92吐出塗佈液98。因為起 動滾筒92需要在1次旋轉中保持表面乾淨，預先準備其次 之假配藥（dummy dispense)，所以比起動滚筒92之塗佈區 域更下方之部分被洗淨槽93覆蓋。 [洗淨步驟] 洗淨槽93之中係進行起動滾筒92之洗淨與乾燥。首先， 從噴嘴94將預先再循環之洗淨液向起動滾筒92表面噴射。 此時’亦可在洗淨液中混入空氣，以強大壓力噴射洗淨 液’此外，使洗淨液之喷嘴94搖動亦有效果。再者，在起 動滚筒92之旋轉方向D1(圖中順時鐘方向），從配置於下游 側之位置的噴嘴95喷射未使用洗淨液（尚未使用之洗淨 液）°此時’噴射式或搖動式亦有效果。最後，基於使洗 淨液乾燥之目的’而從噴嘴96噴射氮（NO氣。藉由以上之 動作’起動滾筒92之洗淨、乾燥結束。此時使用之洗淨液 (塗佈液與洗淨液之混合液）通過設於洗淨槽93下方之洗淨 液排出管97’而輸送至液體再生裝置（洗淨液再生單元）。 [液體再生裝置之結構] 其次’說明液體再生裝置。圖2係顯示液體再生裝置之 128l07.doc -20- 1373362 種..·=構圖。由回收部、再生部、貯存部及供給部構成^ 個單元。顯示於圖2之液體再生裝置具有2個單元。就第一 單元作說明時’回收部包含依需要而設置之泵P1、配管11 及閥門12a。再生部包含再生槽A(13a)、加熱器21a、通道 22a及冷卻塔24。貯存部包含閥門25a、配管29a及洗淨 液槽26a。供給部包含洗淨液槽A(26a)、配管35，35a， 31a、閥門34a、閥門33a及過濾器36。另外，第二單元之 回收部包含恢需要而設置之泵？1、配管u及閥門l2b。再 生部包含再生槽B(13b)、加熱器21b、通道22b、及冷卻塔 24。貯存部包含閥門25b、配管29b及洗淨液槽B(26b)。供 口。P 包 3 洗等液槽 B(26b)、配管 35, 35b, 3 1 b、閥門 34b、 閥門33b及過濾器36。使用一方之單元作為回收單元時， 使用另一方之單元作為再生單元。此外，顯示於圖2之液 體再生裝置進一步具備：排氣部、檢測部、控制部（無圖 示）、廢棄部及冷卻水供給部。就第一單元作說明時排 氣部包含閥門28a、配管84及泵P2。檢測部包含位準感測 器61a，62a，61b，62b。控制部具備可通訊自如及控制自如 地電性連接於位準感測器61a，61b，62a，62b，66a，65a，66b， 65b、閥門12&及12b、加熱器21a，21b、閥門25a，25b的控 制器（無圖示）。廢棄部包含閥門41a、配管86a及廢液槽 42。冷卻水供給部包含51、閥門52a，52b、配管53a，53b。 液體再生裝置之回收部回收從起動滾筒洗淨裝置排出之 塗佈液與洗淨液混合之混合液（亦即「使用洗淨液」）^再 生部從該使用洗淨液分離洗淨液成分，而再生再生洗淨 128107.doc -21 - 1373362 液。從使用洗淨液分離再生洗淨液之步驟，係利用使用洗 淨液中之各成分（如洗淨液及塗佈液之成分）的沸點差異。 換言之，係藉由將使用洗淨液加熱、蒸餾來進行分離。此 外，在再生部之再生槽A〇3a)及再生槽B(13b)的上部連接 排氣部之配管22a，22b時，於加熱時可將槽内減壓。因 而，由於可降低海點，因此有效促進蒸發。貯存部在洗淨 液槽A(26a)及洗淨液槽B(26b)中冷卻蒸餾分離出之洗淨 液成分，作為再循環之再生洗淨液而暫時貯存。供給部將 洗淨液槽A(26a)及洗淨液槽B(26b)中貯存之再生洗淨液， ，鼓風機7〇等，將各槽内加壓，而將再生洗淨液通過配 S 35, 35a，35b等供給至起動滾筒洗淨裝 測部在再生部及供㈣之各_中 ^置）檢 ^檢測使用洗淨液或再 控制部依據藉由檢測部檢測出之使用洗淨 ^蔣Ϊ洗*液之量’控制回收部、再生部及供給部。廢 使二使用洗淨液蒸發許多揮發性成分而分離出的殘留 、、査而廢部分中殘留洗淨液等之揮發性成分）作為殘 要冷卻之部二==部、再生部及廢棄部等需 梦番 冷部水。起動滾筒洗淨裝置及液體再4 裝置之間藉由通常之配管算i車垃β m 戍體再生 液相互地移動於其中。 & # Μ #生洗淨 另外，圖2係顯示—種液體 收部、再生邱、ρ — 生裒置者’只要係實現回 [再生處理] 各力月匕者，結構亦可不同。 I28l07.doc •22- 1373362 其次，就各構成要素，按照塗佈液（抗蝕液）與洗淨液（稀 釋劑（thinner))混合之使用洗淨液的分離步驟之流程作說 明。再生槽A及B(13a，13b)經由配管11及回收配管（無圖 示）而與圖1所示之洗淨液排出管97連接。從起動滾筒洗淨 裝置之洗淨槽93排出之使用洗淨液通過洗淨液排出管97與 配管11而收集於再生槽A&B(13a，13b)。此處，係以使用 洗淨液每60秒鐘1次為1〇〇cc之比率回收於再生槽a及 B(13a，13b)，而在再生槽A&B(13a，丨3b)中收集特定量之 使用洗淨液為前提作說明。 [回收步驟] 回收部從起動滾筒洗淨裝置回收使用洗淨液。具體而 言，係開放閥門12a(或閥門12b),使使用洗淨液隨時流入 再生槽A(13a)(或再生槽B(13b)p此處，係以約1分鐘^欠 之比率’在較短之時間内將i 00(^之使用洗淨液貯存於再 生槽A(13a)t ’並持續至達到特定量（如5L)(如持續5〇分 鐘）。 [再生步驟] 具體而言，特定量之使用洗淨液收集於再生槽A(13a)中 時，關閉閥門12a ’並打開閥門12b，切換成使用洗淨液向 再生槽B(13b)回收而流入。關閉閥門12a時，再生槽A(i3a) 藉由加熱器21a開始加熱。藉由加熱器21a加熱至12〇度 〜140度，檢測出使用洗淨液達到設定溫度附近時，打開之 前關閉之閥門25a及28a，藉由真空泵27而經由洗淨液槽 A(26a)之氣體區域與冷卻塔24，開始將再生槽Α(13&)内減 128107.doc •23、 1373362 壓。藉由真空泵27之作用，再生槽A(13a)及通道22a内排 出現有之m而以使用洗淨液中之揮發性成分的蒸汽 充滿。如此，藉由同時進行加熱與減壓，來促進使用洗淨 液之揮發。使用洗淨液中，因為洗淨液（稀釋劑）者的沸點 低，所以使用洗淨液之揮發性成分先開始蒸發。 此時，亦可塗佈液之全部成分係揮發性，亦可一部分包 3非揮發性或尚沸點的成分。該情況下其成分不蒸發而 V留於再生槽a( 13a)内。一般而言，洗淨液之全部成分係 揮發性，且在此處蒸發時，許多部分流出再生槽A(1 3a)之 外。但是，洗淨液之一部分亦可包含非揮發性或高沸點之 成分。該成分如上述停留於再生槽八（13 a)内。 [殘渣之廢棄] 藉由位準感測器等判斷出再生槽A( 13 a)内之使用洗淨液 的殘留量比特定量少時（如達到最初具有之使用洗淨液量 的約20%時）’結束再生處理。藉由該再生處理之結束，關 閉閥門25a及28a ’並打開閥門23a，釋放再生槽A( 13a)内之 殘留壓力。此外，打開連接於再生槽A( 13 a)之底部的閥門 41a，廢棄再生槽a(1 3 a)内之殘渣的使用洗淨液。 [再生洗淨液之貯存] 在通道22a，22b之中途有冷卻塔24，藉由冷卻水進行冷 卻。因此，從使用洗淨液蒸發之成分被冷卻而液化，作為 再生洗淨液，而從冷卻塔24通過配管29a，29b滴落於洗淨 液槽A(26a)(或洗淨液槽B(26b))而貯存。 [冷卻水] 128l07.doc -24. 1373362 冷卻水藉由打開閥門51，並調整閥門52a及52b之開關， 而通過配管53a，53b，供給至冷卻塔24及廢液槽42。此 • 外’通過配管54a，54b而回收使用過之冷卻水。由於使用 過之冷卻水（冷卻水返回）與再生洗淨液熱交換而成為高 溫，因此，宜設置冷卻使用過之冷卻水用的冷卻器（冷卻 裝置）’可將該冷卻後之冷卻水再度作為冷卻水而供給， 並將冷卻水供給機構作為循環器（液體循環裝置）。 [供給步驟] 而後’自動打開閥門33a及34a，藉由從鼓風機7〇經由閥 門72而輸送之空氣’而將從配管3〗經由過濾器32，通過配 管31a，並通過打開閥門34a之供給管35a而再循環的洗淨 ' 液，壓送至圖1之起動滾筒洗淨裝置的喷嘴94。再生槽 A(1 3a)中之使用洗淨液的再生處理_，無法從洗淨液槽 A(26a)供給再生洗淨液至喷嘴94。 [排放（drain)] Φ 在以上之裝置中的最底部配置排放盤74，接受不慎露出 之洗淨液等，依需要收集後’因應位準感測器76，打開排 放閥門78，而排出系統外廢棄。 [總結] 如以上說明，藉由切換回收、再生槽A及B(13a，13 b)之 單凡功能來使用，可連續地回收使用洗淨液與再生洗淨 液’藉由切換洗淨液槽A及B(26a，26b)來使用，可對起動 滾筒洗淨裝置連續地供給《此處之說明，在權宜上係顯示 2個再生槽之例，不過亦可為具有3個再生槽或其以上之再 128I07.doc •25- 1373362 生槽的情況。至少有2個洗淨液槽時即可連續地供給，不 過，同樣地亦可為3個以上。再生槽A及B(13a，13b)與洗淨 液槽A及B(26a，26b)中，宜分別設置檢測液面高度之位準 感測器 61a，61b，62a，62b，66a，66b，65a，65b，藉由預先控 制成依檢測液面高度之上限值、下限值，自動地進行閥門 12a, 25a, 23a, 41a, 28a, 33a, 34a, 12b, 25b, 23b, 41b, 28b, 33b，34b之開關，可將再生槽a及B(13a，13b)與洗淨液槽A 及B(26a，26b)之切換等的作業形成自動化，而可並行實施 全部步驟。 如感測器62a檢測再生槽A( 1 3a)之液面高度到達上限值 時’關閉閥門12a，打開閥門12b，開始對再生槽b( 13b)回 收使用洗淨液，可形成再生槽A及β(13a，13b)之切換的自 動化。此外’在再生槽A(13a)申，加熱器21a開始加熱 後，感測器61a檢測回收、再生槽八（13的之液面高度到達 下限值時，藉由停止加熱器21a之加熱，並且關閉閥門25a 及28a，打開閥門23a&41a，將殘留於回收、再生槽A(i3a) 之分離出再生洗淨液的殘渣之使用洗淨液輸送至廢液槽 42，可形成從再生槽A&B(13a，Ub)廢棄塗佈液之步驟的 自動化。再生槽以1313)亦與前述同樣地預先設定。 實驗結果判明從使用洗淨液分離出之洗淨液即使再生5〇 次仍可使用而無問冑，係大有助於減少洗淨液之用量。如 此’藉㈣用本實施例之液體再生裝置，可再生使用於起 動滚筒之洗淨的洗淨液之約8成。 如此’藉由使用上述說明之液體再生裝置，可將回收假 128107.doc -26- 1373362 配藥時發生之塗佈液與洗淨液之混合液（亦即「使用洗淨 液」），予以蒸餾而分離之再生洗淨液再利用於起動滾筒 的洗淨。藉此，因為可減少洗淨液之使用量，所以可有效 利用資源與減少經費。 [液體再生裝置之區塊圖]

圖3係顯示回收及分離系統的結構區塊圖。上述之操作 藉由控制部l〇c來控制。具體而言，再生槽A系統10a中， 接受來自位準感測器61a，62a之訊號的控制部l〇c，按照後 述之程式關閉閥門12a。閥門25a，28a對應於真空系27之動 作，並藉由來自控制部1 〇c之指令而開放。分離步驟開始 時’藉由來自控制部1 〇c之指令而適當地控制加熱器2丨3及 閥門41a。另外，緊急控制部1〇e作為安全裝置之功能，於 位準感測器61a不反應情況下，不使加熱器2U之開關接 通，而可防止空燒。同樣地，位準感測器62a檢測再生槽 A(13a)裝滿時，不開放閥門12a，以防止槽溢流。

再生槽B系統l〇b亦同樣地控制閥門12b，25b，2扑及加熱 器21b，此外，緊急控制部1〇f作為安全裝置，並藉由位準 感測器61b’ 62b而發揮功能。該控制内容等藉由顯示部_ 顯示’作業人員可觀察。 [液體再生裝置之處理流程] 圖4至6係顯示控制圖2之液體再生裝置的一種程式者。 開始再生程式時，首先，圖4所示之主程式係進行監視後 述之槽的步驟(Step(以下稱「s」⑴。而後，並行地進行 來自後述之起動滾筒洗淨裝置的供給要求之監視（川十 128107.doc -27· 1373362 其次’檢查是否發生再生訊號（SI 2)。而後，未發生再生 訊號時（S12，否），其次進行決定是否使用再生槽八或丑之 其中一個的A/B訊號判定步驟（S14)。另外，發生再生訊號 時（S12，是），開始再生處理（S13)，處理再度回到主流 路，並轉移至A/B訊號判定步驟（s 14)。 在A/B訊號判定步驟中，判斷為發出了 A訊號時，A 訊號），打開閥門12a(S15)。另外，發出A訊號及B訊號兩 者時’程式没計成優先A訊號。此外，亦可與閥門12 a之開 放起發出再生槽A之開始訊號。藉此，將開始再生槽a 之生產節拍時間通知控制裝置，可活用於各種步驟的時間 管理。依據位準感測器62a之訊號，監視再生槽八（13幻是 否隨時裝滿（S 16)。藉由該監視而判斷為並非裝滿時（S16， 否）’再度構成監視之程序（routine)。判斷為再生槽A(13a) 已裝滿時（S16，是），判斷再生槽B(13b)是否並非再生模式 (S17)。再生槽B(13b)係再生模式時，亦即再生槽B〇3b)之 再生訊號並非OFF時(S17，否），由於無法使用回收用之再 生槽A及B(13a，13b)兩者，因此發出異常警報（S18)。再生 槽B(13b)並非再生模式時，亦即再生槽叫叫之再生訊號 係OFF時（S 17疋）’關閉閥門12a(S 19)。其次，判斷是否 從手動輸入裝置(如停止按鈕)輸入有結束訊號剛，輸入 時（S20 ’是）’進行停止液體再生裝置之一連串處理 (S21)纟輸入束訊號時（S2Q，否），為了運行使用洗淨 液之回收、再生循環，而將處理返回槽監視(s⑴。 在嬉訊號判定步驟（S14)中，判斷為發出訊號時 128107.doc -28- 1373362 (S14，B訊號），打開閥門12b(S35)。以下，由於與上述同 樣’因此簡單地說明。依據位準感測器62b等之訊號，監 視再生槽B( 13b)是否隨時裝滿（S36)，判斷為並非裝滿時 (S36，否），再度構成監視之程序。判斷為再生槽B(i3b)已 裝滿時（S36，是），判斷再生槽A(13a)是否並非再生模式 (S3 7)。再生槽A(13a)之再生訊號並非off時（S37，否），發 出異常警報（S18)。再生槽A(13a)之再生訊號係〇FF時 (S37，是），關閉閥門i2b(S39)。其次，判斷是否從手動輸 入裝置（如停止按鈕）輸入有結束訊號（S4〇)，輸入時（S4〇， 是），進行停止液體再生裝置之一連串處理（S2l)。未輸入 結束訊號時（S40，否）’為了運行洗淨液之回收、再生循 環，而將處理返回槽監視（S11)。 [槽監視] 圖5圖解監視槽之步驟（S11)。首先，進行變數之初始值 化（sm)。其次，調查再生槽A(13a)是否可收容使用洗淨 液（S112)。再生槽A(13a)可貯存使用洗淨液時（sn2， 是）’發送A訊號（S 121)。無法貯存使用洗淨液時（s丨丨2， 否），藉由位準感測器62a判定再生槽A(13a)是否已裝滿使 用洗淨液（S112-1 並非裝滿時，否），由於再生槽 A( 13 a)因某種原因而無法貯存使用洗淨液，因此發送異常 訊號，並發送停止訊號而停止程式（s丨丨5)。裝滿時（s丨12_ 1，是），為了檢討是否可進行再生處理，而判定洗淨液槽 A(26a)是否可收容再生洗淨液（8112_2^無法收容時（sil2_ 2，否），由於無法再生使用洗淨液，因此發送異常訊號， 128107.doc •29· 1373362 並發送停止訊號以停止程式（si 15)。可收容時（S η 2-2， 疋），發送槽Α再生訊號，而可再生貯存之使用洗淨液 (S113) 〇 其次’與發送A訊號時（S121)之流程合流，調查再生槽 B(13b)是否可收容使用洗淨液（S114)。再生槽B(nb)可貯 存使用洗淨液時（S 114，是），發送B訊號（S 1 24)，而返回主 程式。無法貯存使用洗淨液時（S114，否），藉由位準感測 器62b判定再生槽B(13b)是否已裝滿使用洗淨液（S1141)。 並非裝滿時（S114-1，否），由於再生槽B(i3b)因某種原因 而無法貯存使用洗淨液，因此發送異常訊號，並發送停止 訊號以停止程式（S115_2)。裝滿時（S114_1，是），為了檢討 疋否可進行再生處理，而判定洗淨液槽B(26b)是否可收容 再生洗淨液（S 114-2)。無法收容時（S 114-2，否），由於無法 再生使用洗淨液，因此發送異常訊號，並發送停止訊號以 停止程式（S115-2)。可收容時（S 114-2，是），發送槽B再生 訊號，而可再生貯存之使用洗淨液（S123)。而後返回主程 式。 [再生處理] 圖6係圖解再生處理步驟（S13)之流程圖。再生處理步驟 係首先判定以槽監視之步驟發出的再生訊號是槽A再生訊 號或疋槽B再生訊號（S201)。判斷為槽a再生訊號（S2〇1，a 再生訊號）後’關閉閥門12a(S2〇2)，接通（〇N)再生槽 A(13a)之加熱器21a而開始加熱（S2〇3),並加熱至使用洗淨 液成為設定溫度（S204)。檢測出使用洗淨液達到設定溫度 128107.doc •30· 1373362 後（S204，是），打開閥門25a，28a(S2〇5)。而後，接通真空 果27(S206)’排出再生槽A(13a)内 及通道22a内現有之空氣 予以減壓。藉由減壓排出現有之空氣等，下降至大致特定 壓力8^，由於發生之蒸汽藉由冷卻塔24之冷凝器而液化， 因此使該再生洗淨液滴下（或滴落）至洗淨液槽A(26a)。以 位準感測器6 1 a檢測使用洗淨液之殘留量下降至特定之量 (S207，是）’斷開（0FF)再生槽A之加熱器（S208)，關閉閥 門25a，28a(S209)，並打開閥門23a(S21〇)以釋放殘留壓 力。 自EXH流入外部空氣，將再生槽A(13a)内大致形成大氣 壓(S211) ’停止真空泵27之作用(S212)，打開閥門… (S213)，排出殘留於再生槽A〇3a)之使用洗淨液。殘留之 使用洗淨液藉由特定時間開放閥門41a而排出（S214)。確認 再生槽A(13a)之位準感測器6〗a在前述閥門41a之開放時間 内反應（S215，是），斷開再生槽A(13a)之再生訊號 (S216) ’並關閉閥門4 i a，進行將其他設定初始地返回之處 理（S217)。藉此，再生槽A(13a)可再度貯存回收之洗淨液 等使用洗淨液。而後將處理返回於等待再生訊號。 此外，在判定是槽A再生訊號或是槽3再生訊號之步驟 (S2〇1) ’判斷為槽8再生訊號後（S201，B再生訊號），關閉 閥門12b(S222)。而後，接通再生槽B〇3b)之加熱器 21b(S223)並加熱至使用洗淨液達到設定溫度（s224)。檢 測出使用洗淨液達到設定溫度後(S224，是），打開閥門 25b’ 28b(S225)。而後，接通真空㈣(s226)，排出再生槽 128107.doc -31 · 1373362 = 13b)内及配管22b内現有之空氣予以減壓。排出現有之 空氣等，而下降至大致特定之壓力時，由於發生之蒸汽藉 由冷邠塔24之冷凝器液化，因此使該再生洗淨液滴下（滴 落）至洗淨液槽26b。

再生槽B(13b)之混合洗淨液的殘留量減少至特定量時 (S227,是）’切斷再生槽3之加熱器2比的開關而停止加熱 (S228)。而後’關閉閥門25b，28咐229)，並打開間門 23b(S230)，自EXH流入外部空氣，將再生槽B(i3b)内大致 形成大氣壓（S231),而停止真空泵27之作用（s232)。其 後’打開閥門41b(S234)，而排出殘留於再生槽B(i3b)之使 用洗淨液。殘留之使用洗淨液藉由特定時㈣放閥門仙 而排出，確認洗淨液槽B(26b)之位準感測器㈣在前㈣ 門4lb之開放時間内反應（S235，是），斷開再生槽b(i叫之 再生訊號（S236)，進行將其他設定初始地返回之處理 (S237)。藉此，再生槽B(13b)可再度回收回收之洗淨液等

的使用洗淨液而貯#。而後將處理$回於等待#生訊號。 [要求供給監視] 圖7係顯示將再生洗淨液通過配管35,仏，说等而供仏 至起動滾筒先淨裝置(處理裝置)之要求供給監視的一 _ 式之流程圖。首先，判定是否從起動滾筒洗淨裝置要求供 給再生洗淨液（S502)。未要求供給時（S5〇2，否），進一步 判定有無結束訊號（如由作業者操作货w · 铞作裝置之停止按鈕），有 結束訊號時（S503，是）’進行結東鞀 不缸式之處理（S504)。另 外，無結束訊號時（S503 ’否），程. 式再度進行是否要求供 128107.doc •32· 1373362 給再生洗淨液之判定（S502)。有要求供給時（s502，是）， 其次判定能否從洗淨液槽A(26a)供給再生洗淨液（S505)。 如位準感測器65a，66a之檢測結果係判定為再生洗淨液不 足時，無法從洗淨液槽A(26a)供給再生洗淨液（S5〇5， 否），而轉移至能否從洗淨液槽B(26b)供給再生洗淨液之判 疋步驟（S515)。可從洗淨液槽A(26a)供給再生洗淨液時 (S505，是）’打開各閥門72，33a，34a，將洗淨液槽A(26a) 之氣體區域加壓，從配管353擠出再生洗淨液，並通過配 管35、過濾器36，供給至起動滾筒洗淨裝置（S5〇6) ^此 時，隨時監視洗淨液槽A(26a)是否可供給再生洗淨液，判 斷為無法供給時（S507，否），關閉各閥門72，33a，34a (S509)。只有判斷為洗淨液槽A(26a)可供給再生洗淨液 (S507，是）’確認是否要求供給再生洗淨液有要求時 (S508，是），進行洗淨液槽A(26a)能否供給再生洗淨液之 判定。未要求供給再生洗淨液時（S5〇8，否），關閉各閥門 72，33a，34a(S509)。而後，再度判定是否要求供給再生洗 淨液（S502)。 上述之旎否從洗淨液槽B(26b)供給再生洗淨液之判定步 驟（S515)，由於在判定為不能供給時（S515，否），洗淨液 槽A(26a)及洗淨液槽B(26b)兩者無法供給，因此，發送異 常警報（S52〇)。判定為能供給時（S515，是），打開各閥門 72, 3 3b，34b，將洗淨液槽B(26b)之氣體區域加壓，而自配 官35b擠出再生洗淨液，並通過配管35、過濾器刊而供給 至起動滾筒洗淨裝置（S516)。此時，隨時監視洗淨液槽 128107.doc -33- 1373362 B(26b)能否供給再生洗淨液，判斷為無法供給時（s5i7， 否）’關閉各閥Η 72，33b，34b(S5 19)。只有判斷為洗淨液 槽B(26b)可供給再生洗淨液（S517,是），確認是否要求供 給再生洗淨液，有要求時（S518，是），進行洗淨液槽 B(26b)能否供給再生洗淨液之判定。未要求供給再生洗淨 液時（S518，否），關閉各閥門72, 33b，34b(S5i9)。而後， 再度判定是否要求供給再生洗淨液（S5〇2)。 (實施例2) 實她例1係說明具備2個再生槽八及B(13a及13b)之情況， 不過，再生槽亦可為3個以上，亦可切換各個槽來貯存使 用洗淨液。再生槽為3個以上之情況，起動滾筒92之洗淨 次數多時，因為使用洗淨液之發生增加，所以在使用洗淨 液之分離來不及時有效。以下，說明再生槽為3個以上之 情況。 [裝置結構] 圖8係顯示實施例2之液體再生裝置的結構模式圖。與顯 示於圖2之液體再生裝置（2個系統）不同，實施例2之液體再 生裝置200並設有4個系統之單元。但是，零件之連接關係 實質地相同，因此在共用之零件上分配相同編號。就實施 例2之液體再生裝置200的第三及第四單元，在各零件編號 上附加「c」、「d」來分配編號。此等各單元分別同樣地具 備：回收部、再生部、貯存部及供給部。再者，該液體再 生裝置200具備：排氣部、檢測部、控制部、廢棄部及冷 卻水供給部。由於包含此等各部之結構與顯示於圖2者實 128l07.doc -34- 1373362 質相同，因此省略重複之說明。另外，供給部中設有氮氣 供給部7 1 ’以取代鼓風機7〇。 液體再生裝置2GG之各單元對共用之零件的冷卻槽24、 廢液槽42、I氣供給部71、冷卻水供給部等，以及回收作 為混合液之使用洗淨液的配fu及供給再生洗淨液之配管 35分別並聯地連接’並依需要藉由各對應之閥門等隔開。 因此，可以圖2之液體再生裝置的第—及第二單元形成， 不過，可藉由從該液體再生裝置2〇〇之第一至第四單元任 、、選擇的2個單το來進行。藉由附加從該液體再生裝置細 之A至D任意選擇之2個字母的各個再生槽及洗淨液槽，可 實質且連續性地進行回收步驟、再生步驟、貯存步驟及供 給步驟。 此外，如將4個單元（以下稱為單元A、B、C、D)分成2 個群，如可使單元八及8作為圖2之第一單元的功能，刀使單 兀C及D作為圖2之第二單元的功能。如此分類時，在起動 滾筒洗淨裝置之處理裝置中，容易應付使用之洗淨液單位 時間之量少的情況及多的情況。亦即，少的情況，可藉由 单元A與單元C運行回收、再生、貯存、供給循環，另 2 ’多的情況，可藉由單元錢3與單元€及〇運行該循 環。理論上藉此成為約2倍之處理能力。 但是’該循環由於處理之洗淨液之量須均衡因此，不 宜以單元A、B、C之群與單元D運行相同猶環。此因整體 降低。此外’係顯示將4個系統者與2個系統同樣地運 仃循環之例’不過亦可以3個系統或4個系統運行。如：個 J28107.doc •35- 系統係錯開1/2循環來接 德产心h 70 ’而4個系統可將其每1/4個 Γ開來操作。此種情況須儘量留意共用零件之操作 刀換時宜設置暫時貯存機構用於緩衝。 ,、 二卜:使用超過4個單元之情況，其數量係偶數時可 ===成2個群’而與上述2個系統之情況同樣地 = = ::揮;:：為奇一，_ 去/備早7"可在任何-個單元輯等時作為切換 。…將其餘與上述偶數之情況同樣地區分成2個群，可 與上述2個系統之情況相同，使液體再生裝置發揮功能。 [再生程式] 圖9’ 10’ 11’ 12’ 13係顯示使用本發明實施例2之液體再 生裝置的洗淨液之再生程式之例的流程圖。圖9中顯示主 程式。此處’主要就使用洗淨液之回收及时之使用洗淨 液的貯存，可對應於數種系統地程式化。程式開始時，首 先設定搭載之各單元的角色（S3〇2)。而後，按照其角色調 查各槽之狀況（S311)»同時檢查有無從起動滾筒洗淨裝置 要求供給再生洗淨液，有要求時，將再生洗淨液供給至起 動滾筒洗淨裝置（S303)。 [角色設定程式] 圖10係设定各單元之角色的子程序。程式首先進行運轉 模式之設定（S3 52)。具體而言，督促作業人員選擇輸入2 個系統（輕）、2個系統（重）、3個系統或4個系統。其次，檢 查使用之各單元的狀況（S354)。而後，各單元無任何問題 時（S356，是），設定各單元之開始驅動順序（S360)，將程 128107.doc •36· 1373362 式返回主程式。此外，么里分古 ^各早兀有任何問題時（S350，否）， 顯示各單元之狀況（S358)，等待運轉模式之輸入。 [槽監視程式] 圖11顯示使用4個單元時之槽監視的_種程式。只要是 不使用不需要之資料者，並不特別限於使用4個單元之情 況，亦可用於使用2個單元之情況。首先進行初始值清除 (則)。其次，檢查再生槽A〇3a)能否貯存回收之使用洗 淨液（S412a)。判定為能貯存時（S412a，是），發出a訊號 (S416a) ’通知可貯存於再生槽A(na)，並轉移至檢查其次 之再生槽B(13b)的狀況。此外，判定為無法貯存於再生槽 A(13a)時（S412a，否），檢查再生槽A(13a)是否裝滿使用洗 淨液（S413a)。未裝滿時（S4 13a，否），由於係判斷不可在 正常原因下貯存，因此發出異常訊號（S417a)，而安全地停 止程式。再生槽A(13a)已裝滿使用洗淨液時（S413a，是）， 因為須藉由再生步驟形成再生洗淨液，所以發生洗淨液槽 A之再生訊號（S415a)。而後程式轉移至檢查其次之再生槽 B( 13b)的狀況。 此處，檢查再生槽B(13b)能否貯存回收之使用洗淨液 (S412b)。判定為能貯存時（S412b，是），發出B訊號 (S416b)，通知可貯存於再生槽b( 13b)，並轉移至檢查其次 之再生槽C(1 3 c)的狀況。此外，判定為無法貯存於再生槽 B(13b)時（S412b，否），檢查再生槽B(13b)是否裝滿使用洗 淨液（S413b)。未裝滿時（S413b，否），由於係判斷不可在 正常原因下貯存，因此發出異常訊號（S4 1 7b)，安全地停 128l07.doc -37· 1373362 止程式。再生槽B(13b)已裝滿使用洗淨液時（S413b，是）， 因為須藉由再生步驟形成再生洗淨液，所以發出洗淨液槽 B之再生訊號（S415b)。而後，程式轉移至檢查其次之再生 槽C(13c)的狀況。 其次，檢查再生槽C(13c)能否貯存回收之使用洗淨液 (S412c)。判定為能貯存時（S412c，是），發出c訊號 (S416c)，通知可貯存於再生槽C(13c)，並轉移至檢查其次 之再生槽D(1 3d)的狀況《此外，判定為無法貯存於再生槽 C(13c)時（S412c，否），檢查再生槽c(13c)是否裝滿使用洗 淨液（S413c)。未裝滿時（§4 13c，否），由於係判斷不可在 正常原因下貯存，因此發出異常訊號（S417c)，安全地停止 程式。再生槽C( 13c)裝滿使用洗淨液時（S413c，是），因為 須藉由再生步驟形成再生洗淨液，所以發出洗淨液槽C之 再生訊號（S4 15c)。而後’程式轉移至檢查其次之再生槽 D(13d)的狀況。 其次’檢查再生槽D( 13d)能否貯存回收之使用洗淨液 (S412d)。判定為能貯存時（S4i2d，是），發出D訊號 (S416d)，通知可貯存於再生槽D(13d)，並返回主程式。此 外’判定為無法貯存於再生槽D( 13 d)時（S412d，否），檢查 再生槽D(13d)是否裝滿使用洗淨液（S413d) ^未裝滿時 (S413d ’否），由於係判斷不可在正常之原因下貯存，因 此發出異常訊號（S41 7d)，而安全地停止程式。再生槽 D( 13d)已裝滿使用洗淨液時（S413d，是），因為須藉由再生 步驟形成再生洗淨液，所以發出洗淨液槽D之再生訊號 128107.doc -38- 1373362 (S415d)。而後程式返回主程式。 [再生洗淨液供給程式] 與槽監視（S311)並行，而進行有無要求供給再生洗淨液 之檢查及供給（S303)。如圖12所示’首先’調查有無自起 動滾筒洗淨裝置要求供給再生洗淨液（S552)，無要求時 (S552 ’否）’調查有無結束訊號（S553)，有結束訊號時 (S5 53，是）’結束監視（S554)。無要求時（S553，否），再 度檢查有無要求供給再生洗淨液（S552)。有要求供給再生 洗淨液時（S552，是）’檢查能否供給洗淨液槽a貯存之再 生洗淨液（S505a)，不能供給時（S505a，否），轉移至洗淨 液槽B之檢查。能供給時（S5〇5a，是），以自洗淨液槽八供 給再生洗淨液之方式進行以下之順序。各單元中之該順序 基本上與圖7相同。首先’為了從氮氣供給裝置71壓送氮 氣’而打開閥門72，33a，34a(S506a)。藉此將再生洗淨液 通過配管（35a，35)而壓送至起動滾筒洗淨裝置。此時，監 視洗淨液槽A之再生洗淨液是否充足，或是是否無任何異 常等’而洗淨液槽A可供給（S507a)，無法供給時（S507a， 否）’關閉閥門72，33a，34a(S509a)。此外’即使可供給時 (S507a，疋），繼續監視是否輸出了再生洗淨液之供給要求 (S508a) ’已輸出時（S508a ’是），繼續供給再生洗淨液， 再度監視洗淨液槽A能否供給（S507a)。尚未輸出時 (S508a，否）’關閉閥門72，33a，34a(S509a)，而將程式返 回要求供給監視程式之最初的步驟。 洗淨液槽A不能供給再生洗淨液時（S5〇5a，否），檢查洗 128107.doc -39- 1373362 淨液槽BM供給再生洗淨（S5Q5b)。洗淨液槽料能供給 時(S505b ’否），轉移至洗淨槽c之檢查。能供給時 (S505b，是），以自洗淨液槽B供給再生洗淨液之方式進行 以下之順序。該單元B中之該順序基本上與單以之順序 相同。首先，為了從氮氣供給裝置7丨壓送氮氣，而打開閥 門72，33b，34b(S506b)。藉此將再生洗淨液通過配管35b， 35而壓送至起動滾筒洗淨裝置。此時，監視洗淨液槽b之 再生洗淨液是否充足，或是是否無任何異常等，而洗淨液 槽B可供給（S507b) ’無法供給時（S5〇7b，否），關閉閥門 72，3 3b，34b(S509b)。此外，即使可供給時（S5〇7b，是）， 繼續監視是否輸出了再生洗淨液之供給要求（S5〇8b)，已 輸出時（S508b，是），繼續供給再生洗淨液，再度監視洗 淨液槽B能否供給（S507b)。尚未輸出時（S508b，否），關閉 閥門72，33b，34b(S509b)，而將程式返回要求供給監視程 式之最初的步驟。

洗淨液槽B不能供給再生洗淨液時（S5〇5b，否），檢查洗 淨槽C能否供給再生洗淨液（S505c)。洗淨槽c不能供給時 (S505c，否）’轉移至洗淨槽D之檢查。能供給時（S5〇5c， 是），以自洗淨液槽C供給再生洗淨液之方式進行以下之順 序。s玄單元C中之該順序基本上與單元a之順序相同。首 先，為了從氮氟供給裝置71壓送氮氣’而打開閥門72, 33c，34c(S506c)。藉此’將再生洗淨液通過配管35c，35而 壓送至起動滾筒洗淨裝置。此時，監視洗淨液槽C之再生 洗淨液是否充足’或是是否無任何異常等，而洗淨液槽C 128107.doc •40· 1373362 可供給（S507c)，無法供給時（S507c，否），關閉閥門72, 3 3c’ 34c(S509c)。此外，即使可供給時（S5〇7c，是），繼續 • 監視是否輸出了再生洗淨液之供給要求（S508c)，已輸出時 • (S508c ’是）’繼續供給再生洗淨液，再度監視洗淨液槽匸 能否供給（S507c)。尚未輸出時（S508c，否），關閉閥門72, 33c，34c(S509c)’而將程式返回要求供給監視程式之最初 ‘ 的步驟。 ^ 洗淨液槽C不能供給再生洗淨液時（S505c，否），檢查洗 淨槽D能否供給再生洗淨液（S5〇5d)。洗淨槽D不能供給時 (S5 05d，否）’由於任何洗淨液槽均無法供給，因此發送 異常警報（S520)，而安全地停止裝置。能供給時（S5〇5d , ' 是），以自洗淨液槽0供給再生洗淨液之方式進行以下之順 序。該單元D中之該順序基本上與單元a之順序相同。首 先，為了從氮氣供給裝置（71)壓送氮氣，而打開閥門72, 33d’ 34d(S506d)。藉此，將再生洗淨液通過配管35本35而

• 壓送至起動滾筒洗淨裝置。此時，監視洗淨液槽D之再生 洗淨液是否充足，或是是否無任何異常等，而洗淨液槽D • 可供給（S5G7d) ’無法供給時（S5G7d，否），關閉閥門72, 33d，34d(S509d)。此外，即使可供給時（S5〇7d，是），繼續 監視是否輸出了再生洗淨液之供給要求（S5〇8d)，已輸出 時（S5〇8d，是），繼續供給再生洗淨液，再度監視洗淨液 槽D能否供給（S5G7d)。尚未輸出時（S5_，否），關閉闕門 72, 33d，34d(S5_)’而將程式返回要求供給監視程式之 最初的步驟》 128107.doc 41 [使用洗淨液回收程式] 再度返回圖9，說明槽監視(S3U)後之步驟。藉由槽監 視程式檢測出在某個洗淨液槽中貯存有須再生之使用洗淨 液，而等待進行再生者。依據該結果，檢查是否就某個槽 輸出須再生之再生訊號（8312)。已輸出時藉由再生處理 (S313)進行後述之再生處理。而後，不論有無再生訊號， 程式均依據在上述單元角色設定步驟（S3()2)中設定之運轉 模式’進行情況區分（δ312·υ。運轉模式係2個系統輕模式 (S312-2)時，進行使用單元ακ之2個系統的再生處理。 此外，運轉模式係2個系統重模式（S312_3)時，將單元八及 B作為味，並將單元CAD作為另外之群，來進行之個系統 之再生處理。此外，運轉模式係3㈣統模式（s3i2_5)時， 如進行使用單元A、3及（：的3個系統之再生處理。此外， 運轉模式係4個系統輕模式（S312_7)時，進行使用單元a、 B、C及D之4個系統的再生處理。該運轉模式判定步驟係 進行配合各模式之生產節拍時間（tact time)設定及管理。 具體而言，係在所設定運轉模式中設定最佳之各步驟及包 含此等步驟之1個循環的適宜時間間隔等，並以其間隔或 時脈進行以下之各步驟之方式進行時間管理。 [2個系統輕模式] 運轉模式設定成2個系統輕模式（S312_2)時，程式轉移 判定是否為A/C之任何一個訊號的步驟（§314)。其以後之 步驟與圖4所示之步驟實質地相@，因此，在此處省略說 明。另外，此處係開放閥門I2a或I2c(S315*S335)，並且 128107.doc -42、 丄373362 發出再生槽A或C( 13a或13c)之開始訊號。藉此，通知控制 裝置再生槽A或C之生產節拍時間開始，可活用於各種步 驟之時間管理。 [2個系統重模式] 運轉模式設定成2個系統重模式（S3 12-3)時，以單元a及 B作1個群，以單元〇：及1)作其他之群（S312_4)〇由於單元a 及B同時成為一體而運轉，單元(：及〇亦成為一體，因此，

係以2個群與上述2個系統輕模式之A/c完全同樣地作用。 因而，此處省略說明。 [3個系統模式] -運轉模式設定成3個系統模式（S312_5)時，丨個單元（如單 tlD)成為暫停（S312_6) ^由於該模式係相當於從其次之4個 系統模式除去丨個單元者，因此，此處省略說明。 [4個系統模式]

—運轉模式設定成3個系統模式（S312_5)時，在運轉模式判 一(S3 1 2 1)中’進行構成i個循環之4個步驟之時間設 先。亦#，依據事前輸入之資料’或是在與起動滾 :::裝置合併使用之過程中，藉由監視洗淨液之流量， 仃最佳步驟之時間設定及管理。 ^ 收、聍存、再生、_之各^ 疋、^係針對回 罢“ < 供、·°之各步驟，及藉由起動滾筒洗淨裝 而洗淨之一連串作業的最佳 備再生槽A、B'C、D之單元A，、體而s，分別使用具 ,. A、B、C、D時，進行引發 述各步驟開始之A訊號發送的時門 單元A、B、C、”，分別須二1官理。如回收步驟在 刀別屑以丁1、Τ2、Τ3、Τ4開始時， 1281 〇7 .(1〇ς -43- 1373362 在時刻h ’將A訊號從傳送至S3n_8，而起動藉由 A訊號引發之單元A。而後，在時刻τ2、τ3 ' η，分別藉 由傳运B、C' D訊號，可以各個時刻起動單元Β、c、d。 起動後之步驟’由於與圖4者或是2個系統輕模式者實質地 相同，因此省略詳細之說明。此處，係開放在某個再生槽 中實質地開始回收/貯存使用洗淨液的閥門12a，12b， 12d，並且發出其再生槽之開始訊號。藉此，將該再生槽 之生產郎拍時間的開始通知控制裝置，可活用於各種步驟 之時間管理。另外，使用洗淨液之再生如圖6所示，由於 係藉由各個再生訊號（以槽監視而發生）而開始，並自動地 結束，因此不需要特別地操作。一般而言，由於使用洗淨 液之再生處理時容易花費時間，因此該再生處理容易成為 決定全體處理之速度的因素。此外，對起動滾筒洗淨裝置 供給再生洗淨液亦藉由圖12之流程，並藉由要求供給訊號 與貯存再生洗淨液之各槽的狀態，而自動地進行。 [使用洗淨液再生程式] 圖13圖解再生處理（S3 1 3)之程式。再生處理首先係從各 再生槽，藉由閥門12a，12b，12c，l2d之其中一個最初的開 放操作’來檢測是否已開始貯存（3601ρ此外，將其時刻 記憶於設於控制裝置_之記憶體，調整以後之操作時序。 此處’係包含進行接收之前述開放操作的再生槽之每個單 元分歧地進行再生處理之各步驟。以下，就包含再生槽Α 之單元A作說明，不過’即使包含其他再生槽之單元仍進 行同一步驟。 I28I07.doc • 44 - 1373362 藉由再生槽A回收之使用洗淨液開始貯存後，經過預定 之時間（S602 ’疋），開啟再生槽a之加熱器2 1 &的開關 (S6〇3a)。此因藉由加熱器之加熱貯存而使用洗淨液昇溫時 • 化費時間，所以從早期開啟加熱器之開關》該時序可藉由 貯存量、加熱器容量及其他要素，以運轉模式之輸入時間 決疋。開啟加熱器2 1 a之開關的狀態下，繼續貯存，等待 . 輸入槽A再生訊號（S604)。而後，再生槽八裝滿（S413a)， 洗淨液槽A(26a)可貯存再生之使用洗淨液時（S416a)，發出 槽A再生訊號（S415a)，接收該訊號（S6〇4a，是），並轉移至 其次之步驟（S605)。 其次步驟，係檢查需要再生，且即使確保了再生之使用 • 洗淨液的貯存槽之情況，仍可使用真空泵27等共用之配 • 管、閥門及裝置等，以及其他個別之情況等（S605)。藉 此，調整使用上述共用之設備等時，需要錯開少許時間等 具體之事由，而可順利地進行再生步驟時，以後之步驟， φ 在各個包含再生槽之單元中，個別地傳送閥門操作等之指 令。如除再生槽A(13a)之外，尚未準備貯存使用洗淨液之 槽及臨時貯存裝置時，或是真空泵27用於其他單元之減壓 時，可進行在完成準備之前，&其他單元之使用結束之前 ' 等待，或是停止從洗淨裝置排出使用洗淨液之操作 (S605)。準備完成，共用設備亦可使用時，轉移至其次之 步驟’關閉閥門，並開放閥門25a，28& (S6〇7a)’而接通真空栗27(S608a)。而後，在減塵下繼續 蒸顧，檢查再生槽A中之使用洗淨液是否達到如2〇〇/〇以下 128107.doc -45· 1373362 (S609a)。達到20%以下時（S609a，是），斷開加熱器 (S610a) ’並關閉閥門25a，28a(S611a)。藉此，再生槽a系 統從真空泵27之減壓系統隔離，為了恢復成大氣壓，而打 開閥門23a及EXH洩漏孔（leak) ’使真空泵27斷開（S612a)。 繼續’打開相當於再生槽A之排放閥門的閥門41 a ,排出從 使用洗淨液再生洗淨液之殘留的殘渣（S6i3a)。經過特定時 間而排放殘’產完成時（S614a，是），將槽A之再生訊號設定 成斷開（S015a)。而後，將暫時使用之各種變數再設定成初 始值（S616a)，程式轉移至再生處理程序之最頂端。 [2個系統時間圖] 圖1 4係將使實施例2之裝置運轉時的時間圖，特別著眼 於使用洗淨液之回收及再生，而每個單元顯示者。縱軸上 取用於運轉之單元的再生槽種類，橫軸上取時間。另外， 單元之組合及時間不過是為了說明而例示，並非限定本發 明之範圍者。在並設之再生槽A及B(13a，13b)中，將回收 之已使用洗淨液予以等分而貯存。圖中之回收，對各再生 槽而言表示貯存。圖14中，開始回收後，如於5分鐘後， 開啟加熱器21a，21b之開關，開始加熱。其次，如2〇分鐘 後再生槽A及B(13a，13b)裝滿，因此關閉閥門12a, Ub。繼 續回收之使用洗淨液藉由設於配管丨丨之附加器的臨時貯存 裝置4 11貯存。約5分鐘後，仍然並設之再生槽c及D( 13 c 13d)形成可貯存之狀態，該臨時貯存裝置411進行其之前 的連接，完成再生槽C及D(13C，13d)之準備時，立即將臨 時貯存之再生洗淨液輸送至再生槽c及D(13c，13d)。 128107.doc •46- 1373362 再度返回再生槽A及B(13a，13b)時，自開始回收2〇分鐘 後’由於已使用洗淨液藉由加熱器2 1 a, 21 b之加熱而到達 高溫之設定溫度，因此，開放閥門25a，25b及閥門28a， 2 8b ’使真空泵27作用。從再生槽a及B( 13 a, 13 b)逐次蒸發 之洗淨液被冷卻槽24冷卻，液化之洗淨液貯存於洗淨液槽 A及B(26a，26b)中。如20分鐘後再生槽a及B(13a，13b)中之 使用洗淨液從開始減壓蒸餾時達到20%程度時，關閉間門 25a，25b及閥門28a，28b ’並停止真空泵27。而後，開放間 門23a，23b，並開放亦係真空泵27之洩漏閥之閥門exh， 將再生槽A及B(13a, 13b)形成大氣壓。而後，開放間門 41a，41b約10分鐘，將殘渣排出於廢液槽42。藉此，亦同 時進行再生槽A及B(13a，13b)之排熱。其後（從開始5〇分鐘 後），關閉閥門23a，23b，41a，41b，於可再度開始貯存時， 開放閥門1 2a，12b，再度開始貯存。此時，從臨時貯存裂 置4 11取得臨時貯存之使用洗淨液。 攸開始25分鐘後開始回收/貯存之再生槽〇及d(i3c 13d) ’進行與再生槽a及B(13a，13b)同等之步驟仍是同 樣地在75分鐘後開始第二次之回收/貯存。如此，發出結 束訊號，在藉由圖9之結束處理（S321)結束前，液體再生 裝置連續地運轉。如以上所述，再生步驟於開始各單元之 回收時，以一定之生產節拍實施。而後，各單元中包含之 再生槽用於其次之回收步驟。另外，由於再生洗淨液之供 給步驟係因應液體再生裝置側之狀況及洗淨裝置側之再生 洗淨液的要求而自動地實施，因此只須留意於共用設備之 128107.doc -47· 1373362 衝突及槽卓的容ϊ ’而無需特別地進行控制。 此處，再生槽Α及B(13a，13b)之容量相同，不過其亦可 大小不同。此時對應之各個再生槽c及D(13c，13d)亦大小 不同。此外，對應之洗淨液槽A、B、c、D亦分別成為對 應之容量。如此，用於小規模之洗淨裝置時，只須藉由小 容量單元之組合的單元B及D進行回收 '貯存、再生、供 給即可。此外，用於中規模之洗淨裝置時，只須藉由大容 量單元之組合的單元八及（：進行回收、貯存、再生、供給 即可。再者’用於大規模之洗淨裝置時，只須藉由全部單 元A、B、C及D進行回收、貯存、再生、供給即可。 [3個系統時間圖] 圖15係將使實施例2之裝置運轉時的時間圖，特別著眼 於使用洗淨液之回收及再生，而每個單元顯示者。縱軸上 取用於運轉之單元的再生槽種類，橫軸上取時間。另外， 單70之組合及時間不過是為了說明而例示，並非限定本發 明之範圍者。此處，在4個單元内，暫停單元D，而使用其 他單元。在並設之再生槽A、]8及(：（13&，13b，13勹内，於 再生槽A(13a)中貯存回收之已使用洗淨液。圖中之回收， 對各再生槽而言表示貯存。 圖15中，開始回收後，如5分鐘後，開啟加熱器2。之開 關，而開始加熱。其次，如2〇分鐘後再生槽A(i3a)裝滿特 定量，而開放再生槽B(13b)之閥門Ub，繼續貯存回收之 使用洗淨液。&時，亦可兩再生槽貯存。而|，25分鐘 後關閉再生槽A( 13a)之閥門12a，再生槽A(13 a)藉由減壓 128107.doc -48* 1373362 蒸餾而開始再生。此外，該25分鐘後，接通再生槽B(i3b) 之加熱器21 b。 而後，40分鐘後，再生槽B(13b)裝滿特定量，而開放再 生槽C(13c)之閥門12c ,繼續貯存回收之使用洗淨液。此 時，亦可兩再生槽貯存。而後’ 45分鐘後，關閉再生槽 A(13a)之閥門25a，28a’開放閥門23a，進行EXH洩漏，斷 開真空泵27，於再生槽A(13a)形成大氣壓時，開放閥門 41a，排出殘渣。此外，同樣45分鐘後，關閉再生槽 B(13b)之閥門12b ’再生槽B(13b)藉由減壓蒸餾開始再生。 再者’同樣45分鐘後，接通再生槽C(13c)之加熱器21(：。 再生槽B藉由減壓蒸餾進行再生，再生槽^進行回收之使 用洗淨液的貯存中，55分鐘後，再生槽A(13a)之殘渣排出 結束’關閉閥門41 a，再度成為可貯存回收之使用洗淨液 的狀態。 此處，再生槽C(13c)於60分鐘後係藉由使用洗淨液貯存 特定量，不過，開放再生槽A( 13a)之閥門12a，繼續貯存 回收之使用洗淨液。此時亦可兩再生槽貯存。而後，65分 鐘後’關閉再生槽B(1 3b)之閥門25b, 28b，開放閥門23b， 進行EXH洩漏’斷開真空泵27，再生槽B(13b)形成大氣壓 時’開放閥門41 b，排出殘渣。此外，同樣65分鐘後，關 閉再生槽C(13c)之閥門12c，再生槽C(13c)藉由減壓蒸餾開 始再生。再者，同樣65分鐘後，接通再生槽B(13b)之加熱 器 21b。 如此，藉由依序使用分別具備再生槽A、B'及c(13a， I28I07.doc -49- 1373362 13b，13c〇之早toa、B、c，發出結束訊號藉由圖9令之

結束處理（S321)結束之前，液體再生裝置連續地運轉。如 以上所述’再生步驟於開始各單元之回收時以—定之生 產節拍實施。而後’各單元中包含之再生槽於再生後排出 殘渣時，用於其次之回收步驟。另外，由於再生洗淨液之 供給步驟，係因應液體再生裝置側之狀況及洗淨裝置側之 再生洗淨液的要求而自動地實施，因此只須留意於共用設 備之衝突及槽等的容量，無需特別地進行控制。 此外，雖有4個單元，由於以3個單元即可進行回收、貯 存、再生、供給，因此即使任何一個單元故障，藉由使暫 停之單元運轉，仍可使系統全體不停止地連續進行。另 外，亦可以使4個單元a、B、c、d逐一每循環依序暫停之 方式輪流使用。 [包含多複數單元之液體再生系統] 其次，依據圖16說明包含多複數單元之液體再生系統。 液體再生系統3〇〇係具備：以洗淨取洗淨被處理構件之起 動滾筒洗淨裝置90，回收來自該裝置90之已使用洗淨液而 再生的液體再生裝置310，及控制此等裝置9〇, 31〇之控制 裝置320，而連續地再生使用洗淨液，可供給該再生洗淨 液的液體再生系統。 液體再生裝置310具備複數單元318,其係藉由：回收使 用洗淨液之回收部312,包含貯存回收之使用洗淨液的再 生槽之再生部314’貯存再生之洗淨液的貯存部3 16，及將 再生洗淨液供給至前述起動滾筒洗淨裝置9〇之供給部3 17 I28I07.doc •50- 1373362 而構成。 起動滾筒洗淨裝置90藉由洗淨液排出管97經由回收配管 . 311連結於配管11,而與液體再生裝置31〇連接。配管η連 接於各單元318。此外，各單元318連接於供給用之配管 • 35，並經由供給配管317而連接於起動滾筒洗淨裝置9〇。 . 控制裝置320可控制起動滾筒洗淨裝置90及液體再生裝 置310地連接，不過，各單元318之回收部312、再生部 • 314貯存部3 1 6及供給部31 7經由包含無線之通訊線路322 可控制地連接。 如圖示，由於可直接控制地使用多複數單元，因此可輕 易地對應於各單元之組合造成處理洗淨液容量的變化。如 此等複數單元之每1個再生槽的容量為¥時，包含2個槽之 單元群的容量為2xV，包含3個槽之單元群的容量為以乂。 此時，預先使不用之單元暫停，可在運轉單元故障及其他 問題時用作預備單元。此外，藉由使用在丨個循環中不使 • 用之單元，而在其次之循環中取代前次循環使用之單元， 亦可在循環間依序反覆輪流待機之單元。 [總結] 如上述，適切地匹配起動滾筒洗淨裝置之處理裝置的規 格與液體再生裝置之規格時，可構築最佳之洗淨液的使 用/再生系統。如預先預測起動滚筒洗淨裝置之洗淨液的 全體使用量、使用量之時間變化、再生洗淨液之再使用量 及再生洗淨液之再使用量的時間變化，作為技術條件 (SpeC)而與其處理裝置相關連地預先記憶於資料庫。而 128107.doc -51 · 1373362 體再生裝置’將每單位時間之再生洗淨液的通常 及取大生產量等之再生處理能力，據此之再生槽的容量及 . &量、再生槽之切換時間等的技術條件與其液體再生裝置 • =地預先記憶於資料庫時，可適宜選擇此等起動滾筒洗 • 淨裝置之處理裝置及液體再生裝置。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示一種起動滾筒洗淨裝置之結構圖。 φ 圖2係顯示一種液體再生裝置之結構圖》 圖3係液體再生裝置之區塊圖。 圖4係顯示洗淨液之再生程式之例的流程圖。 圖5係顯示槽監視之程式之例的流程圖。 圖6係顯示再生處理程式之例的流程圖。 . 圖7係顯示再生洗淨液之要求供給監視器的裎式之例的 流程圖。 圖8係顯示液體再生裝置之又另外例的結構圖。 # 圖9係顯不使用另外例之液體再生裝置的洗淨液之再生 程式之例的流程圖。 圖10係顯示圖9之單元角色設定程序的流程圖。 圖11係顯示圖9之槽監視程序的流程圖。 圖12係顯示圖9之要求供給監視器程序的流程圖。 圖13係顯示圖9之再生處理程序的流程圖。 圖14係顯示2個系統之液體處理裝置的時間圖。 圖1 5係顯示3個系統之液體處理裝置的時間圖。 圖16係顯示液體再生系統之一種結構圖。 I28107.doc -52- 1373362

【主要元件符號說明】 10c 控制部 ll, 31, 35 配管 !2a, 12b, 12c, 12d, 23a, 23b, 閥門 23c, 23d, 25a, 25b, 25c, 25d, 28a, 28b, 28c, 28d, 33a, 33b, 33c, 33d, 34a, 34b, 34c, 34d, 41a, 41b, 41c, 41d 13a, 13b, 13c, 13d 再生槽 21a, 21b, 21c, 21d 加熱器 22a, 22b, 22c, 22d 通道 24 冷卻塔（冷卻槽） 26a, 26b, 26c, 26d 洗淨液槽 27 真空泵 32, 36 過濾器 42 廢液槽 90 起動滾筒洗淨裝置 91 細縫噴嘴 92 起動滾筒 93 洗淨槽 94, 95, 96 噴嘴 97 洗淨液排出管 99 再生洗淨液導入管 200 液體再生裝置 128107.doc •53· 1373362 300 液體再生系統 311 回收配管 317 供給配管 318 〇〇 一》 早兀 320 控制裝置 128107.doc 54-

Claims (1)

1373362 、申請專利範圍： 一種液體再生裝置，其係從處 第096150707號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(101年6月） 心月沖修(更)正替換頁 赞"裝罝將洗淨被處理^件 之已使用洗淨液（以下稱為「使用洗淨液」）加以回收並 進行再生’並將再生之洗淨液（以下稱為「再生洗淨 液j )再度供給至處理裝置，且 包含第一及第一單元，其係進行前述使用洗淨液之回 收及再生’以及再生洗淨液之供給，各個單元包含： 回收機構，其係連接於前述處理裝置而設置，並回 收前述使用洗淨液； 再生機構’其係連接於前述回收機構而設置，並收 容由該回收機構所回收之前述使用洗淨液且加以再生； 貯存機構，其係連接於前述再生機構而設置，並貯 存由該再生機構所再生之再生洗淨液；及 供給機構，其係連接於前述貯存機構及前述處理裝 置而設置，並將前述再生洗淨液供給至前述處理裝置；且 於前述第一單元回收前述使用洗淨液時，前述第二 單元可再生預先回收之使用洗淨液。 2. 如請求項丨之液體再生裝置，其中在前述第一及前述第 二單元中，進一步包含控制機構，其係控制前述回收機 構、前述再生機構、前述貯存機構及前述供給機構。 3. 如言青求項2之液體#生裝置，丨中在前述第一及前述第 二單元中，前述再生機構包含：再生槽，其係貯存經回 收之前述使用洗淨液，·及加熱器，其係設於該再生槽且 可加熱前述使用洗淨液。 128107-1010620.doc 1373362

4·如請求項3之液體再生裝置，其中在前述第一及前述第 二單7L中，進一步包含排氣機構，其係連接於前述再生 槽之上部且用於排氣、減壓。 5. 如請求項2至4中任一項之液體再生裝置，其中在前述第 一及前述第二單元中，前述再生機構及/或前述供給機構 包含檢測機構，其係可檢測貯存液量。 6. 如請求項5之液體再生裝置，其中前述控制機構依據由 前述第一及前述第二單元之前述檢測機構所檢測出的前 述使用洗淨液及/或前述再生洗淨液之量，控制前述回收 機構、前述再生機構及前述供給機構。 7. 如請求項3或4之液體再生裝置，其中在前述第一及前述 第二單元中，進一步包含廢棄機構，其係連接於前述再 生槽底部，抽出錢制洗淨液之再生後㈣且加以廢 8. 如請求们之液體再生裝置’其中在前述第一及前述第 二單元巾，前述再生機構包含冷卻機構，其係冷卻前述 使用洗淨液之蒸㈣分而使之液化，作為前述再生洗 液。 如請求項8之液體再生裝置’其中進一步包含冷卻水供 給機構，其係供給冷卻水至前述第—及前述第二單 前述冷卻機構。 特徵為：其係從處理裝置將洗 10. —種洗淨液再生方法 - ✓、I/J、St ^ 首 vk 淨被處理構件之❹洗淨液加心收並進行再生、，並將 再生洗淨液再度供給至處理裝置且 肝 128107-10J0620.doc -2 - 1373362 藉由將進行前述使用洗淨液之回收及再生，以及前述 再生洗淨液之供給的複數洗淨液再生處理流程加以組 合，連續地將前述使用洗淨液加以回收並進行再生，並 將前述再生洗淨液再度供給至處理裝置。 η.如請求項ω之洗淨液再生方法，其中前述複數洗淨液再 生處理流程至少包含： 第一流程’其係包含前述使用洗淨液之回收步驟、再 生步驟及前述再生洗淨液之供給步驟； 第二流程，其係與前述第一流程同步，並包含：前述 使用洗淨液之再生步驟、前述再生洗淨液之供給步驟及 前述使用洗淨液之回收步驟；及 第三流程，其係與前述第一流程同步，並包含：前述 再生洗淨液之供給步驟、前述制洗淨液之时步驟及 再生步驟》 12·如請求㈣之洗淨液再生方法，其中控制前述第一、第 二及第三流程之各步驟使其對象步驟前後之步驟可斑對 應其他流程中之前述對象步驟的對應步驟前後之步驟重 疊。 13 一種液體再生系統，其係白人.士 ^ 再係包含.處理裝置，其係以洗淨 液洗淨被處理構件；及液體 伙體再生裝置，其係將來自該處 理裝置之使用洗淨液加以回 W收並進仃再生；且使前述使 用洗淨液及再生洗淨液為兮·老m # 收在該處理裝置及該液體再生裝置 之間連續性循環，且 前述液體再生裝置包含推，· a ^ * 3進仃别述使用洗淨液之回收及 128107-1010620.doc 1373362 再生，以及再生洗淨液之供給的第一及第二單元各個 單元包含： 回收機構，其係連接於前述處理裝置而設置，並回 收前述使用洗淨液； 再生機構，其係連接於前述回收機構而設置，並收 容由該回收機構所回收之前述使用洗淨液且加以再生； 貯存機構’其係連接於前述再生機構而設置，並貯 存由該再生機構所再生之再生洗淨液；及 供給機構’其係連接於前述貯存機構及前述處理裝 置而設置，並將前述再生洗淨液供給至前述處理裝置；且 於前述第一單元回收前述使用洗淨液時，前述第二 單元可再生預先回收之使用洗淨液。 14. 15. 如請求項13之液體再生系統，其中進一步包含同樣構成 之第三及第四單元。 如請求項13或14之液體再生系統，其中進一步包含控制 前述處理裝置及前述液體再生裝置的控制機構，該控制 機構在前述處理裝置與前述液體再生裝置之間相互進行 通訊’並控制液體再生裝置各單元之前述回收步驟、前 述再生步驟及前述供給步驟。 128I07-I010620.doc