JP2005281016A - 超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素から不要物を連続的に分離し、回収された二酸化炭素中の残留成分を所定の数値にまで低減させることが可能な超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を得るにある。
【解決手段】 超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置等から排出される排出流体の圧力を降下させ、排出流体を気体と液体に分離する気液分離機構と、この気液分離機構で分離された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とで超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を構成している。
【選択図】 図１

Description

本発明は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置、乾燥装置、抽出装置、高分子材料の加工等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置に関する。

従来の超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置や乾燥装置から排出される二酸化炭素の再生回収装置は、ポンプ方式や密閉加温等の高圧発生手段や密度差、レベル差、、気相連通を利用することにより、耐圧要求を抑えた循環手段
により洗浄装置や乾燥装置の二酸化炭素循環装置の一部として気液分離機構を用いたり、蒸発機構を用いるものが提案されている。

しかしながら、このような装置は利用された排出流体の多くは最終的に気体の状態で回収されるが、その残留する微量汚染物の除去については提示されていない。
また、利用された流体が気体となる際には、密度などに代表される流体の状態変化により、汚染物の多くが分離されるが、回収される気体中にはなお飽和状態 または不飽和状態として分離されないままの微量汚染物が残留し、用途によっては残留した微量汚染物により不具合が生じるという欠点があった。
また、気液分離機構を用いるものについては圧力降下後の二酸化炭素が完全に気化する場合、粘性の高い不要物が装置へ不具合を引起したり、完全に液化した場合にはその後の回収工程に過大な熱エネルギーが必要になるという欠点があった。
特開平１０−１６３１５２ 特開２００３−１２６６７３

本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置や乾燥装置から排出される二酸化炭素から不用物を連続的に分離し、回収された排出流体の二酸化炭素中の残留成分を所定の数値にまで低減させることが可能な超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を提供することを目的としている。
また、本発明は圧力降下後の二酸化炭素を所定の気液率を保つように温度および圧力を制御し、同時に気液分離圧力容器の液面をヒーターによって制御し液中で濃縮分離した不要物を連続処理することにより、圧力降下後に析出する不要物の装置への不具合を解消し、かつ少ない熱エネルギで回収工程を行なうことができる超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を提供することを目的としている。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、より完全に明らかになるであろう。
ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。

上記目的を達成するために、本発明は 超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とで超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を構成している。

本発明は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された液体中の不要物を減圧回収あるいは不要物を除去して燃焼あるいは大気へ放出する不要物の処理機構と、前記気液分離機構で分離された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とで超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を構成している。

本発明は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中のミストを分離するミスト分離機構と、このミスト分離機構でミストが分離された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とで超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を構成している。

本発明は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中の不要物を除去する不要物除去機構と、この不要物除去機構で不要物が除去された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とで超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を構成している。

本発明は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された液体中の不要物を減圧回収あるいは不要物を除去して燃焼あるいは大気へ放出する不要物の処理機構と、前記気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中のミストを分離するミスト分離機構と、このミスト分離機構でミストが分離された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とで超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を構成している。

本発明は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中のミストを分離するミスト分離機構と、前記気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中の不要物を除去する不要物除去機構と、前記ミスト分離機構でミストが分離された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とを備えることを特徴とする超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を構成している。

本発明は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された液体中の不要物を減圧回収あるいは不要物を除去して燃焼あるいは大気へ放出する不要物の処理機構と、前記気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中の不要物を除去する不要物除去機構と、この不要物除去機構で不要物が除去された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とで超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を構成している。

本発明は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された液体中の不要物を減圧回収あるいは不要物を除去して燃焼あるいは大気へ放出する不要物の処理機構と、前記気液分前記気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中のミストを分離するミスト分離機構と、このミスト分離機構でミストが分離された気体である二酸化炭素中の不要物を除去する不要物除去機構と、この不要物除去機構で不要物が除去された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とで超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を構成している。

以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。

（１）超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構を用いているので、効率よく排液を気体と液体に分離することができる。

（２）気液分離機構で分離された気体である二酸化炭素を液化精製機構で液化精製するので、液化精製された液体の二酸化炭素を再使用することができる。

（３）前記（１）によって、気液分離機構を用いているので、不要物は排液に含まれている状態で除去することができ、不要物の除去を容易に行なうことができる。

（４）請求項２も前記（１）〜（３）と同様な効果が得られるとともに、不要物の除去をより容易に行なうことができる。

（５）請求項３も前記（１）〜（３）と同様な効果が得られるとともに、気液分離機構で分離された気体である二酸化炭素中のミストをミスト分離機構で分離することができる。
したがって、より二酸化炭素中に含まれている不要物を効率よく除去することができる。

（６）請求項４も前記（１）〜（３）と同様な効果が得られるとともに、不要物除去機構によって、二酸化炭素中の不要物をより効率よく除去することができる。

（７）請求項５、６、７、８も前記（１）〜（３）、（５）、（６）と同様な効果が得られる。

（８）請求項９は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体に応じて、最適に処理することができる圧力降下機構と気液分離機構と不要物の処理機構とミスト分離機構とを選択使用することができる。

（９）請求項１０、１１は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体を圧力降下する際に所定の気液率を保つように制御することができるとともに、気液分離機構の液面をヒーターによって制御し、同時に液中で濃縮分離した不要物を連続処理することができる。
したがって、効率よく気液分離を行なうことができる。

以下、図面に示す本発明を実施するための最良の形態より、本発明を詳細に説明する。

図１および図２に示す本発明を実施するための最良の第１の形態において、１は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置２から排出される排出流体３を回収して再生させる本発明の洗浄装置で用いられた二酸化炭素の再生回収装置で、この洗浄装置の排出取り出し口パイプ６に接続された排出される流体に応じて回収経路を選択する事ができる開閉弁１４と、排出流体の圧力降下を所定の気液率を保つように温度および圧力制御をすることが出来る温度調整手段１５および圧力調整手段１６とからなる圧力降下機構７、７、この圧力降下機構７、７で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器１８とからなる気液分離機８、８と、この気液分離機構８、８で分離された液体中の不要物を減圧回収あるいは不要物を除去して燃焼あるいは大気へ放出する液体中の不要物の処理機構９、 ９と、前記気液分離機構８、８で分離された気体である二酸化炭素中のミストを分離するミスト分離機構１０、１０と、このミスト分離機構１０、１０でミストを分離された気体である二酸化炭素中の不要物を除去する不要物除去機構１１と、この不要物除去機構１１で不要物を除去された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構１２とで構成されている。

前記２個の気液分離機構８、８は、図２に示すように前記気液分離圧力容器１８、１８と、前記排出パイプ６に一端部が接続され、他端部がフィルター１７、１７を介して前記気液分離圧力容器１８に接続されたパイプ通路１３、１３と、このパイプ通路１３、１３にそれぞれ介装された開閉弁１４、１４、温度調整手段１５、１５および圧力調整手段１６、１６と、前記気液分離圧力容器１８、１８内に収納された、圧力降下された排出流体３Ａ、３Ａの液面を調整するためのヒーター１９、１９とで構成されている。

前記液体中の不要物の処理機構９、９は前記気液分離圧力容器１８、１８の下部に連通するパイプ通路１３、１３に開閉弁２０、２０を介して接続された下部に不要物を溜めることができる減圧機構２１、２１と、この減圧機構２１、２１より大気へ排出される排気パイプ２２、２２に介装された排ガス規制に適合させる処理機構２３、２３とで構成されている。

前記２個のミスト分離機構１０、１０は前記気液分離圧力容器１８、１８の上部と一端部が接続され、他端部が前記不要物除去機構１１に接続されたパイプ通路１３、１３と、このパイプ通路１３、１３に介装された冷却装置２４、２４、フィルター２５、２５および開閉弁２６、２６とで構成されている。
なお、前記フィルター２５、２５で捕捉された液体は、回収パイプ通路２７、２７によって気液分離圧力機構１８、１８内へ導けるように構成されている。

前記不要物除去機構１１は一端部が前記パイプ通路１３、１３に接続され、他端部が前記液化精製機構１２に接続されたパイプ通路１３に介装された吸着剤へ不要物を固定するフィルター２８およびフィルター２９とで構成されている。

前記液化精製機構１２は前記不要物除去機構１１のパイプ通路１３に接続された圧力調整弁３０、３１が介装されたパイプ通路１３と、このパイプ通路１３の圧力調整弁３０、３１間に介装された冷却装置３２と、この冷却装置３２に接続された精製用圧力容器３３と、この精製用圧力容器３３の上部に取付けられた圧力調整弁３４と、前記精製用圧力容器３３中の液体の二酸化炭素の蒸発量を調整するためのヒーター３５と、前記精製用圧力容器３３の下部に接続された開閉弁３６が介装された、液化精製された二酸化炭素を再使用できるように洗浄装置の二酸化炭素供給機構３７へ導く排出パイプ３８とで構成されている。

上記構成の超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置で用いられた二酸化炭素の再生回収装置１は、洗浄装置２での洗浄時の排出流体３は一方の気液分離機構８、一方の液体の処理機構９、一方のミスト分離機構１０、不要物除去機構１１および、液化精製機構１２で再使用できる液体の二酸化炭素に再生する。
また、液体洗浄装置２での第二工程で排出される排出流体は、他方の気液分離機構８、他方の液体の処理機構９、他方のミスト分離機構１０、不要物除去機構１１および液化精製機構１２で再使用できる液体の二酸化炭素に再生する。

なお、本発明を実施するための形態では気液分離機構８、８を２個並列に用いるものについて説明したが、本発明はこれに限らず３個以上の複数、個並列させても良い。
また、本発明を実施するための形態では、超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置２から排出される排出流体３を回収して再生させるものについて説明したが本発明はこれに限らず、超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた乾燥装置、抽出装置、高分子材料の加工等で用いられた二酸化炭素を回収して再生させるものに用いても同様な作用効果がえられる。
[発明を実施するための異なる形態]

次に、図３ないし図１０に示す本発明を実施するための異なる形態につき説明する。なお、これらの本発明を実施するための異なる形態の説明に当って、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。

図３に示す本発明を実施するための第２の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、フイルターを用いない気液分離機構８Ａ、８Ａを用いるとともに、ミスト分離機構１０Ａ、１０Ａを用いた点で、このように構成した超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置で用いられた二酸化炭素の再生回収装置１Ａにしても、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同様な作用効果が得られる。
なお、この本発明を実施するための形態ではサイクロン方式やバッフル方式の気液分離機構を用いたり、サイクロン方式、バッフル方式を用いたミスト分離機構を用いてもよい。

図４に示す本発明を実施するための第３の実施の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、不要物除去機構を使用しないで構成した点で、このように構成した超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置で用いられた二酸化炭素の再生回収装置１Ｂにしても、後の液化精製機構で目的とする不要物の除去効果が得られる流体の場合には、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同様な作用効果が得られる。

図５に示す本発明を実施するための第４の実施の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、ミスト分離機構を使用しないで構成した点で、このように構成した超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置で用いられた二酸化炭素の再生回収装置１Ｃにしてもよい。

図６に示す本発明を実施するための第５の実施の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、気液分離機構８から不要物を含む液体を外部へ排出できるようにするとともに、ミスト分離機構を使用しないで構成した点で、このように構成した超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置で用いられた二酸化炭素の再生回収装置１Ｄにしてもよい。

図７に示す本発明を実施するための第６の実施の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、気液分離機構８から不要物を含む液体を外部へ排出できるようにするとともに、不要物除去機構を使用しないで構成した点で、このように構成した超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置で用いられた二酸化炭素の再生回収装置１Ｅにしてもよい。

図８に示す本発明を実施するための第７の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、ミスト分離機構および不要物除去機構を使用しないで構成した点で、このように構成した超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置で用いられた二酸化炭素の再生回収装置１Ｆにしてもよい。

図９に示す本発明を実施するための第８の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、圧力降下機構７、気液分離機構８および液化精製機構１２で構成した点で、このように構成した超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置で用いられた二酸化炭素の再生回収装置１Ｇにしてもよい。

図１０に示す本発明を実施するための第９の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、１個の圧力降下機構７、気液分離圧力容器１８内の流体を循環させて不要物を捕集する捕集機構３９を用いた気液分離機構８Ｂ、液体の処理機構９、ミスト分離機構１０、不要物除去機構１１および液化精製機構１２を用いた点で、このように構成した超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置で用いられた二酸化炭素の再生回収装置１Ｈにしてもよい。
前記捕集機構３９は気液分離圧力容器１８の液体が位置する上下部と連通する不要物捕集容器４０およびポンプ４１が介装された送液機構４２と、この送液機構４２の不要物捕集容器４０の上部あるいは下部、本発明の実施の形態では上部より不要物を排出する開閉弁４３を備えた第２の不要物排出パイプ４４とで構成されている。

なお、本発明を実施するための各異なる形態では前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点について説明したが、本発明はこれに限らず、他の第２ないし第８の実施の形態にも同様に実施することが出来る。

本発明は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置を製造する産業およびこれを使用する産業で利用される。

本発明を実施するための最良の第１の形態の概略図。 本発明を実施するための最良の第１の形態の気液分離機構の説明図。 本発明を実施するための第２の形態の概略図。 本発明を実施するための第３の形態の概略図。 本発明を実施するための第４の形態の概略図。 本発明を実施するための第５の形態の概略図。 本発明を実施するための第６の形態の概略図。 本発明を実施するための第７の形態の概略図。 本発明を実施するための第８の形態の概略図。 本発明を実施するための第９の形態の概略図。

符号の説明

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇ、１Ｈ：超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置、
２：洗浄装置、 ３：排出流体、
４：洗浄槽、
５：圧力調整器あるいはバルブ開閉器、
６：排出パイプ、 ７：圧力降下機構、
８、８Ａ：気液分離機構、 ９：排液の処理機構、
１０：ミスト分離機構、 １１：不要物除去機構、
１２：液化精製機構、 １３：パイプ通路、
１４：開閉弁、 １５：温度調整手段、
１６：圧力調整手段、 １７：フィルター、
１８：気液分離圧力容器、 １９：ヒーター、
２０：開閉弁、 ２１：減圧機構、
２２：排気パイプ、 ２３：排ガス規制に適合させる処理機構、
２４：冷却装置、 ２５：フィルター、
２６：開閉弁、 ２７：回収パイプ通路、
２８：フィルター、 ２９：フィルター、
３０：圧力調整弁、 ３１：圧力調整弁、
３２：冷却装置、 ３３：精製用圧力容器、
３４：圧力調整弁、 ３５：ヒーター、
３６：開閉弁、 ３７：洗浄装置の二酸化炭素供給機構、
３８：排出パイプ、 ３９：捕集機構、
４０：不要物捕集容器、 ４１：ポンプ、
４２：送液機構、 ４３：開閉弁、
４４：不要物排出パイプ。

Claims (11)

1. 超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とを備えることを特徴とする超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置。
2. 超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された液体中の不要物を減圧回収あるいは不要物を除去して燃焼あるいは大気へ放出する不要物の処理機構と、前記気液分離機構で分離された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とを備えることを特徴とする超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置。
3. 超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中のミストを分離するミスト分離機構と、このミスト分離機構でミストが分離された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とを備えることを特徴とする超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置。
4. 超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中の不要物を除去する不要物除去機構と、この不要物除去機構で不要物が除去された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とを備えることを特徴とする超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置。
5. 超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された液体中の不要物を減圧回収あるいは不要物を除去して燃焼あるいは大気へ放出する不要物の処理機構と、前記気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中のミストを分離するミスト分離機構と、このミスト分離機構でミストが分離された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とを備えることを特徴とする超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置。
6. 超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中のミストを分離するミスト分離機構と、前記気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中の不要物を除去する不要物除去機構と、前記ミスト分離機構でミストが分離された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とを備えることを特徴とする超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置。
7. 超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された液体中の不要物を減圧回収あるいは不要物を除去して燃焼あるいは大気へ放出する不要物の処理機構と、前記気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中の不要物を除去する不要物除去機構と、この不要物除去機構で不要物が除去された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とを備えることを特徴とする超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置。
8. 超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体の圧力調整を起こさせる温度調整手段および圧力調整手段、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器とからなる気液分離機構と、この気液分離機構の気液分離圧力容器で分離された液体中の不要物を減圧回収あるいは不要物を除去して燃焼あるいは大気へ放出する不要物の処理機構と、前記気液分離圧力容器で分離された気体である二酸化炭素中のミストを分離するミスト分離機構と、このミスト分離機構でミストが分離された気体である二酸化炭素中の不要物を除去する不要物除去機構と、この不要物除去機構で不要物が除去された気体である二酸化炭素を液化精製する液化精製機構とを備えることを特徴とする超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置。
9. 気液分離機構は洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体に応じて処理できるように少なくとも２対以上設置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項８いずれかに記載の超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置。
10. 気液分離機構は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体を所定の気液率を保つように温度調整手段および圧力調整手段と、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器ととで構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項９いずれかに記載の超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置。
11. 気液分離機構は超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等から排出される排出流体を所定の気液率を保つように温度調整手段および圧力調整手段と、この温度調整手段および圧力調整手段で圧力調整された排出流体を気体と液体に分離する気液分離圧力容器と、この気液分離圧力容器の液面を制御することができるヒーターとで構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項９いずれかに記載の超臨界あるいは液体の二酸化炭素を用いた洗浄装置あるいは乾燥装置等で用いられた二酸化炭素の再生回収装置。
    

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