JP2012240870A - 超高純度液化炭酸ガスの精製供給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液化炭酸ガスが充填された容器あるいは液化炭酸ガス使用装置より回収された液化炭酸ガスを供給する液化炭酸ガス供給部3と、この液化炭酸ガス供給部3から供給された液化炭酸ガスを気化して高沸点の液体や固体の不純物を残留させ、気相部から気体状炭酸ガスを排出する気化器7と、該気体状炭酸ガスを液化する液化器9、この液化器9からの液化炭酸ガスを気液に分離し低沸点の不純物を系外へ排出する排出弁10を備える排出管11を有する気液分離器12とからなる気液分離装置13と、この気液分離装置13で分離、精製された超高純度の液化炭酸ガスを、超高純度の液化炭酸ガス使用装置へ供給弁15を介して供給する供給通路16とで超高純度液化炭酸ガスの精製供給装置1を構成している。
【選択図】図1
Description
これまでに超高純度液化炭酸ガスの精製・製造方法では、吸着方法、除去方法、蒸留方法、吸収方法を用いることにより、品質レベルを向上させる技術が多く紹介されている。
昨今の急激な半導体市場の成長に伴い、超高純度液化炭酸ガスを用いた光学部品、マイクロデバイスなどの精密洗浄、超臨界炭酸ガスを用いた半導体ウエハー洗浄およびその乾燥など、超高純度液化炭酸ガスに求められる品質要求ならびにその用途、需要は多くなってきている。
これまで、半導体対応の炭酸ガス精製技術の紹介はあるが、上記にあげた純度以上に、水分、油分(不揮発性炭化水素)、パーティクル管理までを盛り込んだ製法、管理、容器充填技術の公知技術は知られていない。
このため、超高純度液化炭酸ガス専用の高圧容器を必要としたり、通常の純度の炭酸ガスと分別して扱う必要があり、管理が大変で、高コストとなる欠点があった。
また、運搬中に高圧容器接続部が汚染される等の欠点があった。
ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
(1)請求項1により、超高純度の液化炭酸ガスを使用する超高純度の液化炭酸ガス使用装置(ユースポイント)へ供給通路の供給弁を介して供給することができる。
したがって、専用の高圧容器が不要で、通常の純度の炭酸ガスと分別して扱う必要がなく、管理が容易で、高圧容器の運搬中に接続口が汚染される心配がなく、低コストで精製することができる。
(2)前記(1)によって、気化器で高沸点の液体や固体の不純物を残留させて除去し、気液分離装置で低沸点の不純物を除去して、効率よく超高純度の液化炭酸ガスの精製をすることができる。
(3)前記(1)により、気化器、液化器を備えた気液分離装置で構成されているので、構造が簡単で、容易に超高純度の液化炭酸ガスを使用する場所(ユースポイント)に設置することができる。
(4)請求項2により、前記(1)〜(3)と同様な効果が得られるとともに、気化器で高沸点の液体や固体の不純物を系外へ排出管より排出することができる。
(5)請求項3により、前記(1)〜(3)と同様な効果が得られるとともに、気化器からの気体状の炭酸ガス中の水分や有機物の除去や脱臭を行なうことができ、かつサブミクロンオーダーのパーティクルを除去することができる。
(6)請求項4により、前記(1)〜(3)と同様な効果が得られるとともに、超高純度の液化炭酸ガスを供給する供給通路で、超高純度の液化炭酸ガスからサブミクロンオーダーのパーティクルを除去することができる。
(7)請求項5により、前記(1)〜(3)と同様な効果が得られるとともに、供給通路のポンプで、液化炭酸ガス供給部の圧力よりも高い圧力で超高純度の液化炭酸ガスを供給することができ、ユースポイントの必要に応じた温度、圧力、相状態(液体、気体、超臨界)にして供給することができる。
(8)請求項6によって、前記(1)〜(3)と同様な効果が得られるとともに、液化器と気液分離器とが一体に構成された気液分離装置を用いることで、設置作業が容易にできる。
(9)請求項7によって、前記(1)〜(3)と同様な効果が得られるとともに、供給通路の供給弁を閉じて温度装置付バッファータンクの温度を調整することにより、所定の圧力でユースポイントに超高純度の液化炭酸ガスを供給することができる。
からの液化炭酸ガスを気液に分離し、低沸点の不純物を排出弁10を備える排出管11より系外へ排出する気液分離器12とからなる気液分離装置13と、この気液分離装置13で分離、精製された超高純度の液化炭酸ガスを超高純度の液化炭酸ガスの使用装置(ユースポイント)14へ供給弁15を介して供給する供給通路16とで構成されている。
次に、図2および図3に示す本発明を実施するための異なる形態につき説明する。なお、これらの本発明を実施するための異なる形態の説明に当って、前記本発明を実施するための第1の形態と同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
2:容器や貯槽、 3:液化炭酸ガス供給部、
4:フィルター、 5:排出弁、
6:排出管、 7、7A:気化器、
8:気化器からの供給通路、 9:液化器、
10:排出弁、 11:排出管、
12:気液分離器、 13、13A:気液分離装置、
14:超高純度液化炭酸ガスの使用装置、
15:供給弁、 16、16A:供給通路、
17:除湿装置、 18:活性炭塔、
19:精密フィルター、 20:ポンプ、
21:精密フィルター、 22:過冷却器、
23:ヒーター、 24:バッファータンク、
25:温調装置付バッファータンク、
29:開閉弁。
Claims (7)
- 液化炭酸ガスが充填された容器や貯槽あるいは液化炭酸ガスの使用装置より回収された液化炭酸ガスを供給する液化炭酸ガス供給部と、この液化炭酸ガス供給部から供給された液化炭酸ガスを気化して高沸点の液体や固体の不純物を残留させ、気相部から気体状の炭酸ガスを排出する気化器と、この気化器から排出された気体状の炭酸ガスが供給され、該気体状の炭酸ガスを液化する液化器、この液化器からの液化炭酸ガスを気液に分離し低沸点の不純物を系外へ排出する排出弁を備える排出管を有する気液分離器とからなる気液分離装置と、この気液分離装置で分離、精製された、超高純度の液化炭酸ガスを超高純度の液化炭酸ガス使用装置へ供給弁を介して供給する供給通路とからなることを特徴とする超高純度液化炭酸ガスの精製供給装置。
- 気化器は高沸点の液体や固定の不純物を系外へ排出する排出弁を有する排出管を備えていることを特徴とする請求項1記載の超高純度液化炭酸ガスの精製供給装置。
- 気化器から気体状の炭酸ガスが供給される通路には気体状の炭酸ガス中の水分を除去する除湿装置、気体状の炭酸ガス中に溶解している有機物の除去や脱臭を行なう活性炭塔、サブミクロンオーダーでのパーティクルを除去する精密フィルターのうちのいずれか1個以上介装されていることを特徴とする請求項1記載の超高純度液化炭酸ガスの精製供給装置。
- 供給弁の前後の供給通路には1個以上の超高純度の液化炭酸ガスからサブミクロンオーダーでのパーティクルを除去する精密フィルターが介装されていることを特徴とする請求項1記載の超高純度液化炭酸ガスの精製供給装置。
- 供給通路には過冷却器、ヒーター、ポンプ、バッファータンク、温調装置付バッファータンクのうちの1個以上介装されていることを特徴とする請求項1記載の超高純度液化炭酸ガスの精製供給装置。
- 気液分離装置は液化器と気液分離器とが一体に構成されていることを特徴とする請求項1記載の超高純度液化炭酸ガスの精製供給装置。
- 供給通路には上流側より下流側へ開閉弁、温調装置付バッファータンク、供給弁が順次介装されていることをことを特徴とする請求項1記載の超高純度液化炭酸ガスの精製供給装置。
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