JP2001261320A - 精製液化炭酸ガスの供給方法と装置並びにドライアイススノーによる洗浄方法と装置 - Google Patents

精製液化炭酸ガスの供給方法と装置並びにドライアイススノーによる洗浄方法と装置

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JP2001261320A JP2000079133A JP2000079133A JP2001261320A JP 2001261320 A JP2001261320 A JP 2001261320A JP 2000079133 A JP2000079133 A JP 2000079133A JP 2000079133 A JP2000079133 A JP 2000079133A JP 2001261320 A JP2001261320 A JP 2001261320A
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dioxide gas
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Kenji Fukuda
健治 福田
Shoji Sekihara
章司 関原
Hidetoshi Ota
英俊 太田
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Nippon Sanso Corp
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Japan Oxygen Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 液化炭酸ガス中の油分、パーティクル等の不
純物を効率よく除去し、被洗浄物の洗浄効果を高め得る
精製液化炭酸ガスの供給方法と装置並びにこれを使用し
たドライアイススノーによる洗浄方法と装置の提供。 【解決手段】 原料液化炭酸ガスTLを昇圧機2で所定
圧力に加圧した後、蒸発器3で気体状炭酸ガスTGにせ
しめ、これを吸着剤容器4で炭酸ガス中の油分等の不純
物を除去した後、液化器5で液化し油分除去した液化炭
酸ガスTL0とし、該液化炭酸ガスTL0を必要に応じて貯
液タンク6を介してパーティクル除去用フィルター7に
導入通過せしめ、パーティクルを除去して精製液化炭酸
ガスTLPとして供給する。そして、この精製液化炭酸ガ
スTLPを絞り機構Vsで断熱膨張させてドライアイスス
ノーTsにして被洗浄物に噴射しこれを洗浄する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液化炭酸ガスに含
まれる油分及びパーティクル等を除去した精製液化炭酸
ガスの供給方法とその装置、並びにこれで得られる精製
液化炭酸ガスを断熱膨張せしめて生成するドライアイス
スノーを、半導体部品等に付着する不要物の除去、プラ
スチック成形品のバリ取り、あるいは塗装物の剥離等に
当たって、これら被洗浄処理物に向け噴射せしめて、被
洗浄物を洗浄処理する方法とその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、液化炭酸ガスをノズルから噴射
し、ドライアイススノーを半導体ウエハー、複写機用の
リサイクル部品、電気基板、MRヘッド、プラスチック
成形品及び精密部品等の被洗浄物に吹付け、付着した有
機物、酸、バリ、汚れ等を除去することがなされてい
た。しかし、液化炭酸ガスには、微量の油分及びパーテ
ィクルが含まれており、被洗浄物はドライアイススノー
により洗浄はされるものの、被洗浄物が半導体ウエハー
の如き高度な洗浄が要求されるものにおいては、洗浄に
使用されるドライアイススノー中に微量ではあるが含有
する油分やパーティクルがこれらウエハーに付着して汚
染することとなって品質特性保持の点で大きな問題であ
った。
【0003】上記問題点の1つである液体炭酸ガスに含
まれるパーティクルの除去に関しては、例えば特公平6
−22224号公報に開示されている。即ち、該公報に
は、原料である液化炭酸ガスを蒸発器により気化させて
気体状炭酸ガスとし、その気体状炭酸ガスをフィルター
によってパーティクルを除去した後、該気体状炭酸ガス
を冷却して再度液化炭酸ガスとし、そしてこれを断熱膨
張せしめてドライアイススノーとし、被洗浄物に向けて
噴射せしめて洗浄する方法が開示されている。
【0004】又、本件発明出願人の出願に係わる出願特
許 特願平11−365597号では、通常一般の液化
炭酸ガスに含有しているとされている1〜5ppmの油分
を除去するため、あるいは工程上油分混入が避けられな
い液化炭酸ガス貯槽からの液化炭酸ガスの供給を行うに
あたってこの油分を除去するため、液化炭酸ガスを気化
させ気体状炭酸ガスとしてから、これを吸着剤と接触せ
しめてこれら油分を除去している。更に又、再液化した
液化炭酸ガスの配管内流通に際して壁面研磨によって新
たに発生するパーティクルを除去するために、再液化後
の供給最後段にフィルターを配して、これによってパー
ティクルを除去した液化炭酸ガスを供給するようにして
いる。そして、この結果、このような液化炭酸ガスによ
って生成したドライアイススノーを使用して洗浄を行う
ことにより、従来よりも効果的に、かつ経済的にドライ
アイススノーによる洗浄を行うことを可能にしたもので
ある。
【0005】しかし、上記方法では、液化炭酸ガス貯
槽、あるいは液化炭酸ガス容器から供給される液化炭酸
ガスを気化するための蒸発器や、又再び液化させるため
の液化器で、それぞれで必要とされる熱量、即ち蒸発器
で気化するために必要とする与える熱量と、液化器で液
化するために必要とする奪う熱量の合計は、液化炭酸ガ
ス貯槽から供給される−20 ℃、2MPaの液化炭酸ガ
スの場合、最少134.9kcal/kgの熱量が必要とな
る。又、液化炭酸ガスボンベから供給される20℃、6
MPaの液化炭酸ガスの場合で最少72.1kcal/kgの冷
却熱量が必要となる。そして、交換する熱量が大きけれ
ば大きいほど、熱交換能力が高い蒸発器および液化器を
用いる必要があり、また、このような場合熱量の損失が
大きくなってしまうといった問題を有していた。
【0006】又、ドライアイススノーによって被洗浄物
を洗浄する場合、被洗浄物からの付着物除去能力は噴射
されるドライアイススノーの圧力に依存して向上する。
しかし、上記精製した液化炭酸ガスを使用してドライア
イススノーを生成し、これを被洗浄物に吹き付けて付着
物の洗浄を行う場合には、液化炭酸ガスを精製する精製
装置での各工程における配管、バルブ、蒸発器、冷却
器、吸着筒、フィルター等によって、液化炭酸ガスがノ
ズルから噴射される以前に圧力損失が生じ、このため噴
射されるドライアイススノーの噴発圧力も低下し、付着
物の除去能力が低下してしまう問題を有していた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来の問題点や不都合を解決し、液化炭酸ガスの精製にあ
たって、気・液間の相転移をなさしめる工程にかかる負
荷および容量を軽減し、効率よく不純物である油分、パ
ーティクル等の除去を可能とし、更に洗浄効果を著しく
高めることを可能とする精製液化炭酸ガスの供給方法と
装置並びにドライアイススノーによる洗浄方法と装置を
提供することを本発明の課題とした。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ため、請求項1に係わる発明の精製液化炭酸ガスの供給
方法は、液化炭酸ガスを加圧手段により加圧した後、気
化手段により気体状炭酸ガスにせしめ、次いで該加圧さ
れた気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せしめて炭酸ガス中
の不純物を除去した後、該気体状炭酸ガスを冷却手段に
より冷却して液化炭酸ガスとし、該液化炭酸ガスをフィ
ルターに導入通過せしめて、含有するパーティクルを除
去して供給することを特徴とするものである。請求項2
に係わる発明の精製液化炭酸ガスの供給方法は、前記請
求項1に係わる発明の精製液化炭酸ガスの供給方法で、
加圧手段が昇圧機で加圧することを特徴とするものであ
る。請求項3に係わる発明の精製液化炭酸ガスの供給方
法は、前記請求項1に係わる発明の精製液化炭酸ガスの
供給方法で、加圧手段が液化炭酸ガス貯蔵容器を加熱制
御して加圧することを特徴とするものである。請求項4
に係わる発明の精製液化炭酸ガスの供給方法は、気体状
炭酸ガスを昇圧機を用いて加圧し、次いで該加圧された
気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せしめて含有する不純物
を除去した後、該加圧された気体状炭酸ガスを冷却して
液化炭酸ガスとし、続いて該液化炭酸ガスをフィルター
に導入通過せしめて含有するパーティクルを除去して、
精製液化炭酸ガスとして供給することを特徴とするもの
である。
【0009】請求項5に係わる発明の精製液化炭酸ガス
供給装置は、液化炭酸ガスを貯液する貯蔵容器に、液化
炭酸ガスを加圧する加圧手段、該加圧された液化炭酸ガ
スを気体状炭酸ガスに気化せしめる蒸発器、該気体状の
炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を充填した吸着剤
容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガスを冷却液化す
る液化器、及び該液化炭酸ガス中のパーティクルを除去
するフィルターを備えてなることを特徴とするものであ
る。請求項6に係わる発明の精製液化炭酸ガス供給装置
は、前記請求項5に係わる発明の精製液化炭酸ガス供給
装置で、加圧手段が昇圧機であることを特徴とするもの
である。請求項7に係わる発明の精製液化炭酸ガス供給
装置は、前記請求項5に係わる発明の精製液化炭酸ガス
供給装置で、加圧手段は液化炭酸ガス貯蔵容器を加熱制
御して行う手段であることを特徴とするものである。請
求項8に係わる発明の精製液化炭酸ガス供給装置は、前
記請求項5に係わる発明の精製液化炭酸ガス供給装置
で、加圧手段の下流側に貯液タンクを配し、該貯液タン
ク内の気相又は液相の炭酸ガスのうちいずれか一方の相
の炭酸ガスを選択して次工程に連通せしめてなることを
特徴とするものである。請求項9に係わる発明の精製液
化炭酸ガス供給装置は、気体状炭酸ガスを供給する液化
炭酸ガス貯蔵する貯蔵容器に、該気体状炭酸ガスを加圧
する加圧手段、該加圧気体状の炭酸ガス中の不純物を除
去する吸着剤を充填した吸着剤容器、該不純物を除去し
た気体状炭酸ガスを冷却液化する液化器、及び該液化炭
酸ガス中のパーティクルを除去するフィルターを備えて
なることを特徴とするものである。
【0010】請求項10に係わる発明のドライアイスス
ノーによる洗浄方法は、液化炭酸ガスを加圧手段により
加圧した後、気化手段により気体状炭酸ガスにせしめ、
次いで該加圧された気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せし
めて炭酸ガス中の不純物を除去した後、該気体状炭酸ガ
スを冷却手段により冷却して液化炭酸ガスとし、該液化
炭酸ガスをフィルターに導入通過せしめて、含有するパ
ーティクルを除去して得られた精製液化炭酸ガスを断熱
膨張させて生成せしめたドライアイススノーを、被洗浄
物に噴射吹き付けて、被洗浄物を洗浄することを特徴と
するものである。請求項11に係わる発明のドライアイ
ススノーによる洗浄方法は、気体状炭酸ガスを昇圧機を
用いて加圧した後、該加圧された気体状炭酸ガスを吸着
剤に接触せしめて含有する不純物を除去した後、該加圧
気体状炭酸ガスを冷却して液化炭酸ガスとし、続いて該
液化炭酸ガスをフィルターに導入通過せしめて含有する
パーティクルを除去して得られた精製液化炭酸ガスを断
熱膨張させて生成せしめたドライアイススノーを、被洗
浄物に噴射吹き付けて、被洗浄物を洗浄することを特徴
とするものである。
【0011】請求項12に係わる発明のドライアイスス
ノーによる洗浄装置は、液化炭酸ガスを貯液する貯蔵容
器に、液化炭酸ガスを加圧する加圧手段、該加圧された
液化炭酸ガスを気体状炭酸ガスに気化せしめる蒸発器、
該気体状の炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を充填
した吸着剤容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガスを
冷却液化する液化器、及び該液化炭酸ガス中のパーティ
クルを除去するフィルターを備えてなる精製液化炭酸ガ
ス供給装置の前記フィルターの下流側に断熱膨張せしめ
る絞り機構を連設せしめてなることを特徴とするもので
ある。請求項13に係わる発明のドライアイススノーに
よる洗浄装置は、気体状炭酸ガスを供給する液化炭酸ガ
ス貯蔵容器に、該気体状炭酸ガスを加圧する加圧手段、
該加圧された気体状の炭酸ガス中の不純物を除去する吸
着剤を充填した吸着剤容器、該不純物を除去した気体状
炭酸ガスを冷却液化する液化器及び液化炭酸ガス中のパ
ーティクルを除去するフィルターを備えてなる精製液化
炭酸ガス供給装置の前記フィルターの下流側に、断熱膨
張せしめる絞り機構を連設せしめてなることを特徴とす
るものである。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の精製液化炭酸ガス供給方
法を実施するための精製液化炭酸ガス供給装置の実施の
形態にについて図面を参照して説明する。図1は本発明
の精製液化炭酸ガス供給装置の第1の実施の形態の系統
概略図である。図1に図示した第1の実施の形態の精製
液化炭酸ガス供給装置10は、原料液化炭酸ガスTL
貯液する液化炭酸ガス貯蔵容器1、原料液化炭酸ガスT
Lを所定圧力に加圧する昇圧機2、加圧された原料液化
炭酸ガスTLを気体状炭酸ガスTGに気化せしめるため加
熱手段Hを備えた蒸発器3、気体状炭酸ガスTG中に含
有する油分を除去するための吸着剤を充填してなる油分
吸着筒の如き吸着剤容器4、油分を除去した気体状炭酸
ガスTG0を再液化する冷却手段Rを備えた液化器5、再
液化した油分を除去した液化炭酸ガスTL0、そして該油
分を除去した液化炭酸ガスTL0を必要に応じて貯液する
ため配設する貯液タンク6を介して更にパーティクル除
去用のフィルター7よりなるものである。そして符合V
sは断熱膨張せしめるための絞り機構である。
【0013】そして、これらの機器は流量調整弁Vf、
逆止弁Vc、圧力調整弁Vp等の弁を介して管11、1
2、13、14、15、及び16により連結されてい
る。更に前記昇圧機2の上流側の管11には必要に応じ
て大きなゴミを除去するためのストレーナー17を設備
しておくと良い。又、運転圧力の変動、特に昇圧機2に
よる脈動防止をして、常に一定の圧力で安定した状態で
運転し得るよう、蒸発器3の上流側の管12にアキュム
レーター18を配設することが好ましい。
【0014】又、油分を除去した液化炭酸ガスTL0の貯
液タンク6は必要に応じて配設すればよく、特に定期的
に継続して供給使用する場合には設置することにより極
めて効率よく供給し得て、精製液化炭酸ガスを使用する
作業性を著しく向上せしめることができる。この貯液タ
ンク6には液面指示調節制御器19と圧力指示調整警報
器20が設備されている。そして、運転初期には液面が
所定の量に達するまでは電磁弁Ve4を開状態にして計装
用気体Gを気体作動弁Vg4に送り、これを開状態に維持
して貯液タンク6内を大気に連通する状態となり、液面
の上昇に伴い貯液タンク6内のガスが排出される。そし
て液面が所定の液面に達したら電磁弁Ve4を閉じて計装
用気体Gの流通を遮断して気体作動弁Vg4を閉じる。こ
の時、気体作動弁Vg4の下流側に保圧弁の如き圧力調整
弁Vpを設けることにより、貯液タンク6内の圧力を低
下させることなく所定の圧力に維持して、貯液タンク6
内のガスを排出することができる。
【0015】又一方、貯液タンク6の液面が所定の液面
を超過すると液面指示調節制御器19よりの信号で電磁
弁Ve3が作動して計装用気体Gを気体作動弁Vg3に供給
し該弁Vg3を開操作し貯液タンク6内の超過した液化炭
酸ガスTL0を気体作動弁Vg3を介して液化器5の上流側
の管14に環流する。そして貯液タンク6の液面が所定
の液面に達すると液面指示調節制御器19よりの信号で
電磁弁Ve3を閉止して計装用気体Gの気体作動弁Vg3
の供給を遮断して該弁Vg3を閉止する。このようにして
貯液タンク6の液面が所定の液面に常に保持されるよう
に液面指示調節制御器19で調整されている。
【0016】更に、前記液面指示調節制御器19の信号
は昇圧機2の駆動を調整して精製液化炭酸ガスの供給量
を制御する。昇圧機として気体作動式往復昇圧機を使用
した場合、昇圧機作動用として供給される計装用気体G
の流量に比例して昇圧機2の吐出量が変動する。そこ
で、前記貯液タンク6の液面が所定の液面に達していな
い時は液面指示調節制御器19の信号により電磁弁Ve2
を開作動するようにして計装用気体Gを最大流量で昇圧
機2に流して、吐出量を最大にするよう調整し、又貯液
タンク6の液面が所定量に達したら液面指示調節制御器
19の信号により電磁弁Ve2は閉止作動し、電磁弁Ve1
が開作動して、計装用気体Gを電磁弁Ve1より流量調整
弁Vfを介して流量が減量されて流通するようになっ
て、昇圧機2に供給され、この結果、昇圧機2より吐出
される量が減ずる。このようにして、液面指示調節制御
器19で、貯液タンク6の液面が予め設定した液面の上
限値に満たない時には電磁弁Ve2を開作動せしめ、電磁
弁Ve1を閉止状態とし、又、他方上限値を超えた時には
電磁弁Ve2を閉止状態として、電磁弁Ve1を開作作動せ
しめるようにして、貯液タンク6の液面を所望する一定
量に保つよう昇圧機2の吐出量を調整し、油分を除去し
た液化炭酸ガスTL0を貯液するようにしている。
【0017】又、貯液タンク6に設備した圧力指示調整
警報器20は該貯液タンク6の圧力を所望する高い圧力
を一定に保つように作動するものである。即ち、圧力が
所定の圧力に達しない場合には、圧力指示調整警報器2
0よりの信号で貯液タンク6に付設する加熱温度調節器
21が作動して貯液タンク6内を加熱して該タンク6内
の圧力を高める。そして、貯液タンク6内の圧力が所定
の圧力に達すると、圧力指示調整警報器20よりの信号
で加熱温度調節器21が作動停止せしめられる。
【0018】なお、上記した昇圧機2は空気や窒素ガス
等の気体の圧力で作動する気体作動往復式昇圧機を使用
すると、吐出する液化炭酸ガスの圧力が昇圧機作動に使
用される計装用気体Gの供給圧力によって決まるため、
設定した圧力以上の液化炭酸ガスを供給することがない
ため安全上好ましい。しかしこれに限定されるものでは
なく往復駆動又は回転駆動による電気駆動式昇圧機でも
よいことは勿論である。又、インバーター制御可能な電
気駆動式昇圧機を用いてもよい。
【0019】又、油分吸着筒の如き吸着剤容器4に充填
して使用される吸着剤としては、活性炭、アルミナ、シ
リカゲル、モレキュラーシーブス等が有効に使用され
る。そして、液化炭酸ガス中に酸素、水素、メタン、窒
素酸化物、又は硫黄化合物等の不純物が混入している恐
れがある場合には、油分吸着筒の如き吸着剤容器4と共
に還元性触媒、酸化性触媒等の種々対応し得る適切な触
媒を適宜充填した吸着筒を併設することにより、上記不
純物を除去することができる。そして又、パーティクル
除去用のフィルター7はステンレス鋼の如き金属の焼結
金属で形成されている。
【0020】更に、上記油分を除去した再液化炭酸ガス
L0の貯液タンク6は、容積空間を有するタンクである
ことを必ずしも必要とせず、一定容量の収容空間があれ
ばよく、例えば図2に図示する如き一定の内径を有する
スパイラル管26を貯液タンク6に代えて配設してもよ
い。なお、図2中図1に付した符号と共通する符号の構
成機器は、図1と同一の構成機器を示すもので、詳細な
説明は省略する。
【0021】次に本発明の第2の実施の形態を、その系
統概略図を図3に図示して説明する。図3において、図
1の第1の実施の形態における構成機器と同一構成機器
については同一符号を付し、詳細な説明は省略する。こ
の第2の実施の形態の装置30の特徴は、第1の実施の
形態においては貯蔵容器1に貯液していた原料液化炭酸
ガスTLを導出後昇圧機2で所定の圧力に加圧して、そ
の後処理をしていたのに対して、貯蔵容器内にサイフォ
ン管32を配し、貯蔵容器に加熱温度調節器33を設け
た、加圧抽出サイフォン管式貯蔵容器31使用して、該
貯蔵容器31内で加圧して導出するようにして、昇圧機
の如き機械的加圧手段を省略したものである。
【0022】この第2の実施の形態では導出管34は貯
蔵容器31内のサイフォン管32と連結され圧力調整弁
Vpを介して蒸発器3に連結されている。そして、前記
導出管34には圧力指示調整器35が設けられていて、
導出される貯蔵容器31内の原料液化炭酸ガスTLの圧
力状態を検出し、所定の圧力に達していないと信号を発
して加熱温度調節器33を作動せしめて貯蔵容器31内
を加熱する。そして貯蔵容器31内の原料液化炭酸ガス
Lの一部を加熱気化せしめることにより貯蔵容器31
内の圧力を高めて、原料液化炭酸ガスを所定の加圧状態
にしてサイフォン管32を介して導出管34より導出
し、圧力調整弁Vpを経て所定の圧力に加圧された原料
液化炭酸ガスTLが蒸発器3に供給される。即ち、この
第2の実施の形態の装置30では、所定の圧力に加圧し
た原料液化炭酸ガスを供給するにあたって、昇圧機の如
き機械的加圧手段を用いずに、貯蔵容器31自体に加熱
温度調節器を配して貯蔵容器自体で加圧して所定圧力に
して供給するものである。なお、その他の構成機器と処
理工程は、前記第1の実施の形態と同様である。
【0023】更に、本発明の第3の実施の形態につい
て、図4に図示した系統概略図を参照して説明する。図
4において、図1及び図3に図示した第1及び第2の実
施の形態での構成機器と共通する構成機器は同一符号を
付し手詳細な説明は省略する。この第3の実施の形態の
装置40の特徴は、第1の実施の形態において、原料液
化炭酸ガスTLを加圧後気化して気体状炭酸ガスTGとし
て、この気体状炭酸ガスTG中の油分を除去し、次いで
再液化して油分除去した液化炭酸ガスTL0の貯液タンク
6に貯液していたのを、この装置40では加圧後気化せ
ずに、液化炭酸ガスTLのまま直ちに貯液タンク41に
貯液したものである。即ち、該貯液タンク41は、貯液
した液化炭酸ガスTLを所望する所定圧力に加圧して貯
液タンク41の頂部より加圧した気体状炭酸ガスTG
して管42より導出するもので、いわゆる加圧気体状炭
酸ガス供給用として使用される。そして、管42より導
出された気体状炭酸ガスTGは圧力調整弁Vpで所定の一
定圧力に保持して弁40を介して油分吸着筒の如き吸着
剤容器4に導入して油分を除去し、更に再液化のための
液化器5を経てパーティクル除去用のフィルター7に導
入してパーティクルを除去して、精製液化炭酸ガスTLp
として管9で採取される。なお、貯液タンク41には第
1の実施の形態の如く圧力指示調整警報器20と加熱温
度調節器21が設備されていて、貯液タンク41内の圧
力を所望する所定の高圧に保持するよう、圧力指示調整
警報器20の信号で加熱温度調節器21を作動せしめ
て、該貯液タンク41内を加熱して昇圧せしめている。
【0024】このように、貯液タンク41の圧力を利用
することにより、油分の除去にあたって気体状で処理す
るための液化炭酸ガスの蒸発器3を省略し得ると共に、
油分除去、パーティクル除去等の除去処理工程を貯蔵容
器を介することなく一連の工程で作業効率よく処理し精
製液化炭酸ガスTLpを供給することができる。又、貯液
タンク41には、図1に図示した第1の実施の形態での
液面指示調節器19に代えて、重量計43とこれに連設
して重量指示調節器44が設けられている。そして、重
量計43で貯液タンク41内に貯液された液化炭酸ガス
Lの量を計量し、これを重量指示調節器44が検出し
て所定の液量に達しているか、否かを判定して、達して
いない時には昇圧機2に具備されている電磁弁Ve2を開
作動せしめて、計装用気体Gを最大量送給して昇圧機2
の吐出量を増大せしめ、所定の液量を超えた時には、電
磁弁Ve2を閉止して、電磁弁Ve1を開作動せしめて、計
装用気体Gをニードル弁の如き流量調整弁Vfを介して
減量状態にして昇圧機2に供給し吐出量を減じるように
調節する。この点重量指示調節器44は前記した第1の
実施の形態における液面指示調節器19と同様、貯蔵容
器1の液量の貯液量を一定量に保持するため昇圧機2の
吐出量を調節制御するものである。
【0025】
【実施例】次に、実施例として、上記した実施の形態で
説明した本発明の精製液体炭酸ガス供給装置を使用して
精製液化炭酸ガスを供給する方法を説明する。 [実施例1]実施例1として、図1に図示した第1の実
施の形態の精製液化炭酸ガス供給装置10を使用して、
精製液化炭酸ガスを供給し、洗浄用にドライアイススノ
ー(雪状ドライアイス)を生成する方法を例示して説明
する。原料液化炭酸ガスTLが貯液されている貯蔵容器
1より、温度 −20℃で2MPaの圧力の原料液化炭酸
ガスTLを管11より導出し、ニードル弁の如き流量調
整弁Vfで流量を調整した後ストレーナー17に導入
し、該器17で大きなゴミを排除し、昇圧機2に吸引さ
れる。該昇圧機2は例えば空気や窒素ガスの加圧気体を
用いた気体作動による往復動式昇圧機2でなっていて、
これによって原料液化炭酸ガスTLは所定の圧力7.3M
Paに加圧した後、逆止弁Vcを介してアキュムレーター
18を経て管12により加熱手段Hを備えた蒸発器3に
導入される。
【0026】なお、前記昇圧機2での加圧圧力は7.3
MPaに限定されるものではないが、液化炭酸ガスは7.
39MPa、31.2℃以上になると超臨界域に入り、炭
酸ガスの油に対する溶解度が高まるため、適切でない。
圧力は、この超臨界域に入っていない状態であれば、液
化炭酸ガスは気液を分離することができるため、適宜選
択すればよい。又、アキュムレーター18の設置は昇圧
機2の加圧作動によって生ずる脈動を吸収軽減して安定
運転するために効果的である。
【0027】蒸発器3に導入された7.3MPaの原料液
化炭酸ガスTLは、気化されて7.3MPaの高圧力で3
0℃の気体状炭酸ガスTGとなった後、圧力調整弁Vpを
介して所定の7.1MPaの一定圧力に調圧されて管13
により油分吸着筒の如き吸着剤容器4に導入される。そ
して、油分吸着筒の如き吸着剤容器4に充填した活性
炭、アルミナ、シリカゲル、モレキュラーシブス等より
選ばれる少なくとも1種よりなる吸着剤により油分が吸
着除去される。なお、本実施例では活性炭を用いた。
又、酸素、水素、メタン、窒素酸化物、硫黄酸化物等の
供給先に支障を来す不純物が混入していて、これらを除
去する場合には、油分吸着筒の如き吸着剤容器4の他
に、還元性触媒、酸化性触媒など種々の触媒を充填した
容器を併設したり、あるいはこれらの触媒を充填した除
去装置と置換して設置すればよい。
【0028】次いで、油分除去された気体状炭酸ガスT
G0は管14より逆止弁Vcを介して液化器5に導入され
る。そして、該液化器5で油分除去された気体状炭酸ガ
スT G0は20 ℃に冷却され、6.8MPaの圧力の油分
除去された液化炭酸ガスTL0となり管15により貯液タ
ンク6へ送液される。 該貯液タンク6内では、貯液さ
れた油分除去された液化炭酸ガスTL0は、油分を除去さ
れた液化炭酸ガスTL0と気体状炭酸ガスTG0の気液二相
を成した状態にある。そして、該貯液タンク6の上部外
壁に取り付けられた加熱温度調節器21によって気体状
炭酸ガス相を22 ℃に加熱し炭酸ガスを膨張せしめ、
液化器5で再液化のための冷却で6.8MPaに降圧され
た液化炭酸ガスを再び7.1MPaに加圧し、貯液タンク
6内を7.1MPaの圧力に保持する。
【0029】このような状態に保持された貯液タンク6
から温度22℃、圧力7.1MPaの油分除去された液化
炭酸ガスTL0が管16より焼結金属等から成るパーティ
クル除去用のフィルター7へ送液され、パーティクルが
除去され清浄かつ洗浄能力の高い精製液化炭酸ガスTLp
が供給される。そして、このようにして得られた、油分
等の不純物及びパーティクルが除去され清浄かつ洗浄能
力の高い精製液化炭酸ガスTLpはオリフィスの如き絞り
機構Vsに送液し該機構Vsによってこれを断熱膨張し、
ドライアイススノーTsに生成せしめて、該ドライアイ
ススノーTsを被洗浄物に噴射せしめて所望する被洗浄
物を効果的に洗浄することができる。
【0030】この間、前記貯液タンク6では、貯液タン
ク6内に所定の液量が充填されていない場合には、液面
指示調節制御器19が作動して、電磁弁Ve4を開作動せ
しめて、気体作動弁Vg4に計装用気体Gを送給して該気
体作動弁Vg4を開くと共に、電磁弁Ve2を開作動せしめ
て、計装用気体Gを昇圧機2に送給し、該吐出口よりの
吐出量を増大せしめて、貯液タンク6への油分除去され
た液化炭酸ガスTL0の貯液を促進せしめる。又貯液タン
ク6内の液充填量が所定量を超えた時には、液面指示調
節制御器19が作動して電磁弁Ve4を閉止し、電磁弁V
e3を開作動せしめて、気体作動弁Vg3に計装用気体Gを
送給して該気体作動弁Vg3を開き、余分の液を貯液タン
ク6より気体作動弁Vg3を介して液化器5の上流側に環
流すると共に、電磁弁Ve2を閉止し、電磁弁Ve1を開作
動せしめて、計装用気体Gをニードル弁の如き流量調節
弁Vfで流量を減量して昇圧機2に送給し、吐出口より
吐出する加圧原料液化炭酸ガスTLの量を減量せしめ
て、貯液タンク6への油分除去された液化炭酸ガスTL0
の送液を抑制する。このようにして、貯液タンク6にお
ける油分除去された液化炭酸ガスTL0の貯液量は常に一
定に保たれるよう制御されている。
【0031】又、貯液タンク6の圧力は、該貯液タンク
6に配設された圧力指示調整警報器20の作動により、
所定の圧力、例えば7.1MPaの圧力以下になった場合
は、付設されている加熱温度調節器21を作動せしめて
貯液タンク6を加熱し、貯液タンク6内の圧力を昇圧せ
しめる。又、所定の圧力以上の状態になると警報を発
し、更に過圧状態になると安全弁(図示せず)が作動す
るようになっている。又、酸素、窒素、水素、メタンな
どガス状の不純物は液化炭酸ガスに比べ炭酸ガスにより
多く含まれるため、貯液タンク6において気液二相を成
す際に、炭酸ガス中に含まれることになり、定常運転中
に間欠的に気体作動弁Vg4を開くことで炭酸ガスと共に
ガス状の不純物を装置外に排出することができる。
【0032】以上説明した本発明の実施例1の精製液化
炭酸ガス供給方法では、貯蔵容器1から油分1ppm、パ
ーティクル108個/f3 以上を含有する、温度 −20
℃、圧力2MPaの原料液化炭酸ガスTLを導出し、上記
処理工程で処理した結果、油分5ppb以下、パーティク
ル10/f3 以下で、温度22℃、圧力7MPaの精製
液化液化炭酸ガスTLpにすることができ、これを絞り機
構Vsを介して膨張せしめドライアイススノーを得てこ
れを被洗浄物に噴射せしめた結果、高い洗浄効果を発揮
することができた。
【0033】又、圧力2MPaの原料液化炭酸ガスTL
本発明の実施例1の方法で精製し、圧力2MPaの精製
液化炭酸ガスTLpを得るための工程で蒸発器3、液化器
5が交換すべき熱量は73.9 kcal/kgであった。これ
は、従来の精製方法での当該熱の交換量が最少134.
9 kcal/kgであったのに対して、極めて大きな減少で
ある。そして又、液化炭酸ガスボンベから供給される圧
力6MPaの原料液化炭酸ガスTLを精製し、6MPaの
精製液化炭酸ガスを得る場合の蒸発器と液化器、とでの
交換すべき熱量は、本発明の上記実施例1の精製方法で
は50.2 kcal/kgであった。この値は従来の精製方法
の交換熱量が最小72.1 kcal/kgに対して大幅な低減
となり、運転コストを大幅に削減し得る。
【0034】なお、上記実施例1における油分除去され
た液化炭酸ガスTL0を貯液する貯液タンク6に代えて、
図2に図示する如き一定の内径を有するスパイラル管2
6を設備しても問題無く実施することができ、同様な作
用効果を奏する。又、本実施例1では原料液化炭酸ガス
の加圧を行ったが、原料液化炭酸ガスを蒸発器によって
気化して気体状炭酸ガスとした後加圧したり、あるいは
炭酸ガスボンベから供給される気体状炭酸ガスの加圧を
行って、油分吸着筒の如き吸着剤容器4に供給しても同
様の作用効果を得ることができることは勿論である。な
おなお又、本実施例1で示した圧力は説明のためのもの
であり、本発明の範囲を限定するものではない。
【0035】[実施例2]次に実施例2として、図3に
図示した本発明の第2の実施の形態の精製液化炭酸ガス
供給装置30を使用して精製液化炭酸ガスを生成し供給
した。この実施例2の方法では、原料液化炭酸ガスTL
は加圧抽出サイフォン管式貯蔵容器31に貯液されてい
る。そして該加圧抽出サイフォン管式貯蔵容器31に付
設されている圧力指示調整警報器35により検出した貯
蔵容器31内の圧力が、所望する所定の圧力例えば7.
3MPaに達していないと、圧力指示調整警報器35よ
りの信号で加熱温度調節器33を作動せしめて貯蔵容器
31内を加熱し一部の原料液化炭酸ガスTLを気化せし
めて貯蔵容器1内を昇圧せしめて所定の圧力7.3MPa
に保持せしめる。そしてサイフォン管32を介して導出
管34より、7.3MPaの圧力の原料液化炭酸ガスTL
を導出し、圧力調整弁Vpで7.3の一定の圧力に調整
されて蒸発器3に導入される。
【0036】そして、蒸発器3で7.3MPaの圧力の原
料液化炭酸ガスTLは気化されて温度30℃で、圧力7.
3MPaの気体状炭酸ガスTGとなって管13より導出
し、圧力調整弁Vpで7.1MPaの圧力に調節されて油
分吸着筒の如き吸着剤容器4に導入される。そして該吸
着筒の如き吸着剤容器4で油分が除去され気体状炭酸ガ
スTG0となって管14より逆止弁Vcを経て液化器5に
導入される。以下実施例1と同様な処理工程を経て管9
より実施例1と同様に精製された液化炭酸ガスTLpが採
取された。そして、この精製された液化炭酸ガスTLp
絞り機構Vsに供給し、該機構Vsで断熱膨張せしめてド
ライアイススノーTsとし、被洗浄物に噴射し被洗浄物
の洗浄に供した。
【0037】本実施例2の精製液化炭酸ガス供給方法で
は、原料液化炭酸ガスTLを加圧抽出サイフォン管式の
貯蔵容器31内で所定の供給圧力に加圧するようにした
もので、別途に昇圧機を設備する必要がなく、設備費が
低減されると共に、圧縮による脈動の発生を抑止するこ
とができて処理工程を安定した状態で操作することがで
きる利点がある。なお、この実施例2の方法では、サイ
フォン管32を使用して、所定の圧力7.3MPaに加圧
した炭酸ガスを液状で導出した例について説明したが、
サイフォン管32を用いないで、貯蔵容器31の頂部に
滞留する気体状の炭酸ガスTGを抽出してもよく、この
場合7.3MPaに加圧した気体状炭酸ガスTGを圧力調
整弁Vp介して一定圧力7.1MPaにして油分吸着筒の
如き吸着剤容器4に直接導入すればよい。従って、この
場合蒸発器3の設置を省略することができる。
【0038】[実施例3]更に実施例3として、図4に
図示した本発明の第3の実施の形態の精製液化炭酸ガス
供給装置40を使用して精製液化炭酸ガスを生成し供給
した。この実施例3の精製液化炭酸ガスの供給方法で
は、上記実施例1と同様に原料液化炭酸ガスの貯蔵容器
1から−20℃の温度で2MPaの圧力の原料液化炭酸
ガスTLを導出し、流量調整弁Vf、ストレーナー17を
介して昇圧機2に吸入し、該昇圧機2で7.3MPaの圧
力に加圧する。ついで、7.3MPaの圧力に加圧された
原料液化炭酸ガスTLは直ちに貯液タンク41に貯液さ
れる。
【0039】貯液タンク41に貯液された原料液化炭酸
ガスTLは、所定の圧力7.3MPaに保持されるよう、
貯液タンク41の上部に取り付けられた圧力指示調整警
報器20によって貯液タンク41内の圧力を検出して、
適宜加熱温度調節器21作動せしめて、該貯液タンク4
1を加熱して制御される。そして所定の圧力7.3MPa
を保つように加熱されて気化した気体状炭酸ガスTG
管42で導出し、圧力調整弁Vpによって7.1MPaに
圧力調整され弁V40を介して油分吸着筒の如き吸着剤容
器4に導入する。そして、油分吸着筒の如き吸着剤容器
4で油分を吸着除去した後、該油分除去された気体状炭
酸ガスTG0は逆止弁Vcを介して液化器5に導入され、
該液化器5で冷却液化されて油分除去された液化炭酸ガ
スTL0となり、次いで油分除去された液化炭酸ガスTL0
をパーティクル除去用のフィルター7に導入せしめ、該
フィルター7でパーティクルを除去して精製され液化炭
酸ガスTLpを採取した。そして、これを洗浄用に使用す
る使用先に供給し、絞り機構Vsを介して断熱膨張せし
めてドライアイススノーTsとし、被洗浄物に噴射し被
洗浄物の洗浄に供した。
【0040】この間、貯液タンク41は、重量計43で
重量変化が測定され、その重量変化を重量指示調節器4
4で計測して、充填されている液量を一定に保つよう
に、重量指示調節器44よりの信号で電磁弁Ve2又はV
e1を適宜開閉作動せしめて計装用気体Gを流通せしめて
昇圧機2の吐出量を調整して液充填量が制御されてい
る。この結果、本実施例3においても実施例1と同様の
結果を得ることができた。
【0041】この実施例3の精製液化炭酸ガス供給方法
では所定の処理圧力に原料液化炭酸ガスTLを加圧し、
これを直ちに所定の圧力に保持する圧力指示調整警報器
と加熱温度調節器とが付設された貯液タンク41に貯液
し、その後該貯液タンク41の頂部に滞留する気体層よ
り、所定圧力の原料気体状炭酸ガスTGを導出して、油
分吸着筒の如き吸着剤容器4 − 液化器5 − パーティ
クル除去用のフィルター7と一連の工程に流通せしめる
ようにして、油分除去、パーティクル除去等をするよう
にしたので、処理操作が容易になると共に、蒸発器を省
略し得ることができる等の利点がある。
【0042】
【発明の効果】本発明は上記した形態で実施され、以下
のような効果を奏する。即ち、原料液化炭酸ガスを加圧
した後、気化 − 液化の相転移を行うことにより蒸発
器、及び液化器が熱交換するべき熱量が小さくなるた
め、蒸発器、液化器が消費する電力を押さえることがで
きる。また、蒸発器、液化器の規模も小型、低価格のも
のを使用することができる。
【0043】又、気体状の炭酸ガスを吸着剤を充填した
油分吸着筒の如き吸着剤容器に導入通過させることによ
り、炭酸ガスに含まれている油分を除去することがで
き、そしてこれを液化して精製液化炭酸ガスとして大量
に供給することができる。その後、焼結金属よりなるフ
ィルターに液化炭酸ガスとして通過させることにより、
液化炭酸ガスに含まれているパーティクルを液体状態の
まま除去することができ、クリーン度の高い液化炭酸ガ
スを供給することができる。
【0044】又、原料液化炭酸ガスの貯蔵容器から供給
される温度 −20℃、圧力2MPaの液化炭酸ガスに、
高い洗浄能力を与えることができる、不純物の除去され
た高純度の精製液化炭酸ガスとして大量に供給すること
が可能となる。そして、しかも貯蔵容器の形態、容量も
特に制限されることなく、特別に高価な高純度な液化炭
酸ガスを購入して使用することなく、安価な液化炭酸ガ
スを使用しても、使用現場においてこれを精製して純度
の高い液化炭酸ガスにして供給することができる。
【0045】更に、本発明による精製液化炭酸ガス供給
装置からドライアイススノーを吹き付けることによって
付着物の洗浄を行う洗浄装置に液化炭酸ガスを供給した
場合、油分吸着筒の如き吸着剤容器、液化器、パーティ
クル除去用のフィルター等の工程において圧力損失が生
じても、圧力低下を補うことができ、洗浄能力が低下す
ることを抑止するか、あるいは、更に加圧された液化炭
酸ガスによって洗浄能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の精製液化炭酸ガス供給装置の第1の
実施の形態の系統概略図。
【図2】 第1の実施の形態に使用可能なスパイラル管
の説明図。
【図3】 本発明の精製液化炭酸ガス供給装置の第2の
実施の形態の系統概略図。
【図4】 本発明の精製液化炭酸ガス供給装置の第3の
実施の形態の系統概略図。
【符号の説明】
10…第1の実施の形態の精製液化炭酸ガス供給装置、
1…貯蔵容器、 2…昇圧機、 3…蒸発器、 4…吸
着剤容器、5…液化器、 6、41…貯液タンク、 7
…パーティクル除去用フィルター、17…ストレーナ
ー、 18…アキュムレーター、 26…スパイラル
管、19…液面指示調節制御器、 20…圧力指示調整
警報器、21、33…加熱温度調節器、 35…圧力指
示調整器、9、11、12、13、14、15、16、
34、42…管、Vs…絞り機構、 Vf…流量調整弁、
Vc…逆止弁、 Vp…圧力調整弁、Ve1、Ve2、V
e3、Ve4…電磁弁、 Vg1、Vg2、Vg3、Vg4…気体作
動弁、30…第2の実施の形態の精製液化炭酸ガス供給
装置、31…加圧抽出サイフォン管式貯蔵容器、 32
…サイフォン管、40…第3の実施の形態の精製液化炭
酸ガス供給装置、 V40…弁、43…重量計、 44…
重量指示調節器、 TL…原料液化炭酸ガス、TG…原料
気体状炭酸ガス、 TL0…油分除去された液化炭酸ガ
ス、TG0…油分除去された気体状炭酸ガス、 TLP…精
製液化炭酸ガス、Ts…ドライアイススノー、 G…計
装用気体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 英俊 東京都港区西新橋1丁目16番7号 日本酸 素株式会社内 Fターム(参考) 3B116 AA02 AA03 AA46 AB01 BA06 BA22 3E072 DB01 4G046 JA04 JB06 JC07

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液化炭酸ガスを加圧手段により加圧した
    後、気化手段により気体状炭酸ガスにせしめ、次いで該
    加圧された気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せしめて炭酸
    ガス中の不純物を除去した後、該気体状炭酸ガスを冷却
    手段により冷却して液化炭酸ガスとし、該液化炭酸ガス
    をフィルターに導入通過せしめて、含有するパーティク
    ルを除去して供給することを特徴とする精製液化炭酸ガ
    スの供給方法。
  2. 【請求項2】 前記加圧手段が昇圧機で加圧することを
    特徴とする請求項1記載の精製液化炭酸ガスの供給方
    法。
  3. 【請求項3】 前記加圧手段は液化炭酸ガス貯蔵容器を
    加熱制御して加圧することを特徴とする請求項1記載の
    精製液化炭酸ガスの供給方法。
  4. 【請求項4】 気体状炭酸ガスを昇圧機を用いて加圧
    し、次いで該加圧された気体状炭酸ガスを吸着剤に接触
    せしめて含有する不純物を除去した後、該加圧された気
    体状炭酸ガスを冷却して液化炭酸ガスとし、続いて該液
    化炭酸ガスをフィルターに導入通過せしめて含有するパ
    ーティクルを除去して、精製液化炭酸ガスとして供給す
    ることを特徴とする精製液化炭酸ガスの供給方法。
  5. 【請求項5】 液化炭酸ガスを貯液する貯蔵容器に、液
    化炭酸ガスを加圧する加圧手段、該加圧された液化炭酸
    ガスを気体状炭酸ガスに気化せしめる蒸発器、該気体状
    の炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を充填した吸着
    剤容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガスを冷却液化
    する液化器、及び該液化炭酸ガス中のパーティクルを除
    去するフィルターを備えてなることを特徴とする精製液
    化炭酸ガス供給装置。
  6. 【請求項6】 前記加圧手段が昇圧機であることを特徴
    とする請求項5記載の精製液化炭酸ガス供給装置。
  7. 【請求項7】 前記加圧手段は液化炭酸ガス貯蔵容器を
    加熱制御して行う手段であることを特徴とする請求項5
    記載の精製液化炭酸ガス供給装置。
  8. 【請求項8】 加圧手段の下流側に貯液タンクを配し、
    該貯液タンク内の気相又は液相の炭酸ガスのうちいずれ
    か一方の相の炭酸ガスを選択して次工程に連通せしめて
    なることを特徴とする請求項5記載の精製液化炭酸ガス
    供給装置。
  9. 【請求項9】 気体状炭酸ガスを供給する液化炭酸ガス
    貯蔵容器に、気体状炭酸ガスを加圧する加圧手段、該加
    圧気体状の炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を充填
    した吸着剤容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガスを
    冷却液化する液化器、及び該液化炭酸ガス中のパーティ
    クルを除去するフィルターを備えてなることを特徴とす
    る精製液化炭酸ガス供給装置。
  10. 【請求項10】 液化炭酸ガスを加圧手段により加圧し
    た後、気化手段により気体状炭酸ガスにせしめ、次いで
    該加圧気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せしめて炭酸ガス
    中の不純物を除去した後、該気体状炭酸ガスを冷却手段
    により冷却して液化炭酸ガスとし、該液化炭酸ガスをフ
    ィルターに導入通過せしめて、含有するパーティクルを
    除去して得られた精製液化炭酸ガスを断熱膨張させて生
    成せしめたドライアイススノーを、被洗浄物に噴射吹き
    付けて、被洗浄物を洗浄することを特徴とするドライア
    イススノーによる洗浄方法。
  11. 【請求項11】 気体状炭酸ガスを昇圧機を用いて加圧
    した後、該加圧された気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せ
    しめて含有する不純物を除去した後、該加圧された気体
    状炭酸ガスを冷却して液化炭酸ガスとし、続いて該液化
    炭酸ガスをフィルターに導入通過せしめて含有するパー
    ティクルを除去して得られた精製液化炭酸ガスを断熱膨
    張させて生成せしめたドライアイススノーを、被洗浄物
    に噴射吹き付けて、被洗浄物を洗浄することを特徴とす
    るドライアイススノーによる洗浄方法。
  12. 【請求項12】 液化炭酸ガスを貯液する貯蔵容器に、
    液化炭酸ガスを加圧する加圧手段、該加圧された液化炭
    酸ガスを気体状炭酸ガスに気化せしめる蒸発器、該気体
    状の炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を充填した吸
    着剤容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガスを冷却液
    化する液化器、及び該液化炭酸ガス中のパーティクルを
    除去するフィルターを備えてなる精製液化炭酸ガス供給
    装置の前記フィルターの下流側に断熱膨張せしめる絞り
    機構を連設せしめてなることを特徴とするドライアイス
    スノーによる洗浄装置。
  13. 【請求項13】 気体状炭酸ガスを供給する液化炭酸ガ
    ス貯蔵容器に、該気体状炭酸ガスを加圧する加圧手段、
    該加圧気体状の炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を
    充填した吸着剤容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガ
    スを冷却液化する液化器及び液化炭酸ガス中のパーティ
    クルを除去するフィルターを備えてなる精製液化炭酸ガ
    ス供給装置の前記フィルターの下流側に、断熱膨張せし
    める絞り機構を連設せしめてなることを特徴とするドラ
    イアイススノーによる洗浄装置。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005517623A (ja) * 2002-02-19 2005-06-16 プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド ガスから汚染物を除去する方法
JP2006347842A (ja) * 2005-06-20 2006-12-28 Showa Tansan Co Ltd 超高純度液化炭酸ガスの精製充填装置
WO2012157648A1 (ja) * 2011-05-18 2012-11-22 オルガノ株式会社 高純度液化炭酸ガス製造方法及び装置
JP2012240876A (ja) * 2011-05-18 2012-12-10 Japan Organo Co Ltd 高純度液化炭酸ガス製造方法及び装置
JP2012240870A (ja) * 2011-05-18 2012-12-10 Showa Denko Gas Products Co Ltd 超高純度液化炭酸ガスの精製供給装置
JP2013087016A (ja) * 2011-10-18 2013-05-13 Japan Organo Co Ltd 二酸化炭素精製供給方法及びシステム
JP2013203576A (ja) * 2012-03-28 2013-10-07 Tokyo Gas Co Ltd 液化炭酸の高純度化方法
US20130319957A1 (en) * 2011-02-18 2013-12-05 Organo Corporation Method of purifying filter, and method of cleaning or drying object to be treated
CN104105540A (zh) * 2012-02-02 2014-10-15 奥加诺株式会社 流体二氧化碳的供给装置及供给方法
WO2022194511A1 (de) * 2021-03-18 2022-09-22 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren zum reinigen einer oberfläche, reinigungsvorrichtung und optische anordnung

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101284395B1 (ko) * 2002-02-19 2013-07-09 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드 기체로부터 오염물질을 제거하는 방법
JP4680511B2 (ja) * 2002-02-19 2011-05-11 プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド ガスから汚染物を除去する方法
JP2005517623A (ja) * 2002-02-19 2005-06-16 プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド ガスから汚染物を除去する方法
JP2006347842A (ja) * 2005-06-20 2006-12-28 Showa Tansan Co Ltd 超高純度液化炭酸ガスの精製充填装置
US8974603B2 (en) * 2011-02-18 2015-03-10 Organo Corporation Method of purifying filter, and method of cleaning or drying object to be treated
US20130319957A1 (en) * 2011-02-18 2013-12-05 Organo Corporation Method of purifying filter, and method of cleaning or drying object to be treated
CN103547531A (zh) * 2011-05-18 2014-01-29 奥加诺株式会社 用于制备高纯度液化二氧化碳的方法和设备
WO2012157648A1 (ja) * 2011-05-18 2012-11-22 オルガノ株式会社 高純度液化炭酸ガス製造方法及び装置
KR102142252B1 (ko) * 2011-05-18 2020-08-07 오르가노 가부시키가이샤 고순도 액화 탄산 가스 제조 방법 및 장치
JP2012240870A (ja) * 2011-05-18 2012-12-10 Showa Denko Gas Products Co Ltd 超高純度液化炭酸ガスの精製供給装置
JP2012240876A (ja) * 2011-05-18 2012-12-10 Japan Organo Co Ltd 高純度液化炭酸ガス製造方法及び装置
US20140075984A1 (en) * 2011-05-18 2014-03-20 Showa Denko Gas Products Co., Ltd. Method and apparatus for producing high-purity liquefied carbon dioxide
KR20180011863A (ko) * 2011-05-18 2018-02-02 오르가노 가부시키가이샤 고순도 액화 탄산 가스 제조 방법 및 장치
TWI583435B (zh) * 2011-05-18 2017-05-21 奧璐佳瑙股份有限公司 高純度液化二氧化碳氣體製造方法及裝置
JP5707491B2 (ja) * 2011-05-18 2015-04-30 オルガノ株式会社 高純度液化炭酸ガス製造方法及び装置
US9605895B2 (en) 2011-05-18 2017-03-28 Organo Corporation Method and apparatus for producing high-purity liquefied carbon dioxide
JP2013087016A (ja) * 2011-10-18 2013-05-13 Japan Organo Co Ltd 二酸化炭素精製供給方法及びシステム
CN104105540B (zh) * 2012-02-02 2016-08-10 奥加诺株式会社 流体二氧化碳的供给装置及供给方法
CN104105540A (zh) * 2012-02-02 2014-10-15 奥加诺株式会社 流体二氧化碳的供给装置及供给方法
JP2013203576A (ja) * 2012-03-28 2013-10-07 Tokyo Gas Co Ltd 液化炭酸の高純度化方法
WO2022194511A1 (de) * 2021-03-18 2022-09-22 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren zum reinigen einer oberfläche, reinigungsvorrichtung und optische anordnung

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