JP2001261320A - 精製液化炭酸ガスの供給方法と装置並びにドライアイススノーによる洗浄方法と装置 - Google Patents

精製液化炭酸ガスの供給方法と装置並びにドライアイススノーによる洗浄方法と装置

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JP2001261320A
JP2001261320A JP2000079133A JP2000079133A JP2001261320A JP 2001261320 A JP2001261320 A JP 2001261320A JP 2000079133 A JP2000079133 A JP 2000079133A JP 2000079133 A JP2000079133 A JP 2000079133A JP 2001261320 A JP2001261320 A JP 2001261320A
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liquefied
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Kenji Fukuda
健治 福田
Shoji Sekihara
章司 関原
Hidetoshi Ota
英俊 太田
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Japan Oxygen Co Ltd
Nippon Sanso Corp
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Japan Oxygen Co Ltd
Nippon Sanso Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 液化炭酸ガス中の油分、パーティクル等の不
純物を効率よく除去し、被洗浄物の洗浄効果を高め得る
精製液化炭酸ガスの供給方法と装置並びにこれを使用し
たドライアイススノーによる洗浄方法と装置の提供。 【解決手段】 原料液化炭酸ガスＴLを昇圧機２で所定
圧力に加圧した後、蒸発器３で気体状炭酸ガスＴGにせ
しめ、これを吸着剤容器４で炭酸ガス中の油分等の不純
物を除去した後、液化器５で液化し油分除去した液化炭
酸ガスＴL0とし、該液化炭酸ガスＴL0を必要に応じて貯
液タンク６を介してパーティクル除去用フィルター７に
導入通過せしめ、パーティクルを除去して精製液化炭酸
ガスＴLPとして供給する。そして、この精製液化炭酸ガ
スＴLPを絞り機構Ｖsで断熱膨張させてドライアイスス
ノーＴsにして被洗浄物に噴射しこれを洗浄する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液化炭酸ガスに含
まれる油分及びパーティクル等を除去した精製液化炭酸
ガスの供給方法とその装置、並びにこれで得られる精製
液化炭酸ガスを断熱膨張せしめて生成するドライアイス
スノーを、半導体部品等に付着する不要物の除去、プラ
スチック成形品のバリ取り、あるいは塗装物の剥離等に
当たって、これら被洗浄処理物に向け噴射せしめて、被
洗浄物を洗浄処理する方法とその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液化炭酸ガスをノズルから噴射
し、ドライアイススノーを半導体ウエハー、複写機用の
リサイクル部品、電気基板、ＭＲヘッド、プラスチック
成形品及び精密部品等の被洗浄物に吹付け、付着した有
機物、酸、バリ、汚れ等を除去することがなされてい
た。しかし、液化炭酸ガスには、微量の油分及びパーテ
ィクルが含まれており、被洗浄物はドライアイススノー
により洗浄はされるものの、被洗浄物が半導体ウエハー
の如き高度な洗浄が要求されるものにおいては、洗浄に
使用されるドライアイススノー中に微量ではあるが含有
する油分やパーティクルがこれらウエハーに付着して汚
染することとなって品質特性保持の点で大きな問題であ
った。
【０００３】上記問題点の１つである液体炭酸ガスに含
まれるパーティクルの除去に関しては、例えば特公平６
−２２２２４号公報に開示されている。即ち、該公報に
は、原料である液化炭酸ガスを蒸発器により気化させて
気体状炭酸ガスとし、その気体状炭酸ガスをフィルター
によってパーティクルを除去した後、該気体状炭酸ガス
を冷却して再度液化炭酸ガスとし、そしてこれを断熱膨
張せしめてドライアイススノーとし、被洗浄物に向けて
噴射せしめて洗浄する方法が開示されている。
【０００４】又、本件発明出願人の出願に係わる出願特
許 特願平１１−３６５５９７号では、通常一般の液化
炭酸ガスに含有しているとされている１〜５ppmの油分
を除去するため、あるいは工程上油分混入が避けられな
い液化炭酸ガス貯槽からの液化炭酸ガスの供給を行うに
あたってこの油分を除去するため、液化炭酸ガスを気化
させ気体状炭酸ガスとしてから、これを吸着剤と接触せ
しめてこれら油分を除去している。更に又、再液化した
液化炭酸ガスの配管内流通に際して壁面研磨によって新
たに発生するパーティクルを除去するために、再液化後
の供給最後段にフィルターを配して、これによってパー
ティクルを除去した液化炭酸ガスを供給するようにして
いる。そして、この結果、このような液化炭酸ガスによ
って生成したドライアイススノーを使用して洗浄を行う
ことにより、従来よりも効果的に、かつ経済的にドライ
アイススノーによる洗浄を行うことを可能にしたもので
ある。
【０００５】しかし、上記方法では、液化炭酸ガス貯
槽、あるいは液化炭酸ガス容器から供給される液化炭酸
ガスを気化するための蒸発器や、又再び液化させるため
の液化器で、それぞれで必要とされる熱量、即ち蒸発器
で気化するために必要とする与える熱量と、液化器で液
化するために必要とする奪う熱量の合計は、液化炭酸ガ
ス貯槽から供給される−２０ ℃、２ＭＰaの液化炭酸ガ
スの場合、最少１３４.９kcal／kgの熱量が必要とな
る。又、液化炭酸ガスボンベから供給される２０℃、６
ＭＰaの液化炭酸ガスの場合で最少７２.１kcal／kgの冷
却熱量が必要となる。そして、交換する熱量が大きけれ
ば大きいほど、熱交換能力が高い蒸発器および液化器を
用いる必要があり、また、このような場合熱量の損失が
大きくなってしまうといった問題を有していた。
【０００６】又、ドライアイススノーによって被洗浄物
を洗浄する場合、被洗浄物からの付着物除去能力は噴射
されるドライアイススノーの圧力に依存して向上する。
しかし、上記精製した液化炭酸ガスを使用してドライア
イススノーを生成し、これを被洗浄物に吹き付けて付着
物の洗浄を行う場合には、液化炭酸ガスを精製する精製
装置での各工程における配管、バルブ、蒸発器、冷却
器、吸着筒、フィルター等によって、液化炭酸ガスがノ
ズルから噴射される以前に圧力損失が生じ、このため噴
射されるドライアイススノーの噴発圧力も低下し、付着
物の除去能力が低下してしまう問題を有していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来の問題点や不都合を解決し、液化炭酸ガスの精製にあ
たって、気・液間の相転移をなさしめる工程にかかる負
荷および容量を軽減し、効率よく不純物である油分、パ
ーティクル等の除去を可能とし、更に洗浄効果を著しく
高めることを可能とする精製液化炭酸ガスの供給方法と
装置並びにドライアイススノーによる洗浄方法と装置を
提供することを本発明の課題とした。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ため、請求項１に係わる発明の精製液化炭酸ガスの供給
方法は、液化炭酸ガスを加圧手段により加圧した後、気
化手段により気体状炭酸ガスにせしめ、次いで該加圧さ
れた気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せしめて炭酸ガス中
の不純物を除去した後、該気体状炭酸ガスを冷却手段に
より冷却して液化炭酸ガスとし、該液化炭酸ガスをフィ
ルターに導入通過せしめて、含有するパーティクルを除
去して供給することを特徴とするものである。請求項２
に係わる発明の精製液化炭酸ガスの供給方法は、前記請
求項１に係わる発明の精製液化炭酸ガスの供給方法で、
加圧手段が昇圧機で加圧することを特徴とするものであ
る。請求項３に係わる発明の精製液化炭酸ガスの供給方
法は、前記請求項１に係わる発明の精製液化炭酸ガスの
供給方法で、加圧手段が液化炭酸ガス貯蔵容器を加熱制
御して加圧することを特徴とするものである。請求項４
に係わる発明の精製液化炭酸ガスの供給方法は、気体状
炭酸ガスを昇圧機を用いて加圧し、次いで該加圧された
気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せしめて含有する不純物
を除去した後、該加圧された気体状炭酸ガスを冷却して
液化炭酸ガスとし、続いて該液化炭酸ガスをフィルター
に導入通過せしめて含有するパーティクルを除去して、
精製液化炭酸ガスとして供給することを特徴とするもの
である。
【０００９】請求項５に係わる発明の精製液化炭酸ガス
供給装置は、液化炭酸ガスを貯液する貯蔵容器に、液化
炭酸ガスを加圧する加圧手段、該加圧された液化炭酸ガ
スを気体状炭酸ガスに気化せしめる蒸発器、該気体状の
炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を充填した吸着剤
容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガスを冷却液化す
る液化器、及び該液化炭酸ガス中のパーティクルを除去
するフィルターを備えてなることを特徴とするものであ
る。請求項６に係わる発明の精製液化炭酸ガス供給装置
は、前記請求項５に係わる発明の精製液化炭酸ガス供給
装置で、加圧手段が昇圧機であることを特徴とするもの
である。請求項７に係わる発明の精製液化炭酸ガス供給
装置は、前記請求項５に係わる発明の精製液化炭酸ガス
供給装置で、加圧手段は液化炭酸ガス貯蔵容器を加熱制
御して行う手段であることを特徴とするものである。請
求項８に係わる発明の精製液化炭酸ガス供給装置は、前
記請求項５に係わる発明の精製液化炭酸ガス供給装置
で、加圧手段の下流側に貯液タンクを配し、該貯液タン
ク内の気相又は液相の炭酸ガスのうちいずれか一方の相
の炭酸ガスを選択して次工程に連通せしめてなることを
特徴とするものである。請求項９に係わる発明の精製液
化炭酸ガス供給装置は、気体状炭酸ガスを供給する液化
炭酸ガス貯蔵する貯蔵容器に、該気体状炭酸ガスを加圧
する加圧手段、該加圧気体状の炭酸ガス中の不純物を除
去する吸着剤を充填した吸着剤容器、該不純物を除去し
た気体状炭酸ガスを冷却液化する液化器、及び該液化炭
酸ガス中のパーティクルを除去するフィルターを備えて
なることを特徴とするものである。
【００１０】請求項１０に係わる発明のドライアイスス
ノーによる洗浄方法は、液化炭酸ガスを加圧手段により
加圧した後、気化手段により気体状炭酸ガスにせしめ、
次いで該加圧された気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せし
めて炭酸ガス中の不純物を除去した後、該気体状炭酸ガ
スを冷却手段により冷却して液化炭酸ガスとし、該液化
炭酸ガスをフィルターに導入通過せしめて、含有するパ
ーティクルを除去して得られた精製液化炭酸ガスを断熱
膨張させて生成せしめたドライアイススノーを、被洗浄
物に噴射吹き付けて、被洗浄物を洗浄することを特徴と
するものである。請求項１１に係わる発明のドライアイ
ススノーによる洗浄方法は、気体状炭酸ガスを昇圧機を
用いて加圧した後、該加圧された気体状炭酸ガスを吸着
剤に接触せしめて含有する不純物を除去した後、該加圧
気体状炭酸ガスを冷却して液化炭酸ガスとし、続いて該
液化炭酸ガスをフィルターに導入通過せしめて含有する
パーティクルを除去して得られた精製液化炭酸ガスを断
熱膨張させて生成せしめたドライアイススノーを、被洗
浄物に噴射吹き付けて、被洗浄物を洗浄することを特徴
とするものである。
【００１１】請求項１２に係わる発明のドライアイスス
ノーによる洗浄装置は、液化炭酸ガスを貯液する貯蔵容
器に、液化炭酸ガスを加圧する加圧手段、該加圧された
液化炭酸ガスを気体状炭酸ガスに気化せしめる蒸発器、
該気体状の炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を充填
した吸着剤容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガスを
冷却液化する液化器、及び該液化炭酸ガス中のパーティ
クルを除去するフィルターを備えてなる精製液化炭酸ガ
ス供給装置の前記フィルターの下流側に断熱膨張せしめ
る絞り機構を連設せしめてなることを特徴とするもので
ある。請求項１３に係わる発明のドライアイススノーに
よる洗浄装置は、気体状炭酸ガスを供給する液化炭酸ガ
ス貯蔵容器に、該気体状炭酸ガスを加圧する加圧手段、
該加圧された気体状の炭酸ガス中の不純物を除去する吸
着剤を充填した吸着剤容器、該不純物を除去した気体状
炭酸ガスを冷却液化する液化器及び液化炭酸ガス中のパ
ーティクルを除去するフィルターを備えてなる精製液化
炭酸ガス供給装置の前記フィルターの下流側に、断熱膨
張せしめる絞り機構を連設せしめてなることを特徴とす
るものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の精製液化炭酸ガス供給方
法を実施するための精製液化炭酸ガス供給装置の実施の
形態にについて図面を参照して説明する。図１は本発明
の精製液化炭酸ガス供給装置の第１の実施の形態の系統
概略図である。図１に図示した第１の実施の形態の精製
液化炭酸ガス供給装置１０は、原料液化炭酸ガスＴLを
貯液する液化炭酸ガス貯蔵容器１、原料液化炭酸ガスＴ
Lを所定圧力に加圧する昇圧機２、加圧された原料液化
炭酸ガスＴLを気体状炭酸ガスＴGに気化せしめるため加
熱手段Ｈを備えた蒸発器３、気体状炭酸ガスＴG中に含
有する油分を除去するための吸着剤を充填してなる油分
吸着筒の如き吸着剤容器４、油分を除去した気体状炭酸
ガスＴG0を再液化する冷却手段Ｒを備えた液化器５、再
液化した油分を除去した液化炭酸ガスＴL0、そして該油
分を除去した液化炭酸ガスＴL0を必要に応じて貯液する
ため配設する貯液タンク６を介して更にパーティクル除
去用のフィルター７よりなるものである。そして符合Ｖ
sは断熱膨張せしめるための絞り機構である。
【００１３】そして、これらの機器は流量調整弁Ｖf、
逆止弁Ｖc、圧力調整弁Ｖp等の弁を介して管１１、１
２、１３、１４、１５、及び１６により連結されてい
る。更に前記昇圧機２の上流側の管１１には必要に応じ
て大きなゴミを除去するためのストレーナー１７を設備
しておくと良い。又、運転圧力の変動、特に昇圧機２に
よる脈動防止をして、常に一定の圧力で安定した状態で
運転し得るよう、蒸発器３の上流側の管１２にアキュム
レーター１８を配設することが好ましい。
【００１４】又、油分を除去した液化炭酸ガスＴL0の貯
液タンク６は必要に応じて配設すればよく、特に定期的
に継続して供給使用する場合には設置することにより極
めて効率よく供給し得て、精製液化炭酸ガスを使用する
作業性を著しく向上せしめることができる。この貯液タ
ンク６には液面指示調節制御器１９と圧力指示調整警報
器２０が設備されている。そして、運転初期には液面が
所定の量に達するまでは電磁弁Ｖe4を開状態にして計装
用気体Ｇを気体作動弁Ｖg4に送り、これを開状態に維持
して貯液タンク６内を大気に連通する状態となり、液面
の上昇に伴い貯液タンク６内のガスが排出される。そし
て液面が所定の液面に達したら電磁弁Ｖe4を閉じて計装
用気体Ｇの流通を遮断して気体作動弁Ｖg4を閉じる。こ
の時、気体作動弁Ｖg4の下流側に保圧弁の如き圧力調整
弁Ｖpを設けることにより、貯液タンク６内の圧力を低
下させることなく所定の圧力に維持して、貯液タンク６
内のガスを排出することができる。
【００１５】又一方、貯液タンク６の液面が所定の液面
を超過すると液面指示調節制御器１９よりの信号で電磁
弁Ｖe3が作動して計装用気体Ｇを気体作動弁Ｖg3に供給
し該弁Ｖg3を開操作し貯液タンク６内の超過した液化炭
酸ガスＴL0を気体作動弁Ｖg3を介して液化器５の上流側
の管１４に環流する。そして貯液タンク６の液面が所定
の液面に達すると液面指示調節制御器１９よりの信号で
電磁弁Ｖe3を閉止して計装用気体Ｇの気体作動弁Ｖg3へ
の供給を遮断して該弁Ｖg3を閉止する。このようにして
貯液タンク６の液面が所定の液面に常に保持されるよう
に液面指示調節制御器１９で調整されている。
【００１６】更に、前記液面指示調節制御器１９の信号
は昇圧機２の駆動を調整して精製液化炭酸ガスの供給量
を制御する。昇圧機として気体作動式往復昇圧機を使用
した場合、昇圧機作動用として供給される計装用気体Ｇ
の流量に比例して昇圧機２の吐出量が変動する。そこ
で、前記貯液タンク６の液面が所定の液面に達していな
い時は液面指示調節制御器１９の信号により電磁弁Ｖe2
を開作動するようにして計装用気体Ｇを最大流量で昇圧
機２に流して、吐出量を最大にするよう調整し、又貯液
タンク６の液面が所定量に達したら液面指示調節制御器
１９の信号により電磁弁Ｖe2は閉止作動し、電磁弁Ｖe1
が開作動して、計装用気体Ｇを電磁弁Ｖe1より流量調整
弁Ｖfを介して流量が減量されて流通するようになっ
て、昇圧機２に供給され、この結果、昇圧機２より吐出
される量が減ずる。このようにして、液面指示調節制御
器１９で、貯液タンク６の液面が予め設定した液面の上
限値に満たない時には電磁弁Ｖe2を開作動せしめ、電磁
弁Ｖe1を閉止状態とし、又、他方上限値を超えた時には
電磁弁Ｖe2を閉止状態として、電磁弁Ｖe1を開作作動せ
しめるようにして、貯液タンク６の液面を所望する一定
量に保つよう昇圧機２の吐出量を調整し、油分を除去し
た液化炭酸ガスＴL0を貯液するようにしている。
【００１７】又、貯液タンク６に設備した圧力指示調整
警報器２０は該貯液タンク６の圧力を所望する高い圧力
を一定に保つように作動するものである。即ち、圧力が
所定の圧力に達しない場合には、圧力指示調整警報器２
０よりの信号で貯液タンク６に付設する加熱温度調節器
２１が作動して貯液タンク６内を加熱して該タンク６内
の圧力を高める。そして、貯液タンク６内の圧力が所定
の圧力に達すると、圧力指示調整警報器２０よりの信号
で加熱温度調節器２１が作動停止せしめられる。
【００１８】なお、上記した昇圧機２は空気や窒素ガス
等の気体の圧力で作動する気体作動往復式昇圧機を使用
すると、吐出する液化炭酸ガスの圧力が昇圧機作動に使
用される計装用気体Ｇの供給圧力によって決まるため、
設定した圧力以上の液化炭酸ガスを供給することがない
ため安全上好ましい。しかしこれに限定されるものでは
なく往復駆動又は回転駆動による電気駆動式昇圧機でも
よいことは勿論である。又、インバーター制御可能な電
気駆動式昇圧機を用いてもよい。
【００１９】又、油分吸着筒の如き吸着剤容器４に充填
して使用される吸着剤としては、活性炭、アルミナ、シ
リカゲル、モレキュラーシーブス等が有効に使用され
る。そして、液化炭酸ガス中に酸素、水素、メタン、窒
素酸化物、又は硫黄化合物等の不純物が混入している恐
れがある場合には、油分吸着筒の如き吸着剤容器４と共
に還元性触媒、酸化性触媒等の種々対応し得る適切な触
媒を適宜充填した吸着筒を併設することにより、上記不
純物を除去することができる。そして又、パーティクル
除去用のフィルター７はステンレス鋼の如き金属の焼結
金属で形成されている。
【００２０】更に、上記油分を除去した再液化炭酸ガス
ＴL0の貯液タンク６は、容積空間を有するタンクである
ことを必ずしも必要とせず、一定容量の収容空間があれ
ばよく、例えば図２に図示する如き一定の内径を有する
スパイラル管２６を貯液タンク６に代えて配設してもよ
い。なお、図２中図１に付した符号と共通する符号の構
成機器は、図１と同一の構成機器を示すもので、詳細な
説明は省略する。
【００２１】次に本発明の第２の実施の形態を、その系
統概略図を図３に図示して説明する。図３において、図
１の第１の実施の形態における構成機器と同一構成機器
については同一符号を付し、詳細な説明は省略する。こ
の第２の実施の形態の装置３０の特徴は、第１の実施の
形態においては貯蔵容器１に貯液していた原料液化炭酸
ガスＴLを導出後昇圧機２で所定の圧力に加圧して、そ
の後処理をしていたのに対して、貯蔵容器内にサイフォ
ン管３２を配し、貯蔵容器に加熱温度調節器３３を設け
た、加圧抽出サイフォン管式貯蔵容器３１使用して、該
貯蔵容器３１内で加圧して導出するようにして、昇圧機
の如き機械的加圧手段を省略したものである。
【００２２】この第２の実施の形態では導出管３４は貯
蔵容器３１内のサイフォン管３２と連結され圧力調整弁
Ｖpを介して蒸発器３に連結されている。そして、前記
導出管３４には圧力指示調整器３５が設けられていて、
導出される貯蔵容器３１内の原料液化炭酸ガスＴLの圧
力状態を検出し、所定の圧力に達していないと信号を発
して加熱温度調節器３３を作動せしめて貯蔵容器３１内
を加熱する。そして貯蔵容器３１内の原料液化炭酸ガス
ＴLの一部を加熱気化せしめることにより貯蔵容器３１
内の圧力を高めて、原料液化炭酸ガスを所定の加圧状態
にしてサイフォン管３２を介して導出管３４より導出
し、圧力調整弁Ｖpを経て所定の圧力に加圧された原料
液化炭酸ガスＴLが蒸発器３に供給される。即ち、この
第２の実施の形態の装置３０では、所定の圧力に加圧し
た原料液化炭酸ガスを供給するにあたって、昇圧機の如
き機械的加圧手段を用いずに、貯蔵容器３１自体に加熱
温度調節器を配して貯蔵容器自体で加圧して所定圧力に
して供給するものである。なお、その他の構成機器と処
理工程は、前記第１の実施の形態と同様である。
【００２３】更に、本発明の第３の実施の形態につい
て、図４に図示した系統概略図を参照して説明する。図
４において、図１及び図３に図示した第１及び第２の実
施の形態での構成機器と共通する構成機器は同一符号を
付し手詳細な説明は省略する。この第３の実施の形態の
装置４０の特徴は、第１の実施の形態において、原料液
化炭酸ガスＴLを加圧後気化して気体状炭酸ガスＴGとし
て、この気体状炭酸ガスＴG中の油分を除去し、次いで
再液化して油分除去した液化炭酸ガスＴL0の貯液タンク
６に貯液していたのを、この装置４０では加圧後気化せ
ずに、液化炭酸ガスＴLのまま直ちに貯液タンク４１に
貯液したものである。即ち、該貯液タンク４１は、貯液
した液化炭酸ガスＴLを所望する所定圧力に加圧して貯
液タンク４１の頂部より加圧した気体状炭酸ガスＴGと
して管４２より導出するもので、いわゆる加圧気体状炭
酸ガス供給用として使用される。そして、管４２より導
出された気体状炭酸ガスＴGは圧力調整弁Ｖpで所定の一
定圧力に保持して弁４０を介して油分吸着筒の如き吸着
剤容器４に導入して油分を除去し、更に再液化のための
液化器５を経てパーティクル除去用のフィルター７に導
入してパーティクルを除去して、精製液化炭酸ガスＴLp
として管９で採取される。なお、貯液タンク４１には第
１の実施の形態の如く圧力指示調整警報器２０と加熱温
度調節器２１が設備されていて、貯液タンク４１内の圧
力を所望する所定の高圧に保持するよう、圧力指示調整
警報器２０の信号で加熱温度調節器２１を作動せしめ
て、該貯液タンク４１内を加熱して昇圧せしめている。
【００２４】このように、貯液タンク４１の圧力を利用
することにより、油分の除去にあたって気体状で処理す
るための液化炭酸ガスの蒸発器３を省略し得ると共に、
油分除去、パーティクル除去等の除去処理工程を貯蔵容
器を介することなく一連の工程で作業効率よく処理し精
製液化炭酸ガスＴLpを供給することができる。又、貯液
タンク４１には、図１に図示した第１の実施の形態での
液面指示調節器１９に代えて、重量計４３とこれに連設
して重量指示調節器４４が設けられている。そして、重
量計４３で貯液タンク４１内に貯液された液化炭酸ガス
ＴLの量を計量し、これを重量指示調節器４４が検出し
て所定の液量に達しているか、否かを判定して、達して
いない時には昇圧機２に具備されている電磁弁Ｖe2を開
作動せしめて、計装用気体Ｇを最大量送給して昇圧機２
の吐出量を増大せしめ、所定の液量を超えた時には、電
磁弁Ｖe2を閉止して、電磁弁Ｖe1を開作動せしめて、計
装用気体Ｇをニードル弁の如き流量調整弁Ｖfを介して
減量状態にして昇圧機２に供給し吐出量を減じるように
調節する。この点重量指示調節器４４は前記した第１の
実施の形態における液面指示調節器１９と同様、貯蔵容
器１の液量の貯液量を一定量に保持するため昇圧機２の
吐出量を調節制御するものである。
【００２５】
【実施例】次に、実施例として、上記した実施の形態で
説明した本発明の精製液体炭酸ガス供給装置を使用して
精製液化炭酸ガスを供給する方法を説明する。 ［実施例１］実施例１として、図１に図示した第１の実
施の形態の精製液化炭酸ガス供給装置１０を使用して、
精製液化炭酸ガスを供給し、洗浄用にドライアイススノ
ー（雪状ドライアイス）を生成する方法を例示して説明
する。原料液化炭酸ガスＴLが貯液されている貯蔵容器
１より、温度 −２０℃で２ＭＰaの圧力の原料液化炭酸
ガスＴLを管１１より導出し、ニードル弁の如き流量調
整弁Ｖfで流量を調整した後ストレーナー１７に導入
し、該器１７で大きなゴミを排除し、昇圧機２に吸引さ
れる。該昇圧機２は例えば空気や窒素ガスの加圧気体を
用いた気体作動による往復動式昇圧機２でなっていて、
これによって原料液化炭酸ガスＴLは所定の圧力７.３Ｍ
Ｐaに加圧した後、逆止弁Ｖcを介してアキュムレーター
１８を経て管１２により加熱手段Ｈを備えた蒸発器３に
導入される。
【００２６】なお、前記昇圧機２での加圧圧力は７.３
ＭＰaに限定されるものではないが、液化炭酸ガスは７.
３９ＭＰa、３１.２℃以上になると超臨界域に入り、炭
酸ガスの油に対する溶解度が高まるため、適切でない。
圧力は、この超臨界域に入っていない状態であれば、液
化炭酸ガスは気液を分離することができるため、適宜選
択すればよい。又、アキュムレーター１８の設置は昇圧
機２の加圧作動によって生ずる脈動を吸収軽減して安定
運転するために効果的である。
【００２７】蒸発器３に導入された７.３ＭＰaの原料液
化炭酸ガスＴLは、気化されて７.３ＭＰaの高圧力で３
０℃の気体状炭酸ガスＴGとなった後、圧力調整弁Ｖpを
介して所定の７.１ＭＰaの一定圧力に調圧されて管１３
により油分吸着筒の如き吸着剤容器４に導入される。そ
して、油分吸着筒の如き吸着剤容器４に充填した活性
炭、アルミナ、シリカゲル、モレキュラーシブス等より
選ばれる少なくとも１種よりなる吸着剤により油分が吸
着除去される。なお、本実施例では活性炭を用いた。
又、酸素、水素、メタン、窒素酸化物、硫黄酸化物等の
供給先に支障を来す不純物が混入していて、これらを除
去する場合には、油分吸着筒の如き吸着剤容器４の他
に、還元性触媒、酸化性触媒など種々の触媒を充填した
容器を併設したり、あるいはこれらの触媒を充填した除
去装置と置換して設置すればよい。
【００２８】次いで、油分除去された気体状炭酸ガスＴ
G0は管１４より逆止弁Ｖcを介して液化器５に導入され
る。そして、該液化器５で油分除去された気体状炭酸ガ
スＴ G0は２０ ℃に冷却され、６.８ＭＰaの圧力の油分
除去された液化炭酸ガスＴL0となり管１５により貯液タ
ンク６へ送液される。 該貯液タンク６内では、貯液さ
れた油分除去された液化炭酸ガスＴL0は、油分を除去さ
れた液化炭酸ガスＴL0と気体状炭酸ガスＴG0の気液二相
を成した状態にある。そして、該貯液タンク６の上部外
壁に取り付けられた加熱温度調節器２１によって気体状
炭酸ガス相を２２ ℃に加熱し炭酸ガスを膨張せしめ、
液化器５で再液化のための冷却で６.８ＭＰaに降圧され
た液化炭酸ガスを再び７.１ＭＰaに加圧し、貯液タンク
６内を７.１ＭＰaの圧力に保持する。
【００２９】このような状態に保持された貯液タンク６
から温度２２℃、圧力７.１ＭＰaの油分除去された液化
炭酸ガスＴL0が管１６より焼結金属等から成るパーティ
クル除去用のフィルター７へ送液され、パーティクルが
除去され清浄かつ洗浄能力の高い精製液化炭酸ガスＴLp
が供給される。そして、このようにして得られた、油分
等の不純物及びパーティクルが除去され清浄かつ洗浄能
力の高い精製液化炭酸ガスＴLpはオリフィスの如き絞り
機構Ｖsに送液し該機構Ｖsによってこれを断熱膨張し、
ドライアイススノーＴsに生成せしめて、該ドライアイ
ススノーＴsを被洗浄物に噴射せしめて所望する被洗浄
物を効果的に洗浄することができる。
【００３０】この間、前記貯液タンク６では、貯液タン
ク６内に所定の液量が充填されていない場合には、液面
指示調節制御器１９が作動して、電磁弁Ｖe4を開作動せ
しめて、気体作動弁Ｖg4に計装用気体Ｇを送給して該気
体作動弁Ｖg4を開くと共に、電磁弁Ｖe2を開作動せしめ
て、計装用気体Ｇを昇圧機２に送給し、該吐出口よりの
吐出量を増大せしめて、貯液タンク６への油分除去され
た液化炭酸ガスＴL0の貯液を促進せしめる。又貯液タン
ク６内の液充填量が所定量を超えた時には、液面指示調
節制御器１９が作動して電磁弁Ｖe4を閉止し、電磁弁Ｖ
e3を開作動せしめて、気体作動弁Ｖg3に計装用気体Ｇを
送給して該気体作動弁Ｖg3を開き、余分の液を貯液タン
ク６より気体作動弁Ｖg3を介して液化器５の上流側に環
流すると共に、電磁弁Ｖe2を閉止し、電磁弁Ｖe1を開作
動せしめて、計装用気体Ｇをニードル弁の如き流量調節
弁Ｖfで流量を減量して昇圧機２に送給し、吐出口より
吐出する加圧原料液化炭酸ガスＴLの量を減量せしめ
て、貯液タンク６への油分除去された液化炭酸ガスＴL0
の送液を抑制する。このようにして、貯液タンク６にお
ける油分除去された液化炭酸ガスＴL0の貯液量は常に一
定に保たれるよう制御されている。
【００３１】又、貯液タンク６の圧力は、該貯液タンク
６に配設された圧力指示調整警報器２０の作動により、
所定の圧力、例えば７.１ＭＰaの圧力以下になった場合
は、付設されている加熱温度調節器２１を作動せしめて
貯液タンク６を加熱し、貯液タンク６内の圧力を昇圧せ
しめる。又、所定の圧力以上の状態になると警報を発
し、更に過圧状態になると安全弁（図示せず）が作動す
るようになっている。又、酸素、窒素、水素、メタンな
どガス状の不純物は液化炭酸ガスに比べ炭酸ガスにより
多く含まれるため、貯液タンク６において気液二相を成
す際に、炭酸ガス中に含まれることになり、定常運転中
に間欠的に気体作動弁Ｖg4を開くことで炭酸ガスと共に
ガス状の不純物を装置外に排出することができる。
【００３２】以上説明した本発明の実施例１の精製液化
炭酸ガス供給方法では、貯蔵容器１から油分１ppm、パ
ーティクル１０8個／ｆ3 以上を含有する、温度 −２０
℃、圧力２ＭＰaの原料液化炭酸ガスＴLを導出し、上記
処理工程で処理した結果、油分５ppb以下、パーティク
ル１０／ｆ3 以下で、温度２２℃、圧力７ＭＰaの精製
液化液化炭酸ガスＴLpにすることができ、これを絞り機
構Ｖsを介して膨張せしめドライアイススノーを得てこ
れを被洗浄物に噴射せしめた結果、高い洗浄効果を発揮
することができた。
【００３３】又、圧力２ＭＰaの原料液化炭酸ガスＴLを
本発明の実施例１の方法で精製し、圧力２ＭＰaの精製
液化炭酸ガスＴLpを得るための工程で蒸発器３、液化器
５が交換すべき熱量は７３.９ kcal／kgであった。これ
は、従来の精製方法での当該熱の交換量が最少１３４.
９ kcal／kgであったのに対して、極めて大きな減少で
ある。そして又、液化炭酸ガスボンベから供給される圧
力６ＭＰaの原料液化炭酸ガスＴLを精製し、６ＭＰaの
精製液化炭酸ガスを得る場合の蒸発器と液化器、とでの
交換すべき熱量は、本発明の上記実施例１の精製方法で
は５０.２ kcal／kgであった。この値は従来の精製方法
の交換熱量が最小７２.１ kcal／kgに対して大幅な低減
となり、運転コストを大幅に削減し得る。
【００３４】なお、上記実施例１における油分除去され
た液化炭酸ガスＴL0を貯液する貯液タンク６に代えて、
図２に図示する如き一定の内径を有するスパイラル管２
６を設備しても問題無く実施することができ、同様な作
用効果を奏する。又、本実施例１では原料液化炭酸ガス
の加圧を行ったが、原料液化炭酸ガスを蒸発器によって
気化して気体状炭酸ガスとした後加圧したり、あるいは
炭酸ガスボンベから供給される気体状炭酸ガスの加圧を
行って、油分吸着筒の如き吸着剤容器４に供給しても同
様の作用効果を得ることができることは勿論である。な
おなお又、本実施例１で示した圧力は説明のためのもの
であり、本発明の範囲を限定するものではない。
【００３５】［実施例２］次に実施例２として、図３に
図示した本発明の第２の実施の形態の精製液化炭酸ガス
供給装置３０を使用して精製液化炭酸ガスを生成し供給
した。この実施例２の方法では、原料液化炭酸ガスＴL
は加圧抽出サイフォン管式貯蔵容器３１に貯液されてい
る。そして該加圧抽出サイフォン管式貯蔵容器３１に付
設されている圧力指示調整警報器３５により検出した貯
蔵容器３１内の圧力が、所望する所定の圧力例えば７.
３ＭＰaに達していないと、圧力指示調整警報器３５よ
りの信号で加熱温度調節器３３を作動せしめて貯蔵容器
３１内を加熱し一部の原料液化炭酸ガスＴLを気化せし
めて貯蔵容器１内を昇圧せしめて所定の圧力７.３ＭＰa
に保持せしめる。そしてサイフォン管３２を介して導出
管３４より、７.３ＭＰaの圧力の原料液化炭酸ガスＴL
を導出し、圧力調整弁Ｖpで７．３の一定の圧力に調整
されて蒸発器３に導入される。
【００３６】そして、蒸発器３で７.３ＭＰaの圧力の原
料液化炭酸ガスＴLは気化されて温度３０℃で、圧力７.
３ＭＰaの気体状炭酸ガスＴGとなって管１３より導出
し、圧力調整弁Ｖpで７.１ＭＰaの圧力に調節されて油
分吸着筒の如き吸着剤容器４に導入される。そして該吸
着筒の如き吸着剤容器４で油分が除去され気体状炭酸ガ
スＴG0となって管１４より逆止弁Ｖcを経て液化器５に
導入される。以下実施例１と同様な処理工程を経て管９
より実施例１と同様に精製された液化炭酸ガスＴLpが採
取された。そして、この精製された液化炭酸ガスＴLpを
絞り機構Ｖsに供給し、該機構Ｖsで断熱膨張せしめてド
ライアイススノーＴsとし、被洗浄物に噴射し被洗浄物
の洗浄に供した。
【００３７】本実施例２の精製液化炭酸ガス供給方法で
は、原料液化炭酸ガスＴLを加圧抽出サイフォン管式の
貯蔵容器３１内で所定の供給圧力に加圧するようにした
もので、別途に昇圧機を設備する必要がなく、設備費が
低減されると共に、圧縮による脈動の発生を抑止するこ
とができて処理工程を安定した状態で操作することがで
きる利点がある。なお、この実施例２の方法では、サイ
フォン管３２を使用して、所定の圧力７.３ＭＰaに加圧
した炭酸ガスを液状で導出した例について説明したが、
サイフォン管３２を用いないで、貯蔵容器３１の頂部に
滞留する気体状の炭酸ガスＴGを抽出してもよく、この
場合７.３ＭＰaに加圧した気体状炭酸ガスＴGを圧力調
整弁Ｖp介して一定圧力７.１ＭＰaにして油分吸着筒の
如き吸着剤容器４に直接導入すればよい。従って、この
場合蒸発器３の設置を省略することができる。
【００３８】［実施例３］更に実施例３として、図４に
図示した本発明の第３の実施の形態の精製液化炭酸ガス
供給装置４０を使用して精製液化炭酸ガスを生成し供給
した。この実施例３の精製液化炭酸ガスの供給方法で
は、上記実施例１と同様に原料液化炭酸ガスの貯蔵容器
１から−２０℃の温度で２ＭＰaの圧力の原料液化炭酸
ガスＴLを導出し、流量調整弁Ｖf、ストレーナー１７を
介して昇圧機２に吸入し、該昇圧機２で７.３ＭＰaの圧
力に加圧する。ついで、７.３ＭＰaの圧力に加圧された
原料液化炭酸ガスＴLは直ちに貯液タンク４１に貯液さ
れる。
【００３９】貯液タンク４１に貯液された原料液化炭酸
ガスＴLは、所定の圧力７.３ＭＰaに保持されるよう、
貯液タンク４１の上部に取り付けられた圧力指示調整警
報器２０によって貯液タンク４１内の圧力を検出して、
適宜加熱温度調節器２１作動せしめて、該貯液タンク４
１を加熱して制御される。そして所定の圧力７.３ＭＰa
を保つように加熱されて気化した気体状炭酸ガスＴGを
管４２で導出し、圧力調整弁Ｖpによって７.１ＭＰaに
圧力調整され弁Ｖ40を介して油分吸着筒の如き吸着剤容
器４に導入する。そして、油分吸着筒の如き吸着剤容器
４で油分を吸着除去した後、該油分除去された気体状炭
酸ガスＴG0は逆止弁Ｖcを介して液化器５に導入され、
該液化器５で冷却液化されて油分除去された液化炭酸ガ
スＴL0となり、次いで油分除去された液化炭酸ガスＴL0
をパーティクル除去用のフィルター７に導入せしめ、該
フィルター７でパーティクルを除去して精製され液化炭
酸ガスＴLpを採取した。そして、これを洗浄用に使用す
る使用先に供給し、絞り機構Ｖsを介して断熱膨張せし
めてドライアイススノーＴsとし、被洗浄物に噴射し被
洗浄物の洗浄に供した。
【００４０】この間、貯液タンク４１は、重量計４３で
重量変化が測定され、その重量変化を重量指示調節器４
４で計測して、充填されている液量を一定に保つよう
に、重量指示調節器４４よりの信号で電磁弁Ｖe2又はＶ
e1を適宜開閉作動せしめて計装用気体Ｇを流通せしめて
昇圧機２の吐出量を調整して液充填量が制御されてい
る。この結果、本実施例３においても実施例１と同様の
結果を得ることができた。
【００４１】この実施例３の精製液化炭酸ガス供給方法
では所定の処理圧力に原料液化炭酸ガスＴLを加圧し、
これを直ちに所定の圧力に保持する圧力指示調整警報器
と加熱温度調節器とが付設された貯液タンク４１に貯液
し、その後該貯液タンク４１の頂部に滞留する気体層よ
り、所定圧力の原料気体状炭酸ガスＴGを導出して、油
分吸着筒の如き吸着剤容器４ − 液化器５ − パーティ
クル除去用のフィルター７と一連の工程に流通せしめる
ようにして、油分除去、パーティクル除去等をするよう
にしたので、処理操作が容易になると共に、蒸発器を省
略し得ることができる等の利点がある。
【００４２】
【発明の効果】本発明は上記した形態で実施され、以下
のような効果を奏する。即ち、原料液化炭酸ガスを加圧
した後、気化 − 液化の相転移を行うことにより蒸発
器、及び液化器が熱交換するべき熱量が小さくなるた
め、蒸発器、液化器が消費する電力を押さえることがで
きる。また、蒸発器、液化器の規模も小型、低価格のも
のを使用することができる。
【００４３】又、気体状の炭酸ガスを吸着剤を充填した
油分吸着筒の如き吸着剤容器に導入通過させることによ
り、炭酸ガスに含まれている油分を除去することがで
き、そしてこれを液化して精製液化炭酸ガスとして大量
に供給することができる。その後、焼結金属よりなるフ
ィルターに液化炭酸ガスとして通過させることにより、
液化炭酸ガスに含まれているパーティクルを液体状態の
まま除去することができ、クリーン度の高い液化炭酸ガ
スを供給することができる。
【００４４】又、原料液化炭酸ガスの貯蔵容器から供給
される温度 −２０℃、圧力２ＭＰaの液化炭酸ガスに、
高い洗浄能力を与えることができる、不純物の除去され
た高純度の精製液化炭酸ガスとして大量に供給すること
が可能となる。そして、しかも貯蔵容器の形態、容量も
特に制限されることなく、特別に高価な高純度な液化炭
酸ガスを購入して使用することなく、安価な液化炭酸ガ
スを使用しても、使用現場においてこれを精製して純度
の高い液化炭酸ガスにして供給することができる。
【００４５】更に、本発明による精製液化炭酸ガス供給
装置からドライアイススノーを吹き付けることによって
付着物の洗浄を行う洗浄装置に液化炭酸ガスを供給した
場合、油分吸着筒の如き吸着剤容器、液化器、パーティ
クル除去用のフィルター等の工程において圧力損失が生
じても、圧力低下を補うことができ、洗浄能力が低下す
ることを抑止するか、あるいは、更に加圧された液化炭
酸ガスによって洗浄能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の精製液化炭酸ガス供給装置の第１の
実施の形態の系統概略図。
【図２】 第１の実施の形態に使用可能なスパイラル管
の説明図。
【図３】 本発明の精製液化炭酸ガス供給装置の第２の
実施の形態の系統概略図。
【図４】 本発明の精製液化炭酸ガス供給装置の第３の
実施の形態の系統概略図。
【符号の説明】
１０…第１の実施の形態の精製液化炭酸ガス供給装置、
１…貯蔵容器、 ２…昇圧機、 ３…蒸発器、 ４…吸
着剤容器、５…液化器、 ６、４１…貯液タンク、 ７
…パーティクル除去用フィルター、１７…ストレーナ
ー、 １８…アキュムレーター、 ２６…スパイラル
管、１９…液面指示調節制御器、 ２０…圧力指示調整
警報器、２１、３３…加熱温度調節器、 ３５…圧力指
示調整器、９、１１、１２、１３、１４、１５、１６、
３４、４２…管、Ｖs…絞り機構、 Ｖf…流量調整弁、
Ｖc…逆止弁、 Ｖp…圧力調整弁、Ｖe1、Ｖe2、Ｖ
e3、Ｖe4…電磁弁、 Ｖg1、Ｖg2、Ｖg3、Ｖg4…気体作
動弁、３０…第２の実施の形態の精製液化炭酸ガス供給
装置、３１…加圧抽出サイフォン管式貯蔵容器、 ３２
…サイフォン管、４０…第３の実施の形態の精製液化炭
酸ガス供給装置、 Ｖ40…弁、４３…重量計、 ４４…
重量指示調節器、 ＴL…原料液化炭酸ガス、ＴG…原料
気体状炭酸ガス、 ＴL0…油分除去された液化炭酸ガ
ス、ＴG0…油分除去された気体状炭酸ガス、 ＴLP…精
製液化炭酸ガス、Ｔs…ドライアイススノー、 Ｇ…計
装用気体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 英俊 東京都港区西新橋１丁目16番７号 日本酸 素株式会社内 Ｆターム(参考） 3B116 AA02 AA03 AA46 AB01 BA06 BA22 3E072 DB01 4G046 JA04 JB06 JC07

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 液化炭酸ガスを加圧手段により加圧した
    後、気化手段により気体状炭酸ガスにせしめ、次いで該
    加圧された気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せしめて炭酸
    ガス中の不純物を除去した後、該気体状炭酸ガスを冷却
    手段により冷却して液化炭酸ガスとし、該液化炭酸ガス
    をフィルターに導入通過せしめて、含有するパーティク
    ルを除去して供給することを特徴とする精製液化炭酸ガ
    スの供給方法。
  2. 【請求項２】 前記加圧手段が昇圧機で加圧することを
    特徴とする請求項１記載の精製液化炭酸ガスの供給方
    法。
  3. 【請求項３】 前記加圧手段は液化炭酸ガス貯蔵容器を
    加熱制御して加圧することを特徴とする請求項１記載の
    精製液化炭酸ガスの供給方法。
  4. 【請求項４】 気体状炭酸ガスを昇圧機を用いて加圧
    し、次いで該加圧された気体状炭酸ガスを吸着剤に接触
    せしめて含有する不純物を除去した後、該加圧された気
    体状炭酸ガスを冷却して液化炭酸ガスとし、続いて該液
    化炭酸ガスをフィルターに導入通過せしめて含有するパ
    ーティクルを除去して、精製液化炭酸ガスとして供給す
    ることを特徴とする精製液化炭酸ガスの供給方法。
  5. 【請求項５】 液化炭酸ガスを貯液する貯蔵容器に、液
    化炭酸ガスを加圧する加圧手段、該加圧された液化炭酸
    ガスを気体状炭酸ガスに気化せしめる蒸発器、該気体状
    の炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を充填した吸着
    剤容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガスを冷却液化
    する液化器、及び該液化炭酸ガス中のパーティクルを除
    去するフィルターを備えてなることを特徴とする精製液
    化炭酸ガス供給装置。
  6. 【請求項６】 前記加圧手段が昇圧機であることを特徴
    とする請求項５記載の精製液化炭酸ガス供給装置。
  7. 【請求項７】 前記加圧手段は液化炭酸ガス貯蔵容器を
    加熱制御して行う手段であることを特徴とする請求項５
    記載の精製液化炭酸ガス供給装置。
  8. 【請求項８】 加圧手段の下流側に貯液タンクを配し、
    該貯液タンク内の気相又は液相の炭酸ガスのうちいずれ
    か一方の相の炭酸ガスを選択して次工程に連通せしめて
    なることを特徴とする請求項５記載の精製液化炭酸ガス
    供給装置。
  9. 【請求項９】 気体状炭酸ガスを供給する液化炭酸ガス
    貯蔵容器に、気体状炭酸ガスを加圧する加圧手段、該加
    圧気体状の炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を充填
    した吸着剤容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガスを
    冷却液化する液化器、及び該液化炭酸ガス中のパーティ
    クルを除去するフィルターを備えてなることを特徴とす
    る精製液化炭酸ガス供給装置。
  10. 【請求項１０】 液化炭酸ガスを加圧手段により加圧し
    た後、気化手段により気体状炭酸ガスにせしめ、次いで
    該加圧気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せしめて炭酸ガス
    中の不純物を除去した後、該気体状炭酸ガスを冷却手段
    により冷却して液化炭酸ガスとし、該液化炭酸ガスをフ
    ィルターに導入通過せしめて、含有するパーティクルを
    除去して得られた精製液化炭酸ガスを断熱膨張させて生
    成せしめたドライアイススノーを、被洗浄物に噴射吹き
    付けて、被洗浄物を洗浄することを特徴とするドライア
    イススノーによる洗浄方法。
  11. 【請求項１１】 気体状炭酸ガスを昇圧機を用いて加圧
    した後、該加圧された気体状炭酸ガスを吸着剤に接触せ
    しめて含有する不純物を除去した後、該加圧された気体
    状炭酸ガスを冷却して液化炭酸ガスとし、続いて該液化
    炭酸ガスをフィルターに導入通過せしめて含有するパー
    ティクルを除去して得られた精製液化炭酸ガスを断熱膨
    張させて生成せしめたドライアイススノーを、被洗浄物
    に噴射吹き付けて、被洗浄物を洗浄することを特徴とす
    るドライアイススノーによる洗浄方法。
  12. 【請求項１２】 液化炭酸ガスを貯液する貯蔵容器に、
    液化炭酸ガスを加圧する加圧手段、該加圧された液化炭
    酸ガスを気体状炭酸ガスに気化せしめる蒸発器、該気体
    状の炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を充填した吸
    着剤容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガスを冷却液
    化する液化器、及び該液化炭酸ガス中のパーティクルを
    除去するフィルターを備えてなる精製液化炭酸ガス供給
    装置の前記フィルターの下流側に断熱膨張せしめる絞り
    機構を連設せしめてなることを特徴とするドライアイス
    スノーによる洗浄装置。
  13. 【請求項１３】 気体状炭酸ガスを供給する液化炭酸ガ
    ス貯蔵容器に、該気体状炭酸ガスを加圧する加圧手段、
    該加圧気体状の炭酸ガス中の不純物を除去する吸着剤を
    充填した吸着剤容器、該不純物を除去した気体状炭酸ガ
    スを冷却液化する液化器及び液化炭酸ガス中のパーティ
    クルを除去するフィルターを備えてなる精製液化炭酸ガ
    ス供給装置の前記フィルターの下流側に、断熱膨張せし
    める絞り機構を連設せしめてなることを特徴とするドラ
    イアイススノーによる洗浄装置。
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