TWI583435B - 高純度液化二氧化碳氣體製造方法及裝置 - Google Patents

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Description

高純度液化二氧化碳氣體製造方法及裝置
本發明係有關一種液化二氧化碳(液化CO2)之製造方法及裝置，係有關一種液化二氧化碳氣體製造方法及裝置，其可製造可使用於以半導體裝置製造為首之電子零件的製造步驟等之超高純度液化CO2。
就有關氣體的精製或高純度化之技術而言，針對各種氣體，至今人們提出了許多技術。就二氧化碳(二氧化碳氣體，CO2)的精製來說，有將石油精製製程中所產生的氣體回收並加以精製等一般人們所知之技術，更有用途明確例如適合半導體裝置製造程序等可高純度精製之方法，而其精製技術係因應目的而多元發展。
隨著半導體市場等近年來的劇烈成長，有人提出了使用高純度液化CO2的光學零件或微裝置等之精密清洗、使用超臨界CO2的半導體晶圓清洗以及乾燥等，而液化CO2的用途或需求持續擴大。又在該等用途中，對液化CO2要求高品質水準(例如雜質量極少)。
為了取得達到可在半導體裝置製造程序等之奈米級的細微且高精密製程中使用的水準之高純度的CO2，必須要有更甚以往地提高了精製水準的二氧化碳氣體製造方法，並謀求可穩定供給此種CO2的製程管控方法、供給方法或是分析技術。
可是，對於使用端穩定供給高純度的液體CO2的裝置，可舉出循環精製型的液化二氧化碳氣體供給系統。循環精製型的液化 二氧化碳氣體供給系統中，係使用使液體CO2氣化來作為CO2氣體而使該CO2氣體冷凝來再次變成液體CO2之循環系統，並在循環系統內使CO2循環，藉以提高CO2的純度。專利文獻1提到了循環精製型的液化二氧化碳氣體供給系統。圖1係顯示基於日本特開2006-326429號公報(專利文獻1)的記載所構成之習知的循環精製型液化二氧化碳氣體製造裝置的構成之一例。
圖1所示之液化二氧化碳氣體製造裝置中設有：儲存槽11，暫時儲存高純度的液體CO2；泵浦12，設於儲存槽11的出口來壓送液體CO2；以及過濾器13，設於泵浦12的出口。自過濾器13流出的液體CO2的一部分分歧而供給至使用端30，其餘的則通過壓力調整閥14送至冷卻器15。壓力調整閥14，係用以令供給至使用端30的液體CO2的壓力為既定壓力所設置。供給至冷卻器15而冷卻之液體CO2，接著供給至蒸發器16而進行氣液分離。蒸發器16中安裝有加熱器以使蒸發器16內形成CO2的氣液界面。供給至蒸發器16的液體狀態的CO2氣化，使難揮發性的微粒(particle)殘留於液相側。而在蒸發器16中由氣化所精製出的CO2氣體，從蒸發器16的氣相側出口，通過用以更將微粒類除去的過濾器17而送至冷凝器18，在冷凝器18中冷卻因而再次液化，作為液體CO2送回儲存槽11。在此構成中，由儲存槽11、泵浦12、過濾器13、壓力調整閥14、冷卻器15、蒸發器16、過濾器17以及冷凝器18構成CO2的循環系統10，在使用端30中對未使用的液體CO2進行循環處理。在蒸發器16中轉移至液相的微粒，係藉著將設於蒸發器16的液相側出口之閘閥21開啟而排出(吹出)至系統外。由於泵浦12中有產生灰塵之虞，所以設有過濾器13。
對於循環系統10供給CO2的導入裝置20，係使用液化二氧化碳氣體高壓缸筒或冷蒸發器(cold evaporator)等作為液體CO2源23，並作為CO2的導入機構來發揮功能。導入裝置20包含：氣化器24，使來自液體CO2源23的液體CO2氣化；以及過濾器25， 除去在氣化器24中所氣化的CO2氣體中之微粒。將通過過濾器25的CO2氣體導入冷凝器18，藉以對於循環系統10供給CO2。
可是，來自一般所取得的CO2源之CO2，其無論是氣體狀態或液體狀態，均含有大量的微粒。一般流通之工業用的液體CO2，含有特別多的微粒，而且即使在將用於清洗或乾燥等之CO2回收並加以精製時，回收CO2中亦含有許多微粒。由於使用此種CO2源，所以將從氣化器24流出的氣體CO2流通至過濾器25，藉以除去微粒。此時氣化器24的內面上有微粒附著沉積。然而，無法斷言僅以氣化器24以及過濾器25即可確實將微粒除去，還有微粒與CO2一起從導入裝置20混入循環系統10之虞。在循環系統10中，在導入裝置20中無法除去的微粒與在泵浦12或配管中所產生的微粒，係由蒸發器16以及過濾器13、17所除去。如此專利文獻1的液化二氧化碳氣體製造方法，可防止微粒混入所精製的高純度液體CO2中。
在日本特開2006-347842號公報(專利文獻2)中，就製造高純度的液體CO2之方法而言，揭示了以下方法：使液體CO2於氣化器中氣化，使已氣化的CO2通過除濕裝置以及活性碳塔，之後在精餾塔中使之精製以及液化，藉以取得純度更加提高的液體CO2。在此方法中，在外部製造高純度液體CO2並填充於高壓缸筒等高壓容器而搬運至使用端，在使用端中從高壓容器中取出高純度液體CO2來使用之。從而專利文獻2中所記載的方法，必須使用高純度液體CO2專用的高壓容器，必須將此種高純度CO2與普通純度的CO2加以區別來進行使用，管控變得複雜且成本高昂。
[習知技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開2006-326429號公報
專利文獻2：日本特開2006-347842號公報
就以適用於半導體裝置製造程序用途為目標之CO2精製技術而言，至今已有許多提案，但進行到所製造高純度液體CO2中的水分或油分、微粒數量的管控之高純度CO2的製造、管控以及供給之方法尚未為人們所知悉。所謂油分，係指在以氣相CO2為對象之過濾器中難以除去之各種有機物。
本發明的目的在於提供一種適合在外部製造高純度液體CO2，容易減低液體CO2中的微粒、水分以及有機物之液化二氧化碳氣體製造方法。
本發明的另一目的在於提供一種適合在外部製造高純度液體CO2，容易減低液體CO2中的微粒、水分以及有機物之液化二氧化碳氣體製造裝置。
本發明之液化二氧化碳氣體製造裝置，係將液體狀態的二氧化碳供給至供給對象之液化二氧化碳氣體製造裝置，其包含：循環系統；以及導入機構；該循環系統至少包含：儲存槽，將二氧化碳以液體狀態加以儲存；蒸發器，使二氧化碳氣化；冷凝器，使從蒸發器的出口流出之氣相狀態的二氧化碳冷凝而產生液體狀態的二氧化碳；供給管線；將儲存槽內的液體狀態的二氧化碳供給至供給對象；循環管線；自供給管線中分歧，將儲存槽內的液體狀態的二氧化碳之一部分或全部送至蒸發器；以及返回管線，將在冷凝器所產生的液體狀態的二氧化碳送至儲存槽；該導入機構，係從外部的液體二氧化碳源接受二氧化碳的供 給，並將二氧化碳以氣體狀態、液體狀態或氣液混相狀態導入循環系統；而在從液體二氧化碳源至冷凝器的管線上二氧化碳以氣相狀態所流經之位置上，設置有將水分與有機物中之至少一者從流經該位置的氣相狀態的二氧化碳中加以除去之吸附裝置。
本發明之液化二氧化碳氣體製造方法，係進行二氧化碳的循環處理以將液體狀態的二氧化碳供給至供給對象之液化二氧化碳氣體製造方法，其包含：儲存步驟：在進行循環處理的循環系統內，將從使二氧化碳氣化的蒸發器的出口流出之氣體狀態的二氧化碳，藉由冷凝器予以冷凝，來作為液體狀態的二氧化碳而儲存於儲存槽；供給步驟，從儲存槽中，將液體狀態的二氧化碳通過自連接至儲存槽的供給管線分歧之循環管線，供給至蒸發器，以對於供給對象供給液體狀態的二氧化碳；導入步驟，從外部的液體二氧化碳源接受二氧化碳的供給，並將二氧化碳以氣體狀態、液體狀態或氣液混相狀態對於循環系統進行導入；以及雜質除去步驟，在從液體二氧化碳源至冷凝器的管線上之位置，將水分與有機物中之至少一者從以氣相狀態流動的二氧化碳中加以除去。
根據本發明，可吸附除去來自液體CO2源等之水分或有機物，且減少從蒸發器的出口流出之氣體狀態二氧化碳中的微粒量，對於使用端等穩定供給不僅除去了微粒更充分除去了水分或有機物等雜質之高純度液體CO2。
[實施發明之最佳形態]
基於本發明的液化二氧化碳氣體製造裝置，雖可與圖1所示之循環精製型液化二氧化碳氣體製造裝置為同樣構成所構成，但其特徵在於在從液化CO2源到冷凝器為止的管線上即CO2呈氣相狀態流動之位置上，設有將水分與有機物中之至少一者從CO2氣體中去除之吸附裝置。吸附裝置，具有吸附水分與有機物中之至少一者之吸附劑。
若代表油分的有機物或水分進入高純度CO2的循環系統，由於其等係難以用過濾器等加以除去，所以成為供給至使用端的液體CO2中的雜質。以吸附裝置除去水分或有機物，藉此可對於使用端穩定供給高純度的液體CO2。氣化狀態的CO2通過吸附裝置，因此可將填充於吸附裝置內的吸附劑之性能發揮至最大。又，對於氣體狀態的CO2進行吸附處理，因此微粒從吸附劑中溶離出，或從吸附裝置本身噴吐出之情形變得較少。
吸附裝置，例如可使用將用以除去水分或有機物(油分)之吸附劑填充於吸附塔中之吸附裝置。此時，亦可個別設置用以除去水分的吸附塔與用以除去有機物的吸附塔並將其等串聯連接，或亦可將適合除去水分的吸附劑與適合除去有機物的吸附劑填充於單一的吸附塔中。視液體CO2源為何而其中所含之水分或有機物的量、有機物的種類有所不同，因此宜因應液體CO2源來選擇吸附劑。一般眾所皆知的水分除去用的吸附劑，可使用沸石、分子篩、活性氧化鋁、矽膠等；有機物除去用的吸附劑，可使用活性碳等。不管是水分除去用、或有機物除去用，此等的吸附劑，宜在使用前通過受到充足的低水分管控之乾空氣，藉以預先將該等吸附劑內的水分除去。
液體CO2源，可使用儲存於高壓缸筒或冷蒸發器內的CO2，或可使用回收在使用端所使用過的CO2之回收CO2。預測有一定 程度的純度而更相對廉價的市售液體CO2，係食品用CO2亦即以作為食品添加物的基準所製造之CO2。然而食品用CO2中含有少量的水分以及有機物。基於本發明的液化二氧化碳氣體製造裝置，如上所述設有吸附裝置，因此可使用食品用CO2作為來自外部的液化CO2源，來產生例如可適用於半導體裝置製造程序之高純度的液體CO2。
設於循環系統內的蒸發器，亦可具有僅將液體CO2氣化之功能。或是蒸發器亦可為氣液分離器，於內部形成有氣液界面，並具有使液體CO2氣化並且使液體CO2中所含之難揮發性的微粒(Particle)轉移至液相側之功能。若使用氣液分離器即蒸發器，便可適時地將液相分沖出(排出)，藉以將微粒類排出至系統外。
圖2係顯示本發明一實施形態之液化二氧化碳氣體製造裝置的構成。圖2所示之液化二氧化碳氣體製造裝置，與圖1所示之液化二氧化碳氣體製造裝置為同樣構成，係對於使用端30供給液體CO2(二氧化碳)，若大致區分，則具有循環系統10與導入裝置20。
循環系統10，與圖1所示者為相同構成。亦即循環系統10包含：儲存槽11，暫時儲存高純度液體CO2；泵浦12，設於儲存槽11的出口；過濾器13，設於泵浦12的出口；壓力調整閥14，用以調整供給至使用端30的液體CO2的壓力；冷卻器15，將從壓力調整閥14中流出的液體CO2加以冷卻；蒸發器16，對於從冷卻器15中流出的液體CO2進行氣液分離；過濾器17，連接至蒸發器16的出口；以及冷凝器18，將從過濾器17中流出的氣體CO2加以冷凝；並將在冷凝器18中液化的CO2送回儲存槽11。來自過濾器13的出口之液體CO2係以自循環系統10分歧之方式供給至使用端30；未在使用端30中使用的剩餘液體CO2係送至壓力調整閥14。儲存槽11中亦設有閘閥22，用以將作為雜質成分 混入的其他低沸點成分(例如空氣)等強制性地排出(吹出)至外部。雖然亦可不設置冷卻器15，但為了在蒸發器16中精密地進行氣液分離，宜確實進行對於液體CO2的液化，因此宜設置冷卻器15。
圖2所示的構成中，從儲存槽11經由泵浦12以及過濾器13達到使用端30之管線，係液體CO2對使用端30之供給管線；自供給管線分歧而通過壓力調整閥14達到蒸發器16的入口之管線係液體CO2的循環管線。又，自冷凝器18朝向儲存槽11之管線成為液體CO2的返回管線。
在循環系統中，可將於內部形成有CO2的氣液界面之蒸發器(亦即氣液分離器)作為蒸發器16使用。壓力調整閥14，係用以令供給至使用端30的液體CO2之壓力為既定壓力所設，但根據使用端30中所必要的供給壓力或供給速度之範圍等，而並非必須一定要設置之。
導入裝置20，係作為從外部的液體二氧化碳源接受二氧化碳的供給並將二氧化碳導入循環系統10之導入機構而發揮功能。導入裝置20包含：氣化器24，使來自液體CO2源23的液體CO2氣化；吸附裝置27，將水分以及有機物從來自氣化器24的CO2氣體中除去；以及過濾器25，將微粒自從吸附裝置27流出的CO2氣體中除去；並使CO2氣體從過濾器25供給至循環系統10的冷凝器18。吸附裝置27，如上所述，可使用具有水分除去用的吸附劑與有機物(油分)除去用的吸附劑之吸附裝置。
在此構成中，來自液體CO2源23的液體CO2為氣化器24所氣化，所以即使含有水分或有機物，其等亦由吸附裝置27所吸附而除去。又，從吸附裝置27中，雖會產生因吸附劑所造成的微粒，但在吸附裝置27中所產生的微粒，隨著來自液體CO2源23的微粒一起由過濾器25所除去，如此亦未能除去的微粒，係由蒸發器 16以及過濾器17等所除去。從而，可防止水分、有機物以及微粒送至使用端30。例如，難揮發性或蒸氣壓較低，並容易分散或溶解於液體CO2之微粒，只要使用具有氣液分離功能之蒸發器，便能在該蒸發器16中轉移至液相側，而從CO2中除去。在蒸發器16中轉移至液相側的微粒，藉由將蒸發器16的液相側排出口中所設之閘閥21開啟，可排出(沖出)至循環系統10之外。特別是在此構成中，即使在循環系統10內進行使CO2循環之運轉時，可視適當的時序將閘閥21開啟，藉以將微粒排出至系統外，因此，可減低對於循環系統10的整體或後段的過濾器13、過濾器17等之負擔，可穩定取得高品質的液體CO2，可減低液化二氧化碳氣體製造裝置整體之保養頻率。在氣相中所殘留的微粒，可由連接至蒸發器16的出口之過濾器17所除去。過濾器17，由於對於氣相狀態的CO2進行過濾處理，所以發揮高分離除去效率。
又，在本實施形態的液化二氧化碳氣體製造裝置中，亦可具有使精製CO2從供給管線中不經由冷卻器15以及蒸發器16便回到儲存槽11之旁通管線。圖3係顯示具有旁通管線之液化二氧化碳氣體製造裝置。在循環管線中在從壓力調整閥14連接至冷卻器15的配管中設有閘閥31，從壓力調整閥14與閘閥31之間的位置中分歧有旁通管線33，而旁通管線33的前端直接連接至儲存槽11。旁通管線33中，設有與閘閥31協同而作為切換閥來發揮功能之閘閥32。
圖3所示之液化二氧化碳氣體製造裝置，在開始運轉當初，係將閘閥31開啟並將閘閥32關閉，以CO2通過蒸發器16或冷凝器18之方式使其在循環系統10內循環，藉以產生高潔淨度之CO2。當充分地產生高潔淨度之CO2而於循環系統10內循環時，例如當循環系統10內的CO2達到既定水準後，將閘閥31關閉並將閘閥32開啟，使液體CO2不經由蒸發器16或冷凝器18而於循環系統10內循環。視情況，亦可令閘閥31以及閘閥32均為半開 啟狀態，使自壓力調整閥14流出的液體CO2的一部分流經旁通管線33，其餘供給至蒸發器16。使CO2通過蒸發器16以及冷凝器18藉以產生高潔淨度之CO2之後，不用再使該高潔淨度的CO2通過蒸發器16或冷凝器18，所以不再需要用以進行蒸發器16或冷凝器18中的處理所必要的能源，可抑制能源之消耗。
圖4係顯示本發明另一實施形態之液化二氧化碳氣體製造裝置。圖4所示之液化二氧化碳氣體製造裝置，與圖2所示者相比較，自導入裝置20至循環系統10的CO2氣體之導入位置有所不同。圖4所示之液化二氧化碳氣體製造裝置中，CO2氣體從導入裝置20供給至循環管線的冷卻器15之入口側。所供給的CO2氣體，與來自壓力調整閥14的液體CO2混合，在冷卻器15中液化，而送至具有氣液分離功能之蒸發器16。在此構成中，從液體CO2源23所供給的CO2必定在蒸發器16中成為氣液分離的對象，所以更確實地除去微粒，即使在使用微粒數較多的液體CO2源時，亦可將微粒數充分降低的高純度液體CO2供給至使用端30。
圖4所示之液化二氧化碳氣體製造裝置中，與圖3所示者相同，亦可具有使精製CO2從循環管線中不經由冷卻器15以及蒸發器16便回到儲存槽11之旁通管線。由於設有旁通管線，每當通過蒸發器16或冷凝器18而產生潔淨度高的CO2時，無須使該高潔淨度的CO2再次通過蒸發器16或冷凝器18，因此可抑制能源之消耗。
圖5係顯示本發明更另一實施形態之液化二氧化碳氣體製造裝置。圖5所示之液化二氧化碳氣體製造裝置，與圖2所示之液化二氧化碳氣體製造裝置為同樣構成，但與圖2所示者之相異處在於：吸附裝置27並非設於導入裝置20內而是設於循環系統10內；在導入裝置20的內部未設有氣化器，而CO2從液體CO2源23在蒸發器16的入口側導入循環系統10；以及未設有冷卻器。
圖5所示之液化二氧化碳氣體製造裝置中，由於未設有氣化器，所以在導入裝置20中，來自液體CO2源23的液體CO2直接供給至除去液體CO2中的微粒之過濾器28，而自過濾器28流出的液體CO2供給至循環系統10。在循環系統10中的液體CO2之供給位置，自壓力調整閥14的出口至蒸發器16的入口，為管路，或是蒸發器16的入口。亦即，來自壓力調整閥14的液體CO2與來自導入裝置20的液體CO2合流而供給至蒸發器16。但是，根據導入裝置20中的配管長度或周圍溫度等，在對於循環系統10的導入位置中，從導入裝置20供給至循環系統10的CO2的一部分或全部亦可氣化。吸附裝置27，在循環系統10內，係設於蒸發器16的出口與過濾器17之間。吸附裝置27可使用與上述吸附裝置相同者。
在此構成中，在從液體CO2源23至冷凝器18的管線上CO2所流經之位置上設置有吸附裝置27，即使來自液體CO2源的液體CO2中含有水分或有機物，其等亦由吸附裝置27所吸附而除去。又，即使自導入裝置20供給至循環系統10的CO2中含有微粒或其他難揮發性的物質，其等亦由蒸發器16以及過濾器17等從CO2中所除去。在使用於內部形成有氣液界面之蒸發器16時，相較於氣相的CO2對於液向的CO2更具有親和性而容易溶解於液體CO2側之雜質，亦藉由蒸發器16而從在循環系統10內循環之CO2中除去。即使吸附裝置27本身產生了微粒，該微粒亦由過濾器17所除去。從而，可防止水分、有機物以及微粒送至使用端30。
可是，圖5所示之液化二氧化碳氣體製造裝置中，在來自液體CO2源23的液體CO2之壓力未大幅高於蒸發器16的內部壓力時，未能適當地進行自導入裝置20至循環系統10的液體CO2之導入。此時，例如在液體CO2源23與過濾器28之間配置進行液體CO2的壓送之泵浦即可。欲使位於循環系統10內的微粒在蒸發 器16中轉移至液相側，宜使CO2在完全液體狀態下供給至蒸發器16。根據運轉條件等，自壓力調整閥14的出口流出之CO2的一部分會氣化，所以在此等情形中，為了使CO2在液體狀態下更確實供給至蒸發器16，便設置將流經壓力調整閥14與蒸發器16的入口之間的CO2加以冷卻之冷卻器，使液體CO2從導入裝置20中導入冷卻器的出口與蒸發器16的入口之間即可。又，來自導入裝置20的CO2亦宜在完全液體狀態下供給至蒸發器16，在冷卻器15的前方將CO2導入循環系統亦可。欲對使用端30供給超臨界CO2時，係令壓力調整閥14中所設定的壓力為CO2的臨界壓力以上，並且在泵浦12至使用端30之間設置加熱器以使CO2的溫度上升至CO2的臨界溫度以上即可。
圖5所示之液化二氧化碳氣體製造裝置中，與圖3所示者相同，亦可具有使精製CO2從循環管線中不經由冷卻器15以及蒸發器16便回到儲存槽11之旁通管線。由於設有旁通管線，每當通過蒸發器16或冷凝器18而產生潔淨度高的CO2時，無須使該高潔淨度的CO2再次通過蒸發器16或冷凝器18，因此可抑制能源之消耗。
圖6所示之液化二氧化碳氣體製造裝置，相對於圖5所示之液化二氧化碳氣體製造裝置，所示者為：在壓力調整閥14與蒸發器16的入口之間設有冷卻器15；為了對於使用端30供給超臨界CO2而在過濾器13的出口上設有加熱器19；在導入裝置20中為了提高液體CO2的壓力而在液體CO2源23與過濾器28之間設有泵浦26。此等冷卻器15、加熱器19以及泵浦26，可因應需要分別獨立設置之。
圖6所示之液化二氧化碳氣體製造裝置中，與圖3所示者相同，亦可具有使精製CO2從循環管線中不經由冷卻器15以及蒸發器16便回到儲存槽11之旁通管線。由於設有旁通管線，每當通 過蒸發器16或冷凝器18而產生潔淨度高的CO2時，無須使該高潔淨度的CO2再次通過蒸發器16或冷凝器18，因此可抑制能源之消耗。
10‧‧‧循環系統
11‧‧‧儲存槽
12、26‧‧‧泵浦
13、17、25、28‧‧‧過濾器
14‧‧‧壓力調整閥
15‧‧‧冷卻器
16‧‧‧蒸發器
18‧‧‧冷凝器
19‧‧‧加熱器
20‧‧‧導入裝置
21、22、31、32‧‧‧閘閥
23‧‧‧液體CO2源
24‧‧‧氣化器
27‧‧‧吸附裝置
30‧‧‧使用端
33‧‧‧旁通管線
圖1係顯示習知的循環精製型液化二氧化碳氣體製造裝置的構成之一例之圖。
圖2係顯示本發明一實施形態之液化二氧化碳氣體製造裝置的構成之圖。
圖3係顯示具有旁通管線之液化二氧化碳氣體製造裝置的構成之圖。
圖4係顯示另一實施形態之液化二氧化碳氣體製造裝置的構成之圖。
圖5係顯示更另一實施形態之液化二氧化碳氣體製造裝置的構成之圖。
圖6係顯示更另一實施形態之液化二氧化碳氣體製造裝置的構成之圖。
10‧‧‧循環系統
11‧‧‧儲存槽
12‧‧‧泵浦
13、17、25‧‧‧過濾器
14‧‧‧壓力調整閥
15‧‧‧冷卻器
16‧‧‧蒸發器
18‧‧‧冷凝器
20‧‧‧導入裝置
21、22‧‧‧閘閥
23‧‧‧液體CO2源
24‧‧‧氣化器
27‧‧‧吸附裝置
30‧‧‧使用端

Claims (16)

  1. 一種液化二氧化碳氣體製造裝置，將液體狀態的二氧化碳供給至供給對象，包含：循環系統；以及導入機構；該循環系統至少包含：儲存槽，將二氧化碳以液體狀態加以儲存；蒸發器，使二氧化碳氣化；冷凝器，使從該蒸發器的出口流出之氣相狀態的二氧化碳冷凝而產生液體狀態的二氧化碳；供給管線，將該儲存槽內的液體狀態的二氧化碳供給至供給對象；循環管線，自該供給管線中分歧，將該儲存槽內的液體狀態的二氧化碳之一部分或全部送至該蒸發器；以及返回管線，將在該冷凝器所產生的液體狀態的二氧化碳送至該儲存槽；該導入機構，係從外部的液體二氧化碳源接受二氧化碳的供給，並將二氧化碳以氣體狀態、液體狀態或氣液混相狀態導入該循環系統；而在該蒸發器的出口與該冷凝器的入口之間的管線上二氧化碳以氣相狀態所流經之位置處，設置有將水分與有機物中之至少一者從流經該位置的氣相狀態的二氧化碳中加以除去之吸附裝置。
  2. 如申請專利範圍第1項之液化二氧化碳氣體製造裝置，其中更包含：過濾器，配置於該吸附裝置的出口與該冷凝器之間，用以進行過濾處理。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之液化二氧化碳氣體製造裝置，其中，該導入機構，係在該循環管線上或該蒸發器的入口，將液體狀態的二氧化碳導入該循環系統。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之液化二氧化碳氣體製造裝置，其中，該蒸發器為於內部形成有二氧化碳的氣液界面之氣液分離器。
  5. 如申請專利範圍第3項之液化二氧化碳氣體製造裝置，其中，該蒸發器為於內部形成有二氧化碳的氣液界面之氣液分離 器。
  6. 如申請專利範圍第4項之液化二氧化碳氣體製造裝置，其中更包含：冷卻器，將流經該循環管線的二氧化碳加以冷卻。
  7. 如申請專利範圍第1或2項之液化二氧化碳氣體製造裝置，其中更包含：旁通管線，自該循環管線中分歧，使二氧化碳不通過該蒸發器以及該冷凝器而回到該儲存槽。
  8. 如申請專利範圍第3項之液化二氧化碳氣體製造裝置，其中更包含：旁通管線，自該循環管線中分歧，使二氧化碳不通過該蒸發器以及該冷凝器而回到該儲存槽。
  9. 一種液化二氧化碳氣體製造方法，進行二氧化碳的循環處理，以將液體狀態的二氧化碳供給至供給對象，其包含：儲存步驟：在進行該循環處理的循環系統內，將從使二氧化碳氣化的蒸發器的出口流出之氣體狀態的二氧化碳，藉由冷凝器予以冷凝，作為液體狀態的二氧化碳而儲存於儲存槽；供給步驟，從該儲存槽中，將該液體狀態的二氧化碳通過自連接至該儲存槽的供給管線分歧之循環管線，供給至該蒸發器，以對於該供給對象供給該液體狀態的二氧化碳；導入步驟，從外部的液體二氧化碳源接受二氧化碳的供給，並將二氧化碳以氣體狀態、液體狀態或氣液混相狀態對於該循環系統進行導入；以及雜質除去步驟，在該蒸發器的出口與該冷凝器的入口之間的管線上之位置，將水分與有機物中之至少一者從以氣相狀態流動的二氧化碳中加以除去。
  10. 如申請專利範圍第9項之液化二氧化碳氣體製造方法，其中，該導入步驟，係在該循環管線上或該蒸發器的入口將液體狀態的二氧化碳導入該循環系統之步驟。
  11. 如申請專利範圍第9或10項之液化二氧化碳氣體製造方法，其中更包含：過濾處理步驟，對於從該雜質除去步驟中取得之氣相狀態的二氧化碳進行過濾處理。
  12. 如申請專利範圍第9或10項之液化二氧化碳氣體製造方法，其中更包含：轉移步驟，令該蒸發器內形成氣液界面，使供給至該蒸發器內之該液體狀態的二氧化碳氣化，而使該液體狀態的二氧化碳中所含之微粒轉移至液相側。
  13. 如申請專利範圍第11項之液化二氧化碳氣體製造方法，其中更包含：轉移步驟，令該蒸發器內形成氣液界面，使供給至該蒸發器內之該液體狀態的二氧化碳氣化，而使該液體狀態的二氧化碳中所含之微粒轉移至液相側。
  14. 如申請專利範圍第12項之液化二氧化碳氣體製造方法，其中更包含：冷卻步驟，將流經該循環管線的二氧化碳加以冷卻。
  15. 如申請專利範圍第12項之液化二氧化碳氣體製造方法，其中更包含：去除步驟，將該蒸發器的液相分排出，藉以將轉移至該液相分的該微粒從該循環系統中去除。
  16. 如申請專利範圍第9或10項之液化二氧化碳氣體製造方法，其中更包含：流動步驟，當該循環系統內的二氧化碳的潔淨度達到既定水準後，使流經該循環管線之該液體狀態的二氧化碳的一部分或全部，流至自該循環管線中分歧並使二氧化碳不通過該蒸發器以及該冷凝器而回到該儲存槽之旁通管線。
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