KR101115945B1 - Apparatus and method for measuring relative poisition of discharge opening of nozzle and optical spot of laser displacement sensor of paste dispenser and paste dispenser having the same - Google Patents

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Abstract

본 발명에서는 레이저변위센서에서 발광되는 레이저의 결상점과 노즐위치를 촬상장치로 촬상하여 레이저의 결상점과 노즐의 토출구의 상대위치를 신속하고 정확하게 측정할 수 있는 상대위치측정장치 및 방법이 제시된다.In the present invention, a relative position measuring apparatus and method capable of quickly and accurately measuring the relative position of the imaging point of the laser and the discharge port of the nozzle by imaging the imaging point and the nozzle position of the laser emitted from the laser displacement sensor are provided. .

페이스트, 디스펜서, 노즐, 레이저변위센서 Paste, Dispenser, Nozzle, Laser Displacement Sensor

Description

헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치, 그 상대위치측정장치가 장착되는 페이스트 디스펜서 및 그 상대위치측정장치를 이용한 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법 {APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING RELATIVE POISITION OF DISCHARGE OPENING OF NOZZLE AND OPTICAL SPOT OF LASER DISPLACEMENT SENSOR OF PASTE DISPENSER AND PASTE DISPENSER HAVING THE SAME}Relative position measuring device of nozzle outlet of head unit and imaging point of laser displacement sensor, paste dispenser equipped with relative position measuring device and imaging point of nozzle outlet of laser head unit and laser displacement sensor using relative position measuring device Relative Position Measurement Method {APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING RELATIVE POISITION OF DISCHARGE OPENING OF NOZZLE AND OPTICAL SPOT OF LASER DISPLACEMENT SENSOR OF PASTE DISPENSER AND PASTE DISPENSER HAVING THE SAME}

본 발명은 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치를 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and a method for measuring the relative position of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기 EL(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.In general, a flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a television or a monitor employing a CRT. Liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), field emission display (FED), organic light emitting diodes (OLED), etc. have been developed and used as flat panel displays. have.

이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작 전압이 낮은 장점 등이 있어 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 일 예로 설명하면 다음과 같다.Among them, the liquid crystal display is a display device in which a desired image is displayed by individually supplying data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix to adjust light transmittance of the liquid crystal cells. Liquid crystal displays are widely used because of their thinness, light weight, low power consumption and low operating voltage. The manufacturing method of the liquid crystal panel generally employed in such a liquid crystal display will be described as an example.

먼저, 상부글라스기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부글라스기판과 대향되는 하부글라스기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pretilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.First, a color filter and a common electrode are formed on an upper glass substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are formed on a lower glass substrate facing the upper glass substrate. Subsequently, after the alignment films are applied to the substrates, the alignment films are rubbed to provide a pretilt angle and an orientation direction to the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer to be formed therebetween.

그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성한 후 액정패널을 제조하게 된다.Then, paste is applied to a substrate in a predetermined pattern to form a paste pattern so as to maintain a gap between the substrates and to prevent leakage of liquid crystal to the outside and to seal the substrates, and then form a paste pattern between the substrates. After the liquid crystal layer is formed, a liquid crystal panel is manufactured.

이와 같은 액정패널의 제조에 있어서, 기판 위에 페이스트 패턴을 형성하기 위해 페이스트 디스펜서(paste dispenser)라는 장비가 이용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 기판이 탑재되는 스테이지와, 페이스트가 토출되는 노즐이 장착된 헤드유닛과, 헤드유닛을 지지하는 헤드지지대를 포함하여 구성된다. 여기서, 페이스트 디스펜서는 대면적의 기판에 다수의 페이스트 패턴을 동시에 형성하여 생산성 향상을 도모할 수 있도록, 헤드유닛을 다수 개로 구비하기도 한다.In the manufacture of such a liquid crystal panel, a device called a paste dispenser is used to form a paste pattern on a substrate. The paste dispenser includes a stage on which a substrate is mounted, a head unit equipped with a nozzle through which paste is discharged, and a head support for supporting the head unit. Here, the paste dispenser may be provided with a plurality of head units so that a plurality of paste patterns may be simultaneously formed on a large-area substrate to improve productivity.

이러한 페이스트 디스펜서는 각각의 노즐과 기판 사이의 상대 위치를 변화시 켜가면서 노즐로부터 기판에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 각각의 헤드유닛에 장착된 노즐을 Z축방향으로 상하 이동시켜 노즐과 기판 사이의 갭(gap)을 일정하게 제어하면서 노즐 및/또는 기판을 X축방향과 Y축방향으로 수평 이동시키고, 노즐로부터 페이스트를 기판상에 토출시켜 페이스트 패턴을 형성한다.Such a paste dispenser forms a paste pattern from the nozzle to the substrate while varying the relative position between each nozzle and the substrate. That is, the paste dispenser moves the nozzles mounted on each head unit in the Z-axis direction up and down to control the gap between the nozzle and the substrate while controlling the nozzle and / or the substrate in the X-axis direction and the Y-axis direction. It moves horizontally and discharges a paste from a nozzle on a board | substrate to form a paste pattern.

이처럼 페이스트 패턴을 형성하는 과정에서, 노즐과 기판 사이의 갭을 일정하게 제어하기 위해, 각각의 헤드유닛에는 레이저변위센서가 장착된다. 레이저변위센서는 노즐과 기판 사이의 갭을 측정한 갭데이터를 디스펜서의 제어부로 제공함으로써, 상기 제어부가 갭데이터를 토대로 노즐과 기판 사이의 갭을 일정하게 제어할 수 있게 한다. 즉, 노즐과 기판 중 적어도 하나를 X축방향과 Y축방향으로 수평 이동시켜가면서 페이스트 패턴을 형성하는 과정에서, 기판 면이 고르지 않거나 그 밖의 다른 원인으로 노즐과 기판 사이의 갭이 변하게 되면, 페이스트 패턴이 형성된 후 페이스트 패턴의 폭과 높이 등이 설정된 범위를 벗어나는 페이스트 패턴 불량이 발생할 수 있다. 이러한 문제를 방지하고자, 페이스트 디스펜서는 레이저변위센서를 구비하는 것이다.In the process of forming the paste pattern as described above, in order to constantly control the gap between the nozzle and the substrate, each head unit is equipped with a laser displacement sensor. The laser displacement sensor provides gap data measuring the gap between the nozzle and the substrate to the controller of the dispenser, thereby allowing the controller to constantly control the gap between the nozzle and the substrate based on the gap data. That is, in the process of forming the paste pattern while horizontally moving at least one of the nozzle and the substrate in the X-axis direction and the Y-axis direction, if the gap between the nozzle and the substrate changes due to uneven or other causes, the paste After the pattern is formed, a paste pattern defect may occur in which the width and height of the paste pattern are out of a set range. To avoid this problem, the paste dispenser is equipped with a laser displacement sensor.

그런데, 노즐은 시린지에 결합된 상태로 헤드유닛에 장착되고 레이저변위센서도 헤드유닛에 장착되는 구조로 이루어지므로, 노즐이 장착된 시린지 및 레이저변위센서가 초기에 장착된 상태나 교체된 상태에서 노즐 및 레이저변위센서의 실제위치가 설정된 위치와 차이를 보일 수 있다. 이에 따라, 레이저변위센서의 측정 포인트가 달라질 수 있으며, 정확한 갭데이터가 획득되지 않을 수 있다. 그 결과, 페이스트 패턴이 형성된 후 페이스트 패턴의 폭과 높이 등이 설정된 범위를 벗어나는 페이스트 패턴 불량이 발생할 수 있다.However, since the nozzle is mounted on the head unit in a state coupled to the syringe and the laser displacement sensor is also mounted on the head unit, the nozzle in which the nozzle and the syringe displacement sensor are initially mounted or replaced is replaced. And the actual position of the laser displacement sensor may show a difference from the set position. Accordingly, the measurement point of the laser displacement sensor may vary, and accurate gap data may not be obtained. As a result, after the paste pattern is formed, a paste pattern defect may occur in which the width and height of the paste pattern, etc., are out of the set range.

이를 방지하기 위해, 노즐과 레이저변위센서의 실제 위치가 정확히 측정될 필요가 있는 것이다. 즉, 측정된 실제 위치와 설정된 위치를 비교하여 큰 차이가 있다면 사용자로 하여금 노즐과 시린지의 결합체 및/또는 레이저변위센서를 다시 장착하게 하거나, 또는, 기 설정된 위치값을 측정된 실제 위치값으로 재설정하거나, 큰 차이가 없다면 디스펜서의 제어부로 하여금 갭데이터를 보정하게 할 수 있다.To prevent this, the actual position of the nozzle and the laser displacement sensor need to be measured accurately. That is, if there is a big difference between the measured actual position and the set position, the user may refit the combination of the nozzle and the syringe and / or the laser displacement sensor, or reset the preset position value to the measured actual position value. Alternatively, if there is no big difference, the controller of the dispenser may correct the gap data.

또한, 노즐과 레이저변위센서는 헤드유닛마다 장착되는데, 헤드유닛들에 의해 페이스트 패턴들이 형성된 후 페이스트 패턴들 중 어느 하나라도 불량이 없도록 헤드유닛마다 노즐과 레이저변위센서의 실제 위치값이 정확히 측정될 필요가 있는 것이다.In addition, the nozzle and the laser displacement sensor are mounted for each head unit. After the paste patterns are formed by the head units, the actual position values of the nozzle and the laser displacement sensor are accurately measured for each head unit so that any one of the paste patterns is not defective. There is a need.

게다가, 레이저변위센서 또는 노즐이 장착된 시린지가 초기 장착된 상태나 교체된 상태에서 레이저변위센서의 측정 포인트가 기판의 페이스트 도포 위치를 벗어나 기판에 형성된 배향막 등에 위치할 수도 있는데, 이 경우, 배향막 등에 의한 간섭에 의해 측정 오류가 발생할 수도 있다. 따라서, 헤드유닛마다 장착된 노즐과 레이저변위센서의 상대위치를 정확하게 측정함으로써, 모든 헤드유닛에서 노즐과 레이저변위센서를 전술한 바와 같은 측정 오류가 발생하지 않도록 위치시킬 필요가 있다.In addition, in a state where the laser displacement sensor or the syringe with the nozzle is initially mounted or replaced, the measurement point of the laser displacement sensor may be located at an alignment film formed on the substrate beyond the paste application position of the substrate, in which case, the alignment film, etc. Measurement errors may also occur due to interference caused by the interference. Therefore, by accurately measuring the relative position of the nozzle and the laser displacement sensor mounted for each head unit, it is necessary to position the nozzle and the laser displacement sensor in all the head units so that the measurement error as described above does not occur.

그러나, 종래의 경우에는, 작업자가 육안으로 확인하면서 헤드유닛마다 노즐과 레이저변위센서의 상대위치를 측정하였기 때문에 페이스트 디스펜서에 다수의 헤드유닛이 구비된 경우, 노즐과 레이저변위센서의 위치측정에 많은 시간이 소요되며, 정확도가 저하되는 문제가 있다.However, in the conventional case, since the relative position of the nozzle and the laser displacement sensor is measured for each head unit while the operator visually checks it, when the paste dispenser is equipped with a plurality of head units, it is often necessary to measure the position of the nozzle and laser displacement sensor. It takes time, and there is a problem that the accuracy is degraded.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치 측정을 정확하고 신속하게 수행할 수 있는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치 및 그 상대위치측정장치를 이용한 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법을 제공하는 데에 있다.The present invention is to solve the above problems of the prior art, an object of the present invention and the discharge port of the nozzle of the head unit that can accurately and quickly perform the relative position measurement of the discharge point of the nozzle and the imaging point of the laser displacement sensor An object of the present invention is to provide a relative position measuring device of a missing point of a laser displacement sensor, and a method of measuring a relative position of a discharge point of a nozzle of a head unit and a missing point of a laser displacement sensor using the relative position measuring device.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치는, 노즐 및 레이저변위센서가 구비되는 헤드유닛에 대향하도록 배치되고, 노즐의 토출구의 형상 및 레이저변위센서의 레이저가 투과될 수 있는 제1상태 및 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변환되는 투과상태변환부재와, 투과상태변환부재의 헤드유닛에 대향하는 측의 반대측에 배치되어, 노즐의 토출구의 형상 및 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 촬상장치를 포함하여 구성될 수 있다.The relative position measuring device of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor according to the present invention for solving the above problems is arranged to face the head unit provided with the nozzle and the laser displacement sensor, the discharge port of the nozzle And a transmission state conversion member which is converted into a first state through which the laser of the laser displacement sensor can be transmitted and a second state which is imaged while the laser is reflected, and disposed on an opposite side of the side opposite to the head unit of the transmission state conversion member. And an imaging device which picks up the shape of the discharge port of the nozzle and the imaging point of the laser formed on the transmission state converting member.

여기에서, 투과상태변환부재는 PDLC소자(Polymer Dispersed Liquid Crystals)를 포함하여 구성될 수 있으며, 이 경우, 투과상태변환부재는, 한 쌍의 글라스층과, 한 쌍의 글라스층의 사이에 개재되는 PDLC소자로 구성될 수 있으며, 이와 다른 구성으로, 투과상태변환부재는, 글라스와, 글라스에 접착필름을 통하여 부착되는 PDLC소자로 구성될 수 있다.Here, the transmission state conversion member may comprise a PDLC element (Polymer Dispersed Liquid Crystals), in this case, the transmission state conversion member is interposed between a pair of glass layers, a pair of glass layers It may be composed of a PDLC element, and in another configuration, the transmission state converting member may be composed of a glass and a PDLC element attached to the glass through an adhesive film.

또한, 본 발명에 따른 상대위치측정장치는, 헤드유닛에 대향하도록 개방되는 개구부를 가지며 촬상장치가 고정되는 지지체와, 지지체에 슬라이드 가능하게 고정되며, 지지체의 개구부와 연통되고 투과상태변환부재가 고정되는 개구가 형성되는 플레이트를 더 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the relative position measuring apparatus according to the present invention has an opening that is open to face the head unit, the support is fixed to the image pickup device, and is slidably fixed to the support, in communication with the opening of the support and the transmission state conversion member is fixed It can be configured to further include a plate is formed opening.

또한, 촬상장치는, 노즐의 토출구의 형상 및 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 카메라와, 카메라에 인접되게 설치되어 발광하는 조명기와, 카메라 및 조명기를 상하방향, 전후방향 및 좌우방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 이동시키는 촬상위치조절기를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the imaging apparatus includes a camera for imaging the shape of the discharge port of the nozzle and the imaging point of the laser formed on the transmission state converting member, an illuminator installed adjacent to the camera and emitting light, the camera and the illuminator in the up-down, front-back direction, and It may be configured to include an imaging position controller for moving in at least one of the left and right directions.

한편, 본 발명에 따른 상대위치측정장치는, 투과상태변환부재에 전원을 인가하는 전원인가장치를 더 포함하여 구성될 수 있다.On the other hand, the relative position measuring apparatus according to the present invention may be configured to further include a power applying device for applying power to the transmission state conversion member.

또한, 상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법은, 헤드유닛의 노즐 및 레이저변위센서와 카메라의 사이에 배치되며, 노즐의 토출구의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태 및 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변환되는 투과상태변환부재를 포함하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치를 이용한 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법에 있어서, 노즐과 레이저변위센서를 투과상태변환부재와 인접되도록, 바람직하게는 실제공정에서 페이스트를 토출할 때의 기판과 노즐 간 갭만큼 인접하도록 위치시키는 제1단계와, 투과상태변환부재에 전원을 인가하거나 차단하면서 노즐의 토출구를 촬상하고 레이저변위센서로부터 발광되어 투과상태변환부재에 결상 되는 레이저의 결상점을 촬상하는 제2단계와, 노즐의 토출구의 위치와 레이저변위센서의 결상점의 위치를 측정하는 제3단계를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the relative position measuring method of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor according to the present invention for solving the above problems is disposed between the nozzle of the head unit and the laser displacement sensor and the camera, The relative position of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor, including the shape of the discharge hole of the head unit and a transmission state converting member which is converted into a first state through which the laser can be transmitted and a second state formed by the reflection of the laser. In the method for measuring the relative position of the ejection opening of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor using the measuring device, the nozzle and the laser displacement sensor are adjacent to the transmission state converting member, and preferably when the paste is ejected in the actual process. The first step of positioning adjacent to the gap between the substrate and the nozzle of the nozzle, and applying the power to the transmission state conversion member A second step of imaging the exit point of the laser that is emitted from the laser displacement sensor and formed on the transmission state converting member; and a third step of measuring the position of the discharge port of the nozzle and the location of the imaging point of the laser displacement sensor. It can be configured to include.

여기에서, 제2단계는 투과상태변환부재에 전원을 인가하고 노즐의 토출구를 촬상하는 단계와, 투과상태변환부재로의 전원을 차단하고 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 제2단계는 투과상태변환부재로의 전원을 차단한 상태에서 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 단계와, 투과상태변환부재에 전원을 인가하고 노즐의 토출구를 촬상하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.Here, the second step is to apply power to the transmission state conversion member and to image the discharge port of the nozzle, and to cut off the power to the transmission state conversion member and to image the missing point of the laser image formed on the transmission state conversion member It may be configured to include. Further, the second step is to image the missing point of the laser image formed on the transmission state conversion member in the state that the power to the transmission state conversion member is cut off, and to apply power to the transmission state conversion member and to image the discharge port of the nozzle It may comprise a step.

또한, 상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법은, 헤드유닛의 노즐 및 레이저변위센서와 카메라의 사이에 배치되며, 노즐의 토출구의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태 및 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변환되는 투과상태변환부재를 포함하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치를 이용한 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법에 있어서, 노즐과 레이저변위센서를 투과상태변환부재와 인접되도록, 바람직하게는, 노즐이 투과상태변환부재에 접촉되되 투과상태변환부재를 가압하지 않을 정도로 위치시키는 제1단계와, 투과상태변환부재를 가압하거나 가압을 해제하면서 노즐의 토출구를 촬상하고 레이저변위센서로부터 발광되어 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 제2단계와, 노즐의 토출구의 위치와 레이저의 결상점의 위치를 측정하는 제3단계를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the relative position measuring method of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor according to the present invention for solving the above problems is disposed between the nozzle of the head unit and the laser displacement sensor and the camera, The relative position of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor, including the shape of the discharge hole of the head unit and a transmission state converting member which is converted into a first state through which the laser can be transmitted and a second state formed by the reflection of the laser. In the method for measuring the relative position of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor using the measuring device, the nozzle and the laser displacement sensor are adjacent to the transmission state converting member, and preferably, the nozzle is connected to the transmission state converting member. The first step of contacting but positioning the transmission state conversion member so as not to pressurize, while pressing or releasing the transmission state conversion member The second step of imaging the discharge port of the bla and the imaging point of the laser which is emitted from the laser displacement sensor and formed on the transmission state converting member, and the third step of measuring the position of the discharge port of the nozzle and the location of the imaging point of the laser. It can be configured to include.

여기에서, 제2단계는 레이저변위센서로부터 발광되어 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 단계와, 노즐을 투과상태변환부재로 이동시켜 투과상태변환부재를 가압하고 노즐의 토출구를 촬상하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 제2단계는 노즐을 투과상태변환부재로 이동시켜 투과상태변환부재를 가압하고 노즐의 토출구를 촬상하는 단계와, 노즐을 투과상태변환부재로부터 이격되도록 이동시켜 투과상태변환부재의 가압을 해제하고 레이저변위센서로부터 발광되어 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.Here, the second step is to image the imaging point of the laser is emitted from the laser displacement sensor and formed on the transmission state conversion member, and the nozzle is moved to the transmission state conversion member to press the transmission state conversion member to press the discharge port of the nozzle And imaging. In addition, the second step is to move the nozzle to the transmission state conversion member to press the transmission state conversion member and to image the discharge port of the nozzle, and to move the nozzle away from the transmission state conversion member to release the pressure on the transmission state conversion member And imaging the imaging point of the laser which is emitted from the laser displacement sensor and is imaged on the transmission state converting member.

또한, 본 발명에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치는, 노즐과 레이저변위센서가 구비되는 헤드유닛이 장착되는 헤드유닛장착장치와, 노즐과 레이저변위센서의 대향측에 위치되는 카메라와, 노즐 및 레이저변위센서와 카메라와의 사이에 배치되며, 노즐의 토출구의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태 및 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변환되는 투과상태변환부재를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the relative position measuring device of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor, the head unit mounting apparatus equipped with the head unit is provided with a nozzle and the laser displacement sensor, the nozzle and the laser displacement sensor Disposed between the camera and the nozzle and the laser displacement sensor and the camera positioned on the opposite side of the camera, and the shape of the discharge port of the nozzle and the first state through which the laser can pass and the second state through which the laser is reflected are formed. It may be configured to include a transmission state conversion member.

여기에서, 투과상태변환부재는 PDLC소자(Polymer Dispersed Liquid Crystals)를 포함하여 구성될 수 있으며, 이 경우, 투과상태변환부재는, 한 쌍의 글라스층과, 한 쌍의 글라스층의 사이에 개재되는 PDLC소자로 구성될 수 있다.Here, the transmission state conversion member may comprise a PDLC element (Polymer Dispersed Liquid Crystals), in this case, the transmission state conversion member is interposed between a pair of glass layers, a pair of glass layers It may be composed of a PDLC element.

여기에서, 투과상태변환부재를 제1상태 및 제2상태가 되도록 하기 위하여 투과상태변환부재에 전원을 인가하는 전원인가장치가 더 포함될 수 있다.The apparatus may further include a power applying device for applying power to the transmission state conversion member so as to bring the transmission state conversion member into the first state and the second state.

또한, 노즐로 투과상태변환부재를 가압하여 투과상태변환부재를 제1상태가 되도록 하기 위하여, 헤드유닛장착장치에는 노즐이 투과상태변환부재 쪽으로 이동되도록 헤드유닛을 이동시키는 구동장치가 구비될 수 있다.In addition, in order to press the permeation state conversion member with the nozzle so that the permeation state conversion member is in the first state, the head unit mounting apparatus may be provided with a driving device for moving the head unit so that the nozzle is moved toward the permeation state conversion member. .

본 발명에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치 및 방법은, 노즐 및 레이저변위센서와 카메라와의 사이에 투과상태변환부재를 설치하고 카메라를 이용하여 레이저변위센서에서 출력된 레이저가 투과상태변환부재상에 결상되는 결상점과 노즐의 토출구의 상대위치를 측정함으로써, 위치측정의 정확도를 향상시킬 수 있으며, 위치측정에 소요되는 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.In the apparatus and method for measuring the relative position of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor, a transmission state converting member is installed between the nozzle and the laser displacement sensor and the camera, and the laser displacement is performed using the camera. By measuring the relative position of the imaging point where the laser output from the sensor is imaged on the transmission state conversion member and the discharge port of the nozzle, it is possible to improve the accuracy of the position measurement, and to reduce the time required for position measurement .

또한, 본 발명에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치 및 방법은, 투과상태변환부재를 제1상태 및 제2상태로 만들고 카메라를 이용하여 노즐 및 레이저의 결상점을 촬상하는 방법으로 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치를 측정할 수 있으므로, 측정하는 과정에서 노즐, 레이저변위센서, 카메라 및 투과상태변환부재의 위치가 변동되지 않고 고정된 상태로 유지되며, 노즐과 레이저의 결상점을 명확하게 구분하여 촬상할 수 있으므로, 위치측정의 정확도를 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Further, the apparatus and method for measuring the relative position of the ejection opening of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor according to the present invention makes the transmission state converting member into the first state and the second state and uses the camera to Since the relative position of the nozzle outlet and the laser displacement sensor can be measured by imaging the imaging point, the positions of the nozzle, the laser displacement sensor, the camera, and the transmission state conversion member are fixed without changing during the measurement. It is maintained in a state, and since imaging points of the nozzle and the laser can be clearly distinguished from each other, there is an effect of greatly improving the accuracy of position measurement.

이에 따라, 다수의 헤드유닛에 장착된 각각의 레이저변위센서의 위치를 각각의 결상점의 측정 위치를 토대로 모두 일직선 상에 정렬할 수 있다.Accordingly, the positions of the respective laser displacement sensors mounted on the plurality of head units can all be aligned in a straight line based on the measurement positions of the respective imaging points.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치, 그 상대위치측정장치가 장착되는 페이스트 디스펜서 및 그 상대위치측정장치를 이용한 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the relative position measuring device of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor according to the present invention, the paste dispenser equipped with the relative position measuring device and the head using the relative position measuring device A preferred embodiment of the method for measuring the relative position of the discharge port of the nozzle of the unit and the imaging point of the laser displacement sensor will be described.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 프레임(10)과, 프레임(10)상에 설치되고 기판(S)이 탑재되는 스테이지(20)와, 스테이지의 양측에 설치되고 Y축방향으로 연장되는 한 쌍의 지지대이동가이드(30)와, 한 쌍의 지지대이동가이드(30)에 양단이 지지되어 스테이지(20)의 상부에 설치되고 X축방향으로 연장되는 헤드지지대(40)와, 헤드지지대(40)에 X축방향으로 이동 가능하게 설치되고 페이스트가 토출되는 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)가 장착되는 헤드유닛(50)과, 노즐(53)의 토출구와 레이저변위센서(54)의 결상점의 상대위치를 측정하는 상대위치측정장치(60)를 포함하여 구성될 수 있다.1 to 4, the paste dispenser according to an embodiment of the present invention includes a frame 10, a stage 20 installed on the frame 10 and a substrate S mounted thereon, Both ends are supported on a pair of support movement guides 30 installed on both sides of the stage and extending in the Y-axis direction, and a pair of support movement guides 30 are installed on the stage 20 and installed in the X-axis direction. An extended head support 40, a head unit 50 installed on the head support 40 so as to be movable in the X-axis direction, and equipped with a nozzle 53 and a laser displacement sensor 54 for discharging paste; And a relative position measuring device 60 for measuring the relative position of the ejection opening of the 53 and the imaging point of the laser displacement sensor 54.

프레임(10)상에는, 스테이지(20)를 X축방향으로 이동시키는 X축이동장치(21)가 설치될 수 있으며, 스테이지(20)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축이동장치(22)가 설치될 수 있다. 즉, 프레임(10)상에는 Y축이동장치(22)의 Y축가이드(221)가 설치되며, Y축가이드(221)의 상부에는 X축이동장치(21)의 X축가이드(211)가 설치되고, X축가이드(211)의 상부에는 스테이지(20)가 안착될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 스테이지(20)는 X축가이드(211)에 안내되어 X축방향으로 이동될 수 있으며 X축가이드(211)가 Y축가이드(221)에 안내되어 이동되는 것에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있다. 한편, 본 발명은 Y축가이드(221)가 프레임(10)의 상부에 설치되고 X 축가이드(211)가 Y축가이드(221)의 상부에 안착되는 구성에 한정되지 아니하며, 프레임(10)의 상부에 X축가이드(211)가 설치되고 X축가이드(211)의 상부에 Y축가이드(221)가 안착되는 구성이 적용될 수 있다. 물론, X축이동장치(21) 및 X축가이드(211)와, Y축이동장치(22) 및 Y축가이드(221) 중 어느 한 쪽만이 적용되어, 스테이지를 X축방향 및 Y축방향 중 어느 한 쪽 방향으로만 이동시키는 구성이 적용될 수 있다.On the frame 10, an X-axis moving device 21 for moving the stage 20 in the X-axis direction may be installed, and a Y-axis moving device 22 for moving the stage 20 in the Y-axis direction is installed. Can be. That is, the Y-axis guide 221 of the Y-axis moving device 22 is installed on the frame 10, and the X-axis guide 211 of the X-axis moving device 21 is installed above the Y-axis moving device 22. The stage 20 may be seated on the X-axis guide 211. By such a configuration, the stage 20 may be guided by the X-axis guide 211 and moved in the X-axis direction, and the X-axis guide 211 is guided and moved by the Y-axis guide 221 to the Y-axis. Can be moved in a direction. On the other hand, the present invention is not limited to the configuration that the Y-axis guide 221 is installed on the upper portion of the frame 10 and the X-axis guide 211 is seated on the upper portion of the Y-axis guide 221, the frame 10 of the The X-axis guide 211 is installed on the upper portion and the configuration that the Y-axis guide 221 is seated on the upper portion of the X-axis guide 211 may be applied. Of course, only one of the X-axis moving device 21 and the X-axis guide 211 and the Y-axis moving device 22 and the Y-axis guide 221 is applied, so that the stage is in the X-axis direction and the Y-axis direction. A configuration that moves only in either direction can be applied.

헤드지지대(40)의 양단에는 지지대이동가이드(30)와 연결되는 지지대이동장치(41)가 설치될 수 있다. 지지대이동가이드(30)와 지지대이동장치(41)의 상호작용에 의하여 헤드지지대(40)가 지지대이동가이드(30)의 길이방향, 즉, Y축방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 헤드유닛(50)은 헤드지지대(40)의 Y축방향으로의 이동에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있다.Both ends of the head support 40 may be installed with a support for moving the support 41 is connected to the support guide movement guide (30). By the interaction of the support movement guide 30 and the support movement device 41, the head support 40 can be moved in the longitudinal direction of the support movement guide 30, that is, the Y-axis direction. Accordingly, the head unit 50 may be moved in the Y-axis direction by the movement of the head support 40 in the Y-axis direction.

헤드지지대(40)에는 X축방향으로 배치되는 헤드이동가이드(42)가 설치될 수 있고, 헤드유닛(50)에는 헤드지지대(40)의 헤드이동가이드(42)와 연결되는 헤드이동장치(51)가 설치될 수 있다. 헤드이동가이드(42)와 헤드이동장치(51)의 상호작용에 의하여 헤드유닛(50)이 헤드지지대(40)의 길이방향, 즉, X축방향으로 이동될 수 있다.The head support guide 40 may be installed in the head support 40 in the X-axis direction, and the head mover 51 may be connected to the head support guide 42 of the head support 40 in the head unit 50. ) Can be installed. By the interaction of the head moving guide 42 and the head moving device 51, the head unit 50 can be moved in the longitudinal direction of the head support 40, that is, the X axis direction.

도 2에 도시된 바와 같이, 헤드유닛(50)은, 페이스트가 충진되는 시린지(52)와, 시린지(52)와 연통되며 페이스트가 토출되는 노즐(53)과, 노즐(53)에 인접되게 배치되어 노즐(53)과 기판(S) 사이의 갭데이터를 측정하는 레이저변위센서(54)와, 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축구동부(55)와, 노 즐(53) 및 레이저변위센서(54)를 Z축방향으로 이동시키는 Z축구동부(56)를 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIG. 2, the head unit 50 is disposed adjacent to the syringe 52 in which the paste is filled, the nozzle 53 in communication with the syringe 52, and the paste is discharged. Laser displacement sensor 54 for measuring gap data between the nozzle 53 and the substrate S, and a Y-axis driving portion 55 for moving the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 in the Y-axis direction. , Z-axis driving unit 56 for moving the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 in the Z-axis direction can be configured.

레이저변위센서(54)는 레이저를 발광하는 발광부(541)와, 발광부(541)와 소정의 간격으로 이격되며 기판(S)에서 반사된 레이저가 수광되는 수광부(542)로 구성되며, 발광부(541)에서 발광되어 기판(S)에 반사된 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어부로 출력하여 기판(S)과 노즐(53) 사이의 갭데이터를 계측하는 역할을 수행한다.The laser displacement sensor 54 is composed of a light emitting unit 541 for emitting a laser, and a light receiving unit 542 spaced apart from the light emitting unit 541 at a predetermined interval and receiving a laser beam reflected from the substrate S. An electric signal corresponding to an imaging position of a laser that is emitted from the unit 541 and reflected on the substrate S is output to the controller to measure gap data between the substrate S and the nozzle 53.

또한, 헤드유닛(50)에는 기판(S)에 도포된 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정하는 단면적센서(57)가 설치될 수 있다. 이와 같은 단면적센서(57)는 기판(S)으로 레이저를 연속적으로 방출하여 페이스트 패턴(P)을 스캔하는 것을 통하여 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정한다. 단면적센서(57)로부터 측정된 페이스트 패턴(P)의 단면적에 대한 데이터는 페이스트 패턴(P)의 불량여부를 판단하는 데에 이용될 수 있다.In addition, the head unit 50 may be provided with a cross-sectional area sensor 57 for measuring the cross-sectional area of the paste pattern (P) applied to the substrate (S). The cross-sectional area sensor 57 measures the cross-sectional area of the paste pattern P by continuously emitting a laser to the substrate S and scanning the paste pattern P. FIG. Data on the cross-sectional area of the paste pattern P measured by the cross-sectional area sensor 57 may be used to determine whether the paste pattern P is defective.

한편, 헤드유닛(50)에는 노즐(53) 또는 레이저변위센서(54)에 연결되어 노즐(53)과 레이저변위센서(54)의 X축방향, Y축방향 및 Z축방향 중 적어도 하나의 방향으로의 상대위치를 조절할 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 노즐(53)의 토출구(531)의 설치위치 또는 레이저변위센서(54)의 설치위치를 자동으로 변경할 수 있다.On the other hand, the head unit 50 is connected to the nozzle 53 or the laser displacement sensor 54, at least one of the X-axis direction, Y-axis direction and Z-axis direction of the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 The configuration to adjust the relative position to the can be applied. By this structure, the installation position of the discharge port 531 of the nozzle 53 or the installation position of the laser displacement sensor 54 can be changed automatically.

상대위치측정장치(60)는 페이스트 디스펜서에 탈착이 가능하게 설치될 수 있다. 상대위치측정장치(60)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 스테이지(60)상에 설치될 수 있으며, 도 3에 도시된 바와 같이, 스테이지(20)를 이동시키는 X축이동장치(21) 상에 설치될 수 있으며, 도 4에 도시된 바와 같이, 프레임(10) 상에 설치될 수 있다. 이와 같이, 상대위치측정장치(60)의 페이스트 디스펜서로의 설치위치와 관련하여, 헤드유닛(50)의 X축 또는 Y축방향으로의 이동 또는 스테이지(20)의 X축 또는 Y축방향으로의 이동에 의하여, 헤드유닛(50)이 상대위치측정장치(60)로 접근할 수 있는 범위 내라면, 상대위치측정장치(60)의 페이스트 디스펜서로의 설치위치는 한정되지 않는다. 물론, 상대위치측정장치(60)에 별도의 이동기구를 설치하고, 상대위치측정장치(60)가 헤드유닛(50)에 접근하도록 이동되는 구성이 적용될 수 있다.The relative position measuring device 60 may be installed to be detachable from the paste dispenser. The relative position measuring device 60 may be installed on the stage 60 as shown in FIG. 1, and as shown in FIG. 3, the X-axis moving apparatus 21 for moving the stage 20. It may be installed on, and may be installed on the frame 10, as shown in FIG. In this way, in relation to the installation position of the relative position measuring device 60 to the paste dispenser, the movement of the head unit 50 in the X-axis or Y-axis direction or the stage 20 in the X-axis or Y-axis direction By the movement, if the head unit 50 is in the range which can approach the relative position measuring device 60, the installation position of the relative position measuring device 60 to the paste dispenser is not limited. Of course, a separate moving mechanism may be installed in the relative position measuring device 60 and the relative position measuring device 60 may be moved to approach the head unit 50.

도 5 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 상대위치측정장치(60)는, 상측방향, 즉, 헤드유닛(50)에 대향하도록 개방되는 개구부(611)를 가지는 지지체(61)와, 지지체(61)의 개구부(611)에 인접되게 설치되는 투과상태변환부재(62)와, 투과상태변환부재(62)가 고정되며 지지체(61)에 설치되는 플레이트(63)와, 지지체(61)에 장착되어 헤드유닛(50)의 노즐(53)의 토출구와 레이저변위센서(54)의 결상점을 촬상하기 위한 촬상장치(64)와, 헤드유닛(50)의 상대위치측정장치(60)로의 이동 또는 상대위치측정장치(60)의 헤드유닛(50)으로의 이동을 제어함과 아울러 노즐(53)의 이동 및 레이저변위센서(54)의 동작과 촬상장치(64)의 동작을 제어하는 제어부(70)를 포함하여 구성될 수 있다.5 to 12, the relative position measuring device 60 includes a support 61 having an opening 611 that opens upwardly, that is, facing the head unit 50, and the support 61. Permeation state conversion member 62 is installed adjacent to the opening 611 of the), and the transmission state conversion member 62 is fixed to the plate 63 is installed on the support 61 and the support 61 is mounted Movement or relative to the imaging device 64 for imaging the discharge port of the nozzle 53 of the head unit 50 and the imaging point of the laser displacement sensor 54 and the relative position measuring device 60 of the head unit 50. The control unit 70 controls the movement of the position measuring device 60 to the head unit 50, and also controls the movement of the nozzle 53, the operation of the laser displacement sensor 54, and the operation of the imaging device 64. It may be configured to include.

투과상태변환부재(62)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 글라스(621)와, 글라스(621)에 접착필름(622)을 통하여 부착되는 PDLC소자(623)로 구성될 수 있다. 또한, 투과상태변환부재(62)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 투명한 한 쌍의 글라스 층(624)과, 한 쌍의 글라스층(624) 사이에 개재되는 PDLC소자(623)로 구성될 수 있다. As shown in FIG. 8, the transmissive state converting member 62 may include a glass 621 and a PDLC element 623 attached to the glass 621 through an adhesive film 622. Also, as shown in FIG. 9, the transmission state conversion member 62 may include a pair of transparent glass layers 624 and a PDLC element 623 interposed between the pair of glass layers 624. Can be.

여기에서, PDLC소자(623)는 고분자 분산형 액정 표시소자(PDLC, Polymer Dispersed Liquid Crystals)로서, 고분자 매트릭스 내에 액정이 고르게 분포되어 있는 구조로 되어 있으며, 전원이 인가되는 경우에는 전기장의 영향으로 액정의 배열이 고분자 매트릭스의 굴절률 배열과 같아지도록 변하게 되어 물체의 형상을 포함한 빛이 투과될 수 있는 제1상태가 되며, 전원이 차단되는 경우에는 빛이 반사되면서 결상점을 형성하는 제2상태가 된다.Here, the PDLC element 623 is a polymer dispersed liquid crystal (PDLC), and has a structure in which the liquid crystal is evenly distributed in the polymer matrix, and when the power is applied, the liquid crystal is affected by the electric field. The array of is changed to be the same as the refractive index array of the polymer matrix to become a first state through which light, including the shape of the object, can be transmitted, and when the power is cut off, the second state forms an imaging point while reflecting light. .

또한, PDLC소자(623)는 전원이 차단된 상태에서도 소정의 압력으로 가압되면 액정의 배열이 변화되어 물체의 형상을 포함한 빛이 투과될 수 있는 제1상태가 되며, 그에 대한 압력이 해제되는 경우에는 빛이 반사되면서 결상점이 형성되는 제2상태가 되는 특성을 가지고 있다.In addition, when the PDLC element 623 is pressed at a predetermined pressure even when the power is cut off, the arrangement of the liquid crystals is changed to a first state through which light including the shape of an object can pass, and when the pressure is released. Has a characteristic of being in a second state in which light is reflected and an image forming point is formed.

이하, 도 12를 참조하여, 투과상태변환부재(62)의 작용을 설명한다. 투과상태변환부재(62)가 제1상태가 되면 레이저변위센서(54)의 발광부(541)에서 발광된 레이저는 투과상태변환부재(62)에서 반사되지 않고 투과되므로 투과상태변환부재(62)에 정확한 결상점(545)를 형성하지 못한다. 이와 같은 경우에는 레이저의 결상점(545)은 촬상이 불가능하나 투과상태변환부재(62)를 통한 노즐(53)의 촬상은 가능하다. 반면에, 투과상태변환부재(62)가 제2상태가 되면 촬상장치(64)로 노즐(53)을 촬상할 수는 없으나, 레이저변위센서(54)의 발광부(541)에서 발광된 레이저는 투과상태변환부재(62)에서 반사되면서 투과상태변환부재(62)에 결상점(545)을 형성하므로 레이저의 결상점(545)의 촬상이 가능하다.Hereinafter, with reference to FIG. 12, the operation of the transmission state conversion member 62 will be described. When the transmission state conversion member 62 is in the first state, the laser light emitted from the light emitting unit 541 of the laser displacement sensor 54 is transmitted without being reflected by the transmission state conversion member 62, thereby transmitting the transmission state conversion member 62. Fail to form an accurate imaging point 545. In this case, imaging of the imaging point 545 of the laser is impossible, but imaging of the nozzle 53 through the transmission state conversion member 62 is possible. On the other hand, when the transmission state conversion member 62 is in the second state, the nozzle 53 cannot be imaged by the imaging device 64, but the laser light emitted from the light emitting unit 541 of the laser displacement sensor 54 Since the imaging point 545 is formed on the transmission state conversion member 62 while being reflected by the transmission state conversion member 62, imaging of the imaging point 545 of the laser is possible.

본 발명은 상기한 바와 같은 투과상태변환부재(62)의 특성을 이용한 것으로, 투과상태변환부재(62)가 노즐(53)의 토출구(531)의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태로 변환된 경우에는 노즐(53)의 토출구(531)를 촬상하고, 투과상태변환부재(62)가 노즐(53)의 토출구(531)의 형상은 적절히 투과되지 않고 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변환된 경우에는 투과상태변환부재(62)에 결상되는 레이저의 결상점(545)을 촬상하여, 노즐(53)의 토출구(531)의 위치와 레이저변위센서(54)의 결상점(545)의 위치를 이미지 분석방법으로 측정함으로써, 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저변위센서(54)의 결상점(545)의 상대위치, 즉, 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저변위센서(54)의 결상점(545)의 상대좌표 또는 토출구(531)와 결상점(545) 사이의 거리(d) 및 방향을 측정할 수 있게 된다.The present invention utilizes the characteristics of the transmissive state changing member 62 as described above, and the transmissive state converting member 62 has a shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 and a first state through which the laser beam can pass. In the case of the conversion, the discharge port 531 of the nozzle 53 is imaged, and the second state in which the transmission state conversion member 62 forms an image while reflecting the laser is not properly transmitted through the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53. In the case of conversion to the image, the imaging point 545 of the laser image formed on the transmission state conversion member 62 is imaged, and the position of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser displacement sensor 54. By measuring the position of the position by the image analysis method, the relative position of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser displacement sensor 54, that is, the discharge port 531 and the laser displacement of the nozzle 53 The relative coordinates of the imaging point 545 of the sensor 54 or the distance d and the direction between the discharge port 531 and the imaging point 545 can be measured. The.

도 11에 도시된 바와 같이, 투과상태변환부재(62)가 제1상태 및 제2상태가 되도록 하기 위하여, 투과상태변환부재(62)에 전원을 인가하는 전원인가장치(75)가 더 구비될 수 있다.As shown in FIG. 11, a power applying device 75 for applying power to the transmission state conversion member 62 may be further provided in order for the transmission state conversion member 62 to be in the first state and the second state. Can be.

한편, 투과상태변환부재(62)는 본 발명의 실시예에서 제시한 바와 같이 PDLC소자(623)을 포함하는 구성에 한정되지 아니하며, 투과상태변환부재(62)로 복수의 레이어로 구성되어 조건에 따라 광의 굴절각도를 변경하는 것에 의하여 상기한 바와 같은 제1상태 및 제2상태로의 변환을 가능하게 할 수 있는 구성 등, 다양한 구성이 적용될 수 있다.On the other hand, the transmission state conversion member 62 is not limited to the configuration including the PDLC element 623, as shown in the embodiment of the present invention, the transmission state conversion member 62 is composed of a plurality of layers to the condition Accordingly, various configurations may be applied, such as a configuration capable of enabling conversion to the first state and the second state as described above by changing the angle of refraction of the light.

플레이트(63)는, 지지체(61) 상에 슬라이드 이동 가능하게 배치되는 제1플레 이트(631)와, 제1플레이트(631) 상에 슬라이드 이동 가능하게 배치되는 제2플레이트(632)로 구성될 수 있다. 제1플레이트(631)에는 지지체(61)의 개구부(611)와 연통되는 개구(633)이 형성되고, 제2플레이트(632)에는 지지체(61)의 개구부(611) 및 제2플레이트(631)의 개구(633)와 연통되는 개구(634)가 형성되며, 제2플레이트(632)의 개구(634)에는 투과상태변환부재(62)가 설치된다. 또한, 제1플레이트(631)가 지지체(61) 상에서 슬라이드 이동될 수 있도록, 제1플레이트(631)와 지지체(61) 사이에는 제1가이드(635)가 설치될 수 있고, 제2플레이트(632)가 제1플레이트(631) 상에서 슬라이드 이동될 수 있도록, 제1플레이트(631)와 제2플레이트(632) 사이에는 제1가이드(636)가 설치될 수 있다. 제1플레이트(631)와 제2플레이트(632)의 슬라이드 이동에 의하여 투과상태변환부재(62)의 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)에 대향하는 위치를 적절하게 조절할 수 있는 효과가 있다. 제1플레이트(631)와 제2플레이트(632)의 슬라이드 이동은 자동 또는 수동에 의하여 수행될 수 있다. 한편, 본 발명은 상기한 바와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 플레이트(63)를 구비하지 않고, 투과상태변환부재(62)가 지지체(61)의 개구부(611)에 직접 설치되는 구성이 적용될 수 있다.The plate 63 may include a first plate 631 that is slidably disposed on the support 61, and a second plate 632 that is slidably disposed on the first plate 631. Can be. An opening 633 is formed in the first plate 631 to communicate with the opening 611 of the support 61, and the opening 611 and the second plate 631 of the support 61 are formed in the second plate 632. An opening 634 communicating with the opening 633 of the second plate 632 is formed, and a transmission state converting member 62 is provided in the opening 634 of the second plate 632. In addition, a first guide 635 may be installed between the first plate 631 and the support 61 so that the first plate 631 can be slidably moved on the support 61, and the second plate 632. The first guide 636 may be installed between the first plate 631 and the second plate 632 so that) may slide on the first plate 631. The slide plate of the first plate 631 and the second plate 632 can be appropriately adjusted to the position facing the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 of the transmission state conversion member 62. . The slide movement of the first plate 631 and the second plate 632 may be performed automatically or manually. On the other hand, the present invention is not limited to the above-described configuration, it is possible to apply a configuration in which the transmissive state conversion member 62 is installed directly in the opening 611 of the support 61 without the plate 63. .

촬상장치(64)는, 지지체(61)의 개구부(611)에 인접되게 설치되는 반사판(641)과, 반사판(641)에서 반사된 화상을 촬상하는 카메라(642)와, 지지체(61)의 개구부(611) 및 카메라(642)에 인접되게 설치되어 발광하는 조명기(643)와, 지지체(61)에 고정되어 반사판(641), 카메라(642) 및 조명기(643)를 상하방향, 전후방향 및 좌우방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 이동시키는 촬상위치조절기(644) 를 포함하여 구성될 수 있다.The imaging device 64 includes a reflecting plate 641 provided adjacent to the opening 611 of the support 61, a camera 642 for capturing an image reflected by the reflecting plate 641, and an opening of the support 61. 611 and the illuminator 643 installed adjacent to the camera 642 and fixed to the support 61, and the reflecting plate 641, the camera 642 and the illuminator 643 in the vertical direction, front and rear and left and right It may be configured to include an image pickup position adjuster 644 to move in at least one of the directions.

반사판(641)은 투과상태변환부재(62)를 통하여 입사되는 노즐(53)의 토출구(531)의 형상 및 투과상태변환부재(62)에 결상되는 레이저의 결상점(545)을 카메라(642)를 향하여 반사시키는 역할을 하며, 카메라(642)는 이와 같은 노즐(53)의 토출구(531)의 형상 및 레이저의 결상점(545)을 촬상하는 역할을 수행한다. 본 발명에서는 상대위치측정장치(60)의 실시예로 촬상장치(64)가 반사판(641) 및 카메라(642)가 구비되는 구성에 대하여 설명하지만, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 반사판(641)이 구비되지 않고, 카메라(642)가 지지체(61)의 개구부(611)에 인접된 부위에 직접 설치되어 노즐(53)의 토출구(531)의 형상 및 레이저의 결상점(545)을 촬상하는 구성이 적용될 수 있다.The reflector plate 641 has a shape of the discharge hole 531 of the nozzle 53 incident through the transmission state conversion member 62 and an imaging point 545 of the laser formed at the transmission state conversion member 62. The camera 642 serves to image the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser. In the present invention, a configuration in which the imaging device 64 is provided with the reflecting plate 641 and the camera 642 in the embodiment of the relative position measuring device 60, but the present invention is not limited to such a configuration, the reflecting plate 641 is not provided, and the camera 642 is directly installed at a portion adjacent to the opening 611 of the support 61 to form the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser. A configuration for imaging can be applied.

조명기(643)는 카메라(642)의 동작 시 주위의 조명을 조절하는 역할을 수행한다.The illuminator 643 serves to adjust the ambient light during the operation of the camera 642.

촬상위치조절기(644)는, 반사판(641), 카메라(642) 및 조명기(643)를 상하방향, 전후방향 및 좌우방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 이동시켜, 노즐(53)의 토출구(531)의 형상 및 레이저의 결상점(545)의 위치에 맞도록 반사판(641), 카메라(642) 및 조명기(643)의 위치를 조절하는 역할을 수행한다. 이와 같은 구성에 의하여, 본 발명은 노즐(53)의 토출구(531)의 형상 및 레이저의 결상점(545)을 정확한 위치에서 촬상할 수 있는 효과가 있다.The imaging position controller 644 moves the reflecting plate 641, the camera 642, and the illuminator 643 in at least one of up, down, front, and left, and right directions to discharge the outlet 531 of the nozzle 53. The position of the reflector 641, the camera 642 and the illuminator 643 is adjusted to match the shape of the laser and the position of the imaging point 545 of the laser. By such a configuration, the present invention has the effect of imaging the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser at an accurate position.

이하, 본 발명에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치를 이용한 상대위치측정방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, the relative position measuring method using the relative position measuring device of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor according to the present invention will be described.

전술한 바와 같이, 투과상태변환부재(62)는, 전원의 인가 또는 차단에 의하여 노즐(53)의 토출구(531)의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태 및 노즐(53)의 토출구(531)의 형상은 투과되지 않고 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변화되며, 전원이 차단된 상태에서도 소정의 압력으로의 가압 또는 가압해제에 의하여 노즐(53)의 토출구(531)의 형상이 투과될 수 있는 제1상태 및 노즐(53)의 토출구(531)의 형상은 투과되지 않고 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변환된다. 이와 같이, 투과상태변환부재(62)가 제1상태 및 제2상태로 되도록 하기 위해서는 전원의 인가 또는 차단 및 가압 또는 가압해제의 두 가지의 방법을 적용할 수 있다. 따라서, 투과상태변환부재(62)에 전원을 인가 또는 차단하면서 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)을 촬상하는 방법(도 13 참조)과 투과상태변환부재(62)를 가압하거나 가압해제 하면서 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)을 촬상하는 방법(도 14 참조)을 나누어 설명한다.As described above, the transmission state conversion member 62 has a shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the discharge state of the nozzle 53 and the first state through which the laser beam can be transmitted by applying or blocking power. The shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 is changed to a second state in which the shape of the nozzle 531 is not transmitted but is reflected while the laser is reflected, and is pressed or released under a predetermined pressure even when the power is cut off. The first state that can be transmitted and the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 are converted into a second state that is imaged while the laser is reflected without being transmitted. As described above, in order to make the transmission state conversion member 62 be in the first state and the second state, two methods of applying or interrupting power and pressing or releasing the pressure may be applied. Therefore, a method of imaging the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser while applying or interrupting power to the transmission state conversion member 62 (see FIG. 13) and the transmission state conversion member 62. The method for imaging the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser while pressing or releasing the pressure will be described in detail.

전술한 첫 번째 방법으로, 도 13을 참조하여, 투과상태변환부재(62)에 전원을 인가 또는 차단하면서 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)을 촬상하는 방법을 설명한다.As a first method described above, referring to FIG. 13, a method of imaging the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser while applying or cutting power to the transmission state conversion member 62 will be described. do.

먼저, 제어부(70)는 헤드유닛(50)와 상대위치측정장치(60) 중 적어도 하나를 이동시켜 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)가 투과상태변환부재(62)와 인접되도록 위치시킨다. 헤드유닛(50)의 이동을 위하여 지지대이동장치(41) 및 헤드이동장치(51)가 작동될 수 있으며, 상대위치측정장치(60)가 스테이지(20) 또는 X축이동장치(21)에 설치된 경우에는 상대위치측정장치(60)의 이동을 위하여 X축이동장치(21) 또는 Y축이동장치(22)가 작동될 수 있다. 그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 헤드유닛(50)과 상대위치측정장치(60)가 서로 인접되게 위치된 경우에는, 헤드유닛(50)의 Z축구동부(56)가 동작하여 헤드유닛(50)의 노즐(53)과 레이저변위센서(54)를 투과상태변환부재(62)과 소정의 간격이 유지되도록 이동시킨다(S110). 이 때, 노즐(53)과 레이저변위센서(54)를 투과상태변환부재(62)에 인접되도록 위치시키는 경우, 노즐(53)의 토출구(531)와 투과상태변환부재(62)의 사이의 간격은 실제의 공정에 있어서의 노즐(53)과 기판(S) 사이의 간격과 동일하게 설정되는 것이 바람직하다.First, the control unit 70 moves at least one of the head unit 50 and the relative position measuring device 60 to position the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 adjacent to the transmission state converting member 62. . For the movement of the head unit 50, the support base moving device 41 and the head moving device 51 may be operated, and the relative position measuring device 60 is installed on the stage 20 or the X axis moving device 21. In this case, the X-axis moving device 21 or the Y-axis moving device 22 may be operated to move the relative position measuring device 60. As shown in FIG. 10, when the head unit 50 and the relative position measuring device 60 are positioned adjacent to each other, the Z-axis driving unit 56 of the head unit 50 operates to operate the head unit ( The nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 of the 50 are moved to maintain a predetermined distance from the transmission state conversion member 62 (S110). At this time, when the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 are positioned to be adjacent to the transmission state conversion member 62, the interval between the discharge port 531 of the nozzle 53 and the transmission state conversion member 62. Is preferably set equal to the interval between the nozzle 53 and the substrate S in the actual step.

그리고, 전원인가장치(75)를 작동하여 투과상태변환부재(62)로 전원을 인가한다. 투과상태변환부재(62)는 전원의 인가에 따라 노즐(53)의 토출구(531)의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태로 변하게 되어 노즐(53)을 투과상태변환부재(62)를 통하여 촬상할 수 있는 상태가 된다. 이때, 카메라(642)로 노즐(53)을 촬상한다(S120).Then, the power applying device 75 is operated to apply power to the transmission state conversion member 62. The transmission state conversion member 62 changes to the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the first state through which the laser beam can be transmitted, according to the application of the power source. It becomes a state which can be picked up through. At this time, the nozzle 53 is picked up by the camera 642 (S120).

그리고, 전원인가장치(75)를 작동하여 투과상태변환부재(62)로 인가되는 전원을 차단한다. 투과상태변환부재(62)는 전원의 차단에 따라 노즐(53)의 토출구(531)의 형상은 적절히 투과되지 않고 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변하게 된다. 이때, 레이저변위센서(54)를 동작하면, 발광부(541)로부터 레이저가 발광되며, 발광된 레이저는 투과상태변환부재(62)에 결상된다. 이때, 카메라(642)로 레이저의 결상점(545)를 촬상한다(S130).Then, the power applying device 75 is operated to cut off the power applied to the transmission state conversion member 62. As the transmission state converting member 62 is turned off, the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 is changed to a second state in which an image is formed while the laser beam is reflected without being properly transmitted. At this time, when the laser displacement sensor 54 is operated, the laser is emitted from the light emitting unit 541, and the emitted laser is imaged on the transmission state conversion member 62. At this time, the imaging point 545 of the laser is imaged by the camera 642 (S130).

여기에서, 투과상태변환부재(62)로 전원을 인가하여 투과상태변환부재(62)를 제1상태로 만들고 노즐(53)을 촬상하는 단계(S120)와, 투과상태변환부재(62)로의 전원을 차단하여 투과상태변환부재(62)를 제2상태로 만들고 레이저의 결상점(545)를 촬상하는 단계(S130)는 그 순서가 서로 바뀔 수 있다.Here, the step of applying the power to the transmission state conversion member 62 to make the transmission state conversion member 62 to the first state and imaging the nozzle 53 (S120) and the power supply to the transmission state conversion member 62 In order to make the transmission state converting member 62 to the second state and to capture the imaging point 545 of the laser (S130), the order may be reversed.

상기한 바와 같이, 노즐(53)의 촬상 및 레이저의 결상점(545)의 촬상이 완료되면, 도 12에 도시된 바와 같이, 제어부(70)는 노즐(53)의 촬상된 이미지데이터로부터 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)의 상대위치를 측정하게 된다(S140). 이와 같이 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)의 위치측정이 완료되면, 측정된 위치값이 미리 설정된 위치값의 허용범위에 만족하는지를 판단하고 만족하지 아니한 경우에는 노즐(53) 또는 레이저변위센서(54)의 설치위치를 변경하는 단계가 수행될 수 있다. 여기에서, 헤드유닛(50)에는 노즐(53) 또는 레이저변위센서(54)에 연결되어 노즐(53)과 레이저변위센서(54)의 X축방향, Y축방향 및 Z축방향 중 적어도 하나의 방향으로의 상대위치를 조절할 수 있는 구성이 적용될 수 있는 바, 제어부(70)의 제어에 의하여 노즐(53)의 토출구(531)의 설치위치 또는 레이저변위센서(54)의 설치위치가 자동으로 변경될 수 있다.As described above, when the imaging of the nozzle 53 and the imaging of the imaging point 545 of the laser are completed, as shown in FIG. 12, the controller 70 controls the nozzle (from the captured image data of the nozzle 53). The relative position of the discharge port 531 of the 53 and the imaging point 545 of the laser is measured (S140). When the position measurement of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser is completed as described above, it is determined whether the measured position value satisfies the allowable range of the preset position value. 53) or changing the installation position of the laser displacement sensor 54 may be performed. Here, the head unit 50 is connected to the nozzle 53 or the laser displacement sensor 54 to at least one of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction of the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54. The configuration to adjust the relative position in the direction can be applied, the installation position of the discharge port 531 of the nozzle 53 or the installation position of the laser displacement sensor 54 is automatically changed by the control of the control unit 70 Can be.

이하, 전술한 두 번째 방법으로, 도 14를 참조하여, 투과상태변환부재(62)를 가압하거나 가압해제 하면서 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)을 촬상하는 방법을 설명한다. 즉, 전원이 차단된 상태에서도 소정의 압력으로 가압되면 액정의 배열이 변화되어 물체의 형상을 포함한 빛이 투과될 수 있는 제1상태가 되며, 그에 대한 압력이 해제되는 경우에는 빛이 반사되면서 결상점이 형성되는 제2상태로 변환되는 PDLC소자(623)의 특성을 이용한 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저 변위센서(54)의 결상점(545)의 상대위치를 측정하는 방법이 제시된다.Hereinafter, as a second method described above, referring to FIG. 14, a method of imaging the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser while pressing or releasing the transmission state conversion member 62 is described. Explain. That is, even when the power is cut off, when the pressure is applied at a predetermined pressure, the arrangement of the liquid crystals is changed to become a first state through which the light including the shape of the object can pass. A method of measuring the relative position of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser displacement sensor 54 using the characteristics of the PDLC element 623 that is converted into a second state where a dot is formed is presented. .

먼저, 전술한 바와 같이, 먼저, 제어부(70)는 헤드유닛(50)와 상대위치측정장치(60) 중 적어도 하나를 이동시켜 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)가 투과상태변환부재(62)와 인접되도록 위치시킨다. 그리고, 헤드유닛(50)과 상대위치측정장치(60)가 서로 인접되게 위치된 경우에는, 헤드유닛(50)의 Z축구동부(56)가 동작하여 헤드유닛(50)의 노즐(53)과 레이저변위센서(54)를 투과상태변환부재(62)과 소정의 간격이 유지되도록 이동시킨다(S210). 여기에서, 노즐(53)의 위치는 노즐(53)이 투과상태변환부재(62)에 접촉되되 투과상태변환부재(62)를 가압하지 않을 정도로 설정되는 것이 바람직하다.First, as described above, first, the control unit 70 moves at least one of the head unit 50 and the relative position measuring device 60 so that the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 transmit the transmission state conversion member ( Adjacent to 62). When the head unit 50 and the relative position measuring device 60 are positioned adjacent to each other, the Z-axis driving unit 56 of the head unit 50 operates to operate the nozzle 53 of the head unit 50 and the nozzle unit 53. The laser displacement sensor 54 is moved to maintain a predetermined distance with the transmission state conversion member 62 (S210). Here, the position of the nozzle 53 is preferably set such that the nozzle 53 is in contact with the transmission state conversion member 62 but does not pressurize the transmission state conversion member 62.

그리고, 레이저변위센서(54)를 동작시키면, 발광부(541)로부터 레이저가 발광되며, 발광된 레이저는 투과상태변환부재(62)에 결상된다. 이때, 카메라(642)로 레이저의 결상점(545)를 촬상한다(S220).When the laser displacement sensor 54 is operated, a laser is emitted from the light emitting unit 541, and the emitted laser is imaged on the transmission state converting member 62. At this time, the imaging point 545 of the laser is imaged by the camera 642 (S220).

그리고, 헤드유닛(50)의 Z축구동부(56)를 동작하여 노즐(53)을 투과상태변환부재(62)로 이동시켜, 투과상태변환부재(62)를 가압한다. 투과상태변환부재(62)는 노즐(53)의 가압에 의하여 노즐(53)의 토출구(531)의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태로 변하게 되어 노즐(53)을 투과상태변환부재(62)를 통하여 촬상할 수 있는 상태가 된다. 이때, 카메라(642)로 노즐(53)을 촬상한다(S230).Then, the Z-axis driving unit 56 of the head unit 50 is operated to move the nozzle 53 to the transmission state conversion member 62 to pressurize the transmission state conversion member 62. The transmission state conversion member 62 is changed to the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the first state through which the laser beam can be transmitted by the pressure of the nozzle 53 to move the nozzle 53 into the transmission state conversion member ( Through 62), the image can be captured. At this time, the nozzle 53 is picked up by the camera 642 (S230).

여기에서, 투과상태변환부재(62)를 가압하지 않은 상태에서, 즉, 노즐(53)의 토출구(531)의 형상은 투과되지 않고 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태에서 레이저의 결상점(545)를 촬상하는 단계(S220)와, 투과상태변환부재(62)를 가압하여 투과상태변환부재(62)를 제1상태로 만들고 노즐(53)을 촬상하는 단계(S230)는 그 순서가 서로 바뀔 수 있다.Here, the imaging point 545 of the laser in the second state in which the transmission state converting member 62 is not pressed, that is, the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 is formed while reflecting the laser without being transmitted. ) (S220) and the step of pressing the transmission state conversion member 62 to make the transmission state conversion member 62 in the first state and the step (S230) of imaging the nozzle 53 are reversed. Can be.

상기한 바와 같이, 노즐(53)의 촬상 및 레이저의 결상점(545)의 촬상이 완료되면, 도 12에 도시된 바와 같이, 노즐(53)의 촬상된 이미지데이터로부터 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)의 상대위치를 측정하게 된다(S240). 이와 같이 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)의 상대위치 측정이 완료되면, 측정된 위치가 미리 설정된 범위에 만족하는지를 판단하고 만족하지 아니한 경우에는 노즐(53) 또는 레이저변위센서(54)의 설치위치를 변경하는 단계가 수행될 수 있다. 여기에서, 헤드유닛(50)에는 노즐(53) 또는 레이저변위센서(54)에 연결되어 노즐(53)과 레이저변위센서(54)의 X축방향, Y축방향 및 Z축방향 중 적어도 하나의 방향으로의 상대위치를 조절할 수 있는 구성이 적용될 수 있는 바, 제어부(70)의 제어에 의하여 노즐(53)의 토출구(531)의 설치위치 또는 레이저변위센서(54)의 설치위치가 자동으로 변경될 수 있다.As described above, when the imaging of the nozzle 53 and the imaging of the imaging point 545 of the laser are completed, as shown in FIG. 12, the ejection openings of the nozzle 53 from the captured image data of the nozzle 53 ( 531 and the relative position of the imaging point 545 of the laser (S240). When the relative position measurement of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser is completed as described above, it is determined whether the measured position satisfies a preset range, and if it is not satisfied, the nozzle 53 or the laser The step of changing the installation position of the displacement sensor 54 may be performed. Here, the head unit 50 is connected to the nozzle 53 or the laser displacement sensor 54 to at least one of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction of the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54. The configuration to adjust the relative position in the direction can be applied, the installation position of the discharge port 531 of the nozzle 53 or the installation position of the laser displacement sensor 54 is automatically changed by the control of the control unit 70 Can be.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 헤드유닛의 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저변위센서(54)의 결상점(545)의 상대위치측정장치(60)는, 투과상태변환부재(62)를 제1상태 및 제2상태로 만들고 카메라(642)를 이용하여 노즐(53) 및 레이저의 결상점(545)을 촬상하는 방법으로 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저변위센서(54)의 결상점(545)의 상대위치를 측정할 수 있으므로, 노즐(53)과 레이저의 결상점(545)을 명확하게 구분하여 촬상할 수 있으므로, 위치측정의 정확도를 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the relative position measuring device 60 of the discharge port 531 of the nozzle 53 of the head unit and the imaging point 545 of the laser displacement sensor 54 according to an embodiment of the present invention, the transmission state conversion member ( The discharge port 531 of the nozzle 53 and the laser displacement sensor (a method of imaging the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser by using the camera 642 and making the first state and the second state 62). Since the relative position of the imaging point 545 of 54 can be measured, imaging can be made by clearly distinguishing the imaging point 545 of the nozzle 53 and the laser, so that the accuracy of position measurement can be greatly improved. There is.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 상대위치측정장치(60)는, 페이스트 디스펜서에 탈착이 가능하게 설치될 수 있으므로, 페이스트 디스펜서가 동작하는 도중, 페이스트 디스펜서로부터 기판(S)이 반출된 후, 페이스트 디스펜서를 장시간 동안 사용한 후, 노즐이 교체되거나 시린지가 교체된 후 또는 일정 작업 주기 등, 요구하는 시기에 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저변위센서(54)의 결상점(545)의 상대위치를 측정하여 노즐(53) 또는 레이저변위센서(54)가 설계조건에 맞는 위치에 설치되었는지를 판단할 수 있으므로, 페이스트 디스펜서의 작업효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, since the relative position measuring device 60 according to an embodiment of the present invention can be detachably installed in the paste dispenser, after the substrate S is removed from the paste dispenser while the paste dispenser is in operation, After the paste dispenser is used for a long time, after the nozzle is replaced, the syringe is replaced, or at a predetermined working period, the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser displacement sensor 54 are required. By measuring the relative position, it is possible to determine whether the nozzle 53 or the laser displacement sensor 54 is installed at a position that meets the design conditions, thereby improving the work efficiency of the paste dispenser.

이하, 도 15 내지 도 17을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치에 대하여 설명한다. 전술한 실시예에서 설명한 것과 동일한 부분에 대하여는 동일한 도면부호를 부여하고 설명은 생략한다.Hereinafter, referring to FIGS. 15 to 17, a relative position measuring apparatus of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor according to another embodiment of the present invention will be described. The same parts as those described in the above embodiment are given the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

도 15 내지 도 17에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치는, 페이스트가 토출되는 노즐(53)과 레이저변위센서(54)가 구비되는 헤드유닛(50)이 장착되는 헤드유닛장착장치(80)와, 노즐(53)과 레이저변위센서(54)의 대향측에 위치되는 카메라(90)와, 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)와 카메라(90)의 사이에 배치되는 투과상태변환부재(100)와, 노즐(53)과 레이저변위센서(54)를 투과상태변환부재(100)를 향하여 이동시키는 구동장치(83)와, 레이저변위센서(54), 카메라(90) 및 구동장치(83)를 제어하는 제어부(700)를 포함하여 구성될 수 있다. 한편, 전술한 일실시 예와 같이, 투과상태변환부재(100)로 전원을 인가하거나 차단하는 전원인가장치(75)가 더 구비될 수 있다.15 to 17, the relative position measuring device of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor according to another embodiment of the present invention, the nozzle 53 and the laser displacement from which the paste is discharged The head unit mounting apparatus 80 to which the head unit 50 provided with the sensor 54 is mounted, the camera 90 located on the opposite side of the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54, and the nozzle 53 ) And the transmission state conversion member 100 disposed between the laser displacement sensor 54 and the camera 90, and the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 to move toward the transmission state conversion member 100. It may be configured to include a drive unit 83, the laser displacement sensor 54, the camera 90 and the control unit 700 for controlling the drive unit 83. On the other hand, as in the above-described embodiment, a power supply device 75 for applying or cutting power to the transmission state conversion member 100 may be further provided.

이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 상대위치측정장치는, 페이스트 디스펜서에 장착되는 헤드유닛(50)을 헤드유닛장착장치(80)에 고정시킨 후, 헤드유닛(50)의 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저변위센서(54)의 결상점(545)의 상대위치를 측정하는 장치이다. 여기에서, 헤드유닛(50)은 전술한 일실시예에서 설명한 헤드유닛(50)과 동일한 구성을 가진다.As described above, in the relative position measuring apparatus according to another embodiment of the present invention, after fixing the head unit 50 mounted on the paste dispenser to the head unit mounting apparatus 80, the nozzle 53 of the head unit 50 is fixed. The relative position of the discharge port 531 and the imaging point 545 of the laser displacement sensor 54 is measured. Here, the head unit 50 has the same configuration as the head unit 50 described in the above embodiment.

헤드유닛장착장치(80)는 투과상태변환부재(100)가 안착되는 스테이지부(81)와, 스테이지부(81)에 고정되어 상측방향으로 수직 연장되며 헤드유닛(50)이 장착되는 프레임부(82)로 구성될 수 있다. 스테이지부(81)의 상측에는 헤드유닛(50)이 위치되며, 스테이지부(81)의 하측에는 카메라(90)가 위치될 수 있다. 스테이지부(81)의 투과상태변환부재(100)가 안착되는 부분에는 카메라(90)가 투과상태변환부재(100)에 결상되는 레이저의 결상점(545) 및 노즐(53)을 촬상할 수 있도록 관통홀(811)이 형성된다.The head unit mounting apparatus 80 includes a stage portion 81 on which the transmissive state conversion member 100 is seated, and a frame portion fixed to the stage portion 81 and vertically extending upward, and on which the head unit 50 is mounted. 82). The head unit 50 may be positioned above the stage unit 81, and the camera 90 may be positioned below the stage unit 81. In the part where the transmission state converting member 100 of the stage unit 81 is seated, the camera 90 may image the imaging point 545 and the nozzle 53 of the laser formed on the transmission state converting member 100. The through hole 811 is formed.

카메라(90)는 스테이지부(81)의 하측에 마련된 지지플레이트(91)에 브래킷(92)에 의하여 상하방향으로 위치조절이 가능하게 고정될 수 있다.The camera 90 may be fixed to the support plate 91 provided at the lower side of the stage unit 81 by the bracket 92 so that the position may be adjusted in the vertical direction.

투과상태변환부재(100)은, 도 8 또는 도 9에 도시된 바와 같이, 일실시예에서 설명한 구성과 동일한 구성으로 이루어질 수 있다. 다만, 투과상태변환부재(100)는 일실시예에서 제시한 바와 같이 PDLC소자를 포함하는 구성에 한정되지 아니하며, 투과상태변환부재(100)로 복수의 레이어로 구성되어 조건에 따라 광의 굴절각도를 변경하는 것에 의하여 상기한 바와 같은 제1상태 및 제2상태로의 변환을 가능하게 할 수 있는 구성 등, 다양한 구성이 적용될 수 있다.As shown in FIG. 8 or 9, the transmission state converting member 100 may have the same configuration as the configuration described in the embodiment. However, the transmission state conversion member 100 is not limited to the configuration including the PDLC element as shown in one embodiment, the transmission state conversion member 100 is composed of a plurality of layers to vary the refractive angle of the light according to the conditions Various configurations can be applied, such as a configuration capable of enabling conversion to the first state and the second state as described above by changing.

구동장치(83)는 헤드유닛장착장치(80)의 프레임부(82)에 설치되어 헤드유닛(50)을 상하측방향(Z축방향)으로 이동시키는 역할을 수행한다. 구동장치(83)의 동작에 의한 헤드유닛(50)의 상하측방향으로의 이동에 따라 노즐(53)과 투과상태변환부재(100) 사이의 간격이 조절된다. 다만, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 아니하며, 노즐(53)과 투과상태변환부재(100) 사이의 간격은 헤드유닛(50)에 장착되어 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)를 Z축방향으로 이동시키는 Z축구동부(56)의 동작에 의하여 조절될 수 있다.The driving device 83 is installed in the frame portion 82 of the head unit mounting device 80 to move the head unit 50 in the vertical direction (Z-axis direction). The gap between the nozzle 53 and the transmission state converting member 100 is adjusted as the head unit 50 moves upward and downward by the operation of the driving device 83. However, the present invention is not limited to this embodiment, the distance between the nozzle 53 and the transmission state conversion member 100 is mounted to the head unit 50 to Z the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 It can be adjusted by the operation of the Z-axis drive unit 56 to move in the axial direction.

이하, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 다른 실시예에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치를 이용한 상대위치측정방법에 대하여 설명한다. 여기에서, 일실시예에서 설명한 도 13 및 도 14가 참조될 수 있다.Hereinafter, the relative position measuring method using the relative position measuring device of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor according to another embodiment of the present invention configured as described above will be described. Here, reference may be made to FIGS. 13 and 14 described in an embodiment.

전술한 일실시예와 마찬가지로, 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치를 측정하는 데에 있어, 투과상태변환부재(100)에 전원을 인가 또는 차단하면서 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)을 촬상하는 방법(도 13 참조)과 투과상태변환부재(100)를 가압하거나 가압해제 하면서 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)을 촬상하는 방법(도 14 참조)이 적용될 수 있다.As in the above-described embodiment, in the measurement of the relative position of the ejection opening of the nozzle and the imaging point of the laser displacement sensor, the ejection opening 531 of the nozzle 53 while the power is applied or cut off to the transmission state converting member 100. ) And the imaging point 545 of the laser (see FIG. 13) and the discharge opening 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser while pressing or releasing the transmission state conversion member 100. An imaging method (see FIG. 14) may be applied.

전술한 첫 번째 방법으로, 도 13을 참조하여, 투과상태변환부재(100)에 전원을 인가 또는 차단하면서 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)을 촬상 하는 방법을 설명한다.As a first method described above, referring to FIG. 13, a method of imaging the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser while applying or cutting power to the transmission state conversion member 100 will be described. do.

먼저, 페이스트 디스펜서에 장착되는 헤드유닛(50)을 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)가 투과상태변환부재(100)와 인접되도록 헤드유닛장착장치(80)의 프레임부(82)에 고정시킨다. 또한, 헤드유닛(50)를 헤드유닛장착장치(80)의 프레임부(82)에 고정시킨 후 구동장치(83)를 작동하여 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)를 투과상태변환부재(100)와 인접되도록 위치시킬 수 있다(S110).First, the head unit 50 mounted on the paste dispenser is fixed to the frame portion 82 of the head unit mounting apparatus 80 such that the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 are adjacent to the transmission state conversion member 100. Let's do it. In addition, the head unit 50 is fixed to the frame portion 82 of the head unit mounting apparatus 80, and then the driving unit 83 is operated to pass the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 into the transmission state conversion member ( It may be positioned to be adjacent to (100) (S110).

여기에서, 노즐(53)과 레이저변위센서(54)를 투과상태변환부재(100)에 인접되도록 위치시키는 경우, 노즐(53)의 토출구(531)와 투과상태변환부재(100)의 사이의 간격은 실제의 공정에 있어서의 노즐(53)과 기판(S)과의 사이의 간격과 동일하게 설정되는 것이 바람직하다.Here, in the case where the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 are positioned to be adjacent to the transmission state conversion member 100, the interval between the discharge port 531 of the nozzle 53 and the transmission state conversion member 100. Is preferably set equal to the interval between the nozzle 53 and the substrate S in the actual step.

그리고, 전원인가장치(75)를 작동하여 투과상태변환부재(100)로 전원을 인가한다. 투과상태변환부재(100)는 전원의 인가에 따라 노즐(53)의 토출구(531)의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태로 변하게 되어 노즐(53)을 투과상태변환부재(100)를 통하여 촬상할 수 있는 상태가 된다. 이때, 카메라(90)로 노즐(53)을 촬상한다(S120).Then, the power applying device 75 is operated to apply power to the transmission state conversion member 100. The transmission state conversion member 100 is changed to the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the first state through which the laser beam can be transmitted according to the application of the power source to the transmission state conversion member 100. It becomes a state which can be picked up through. At this time, the nozzle 53 is captured by the camera 90 (S120).

그리고, 전원인가장치(75)를 작동하여 투과상태변환부재(100)로 인가되는 전원을 차단한다. 투과상태변환부재(100)는 전원의 차단에 따라 노즐(53)의 토출구(531)의 형상은 적절히 투과되지 않고 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변하게 된다. 이때, 레이저변위센서(54)를 동작하면, 발광부(54)로부터 레이저가 발광되며, 발광된 레이저는 투과상태변환부재(100)에 결상된다. 이때, 카메라(90) 로 레이저의 결상점(545)를 촬상한다(S130).Then, the power applying device 75 is operated to cut off the power applied to the transmission state conversion member 100. As the transmission state converting member 100 is cut off, the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 is changed to a second state in which an image is formed while the laser is reflected without being properly transmitted. At this time, when the laser displacement sensor 54 is operated, the laser is emitted from the light emitting unit 54, and the emitted laser is imaged on the transmission state conversion member 100. At this time, the imaging point 545 of the laser is imaged by the camera 90 (S130).

여기에서, 투과상태변환부재(100)로 전원을 인가하여 투과상태변환부재(100)를 제1상태로 만들고 노즐(53)을 촬상하는 단계(S120)와, 투과상태변환부재(100)로의 전원을 차단하여 투과상태변환부재(100)를 제2상태로 만들고 레이저의 결상점(545)를 촬상하는 단계(S130)는 그 순서가 서로 바뀔 수 있다.Here, the step of applying the power to the transmission state conversion member 100 to make the transmission state conversion member 100 to the first state and imaging the nozzle 53 (S120), and the power supply to the transmission state conversion member 100 By blocking the transmission state converting member 100 to the second state and the imaging point (545) of the laser imaging step (S130) may be reversed.

상기한 바와 같이, 노즐(53)의 촬상 및 레이저의 결상점(545)의 촬상이 완료되면, 제어부(700)는 노즐(53)의 촬상된 이미지데이터로부터 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)의 상대위치를 측정하게 된다(S140). 이와 같이 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)의 상대위치 측정이 완료되면, 측정된 위치값이 미리 설정된 위치값의 허용범위에 만족하는지를 판단하고 만족하지 아니한 경우에는 노즐(53) 또는 레이저변위센서(54)의 설치위치를 변경하는 단계가 수행될 수 있다.As described above, when the imaging of the nozzle 53 and the imaging of the imaging point 545 of the laser are completed, the control unit 700 controls the discharge port 531 of the nozzle 53 from the captured image data of the nozzle 53. The relative position of the imaging point 545 of the laser is measured (S140). As described above, when the relative position measurement of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser is completed, it is determined whether the measured position value satisfies the allowable range of the preset position value. 53 or the step of changing the installation position of the laser displacement sensor 54 can be performed.

이하, 전술한 두 번째 방법으로, 도 14를 참조하여, 투과상태변환부재(62)를 가압하거나 가압해제 하면서 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)을 촬상하는 방법을 설명한다.Hereinafter, as a second method described above, referring to FIG. 14, a method of imaging the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser while pressing or releasing the transmission state conversion member 62 is described. Explain.

먼저, 페이스트 디스펜서의 헤드유닛(50)을 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)가 투과상태변환부재(100)와 인접되도록 헤드유닛장착장치(80)의 프레임부(82)에 고정시킨다. 또한, 헤드유닛(50)를 헤드유닛장착장치(80)의 프레임부(82)에 고정시킨 후 구동장치(83)를 작동하여 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)를 투과상태변환부재(100)와 인접되도록 위치시킬 수 있다(S210).First, the head unit 50 of the paste dispenser is fixed to the frame portion 82 of the head unit mounting apparatus 80 such that the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 are adjacent to the transmission state converting member 100. In addition, the head unit 50 is fixed to the frame portion 82 of the head unit mounting apparatus 80, and then the driving unit 83 is operated to pass the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 into the transmission state conversion member ( It may be positioned to be adjacent to (100) (S210).

여기에서, 노즐(53)의 위치는 노즐(53)이 투과상태변환부재(100)에 접촉되되 투과상태변환부재(100)를 가압하지 않을 정도로 설정되는 것이 바람직하다.Here, the position of the nozzle 53 is preferably set such that the nozzle 53 is in contact with the transmission state conversion member 100 but does not pressurize the transmission state conversion member 100.

그리고, 레이저변위센서(54)를 동작시키면, 발광부(541)로부터 레이저가 발광되며, 발광된 레이저는 투과상태변환부재(100)에 결상된다. 이때, 카메라(90)로 레이저의 결상점(545)를 촬상한다(S220).When the laser displacement sensor 54 is operated, a laser is emitted from the light emitting unit 541, and the emitted laser is imaged on the transmission state converting member 100. At this time, the imaging point 545 of the laser is imaged by the camera 90 (S220).

그리고, 구동장치(83) 또는 헤드유닛(50)의 Z축구동부(56)를 동작하여 노즐(53)을 투과상태변환부재(100)로 이동시켜, 투과상태변환부재(100)를 가압한다. 투과상태변환부재(100)는 노즐(53)의 가압에 의하여 노즐(53)의 토출구(531)의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태로 변하게 되어 노즐(53)을 투과상태변환부재(100)를 통하여 촬상할 수 있는 상태가 된다. 이때, 카메라(90)로 노즐(53)을 촬상한다(S230).Then, the Z-axis driving unit 56 of the driving device 83 or the head unit 50 is operated to move the nozzle 53 to the transmission state conversion member 100 to pressurize the transmission state conversion member 100. The transmission state conversion member 100 is changed to the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the first state through which the laser beam can be transmitted by the pressure of the nozzle 53 to move the nozzle 53 to the transmission state conversion member ( It becomes a state which can image | photograph through 100). At this time, the nozzle 53 is captured by the camera 90 (S230).

여기에서, 투과상태변환부재(100)를 가압하지 않은 상태에서, 즉, 노즐(53)의 토출구(531)의 형상은 투과되지 않고 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태에서 레이저의 결상점(545)를 촬상하는 단계(S220)와, 투과상태변환부재(100)를 가압하여 투과상태변환부재(100)를 제1상태로 만들고 노즐(53)을 촬상하는 단계(S230)는 그 순서가 서로 바뀔 수 있다.Here, the imaging point 545 of the laser in the second state in which the transmission state converting member 100 is not pressed, that is, the shape of the discharge port 531 of the nozzle 53 is formed while reflecting the laser without being transmitted. ) (S220) and the step of pressing the transmission state conversion member 100 to make the transmission state conversion member 100 in the first state and the imaging step of the nozzle 53 (S230) are reversed. Can be.

상기한 바와 같이, 노즐(53)의 촬상 및 레이저의 결상점(545)의 촬상이 완료되면, 노즐(53)의 촬상된 이미지데이터로부터 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)의 상대위치를 측정하게 된다(S240). 이와 같이 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저의 결상점(545)의 위치측정이 완료되면, 측정된 위치가 미리 설정 된 범위에 만족하는지를 판단하고 만족하지 아니한 경우에는 노즐(53) 또는 레이저변위센서(54)의 설치위치를 변경하는 단계가 수행될 수 있다.As described above, when the imaging of the nozzle 53 and the imaging of the imaging point 545 of the laser are completed, the imaging port of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point of the laser ( The relative position of 545 is measured (S240). When the position measurement of the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser is completed as described above, it is determined whether the measured position satisfies the preset range, and if it is not satisfied, the nozzle 53 or the laser The step of changing the installation position of the displacement sensor 54 may be performed.

상기한 바와 같은 본 발명의 다른 실시예에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치 및 방법은 페이스트 디스펜서에 장착되는 헤드유닛(50)을 장착시킨 상태에서, 노즐(53)의 위치와 레이저의 결상점(545)을 카메라(90)로 촬상하는 방법을 통하여 노즐(53)의 토출구(531)와 레이저변위센서(54)의 결상점(545)의 상대위치를 명확하게 구분하여 측정할 수 있으므로, 위치측정시간을 줄일 수 있고, 위치측정의 정확도를 향상시킬 수 있다.According to another embodiment of the present invention as described above, the apparatus and method for measuring the relative position of the ejection opening of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor are equipped with the head unit 50 mounted on the paste dispenser. The relative position of the position of the 53 and the imaging point 545 of the laser by the camera 90 is determined by the relative position between the discharge port 531 of the nozzle 53 and the imaging point 545 of the laser displacement sensor 54. Since it can be clearly distinguished and measured, it is possible to reduce the position measurement time and improve the accuracy of position measurement.

본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.The technical idea described in each embodiment of the present invention may be implemented independently, or may be implemented in combination with each other. In addition, the present invention has been described through the embodiments described in the drawings and detailed description of the invention, which is merely exemplary, and those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications and equivalent other embodiments from this It is possible. Accordingly, the technical scope of the present invention should be determined by the appended claims.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 상대위치측정장치가 설치된 페이스트 디스펜서가 도시된 사시도이다.1 is a perspective view showing a paste dispenser installed with a relative position measuring device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 페이스트 디스펜서의 헤드유닛이 도시된 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a head unit of the paste dispenser of FIG. 1.

도 3 및 도 4는 도 1의 상대위치측정장치의 설치위치의 다른 예가 도시된 페이스트 디스펜서의 사시도이다.3 and 4 are perspective views of a paste dispenser showing another example of the installation position of the relative position measuring device of FIG.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 상대위치측정장치의 사시도이다.5 is a perspective view of a relative position measuring device according to an embodiment of the present invention.

도 6은 도 5의 상대위치측정장치의 평면도이다.6 is a plan view of the relative position measuring apparatus of FIG.

도 7은 도 5의 상대위치측정장치의 측면도이다.7 is a side view of the relative position measuring device of FIG. 5.

도 8은 도 5의 상대위치측정장치의 투과상태변환부재의 일 예가 도시된 사시도이다.8 is a perspective view illustrating an example of a transmission state converting member of the relative position measuring apparatus of FIG. 5.

도 9는 도 5의 상대위치측정장치의 투과상태변환부재의 다른 예가 도시된 단면도이다.9 is a cross-sectional view showing another example of the transmission state conversion member of the relative position measuring device of FIG.

도 10은 도 5의 상대위치측정장치에 페이스트 디스펜서의 헤드유닛이 인접된 상태가 도시된 사시도이다.FIG. 10 is a perspective view illustrating a state where the head unit of the paste dispenser is adjacent to the relative position measuring device of FIG. 5.

도 11은 도 5의 상대위치측정장치의 제어블럭도이다.FIG. 11 is a control block diagram of the relative position measuring apparatus of FIG. 5.

도 12은 도 5의 상대위치측정장치의 촬상장치에 의하여 촬상된 레이저변위센서의 결상점과 노즐의 토출구의 위치를 도시한 도면이다.FIG. 12 is a diagram showing positions of an imaging point of the laser displacement sensor and a discharge port of the nozzle captured by the imaging device of the relative position measuring device of FIG. 5.

도 13은 도 5의 상대위치측정장치를 이용한 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법의 일 예가 도시된 순서도이다.FIG. 13 is a flowchart illustrating an example of a method for measuring a relative position of an ejection opening of a nozzle and an imaging point of a laser displacement sensor using the relative position measuring apparatus of FIG. 5.

도 14는 도 5의 상대위치측정장치를 이용한 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법의 다른 예가 도시된 순서도이다.FIG. 14 is a flowchart illustrating another example of a method for measuring a relative position of an ejection opening of a nozzle and an imaging point of a laser displacement sensor using the relative position measuring apparatus of FIG. 5.

도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치가 도시된 사시도이다.15 is a perspective view showing a relative position measuring device of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor according to another embodiment of the present invention.

도 16는 도 15의 상대위치측정장치의 정면도이다.FIG. 16 is a front view of the relative position measuring device of FIG. 15.

도 17은 도 15의 상대위치측정장치의 제어블럭도이다.FIG. 17 is a control block diagram of the relative position measuring apparatus of FIG. 15.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ****** Explanation of symbols for main parts of drawing ***

50: 헤드유닛 53: 노즐50: head unit 53: nozzle

531: 토출구 54: 레이저변위센서531: discharge port 54: laser displacement sensor

545: 결상점 62, 100: 투과상태변환부재545: imaging point 62, 100: transmission state conversion member

Claims (18)

노즐 및 레이저변위센서가 구비되는 헤드유닛에 대향하도록 배치되고, 상기 노즐의 토출구의 형상 및 상기 레이저변위센서의 레이저가 투과될 수 있는 제1상태 및 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변환되는 투과상태변환부재; 및It is disposed so as to face the head unit provided with the nozzle and the laser displacement sensor, and is converted into a shape of the discharge port of the nozzle and a first state through which the laser of the laser displacement sensor can pass, and a second state formed by reflecting the laser. Transmission state conversion member; And 상기 투과상태변환부재가 상기 헤드유닛에 대향하는 측의 반대측에 배치되어, 상기 노즐의 토출구의 형상 및 상기 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 촬상장치를 포함하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치.A nozzle of the head unit, wherein the transmission state converting member is disposed on an opposite side of the side opposite to the head unit, and includes an imaging device for imaging the shape of the discharge port of the nozzle and the imaging point of the laser formed on the transmission state converting member. Relative position measuring device of discharge port of laser and imaging point of laser displacement sensor. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 투과상태변환부재는 PDLC소자(Polymer Dispersed Liquid Crystals)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치.The transmission state converting member is a relative position measuring device of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor comprising a PDLC element (Polymer Dispersed Liquid Crystals). 제2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 투과상태변환부재는, 한 쌍의 글라스층과, 상기 한 쌍의 글라스층의 사이에 개재되는 상기 PDLC소자로 구성되는 것을 특징으로 하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치.The transmissive state converting member comprises a pair of glass layers and the PDLC element interposed between the pair of glass layers and the discharge port of the nozzle of the head unit and the image forming point of the laser displacement sensor. Positioning device. 제2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 투과상태변환부재는, 글라스와, 상기 글라스에 접착필름을 통하여 부착되는 PDLC소자로 구성되는 것을 특징으로 하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치.And said transmission state converting member comprises a glass and a PDLC element attached to said glass via an adhesive film. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 노즐 및 상기 레이저변위센서에 대향하도록 개방되는 개구부를 가지며 상기 촬상장치가 고정되는 지지체; 및A support having an opening that faces the nozzle and the laser displacement sensor and to which the imaging device is fixed; And 상기 지지체에 슬라이드 가능하게 고정되며, 상기 지지체의 개구부와 연통되고 상기 투과상태변환부재가 고정되는 개구가 형성되는 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치.An image forming point of the discharge port of the nozzle of the head unit and the laser displacement sensor further comprises a plate slidably fixed to the support and communicating with the opening of the support and having an opening through which the transmission state conversion member is fixed. Relative position measuring device. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 촬상장치는,The imaging device, 상기 노즐의 토출구의 형상 및 상기 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 카메라; 및A camera for capturing a shape of a discharge port of the nozzle and an imaging point of a laser formed on the transmission state converting member; And 상기 카메라를 상하방향, 전후방향 및 좌우방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 이동시키는 촬상위치조절기를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치.And an imaging position controller for moving the camera in at least one of up, down, front, and left, and right directions, wherein the ejection port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor are included. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 투과상태변환부재에 전원을 인가하는 전원인가장치를 더 포함하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치.And a power supply device for applying power to the transmission state converting member. 제1항 내지 제7항 중 어느 하나의 상대위치측정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서.The paste dispenser provided with the relative position measuring apparatus of any one of Claims 1-7. 헤드유닛의 노즐 및 레이저변위센서와 촬상장치의 사이에 배치되며, 상기 노즐의 토출구의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태 및 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변환되는 투과상태변환부재를 포함하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치를 이용한 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법에 있어서,The transmission state converting member is disposed between the nozzle of the head unit and the laser displacement sensor and the imaging device, and is converted into a shape of the discharge port of the nozzle, a first state through which the laser can pass, and a second state formed by reflecting the laser. In the relative position measurement method of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor using the relative position measuring device of the imaging point of the laser displacement sensor and the nozzle of the head unit comprising: 상기 노즐과 상기 레이저변위센서를 상기 투과상태변환부재에 대향하도록 위치시키는 제1단계;Positioning the nozzle and the laser displacement sensor so as to face the transmission state conversion member; 상기 투과상태변환부재에 전원을 인가하거나 차단하면서 상기 노즐의 토출구를 촬상하고 상기 레이저변위센서로부터 발광되어 상기 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 제2단계; 및A second step of imaging an ejection opening of the nozzle while applying or cutting power to the transmission state conversion member and imaging an imaging point of a laser which is emitted from the laser displacement sensor and is formed on the transmission state conversion member; And 상기 노즐의 토출구의 위치와 상기 레이저변위센서의 결상점의 상대위치를 측정하는 제3단계를 포함하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법.And a third step of measuring the position of the discharge port of the nozzle and the relative position of the imaging point of the laser displacement sensor. 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 제2단계는,The second step, 상기 투과상태변환부재에 전원을 인가하고 상기 노즐의 토출구를 촬상하는 단계; 및Applying power to the transmission state converting member and imaging an outlet of the nozzle; And 상기 투과상태변환부재로의 전원을 차단하고 상기 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법.Cutting off the power supply to the transmission state conversion member and imaging the missing point of the laser image formed on the transmission state conversion member; and the relative position of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor. How to measure. 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 제2단계는,The second step, 상기 투과상태변환부재로의 전원을 차단한 상태에서 상기 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 단계; 및Imaging an imaging point of a laser imaged on the transmission state conversion member in a state in which power to the transmission state conversion member is cut off; And 상기 투과상태변환부재에 전원을 인가하고 상기 노즐의 토출구를 촬상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법.And applying the power to the transmission state converting member and imaging the ejection opening of the nozzle. The method for measuring the relative position of the ejection opening of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor. 헤드유닛의 노즐 및 레이저변위센서와 촬상장치의 사이에 배치되며, 상기 노즐의 토출구의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태 및 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변환되는 투과상태변환부재를 포함하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치를 이용한 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법에 있어서,The transmission state converting member is disposed between the nozzle of the head unit and the laser displacement sensor and the imaging device, and is converted into a shape of the discharge port of the nozzle, a first state through which the laser can pass, and a second state formed by reflecting the laser. In the relative position measurement method of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor using the relative position measuring device of the imaging point of the laser displacement sensor and the nozzle of the head unit comprising: 상기 노즐과 상기 레이저변위센서를 상기 투과상태변환부재에 대향하도록 위치시키는 제1단계;Positioning the nozzle and the laser displacement sensor so as to face the transmission state conversion member; 상기 투과상태변환부재를 가압하거나 가압을 해제하면서 상기 노즐의 토출구를 촬상하고 상기 레이저변위센서로부터 발광되어 상기 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 제2단계; 및A second step of photographing a discharge port of the nozzle while pressing or releasing pressure of the transmission state conversion member and imaging an imaging point of a laser which is emitted from the laser displacement sensor and is formed on the transmission state conversion member; And 상기 노즐의 토출구의 위치와 상기 레이저변위센서의 결상점의 상대위치를 측정하는 제3단계를 포함하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법.And a third step of measuring the position of the discharge port of the nozzle and the relative position of the imaging point of the laser displacement sensor. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제2단계는,The second step, 상기 레이저변위센서로부터 발광되어 상기 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 단계; 및Imaging an image of a laser light emitted from the laser displacement sensor and formed on the transmission state converting member; And 상기 노즐을 상기 투과상태변환부재로 이동시켜 상기 투과상태변환부재를 가압하고, 상기 노즐의 토출구를 촬상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법.Moving the nozzle to the transmission state converting member to pressurize the transmission state converting member, and imaging the ejection opening of the nozzle, wherein the ejection port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor are included. Position measuring method. 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제2단계는,The second step, 상기 노즐을 상기 투과상태변환부재로 이동시켜 상기 투과상태변환부재를 가압하고, 상기 노즐의 토출구를 촬상하는 단계; 및Moving the nozzle to the transmission state conversion member to pressurize the transmission state conversion member, and to image the discharge port of the nozzle; And 상기 노즐을 상기 투과상태변환부재로부터 이격되도록 이동시켜 상기 투과상태변환부재의 가압을 해제하고, 상기 레이저변위센서로부터 발광되어 상기 투과상태변환부재에 결상되는 레이저의 결상점을 촬상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법.Moving the nozzle to be spaced apart from the transmission state conversion member to release the pressurization of the transmission state conversion member, and imaging the missing point of the laser which is emitted from the laser displacement sensor and is formed on the transmission state conversion member. A method of measuring the relative position of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor. 노즐과 레이저변위센서가 구비되는 헤드유닛이 장착되는 헤드유닛장착장치;A head unit mounting apparatus having a head unit equipped with a nozzle and a laser displacement sensor; 상기 노즐과 상기 레이저변위센서의 대향측에 위치되는 카메라; 및A camera positioned on an opposite side of the nozzle and the laser displacement sensor; And 상기 노즐 및 상기 레이저변위센서와 상기 카메라의 사이에 배치되며, 상기 노즐의 토출구의 형상 및 레이저가 투과될 수 있는 제1상태 및 레이저가 반사되면서 결상되는 제2상태로 변환되는 투과상태변환부재를 포함하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치.A transmission state converting member disposed between the nozzle and the laser displacement sensor and the camera, wherein the transmission state converting member is converted into a shape of a discharge port of the nozzle, a first state through which the laser can pass, and a second state formed by reflecting the laser; A relative position measuring device of an outlet of a nozzle of a head unit and an imaging point of a laser displacement sensor. 제15항에 있어서,The method of claim 15, 상기 투과상태변환부재는 PDLC소자(Polymer Dispersed Liquid Crystals)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치.The transmission state converting member is a relative position measuring device of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor comprising a PDLC element (Polymer Dispersed Liquid Crystals). 제15항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 15 to 16, 상기 투과상태변환부재에 전원을 인가하는 전원인가장치를 더 포함하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치.And a power supply device for applying power to the transmission state converting member. 제15항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 15 to 16, 상기 헤드유닛장착장치에는 상기 노즐이 상기 투과상태변환부재 쪽으로 이동되도록 상기 헤드유닛을 이동시키는 구동장치가 구비되는 것을 특징으로 하는 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치.The head unit mounting apparatus is provided with a driving device for moving the head unit so that the nozzle is moved toward the transmission state conversion member, the relative position measuring device of the discharge port of the nozzle of the head unit and the imaging point of the laser displacement sensor .
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