KR20080076152A - System for testing a flat panel display device and mehtod thereof - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view schematically illustrating an inspection system of a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템의 측정장치를 나타내는 개략 사시도이다.2 is a schematic perspective view illustrating a measuring device of an inspection system of a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이다.3 is a flowchart illustrating a method of inspecting a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4a 및 4b는 각각 다른 위치에 결함을 갖는 적색 서브픽셀의 주기적 패턴 및 각각 다른 위치에 결함을 갖는 적색 서브픽셀를 투과한 스펙트럼 분포의 차이를 도시한 그래프이다.4A and 4B are graphs showing the difference between the periodic pattern of red subpixels having defects at different positions and the spectral distribution passing through the red subpixels having defects at different positions, respectively.
도 5a 및 5b는 각각 다른 위치에 결함을 갖는 녹색 서브픽셀의 주기적 패턴 및 각각 다른 위치에 결함을 갖는 녹색 서브픽셀를 투과한 스펙트럼 분포의 차이를 도시한 그래프이다.5A and 5B are graphs showing the difference between the periodic pattern of green subpixels having defects at different positions and the spectral distribution passing through the green subpixels having defects at different positions, respectively.
도 6a 및 6b는 각각 다른 위치에 결함을 갖는 청색 서브픽셀의 주기적 패턴 및 각각 다른 위치에 결함을 갖는 청색 서브픽셀를 투과한 스펙트럼 분포의 차이를 도시한 그래프이다.6A and 6B are graphs showing the difference in the cyclic distribution of periodic patterns of blue subpixels having defects at different positions and blue subpixels having defects at different positions, respectively.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 다른 평판 표시 장치의 검사시스템의 입체영상부에 표시되는 평판 표시 어셈블리의 표시유닛당 스펙트럼 분포의 입체도이다.7 is a three-dimensional view of the spectral distribution per display unit of the flat panel display assembly displayed on the stereoscopic image portion of the inspection system of the flat panel display apparatus according to an embodiment of the present invention.
본 발명은 평판 표시 장치의 검사시스템 및 그 검사방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평판 표시 장치의 주기적으로 배열된 복수개의 화소를 투과하는 스펙트럼을 분석하여 화소 단위로 결함 또는 불량 여부를 판단할 수 있는 평판 표시 장치의 검사시스템 및 그 검사방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection system for a flat panel display device and a method for inspecting the same. More particularly, the present invention relates to a method for determining a defect or defect in units of pixels by analyzing a spectrum passing through a plurality of periodically arranged pixels of the flat panel display device. An inspection system for a flat panel display device and an inspection method thereof.
일반적으로, 평판 표시 장치는, 액정 표시 장치(LCD, liquid crystal display)와, 플라즈마 표시 장치(PDP, plasma display panel)와, 유기 전계 발광 표시 장치(OLED, organic electroluminescence display)와, 그리고 전계방출 표시 장치(FED, field emission display) 등을 들 수 있다.In general, flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), organic electroluminescence displays (OLEDs), and field emission displays. And a field emission display (FED).
이 중, 액정 표시 장치는, 해상도가 높고 동화상을 실현하기에 충분할 만큼 반응속도가 빠르기 때문에 가장 활발히 연구되고 있다.Among them, the liquid crystal display device is most actively studied because of its high resolution and fast reaction speed sufficient to realize a moving image.
상기 액정 표시 장치는 공통 전극과 컬러 필터(color filter) 등이 형성되어 있는 컬러 필터 표시 패널과 화소 전극과 박막 트랜지스터 등이 형성되어 있는 박막 트랜지스터 표시 패널 사이에 액정 물질을 주입해 놓고, 상기 공통 전극에 전압이 인가된 상태에서 상기 화소 전극에 인가되는 화상정보의 전압을 제어하여 유전율 이방성을 가지는 액정 분자들을 상기 공통전극과 화소전극 사이의 전계에 따라 회전시킴으로써 화소별로 빛을 투과시키거나 차단시켜 문자나 화상을 표시하게 된다.In the liquid crystal display, a liquid crystal material is injected between a color filter display panel in which a common electrode and a color filter are formed, and a thin film transistor display panel in which a pixel electrode and a thin film transistor are formed, and the common electrode is formed. By controlling the voltage of the image information applied to the pixel electrode while the voltage is applied to the liquid crystal molecules having dielectric anisotropy according to the electric field between the common electrode and the pixel electrode to transmit or block light for each pixel I will display the image.
특히, 상기 컬러 필터 표시 패널과 박막 트랜지스터 표시 패널은 진공 중에 어셈블리된 후 단위 패널로 절단된다. 이러한 단위 패널을 "액정 표시 패널 어셈블리"라 부르며, 이를 검사하기 위해서 상기 컬러 필터 표시 패널과 박막 트랜지스터 표시 패널 상의 공통전극과 화소전극 각각에 접촉자를 연결하고 구동신호를 인가함으로써 표시 패널 어셈블리에 테스트 패턴을 표시하고 그 표시된 테스트 패턴으로부터 불량 발생 여부를 검사한다.In particular, the color filter display panel and the thin film transistor display panel are assembled into a vacuum and then cut into unit panels. Such a unit panel is called a "liquid crystal display panel assembly". To test this, a test pattern is connected to the display panel assembly by connecting a contactor to a common electrode and a pixel electrode on the color filter display panel and the thin film transistor array display panel and applying a driving signal. Is displayed and a defect is detected from the displayed test pattern.
종래에는 평판 표시 장치의 결함 또는 불량을 상기 평판 표시 장치의 화상을 육안 또는 현미경을 이용하여 관찰함으로써 검출하였다. Conventionally, defects or defects of the flat panel display were detected by observing an image of the flat panel display using the naked eye or a microscope.
그러나 이러한 육안 검사 방법은 검사자의 주관적 기준에 의해 판단되므로 그 수율에 차이가 발생할 수 있을 뿐만 아니라 육안 검사에는 오랜 시간과 노동력이 많이 요구된다.However, since the visual inspection method is judged by the subjective standard of the inspector, the yield may not only vary, but also requires a long time and labor for visual inspection.
또한, 종래에는 텔레비전 카메라 및 화상처리기술을 이용한 자동검사장치도 이용되었으나 패널기판의 화소 밀도보다 높은 화소 밀도를 갖는 고분해 능력 및 고정밀도의 텔레비젼 카메라를 필요로 하는 것이기 때문에 장치 자체가 고가이며, 고분해 카메라로부터 촬영된 화상을 다시 육안으로 관찰하여 패널기판의 결함 또는 불량을 검사자가 판단하여야 하기 때문에 육안 검사의 문제점을 그대로 갖는다.In addition, the automatic inspection apparatus using a television camera and an image processing technology has been used in the past, but the apparatus itself is expensive because it requires a high resolution and high definition television camera having a pixel density higher than that of a panel substrate. Visual inspection of the image taken from the high resolution camera to visually inspect the defects or defects of the panel substrate has the problem of visual inspection as it is.
또한, 육안검사 또는 종래의 자동검사장치는 분해능력의 한계 등으로 인하여 패널 기판의 미세한 얼룩이나 미세한 패널 두께 불량 등을 검출할 수 없었다. In addition, the visual inspection or the conventional automatic inspection device could not detect minute stains, fine panel thickness defects, etc. of the panel substrate due to the limitation of the resolution.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 평판 표시 장치의 결함 또는 불량을 정확하고 신속하게 검출하기 위한 평판 표시 장치의 검사시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide an inspection system and method for a flat panel display device for accurately and quickly detecting defects or defects of the flat panel display device.
본 발명의 목적은 고분해 능력 및 고정밀도의 텔레비전 카메라를 필요로 하지 않고 미세한 얼룩이나 두께 불량 등을 검사할 수 있으며 비용도 저렴한 평판 표시 장치의 검사시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an inspection system and method for a flat panel display device which can inspect minute stains, poor thicknesses, and the like, and which is inexpensive without requiring a high resolution and high precision television camera.
본 발명의 목적은 평판 표시 장치의 불량을 자동으로 검사하는 처리능력이 우수한 평판 표시 장치의 검사시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an inspection system and method for a flat panel display device having excellent processing capability for automatically inspecting a defect of the flat panel display device.
본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 패널 어셈블리를 구비한 평판 표시 장치의 검사시스템은 상기 평판 표시 패널 어셈블리를 정렬 배치하는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지의 상방에 배치되며 상기 평판 표시 패널 어셈블리의 측정영역을 투과한 투과광의 스펙트럼을 측정하는 측정장치와, 상기 측정장치를 상기 검사 스테이지 상에서 등가속도로 이송시키는 이송장치와, 상기 측정장치와 전기적으로 연결되며 상기 측정장치로부터 전달된 스펙트럼의 전기적 신호를 처리하여 결함여부, 결함종류, 결함의 심각도를 알려주는 결함알림장치를 포함한다.An inspection system of a flat panel display device having a flat panel display panel assembly according to an exemplary embodiment of the present invention includes an inspection stage for arranging the flat panel display panel assembly, a measurement stage disposed above the inspection stage, and measuring the flat panel display panel assembly. A measuring device for measuring a spectrum of transmitted light passing through an area, a transfer device for transferring the measuring device at an equivalent speed on the inspection stage, and an electrical signal of a spectrum electrically connected to the measuring device and transmitted from the measuring device. It includes a defect notification device that reports the status of defects, types of defects, and the severity of the defects.
상기 측정장치는 전방에 측정헤드를 갖는 케이스 내부에 상기 평판 표시 패널 어셈블리의 측정영역을 투과한 빛을 집속시키는 집속 유닛과, 상기 집속된 빛을 파장별로 분리하는 분광유닛과, 상기 파장별로 분리된 빛을 흡수하고 상기 빛의 파 장을 전기적 신호로 각각 변환시키는 광전변환센서를 포함하며, 상기 집속 유닛과 상기 분광유닛은 광 섬유로 연결되어 있을 수도 있다.The measuring device includes a focusing unit for focusing light transmitted through a measurement region of the flat panel display panel inside a case having a measuring head in front, a spectroscopic unit for separating the focused light for each wavelength, and a separation for the wavelength. It includes a photoelectric conversion sensor for absorbing light and converting the wavelength of light into an electrical signal, respectively, wherein the focusing unit and the spectroscopic unit may be connected by an optical fiber.
상기 광전변환센서는 광 다이오드 어레이, CCD, CMOC 중 어느 하나에 의해서 처리될 수도 있다.The photoelectric conversion sensor may be processed by any one of a photodiode array, a CCD, and a CMOC.
상기 집속 유닛은 집속 렌즈 또는 오목 거울 중 어느 하나를 포함하여 측정영역의 면적을 제어할 수 있다.The focusing unit may include any one of a focusing lens and a concave mirror to control the area of the measurement area.
상기 측정장치는 상기 복수개의 측정헤드가 탈부착되는 바아 형태여서 부분적으로 고장이 난 경우에 교체가능할 수 있으며, 이를 위해서 상기 바아 내부에는 접점을 구비하는 것이 바람직할 것이다.The measuring device may be replaceable in the case of a partial failure since the plurality of measuring heads are detachable, and for this purpose, it may be preferable to provide a contact inside the bar.
상기 측정장치의 양단부는 상기 이송장치에 의해서 연결되며, 상기 이송장치는 상기 측정장치를 등가속도로 이동시키며, 스텝 모터에 의해서 구동될 수도 있다. Both ends of the measuring device are connected by the transfer device, and the transfer device moves the measuring device at equivalent speed, and may be driven by a stepper motor.
상기 결함알림장치는 상기 상기 광전변환센서로부터 전송된 광학 데이터를 저장하는 메모리부와, 상기 메모리부에 저장된 데이터로부터 측정영역별 스펙트럼 세기의 평균값을 계산하는 분광계산부와, 상기 측정영역별 스펙트럼 세기가 상기 평균값 이상인 경우에 강조연산처리하는 강조처리 연산부와, 상기 측정영역별 스펙트럼 세기를 입체적으로 표시하는 입체영상표시부를 포함하며, 상기 입체영상표시부는 상기 측정영역별 스펙트럼 세기를 평균값과 비교하고, 상기 메모리부의 데이터베이스를 참조하여 결함여부, 결함종류, 결함의 심각도를 판단하고 이를 알려주는 결함알림부를 포함할 수도 있다.The defect notification device includes a memory unit for storing optical data transmitted from the photoelectric conversion sensor, a spectroscopic calculator for calculating an average value of spectral intensity for each measurement region from the data stored in the memory unit, and a spectral intensity for each measurement region. And a three-dimensional image display unit for three-dimensionally displaying the spectral intensity for each measurement region in three cases. The three-dimensional image display unit compares the spectral intensity for each measurement region with an average value. The memory unit may include a defect notification unit that determines whether a defect is present, a defect type, and a severity of the defect by referring to a database of the memory unit.
상기 결함알림부는 결함의 종류에 따른 패턴을 데이터베이스화하는 데이터베이스부를 더 포함하며, 데이터베이스부는 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 제1 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 제2 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 제3 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 제4 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 오염에 의한 제5 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 제6 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 제7 얼룩, 그리고 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 제8 얼룩에 관한 데이터를 포함하며, 상기 데이터중 치유가능하거나 무시할 수 있는 결함과 액정 표시 패널를 버려야 하는 중대한 결함을 분류하여 저장하고 있을 수도 있다.The defect notification unit may further include a database unit configured to database a pattern according to a type of a defect, and the database unit may include a first unevenness caused by a malfunction occurring in the color filter display panel due to a change in electrical characteristics of the thin film transistor array panel of the liquid crystal display panel assembly. A second unevenness due to a thickness difference of a color filter formed in the color filter display panel of the liquid crystal display panel assembly, a third unevenness due to a thickness difference of a black matrix formed in the color filter display panel of the liquid crystal display panel assembly, the liquid crystal display Fourth stain remaining on the color filter display panel in the panel assembly, fifth stain caused by contamination of the liquid crystal display panel assembly, sixth stain caused by contamination of liquid crystal molecules of the liquid crystal display panel assembly, liquid crystal of the liquid crystal display panel assembly 7th due to misalignment of molecules Look, and it may be store and contains data according to the eighth non-uniformity due to the alignment layer defects of the liquid crystal display panel assembly, to classify the material deficiencies to discard the data of the healing available or display defects and the liquid crystal can be ignored Panel.
상기 광원은 평행면광원인 것이 바람직하며, 상기 광원은 200nm 내지 2100nm의 파장을 가지며, 백색광원인 것이 바람직하다. Preferably, the light source is a parallel plane light source, and the light source has a wavelength of 200 nm to 2100 nm, and is preferably a white light source.
본 발명의 다른 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 방법은 검사 스테이지 상방에 평판 표시 어셈블리를 배치하는 단계와, 상기 평판 표시 어셈블리가 테스트 동작을 수행할 수 있도록 테스트 구동신호를 인가하는 단계와, 상기 평판 표시 어셈블리의 측정영역을 상기 평판 표시 어셈블리 상방의 측정장치를 제어하여 설정하는 단계와, 상기 평판 표시 어셈블리 하방의 광원으로부터 투과된 광을 상기 측정 장치가 측정하는 단계와, 상기 측정장치는 측정된 스펙트럼을 결함알림장치에 전달하는 단계와, 상기 결함알림장치는 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼을 중첩하여 평균값을 구하는 단계와, 상기 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼 값이 평균값을 초과하는 경우에 결함을 알리는 단계를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting a flat panel display device, the method comprising: disposing a flat panel display assembly above an inspection stage, applying a test driving signal to perform the test operation on the flat panel display assembly, and Setting a measurement area of the flat panel display assembly by controlling a measuring device above the flat panel display assembly, measuring the light transmitted from a light source below the flat panel display assembly, and measuring the measured device. Transmitting a spectrum to the defect notification device, obtaining a mean value by overlapping the spectrum measured from the measurement area, and informing a defect when the spectrum value measured from the measurement area exceeds the average value. It may include.
한편, 상기 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼 값이 평균값을 초과하는 경우에 결함을 알리는 단계는 해당 측정영역의 평균값 초과부분을 강조연산하는 단계를 더 포함할 수 있다.On the other hand, when the spectrum value measured from the measurement area exceeds the average value, the step of notifying the defect may further include the step of emphasizing the portion exceeding the average value of the measurement area.
상기 결함을 알리는 단계는 상기 측정영역에 대응하는 스펙트럼 세기 값을 입체적으로 표시하는 단계와, 상기 입체적으로 표시된 스펙트럼 세기 값과 데이터베이스의 데이터를 비교하여 결함의 종류와 결함의 심각도를 판단하는 단계와, 상기 결함의 종류와 결함의 심각도를 소리, 색 등으로 경고하는 단계를 포함할 수 있다.The notifying of the defect may include three-dimensionally displaying a spectral intensity value corresponding to the measurement area, comparing the three-dimensionally displayed spectral intensity value with data of a database, and determining a kind of a defect and a severity of the defect; Alerting the type of the defect and the severity of the defect with sound, color, and the like.
상기 측정영역의 단변 m과 장변 n은 거의 동일하게 설정하는 것이 바람직하며, 상기 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼 값이 평균값을 초과하는 경우에 해당 측정영역의 평균값 초과부분을 강조연산하는 단계는 초과부분의 x, y, z 성분 중 적어도 하나를 배수배 처리할 수도 있다.Preferably, the short side m and the long side n of the measurement region are set to be substantially the same, and when the spectral value measured from the measurement region exceeds the average value, the step of emphasizing the excess portion of the average value of the measurement region may include At least one of the x, y, and z components may be drained.
상기 평판 표시 어셈블리 하방의 광원으로부터 투과된 광을 상기 측정장치가 측정하는 단계는 상기 광원으로부터 조사되는 광이 상기 측정장치의 헤드에 광경로 차이없이 입사되게 제어할 수도 있다.The measuring device measuring light transmitted from a light source below the flat panel display assembly may control the light irradiated from the light source to be incident on the head of the measuring device without a difference in optical path.
상기 측정장치를 이송장치를 이용하여 등가속도로 이송시킬 수도 있다.The measuring device may be transferred at an equivalent speed using a transfer device.
상기 평판 표시 패널 어셈블리는 컬러 필터 어레이를 포함하는 경우에 상기 복수개의 측정영역 각각은 상기 컬러 필터 패널의 적어도 하나의 서브 픽셀 또는 적어도 하나의 픽셀일 수도 있다.When the flat panel panel assembly includes a color filter array, each of the plurality of measurement regions may be at least one subpixel or at least one pixel of the color filter panel.
상기 측정장치는 볼록 렌즈를 포함하여 상기 측정영역을 가변시킬 수도 있다.The measuring device may include a convex lens to vary the measuring area.
상기 결함알림부는, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 제1 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 제2 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 제3 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 제4 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 오염에 의한 제5 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 제6 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 제7 얼룩, 그리고 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 제8 얼룩 중 적어도 하나를 알려줄 수도 있으며, 상기 측정장치는 상기 전기 신호와 상기 참조 신호의 차이에 의해서 상기 액정 표시 패널 어셈블리를 구성하는 컬러 필터 표시 패널, 박막 트랜지스터 표시 패널, 이들 사이에 채워진 액정 물질층의 두께 뿐만 아니라 상기 박막 트랜지스터 패널에 형성된 박막 트랜지스터의 두께, 상기 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터와 블랙 메트릭스의 두께, 상기 패널 이외의 광학 보상 패널의 두께 중 적어도 하나를 측정할 수도 있다.The defect notification unit may include a first unevenness caused by a malfunction occurring in the color filter display panel due to a change in electrical characteristics of the thin film transistor array panel of the liquid crystal display panel assembly, and a thickness of the color filter formed in the color filter display panel of the liquid crystal display panel assembly. A second unevenness due to a difference, a third unevenness due to a thickness difference of a black matrix formed in the color filter display panel of the liquid crystal display panel assembly, a fourth unevenness remaining in the color filter display panel of the liquid crystal display panel assembly, the liquid crystal display Fifth stain caused by contamination of the panel assembly, sixth stain caused by contamination of liquid crystal molecules of the liquid crystal display panel assembly, seventh stain caused by misalignment of liquid crystal molecules of the liquid crystal display panel assembly, and of the liquid crystal display panel assembly At least one of the eighth spots due to the alignment film defect The measuring device may include the color filter display panel, the thin film transistor array panel, and the thickness of the liquid crystal material layer filled therebetween as a result of the difference between the electrical signal and the reference signal. At least one of the thickness of the thin film transistor formed on the panel, the thickness of the color filter and the black matrix formed on the color filter display panel, and the thickness of the optical compensation panel other than the panel may be measured.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.
특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면 수광형 액정 표시 장치를 예를 들어 설명하였으나 이에 한정되지 않고, 능동형 액정 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, 유기 전계 발광 표시 장치(OLED, organic electroluminescence display)와, 그리고 전계방출 표시 장치(FED, field emission display)의 결함 또는 불량 검사에 이용될 수도 있다.In particular, according to an embodiment of the present invention, the light-receiving type liquid crystal display is described as an example, but is not limited thereto. An active liquid crystal display, a plasma display, an organic electroluminescence display (OLED), and It may be used for defect or defect inspection of a field emission display (FED).
본 발명의 일 실시예에 있어서, 액정 표시 장치의 결함 또는 불량으로는 백 표시 상태에서 광을 툭과시키지 않는 흑결함인 흑점, 흑 표시 상태에서는 광을 투과시키는 백결함, 선의 형태로 흑점이나 휘점이 생기는 선 결함, 화상의 일부가 콘트라스트나 색도가 다르게 표시되는 표시 얼룩 등을 들 수 있다.In one embodiment of the present invention, the defect or defect of the liquid crystal display device is a black defect that does not allow light to pass through in the white display state, a white defect that transmits light in the black display state, or a black spot or a curve in the form of a line. Examples include line defects in which dots occur, and display unevenness in which part of an image is displayed with contrast or chromaticity.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템의 측정장치를 나타내는 개략 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing an inspection system of a flat panel display device according to an embodiment of the present invention, and is a schematic perspective view showing a measuring device of an inspection system of a flat panel display device according to an embodiment of the present invention.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템(1)은 검사대상인 액정 표시 패널 어셈블리(10)가 배치되는 검사 스테이지(100)와, 상기 검사 스테이지(100)에 배치된 액정 표시 패널 어셈블리(10)에 광을 조사하여 투과광의 스펙트럼을 측정하는 측정장치(200)와, 상기 측정장 치(200)로부터 측정된 스펙트럼, 즉 광학적 데이터를 전기적 신호로 전송받아 저장하고, 이를 데이터베이스화하며 광학적 데이터의 적어도 1 성분을 강조연산 처리하여 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 화소별 스펙트럼 분포를 입체적으로 표시하는 결함알림장치(300)를 포함한다.1 and 2, an
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템(1)은 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 공통전극과 화소전극에 구동신호를 인가하는 액정 표시 패널 어셈블리 구동유닛(11)을 더 포함하며, 상기 액정 표시패널 어셈블리(10)의 화소가 선택되어 테스트 패턴을 표시하는 중에 발생되는 색 얼룩과 같은 미세한 결함 또는 불량을 확인할 수 있도록 한다.On the other hand, the
상기 액정 표시 패널 어셈블리 구동유닛(11)은 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 전극에 접촉되는 복수개의 접촉자를 포함하며, 구동신호를 인가함으로써 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 화소를 선택하여 테스트 패턴을 표시할 수 있다.The liquid crystal display panel
상기 검사 스테이지(100)는 X축, Y축, 및 XY축 사이의 각 Θ을 따라 이동시킬 수 있는 UVW 스테이지이다. 이와 같이 상기 검사 스테이지(100)를 UVW 스테이지로 선택함으로써 상기 측정장치(200)의 후술하는 측정헤드(210)가 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 측정영역(A)에 일대일 대응하도록 정렬되어 측정오차를 줄일 수 있다. The
상기 측정장치(200)는 측정헤드(210)와 상기 측정헤드(210)를 소정의 방향으로 이송하는 이송유닛(250)과, 상기 측정헤드(210)의 수광면(210a)에 일방향으로 빛을 조사하는 광원(220)을 포함한다.The measuring
상기 측정장치(200)의 측정헤드(210)는 그 내부에 액정표시 패널 어셈블리(10)를 투과한 투과광을 수광하는 집속유닛(211)과, 집속된 투과광의 스펙트럼을 분광하는 분광유닛(213)과, 분광된 스펙트럼을 전기적 신호로 변환하는 광전변환센서(215)를 포함하여 구성된다. The measuring
상기 광원(220)은 상기 검사 스테이지(100) 하방에 일반적으로 배치되지만 상방에 배치되어 상기 액정표시 패널 어셈블리(10)로부터 반사된 빛을 이용할 수도 있다. 구체적으로, 상기 광원(220)은 액정 표시 패널 어셈블리(liquid crystal panel assembly)로부터 디스플레이 가능한 자외선 대역의 파장을 포함하기 위해 200nm 내지 2100nm의 파장을 갖는 것일 수 있다. 또한, 상기 광원(220)으로 액정 패널 어셈블리의 후면에 장착되는 백라이트(미도시)를 사용할 수도 있다. The
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 광원(220)으로부터 측정장치(200)까지의 광경로가 달라짐으로써 발생되는 측정 오차를 방지하기 위해서 평행면광원을 이용하는 것이 바람직하다. 상기 평행면광원은 일련의 렌즈들을 결합하거나 편광판 또는 도광판(700)을 이용하여 만들 수 있다. 상기 광원(220)은 단파장의 레이저 또는 UV 램프를 이용하는 백색광일 수 있다.According to one embodiment of the invention, it is preferable to use a parallel plane light source in order to prevent the measurement error caused by the light path from the
상기 광원(220)으로부터 조사된 빛은 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)를 투과한다. 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)를 투과한 빛은 측정장치(200)의 측정헤드(210)를 통해 상기 집속유닛(211)에 입사되고 집속된다.Light emitted from the
상기 분광유닛(213)은 상기 집속된 빛을 파장별로 분리한다. 구체적으로, 상기 분광유닛(213)은 집속된 빛을 파장별로 분리시키는 프리즘을 포함하며 브라켓 을 이용하여 상기 측정헤드 내부에 고정되거나 직접 고정될 수 있다. The
상기 광전변환센서(215)는 화소단위 이하의 센서로 파장별로 분리된 빛을 흡수하고 빛의 파장을 전기적 신호로 각각 변화시킬 수 있는 것으로 본 발명의 일 실시예에 있어서는 복수개의 광 다이오드 어레이 또는 전하 결합 장치(CCD; Charge Coupled Device)에 의해서 처리될 수도 있다.The
상기 측정헤드(210)는 복수개의 측정영역을 동시에 측정할 수 있도록 바아 형태의 케이스(231)내부에 착탈가능하게 설치되어 이송유닛(250)에 의해서 동시에 구동될 수 있다. 상기 케이스(231) 내부에는 전기적 접점이 일렬로 구비되어 있기 때문에 해당 접점에 측정헤드(210) 고정하기만 하면 되어 어느 하나가 고장이 난 경우에 탈착하여 교체할 수도 있다.The measuring
상기 측정헤드(210)의 단면적 및 광전변환센서의 개수는 상기 액정 표시패널 어셈블리의 화소밀도에 대응하는 화소밀도를 갖도록 정해지는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 상기 측정헤드(210)가 상기 액정표시 패널 어셈블리의 화소밀도보다 고분해능, 고정밀도를 가질 필요가 없다.The cross-sectional area of the measuring
또한, 상기 측정헤드(210)는 볼록렌즈를 더 구비하여 보다 넓은 측정면적을 측정할 수 있다. 즉, 상기 볼록렌즈를 상하방향으로 이동시킴으로써 복수개의 측정영역의 면적을 제어할 수 있다. 따라서, 복수개의 측정영역안에 10개의 화소가 있을 수도 있고 5개의 화소가 있을 수도 있다.In addition, the
상기 측정헤드(210)의 광전변환센서(215)는 전기적으로 상기 결함알림장치(300)와 결합된다. 상기 결함알림장치(300)는 CPU 등으로 상기 광전변환센 서(215)로부터 전송된 광학 데이터를 저장하는 메모리부(311)와, 상기 메모리부(311)에 저장된 데이터로부터 측정영역별 스펙트럼 세기의 평균값을 계산하는 분광 계산부(313)와, 상기 측정영역별 스펙트럼 세기가 상기 평균값 이상인 경우에 강조연산 처리하는 강조처리연산부(315)와, 상기 측정영역별 스펙트럼 세기를 입체적으로 표시하는 입체영상표시부(317)를 포함하며, 상기 입체영상표시부(317)는 상기 측정영역별 스펙트럼 세기를 평균값과 비교하고, 상기 메모리부(311)의 데이터베이스를 참조하여 결함여부, 결함종류, 결함의 심각도를 판단하고 이를 알려주는 결함알림부(318)를 더 포함할 수 있다.The
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 측정영역은 적어도 하나의 서브 픽셀(SP)(sub-pixel)일 수 있고, 적어도 하나의 픽셀(P)(pixel)일 수도 있다. 여기서, 서브 픽셀(SP)은 컬러 필터(CF)에서 개별 R, G, B 중 어느 하나를 가리키는 것이며, 픽셀(P) 또는 화소는 컬러 필터(CF)에서 개별 R, G, B 한 쌍을 가리키는 것으로 본 발명의 일 실시예에 따르면 적어도 화소별 결함을 측정할 수 있다.As shown in FIG. 2, the measurement area may be at least one sub-pixel (SP) or at least one pixel (P). Here, the sub-pixel SP refers to any one of the individual R, G, and B in the color filter CF, and the pixel P or the pixel refers to the pair of individual R, G, and B in the color filter CF. According to an embodiment of the present invention, at least the defects for each pixel can be measured.
또한, 상기 메모리부(311)는 결함의 종류에 따른 패턴을 데이터베이스화하는 데이터베이스를 더 포함하며, 상기 데이터베이스는 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 제1 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 제2 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 제3 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 제4 얼 룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 오염에 의한 제5 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 제6 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 제7 얼룩, 그리고 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 제8 얼룩에 관한 데이터와, 상기 데이터중 치유가능하거나 무시할 수 있는 결함과 액정 표시 패널를 버려야 하는 중대한 결함을 분류하여 저장하여, 상기 결함알림부(318)는 상기 데이터베이스를 참조하여 치유가능하거나 무시할 수 있는 결함과 액정 표시 패널를 버려야 하는 중대한 결함을 분류하여 소리, 또는 색 등으로 강조하여 알려줄 수 있다.In addition, the
이제 도 3 내지 도 7를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 방법을 상세히 설명한다. A method of inspecting a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to FIGS. 3 to 7.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이고, 도 4a 및 4b, 도 5a 및 도 5b, 및 도 6a 및 도 6b는 각각 다른 위치에 결함을 갖는 적색, 녹색, 청색 서브픽셀의 주기적 패턴 및 각각 다른 위치에 결함을 갖는 적색, 녹색, 청색 서브픽셀를 투과한 스펙트럼 분포의 차이를 도시한 그래프이다.3 is a flowchart illustrating a method of inspecting a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 4A and 4B, 5A and 5B, and 6A and 6B respectively have defects at different positions. It is a graph showing the difference between the periodic patterns of the red, green, and blue subpixels, and the spectral distribution passing through the red, green, and blue subpixels, each having a defect at different positions.
도 3을 참조하면, 먼저 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)를 검사스테이지(100)에 정렬 배치하고(S10), 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 공통전극과 화소전극 등 전극부에 상기 액정 표시 패널 어셈블리 구동유닛(11)에 의해서 구동신호를 인가함으로써 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)에 테스트 패턴을 형성 및 저장한다(S20).Referring to FIG. 3, first, the liquid crystal
예를들어, 점 또 선 결함을 검출하고자 하는 경우에는 모든 화소를 오프상태 또는 온 상태로 하여 즉, 블랙 또는 화이트상태에서 액정 표시 패널 어셈블리(10)를 투과한 투과광의 스펙트럼의 세기를 검출할 수 있다.For example, when the point or line defect is to be detected, the intensity of the spectrum of transmitted light transmitted through the liquid crystal
도 4a 내지 도 6b에 도시된 바와 같이, 주기적 패턴을 갖는 적색, 녹색, 청색 서브픽셀에 각각 다른 위치에 점 결함을 가질 경우에 각각 다른 위치에 결함을 갖는 적색, 녹색, 청색 서브픽셀을 투과한 스펙트럼이 각각 다른 분포를 나타냄을 알 수 있다.As shown in FIGS. 4A to 6B, when the red, green, and blue subpixels having a periodic pattern have point defects at different positions, respectively, the red, green, and blue subpixels having defects at different positions are transmitted. It can be seen that the spectra exhibit different distributions.
이제 상기 테스트 패턴에 의해서 선택된 서브픽셀 또는 화소를 복수개의 측정영역(A)으로 구획하여 상기 측정장치(200)가 상기 복수개의 측정영역을 동시에 검사하도록 제어한다(S30). Subsequently, the sub-pixel or the pixel selected by the test pattern is divided into a plurality of measurement regions A, and the
이 때, 상기 액정 표시 패널 어셈블리는 적색, 녹색, 및 청색 3종의 빛을 각각 투과시키는 3종의 필터가 주기적으로 반복하여 배치되는 패턴을 가지며 화소의 크기가 정사각형에 가깝기 때문에 측정영역을 화소별로 정하는 것이 2종 이상의 필터가 동시에 포함되더라도 측정 위치에 따라서 청색, 적색, 녹색의 각 필터를 투과하는 빛의 혼재 비율이 달라질 염려가 적기 때문에 바람직하다. In this case, the liquid crystal display panel assembly has a pattern in which three types of filters transmitting three types of light of red, green, and blue, respectively, are periodically arranged repeatedly. Since the size of the pixel is close to a square, the measurement area is pixel-by-pixel. Even if two or more types of filters are included at the same time, the mixing ratio of light passing through each of the blue, red, and green filters is less likely to vary depending on the measurement position.
즉, 측정영역(A)의 단변을 m, 장변을 n으로 분할하여 mxn개의 측정영역을 구획할 때 m과 n이 거의 동일한 것이 빛의 혼재 비율이 달라질 염려를 줄일 수 있어서 바람직하며, 상기 볼록렌즈를 상하방향으로 제어하여 측정영역(A)를 제어하거나, 상기 측정장치의 케이스(231)를 상하방향으로 이동시켜 복수개의 측정헤드를 동시에 초점제어 할 수 있다.That is, when dividing the mxn measurement areas by dividing the short side of the measuring area A by m and the long side by n, it is preferable that m and n are almost the same because the possibility of light mixing ratio can be reduced, and the convex lens May be controlled in the up and down direction to control the measurement area A, or the
상기 측정영역(A)과 측정장치의 측정헤드의 화소가 거희 일대일 대응되게 배치된 것을 확인하고, 즉, 측정영역(A)안에 1개의 화소, 4개의 화소 등과 같이 2n 개의 화소가 포함되는지 확인하고, 상기 측정헤드가 장착된 케이스(231)를 이동시키는 이동가속도가 상수로 설정되었는지 확인하고(S40), 광원(225)으로부터의 입사광이 평행한지를 확인하고(S50) 스펙트럼의 측정을 시작하기 때문에 고분해능의 카메라를 사용하지 않고도 신속하게 측정을 수행할 수 있다.Check that the pixels of the measuring area A and the measuring head of the measuring device are arranged in one-to-one correspondence, that is, whether 2 n pixels such as one pixel, four pixels, etc. are included in the measuring area A. And checking whether the moving acceleration for moving the
이와 같이 측정된 스펙트럼 세기를 측정하여 메모리부(311)에 저장하며(S60), 상기 저장된 스펙트럼 세기를 분광계산부(313)에서 측정영역별 평균값을 구하며(S70), 상기 강조처리연산부(315)에서 측정된 측정영역별 스펙트럼 세기가 평균값이상인지 비교하여 평균값 이상이면 해당 측정영역별 스펙트럼 세기를 정수배하거나 색을 달리하여 강조연산처리한다(S80).The measured spectral intensities are measured and stored in the memory unit 311 (S60), and the stored spectral intensities are calculated by the
예컨대, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 1개의 화소를 측정영역으로 설정하는 경우에 주기적 패턴을 가지기 때문에 10개의 화소에 대한 평균값도 정상인 경우라면 1개 화소의 측정된 스펙트럼 세기와 동일할 것이기 때문에 평균값을 액정 표시 패널 어셈블리 전체에 대해서 측정하지 않고서도 얻을 수 있다.For example, according to an embodiment of the present invention, since one pixel has a periodic pattern when the pixel is set as the measurement region, if the average value of the ten pixels is also normal, the measured spectral intensity of one pixel is the same. The average value can be obtained without measuring the whole liquid crystal display panel assembly.
또한, 측정영역을 10 개 화소라고 하여 평균값이 100이라고 가정할 때, 복수개의 측정영역중 평균값 100 미만인 예컨대 90으로 나타나는 측정영역을 선택하고, 다시 측정영역의 면적을 5개의 화소로 줄여서 평균값 미만인 영역을 찾고 이런 방식을 반복하여 최소 1개의 화소의 결함 또는 불량을 정확히 발견할 수도 있다.In addition, assuming that the measurement area is 10 pixels and the average value is 100, a measurement area that is represented by, for example, 90, which is less than 100 is selected among the plurality of measurement areas, and the area less than the average value is further reduced by reducing the area of the measurement area to 5 pixels. And repeat this method to find the exact defect or defect of at least one pixel.
따라서 복수개의 측정영역으로 나누어 여러 개의 픽셀을 하나의 측정영역으로 하여 불량여부를 판단할 수 있기 때문에 불량 검사가 신속하게 진행될 수 있을 뿐만 아니라 각각의 픽셀에 대해서도 평균값과 비교되기 때문에 정확하게 불량을 검출할 수 있다.Therefore, it is possible to determine whether or not a defect is made by dividing the measurement area into a plurality of pixels as one measurement area, so that the defect inspection can be performed quickly, and each pixel is compared with the average value so that the defect can be accurately detected. Can be.
상기 입체영상표시부(317)는 상기 분광계산부(313)와 강조처리연산부(315)에 의해서 계산된 값을 각각의 측정영역별로 입체적으로 표시한다(S90). The stereoscopic
따라서, 일반적으로 극히 극소한 막두께의 변화에 의하여 휘도치의 변화가 극히 적어서 검사하기 어려웠던 색 얼룩까지도 강조되어 입체적으로 표시되기 때문에 검사자가 쉽게 인식할 수 있다.Therefore, the inspector can easily recognize the color unevenness, which is difficult to inspect due to the extremely small change in the film thickness.
한편, 상기 결함알림부(318)는 상기 광전변환센서(215)로부터 전달된 측정영역의 전기적 신호, 스펙트럼 세기를 상기 메모리부(311)에 데이터베이스화된 데이터와 비교하여 결함여부, 결함종류, 결함의 심각도를 색 또는 소리로 알려준다(S100).Meanwhile, the
즉 상기 입체영상표시부(317)에 표시된 결함의 종류에 따른 패턴을 데이터베이스에 저장된 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 제1 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 제2 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 제3 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 제4 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 오염 에 의한 제5 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 제6 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 제7 얼룩, 그리고 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 제8 얼룩에 관한 데이터와 비교하여 상기 데이터중 치유가능하거나 무시할 수 있는 결함인지 액정 표시 패널를 버려야 하는 중대한 결함인지를 판단하여 치유가능하거나 무시할 수 있는 결함과 액정 표시 패널를 버려야 하는 중대한 결함을 분류하여 소리, 또는 색 등으로 강조하여 알려줄 수 있다.That is, the first unevenness and the liquid crystal of the liquid crystal display panel assembly in which the pattern according to the type of the defect displayed on the stereoscopic
도 7은 본 발명의 일 실시예에 다른 평판 표시 장치의 검사시스템의 결함표시부에 표시되는 평판 표시 어셈블리의 표시유닛당 스펙트럼 분포의 입체도이다.7 is a three-dimensional view of the spectral distribution per display unit of the flat panel display assembly displayed on the defect display unit of the inspection system of the flat panel display apparatus according to the embodiment of the present invention.
도 7에 도시된 바와 같이, 예컨대 스펙트럼 측정을 통해서 결함을 측정영역별 검출면적을 비교하고 스펙트럼 세기가 평균값을 일정 범위 이상을 벗어난 경우를 라인성 휘점(A)이라고 정의하고, 측정영역별 검출면적을 비교했을 때 검출면적이 국소적이면서 평균값을 일정 범위 이상 벗어난 경우 포인트성 휘점(B)라고 정의하고, 검출면적이 일정한 범위를 가지며 변동성이 일정 범위 이상을 벗어난 경우, 즉 일정한 거리 이상의 경향성을 갖는 경우를 얼룩(C)이라고 표시할 수 있다.As shown in FIG. 7, the detection area of each defect is compared with the detection area by means of spectral measurement, and the case where the spectral intensity is out of a certain range or more is defined as the linear bright point A, and the detection area for each measurement area is defined. When the detection area is local and the mean value is out of a certain range, it is defined as a point bright spot (B) .If the detection area has a certain range and the variability is out of a certain range, that is, it has a tendency more than a certain distance, The case can be marked as stain (C).
즉, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 측정영역별 다양한 결함을 동시에 표시할 수 있으며, 측정영역별 결함이 종류 및 결함의 심각도를 판단하여 평판 표시 패널 어셈블리의 폐기 여부를 결정할 수 있다.That is, according to an embodiment of the present invention, it is possible to display various defects for each measurement area at the same time, it is possible to determine whether to discard the flat panel display panel assembly by determining the type and the severity of the defects for each measurement area.
즉, 상기 결함알림장치(300)는 데이터베이스에 저장된 결함 패턴과 측정영역별 측정되는 스펙트럼 세기의 차이에 의해서, 예를 들어, 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리의 오염에 의한 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 얼룩과, 그리고 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 얼룩 등을 정확히 알려줄 수 있다.That is, the
이 때, 상기 결함알림장치(300)는 예컨대 광원(200)으로부터 상기 액정 표시 패널 어셈블리로 입사된 빛의 파장이 상기 액정 표시 패널 어셈블리를 구성하는 컬러 필터 표시 패널, 박막 트랜지스터 표시 패널, 이들 사이에 채워진 액정 물질층, 배향막의 두께 뿐만 아니라 상기 박막 트랜지스터 패널에 형성된 박막 트랜지스터의 두께, 상기 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터와 블랙 메트릭스의 두께, 상기 패널 이외의 광학 보상 패널의 두께 중 적어도 하나를 측정액정 표시 패널, 상기 액정 표시 패널상에 형성된 배향막, 포토레지스트층, 컬러필터, 또는 블랙 메트리스의 두께의 차이에 따라서 변화되기 때문에 이들 각각의 두께를 측정하여 이들의 차이에 의해서도 오염을 확인할 수 있다. In this case, the
입사된 빛의 파장이 매질의 굴절률 차이, 두께의 차이에 의해서 변화됨은 당해 기술분야의 통상의 지식을 가진자들에게 널리 알려질 사실이기 때문에 자세한 설명은 생략한다.Since the wavelength of the incident light is changed by the difference in the refractive index and the thickness of the medium, it will be well known to those skilled in the art, and thus the detailed description thereof will be omitted.
이상에서와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 평판 표시 장치의 검사시스템은 다음과 같은 효과가 있다.As described above, the inspection system of the flat panel display according to the embodiment of the present invention has the following effects.
본 발명의 실시예에 의하면, 평판 표시 장치의 불량을 정확히 검출할 수 있다. 특히, 복수개의 집속 렌즈를 각각 통과한 빛이 프리즘에 의해 파장 별로 분리되어 복수개의 광 다이오드 어레이에 흡수되므로, 평판 표시 장치에서 디스플레이되는 화상의 불량 중 얼룩까지 정확히 검출할 수 있게 된다.According to the embodiment of the present invention, the defect of the flat panel display can be detected accurately. In particular, since light passing through each of the plurality of focusing lenses is separated by wavelength by a prism and absorbed by the plurality of photodiode arrays, defects in an image displayed on the flat panel display can be accurately detected.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.
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