KR101073330B1 - auto probe inspection appratus and the inspecting method for LCD panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 패널을 오토 프로브(auto probe) 방식으로 검사하는 방법에 관한 것으로, 특히 액정 패널의 불량 위치를 정확하고 용이하게 검출할 수 있는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting a liquid crystal panel by an auto probe method, and more particularly, to an auto probe inspection apparatus and an inspection method for a liquid crystal panel capable of accurately and easily detecting a defective position of a liquid crystal panel.

본 발명에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치는 측광을 이용하여 상면 이물을 검출할 수 있고 복수의 카메라를 이용하여 이물 좌표를 매칭시킴으로써 액정 패널 내부의 결함(defect)에 대한 검출력을 향상시키는 효과가 있다.The auto probe inspection apparatus of the liquid crystal panel according to the present invention is capable of detecting foreign matter on the upper surface by using photometry, and has an effect of improving detection power for defects in the liquid crystal panel by matching foreign object coordinates using a plurality of cameras. have.

또한, 본 발명은 불량 유출을 감소시켜 제조 수율을 향상시키고, 액정 셀 최종 검사시에 검사자 수를 감소시킬 수 있어 인적 자원을 효율적으로 사용할 수 있다.In addition, the present invention can improve the manufacturing yield by reducing the outflow of defects, and can reduce the number of inspectors during the final inspection of the liquid crystal cell, so that human resources can be used efficiently.

오토 프로브, 액정 패널, 이물, 결함, 카메라, 측광Auto probe, liquid crystal panel, foreign object, defect, camera, metering

Description

액정 패널의 오토 프로브 검사 장치 및 검사 방법{auto probe inspection appratus and the inspecting method for LCD panel}Auto probe inspection appratus and the inspecting method for LCD panel

도 1은 일반적인 액정 표시 장치의 제조 공정 순서를 나타내는 순서도.1 is a flowchart illustrating a manufacturing process sequence of a general liquid crystal display device.

도 2는 종래 액정 패널 검사 장치를 나타낸 사시도.2 is a perspective view showing a conventional liquid crystal panel inspection device.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 일 실시예로서, 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치를 개략적으로 보여주는 도면.3 and 4 schematically show an auto probe inspection apparatus of a liquid crystal panel according to an embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치를 개략적으로 보여주는 도면.5 and 6 schematically show an auto probe inspection apparatus of a liquid crystal panel according to another embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 오토 프로브 검사 장치에서 이물의 위치에 따른 컬러 및 결과를 보여주는 표.7 is a table showing the color and the result according to the position of the foreign material in the auto probe inspection apparatus according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>Description of the Related Art [0002]

203, 303 : 오토 프로브 검사 장치 218 : 카메라 203, 303: auto probe inspection device 218: camera

206, 306 : 액정 패널 231 : 측광 발생부206, 306: liquid crystal panel 231: photometric generator

212, 312 : 지그부 214, 314 : 컴퓨터 시스템212, 312: jig part 214, 314: computer system

270, 370 : 어레이 기판 260, 360 : 컬러 필터 기판 270, 370: array substrate 260, 360: color filter substrate

261, 361 : 컬러 필터층 262, 362 : 블랙 매트릭스층261, 361: color filter layer 262, 362: black matrix layer

263, 363 : 공통 전극 265, 365 : 액정 263 and 363 common electrodes 265 and 365 liquid crystal                 

315 : 분광 필터 318, 319 : 제 1, 제 2 카메라315: spectral filter 318, 319: first, second camera

본 발명은 액정 패널을 오토 프로브(auto probe) 방식으로 검사하는 방법에 관한 것으로, 특히 액정 패널의 불량 위치를 정확하고 용이하게 검출할 수 있는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting a liquid crystal panel by an auto probe method, and more particularly, to an auto probe inspection apparatus and an inspection method for a liquid crystal panel capable of accurately and easily detecting a defective position of a liquid crystal panel.

최근 정보화 사회로 시대가 급발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시 장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었는데, 이중 액정 표시 장치가 해상도, 컬러 표시, 화질 등이 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터에 활발하게 적용되고 있다.Recently, with the rapid development of the information society, there is a need for a flat panel display having excellent characteristics such as thinness, light weight, and low power consumption. A dual liquid crystal display has a resolution, color display, and image quality. It is excellent and is actively applied to notebooks and desktop monitors.

일반적으로 액정 표시 장치는 전계 생성 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주하도록 배치하고 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직이게 함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.In general, a liquid crystal display device arranges two substrates on which electric field generating electrodes are formed so that the surfaces on which the two electrodes are formed face each other, injects a liquid crystal material between the two substrates, and then applies an electric voltage to the two electrodes. By moving the liquid crystal molecules by means of the device to express the image by the transmittance of light that varies accordingly.

도 1은 일반적인 액정 표시 장치의 제조 공정 순서를 나타내는 순서도이다.1 is a flowchart illustrating a manufacturing process sequence of a general liquid crystal display device.

도시한 바와 같이, 액정 표시 장치는 크게 상, 하부 기판의 적층구조를 형성하는 단계(S100)와, 액정 셀 공정(S110), 액정 패널의 오토 프로브(auto probe) 검사(S120), 그리고 모듈(module) 공정(S130)을 거쳐 제작되며, 본 발명은 이중에서 상기 액정 패널의 검사 공정에 관한 것이다.As shown in the drawing, the liquid crystal display includes a step (S100) of forming a stacked structure of upper and lower substrates, a liquid crystal cell process (S110), an auto probe inspection (S120) of a liquid crystal panel, and a module ( module) is manufactured through the step (S130), and the present invention relates to the inspection process of the liquid crystal panel.

일반적으로, 상기 액정 패널의 검사에서는 액정 패널 라인의 단선 검사와 점결함 등의 존재 여부 검사를 위하여 오토 프로브(AP;auto probe)검사 장치를 이용하여 점등 검사를 하게 되고, 그 외 현미경을 이용하여 검사를 행하게 된다.In general, in the inspection of the liquid crystal panel, a light inspection is performed by using an auto probe (AP) inspection apparatus for inspecting the disconnection of the liquid crystal panel line and the presence of point defects. Will be done.

상기의 액정 패널의 검사 장치는 통상적으로 피검사물인 액정 패널을 공급하는 액정 패널 공급부와, 실제로 검사가 이루어지는 검사부와 상기 액정 패널 공급부로부터 액정 패널을 공급하고 그 공급되는 액정 패널을 검사부로 로딩하기 위한 반송 장치를 포함한다.The inspection apparatus for the liquid crystal panel is a liquid crystal panel supply unit for supplying a liquid crystal panel, which is usually an inspected object, an inspection unit that is actually inspected, and a liquid crystal panel supplied from the liquid crystal panel supply unit and for loading the supplied liquid crystal panel into the inspection unit. It includes a conveying device.

도 2는 종래 액정 패널 검사 장치를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing a conventional liquid crystal panel inspection device.

도시한 바와 같이, 종래 액정 패널 검사 장치(102)는 크게 액정 패널 검사부(103), 액정 패널 공급 장치(104), 그리고 컴퓨터 시스템(116)으로 구성된다.As shown in the drawing, the conventional liquid crystal panel inspection device 102 is largely composed of a liquid crystal panel inspection unit 103, a liquid crystal panel supply device 104, and a computer system 116.

상기 액정 패널 검사부(103)는 크게 현미경(108), 현미경 수평, 수직 이동수단(110, 112), 현미경 수직 이동 가이드(114) 그리고, 검사부에 얹혀진 피검사물인 액정 패널(115)을 포함한다.The liquid crystal panel inspection unit 103 includes a microscope 108, a microscope horizontal and vertical moving means 110 and 112, a microscope vertical movement guide 114, and a liquid crystal panel 115 as an inspection object placed on an inspection unit.

상기 현미경(108)은 상기 수평, 수직 이동수단(110, 112)을 이용하여 상, 하, 좌, 우로 이동할 수 있는 구조로 되어 있다.The microscope 108 has a structure capable of moving up, down, left, and right by using the horizontal and vertical moving means (110, 112).

상기 액정 패널(115)은 액정 패널의 하부 기판에 형성된 패드(113)를 통하여 상기 액정 패널 검사 장치(102)에 연결된다.The liquid crystal panel 115 is connected to the liquid crystal panel inspection device 102 through a pad 113 formed on a lower substrate of the liquid crystal panel.

도시되지는 않았지만, 상기 액정 패널 검사 장치(102)는 상기 액정 패널(115)을 검사 장치(102)에 연결시키기 위한 지그(미도시)를 포함한다. Although not shown, the liquid crystal panel inspection device 102 includes a jig (not shown) for connecting the liquid crystal panel 115 to the inspection device 102.                         

상기 액정 패널 공급 장치(104)는 액정 패널 공급부 본체와 액정 패널 공급부(106)를 포함한다.The liquid crystal panel supply device 104 includes a liquid crystal panel supply unit body and a liquid crystal panel supply unit 106.

그리고, 상기 액정 패널 검사부(103)에는 컴퓨터 시스템(116)이 연결되어 구동 신호 등을 상기 액정 패널(115)의 여러 구동 조건에 맞게 전달하는 역할을 한다.In addition, the computer system 116 is connected to the liquid crystal panel inspecting unit 103 to transmit driving signals and the like according to various driving conditions of the liquid crystal panel 115.

이러한 종래의 액정 패널 검사 장치(102)에서는, 피 검사물인 각각의 액정 패널(115)의 모델별로 적합한 구동 신호를 인가한 후 액정 패널(115) 상에 특정 화면을 띄워 액정 패널(115)의 정상 구동 및 불량 유무를 판별한다.In such a conventional liquid crystal panel inspection apparatus 102, after applying a suitable driving signal for each model of each liquid crystal panel 115 as an object to be inspected, a specific screen is displayed on the liquid crystal panel 115 so that the top of the liquid crystal panel 115 is normal. Determine whether it is driving or defective.

그런데, 이러한 액정 패널 검사 장치(102)에서는 신호가 인가된 액정 패널(115)의 화면을 먼저 육안으로 관찰하여 점 결함 등의 불량이 발견되면 상기 현미경(108)을 상기 점 결함 등의 불량 위치(A)에 위치시켜 현미경(8)으로 자세한 관찰을 하게 된다.By the way, in the liquid crystal panel inspection device 102, when the screen of the liquid crystal panel 115 to which a signal is applied is first observed by the naked eye, and a defect such as a point defect is found, the microscope 108 is moved to a defective position such as the point defect ( It is located in A) to make a detailed observation with the microscope (8).

그러나, 종래의 액정 패널 검사에서는 육안 관찰 또는 현미경 관찰 시 액정 패널의 상면 또는 하면에 부착된 이물에 의한 점 결함과 액정 패널의 내부에 형성된 이물에 의한 점 결함을 구별하기가 어려운 문제점이 있다.However, in the conventional liquid crystal panel inspection, there is a problem that it is difficult to distinguish between the point defects caused by foreign matters attached to the upper or lower surface of the liquid crystal panel and the point defects caused by foreign matters formed inside the liquid crystal panel during visual observation or microscopic observation.

즉, 상기 액정 패널의 상면 또는 하면에 부착된 이물에 의한 점 결함시에는 상기 액정 패널의 상면 또는 하면을 세정함으로써 해결할 수 있으나, 상기 액정 패널의 내부에 형성된 이물에 의한 점 결함은 리얼 디펙트(real defect)로써 실제 불량을 발생시키는 문제점이 있다.That is, when the point defects caused by the foreign matter attached to the upper or lower surface of the liquid crystal panel may be solved by cleaning the upper or lower surface of the liquid crystal panel, the point defects caused by the foreign matter formed inside the liquid crystal panel may be corrected. There is a problem that causes a real defect as a real defect).

본 발명은 액정 패널에서 측광을 이용하여 불량 위치를 정확하고 용이하게 검출할 수 있도록 하는 액정 패널의 오토 프로브 장치 및 검사 방법을 제공하는 데 제 1 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has a first object to provide an auto probe device and an inspection method for a liquid crystal panel that enable accurate and easy detection of a defective position using photometry in a liquid crystal panel.

그리고, 본 발명은 액정 패널 검사시에 복수의 카메라를 이용하여 액정 패널의 불량 위치를 정확하게 검출할 수 있도록 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 데 제 2 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide an autoprobe inspection apparatus and an inspection method for a liquid crystal panel, which can accurately detect a defective position of the liquid crystal panel by using a plurality of cameras during the liquid crystal panel inspection.

상기한 제 1 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치는, 액정 패널과; 상기 액정 패널을 촬영하는 카메라와; 상기 액정 패널 측면에서 광을 조사하는 측광 발생부(side light source)와; 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하는 회로 기판부와; 상기 카메라로 촬영된 화상에서 이물의 위치를 판별하는 컴퓨터 시스템을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above described first object, an auto probe inspection apparatus for a liquid crystal panel according to the present invention includes a liquid crystal panel; A camera for photographing the liquid crystal panel; A side light source for irradiating light from the side of the liquid crystal panel; A circuit board part applying a driving signal to the liquid crystal panel; It characterized in that it comprises a computer system for determining the position of the foreign material in the image taken by the camera.

상기 액정 패널은 서로 마주보고 결합되는 어레이 기판 및 컬러 필터 기판과, 그 사이에 주입된 액정으로 이루어진 것을 특징으로 한다.The liquid crystal panel is characterized by consisting of an array substrate and a color filter substrate facing each other and the liquid crystal injected therebetween.

상기 카메라는 상기 액정 패널의 일정 영역을 촬영하는 것을 특징으로 한다.The camera may photograph a predetermined area of the liquid crystal panel.

상기 측광에 의해서 액정 패널의 상면 이물 위치에서 휘점 결함(bright defect)이 발생하는 것을 특징으로 한다.The above-mentioned photometry is characterized in that a bright defect occurs at an upper foreign material position of the liquid crystal panel.

또한, 상기한 제 2 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치는, 액정 패널과; 상기 액정 패널의 소정 영역을 촬영하는 복수의 카메라와; 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하는 회로 기판부와; 상기 액정 패널로 광을 조사하는 광 발생부와; 상기 복수의 카메라로 액정 패널의 이물의 위치를 판별하는 컴퓨터 시스템을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.Moreover, in order to achieve said 2nd object, the auto probe inspection apparatus of the liquid crystal panel which concerns on this invention is a liquid crystal panel; A plurality of cameras for photographing a predetermined area of the liquid crystal panel; A circuit board part applying a driving signal to the liquid crystal panel; A light generator for irradiating light to the liquid crystal panel; It characterized in that it comprises a computer system for determining the position of the foreign material of the liquid crystal panel by the plurality of cameras.

또한, 상기한 제 1, 2 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치는, 액정 패널과; 상기 액정 패널의 소정 영역을 촬영하는 복수의 카메라와; 상기 액정 패널 측면에서 광을 조사하는 측광 발생부(side light source)와; 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하는 회로 기판부와; 상기 액정 패널로 광을 조사하는 광 발생부와; 상기 카메라로 촬영된 화상에서 이물의 위치를 판별하는 컴퓨터 시스템을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.Moreover, in order to achieve said 1st, 2nd object, the auto probe inspection apparatus of the liquid crystal panel which concerns on this invention is a liquid crystal panel; A plurality of cameras for photographing a predetermined area of the liquid crystal panel; A side light source for irradiating light from the side of the liquid crystal panel; A circuit board part applying a driving signal to the liquid crystal panel; A light generator for irradiating light to the liquid crystal panel; It characterized in that it comprises a computer system for determining the position of the foreign material in the image taken by the camera.

그리고, 상기 제 1 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사 방법은, 액정 패널을 준비하는 단계와; 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하는 단계와; 상기 액정 패널을 점등/소등하여 전체 이물의 위치를 판별하는 단계와; 상기 액정 패널 표면에 측광을 조사하여 상면 이물의 위치를 판별하는 단계와; 상기 전체 이물의 위치에서 상면 이물의 위치를 소거하여 상기 액정 패널 내부의 이물 위치 데이터를 획득하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, in order to achieve the first object, an auto probe inspection method of a liquid crystal panel according to the present invention includes the steps of preparing a liquid crystal panel; Applying a driving signal to the liquid crystal panel; Turning on / off the liquid crystal panel to determine the position of all foreign objects; Irradiating photometry to the surface of the liquid crystal panel to determine a position of an upper surface foreign material; And removing foreign material position data in the liquid crystal panel by erasing the foreign material position at the entire foreign object position.

또한, 상기 제 2 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사 방법은, 액정 패널을 준비하는 단계와; 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하는 단계와; 상기 액정 패널을 점등, 소등하는 단계와; 상기 액정 패널의 소정 영역을 복수의 카메라로 촬영하는 단계와; 상기 카메라로 촬영된 동일 이물에 대한 좌표 값과 컬러를 매칭(matching)하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으 로 한다.In addition, the auto probe inspection method of the liquid crystal panel according to the present invention to achieve the second object comprises the steps of preparing a liquid crystal panel; Applying a driving signal to the liquid crystal panel; Turning on and off the liquid crystal panel; Photographing a predetermined area of the liquid crystal panel with a plurality of cameras; And matching the coordinate values and colors of the same foreign material photographed by the camera.

상기 카메라에는 적, 녹, 청의 분광 필터가 장착되는 것을 특징으로 한다.The camera is equipped with a spectroscopic filter of red, green, blue.

또한, 상기한 제 1, 2 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사 방법은, 액정 패널을 준비하는 단계와; 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하는 단계와; 상기 액정 패널을 점등/소등하여 전체 이물의 위치를 판별하는 단계와; 상기 액정 패널 표면에 측광을 조사하여 상면 이물의 위치를 판별하는 단계와; 상기 액정 패널의 소정 영역을 복수의 카메라로 촬영하는 단계와; 상기 카메라로 촬영된 동일 이물에 대한 좌표 값과 컬러를 매칭(matching)하여 상기 액정 패널의 후면 이물의 위치를 판별하는 단계와; 상기 전체 이물의 위치에서 상면, 후면 이물의 위치를 소거하여 상기 액정 패널 내부의 이물 위치 데이터를 획득하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the auto probe inspection method of the liquid crystal panel according to the present invention in order to achieve the above-mentioned first and second objects, comprising the steps of: preparing a liquid crystal panel; Applying a driving signal to the liquid crystal panel; Turning on / off the liquid crystal panel to determine the position of all foreign objects; Irradiating photometry to the surface of the liquid crystal panel to determine a position of an upper surface foreign material; Photographing a predetermined area of the liquid crystal panel with a plurality of cameras; Determining a position of a foreign object on the rear side of the liquid crystal panel by matching color and coordinate values of the same foreign material photographed by the camera; And removing foreign material position data in the liquid crystal panel by erasing foreign material positions of the upper and rear surfaces at the position of the entire foreign material.

이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 오토 프로브 검사 장치의 구체적인 실시예에 대해서 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a specific embodiment of the auto probe inspection apparatus according to the present invention.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 일 실시예로서, 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.3 and 4 are diagrams schematically showing an auto probe inspection apparatus of a liquid crystal panel according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 오토 프로브 검사 장치(203)는 카메라(218), 액정 패널(206), 측광 발생부(side light source)(231), 회로 기판부(도시되지 않음), 지그부(212), 그리고 컴퓨터 시스템(214)을 포함한다.3 and 4, the auto probe inspection device 203 according to the present invention includes a camera 218, a liquid crystal panel 206, a side light source 231, a circuit board portion ( Not shown), jig portion 212, and computer system 214.

상기 측광 발생부(231)는 빛을 발생시키는 광원으로서, 상기 액정 패널(206)의 사이드(side)에서 액정 패널(206)의 표면으로 측광을 발생시킨다. The photometric generator 231 is a light source for generating light, and generates photometric light from the side of the liquid crystal panel 206 to the surface of the liquid crystal panel 206.                     

상기 측광 발생부(231)에서 발생한 측광은 상면 이물(B, C)에 의하여 산란되므로, 상기 측광 발생부(231)에 의해서 상면 이물(B, C) 위치를 판별할 수 있다.Since the photometry generated by the photometric generator 231 is scattered by the upper surface foreign materials B and C, the position of the upper surface foreign materials B and C may be determined by the photometric generation unit 231.

상기 액정 패널(206)은 서로 마주 보도록 결합되어 있는 어레이 기판(270) 및 컬러 필터 기판(260)과, 그 사이에 주입되어 온도의 변화나 농도의 변화에 따라 상 전이를 발생하는 액정(265) 물질로 이루어져 있다.The liquid crystal panel 206 is an array substrate 270 and a color filter substrate 260 which are coupled to face each other, and the liquid crystal 265 which is injected therebetween to generate a phase transition according to a change in temperature or a change in concentration. It is made of matter.

이러한 액정 패널은 크게 어레이(array) 공정, 컬러 필터(color filter) 공정, 액정 셀(Cell) 공정 및 모듈(module) 공정을 거쳐 제조된다.The liquid crystal panel is largely manufactured through an array process, a color filter process, a liquid crystal cell process, and a module process.

여기서, 상기 어레이 기판(270)은 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열된 복수 개의 게이트 배선과 상기 각 게이트 배선에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 배열되는 복수개의 데이터 배선과 상기 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 매트릭스(matrix) 화소 영역에 각각 형성되는 복수 개의 박막 트랜지스터 및 화소 전극들이 형성되어 있다.Here, the array substrate 270 may include a plurality of gate lines arranged in one direction at regular intervals and a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and the gate lines and data lines. A plurality of thin film transistors and pixel electrodes respectively formed in the matrix pixel region defined by the plurality are formed.

또한, 상기 컬러 필터 기판(260)은 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(black matrix)층(262)과 컬러 필터층(261) 및 공통 전극(263)이 형성되어 있다.In addition, the color filter substrate 260 includes a black matrix layer 262, a color filter layer 261, and a common electrode 263 for blocking light in portions other than the pixel region.

상기 카메라(218)는 상기 액정 패널(206)의 상, 하, 좌, 우로 이동이 가능하며 상기 액정 패널(206)의 소정 영역을 관찰할 수 있다.The camera 218 may move up, down, left, and right of the liquid crystal panel 206 and may observe a predetermined region of the liquid crystal panel 206.

상기 컴퓨터 시스템(214)은 상기 카메라(218)를 통해 관찰된 액정 패널(206)의 결함 위치를 판별하고 상기 액정 패널(206)로 구동 신호를 전송한다.The computer system 214 determines the defect position of the liquid crystal panel 206 observed through the camera 218 and transmits a drive signal to the liquid crystal panel 206.

이때, 상기 컴퓨터 시스템(214)은 상기 액정 패널(206)의 점등, 소등에 의한 전체 결함 위치(B, C, D, E)를 판별한 후, 상기 측광(side light)에 의한 패널 상면 이물(B, C) 위치를 판별한다.At this time, the computer system 214 determines the total defect positions (B, C, D, E) by turning on or off the liquid crystal panel 206, and then detects the foreign matter on the upper surface of the panel by the side light ( B, C) Determine the position.

그리고, 상기 전체 결함 위치(B, C, D, E)에서 상기 상면 이물(B, C) 위치를 소거하여 액정 패널(206)에서 실제 불량을 발생시키는 리얼 디펙트(real defect)(D, E)를 판별할 수 있다.In addition, a real defect (D, E) that generates a real defect in the liquid crystal panel 206 by erasing the upper foreign material (B, C) positions at the entire defect positions (B, C, D, and E). ) Can be determined.

여기서, 상기 리얼 디펙트(D, E)는 액정 패널(206) 내부에 발생된 이물에 의한 불량으로서 단순한 세정 공정 등으로 제거할 수 없으므로 정확한 결함 위치를 파악하는 것이 중요하다.Here, since the real defects D and E cannot be removed by a simple cleaning process due to a defect caused by foreign substances generated inside the liquid crystal panel 206, it is important to identify the exact defect position.

상기와 같이 구성되는 액정 패널(206)의 오토 프로브 검사 장치(203)를 이용하여 액정 패널(206)의 결함 위치를 판별하는 방법을 설명한다.The method of discriminating the defect position of the liquid crystal panel 206 using the auto probe inspection apparatus 203 of the liquid crystal panel 206 comprised as mentioned above is demonstrated.

먼저, 액정 패널(206)을 제작한다.First, the liquid crystal panel 206 is produced.

상기 액정 패널(206)은 어레이 기판(270)과 컬러 필터 기판(260)이 서로 대향하여 위치하고 있으며, 상기 액정 패널(206)은 그 사이에 액정(265)을 형성하고 있다.The array substrate 270 and the color filter substrate 260 are positioned to face each other, and the liquid crystal panel 206 forms a liquid crystal 265 therebetween.

상기 어레이 기판(270)을 형성하는 어레이 공정은 증착(deposition) 및 사진 석판술(photolithography), 식각(etching) 공정을 반복하여 기판 상에 박막 트랜지스터(thin film transistor; TFT로 약칭) 어레이를 제작하는 공정이다.In the array process of forming the array substrate 270, a thin film transistor (abbreviated TFT) array is fabricated on a substrate by repeating deposition, photolithography, and etching processes. It is a process.

한편, 상기 컬러 필터 기판(260)을 형성하는 컬러 필터 공정은 화소 영역을 제외한 부분에는 빛이 차광되도록 기판에 블랙 매트릭스(black matrix)층(262)을 형성하고, 염료나 안료를 사용하여 적(red), 녹(green), 청(blue)의 컬러 필터층 (261)을 제작한 후, ITO(indium tin oxide) 등으로 공통 전극(263)을 형성하는 공정이다.Meanwhile, in the color filter process of forming the color filter substrate 260, a black matrix layer 262 is formed on the substrate so that light is shielded in portions except the pixel region, and a red or black color is used using a dye or a pigment. After manufacturing the red, green, and blue color filter layers 261, the common electrode 263 is formed of indium tin oxide (ITO) or the like.

상기 액정 패널(206)을 형성하고 난 후에는 상기 액정 패널(206)의 결함 등의 존재 여부를 검사하기 위하여 본 발명에 따른 오토 프로브 검사 장치(203)를 이용하여 점등 검사를 하게 된다.After the liquid crystal panel 206 is formed, a lighting test is performed by using the auto probe inspection apparatus 203 according to the present invention in order to inspect the existence of a defect or the like of the liquid crystal panel 206.

상기 액정 패널(206)의 오토 프로브 검사 장치(203)는 액정 패널(206)의 가장 자리에 형성되어 있는 패드(208)에 지그(212)의 핀(210)과 전기적으로 접촉한다.The auto probe inspection device 203 of the liquid crystal panel 206 is in electrical contact with the pin 210 of the jig 212 on the pad 208 formed at the edge of the liquid crystal panel 206.

상기 지그(212)는 상기 액정 패널(206)을 구동하기 위하여 상기 컴퓨터 시스템(214)에서 보내진 구동 신호가 상기 회로 기판부를 통해 액정 패널(206)로 전달되도록 한다.The jig 212 allows a drive signal sent from the computer system 214 to be transmitted to the liquid crystal panel 206 through the circuit board portion to drive the liquid crystal panel 206.

즉, 상기 지그(212)는 상기 액정 패널(206)의 패드(208)와 상기 회로 기판부를 단순히 전기적으로 연결시키는 역할을 한다.That is, the jig 212 simply serves to electrically connect the pad 208 of the liquid crystal panel 206 and the circuit board part.

상기 회로 기판부는 컴퓨터 시스템(214)에서 보내진 구동 신호를 피검사물인 액정 패널(206)의 모델별 구동 조건에 맞게 신호를 변환하여 상기 지그(212)로 전달하는 역할을 한다.The circuit board unit converts the driving signal sent from the computer system 214 to the jig 212 according to the driving conditions for each model of the liquid crystal panel 206.

그리고, 상기 액정 패널(206)의 점등, 소등에 따른 전체 결함 위치를 카메라(218)를 통해 판별한다.Then, the entire defect position caused by the lighting or turning off of the liquid crystal panel 206 is determined by the camera 218.

즉, 상기 액정 패널(206)에 검사에 필요한 특정 화면, 예를 들어, 수행하고자 하는 검사의 형태에 따라 블랙 모드, 화이트 모드, 적색 모드, 녹색 모드 또는 청색 모드 등의 화면을 띄워 액정 패널(206)의 정상 구동 및 불량 유무를 검사하여 전체 결함 위치(B, C, D, E)를 파악한다.That is, the liquid crystal panel 206 displays a screen such as a black mode, a white mode, a red mode, a green mode, or a blue mode according to a specific screen necessary for an inspection, for example, a type of inspection to be performed on the liquid crystal panel 206. ), Check the normal operation and whether there are any defects to determine the total defect location (B, C, D, E).

이어서, 상기 액정 패널(206)의 측광에 따른 상면 이물(B, C) 위치를 카메라(218)를 통해 판별한다.Subsequently, the position of the upper surface foreign materials B and C according to the photometry of the liquid crystal panel 206 is determined through the camera 218.

즉, 상기 액정 패널(206)에 측광 발생부(231)에서 측광을 조사하면 상기 액정 패널(206)의 상면에 부착된 이물(B, C)에서 산란광이 발생하여 상기 액정 패널(206)의 상면 이물(B, C) 위치를 판별할 수 있게 된다.That is, when the photometric generator 231 irradiates the photometric light to the liquid crystal panel 206, scattered light is generated from the foreign materials B and C attached to the upper surface of the liquid crystal panel 206, so that the upper surface of the liquid crystal panel 206 is exposed. It is possible to determine the position of the foreign material (B, C).

이와 같이, 상기 액정 패널(206)의 전체 결함 위치(B, C, D, E)에서 상기 액정 패널(206)의 상면 이물(B, C) 위치를 소거하면 상기 액정 패널(206) 내부에서 실제 불량을 일으키는 리얼 디펙트(real defect)(D, E)를 판별할 수 있게 된다.As such, when the top foreign matters B and C of the liquid crystal panel 206 are erased at all defect positions B, C, D, and E of the liquid crystal panel 206, the inside of the liquid crystal panel 206 is actually removed. It is possible to determine the real defects (D, E) causing the defects.

도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.5 and 6 are diagrams schematically showing an auto probe inspection apparatus of a liquid crystal panel according to another embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 오토 프로브 검사 장치(303)는 제 1, 2 카메라(318, 319), 액정 패널(306), 회로 기판부(도시되지 않음), 지그부(312), 그리고 컴퓨터 시스템(314)을 포함한다.As shown in FIGS. 5 and 6, the auto probe inspection device 303 according to the present invention includes the first and second cameras 318 and 319, the liquid crystal panel 306, a circuit board portion (not shown), and a jig. Part 312, and computer system 314.

상기 제 1, 2 카메라(318, 319)는 상기 액정 패널(306)에 존재하는 이물의 위치(a, b, c, d, e)를 중복하여 검사한다.The first and second cameras 318 and 319 overlap and inspect the positions a, b, c, d, and e of the foreign matter present in the liquid crystal panel 306.

상기 제 1, 2 카메라(318, 319)는 상기 액정 패널(306) 상부에 서로 다른 위치에서 촬영함으로써 상기 액정 패널(306)에 존재하는 이물의 위치(a, b, c, d, e)를 정확하게 판별할 수 있다. The first and second cameras 318 and 319 photograph positions of the foreign matter present in the liquid crystal panel 306 by photographing them at different positions on the liquid crystal panel 306. Can be determined accurately.                     

이때, 상기 제 1, 2 카메라(318, 319)는 액정 패널(306)의 소정 영역을 중복되도록 촬영한다.In this case, the first and second cameras 318 and 319 photograph a predetermined region of the liquid crystal panel 306 so as to overlap each other.

그리고, 상기 제 1, 2 카메라(318, 319)에는 분광 필터(315)가 장착되어 있어 적, 녹, 청색만 분리하여 촬영할 수 있다.In addition, the first and second cameras 318 and 319 are equipped with a spectral filter 315 so that only red, green, and blue can be separated and photographed.

따라서, 서로 다른 위치에 배치되어 있는 상기 제 1, 2 카메라(318, 319)에서 액정 패널(306) 점등 및 소등시에 이물의 위치(a, b, c, d, e)를 판별하면 상기 이물이 액정 패널 이면에 외치한 것인지 액정 패널 내면에 위치한 것인지 판별할 수 있게 된다.Therefore, when the first and second cameras 318 and 319 disposed at different positions determine the positions (a, b, c, d, e) of the foreign material when the liquid crystal panel 306 is turned on and off, the foreign material is detected. It is possible to discriminate whether it is placed on the rear surface of the liquid crystal panel or located on the inner surface of the liquid crystal panel.

상기 액정 패널(306)은 서로 마주 보도록 결합되어 있는 어레이 기판(370) 및 컬러 필터 기판(360)과, 그 사이에 형성된 액정(365)으로 이루어지며, 상기 어레이 기판(370)은 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열된 복수 개의 게이트 배선과 상기 각 게이트 배선에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 배열되는 복수개의 데이터 배선과 상기 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 매트릭스(matrix) 화소 영역에 각각 형성되는 복수 개의 박막 트랜지스터 및 화소 전극들이 형성되어 있다.The liquid crystal panel 306 includes an array substrate 370 and a color filter substrate 360 coupled to face each other, and a liquid crystal 365 formed therebetween, and the array substrate 370 has a predetermined interval. A plurality of gate lines arranged in one direction, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and a matrix pixel region defined by the gate lines and the data lines, respectively. A plurality of thin film transistors and pixel electrodes are formed.

또한, 상기 컬러 필터 기판(360)은 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(black matrix)층(362)과 컬러 필터층(361) 및 공통 전극(363)이 형성되어 있다.In addition, the color filter substrate 360 includes a black matrix layer 362, a color filter layer 361, and a common electrode 363 to block light in portions other than the pixel region.

그리고, 상기 컴퓨터 시스템(314)은 상기 액정 패널(306)로 구동 신호를 전송하며, 상기 제 1, 2 카메라(318, 319)를 통해 관찰된 액정 패널(306)의 결함 위 치(a, b, c, d, e)를 판별하여 리얼 디펙트(real defect)(b)를 검출할 수 있다.In addition, the computer system 314 transmits a driving signal to the liquid crystal panel 306, and positions of defects a and b of the liquid crystal panel 306 observed through the first and second cameras 318 and 319. , c, d, e) can be determined to detect a real defect b.

이때, 동일 이물에 대하여 상기 제 1, 2 카메라(318, 319)를 이용하여 중복하여 측정하는데, 이때 상기 카메라 영상의 컬러(color)는 동일하고 좌표값에 차이가 있을 경우에 내부 이물에 의한 것으로 판단할 수 있으므로, 리얼 디펙트(real defect)(b)를 판별할 수 있다.In this case, the same foreign object is measured repeatedly by using the first and second cameras 318 and 319. In this case, when the color of the camera image is the same and there is a difference in coordinate values, it is caused by an internal foreign object. As it can be determined, the real defect b can be determined.

여기서, 상기 리얼 디펙트(b)는 액정 패널 내부에 발생된 이물에 의한 불량으로서 단순한 세정 공정등으로 제거할 수 없으므로 정확한 결함 위치를 파악하는 것이 중요하다.In this case, the real defect (b) is a defect caused by a foreign material generated inside the liquid crystal panel and cannot be removed by a simple cleaning process.

상기와 같이 구성되는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치를 이용하여 액정 패널의 결함 위치를 판별하는 방법을 구체적으로 설명한다.The method of determining the defect position of a liquid crystal panel using the auto probe inspection apparatus of the liquid crystal panel comprised as mentioned above is demonstrated concretely.

도 7은 본 발명에 따른 오토 프로브 검사 장치에서 두 대의 카메라를 이용하여 컬러 측정시 이물의 위치에 따른 컬러 및 결과를 보여주는 표이다.7 is a table showing the color and the result according to the position of the foreign material when the color measurement using two cameras in the auto probe inspection apparatus according to the present invention.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치(303)는 적어도 두 대의 제 1, 2 카메라(318, 319)를 이용하여 동일 영역을 중복하여 촬영함으로써 이물 위치(a, b, c, d, e)에 따른 컬러 차이로 리얼 디펙트(real defect)(b)를 판별한다.As shown in FIGS. 6 and 7, the auto probe inspection apparatus 303 of the liquid crystal panel according to the present invention uses the at least two first and second cameras 318 and 319 to repeatedly photograph the same region. The real defect b is determined by the color difference according to the positions a, b, c, d and e.

이때, 상기 제 1, 2 카메라(318, 319)는 적, 녹, 청색의 분광 필터(315)가 구비됨으로써 상기 액정 패널(306)의 점등시에 이물에 의한 산란광에 의해서 위치를 알아낼 수 있다.In this case, the first and second cameras 318 and 319 may be provided with red, green, and blue spectral filters 315 so that the first and second cameras 318 and 319 may be located by scattered light due to foreign matters when the liquid crystal panel 306 is turned on.

상기 이물(a, b, c, d, e)은 액정 패널의 상면, 내부, 이면 등에서 발생할 수 있는데, 실제로 액정 패널의 구동시에 불량을 일으키는 이물의 위치는 액정 패널의 내면 이물(b)이다.The foreign materials a, b, c, d, and e may occur on the upper surface, the inner surface, the rear surface, and the like of the liquid crystal panel. In fact, the position of the foreign substance that causes defects when the liquid crystal panel is driven is the foreign material b of the inner surface of the liquid crystal panel.

상기 액정 패널(306)의 내면 이물을 리얼 디펙트(real defect)라고 하는데, 상기 제 1, 2 카메라(318, 319)에 적색 분광 필터(315)를 장착하고, 다양한 위치에 형성된 이물의 좌표(coordinates)와 컬러(color)를 측정한다.The foreign material on the inner surface of the liquid crystal panel 306 is called a real defect. The red spectroscopic filter 315 is mounted on the first and second cameras 318 and 319, and the coordinates of the foreign material formed at various positions ( coordinates and color.

그러면, 상면 이물(a, e)의 경우에는 제 1, 2 카메라(318, 319)로 측정한 좌표가 동일하고 컬러도 적색(R), 녹색(G)으로 동일하다.Then, in the case of the upper surface foreign materials a and e, the coordinates measured by the first and second cameras 318 and 319 are the same, and the colors are the same in red (R) and green (G).

또한, 내면 이물(b)의 경우에는 제 1, 2 카메라가 인식한 좌표가 틀리고 컬러는 적색(R)으로 동일하다. In the case of the inner surface foreign material b, the coordinates recognized by the first and second cameras are different and the color is the same as red (R).

그리고, 이면 이물(c, d)의 경우에는 제 1, 2 카메라가 인식한 좌표가 틀리고 컬러도 틀리다.In the case of the back surface foreign materials (c, d), the coordinates recognized by the first and second cameras are different and the color is different.

이는 상기 액정 패널의 두께(L)에 의하여 발생된 오차값(ΔL) 때문이다.This is due to an error value ΔL generated by the thickness L of the liquid crystal panel.

이때, 상기 내면 이물의 경우에는 액정 패널(306)의 해상도에 따라 소정의 오차값(α)이 발생하며, 제 1, 2 카메라(318, 319)로 측정된 컬러는 동일하다.In this case, a predetermined error value α is generated according to the resolution of the liquid crystal panel 306, and the colors measured by the first and second cameras 318 and 319 are the same.

따라서, 상기 이물에 대한 좌표값과 컬러로서 상기 이물이 리얼 디펙트(real defect)인지 상면, 이면 이물인지를 판단할 수 있다.Therefore, it is possible to determine whether the foreign material is a real defect, a top surface, or a back surface foreign material as a coordinate value and a color of the foreign material.

이때, 상면, 이면 이물일 경우에는 소거하고, 상기 리얼 디펙트만 액정 패널의 결함으로 데이터 출력한다.In this case, the upper surface and the rear surface foreign matter are erased, and only the real defect is outputted as a defect of the liquid crystal panel.

이상, 본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 하여 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치 및 검사 방법이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.In the above, the present invention has been described with reference to the embodiment shown in the drawings the auto probe inspection apparatus and inspection method of the liquid crystal panel, this is only an example, those skilled in the art will be various It will be understood that other variations and equivalent embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

본 발명에 따른 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치는 측광을 이용하여 상면 이물을 검출할 수 있고 복수의 카메라를 이용하여 이물 좌표를 매칭시킴으로써 액정 패널 내부의 결함(defect)에 대한 검출력을 향상시키는 효과가 있다.The auto probe inspection apparatus of the liquid crystal panel according to the present invention is capable of detecting foreign matter on the upper surface by using photometry, and has an effect of improving detection power for defects in the liquid crystal panel by matching foreign object coordinates using a plurality of cameras. have.

또한, 본 발명은 불량 유출을 감소시켜 제조 수율을 향상시키는 효과가 있다. In addition, the present invention has the effect of improving the manufacturing yield by reducing defective outflow.

또한, 본 발명은 액정 셀 최종 검사시에 검사자 수를 감소시킬 수 있어 인적 자원을 효율적으로 사용할 수 있는 효과가 있다.
In addition, the present invention can reduce the number of inspectors in the final inspection of the liquid crystal cell, there is an effect that can use the human resources efficiently.

Claims (14)

액정 패널과;A liquid crystal panel; 상기 액정 패널을 촬영하는 복수의 카메라와;A plurality of cameras for photographing the liquid crystal panel; 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하는 회로 기판부와;A circuit board part applying a driving signal to the liquid crystal panel; 상기 액정 패널로 광을 조사하는 광 발생부와;A light generator for irradiating light to the liquid crystal panel; 상기 복수의 카메라로 촬영된 화상에서 이물의 컬러 및 좌표를 매칭시켜 상기 이물의 위치를 판별하는 컴퓨터 시스템을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치.And a computer system for matching the color and coordinates of the foreign material in the images photographed by the plurality of cameras to determine the position of the foreign material. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 액정 패널은 서로 마주보고 결합되는 어레이 기판 및 컬러 필터 기판과, 그 사이에 주입된 액정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치.And the liquid crystal panel comprises an array substrate and a color filter substrate facing each other and a liquid crystal injected therebetween. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 카메라는 상기 액정 패널의 일정 영역을 중복되도록 촬영하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치.And a plurality of cameras photographing a predetermined region of the liquid crystal panel so as to overlap each other. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 카메라로 촬영된 화상에서 컬러 및 좌표를 매칭시켜 상기 액정 패널의 상면과 하면의 이물을 소거하여 상기 액정 패널 내부의 이물의 위치데이터를 획득하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치.Auto probe inspection apparatus of a liquid crystal panel characterized in that by matching the color and coordinates in the images taken by the plurality of cameras to remove foreign substances on the upper and lower surfaces of the liquid crystal panel to obtain the position data of the foreign substances inside the liquid crystal panel. . 삭제delete 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 카메라에는 적,녹,청색의 분광 필터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치.The plurality of cameras further comprises a red, green, blue spectroscopic filter characterized in that the auto probe inspection device of the liquid crystal panel. 삭제delete 액정 패널과;A liquid crystal panel; 상기 액정 패널의 소정 영역을 촬영하는 복수의 카메라와;A plurality of cameras for photographing a predetermined area of the liquid crystal panel; 상기 액정 패널 측면에서 광을 조사하는 측광 발생부(side light source)와;A side light source for irradiating light from the side of the liquid crystal panel; 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하는 회로 기판부와;A circuit board part applying a driving signal to the liquid crystal panel; 상기 액정 패널로 광을 조사하는 광 발생부와;A light generator for irradiating light to the liquid crystal panel; 상기 복수의 카메라로 촬영된 화상에서 이물의 컬러 및 좌표를 매칭시켜 상기 이물의 위치를 판별하는 컴퓨터 시스템을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치.And a computer system for matching the color and coordinates of the foreign material in the images photographed by the plurality of cameras to determine the position of the foreign material. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 카메라는 적, 녹, 청색의 분광 필터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치.The camera further comprises a red, green, blue spectroscopic filter, characterized in that the auto probe inspection device of the liquid crystal panel. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 측광 발생부는 상기 액정 패널의 상면 이물의 위치를 판별하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치.And the photometric generator determines a position of a foreign material on the upper surface of the liquid crystal panel. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 액정 패널은 서로 마주보고 결합되는 어레이 기판 및 컬러 필터 기판과, 그 사이에 주입된 액정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치.And the liquid crystal panel comprises an array substrate and a color filter substrate facing each other and a liquid crystal injected therebetween. 액정 패널을 준비하는 단계와;Preparing a liquid crystal panel; 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하는 단계와;Applying a driving signal to the liquid crystal panel; 상기 액정 패널을 점등, 소등하는 단계와;Turning on and off the liquid crystal panel; 상기 액정 패널의 소정 영역을 복수의 카메라로 촬영하는 단계와;Photographing a predetermined area of the liquid crystal panel with a plurality of cameras; 상기 카메라로 촬영된 동일 이물에 대한 좌표 값과 컬러를 매칭(matching)하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 방법.And matching a coordinate value and a color with respect to the same foreign material photographed by the camera. 제 12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 카메라에는 적, 녹, 청의 분광 필터가 장착되는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 방법.The camera is equipped with a red, green, blue spectroscopic filter, characterized in that the auto probe inspection method of the liquid crystal panel. 액정 패널을 준비하는 단계와;Preparing a liquid crystal panel; 상기 액정 패널에 구동 신호를 인가하는 단계와;Applying a driving signal to the liquid crystal panel; 상기 액정 패널을 점등/소등하여 전체 이물의 위치를 판별하는 단계와;Turning on / off the liquid crystal panel to determine the position of all foreign objects; 상기 액정 패널 표면에 측광을 조사하여 상면 이물의 위치를 판별하는 단계와;Irradiating photometry to the surface of the liquid crystal panel to determine a position of an upper surface foreign material; 상기 액정 패널의 소정 영역을 복수의 카메라로 촬영하는 단계와;Photographing a predetermined area of the liquid crystal panel with a plurality of cameras; 상기 카메라로 촬영된 동일 이물에 대한 좌표 값과 컬러를 매칭(matching)하여 상기 액정 패널의 후면 이물의 위치를 판별하는 단계와;Determining a position of a foreign object on the rear side of the liquid crystal panel by matching color and coordinate values of the same foreign material photographed by the camera; 상기 전체 이물의 위치에서 상면, 후면 이물의 위치를 소거하여 상기 액정 패널 내부의 이물 위치 데이터를 획득하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 패널의 오토 프로브 검사 방법.And removing foreign material positions of the upper and rear foreign substances at the positions of the entire foreign substances, thereby obtaining foreign material position data in the liquid crystal panel.
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