KR101099597B1 - 권취식 진공성막장치 - Google Patents

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Abstract

인쇄롤러와 백업롤러 사이의 압압력 조정을 용이하고도 신속하게 실시할 수 있는 권취식 진공성막장치를 제공한다.
본 발명에서는 인쇄롤러(33)와 백업롤러(21)간의 압압력 조정을, 인쇄롤러(33) 및 전사롤러(32)를 포함한 마스크형성 유닛(20)의 진공챔버(11)에 대한 상대이동에 의해 실시하는 것으로, 인쇄롤러(33) 및 전사롤러(32)의 개별 조정을 폐지하고, 유닛 단위에서의 압압력 조정을 실현하고, 구성의 간소화와 작업의 용이화, 고정도화, 작업시간 단축을 꾀한다.
권취, 진공성막, 성막장치, 자기보안

Description

권취식 진공성막장치{TAKE-UP TYPE VACUUM FILMING DEVICE}
본 발명은 예를 들면 자기보안(自己保安) 기능형의 필름 콘덴서 제조에 매우 적합하게 이용되는 권취식 진공성막장치에 관한 것이다.
종래부터, 필름 콘덴서 제조에는 플라스틱 필름 등의 절연성 필름을 권출롤러에서 풀어 내면서, 그 필름의 일 표면에 금속막을 증착한 후(성막한 후), 해당 필름을 권취롤러에 권취하는 형식의 권취식 진공증착장치가 이용되고 있다.
그런데 이 종(種)의 필름 콘덴서에는, 필름 표면에 형성되는 금속 증착막이 복수의 콘덴서편(片)으로 개편화(個片化)되어 인접하는 콘덴서편이 동일 증착막으로 되는 폭좁은 연접부로 서로 접속된 자기보안 기능형으로 불리는 것이 있다. 이 타입의 필름 콘덴서는, 일부에서 절연 파괴가 생겼을 때에 상기 연접부를 용단(溶斷)시키는 것에 의해(휴즈기능), 콘덴서의 절연 파괴 영역이 개편단위로 최소한으로 억제하도록 되어 있다.
이와 같은 자기 보안형 필름 콘덴서를 상술의 권취식 진공증착장치로 제조하는 경우, 권출롤러와 증발원 사이에, 필름 성막면에 대해서 금속막의 증착영역을 구획하는 마스크 패턴을 형성하는 마스크 형성수단이 설치된다(예를 들면 하기 특허문헌 1 참조).
마스크 형성 수단으로서는 필름을 인쇄롤러(판동)와 백업롤러(실린더) 사이에 끼워 반송하면서, 오일공급원으로부터 전사롤러를 통해 인쇄롤러에 전사된 마스크 패턴 형성용 오일을 인쇄롤러에서 필림 성막면으로 연속적으로 전사 형성한다. 이것에 의해, 임의 형상의 콘덴서편을 가지는 자기보안 기능형의 필름 콘덴서를 연속적으로 제조하도록 하고 있다.
한편, 종래의 권취식 진공증착장치는 인쇄롤러나 전사롤러는 진공챔버에 고정된 부재에 설치되어 있었다. 더욱이 이들 롤러군(郡)은 대기중에서 조정되고, 그 후에 진공챔버 내가 배기되어 있다.
그러나 진공챔버는 내부가 감압되면서 다소 변형이 생긴다. 특히 최근에는 진공챔버가 대형화하고 있어 배기시 진공챔버의 왜곡량이 커지는 경향이 있다. 마스크 형성 유닛의 위치 정밀도는, 1/100㎜이하가 요구되는데 대해, 진공챔버의 왜곡은 1㎜정도의 오더로 생기는 경우가 있다. 이 때문에 대기중에서 마스크 형성 유닛의 롤러군을 조정해도 왜곡의 영향을 받아 패턴형성에 영향이 발생하는 경우가 있다. 이 때문에, 왜곡량을 고려해 롤러군을 조정하거나 대기중에서의 조정과 배기 후의 확인을 반복하거나 할 필요가 있었기 때문에, 공정수가 느는 경우가 있었다.
특허문헌 1: 일본국 특개평 10-81958호 공보
상술한 마스크 형성수단에 의한 마스크 패턴 형성에서는, 인쇄롤러와 백업롤러사이의 필름 폭방향에 관한 압압력 밸런스가 중요하다. 이러한 롤러 사이의 압압력 밸런스가 나쁘면 필름 폭방향에 관해서 일단측과 타단측에서 전사 정밀도가 달라져 버려, 패턴 절단등의 전사 불량을 초래하는 경우가 있다.
그래서, 상기 특허문헌 1에서는 마스크 형성수단을 구성하는 인쇄롤러 및 전사롤러에 압압구동수단을 각각 설치하고, 전사롤러와 인쇄롤러 사이 및 인쇄롤러와 백업롤러 사이의 압압력 조정을 각각 개별적으로 실시하는 방법이 개시되어 있다.
그렇지만 인쇄롤러 및 전사롤러의 압압력 조정을 개별적으로 실시하는 방법에서는 작업이 번잡화함과 동시에 작업시간이나 길어진다는 문제가 있다. 또, 마스크 형성수단의 구성도 복잡화한다는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 문제를 감안해서, 인쇄롤러와 백업롤러 사이의 압압력 밸런스의 조정을 용이하고도 신속하게 실시할 수 있는 권취식 진공성막장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
이상의 과제를 해결함에 있어서, 본 발명에 관한 권취식 진공성막장치에 있어서는, 필름의 성막면에 대해서 성막재료의 성막영역을 구획하는 마스크 패턴을 형성하는 마스크 형성수단은,
마스크 패턴을 형성하는 오일 공급원과, 이 공급원으로부터 공급된 오일을 외주에 유지하는 제1 롤러와, 오일을 필름의 성막면으로 마스크 패턴으로서 전사하는 제2 롤러와를 포함하는 형성 유닛과,
상기 제2 롤러 사이에서 필름을 끼우고, 제2 롤러에 필름을 압접시키는 백업롤러와,
상기 마스크 형성 유닛을 진공챔버에 대해서 이동시키는 유닛이동기구를 가지고 있고,
상기 유닛이동기구는 백업롤러에 대한 마스크 형성 유닛 위치를 이동시켜서, 상기 제2 롤러와 백업롤러 사이의 필름 폭방향에 관한 압압력 밸런스를 조정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는 제2 롤러는 인쇄롤러에 대응한다. 제2 롤러와 백업롤러 사이의 필름 폭방향에 관한 압압력 밸런스 조정을 제1 롤러 및 제2 롤러를 포함하는 마스크 형성 유닛의 진공챔버에 대한 상대이동에 의해 실시하는 것으로, 제1 롤러 및 제2 롤러의 개별 조정을 폐지하고, 유닛 단위에서의 압압력 밸런스 조정을 실현하고, 작업의 용이화와 작업시간 단축을 꾀하도록 하고 있다.
또, 본 발명에 있어서 상기 마스크 형성 유닛은 제1 롤러의 축 양단과 제2 롤러의 축 양단을 지지하는 프레임을 가지고, 이 프레임은 진공챔버에 고정 설치되는 대좌에 이동가능하게 설치되고, 상기 유닛이동기구는 적어도 상기 프레임의 일단을 백업롤러 방향으로 이동시키는 구성으로 된다. 이것에 의해, 구성을 간소화할 수 있음과 동시에, 백업롤러에 대한 제2 롤러의 축 평행도를 조정가능하게 하여 제2 롤러와 백업롤러 사이의 필름 폭방향에 관한 압압력 밸런스를 용이하고도 신속하게 조정하는 것이 가능해진다. 매우 적합하게는, 상기 프레임은 대좌의 일점을 중심으로 회전이동 가능하게 설치된다.
그리고 상기 유닛이동기구를 진공챔버의 외부로부터 원격 조작 가능하게 구성하는 것으로, 진공배기 후에 있어 마스크 형성 유닛의 조정도 용이하게 실시할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 권취식 진공성막장치로서의 권취식 진공증착장치의 개략구성도이다.
도 2는 도 1의 권취식 진공증착장치에 있어 마스크 형성 유닛에 의해 형성되는 마스크 패턴의 일례를 나타내는 도이며, A는 금속막의 증착전, B는 그 증착후를 나타내고 있다.
도 3은 도 1의 권취식 진공증착장치에 있어서의 마스크 형성 유닛의 개략 측면도이다.
도 4는 도 3의 마스크 형성 유닛의 구성을 나타내는 도이며, A는 측면도, B는 평면도이다.
*부호의 설명*
10: 권취식 진공증착장치(권취식 진공성막장치)
11: 진공챔버 12: 필름
13: 권출롤러 14: 캔롤러
15: 권취롤러 16: 증발원(성막수단)
18: 대좌(台座) 20: 마스크 형성 유닛
21: 백업롤러 25: 마스크 패턴
26: 금속막 31: 오일공급롤러
32: 전사롤러 33: 인쇄롤러
34: 프레임체 41: 탄지기구
51: 유닛이동기구 52: 회동축
53: 구동원
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시형태에서는, 권취식 진공성막장치로서 권취식 진공증착장치에 본 발명을 적용한 예에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 권취식 진공증착장치(10)의 개략구성도이다. 본 실시형태의 권취식 진공증착장치(10)는 진공챔버(11)와, 필름(12)의 권출롤러(13)와, 냉각용 캔롤러(14)와, 필름(12)의 권취롤러(15)와, 증착물질의 증발원{(본 발명의 「성막수단」에 대응)16}을 구비하고 있다.
진공챔버(11)는 배관접속부(11a)를 통해 도시하지 않는 진공펌프 등의 진공배기계에 접속되고, 그 내부가 소정의 진공도로 감압 배기되어 있다. 진공챔버(11)의 내부공간은 칸막이 판(11b)에 의해, 권출롤러(13), 권취롤러(15) 등이 배치되는 방(室)과, 증발원(16)이 배치되는 방으로 나누어지고 있다.
필름(12)은 소정 폭으로 재단된 길이가 긴 절연성 플라스틱 필름으로 되어, 예를 들면, OPP(연신 폴리프로필렌)필름, PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트)필름, PPS(폴리페닐렌 설파이드)필름 등이 이용된다. 필름(12)은 권출롤러(13)로부터 풀어 내보내져 복수의 가이드롤러 및 캔롤러(14)를 통해 권취롤러(15)에 감기게 되어 있다. 또, 권출롤러(13) 및 권취롤러(15)에는 도시하지 않아도 회전구동부가 설치되어 있다.
캔롤러(14)는 통상(筒狀)으로 철 등의 금속제로 되고, 내부에는 냉각매체 순환계 등의 냉각기구나, 캔롤러(14)를 회전 구동시키는 회전구동기구 등이 구비되어 있다. 캔롤러(14) 원주면에는 소정의 접촉각으로 필름(12)이 감겨진다. 캔롤러(14)에 감겨진 필름(12)은 그 외면측 성막면이 증발원(16)으로부터의 증착물질로 성막됨과 동시에 캔롤러(14)에 의해 냉각된다.
이상의 권출롤러(13), 캔롤러(14), 권취롤러(15) 및 기타 가이드롤러에 의해 진공챔버(11)내에서 필름(12)을 주행시키는 본 발명에 관한 「주행수단」이 구성되어 있다.
증발원(16)은 증착물질을 수용함과 함께, 증착물질을 저항가열, 유도가열, 전자빔가열 등의 공지수법으로 가열 증발시키는 기구를 구비하고 있다. 이 증발원(16)은 캔롤러(14) 아래쪽에 배치되고, 증착물질의 증기를 대향하는 캔롤러(14) 위의 필름(12) 위로 부착시켜 피막을 형성시킨다. 또, 이 증발원(16)은 주행중 필름(12)에 성막재료를 성막하는 본 발명에 관한 「성막수단」에 대응한다.
증착물질로서는 Al(알루미늄), Co(코발트), Cu(구리), Ni(니켈), Ti(티탄) 등의 금속원소 단체(單體) 외에, Al-Zn(아연), Cu-Zn, Fe(철)-Co 등의 2종 이상의 금속 혹은 다원계 합금이 적용된다. 증발원(16)은 1개에 한하지 않고, 복수 설치하여도 좋다.
본 실시형태의 권취식 진공증착장치(10)는 더욱이, 마스크 형성 유닛(20)을 구비하고 있다. 마스크 형성 유닛(20)은 증발원(16)의 상류측, 즉, 권출롤러(13)와 증발원{16; 캔롤러(14)} 사이에 설치되어 있다. 마스크 형성 유닛(20)은 후술 하는 백업롤러(21)와 함께 본 발명의 「마스크 형성수단」을 구성한다.
도 2는 필름(12)의 성막면을 나타내고 있다. 마스크 형성 유닛(20)은 예를 들면 도 2의 A에 있어서 햇칭으로 나타내는 형상의 마스크 패턴(오일패턴; 25)을 필름(12)의 성막면 거의 전면에 걸쳐서 도포하도록 구성되어 있다. 마스크 패턴(25)상에는 금속막이 성막되지 않기 때문에, 성막 후는 마스크 패턴(25)의 개구부(25a)에 증착물질이 피착한 대략 각형상의 금속패턴이 연접부(26a)를 통해 소정 피치로 연접되는 형태의 금속막(26)이 성막된다. 또, 금속막(26)의 성막형태는 상기로 한정되는 것은 아니다.
또, 각 금속막(26)은 각각 콘덴서편을 구성함과 함께, 연접부(26a)는 일부에서 절연파괴가 생겼을 때에 발생한 전류의 주울열로 용단(溶斷)하도록 구성되고, 콘덴서의 절연파괴 영역을 개편단위로 최소한으로 억제하는, 자기보안 기능형의 필름 콘덴서로서 기능한다.
도 3은 마스크 형성 유닛(20)의 개략구성도이다. 마스크 형성 유닛(20)은 오일분사원(31A)과, 아니록스롤러 등의 오일공급롤러(31)와, 이 오일공급롤러(31)에서 공급된 오일을 외주로 유지하는 전사롤러(제1 롤러; 32)와, 이 전사롤러(32)에서 오일이 전사되고, 이 오일을 필름(12)의 성막면으로 마스크 패턴(25)으로서 전사하는 인쇄롤러(제2 롤러; 33)를 가지고 있다. 또, 오일분사원(31A) 및 오일공급롤러(31)는 본 발명에 있어 「오일공급원」을 구성한다. 또, 오일분사원(31A)만으로 오일공급원을 구성해도 좋다.
전사롤러(32)는 오일공급롤러(31)로부터 소요량의 오일이 공급되고, 공급된 오일을 인쇄롤러(33)에 전사한다. 인쇄롤러(33) 표면에는 마스크 패턴(25)에 대응하는 볼록판(凸版)이 형성되어 있고, 그 볼록판에 전사된 오일이 필름(12)의 성막면에 전사되어 마스크 패턴(25)을 형성한다. 인쇄롤러(33)는 필름(12)의 폭 치수법보다 큰 축길이를 가지고 있다.
오일분사원(31) 및 오일공급롤러(31A), 전사롤러(32) 및 인쇄롤러(33)의 각 축 양단은 공통의 프레임체(34)에 지지되고 있다. 또, 프레임체(34)에는 도시하지 않아도, 오일공급롤러(31A), 전사롤러(32) 및 인쇄롤러(33)를 회전 구동하는 구동유닛이 설치되어 있다. 프레임체(34)는 마스크 형성 유닛(20)의 저부 및 양측벽부를 구성하고 있고, 프레임체(34) 저부는 후술하는 유닛이동기구(51)를 통해 진공챔버(11)의 일부 내벽면에 취부된 대좌(18) 위에 설치되어 있다.
한편, 백업롤러(21)는 인쇄롤러(33)와의 사이에 필름(12)을 끼우고, 인쇄롤러(33)에 필름(12)을 압접시킨다. 백업롤러(21)에는 백업롤러(21)를 인쇄롤러(33)로 향하여 밀어붙이는 탄지기구(41)가 설치되어 있다. 탄지기구(41)는 백업롤러(21)의 축부 양단을 지지하는 탄지구(42)와 이 탄지구(42)를 인쇄롤러(33)에 밀어붙이는 구동모터(43)를 구비하고 있다. 또, 백업롤러(21)는 지지암(44)을 통해 진공챔버(11) 일부에 요동자재하게 취부되어 있다.
본 실시형태의 권취식 진공증착장치(10)는 마스크 형성 유닛(20)을 대좌(18)에 대해 상대 이동시켜, 인쇄롤러(33)와 백업롤러(21)간의 필름(12) 폭방향에 관한 압압력 밸런스를 조정하는 유닛이동기구(51)를 구비하고 있다.
도 4는 유닛이동기구(51)의 구성을 나타내는 도이며, A는 개략 측면도, B는 그 평면도이다. 유닛이동기구(51)는 대좌(18)와 마스크 형성 유닛(20) 사이에 설치된 회동축(52)과, 이 회동축(52) 주위에 마스크 형성 유닛(20)을 회동시키는 구동원(53)과, 대좌(18)에 대한 마스크 형성 유닛(20)의 이동을 가이드하는 가이드부(54)를 구비하고 있다. 도 4의 B에 나타내듯이, 회동축(52)은 프레임체(34)의 일단측{인쇄롤러(33)의 축방향 일단측}에 설치되어 있고, 구동원(53)은 마스크 형성 유닛(20)의 타단측을 화살표(S)로 나타내는 전후방향으로 구동가능하도록 대좌(18)상에 고정되어 있다.
구동원(53)은 예를 들면 스텝모터, 볼 나사 유닛 등의 미세송급기구로 구성되어 대좌(18)의 일점{회동축(52)}을 중심으로 프레임체(34)를 화살표(C)로 나타내는 방향으로 회전 이동시킨다. 또, 회동축(52)의 설치부위는 상술한 예에 한정되지 않고, 회동축(52; 지점)과 구동원(53; 작용점) 사이의 거리가 긴만큼 고정밀도한 회동제어가 가능해진다.
다음으로, 이상과 같이 구성되는 본 실시형태의 권취식 진공증착장치(10)의 동작에 대해서 설명한다.
소정의 진공도로 감압된 진공챔버(11) 내부에 있어서, 권출롤러(13)로부터 연속적으로 풀려 내보내진 필름(12)은 마스크 형성공정과 증착공정을 거쳐, 권취롤러(15)에 연속적으로 감긴다.
마스크 형성공정에 있어서, 필름(12)은 마스크 형성 유닛(20)에 의해, 성막면에 도 2의 A에 나타낸 형태의 마스크 패턴(25)이 인쇄된다. 마스크 패턴(25)이 형성된 필름(12)은 캔롤러(14)에 감겨진다. 또, 필요에 따라서 필름(12)에 전자선 등의 하전입자선을 조사하는 등의 캔롤러(14)에 대한 밀착력을 높이는 처리를 실시하여도 좋다. 그리고 증발원(16)으로부터 증발한 증착물질이 필름(12)의 성막면에 퇴적하는 것에 의해, 도 2의 B에 나타내는 금속막(26)이 형성된다. 금속막(26)이 증착된 필름(12)은 가이드롤러를 통해 권취롤러(15)에 감긴다.
여기서, 마스크 형성 유닛(20)에 의한 마스크 패턴(25)의 형성은 주행하는 필름(12)을 협지하는 인쇄롤러(33)와 백업롤러(21)간의 필림 폭방향에 관해서의 압압력 밸런스가 중요하다. 이러한 롤러 사이의 압압력 밸런스가 나쁘면 필름(12)의 폭방향에 관해서 일단측과 타단측에서 오일패턴의 전사 정밀도가 달라져 버려, 최악의 경우 패턴 절단을 일으키게 한다. 이러한 문제는, 인쇄롤러(33)와 백업롤러(21)의 축간 평행도 저하가 원인으로 발생하고, 백업롤러(21)에 대한 인쇄롤러(33)의 축위치 조정을 고정밀도로 실시할 필요가 있다.
그래서, 본 실시형태에서는 진공챔버(11) 일부를 구성하는 대좌(18)에 대하여 마스크 형성 유닛(20)이 회동자재하게 구성되어 있으므로, 구동원(53)의 송급구동에 의해 백업롤러(21)에 대한 인쇄롤러(33)의 축위치를 변화시켜 압압력 조정을 실시할 수 있음과 함께, 이들 양 롤러(21, 33)의 축간 평행도를 고정도로 조정할 수 있다. 또한, 백업롤러(21)는 탄지기구(41)에 의해 항상 인쇄롤러(33)측으로 압압되어 있으므로, 인쇄롤러(33)의 축위치 조정시에 필름(12)의 협지력이 변화하는 것은 아니다.
또, 본 실시형태에서는 인쇄롤러(33)와 백업롤러(21)간의 압압력 조정을 인쇄롤러(33) 및 전사롤러(32)를 포함한 마스크 형성 유닛(20) 전체의 진공챔버(11) 에 대한 상대이동에 의해 실시하도록 하고 있으므로, 인쇄롤러(33) 및 전사롤러(32)의 개별 조정이 불필요해 유닛 단위에서의 압압력 조정을 실현할 수 있어 구성의 간소화와 작업 용이화, 작업시간 단축을 꾀할 수가 있다.
또, 구동원(53)을 진공챔버(11) 외부에서 원격조작가능하게 구성하여도 좋다. 이 경우, 진공배기 후에 있어 마스크 형성 유닛(20) 조정이 용이하게 실시할 수 있게 된다. 예를 들면, 배기 직후에 있어 인쇄롤러(33) 및 백업롤러(21)간의 압압력 밸런스의 재조정도 용이하고도 신속하게 실시하는 것이 가능해져 생산성 향상을 꾀할 수 있다.
또, 마스크 형성 유닛(20)의 프레임체(34)는 대좌(18)에 대해서 이동가능하게 설치되어 있다. 혹은 회동축(52)만으로 고정되어 있기 때문에 진공챔버(11) 왜곡의 영향을 받기 어렵다. 이 때문에, 대기중에서 마스크 형성 유닛(20) 조정을 실시한 후, 진공챔버(11)내를 배기하여도 인쇄롤러(33)와 백업롤러(21)간의 압압력 밸런스의 변동이 생기기 어렵게 할 수가 있다.
이상, 본 발명의 실시형태에 대해 설명했지만, 물론, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상에 근거하여 여러 가지의 변형이 가능하다.
예를 들면 이상의 실시형태에서는 유닛이동기구(51)를 마스크 형성 유닛(20) 일단측에 회동축(52)을 설치함과 동시에, 타단측에 구동원(53)을 접속하는 구성으로 했지만, 이것에 대신해, 마스크 형성 유닛(20) 일단측 및 타단측 쌍방에 구동원을 배치하고, 이들 각 구동원을 구동제어하여 마스크 형성 유닛(20)의 위치조정을 실시해, 백업롤러(21)와 인쇄롤러(33)간의 압압력 밸런스 최적화를 꾀하도록 하여 도 좋다.
또, 필름(12)의 가이드 패스상에, 마스크 패턴(25) 검사공정을 추가하고, 이 검사결과를 마스크 형성 유닛(20)의 유닛구동기구(51)에 피드백하여 인쇄롤러(33)의 축위치 최적화를 실시하는 것과 같은 제어형태를 채용하는 것도 가능하다.
또, 이상의 실시형태에서는 성막수단으로서 증발원(16)을 이용하는 진공증착법을 적용하여 금속막을 성막하는 예를 설명했지만, 물론 이것에 한정되지 않고, 스팻터법이나 각종 CVD법등 , 금속막 혹은 비금속막을 성막하는 다른 성막법도 적용 가능하고, 이들 성막법에 맞추어 스팻터 타겟 등의 성막수단을 적절히 채용할 수가 있다.
본 발명의 권취식 진공성막장치에 의하면, 인쇄롤러와 백업롤러 사이의 압압력 밸런스를 용이하고도 신속하게 조정하는 것이 가능해진다.

Claims (4)

  1. 진공챔버와, 상기 진공챔버 내에서 필름을 주행시키는 주행수단과, 주행중 상기 필름에 성막재료를 성막하는 성막수단과, 상기 성막수단의 상류에서 상기 필름에 상기 성막재료의 성막영역을 구획하는 마스크 패턴을 형성하는 마스크 형성수단을 구비한 권취식 진공성막장치에서,
    상기 마스크 형성수단은,
    상기 마스크 패턴을 형성하는 오일공급원과, 상기 공급원으로부터 공급된 오일을 외주로 유지하는 제1 롤러와, 상기 오일을 상기 필름의 성막면으로 마스크 패턴으로서 전사하는 제2 롤러와,를 포함한 마스크 형성 유닛과,
    상기 제2 롤러 사이에서 상기 필름을 끼우고, 상기 제2 롤러에 상기 필름을 압접시키는 백업롤러와,
    상기 마스크 형성 유닛을 상기 진공챔버에 대해서 이동시키는 유닛이동기구를 가지고,
    상기 마스크 형성 유닛은, 상기 제1 롤러의 축 양단과 상기 제2 롤러의 축 양단을 지지하는 프레임을 가지고,
    상기 프레임은 상기 진공챔버에 고정 설정되는 대좌에 상기 대좌의 일점을 중심으로 회전 이동 가능하게 설치되고,
    상기 유닛이동기구는 상기 프레임의 일단을 상기 백업롤러 방향으로 이동시킴으로써 상기 백업롤러에 대한 상기 마스크 형성 유닛 위치를 이동시켜, 상기 제2 롤러와 상기 백업롤러 사이의 필름 폭방향에 관한 압압력 밸런스를 조정하는 것을 특징으로 하는 권취식 진공성막장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 유닛이동기구는 상기 진공챔버의 외부로부터 원격 조작 가능한 것을 특징으로 하는 권취식 진공성막장치.
  3. 삭제
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