JP4015305B2 - 金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置 - Google Patents
金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4015305B2 JP4015305B2 JP32355598A JP32355598A JP4015305B2 JP 4015305 B2 JP4015305 B2 JP 4015305B2 JP 32355598 A JP32355598 A JP 32355598A JP 32355598 A JP32355598 A JP 32355598A JP 4015305 B2 JP4015305 B2 JP 4015305B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- masking agent
- roller
- film
- metal vapor
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置に関する。更に詳しくは、金属蒸着前、あるいは、金属蒸着後のフィルムに、金属被膜あるいは他の被膜が所定の部分には形成されないようにする、いわゆるマスキング剤を用いてマスクを形成しつつ、金属蒸着フィルムを製造する製造方法および製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
真空蒸着装置を用いて金属蒸着フィルムを製造する際、金属あるいは他の被膜に幾何学模様の非蒸着部を形成することが行われている。その代表的な手法として、マスキング剤を用いたマスク形成手法がある。
【0003】
ローラ表面に彫刻により所定のマスク模様を形成したマスク形成ローラを用いて、マスク模様の表面にマスキング剤を付着せしめ、付着したマスキンング剤を、フィルム表面に転写するマスク形成法が、広く用いられている。このマスク形成法は、特開昭63−114956号公報、あるいは、特公平8−26449号公報に、開示されている。
【0004】
最近、金属蒸着フィルムの用途が拡大され、その生産量の増大が求められている。生産量の増大のための一つの手法として、従来用いられてきた金属蒸着フィルムの製造工程における生産速度の増大がある。
しかし、生産速度、すなわち、フィルムの走行速度を増大させると、フィルムに形成されるマスク模様に、欠落が生じることが判明した(第1の問題点)。
【0005】
また、欠落が生じないようにフィルムの走行速度をやや低下させても、時間が経過するにしたがい、やはり、マスク模様に欠落が生じる現象が現れることが判明した(第2の問題点)。
【0006】
更に、また、マスキング剤付着ローラへのマスキング剤供給を、近接したマスキング剤蒸発器で加熱気化したマスキング剤を用いて行う方式のものでは、マスキング剤の気化量を増大させるとマスキング剤の凝縮熱でマスキング剤付着ローラの温度が上昇し、マスキング剤のローラへの凝縮付着効率が、かえって低下し、この場合もまた、マスク模様の欠落が生じることが判明した(第3の問題点)。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、従来の装置あるいは方法そのままでは、金属蒸着フィルムの製造の高速化が出来ないとの上記知見に基づき、製造の高速化が可能な、すなわち、高速化しても、所望のマスク模様を安定して形成することの出来る金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置は、次の通りである。
【0017】
金属蒸着工程と、マスキング剤を蒸発せしめ、蒸発したマスキング剤を回転するマスキング剤付着ローラに付着せしめ、該マスキング剤付着ローラに接触せしめられ回転する所定のマスクパターンを表面に有するマスク形成ローラを、走行する金属蒸着前あるいは蒸着後のフィルム表面に接触せしめフィルム表面に所定のマスクパターンを形成する工程とからなる金属蒸着フィルムの製造方法において、前記マスキング剤付着ローラの内部が強制的に冷却されることを特徴とする金属蒸着フィルムの製造方法。
この方法の好ましい態様によれば、前記のマスキング剤付着ローラの表面に布帛物が巻き付けられ、その布帛物にマスキング剤が含浸保持されており、そして前記のマスキング剤付着ローラが特定の周期でその軸方向に揺動せしめられる。
【0018】
この方法を実施するための装置は、回転するマスキング剤付着ローラと、該マスキング剤付着ローラに接触して回転し、走行フィルムに接触せしめられる所定のマスクパターンが表面に形成されたマスク形成ローラとからなるマスクパターン形成手段、および、前記走行フィルムに金属蒸着膜を形成する金属蒸着膜形成手段を有する金属蒸着フィルムの製造装置において、前記マスキング剤付着ローラの内部を強制的に冷却する冷却手段が設けられたマスキング剤付着ロールが用いられる。
この装置の好ましい態様によれば、前記のマスキング剤付着ローラの表面が、マスキング剤の含浸保持可能な布帛物で形成されており、そして前記のマスキング剤付着ローラを、特定の周期でその軸方向に揺動せしめる揺動機構が設けられている。
【0020】
【発明の実施の形態】
本発明に係る金属蒸着フィルムの製造方法あるいは装置に適用される原反フィルムとしては、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、ナイロンフィルム、ポニフェニレンサルファイドフィルム、ポリイミドフィルムが主として用いられるが、金属蒸着が可能なフィルムであれば、材質は特に限定されない。
【0021】
図1は、本発明の金属蒸着フィルムの製造装置の一例の横断面概略図であり、図2は、図1におけるマスクパターン形成手段の拡大斜視図である。
【0022】
図1および図2において、真空蒸着装置200は、真空槽14と、その内部に設けられた原反フィルム巻き出しロール8、この巻き出しロール8に続いて設けられたマスクパターン形成手段100、更に続いて設けられた冷却ローラ10、巻き取りロール9とを有する。冷却ローラ10の下方には、アルミニウム、亜鉛等の蒸着用金属棒(線)13を加熱し蒸発させる加熱ボート12からなる金属蒸着部が設けられている。
【0023】
巻き出しロール8から巻き出された原反フィルム11には、マスクパターン形成手段100において、幾何学模様のマスク36が形成される。ついで、冷却ローラ10上において、加熱ボート12で溶融蒸発した金属粒子(蒸気)がフィルム11のマスクされた部分以外に密着して金属蒸着が施される。金属蒸着部は、特に限定されるものではなく、加熱ボート12以外に、従来公知の装置のいずれもが適用可能であり、例えば、ルツボ、エレクトロビームガンなどを使用することができる。
【0024】
マスクパターン形成手段100は、図2に示すように、マスク形成ローラ1、マスキング剤付着ローラ2a、バックアップローラ7を有し、原反フィルム11は、マスク形成ローラ1とバックアップローラ7との間に挟まれつつ、走行する。これらのローラのうちマスキング剤付着ローラ2aとバックアップローラ7とは、平なローラ表面を有するが、マスク形成ローラ1は、表面に、マスク模様(幾何学模様)の凸部を有している。
【0025】
マスク形成ローラ1とマスキング剤付着ローラ2aとは、図1に示される幅方向に対向して設けられた1対のプレート状のフレーム21に、回転自在に支持される。マスク形成ローラ1、マスキング剤付着ローラ2a、バックアップローラ7は、積極的駆動源を伴わないフリーローラであり、相互の押圧によりフィルム11の走行から回転力を受け、フィルム11と同じ速度で回転する構造となっている。ただし、これらのローラは、フィルムの走行速度と同じ周速が得られるのであれば、モータなどの適当な積極的駆動源に結合されていても差し支えない。
【0026】
マスキング剤付着ローラ2aの下方には、フレーム21に支持された、マスキング剤供給ノズル3が設置され、マスキング剤室26で加熱され蒸発したマスキング剤をマスキング剤付着ローラ2aの表面に、凝縮塗布する構造となっている。
【0027】
マスキング剤付着ローラ2a表面に凝縮塗布されたマスキング剤は、該ローラと接触しているマスク形成ローラ1の凸部に転写供給され、さらに該凸部に接触するフィルム11へ幾何学模様のマスク36が転写される。
【0028】
フィルム11には、冷却ローラ10部分で、下方の加熱ボート12から飛翔してきた金属粒子(蒸気)が付着するが、マスキング剤皮膜が形成されている部分は、金属粒子(蒸気)の熱でマスキング剤が蒸発するため、金属粒子(蒸気)の付着が、防止される。
【0029】
この装置において、マスキング剤付着ローラ2aの表面は、マスキング剤の含浸保持可能な含浸層39で形成されている。この含浸層39を形成する素材としては、液状体の含浸保持性を有する布帛物が用いられ、フェルトが特に好ましい。
【0030】
マスク36のマスク模様の中で、フィルム11の走行方向に平行な方向のマスク模様、すなわち、マスク形成ローラ1の幾何学模様の円周方向パターンは、マスキング剤付着ローラ2aの同じ位置に接触するため、幅方向パターンに比較し、マスキング剤移行消費が、フイルム11の走行速度を増大せしめると、格段に多くなる。
【0031】
この装置において、マスキング剤付着ローラ2aの軸端には、揺動機構40が設けられており、モータ44の回転運動は、ウォーム42,ウォームホイール43を介し、マスキング剤付着ローラ2aの軸に加工された角ネジ41に伝えられ、マスキング剤付着ローラ2aの軸方向の直線運動に変換される。
【0032】
また、マスキング剤付着ローラ2aの位置を検出し、あらかじめ設定した範囲まで移動したら、モータ44の回転を反転することにより、軸方向に、移動してきた方向と反対方向に揺動せしめ、マスキング剤付着ローラ2aに対するマスク形成ローラ1の円周方向パターンの接触部分を変化させる構造とされている。
【0033】
これにより、フィルム11の走行速度の増大があっても、マスキング剤付着ローラ2aに付着したマスキング剤の移行が、均一になされる。
【0034】
また、図3に示す装置においては、支持アーム55で支持された、図2に示されたマスキング剤付着ローラ2aに対応するマスキング剤付着ローラ2bは、その表面を冷却する目的で、その内部を強制的に冷却する冷却手段を有する。
【0035】
マスキング剤付着ロール2bの冷却は、支持アーム55に取り付けられた、冷媒入口52aおよび冷媒出口52bを有する、冷媒導入機構51により、行われる。なお、冷媒導入機構51を用いることにより、メカロスが増え、マスクパターンの滑りずれが発生する場合は、その防止のために、助力装置53を設け、マスキング剤付着ローラ2bを、積極駆動するのが好ましい。また、なお、真空槽14(図1)内において、この助力装置53として電動モータを使用するときは、モータによる熱放出問題を解消するために、例えば、モータに冷媒を流す冷却管54を配するなど、冷却手段を設けるのが良い。
【0036】
【実施例】
図2に示した格子状のマスク模様が形成されたマスク形成ローラ1および表面にフェルトが巻き付けられたマスキング剤付着ローラ2aを用いた装置、および、この装置において、更に、マスキング剤付着ローラ2aを、その軸方向に揺動せしめるようにした装置を用いて、走行フィルムの表面にマスクを形成した後、金属蒸着処理をする金属蒸着フィルムの製造を実施した。その結果を表1に示す。
【0037】
【表1】
比較例1は、従来の金属平滑表面を有するマスキング剤付着ローラが用いられた従来法である。蒸着速度が、450m/minを越えると、マージン部分に金属付着が生じる。
【0038】
実施例1は、従来法のマスキング剤付着ローラ表面に、厚さ1mmのフェルトを巻き付けたものに、蒸着開始前に、あらかじめ、回転で飛散しない程度にマスキング剤を塗布し、蒸着を開始したものである。初期は、蒸着速度が、700m/minでも、マージン部分への金属付着が見られず、マージン形成(マスク形成)は良好であったが、フィルムの処理長さが、12,000mに達した付近からは、問題を生じる程度の金属付着が発生した。
【0039】
実施例2は、更に、マスキング剤付着ローラを、その軸方向に、振幅18mmで、揺動させたものである。蒸着速度が、700m/mimにおいて、32,000mの蒸着長さにおいても、問題となるマージン部分への金属付着が見られなかった。
【0040】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、マスク模様が、フィルムの走行方向に平行な方向の連続した線あるいは断続した線分であっても、あるいは、それらを含んでいても、マスキング剤付着ローラの表面にマスキング剤を含浸保持する布帛物を有するため、さらには、同ローラが揺動せしめられるため、従来の方法、装置では実施することが困難であった高速での長尺の金属蒸着フィルムの製造が、所望とするマスク模様の形成をもって、可能となった。
【0041】
また、マスキング剤付着ローラの内部を強制冷却することで、マスキング剤蒸気の凝縮率が向上し、マスキング模様形成不良による蒸着欠点の減少が図られとともに、マージンへの金属付着量の適正化、蒸着フィルムの走行速度の高速化が図られる。この手法によれば、前記のマスキング剤付着ローラの布帛物からなる含浸層構造、さらには、同ローラの揺動と組み合わされることにより、金属蒸着フィルムの生産の高速化を、より良く達成することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の金属蒸着フィルムの製造装置の一実施態様の横断面概略図である。
【図2】図1におけるマスクパターン形成手段の拡大斜視図である。
【図3】図2のマスキング剤付着ローラに冷却機構を設けた本発明に係る金属蒸着フィルムの製造装置の他の態様の拡大斜視図である。
【符号の説明】
1:マスク形成ローラ
2a:マスキング剤付着ローラ
2b:内部冷却マスキング剤付着ローラ
3:マスキング剤供給ノズル
4:マスキング剤蒸発器
7:バックアップローラ
8:巻き出しロール
9:巻き取りロール
10:冷却ローラ
11:フィルム
12:加熱ボート
13:蒸着用金属棒
14:真空槽
21:フレーム
26:マスキング剤室
27:ヒータ
36:マスク
39:マスキング剤含浸層
40:モータ(揺動用駆動手段)
41:角ネジ(揺動手段)
42:ウオーム
43:ウオームホイール
44:駆動装置
51:冷媒導入機構
52a:冷媒入
52b:冷媒出
53:助力装置
54:冷却管(助力装置冷却手段)
55:支持アーム
100:マスク形成機
200:真空蒸着装置
Claims (6)
- 金属蒸着工程と、マスキング剤を蒸発せしめ、蒸発したマスキング剤を回転するマスキング剤付着ローラに付着せしめ、該マスキング剤付着ローラに接触せしめられ回転する所定のマスクパターンを表面に有するマスク形成ローラを、走行する金属蒸着前あるいは蒸着後のフィルム表面に接触せしめフィルム表面に所定のマスクパターンを形成する工程とからなる金属蒸着フィルムの製造方法において、前記マスキング剤付着ローラの内部が強制的に冷却されることを特徴とする金属蒸着フィルムの製造方法。
- 前記マスキング剤付着ローラの表面に布帛物が巻き付けられ、該布帛物にマスキング剤が含浸保持されていることを特徴とする請求項1記載の金属蒸着フィルムの製造方法。
- 前記マスキング剤付着ローラが、特定の周期でその軸方向に揺動せしめられることを特徴とする請求項1あるいは2記載の金属蒸着フィルムの製造方法。
- 回転するマスキング剤付着ローラと、該マスキング剤付着ローラに接触して回転し、走行フィルムに接触せしめられる所定のマスクパターンが表面に形成されたマスク形成ローラとからなるマスクパターン形成手段、および、前記走行フィルムに金属蒸着膜を形成する金属蒸着膜形成手段を有する金属蒸着フィルムの製造装置において、前記マスキング剤付着ローラの内部を強制的に冷却する冷却手段が設けられていることを特徴とする金属蒸着フィルムの製造装置。
- 前記マスキング剤付着ローラの表面が、マスキング剤の含浸保持可能な布帛物で形成されていることを特徴とする請求項4記載の金属蒸着フィルムの製造装置。
- 前記マスキング剤付着ローラを、特定の周期でその軸方向に揺動せしめる揺動機構が設けられていることを特徴とする請求項4あるいは5記載の金属蒸着フィルムの製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32355598A JP4015305B2 (ja) | 1998-11-13 | 1998-11-13 | 金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32355598A JP4015305B2 (ja) | 1998-11-13 | 1998-11-13 | 金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000144375A JP2000144375A (ja) | 2000-05-26 |
JP4015305B2 true JP4015305B2 (ja) | 2007-11-28 |
Family
ID=18156017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32355598A Expired - Lifetime JP4015305B2 (ja) | 1998-11-13 | 1998-11-13 | 金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4015305B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102824980A (zh) * | 2012-09-21 | 2012-12-19 | 郑州金泰制罐有限公司 | 马口铁焊接罐横留空工艺专用胶辊 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003282142A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-10-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜積層体、薄膜電池、コンデンサ、及び薄膜積層体の製造方法と製造装置 |
CN101501242B (zh) * | 2006-08-08 | 2011-06-15 | 株式会社爱发科 | 卷绕式真空成膜装置 |
EP2071051B1 (en) * | 2006-10-06 | 2016-08-31 | Ulvac, Inc. | Takeup type vacuum filming apparatus |
EP1975272A1 (en) * | 2007-03-27 | 2008-10-01 | Galileo Vacuum Systems S.p.A. | Device for vacuum deposition of a coating on a continuous material, with liquid applicator |
DE102012204878A1 (de) | 2012-03-27 | 2013-10-02 | Achenbach Buschhütten GmbH & Co. KG | Auftragwerk |
WO2015064685A1 (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | Jx日鉱日石エネルギー株式会社 | 帯状のフィルム基材上に不連続なパターンを有する塗膜を形成するための塗布装置、及び凹凸パターンを有する帯状のフィルム部材の製造方法 |
JP2015181979A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | Jx日鉱日石エネルギー株式会社 | 帯状のフィルム基材の長手方向及び幅方向において不連続な塗膜を形成できる塗布装置及び塗膜形成方法 |
JP2015181981A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | Jx日鉱日石エネルギー株式会社 | 帯状のフィルム基材上に不連続なパターンを有する塗膜を形成するための塗布装置及び塗膜形成方法 |
JP6157391B2 (ja) * | 2014-03-20 | 2017-07-05 | Jxtgエネルギー株式会社 | 帯状のフィルム基材上に不連続な塗膜を形成するための塗布装置及び塗布方法 |
CN113385756B (zh) * | 2021-06-18 | 2022-07-05 | 河南理工大学 | 一种用于加工圆柱体表面微结构的装置 |
CN115938804A (zh) * | 2023-03-15 | 2023-04-07 | 四川省科学城久信科技有限公司 | 一种薄膜电容金属化膜片的制备方法 |
-
1998
- 1998-11-13 JP JP32355598A patent/JP4015305B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102824980A (zh) * | 2012-09-21 | 2012-12-19 | 郑州金泰制罐有限公司 | 马口铁焊接罐横留空工艺专用胶辊 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000144375A (ja) | 2000-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4015305B2 (ja) | 金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置 | |
JP5061119B2 (ja) | 巻取式真空成膜装置の運転方法および巻取式真空成膜装置 | |
JP3885462B2 (ja) | 液体塗布装置およびこれに用いる回転部材とその製造方法 | |
JP2837116B2 (ja) | 印刷版の製造方法及び装置 | |
JPS629381B2 (ja) | ||
JPH0141700B2 (ja) | ||
JP5095624B2 (ja) | 巻取式真空成膜装置 | |
JPS62247073A (ja) | 巻取式真空装置 | |
WO2008018297A1 (fr) | Dispositif d'enroulage pour filmer sous vide | |
JP6950867B2 (ja) | リチウム薄膜の製造方法及びリチウム薄膜の製造装置 | |
JPH06215372A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 | |
JP7093684B2 (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
JP3886571B2 (ja) | フィルム用真空蒸着装置および真空蒸着方法 | |
US6682778B1 (en) | Stencil to pad method for applying a coating to a part | |
JPH0798861A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
JP4597474B2 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
JPH10330912A (ja) | 金属化フィルムの製造装置及びその製造方法 | |
JP4212338B2 (ja) | 金属物の蒸着方法及び装置 | |
JPS61278032A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 | |
JPH0576357B2 (ja) | ||
CN213652632U (zh) | 一种真空蒸镀金属薄膜卷绕预热装置 | |
JP2530219B2 (ja) | 帯状物乾燥装置 | |
JP3274712B2 (ja) | アルミニウム条の脱脂装置及び製造方法 | |
JP2004091805A (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP2004131768A (ja) | 樹脂薄膜の蒸着装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20031209 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20031209 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20031209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070213 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070320 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070424 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070911 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070913 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100921 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110921 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110921 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110921 Year of fee payment: 4 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120921 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130921 Year of fee payment: 6 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |