KR101087164B1 - 가열 장치, 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 히터 유닛의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 히터 유닛의 부분 확대도이다.
도 4의 (a)는 본 발명의 제1 실시예에 따른 환상부(環狀部)를 구성하는 선(線) 형상 재료를 예시하는 개략도이며, 도 4의 (b)는 상기 환상부를 구성하는 판(板) 형상 재료를 예시하는 개략도이다.
도 5의 (a)는 본 발명의 제1 실시예에 따른 환상부의 부분 확대도이며, 도 5의 (b)는 확대 부분의 측면도이다.
도 6의 (a)는 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 따른 환상부의 부분 확대도이며, 도 6의 (b)는 확대 부분의 측면도이다.
도 7의 (a)는 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 따른 히터 유닛의 부분 확대도이며, 도 7의 (b)는 부호 a1로 나타내는 영역에 있어서의 환상부의 부분 확대도이며, 도 7의 (c)는 부호 a2로 나타내는 영역에 있어서의 환상부의 부분 확대도이다.
도 8의 (a)는 본 발명의 제1 실시예의 변형예에 따른 히터 유닛의 부분 확대도이고, 도 8의 (b)는 부호 A3으로 나타내는 영역에 있어서의 환상부의 부분 확대도이고, 도 8의 (c)는 부호 A4로 나타내는 영역에 있어서의 환상부의 부분 확대도이며, 도 8의 (d)는 부호 A5로 나타내는 영역에 있어서의 환상부의 부분 확대도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 처리 장치의 수직 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 발열체의 사시도이다.
도 11의 (a)는 본 발명의 제2 실시예에 따른 환상부의 부분 확대도이며, 도 11의 (b)는 확대 부분의 측면도이다.
도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 환상부를 보지한 단열체의 부분 확대도이며, (a)는 승온 전의 모습을, (b)는 승온 후의 모습을 각각 나타내고 있다.
도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 수납부의 변형예를 나타내는 개략도이고, (a)는 환상부를 수용한 수납부의 부분 확대도이며, (b)는 확대 부분의 측면도이다.
도 14는 본 발명의 제3 실시예에 따른 승온 전의 히터 유닛의 수평 단면도이다.
도 15는 본 발명의 제3 실시예에 따른 승온 후의 히터 유닛의 수평 단면도이다.
도 16은 보지체 지지부를 구비하지 않은 환상부의 열변형의 모습을 나타내는 부분 확대도이고, (a)는 승온 전의 모습을, (b)는 승온 후의 모습을, (c)는 열변형에 의해 보지체의 전단(剪斷), 환상부의 분열, 환상부의 합선이 발생한 모습을, (d)는 열변형에 의해 보지체의 누락이 발생하는 모습을 각각 나타내고 있다.
도 17은 본 발명의 제1 실시예에 따른 발열체의 열변형의 모습을 나타내는 개략도이며, (a)는 승온 전의 모습을, (b)는 승온 후의 모습을 각각 나타내고 있다.
도 18은 실온 상태에 있어서 수납부와 환상부가 동심원 형상이 되도록 한 경우의 환상부의 열변형의 모습을 나타내는 개략도이며, (a)는 승온 전의 모습을, (b)는 승온 후의 모습을 각각 나타내고 있다.
도 19는 보지체 지지부를 구비하지 않은 환상부 내에 있어서의 전류 경로를 예시하는 개략도이다.
도 20은 본 발명의 제1 실시예에 따른 발열체 내에 있어서의 전류 경로를 예시하는 개략도이다.
도 21은 환상부의 팽창 방향을 나타내는 개략도이다.
도 22는 환상부의 열팽창에 관한 측정 결과를 나타내는 개략도이다.
30 : 히터 유닛(가열 장치) 33 : 단열체
40 : 수납부 40d : 수납부의 양측벽
40e : 수납부의 저면 41 : 보지체
42 : 발열체 42R : 환상부
42a : 산형부 42b : 골짜기부
42c : 보지체 지지부 45, 46 : 급전부
Claims (1)
- 산형부(山部)와 골짜기부(谷部)가 교대로 복수 연결됨으로써 사행(蛇行) 형상으로 형성되고, 양단이 고정되는 발열체에 있어서,
상기 골짜기부의 말단에 각각 설치되고, 상기 골짜기부의 폭보다 큰 폭을 갖는 절결부(切缺部)로서 형성된 보지체 지지부
를 포함하는 발열체.
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